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KR101136147B1 - float conveying device of substrate - Google Patents

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KR101136147B1
KR101136147B1 KR1020110093838A KR20110093838A KR101136147B1 KR 101136147 B1 KR101136147 B1 KR 101136147B1 KR 1020110093838 A KR1020110093838 A KR 1020110093838A KR 20110093838 A KR20110093838 A KR 20110093838A KR 101136147 B1 KR101136147 B1 KR 101136147B1
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air
pattern
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plate
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조경덕
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(주)렉스닉테크놀로지
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Abstract

본 발명은 넓은 판형의 기판을 에어로 부상시켜 비접촉방식으로 반송하는 기판의 부상반송 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치는 사각형의 상판과 하판으로 구성되되 상판에 다수의 에어분출구가 배열되어 있고 상기 에어분출구들은 상판과 하판에 마련된 유로를 통해 연결되어 있는 기판의 부상반송 장치에 있어서, 상기 상판의 상면에는 에어분출구에서 분출되는 에어를 골고루 분산되도록 폐쇄무늬모양의 패턴이 길이방향으로 연속하여 형성된 패턴요홈이 마련되며, 상기 에어분출구에는 니들의 하단에 헤드부가 형성된 노즐이 삽입되어 있는 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명은 에어분출구를 통해 분출되는 에어가 요홈을 따라 퍼져 상판의 상면에 균일하게 분산되고 에어손실의 최소화를 꾀할 수 있으며, 에어분출구의 직경을 정도를 요하지 않고 에어분출구로서 요구하는 것보다 큰 니들외경으로 천공할 수 있어 가공이 용이하여 가공비를 줄임은 물론 생산성향상을 꾀할 수 있는 효과를 갖는다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a floating conveying apparatus for a substrate which floats a wide plate-shaped substrate with air and conveys it in a non-contact manner. In the floating conveying apparatus of the substrate according to the present invention is composed of a rectangular upper plate and a lower plate, a plurality of air ejection openings are arranged on the upper plate and the air ejection openings in the floating conveying apparatus of the substrate is connected through the flow path provided in the upper plate and the lower plate The upper surface of the upper plate is provided with a pattern groove formed in a continuous continuous pattern in the longitudinal direction so that the air is ejected from the air ejection port evenly, the nozzle is formed in the head of the lower end of the needle is inserted into the air ejection outlet It is characterized by.
Therefore, in the present invention, the air ejected through the air outlet is spread along the groove to be uniformly distributed on the upper surface of the top plate and minimize the air loss, and the air outlet is larger than required as the air outlet without requiring the diameter of the air outlet. It can be punched to the needle outer diameter, so that the processing is easy, reducing the processing cost, as well as improving the productivity.

Description

기판의 부상반송 장치{float conveying device of substrate}Float conveying device of substrate

본 발명은 글라스(Glass), 인쇄기판 등과 같은 넓은 판형의 기판을 에어(air)로 부상시켜 비접촉방식으로 반송하는 기판의 부상반송 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 이송물인 기판이 놓이는 상판의 상면에 에어의 균일한 분산과 손실의 최소화가 이뤄지도록 폐쇄무늬모양의 패턴이 길이방향으로 연속하여 패턴요홈이 형성되고 상판의 상면으로 에어를 분출시키기 위해 마련되는 에어분출구를 상용화되어 시판되고 있는 노즐로 마련함으로써 정도를 요하지 않는 노즐구멍으로 대체할 수 있고 이로 인하여 생산성 향상과 가공비를 줄일 수 있는 기판의 부상반송 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a floating conveying apparatus for a substrate which floats a wide plate-like substrate such as glass or a printed substrate with air and conveys it in a non-contact manner. More specifically, the patterned grooves are formed in a continuous pattern in a longitudinal direction in order to achieve uniform dispersion and minimization of loss of air on the upper surface of the upper plate on which the substrate to be transported is formed, and to eject air to the upper surface of the upper plate. The present invention relates to a floating carrier of a substrate that can be replaced with a nozzle hole that does not require a degree by providing an air outlet provided for commercial use with a nozzle that is commercially available.

일반적으로, 초박막액정표시장치(TFT LCD: Thin film Transistor Liquid Crystal Display), 플라스마 디스플레이 패널(PDP: Plasma Display Panel) 등의 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)기판 또는 패턴이 형성된 실리콘기판(Silicon Substrate) 등은 이송 중에 접촉으로 인한 스크래치가 발생되지 않도록 하기 위하여 비접촉방식으로 반송시킨다.Generally, a flat panel display (FPD) substrate or a patterned silicon substrate (Silicon Substrate) such as a thin film transistor liquid crystal display (TFT LCD), a plasma display panel (PDP), or the like ), Etc., are conveyed in a non-contact manner to prevent scratches due to contact during transportation.

이렇게 기판을 비접촉방식으로 반송시키는 기술과 관련된 것들이 제시되어 있는데, 이들 중에서 몇 개를 발췌하여 간단하게 설명한다. Such techniques related to the non-contact conveyance of the substrate have been presented, some of which will be briefly described.

