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KR101108577B1 - Tape heater - Google Patents

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KR101108577B1
KR101108577B1 KR1020100072964A KR20100072964A KR101108577B1 KR 101108577 B1 KR101108577 B1 KR 101108577B1 KR 1020100072964 A KR1020100072964 A KR 1020100072964A KR 20100072964 A KR20100072964 A KR 20100072964A KR 101108577 B1 KR101108577 B1 KR 101108577B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
tape heater
tape
heat
heat generating
Prior art date
Application number
KR1020100072964A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박용성
이성광
김동렬
Original Assignee
국제엘렉트릭코리아 주식회사
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Publication date
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
    • F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

PURPOSE: A tape heater is provided to be universally used regardless of the size of a pipe and to be easily installed to the pipe. CONSTITUTION: The heat generation film part(100) of a tape form is includes a heating element(130) in inside. A first film sheet and a second film sheet support the heating element. A keeping warm film part(200) is provided to be stepped from the upper side of the heat generation film part and covers the upper side of the heat generation film part. The keeping warm film part comprises a connecting part which is bonded to a part of the upper side of the heat generation film part and a cover part which covers the upper side of the heat generation film part which is exposed. A velcro fastener is installed in the upper side of the heat generation film part and the bottom surface of the cover part.

Description

테이프 히터{tape heater}Tape heater

본 발명은 테이프 히터에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체 제조 설비의 배관을 가열하는데 사용되는 테이프 히터에 관한 것이다. The present invention relates to a tape heater, and more particularly, to a tape heater used to heat a pipe of a semiconductor manufacturing facility.

일반적으로 반도체 소자 제조 공정에서 반도체 소자는 웨이퍼에 사진, 증착, 식각 등의 공정을 반복 실시하여 제작된다. 이러한 공정들 중 증착 공정은 반응로의 내부에 웨이퍼를 위치시키고, 공정 가스를 가스 공급관을 통해 반응로의 내부로 분사하여 웨이퍼 상에 박막을 증착시킴으로써 이루어진다. In general, in the semiconductor device manufacturing process, a semiconductor device is manufactured by repeatedly performing a process such as photographing, deposition, or etching on a wafer. Among these processes, a deposition process is performed by placing a wafer inside the reactor, and spraying the process gas into the reactor through a gas supply pipe to deposit a thin film on the wafer.

한편, 공정 가스는 가스 공급관을 통해 반응로 내부로 이동되는 도중에 가스 공급관의 내벽에 응축되어 흡착될 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 가스 공급관을 따라 가열 장치, 예를 들어 테이프 히터(tape heater)를 설치하여 응축현상을 방지한다. 이러한 테이프 히터는 가스 공급관을 따라 가스 공급관을 감싸는 형태로 설치되며 내장된 저항 코일에 전류를 흘려 열을 발생시키는 구조로 되어 있다. Meanwhile, the process gas may be condensed and adsorbed on the inner wall of the gas supply pipe while the process gas is moved into the reactor through the gas supply pipe. To solve this problem, a heating device, such as a tape heater, is installed along the gas supply pipe to prevent condensation. The tape heater is installed to surround the gas supply pipe along the gas supply pipe, and has a structure that generates heat by flowing a current through the built-in resistance coil.

그런데 종래에 사용되던 테이프 히터는 가스 공급관에 감싸는 형태로 시공하나 설치시 공간 발생으로 열분포가 일정하지 못하고, 테이프 히터가 가스 공급관에 밀착하도록 매듭끈이나 클립을 이용하여 일정 간격마다 고정시키는 작업이 요구되며, 설치후 테이프 히터의 표면 온도가 높아 별도의 안전 커버를 추가 설치해야 하는 불편함이 있다. However, conventionally used tape heaters are wrapped in a gas supply pipe, but the heat distribution is not constant due to space generation during installation, and the tape heater is required to be fixed at regular intervals using knots or clips so that the tape heater adheres to the gas supply pipe. After installation, the surface temperature of the tape heater is high, there is an inconvenience of additional installation of a separate safety cover.

본 발명의 목적은 배관에 설치가 용이한 테이프 히터를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a tape heater that is easy to install in a pipe.

본 발명의 다른 목적은 별도의 안전커버가 필요없는 테이프 히터를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a tape heater that does not require a separate safety cover.

본 발명의 다른 목적은 탈부착이 용이한 테이프 히터를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a tape heater that is easily removable.

본 발명의 다른 목적은 배관의 크기에 상관없이 범용적으로 사용할 수 있는 테이프 히터를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a tape heater that can be used universally regardless of the size of the pipe.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 테이프 히터는 배관에 나선형으로 감아서 사용된다. 테이프 히터는 내부에 발열체가 삽입되어 있는 테이프 형상의 발열 필름부; 및 상기 발열 필름부의 상면으로부터 단차지게 제공되고, 상기 발열 필름부의 상면을 덮기 위한 테이프 형상의 보온 필름부를 포함하되; 상기 배관에 나선형으로 권취될 때 앞서 권취된 상기 발열 필름부의 상면이 뒤에 권취되는 상기 보온 필름부에 의해 겹쳐지게 감겨진다.In order to achieve the above object, the tape heater according to the present invention is used by spirally winding a pipe. The tape heater may include a tape-shaped heat generating film unit having a heating element inserted therein; And a tape-shaped insulating film part provided to be stepped from an upper surface of the heating film part and covering the upper surface of the heating film part; When spirally wound on the pipe, the upper surface of the heating film portion previously wound is wound to be overlapped by the insulating film portion wound up later.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보온 필름부는 상기 발열 필름부의 상면 일부에 접합되는 연결부분과, 상기 발열 필름부의 노출된 상면을 덮는 커버부분을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the insulating film portion includes a connecting portion bonded to a portion of the upper surface of the heat generating film portion, and a cover portion covering the exposed top surface of the heat generating film portion.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 발열 필름부의 상면과 상기 보온 필름부의 커버부분 저면에는 상호 고정을 위한 벨크로 화스너가 설치된다.According to an embodiment of the present invention, a Velcro fastener for fixing the upper surface of the heat generating film portion and the bottom surface of the cover portion of the insulating film portion is installed.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 테이프 히터는 나선 형상으로 이루어지며,나선 형상을 유지할 수 있도록 상기 발열 필름부 또는 상기 보온 필름부에는 심(shim)부재가 설치될 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the tape heater may be formed in a spiral shape, and a shim member may be installed in the heating film part or the insulating film part to maintain the spiral shape.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 심 부재는 형상기억합금 또는 스프링형태의 강철 와이어인 일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the shim member may be a shape memory alloy or a steel wire in the form of a spring.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 발열체는 니크롬선, 실리콘이 코팅된 니크롬선, 카본 섬유, 액상 발열체, SUS 박판 중에 어느 하나일 수 있으며, 상기 발열 필름부는 실리콘 함침 유리 섬유 필름, PET 필름, KAPTON 필름, TEFLON 필름, 실리콘 필름, 실리카 섬유, 세라믹 섬유 중어 적어도 하나로 이루어지는 내열 및 절연성이 우수한 소재를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the heating element may be any one of nichrome wire, silicon-coated nichrome wire, carbon fiber, liquid heating element, SUS thin plate, and the heating film part is a silicon-impregnated glass fiber film, PET film, KAPTON A film, a TEFLON film, a silicon film, a silica fiber, and a ceramic fiber may include a material having excellent heat resistance and insulation.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보온 필름부는 신축 및 유연성이 있으며 보온성이 우수한 실리콘, 실리콘 폼, 유기섬유, 실리카, 유리섬유 중에 적어도 하나로 이루어지는 단열층을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the insulating film portion may include a heat insulating layer made of at least one of silicone, silicone foam, organic fibers, silica, glass fibers having stretch and flexibility and excellent heat retention.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보온 필름부는 상기 단열층의 상면에 설치되고 상기 보온 필름부 및 상기 발열 필름부의 물리적 보호를 위한 외피를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the insulating film portion may be installed on the upper surface of the heat insulating layer and may further include an outer shell for physical protection of the insulating film portion and the heat generating film portion.