대한민국 특허 제0864378호에는 이송블록의 상면으로 노즐블록을 이용하여 에어가 흐르도록 유도함으로써 상기 이송블록 상부의 기판에 부양력과 이송력을 동시에 부여하는 방식인바, 이는 단순히 이송블록의 상면으로 에어를 흘려보내는 것이어서 요구하는바 대로의 기판의 부상높이를 얻는 다던가 고정도의 평탄도를 확보하여 균일하게 부상시키기에는 적합하지 못하고 에어의 손실 또한 커서 에어펌프의 용량이 큰 것을 채택하여야 한다는 문제점이 있었다.In the Republic of Korea Patent No. 0864378 is a method of simultaneously applying the floating force and the transfer force to the substrate on the upper transfer block by inducing the air flow to the upper surface of the transfer block using a nozzle block, which simply flows the air to the upper surface of the transfer block It is a problem that the air pump has a problem of adopting a large capacity of the air pump because it is not suitable to obtain the height of the float as required by the substrate, or to ensure the flatness of the high precision and to uniformly float the air.

대한민국 공개특허 제2006-0081053호의 디스플레이패널용 글라스이송장치에 에어부상유닛이 제시되어 있는데, 상기 에어부상유닛은 평행하게 배열된 다수의 에어레일이 마련되되 이 에어레일에 소정압력의 에어를 공급받는 다수개의 에어챔버가 마련되고 이 에어챔버의 상단이 다공성소결소재로 된 에어노즐패드로 마감 처리되어 있다.An air floatation unit is provided in a glass transport apparatus for a display panel of Korean Patent Laid-Open Publication No. 2006-0081053. The air floatation unit is provided with a plurality of air rails arranged in parallel to receive air at a predetermined pressure from the air rail. A number of air chambers are provided and the top of the air chamber is finished with an air nozzle pad made of porous sintered material.

상기 글라스이송장치의 에어부상유닛은 에어노즐패드를 소결 성형한 것이어서 소결성형조건에 따라서 에어노즐패드의 다공이 변형되므로 기판인 글라스의 부상시킴에 적당한 에어분출량, 즉 원하는 바대로의 에어분출량을 얻기가 어려우고, 그 가격 또한 고가이며 상기 에어노즐패드를 에어레일에 고정하고자 할 때 복수개의 체결부재를 이용하여 체결하기 때문에 작업공정 및 부품수가 증가된다는 문제점이 있었다.The air floating unit of the glass transfer device is a sintered molding of the air nozzle pad, so that the pore of the air nozzle pad is deformed according to the sintering molding conditions. It is difficult to obtain, the price is also expensive and there is a problem that the work process and the number of parts is increased because the fastening using a plurality of fastening members when the air nozzle pad is to be fixed to the air rail.

그리고 대한민국 특허 제10-0820031호에는 상판에 다수의 에어분출구가 균일하게 배열되고 그 하면에 미세공을 갖는 에어플로팅필터가 구비되되 상기 에어분출구는 공기가 용이하게 공급되는 테이퍼형상의 공급부와, 이 공급부에 연결되는 일정한 직경의 제1통과부와, 이 제1통과부에 연결되어 상기 제1통과부보다 작은 직경의 제2통과부와, 이 제2통과부와 연결되는 테이퍼형상의 흡입부를 포함하고, 상기 제1통과부와 제2통과부가 테이퍼형상으로 연결된 것이 그 특징이다. And the Republic of Korea Patent No. 10-0820031 is provided with an air floating filter having a plurality of air ejection outlets on the upper plate uniformly arranged on the lower surface and having a micro-pores on the bottom plate, the air ejection outlet is a tapered-shaped supply unit which is easily supplied with air, A first passage portion having a constant diameter connected to the supply portion, a second passage portion having a diameter smaller than the first passage portion connected to the first passage portion, and a tapered suction portion connected to the second passage portion; The first passage portion and the second passage portion are tapered.

상기한 특허 제10-0820031호는 에어가 분출되는 에어분출구로로부터 가까운 영역과 먼 영역 모두에 걸쳐 균일한 에어압력을 유지시키고 이로 인하여 기판의 평탄도를 균일하게 유지시킬 수 있는 것이나, 상기 상판의 에어분출구의 제2통과부가 직경 0.1~0.5㎜의 미세한 구멍인바 그 천공장비가 고가이고 천공작업 또한 어려움은 물론 가공시간이 길어 생산성의 향상을 꾀할 수 없으며, 결론적으로 제조단가가 상승되게 된다는 문제점이 있었다.
Patent No. 10-0820031 discloses that it is possible to maintain uniform air pressure over both the region close to and far from the air ejection port through which the air is ejected, thereby maintaining the flatness of the substrate uniformly. The second passage part of the air outlet is a minute hole with a diameter of 0.1 ~ 0.5㎜, the drilling equipment is expensive, the drilling work is also difficult, and the processing time is long, so that the productivity can not be improved, and consequently, the manufacturing cost increases. there was.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 폐단 및 문제점을 해소하기 위하여 연구개발한 것으로서, 그 목적은 이송물인 기판이 놓이는 상판의 상면에 배열된 다수의 에어분출구를 따라 폐쇄무늬모양의 패턴을 이루도록 패턴요홈(V자형 단면의 홈)을 마련함으로써 에어분출구를 통해 분출되는 에어가 패턴요홈을 따라 퍼져 상판의 상면에 균일하게 분산되고 에어손실의 최소화를 꾀할 수 있도록 한 기판의 부상반송 장치를 제공하는데 있다.The present invention has been researched and developed in order to solve the conventional closed and problems as described above, the object is to form a pattern of a closed pattern along a plurality of air outlets arranged on the upper surface of the upper plate on which the substrate is a conveyed object By providing a groove (V-shaped cross section), the air ejected through the air ejection port is spread along the pattern groove to be uniformly distributed on the upper surface of the upper plate and to minimize the loss of air to provide a substrate conveying apparatus .

본 발명의 다른 목적은 상판의 상면에 배열되는 에어분출구를 상용화되어 시판되고 있는 주사바늘타입의 노즐로 마련함으로써 에어분출구의 직경을 정도를 요하지 않음은 물론 에어분출구로서 요구하는 것보다 큰 니들외경으로 천공할 수 있으며, 이로 인하여 가공이 용이하여 가공비를 줄임은 물론 생산성향상을 꾀할 수 있도록 한 기판의 부상반송 장치를 제공하는데 있다.
Another object of the present invention is to provide an air outlet arranged on the upper surface of the needle by using a commercially available needle type nozzle, which does not require the diameter of the air outlet and has a needle outer diameter larger than that required by the air outlet. It is possible to perforate, and thus it is easy to process to reduce the processing cost as well as to provide a floating transport apparatus of the substrate to improve the productivity.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치는, 사각형의 상판과 하판으로 구성되되 상판에 다수의 에어분출구가 배열되어 있고 상기 에어분출구들은 상판과 하판에 마련된 유로를 통해 연결되어 있는 기판의 부상반송 장치에 있어서, 상기 상판의 상면에는 에어분출구에서 분출되는 에어를 골고루 분산되도록 폐쇄무늬모양의 패턴이 상판의 길이방향으로 연속하여 형성된 패턴요홈이 마련된 것을 특징으로 한다.Floating conveying apparatus of the substrate according to the present invention for achieving the object as described above, consisting of a rectangular top plate and the bottom plate, a plurality of air ejection outlets are arranged on the upper plate and the air ejection openings through the flow path provided in the upper plate and the lower plate In the floating conveying apparatus of the substrate is connected, the upper surface of the upper plate is characterized in that the pattern groove is formed in a continuous pattern of the closed pattern is formed continuously in the longitudinal direction of the upper plate to evenly distribute the air ejected from the air ejection port.

상기 패턴요홈은 서로 이웃하는 4개의 에어분출구가 사각형틀로 폐쇄무늬모양의 패턴을 이루고 상판의 길이방향으로 연속된 사다리형상으로 마련되며, 상기 사다리형상을 이루는 각각의 사각형틀 중심을 통과하여 교차하는 패턴이 더 부가된 폐쇄무늬모양으로 마련될 수도 있다.The pattern groove is provided with four air outlets adjacent to each other to form a closed pattern pattern in a rectangular frame and continuous ladder shape in the longitudinal direction of the upper plate, and crosses through the center of each rectangular frame forming the ladder shape. The pattern may be provided in the form of a closed pattern further added.

또한 상기 패턴요홈은 원형틀패턴이나 사각형틀패턴이 연결되지 않고 소정간격을 가지고 떨어진 상태로 연속하여 상판의 길이방향으로 배열되고 각각의 원형틀패턴이나 사각형틀패턴의 중심을 통과하여 교차하는 패턴이 마련된 폐쇄무늬모양으로 마련될 수도 있다.In addition, the pattern groove is arranged in the longitudinal direction of the top plate in a continuous state at a predetermined interval apart without a circular frame pattern or a square frame pattern is connected to cross the pattern passing through the center of each circular frame pattern or square frame pattern It may be provided in a closed pattern provided.

또한 상기 패턴요홈은 위에서 열거한 폐쇄무늬모양이 상판의 길이방향으로 연속하여 1열로 배열한 것으로만 도시하고 설명하였으나, 2열 이상으로 배열할 수 있음은 물론이고 원형틀과 사각형틀이 아닌 여타의 다양한 폐쇄무늬모양으로 마련할 수 있음은 당연하다 할 것이다.In addition, the pattern groove is shown and described as only one row arranged in a continuous pattern in the longitudinal direction of the top plate enumerated above, it can be arranged in two or more rows as well as other than the circular frame and rectangular frame Naturally, it can be provided in various closed pattern shapes.

상기 패턴요홈은 상면에 기판을 놓았을 때 에어분출구에서 분출되는 에어가 상판의 측면으로 누출되지 않고 상판의 상면에서 기판이 부상되면 기판이 상면에서 부상된 틈새로 에어가 배출되어 에어손실이 최소화되도록 상판의 상면에만 폐쇄무늬모양의 패턴이 형성됨이 바람직하다. When the substrate is placed on the upper surface of the pattern groove, the air ejected from the air ejection port does not leak to the side of the upper plate. If the substrate is injured on the upper surface of the upper surface of the pattern groove, the air is discharged into the injured gap in the upper surface to minimize air loss. It is preferable that a closed pattern pattern is formed only on the upper surface of the top plate.