상기한 과제를 달성하기 위한 테이프 히터는 상기 테이프 히터의 일측 상면과 타측 저면에는 소정 폭으로 상면 단차부분과 저면 단차부분이 길이방향을 따라 형성되어, 배관에 설치시 앞서 권취된 상기 상면 단차부분이 뒤에 권취되는 상기 저면 단차부분에 의해 덮이도록 겹쳐지면서 권취된다.In the tape heater for achieving the above object, the upper surface step portion and the lower surface step portion having a predetermined width are formed along a longitudinal direction on one side upper surface and the other bottom surface of the tape heater, and the upper stepped portion wound before installation in the pipe Winding is overlapped so that it may be covered by the said bottom step part wound up later.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 상면 단차부분은 내열 및 절연성 소재의 제1필름시트와 제2필름시트 사이에 발열체가 설치되며, 상기 저면 단차부분은 단열재가 설치된다.According to an embodiment of the present invention, the upper stepped portion is provided with a heating element between the first film sheet and the second film sheet of the heat and insulating material, the bottom stepped portion is provided with a heat insulating material.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 상면 단차부분과 상기 저면 단차부분에는 상호 고정을 위한 벨크로 화스너가 설치된다.According to an embodiment of the present invention, the upper stepped portion and the bottom stepped portion are provided with Velcro fasteners for mutual fixing.

본 발명에 의하면, 배관에 설치가 용이하며, 별도의 안전커버를 필요없다. 또한, 탈부착이 용이하고, 배관의 크기에 상관없이 범용적으로 사용할 수 있다.
According to the present invention, it is easy to install in the pipe, there is no need for a separate safety cover. In addition, it is easy to attach and detach and can be used universally regardless of the size of the pipe.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테이프 히터를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 테이프 히터가 나선형으로 형성된 예를 보여주는 도면이다.
도 3은 배관에 테이프 히터가 감겨진 사용상태를 보여주는 도면이다.
도 4는 테이프 히터가 배관에 권선된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 5는 심부재가 설치된 테이프 히터를 보여주는 단면도이다.
도 6은 발열 필름부와 보온 필름부가 일체형인 테이프 히터를 보여주는 단면도이다. 1 is a view showing a tape heater according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating an example in which the tape heater shown in FIG. 1 is spirally formed.
3 is a view showing a state in which the tape heater is wound around the pipe.
4 is a cross-sectional view showing a state in which a tape heater is wound around a pipe.
5 is a cross-sectional view showing a tape heater provided with a core member.
6 is a cross-sectional view showing a tape heater in which the heat generating film portion and the heat insulating film portion are integrated.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 한편, 이하에서는 웨이퍼를 기판의 일례로 설명하나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following, the wafer is described as an example of the substrate, but the technical spirit and scope of the present invention are not limited thereto.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테이프 히터를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 테이프 히터가 나선형으로 형성된 예를 보여주는 도면이다. 도 3은 배관에 테이프 히터가 감겨진 사용상태를 보여주는 도면이다. 1 is a view showing a tape heater according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing an example in which the tape heater shown in Figure 1 is formed in a spiral. 3 is a view showing a state in which the tape heater is wound around the pipe.

도 1을 참조하면, 본 발명의 테이프 히터(10)는 배관에 나선형으로 감아서 사용할 수 있는 것으로, 발열 필름부(100)와 보온 필름부(200)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the tape heater 10 of the present invention can be used by spirally winding a pipe, and includes a heat generating film part 100 and a heat insulating film part 200.

발열 필름부(100)는 내열 및 절연성 소재의 제1필름시트(110)와 제2필름시트(120) 사이에 발열체(130)가 삽입되어 있는 테이프 형상으로 이루어진다. 발열체(130)는 특별히 제한되지 않지만 통상 니크롬선이 사용된다. 니크롬선의 소비전력은 테이프 히터의 용도에 따라 선택될 수 있다. 니크롬선은 안전성 및 내구성의 면에서 그 외주면에 내열성이면서 전기절연성인 보호층이 피복되어 있는 것이 바람직하며, 보호층으로는 특별히 제한되지 않지만 통상 실리콘이 사용된다. 여기에서, 발열체에는 카본 섬유, 액상 발열체, SUS 박판과 같은 면형으로 형성된 것도 포함되고, 저항 가열을 이용하여 발열하는 것이면 어떠한 타입의 발열체라도 가능하다. The heat generating film unit 100 is formed in a tape shape in which the heating element 130 is inserted between the first film sheet 110 and the second film sheet 120 of heat and insulating material. The heating element 130 is not particularly limited, but usually nichrome wire is used. The power consumption of the nichrome wire can be selected according to the use of the tape heater. In terms of safety and durability, the nichrome wire is preferably coated with a heat resistant and electrically insulating protective layer on its outer circumferential surface, and silicon is usually used as a protective layer, although it is not particularly limited. Here, the heating element includes one formed in a planar shape such as carbon fiber, liquid heating element, or SUS thin plate, and any type of heating element may be used as long as it generates heat using resistance heating.