다시 말해서, 패턴요홈의 일부가 상판의 측면까지 연장되어 개방되지 않아야 한다. 그 이유는 상판의 측면에서 패턴요홈이 형성되어 개방되면 에어분출구에서 분출되는 에어가 곧바로 측면으로 누출되므로 많은 량의 에어를 공급하여야만 기판을 부상시킬 수 있어 에어손실이 많기 때문이다.In other words, a part of the pattern recess should not extend open to the side of the top plate. The reason is that when the pattern groove is formed on the side of the top plate, the air ejected from the air ejection port leaks directly to the side, so that a large amount of air can be injured to injure the substrate, resulting in a lot of air loss.

또한 상기 패턴요홈은 V자형 단면의 홈으로서, 폭 1㎜이하이고 깊이 1㎜이하이면 족하나 그 폭 및 깊이를 0.3㎜정도로 가공함이 바람직하다. 그 이유는 폭과 깊이가 1㎜이상이면 에어보유량이 커서 응답성이 느리고 그 만큼의 에어손실이 크며, 0.3㎜미만이면 에어의 흐름이 원활하지 않을 수 있기 때문이다.In addition, the pattern groove is a groove having a V-shaped cross section, the width of 1mm or less and the depth of 1mm or less is sufficient, but the width and depth is preferably processed to about 0.3mm. The reason is that if the width and depth is more than 1 mm, the air retention is large, so the response is slow and the air loss is large, and if less than 0.3 mm, the air flow may not be smooth.

본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치에 있어서, 상기 에어분출구에는 니들의 하단에 헤드부가 형성된 노즐이 삽입되어 있는 것을 특징으로 한다. In the floating conveying apparatus of the substrate according to the present invention, the air blowing port is characterized in that the nozzle is formed with a head portion is inserted in the lower end of the needle.

상기 노즐은 에어분출구로서 요구하는 내경, 즉 니들의 내경이 0.1~0.5㎜인 것을 선택하면 충분하다. 상기 노즐은 니들의 내경이 커짐에 따라 외경 또한 커지는데 외경이 1㎜이상이면 에어분출구를 좀 더 큰 직경으로 천공하는 것은 수월하므로 별다른 문제가 없으나, 니들의 내경이 0.15㎜인 경우 그 외경은 0.4㎜이라 하더라도 에어분출구의 구멍을 1㎜이하로 천공할 필요는 없다. 그 이유는 노즐 하단의 헤드부가 에어분출구의 하단에 실링이 이뤄지는 상태로 삽입 설치되므로 에어누출이 방지되기 때문이다.It is sufficient for the nozzle to select an inner diameter required as the air jet port, that is, an inner diameter of the needle of 0.1 to 0.5 mm. The nozzle has a larger outer diameter as the inner diameter of the needle increases, but when the outer diameter is 1 mm or more, it is easy to perforate the air outlet to a larger diameter, but there is no problem, but when the inner diameter of the needle is 0.15 mm, the outer diameter is 0.4. Even if it is mm, it is not necessary to drill the hole of the air jet port to be 1 mm or less. The reason is that the air is prevented from leaking because the head part of the nozzle lower end is inserted into the sealing part at the lower end of the air ejection port.

상기 노즐은 상용화되어 시판되고 있는 주사바늘로 채택함이 바람직하며, 그 이유는 별도로 주문제작하는 경우보다 구입이 용이하고 단가가 저렴하여 원가절감을 꾀할 수 있기 때문이다. 또한 상기 노즐의 헤드부는 니들의 하단부분을 확장시킨 상태로 마련할 수도 있다.The nozzle is preferably used as a commercially available needle that is commercially available, because it is easier to purchase and cheaper than the case of separately ordering, thereby reducing the cost. In addition, the head of the nozzle may be provided in a state in which the lower end of the needle is extended.

상기 패턴요홈을 이루는 각각의 폐쇄무늬모양인 패턴 중앙부의 상판에는 적어도 하나의 단을 갖는 카운터보어형의 통공이 마련되어 있고 상기 통공의 하단은 하판의 유로와 서로 연통되어 있으며, 상기 유로는 커넥터를 통해 진공펌프의 흡입호스와 연결되어 있다. 상기 통공의 상단부분인 홈은 기판과 비교적 넓은 면적이 접하도록 깊이는 낮고 넓게 형성된 홈이면 충분하다.
A counterbore through hole having at least one end is provided on the upper plate of the pattern center portion, which is a pattern of each closed pattern constituting the pattern groove, and the lower end of the through hole communicates with the flow path of the lower plate. It is connected to the suction hose of the vacuum pump. The groove, which is the upper portion of the through hole, has a low depth and a wide groove so that a relatively large area is in contact with the substrate.

본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치는, 이송물인 기판이 놓이는 상판의 상면에 배열된 다수의 에어분출구를 따라 폐쇄무늬모양의 패턴을 이루도록 패턴요홈(V자형 단면의 홈)을 마련함으로써 에어분출구를 통해 분출되는 에어가 패턴요홈을 따라 퍼져 상판의 상면에 균일하게 분산되고 에어손실의 최소화가 이루어진다.The floating conveying apparatus for a substrate according to the present invention provides an air ejection outlet by providing a pattern recess (a groove having a V-shaped cross section) to form a closed pattern pattern along a plurality of air ejection outlets arranged on the upper surface of the upper plate on which the substrate, which is a conveyed object, is placed. Air blown through is spread along the pattern groove to be uniformly distributed on the upper surface of the top plate to minimize the air loss.

또한 본 발명은 상판의 상면에 배열되는 에어분출구를 상용화되어 시판되고 있는 주사바늘타입의 노즐로 마련함으로써 에어분출구의 직경을 정도를 요하지 않음은 물론 에어분출구로서 요구하는 것보다 큰 니들외경으로 천공할 수 있으며, 이로 인하여 가공이 용이하여 가공비를 줄임은 물론 생산성향상이 이루어진다.
In addition, the present invention provides a commercially available air jet nozzle arranged on the upper surface of the upper plate by using a needle of a commercially available needle type nozzle, which does not require the diameter of the air jet, and can be drilled with a needle outer diameter larger than that required by the air jet. This makes it easy to process, thereby reducing the processing cost as well as improving the productivity.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 부상반송 장치를 나타낸 사시도,
도 2는 도 1의 평면도,
도 3은 도 1에서 일부를 발췌하여 나타낸 분해 사시도,
도 4는 도 2의 A-A선에 대한 상세단면도,
도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치에서 패턴요홈의 다른 실시 예들을 나타낸 평면도,
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판의 부상반송 장치를 나타낸 단면도,
도 7은 도 6에서 노즐과 이 노즐이 삽입된 부분을 발췌하여 나타낸 분해 사시도,
도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판의 부상반송 장치를 나타낸 사시도,
도 9는 도 8의 B-B선에 대한 단면도이다.1 is a perspective view showing a floating conveying apparatus of the substrate according to an embodiment of the present invention,
Fig. 2 is a plan view of Fig. 1,
3 is an exploded perspective view showing a part of the extract in FIG.
4 is a detailed cross-sectional view of the AA line of FIG.
5a to 5c are plan views showing other embodiments of the pattern recess in the floating conveying apparatus of the substrate according to the present invention;
6 is a cross-sectional view showing a floating carrier of the substrate according to another embodiment of the present invention;
FIG. 7 is an exploded perspective view showing an extract of a nozzle and a portion into which the nozzle is inserted in FIG. 6;
8 is a perspective view showing a floating carrier of the substrate according to another embodiment of the present invention,
FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 8.

이하, 본 발명인 기판의 부상반송 장치를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명하기로 한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the floating conveyance apparatus of the board | substrate of this invention is demonstrated in detail based on attached drawing.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 부상반송 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 평면도이며, 도 3은 도 1에서 일부를 발췌하여 나타낸 분해 사시도이고, 도 4는 도 2의 A-A선에 대한 상세단면도이다.1 is a perspective view showing a floating carrier of the substrate according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of Figure 1, Figure 3 is an exploded perspective view showing a part of Figure 1, Figure 4 is Figure 2 Detailed cross-sectional view of line AA.

본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치는, 첨부도면과 같이, 사각형의 상판(10)과 하판(20)이 적층되게 다수의 볼트(도시되지 않음)에 의해 체결되어 있으며, 상기 상판(10)에는 다수의 에어분출구(11)가 2열로 소정 간격을 갖고 배열되어 있고, 상기 에어분출구(11)들은 에어펌프(도시되지 않음)로부터 공급되는 에어가 상판(10)과 하판(20)에 마련된 유로(21)를 통해 분출되도록 연결되어 있다.The floating conveying apparatus of the substrate according to the present invention is fastened by a plurality of bolts (not shown) such that the rectangular upper plate 10 and the lower plate 20 are stacked as shown in the accompanying drawings, and the upper plate 10 A plurality of air ejection outlets 11 are arranged in two rows at predetermined intervals, and the air ejection outlets 11 have a flow path in which air supplied from an air pump (not shown) is provided on the upper plate 10 and the lower plate 20. Are connected to erupt through 21).

상기 유로(21)는 상판(10)에 천공되는 에어분출구(11)가 서로 연결되도록 하판(20)의 상면에 형성되는 것이며, 상기 하판(20)에는 상기 유로(21)로 에어를 공급할 수 있도록 에어펌프(도시되지 않음)의 에어호스와 연결되는 커넥터(22)가 마련되어 있다.The flow passage 21 is formed on the upper surface of the lower plate 20 so that the air ejection openings 11 drilled on the upper plate 10 are connected to each other, and the lower plate 20 can supply air to the flow passage 21. A connector 22 is provided that connects to an air hose of an air pump (not shown).