제1필름시트(110)와 제2필름시트(120)는 발열체(130)를 지지하는 기재로써, 내열성, 가요성 그리고 절연성이 우수한 소재로 이루어지는 필름타입이 바람직하다. 이러한 소재로는 실리콘 함침 유리 섬유 필름, PET 필름, KAPTON 필름, TEFLON 필름, 실리콘 필름, 실리카 섬유, 세라믹 섬유 등이 있으며, 가열 온도에 따라 적절하게 선택하여 사용된다. 또한, 이러한 소재는 단독 또는 혼합되어 사용될 수 있다.The first film sheet 110 and the second film sheet 120 is a substrate supporting the heating element 130, a film type made of a material having excellent heat resistance, flexibility and insulation. Such materials include silicon-impregnated glass fiber films, PET films, KAPTON films, TEFLON films, silicon films, silica fibers, ceramic fibers, and the like. In addition, these materials may be used alone or in combination.

도시하지 않았지만, 제2필름시트(120)의 상면에는 수mm 두께의 보온재가 부착(또는 코팅)될 수 있으며, 보온재로는 실리콘, 실리콘 폼, 유기섬유, 실리카, 유리섬유 등이 사용될 수 있다.Although not shown, a heat insulating material of several mm thickness may be attached (or coated) to the top surface of the second film sheet 120, and as the heat insulating material, silicon, silicon foam, organic fiber, silica, glass fiber, or the like may be used.

보온 필름부(200)는 작업자가 높은 온도의 발열 필름부(100)에 의해 화상을 입지 않도록 예방하고 발열 필름부(100)의 열기 방출을 차단하는 보호 커버로써 사용된다. 도면에서 보여주는 바와 같이 보온 필름부(200)는 발열 필름부(100)의 상면으로부터 단차지게 설치된다. 보온 필름부(200)는 발열 필름부(100)의 상면(제2필름시트의 노출면)을 덮기 위한 테이프 형상으로 이루어진다. 다시 말해, 보온 필름부(200)는 배관에 나선형으로 권취될 때 앞서 권취된 발열 필름부(100)의 상면이 뒤에 권취되는 보온 필름부(200)에 의해 겹쳐지게 감겨지도록 발열 필름부(100)에 단차지게 설치된다는데 그 특징이 있다. The heat insulating film part 200 is used as a protective cover to prevent the operator from being burned by the heat generating film portion 100 of the high temperature and to block the heat release of the heat generating film portion 100. As shown in the figure, the thermal insulation film part 200 is stepped from the upper surface of the heat generating film part 100. The heat insulating film part 200 has a tape shape for covering the upper surface (exposed surface of the second film sheet) of the heat generating film part 100. In other words, the heat insulation film part 200 is the heat generation film part 100 so that the upper surface of the previously wound heat generating film part 100 is wound up by the insulation film part 200 wound behind when the spiral wound around the pipe. It is characterized by being installed step by step.

보온 필름부(200)는 발열 필름부(100)의 상면 일부에 접합되는 연결부분(202)과, 발열 필름부(100)의 노출된 상면을 덮는 커버부분(204)으로 구획될 수 있다. 보온 필름부(200)의 전체 폭(L2)은 발열 필름부(100)의 전체 폭(L1)과 동일한 것이 바람직하며, 또한 보온 필름부(200)의 커버부분(204)의 폭은 발열 필름부(100)의 노출된 상면의 폭과 동일한 것이 바람직하다. 만약, 보온 필름부(200)의 전체 폭(L2)이 발열 필름부(100)의 전체 폭(L1)보다 짧다면 커버부분(204)이 발열 필름부(100)의 상면을 모두 덮을 수 없게 된다. 보온 필름부(200)는 신축 및 유연성이 있으며 보온성이 우수한 단열재(210)를 갖으며, 이 단열재(210)에는 실리콘, 실리콘 폼, 유기섬유, 실리카, 유리섬유 등이 사용될 수 있다. The heat insulating film part 200 may be divided into a connection part 202 bonded to a part of the top surface of the heat generating film part 100 and a cover part 204 covering the exposed top surface of the heat generating film part 100. The total width L2 of the heat insulating film part 200 is preferably the same as the total width L1 of the heat generating film part 100, and the width of the cover portion 204 of the heat insulating film part 200 is the heat generating film part. It is preferred to be equal to the width of the exposed top surface of (100). If the overall width L2 of the heat insulating film part 200 is shorter than the overall width L1 of the heat generating film part 100, the cover part 204 may not cover all of the top surface of the heat generating film part 100. . The thermal insulation film part 200 has a thermal insulation material 210 that is stretchable and flexible and has excellent thermal insulation. The insulation material 210 may be silicon, silicone foam, organic fiber, silica, glass fiber, or the like.