또한 상기 상판(10)과 하판(20) 사이에는 하판(20)의 커넥터(22)로부터 유로(21)로 공급된 에어가 누출되지 않도록 개스킷(gasket, 30)이 마련되어 있다.In addition, a gasket 30 is provided between the upper plate 10 and the lower plate 20 so that air supplied from the connector 22 of the lower plate 20 to the flow path 21 does not leak.

상기 상판(10)의 상면에는 서로 이웃하는 4개의 에어분출구(11)가 사각형틀로 폐쇄무늬모양의 패턴을 이루고 상판(10)의 길이방향으로 연속됨과 동시에 에어분출구(11)에서 분출되는 에어를 골고루 분산시키도록 사다리형상의 패턴요홈(12)이 마련되어 있다.On the upper surface of the upper plate 10, four air outlets 11 adjacent to each other form a closed pattern pattern in a rectangular frame and are continuous in the longitudinal direction of the upper plate 10, and at the same time, the air is ejected from the air outlet 11 A ladder-shaped pattern groove 12 is provided to evenly distribute.

상기 패턴요홈(12)은 상면(10)에 기판(40)을 놓았을 때 에어분출구(11)에서 분출되는 에어가 상판(10)의 측면으로 누출되지 않고 상판(10)의 상면에서 기판(40)이 부상되면 기판(40)이 상면에서 부상된 틈새로 에어가 배출되어 에어손실이 최소화되도록 상판(10)의 상면에만 폐쇄무늬모양의 패턴이 형성됨이 바람직하다. The pattern recess 12 has the substrate 40 on the upper surface of the upper plate 10 without air leaking from the air outlet 11 when the substrate 40 is placed on the upper surface 10 to the side of the upper plate 10. ) Is floated, it is preferable that a pattern of a closed pattern is formed only on the top surface of the top plate 10 so that air is discharged into the gap in which the substrate 40 is floated on the top surface to minimize air loss.

다시 말해서, 상기 패턴요홈(12)의 일부가 상판(10)의 측면까지 연장되어 개방되지 않아야 한다. 그 이유는 상판(10)의 측면에서 패턴요홈(12)이 형성되어 개방되면 각각의 에어분출구(11)에서 분출되는 에어가 곧바로 측면으로 누출되므로 많은 량의 에어를 공급하여야만 기판(40)을 부상시킬 수 있어 에어손실이 많기 때문이다.In other words, a part of the pattern recess 12 should not extend to the side of the top plate 10 to be opened. The reason is that when the pattern groove 12 is formed and opened at the side of the upper plate 10, the air ejected from each air outlet 11 immediately leaks to the side, so that a large amount of air must be supplied to injure the substrate 40. This is because there is a lot of air loss.

또한 상기 패턴요홈(12)은 V자형 단면의 홈으로서, 폭 1㎜이하이고 깊이 1㎜이하이면 족하나 그 폭 및 깊이를 0.3㎜정도로 가공함이 바람직하다. 그 이유는 폭과 깊이가 1㎜이상이면 에어보유량이 커서 응답성이 느리고 그 만큼의 에어손실이 크며, 0.3㎜미만이면 에어의 흐름이 원활하지 않을 수 있기 때문이다.In addition, the pattern groove 12 is a groove having a V-shaped cross section, the width 1mm or less and the depth is 1mm or less, but the width and depth is preferably processed to about 0.3mm. The reason is that if the width and depth is more than 1 mm, the air retention is large, so the response is slow and the air loss is large, and if less than 0.3 mm, the air flow may not be smooth.

상기 에어분출구(11)는 그 직경이 0.1~0.5㎜로 마련함이 바람직하다. 상기 에어분출구(11)의 직경이 0.1㎜미만이면 에어의 흐름이 원활하지 않을 수 있고, 직경이 0.5㎜를 초과하면 에어분출량이 과다하여 에어손실이 크게 된다는 것이다. The air jet port 11 is preferably provided with a diameter of 0.1 ~ 0.5mm. If the diameter of the air ejection port 11 is less than 0.1 mm, the flow of air may not be smooth. If the diameter exceeds 0.5 mm, the air ejection amount is excessive, resulting in large air loss.

또한 상기 에어분출구(11)의 직경이 작아질수록 그 만큼 가공이 어렵고 가공시간이 길어짐은 물론 고가의 장비를 이용하여야 하므로 생산단가가 상승될 수밖에 없다.In addition, the smaller the diameter of the air blower port 11, the more difficult the processing and the longer the processing time, as well as the use of expensive equipment is inevitably increased production cost.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치에서 패턴요홈의 다른 실시 예들을 나타낸 평면도이다. 5A to 5C are plan views illustrating other embodiments of the pattern recess in the floating conveying apparatus for the substrate according to the present invention.

도 5a의 패턴요홈(12)은 본 발명의 일실시예인 도 2와 같은 사다리형상으로 마련되면서 각각의 사각형틀 패턴의 중심을 통과하여 교차하는 패턴이 부가되어 있는 폐쇄무늬모양이다. The pattern recess 12 of FIG. 5A is a closed pattern provided with a ladder shape as shown in FIG. 2, which is an embodiment of the present invention, and a pattern intersecting through the center of each rectangular frame pattern is added thereto.

도 5b의 패턴요홈(12)은 사각형틀 패턴이 연속 배열되되 각각의 사각형틀 패턴이 연결됨 없이 소정간격을 가지고 떨어진 상태로 연속하도록 상판(10)의 길이방향으로 배열되고 각각의 사각형틀 패턴의 중심을 통과하여 교차하는 패턴이 마련된 폐쇄무늬모양이다. The pattern grooves 12 of FIG. 5B are arranged in the longitudinal direction of the top plate 10 so that the rectangular frame patterns are continuously arranged, but are separated at a predetermined interval without connecting each rectangular frame pattern, and the center of each rectangular frame pattern It is a closed pattern with a pattern intersecting through it.

도 5c의 패턴요홈(12)은 원형틀 패턴이 연속 배열되되 상기 원형틀 패턴이 소정의 간격을 갖고 떨어진 상태로 연속하도록 상판(10)의 길이방향으로 배열되고 각각의 원형틀 패턴 중심을 통과하여 교차하는 패턴이 마련된 폐쇄무늬모양이다.The pattern groove 12 of FIG. 5C is arranged in the longitudinal direction of the upper plate 10 so that the circular frame patterns are continuously arranged in a continuous state with the circular frame patterns spaced apart from each other, and passes through the center of each circular frame pattern. It is a closed pattern with intersecting patterns.

또한 상기 패턴요홈(12)은 위에서 열거한 폐쇄무늬모양이 길이방향으로 연속하여 1열로 배열하고 평면에서 보았을 때 패턴라인이 수평과 수직으로 직교하는 것으로만 도시하고 설명하였으나, 2열 이상으로 배열할 수 있음은 물론 패턴라인이 각각의 폐쇄무늬모양에 대하여 대각선으로 교차하는 무늬모양으로 마련할 수 있으며, 원형틀과 사각형틀이 아닌 다른 폐쇄무늬모양으로 다양하게 마련할 수 있음은 당연하다 할 것이다. In addition, the pattern groove 12 is arranged and arranged in a row in the longitudinal direction of the closed pattern shape listed above, and when viewed in plan but only shown that the pattern line is orthogonal to the vertical and horizontal, but arranged in two or more columns Of course, the pattern line can be provided in a pattern pattern that crosses diagonally with respect to each closed pattern shape, it will be natural that it can be provided in a variety of closed pattern shape other than a circular frame and a square frame.

특히, 에어분출구(11)는 기판을 부상시키고자 하는 높이에 따라 패턴요홈(12)을 이루는 패턴 상에 자유롭게 배치하되 균일하게 분산 배치함이 바람직하고 그 개수 또한 가감할 수 있는 것이다.In particular, the air ejection port 11 is freely arranged on the pattern forming the pattern groove 12 according to the height to float the substrate is preferably distributed uniformly and the number can also be added or subtracted.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판의 부상반송 장치를 나타낸 단면도이고, 도 7은 도 6에서 노즐과 이 노즐이 삽입된 부분을 발췌하여 나타낸 분해 사시도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a floating conveying apparatus for a substrate according to another exemplary embodiment. FIG. 7 is an exploded perspective view showing an extract of a nozzle and a portion in which the nozzle is inserted in FIG. 6.

여기서는, 상판(10)의 에어분출구(11)를 비교적 가공이 수월한 직경(1㎜정도)으로 채택하여 가공성과 생산성의 향상을 꾀할 수 있고, 상기 에어분출구(11)에는 니들(51)의 하단에 헤드부(52)가 형성된 노즐(50)이 삽입된 것을 제외하고는 일실시예의 구성과 동일하다.In this case, the air ejection opening 11 of the upper plate 10 is adopted to have a relatively easy diameter (about 1 mm) to improve workability and productivity, and the air ejection opening 11 is provided at the lower end of the needle 51. Except that the nozzle 50, the head portion 52 is formed is the same as the configuration of one embodiment.

상기 노즐(50)은 에어분출구(11)로서 요구하는 내경, 즉 니들(51)의 내경이 0.1~0.5㎜인 것을 선택하면 충분하다. 상기 노즐(50)은 니들(51)의 내경이 커짐에 따라 외경 또한 커지는데 외경이 1㎜이상이면 에어분출구(11)를 좀 더 큰 직경으로 천공하는 것은 수월하므로 별다른 문제가 없으나, 니들(51)의 내경이 0.15㎜인 경우 그 외경은 0.4㎜이라 하더라도 에어분출구(11)의 구멍을 1㎜이하로 천공할 필요는 없다. 그 이유는 노즐(50) 하단의 헤드부(52)가 에어분출구(11)의 하단에 실링이 이뤄지는 상태로 삽입 설치되기 때문이다.It is sufficient for the nozzle 50 to select the inner diameter required as the air jet port 11, that is, the inner diameter of the needle 51 is 0.1 to 0.5 mm. The nozzle 50 has a larger outer diameter as the inner diameter of the needle 51 increases, but when the outer diameter is 1 mm or more, it is easy to drill the air outlet 11 to a larger diameter, so there is no problem. In the case of the inner diameter of 0.15 mm, even if the outer diameter is 0.4 mm, it is not necessary to drill the hole of the air jet port 11 to 1 mm or less. The reason is that the head part 52 of the lower end of the nozzle 50 is inserted and installed in the state in which the sealing is made in the lower end of the air jet opening 11.