이처럼, 본 발명의 테이프 히터(10)는 일측 상면과 타측 저면에 소정 폭으로 발열 필름부(100)의 상면에 해당되는 상면 단차부분과 보온 필름부(200)의 커버부분(204)에 해당되는 저면 단차부분이 길이방향을 따라 형성되어 있으며, 배관(20)에 설치시 앞서 권취된 상면 단차부분이 뒤에 권취되는 저면 단차부분에 의해 덮이도록 겹쳐지면서 권취되는 구조를 갖는다. As such, the tape heater 10 of the present invention corresponds to an upper surface step portion corresponding to an upper surface of the heat generating film portion 100 and a cover portion 204 of the insulating film portion 200 on one side upper surface and the other bottom surface. The bottom stepped portion is formed along the longitudinal direction, and when installed in the pipe 20, it has a structure that is wound while being overlapped so as to be covered by the bottom stepped portion wound up before the top stepped portion wound up.

한편, 발열 필름부(100)의 상면과 보온 필름부(200)의 커버부분(204) 저면에는 상호 고정을 위한 벨크로 화스너(300)가 설치된다. 벨크로 화스너(300)를 적용함으로써 향후 배관 유지보수(점검) 작업시 테이프 히터의 제거 및 장착 작업이 용이하다.On the other hand, the Velcro fastener 300 for fixing to each other is installed on the upper surface of the heat generating film portion 100 and the bottom surface of the cover portion 204 of the insulating film portion 200. By applying the Velcro fastener 300, it is easy to remove and install the tape heater during future piping maintenance (check) work.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상술한 구성을 갖는 테이프 히터(10)는 나선 형상으로 이루어질 수 있으며, 이러한 나선 형상의 테이프 히터(10)는 배관에 권선 작업이 용이할 뿐만 아니라 배관에 대한 밀착성도 높아진다. Referring to FIGS. 2 and 3, the tape heater 10 having the above-described configuration may be formed in a spiral shape, and the spiral tape heater 10 may not only be easily wound on the pipe but also adhere to the pipe. Also increases.

도 4는 테이프 히터(10)가 배관에 권선된 상태를 보여주는 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing a state in which the tape heater 10 is wound around the pipe.

도 4에서와 같이 본 발명의 테이프 히터(10)를 배관(20)에 권취하게 되면, 앞서 권치된 테이프 히터의 발열 필름부(100)의 상면(상면 단차부분)이 뒤에 권취되는 테이프 히터의 보온 필름부(200)의 커버부분(204)(저면 단차부분)에 의해 덮이면서 감겨지게 된다. 이러한 테이프 히터(10)는 직관 뿐만 아니라 곡관에도 용이하게 권취가 가능하다. As shown in FIG. 4, when the tape heater 10 of the present invention is wound around the pipe 20, the heat insulation of the tape heater in which the upper surface (upper step portion) of the heating film part 100 of the tape heater previously wound is wound up later. It is wound while being covered by the cover portion 204 (bottom stepped portion) of the film portion 200. The tape heater 10 can be easily wound on not only straight pipes but also curved pipes.

본 발명의 테이프 히터(10)는 일정한 피치로 배관(20)에 감겨져기 때문에 배관을 균일하게 가열할 수 있을 뿐만 아니라, 보온 필름부(200)가 자동적으로 발열 필름부(100)를 커버하기 때문에 별도로 보호커버를 장착할 필요가 없다. 또한, 보온 필름부(200)와 발열 필름부(100)가 겹쳐지는 부분이 벨크로 화스너(300) 방식으로 상호 고정되기 때문에 안정적으로 그리고 견고하게 배관(20)에 밀착 설치될 수 있다. Since the tape heater 10 of the present invention is wound around the pipe 20 at a constant pitch, not only can the pipe be uniformly heated, but also the thermal film part 200 automatically covers the heat generating film part 100. There is no need to install a protective cover separately. In addition, since the portion where the insulating film portion 200 and the heat generating film portion 100 overlap each other is fixed to each other by the Velcro fastener 300 method, the insulating film portion 200 and the heat generating film portion 100 may be stably and firmly installed on the pipe 20.

도 5는 심부재가 설치된 테이프 히터를 보여주는 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a tape heater provided with a core member.

도 5에서와 같이, 본 발명의 테이프 히터(10a)는 나선 형상을 유지할 수 있도록 보온 필름부(200)에 형상기억합금 또는 스프링형태의 강철 와이어와 같은 심(shim)부재(400)가 설치될 수 있다. 심 부재(400)는 필요에 따라 보온 필름부(200)가 아닌 발열 필름부(100)에 설치될 수 있다. As shown in FIG. 5, the tape heater 10a of the present invention may have a shim member 400 such as a shape memory alloy or a spring-shaped steel wire installed on the insulating film part 200 to maintain a spiral shape. Can be. The shim member 400 may be installed in the heat generating film portion 100 instead of the heat insulating film portion 200 as necessary.

한편, 보온 필름부(200)의 상면에는 보온 필름부 및 발열 필름부의 물리적 보호를 위한 외피(230)가 추가적으로 설치될 수 있다. 외피 소재로는 유리섬유, PTEF 함침 유리섬유, 실리콘 등이 사용될 수 있다.On the other hand, the outer surface 230 for physical protection of the insulating film portion and the heat generating film portion may be additionally installed on the upper surface of the insulating film portion 200. As the outer material, glass fiber, PTEF impregnated glass fiber, silicon, or the like may be used.

도 6은 발열 필름부와 보온 필름부가 일체형인 테이프 히터를 보여주는 단면도이다. 6 is a cross-sectional view showing a tape heater in which the heat generating film portion and the heat insulating film portion are integrated.

도 6에서와 같이, 본 발명의 테이프 히터(10b)는 발열 필름부(100b)와 보온 필름부(200b)가 일체형으로 이루어질 수 있으며, 발열 필름부(100b)와 보온 필름부(200b)가 일체형인 경우 보온 필름부(200b)의 상면에는 별도의 보온재(500)가 추가 장착될 수 있다.As shown in Figure 6, the tape heater 10b of the present invention may be formed integrally with the heat generating film portion 100b and the heat insulating film portion 200b, the heat generating film portion 100b and the heat insulating film portion 200b is integrated. In the case of the upper surface of the insulating film portion 200b may be additionally equipped with a separate insulating material (500).

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

10 : 테이프 히터
20 : 배관
100 : 발열 필름부
200 : 보온 필름부
300 : 벨크로 화스너10: tape heater
20: piping
100: heat film portion
200: thermal insulation film
300: Velcro fastener

Claims (14)