상기 노즐(50)은 상용화되어 시판되고 있는 주사바늘로 채택함이 바람직하며, 그 이유는 별도로 주문제작하는 경우보다 구입이 용이하고 단가가 저렴하여 원가절감을 꾀할 수 있기 때문이다.The nozzle 50 is preferably used as a commercially available needle that is commercially available, because it is easier to purchase and cheaper than the case of separately ordering, thereby reducing the cost.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판의 부상반송 장치를 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 8의 B-B선에 대한 단면도이다. FIG. 8 is a perspective view illustrating a floating carrier of a substrate according to still another embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 8.

여기서는, 패턴요홈(12)을 이루는 각각의 폐쇄형상인 사각형틀 중앙부의 상판(10)에 적어도 하나의 단을 갖는 카운터보어형의 통공(13)이 마련되어 있고 상기 통공(13)의 하단은 하판(20)의 유로(23)와 서로 연통된 것을 제외하고는 일실시예와 동일한 구성이다.Here, a counterbore through hole 13 having at least one end is provided in the upper plate 10 of the rectangular frame center portion of each closed shape constituting the pattern groove 12, and the lower end of the through hole 13 is provided with a lower plate ( The configuration is the same as that of the embodiment except that the flow path 23 of the 20 is in communication with each other.

상기 통공(13)의 상단부분인 홈은 기판(40)과 비교적 넓은 면적이 접하도록 깊이는 낮고 넓게 형성된 홈이면 충분하다. 상기 유로(23)는 커넥터(24)를 통해 진공펌프(도시되지 않음)의 흡입호스와 연결되어 있다.The groove, which is the upper portion of the through hole 13, is sufficient to have a groove having a low depth and a wide area so that the substrate 40 is in contact with a relatively large area. The flow path 23 is connected to the suction hose of the vacuum pump (not shown) through the connector 24.

상기와 같은 구성으로 된 본 발명에 따른 기판의 부상반송 장치는 에어분출구(11)를 통해 분출되는 정압으로 기판(40)을 부상시킴과 아울러, 카운터보어형의 통공(13)을 통해 흡입하는 진공압력을 이용하여 기판(40)을 흡착시키는 방식을 동시에 병용하여 사용함으로써 고정밀도의 부상이 가능하게 된다.
The floating conveying apparatus of the substrate according to the present invention having the above configuration floats the substrate 40 at a constant pressure ejected through the air ejection opening 11 and vacuum suctions through the counterbore through hole 13. By using the method of adsorb | sucking the board | substrate 40 at the same time using pressure simultaneously, the high precision floatation is attained.

본 발명은 초박막액정표시장치, 플라스마 디스플레이 패널 등의 평판 디스플레이기판 또는 패턴이 형성된 실리콘기판(Silicon Substrate) 등을 이송시키는 장치 중에서 접촉으로 인한 스크래치가 발생되지 않도록 하는 비접촉방식의 부상반송 장치에 유용하게 이용할 수 있다.
The present invention is useful for a non-contact floating conveying device that does not cause scratches due to contact among flat display substrates such as ultra-thin liquid crystal display devices, plasma display panels, or devices for transferring patterns formed of silicon substrates. It is available.

10: 상판 11: 에어분출구 12: 패턴요홈
13: 통공 20: 하판 21,23: 유로
22,24: 커넥터 30: 개스킷 40: 기판
50: 노즐 51: 니들 52: 헤드부10: top plate 11: air outlet 12: pattern groove
13: through 20: bottom 21,23: euro
22,24 connector 30 gasket 40 board
50: nozzle 51: needle 52: head portion

Claims (2)

사각형의 상판과 하판으로 구성되되 상판에 다수의 에어분출구가 배열되어 있고 상기 에어분출구들은 상판과 하판에 마련된 유로를 통해 연결되어 있는 기판의 부상반송 장치에 있어서,
상기 에어분출구에는 니들의 하단에 헤드부가 형성된 노즐이 삽입되며, 상기 노즐은 에어분출구로서 요구하는 내경, 즉 니들의 내경이 0.1~0.5㎜이고, 상기 노즐 하단의 헤드부가 상기 에어분출구의 하단에 실링이 이루어지는 상태로 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 기판의 부상반송 장치.In the floating conveying apparatus of the substrate consisting of a rectangular upper plate and a lower plate, a plurality of air ejection outlets are arranged on the upper plate and the air ejection outlets are connected through a flow path provided in the upper plate and the lower plate,
The nozzle having a head portion formed at the lower end of the needle is inserted into the air ejection port, and the nozzle has an inner diameter required as the air ejection port, that is, an inner diameter of the needle is 0.1 to 0.5 mm, and the head portion of the lower end of the nozzle is sealed at the lower end of the air ejection port. The floating conveyance apparatus of the board | substrate characterized by the insertion provided in this state. 삭제delete
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