삭제delete 배관에 나선형으로 감아서 사용되는 테이프 히터에 있어서:
내부에 발열체가 삽입되어 있는 테이프 형상의 발열 필름부; 및
상기 발열 필름부의 상면으로부터 단차지게 제공되고, 상기 발열 필름부의 상면을 덮기 위한 테이프 형상의 보온 필름부를 포함하되;
상기 보온 필름부는
상기 발열 필름부의 상면 일부에 접합되는 연결부분과, 상기 발열 필름부의 노출된 상면을 덮는 커버부분을 포함하며,
상기 배관에 나선형으로 권취될 때 앞서 권취된 상기 발열 필름부의 상면이 뒤에 권취되는 상기 보온 필름부의 상기 커버부분에 의해 덮혀지는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.In tape heaters spirally wound around piping:
A heat generating film portion having a tape shape into which a heat generating element is inserted; And
It is provided to be stepped from the top surface of the heat generating film portion, including a heat insulating film portion of the tape shape for covering the top surface of the heat generating film portion;
The thermal film part
A connection part bonded to a part of an upper surface of the heating film part, and a cover part covering an exposed upper surface of the heating film part,
And a top surface of the heat-generating film portion previously wound when the coil is spirally wound on the pipe is covered by the cover portion of the insulating film portion which is wound up later. 제 2 항에 있어서,
상기 발열 필름부의 상면과 상기 보온 필름부의 커버부분 저면에는 상호 고정을 위한 벨크로 화스너가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 2,
Tape heater, characterized in that the upper surface of the heat generating film portion and the bottom surface of the cover portion of the insulating film portion is provided with a Velcro fastener for mutual fixing. 제 2 항에 있어서,
상기 테이프 히터는 나선 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 2,
Tape heater, characterized in that the tape heater is made in a spiral shape. 제 4 항에 있어서,
상기 테이프 히터는
상기 나선 형상을 유지할 수 있도록 상기 발열 필름부 또는 상기 보온 필름부에 설치되는 심(shim)부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 4, wherein
The tape heater
The tape heater further comprises a shim member provided on the heat generating film portion or the heat insulating film portion to maintain the spiral shape. 제 5 항에 있어서,
상기 심 부재는 형상기억합금 또는 스프링형태의 강철 와이어인것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 5, wherein
The shim member is a tape heater, characterized in that the shape memory alloy or spring-shaped steel wire. 제 2 항에 있어서,
상기 발열체는 니크롬선, 실리콘이 코팅된 니크롬선, 카본 섬유, 액상 발열체, SUS 박판 중에 어느 하나인 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 2,
The heating element is a tape heater, characterized in that any one of nichrome wire, silicon coated nichrome wire, carbon fiber, liquid heating element, SUS thin plate. 제 2 항에 있어서,
상기 발열 필름부는
실리콘 함침 유리 섬유 필름, PET 필름, KAPTON 필름, TEFLON 필름, 실리콘 필름, 실리카 섬유, 세라믹 섬유 중어 적어도 하나로 이루어지는 내열 및 절연성이 우수한 소재를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 2,
The heating film portion
A tape heater comprising a material excellent in heat resistance and insulation, comprising at least one of a silicon-impregnated glass fiber film, PET film, KAPTON film, TEFLON film, silicon film, silica fiber, and ceramic fiber. 제 2 항에 있어서,
상기 보온 필름부는
신축 및 유연성이 있으며 보온성이 우수한 실리콘, 실리콘 폼, 유기섬유, 실리카, 유리섬유 중에 적어도 하나로 이루어지는 단열층을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 2,
The thermal film part
Tape heater, characterized in that it comprises a heat insulating layer made of at least one of stretchable, flexible and excellent thermal insulation silicone, silicone foam, organic fibers, silica, glass fibers. 제 2 항에 있어서,
상기 보온 필름부는
상기 단열층의 상면에 설치되고 상기 보온 필름부 및 상기 발열 필름부의 물리적 보호를 위한 외피를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 2,
The thermal film part
Tape heater is installed on the upper surface of the heat insulating layer and further comprising an outer cover for physical protection of the insulating film portion and the heat generating film portion. 삭제delete 배관에 나선형으로 감아서 사용되는 테이프 히터에 있어서:
상기 테이프 히터의 일측 상면과 타측 저면에는 소정 폭으로 상면 단차부분과 저면 단차부분이 길이방향을 따라 형성되어, 배관에 설치시 앞서 권취된 상기 상면 단차부분이 뒤에 권취되는 상기 저면 단차부분에 의해 덮이도록 겹쳐지면서 권취되되;
상기 상면 단차부분은
내열 및 절연성 소재의 제1필름시트와 제2필름시트 사이에 발열체가 설치되며,
상기 저면 단차부분은 단열재가 설치되는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.In tape heaters spirally wound around piping:
One side upper surface and the other bottom surface of the tape heater is formed in a predetermined width along the longitudinal step portion and the bottom step portion, the upper stepped portion wound before installation in the pipe is covered by the bottom stepped portion wound behind To be rolled up to overlap;
The upper stepped portion is
A heating element is installed between the first film sheet and the second film sheet of heat and insulating material,
The bottom step portion tape heater, characterized in that the heat insulating material is installed. 제 12 항에 있어서,
상기 상면 단차부분과 상기 저면 단차부분에는 상호 고정을 위한 벨크로 화스너가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 테이프 히터. The method of claim 12,
Tape heaters, characterized in that the upper stepped portion and the bottom stepped portion is provided with a Velcro fastener for mutual fixing. 제 12 항에 있어서,
상기 테이프 히터는 나선 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테이프 히터.The method of claim 12,
Tape heater, characterized in that the tape heater is made in a spiral shape.
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