KR101083605B1 - Surface plasmon resonance sensor - Google Patents
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- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 48
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 48
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 32
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002061 nanopillar Substances 0.000 claims description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000027455 binding Effects 0.000 description 2
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 2
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 210000004243 sweat Anatomy 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 1
- 239000012620 biological material Substances 0.000 description 1
- 150000001720 carbohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000002795 fluorescence method Methods 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 108091008039 hormone receptors Proteins 0.000 description 1
- 239000000017 hydrogel Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 239000012857 radioactive material Substances 0.000 description 1
- 108020003175 receptors Proteins 0.000 description 1
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
- G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
- G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons
- G01N21/554—Attenuated total reflection and using surface plasmons detecting the surface plasmon resonance of nanostructured metals, e.g. localised surface plasmon resonance
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N2021/258—Surface plasmon spectroscopy, e.g. micro- or nanoparticles in suspension
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
표면 플라즈몬 공명 센서에 관하여 개시한다. 본 발명의 장치는, 베이스 기판과; 베이스 기판 상에 형성된 금속 박막층과; 금속 박막 상에 형성된 결함을 갖는 광결정층이 구비되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 입사된 검사광에 의해서 형성된 표면 플라즈몬 파는 결함이 있는 광결정에서 소산파가 커지게 되고, 커진 소산파에 의해서 측정 대상물질의 아주 작은 양의 변화를 검출할 수 있게 됨으로써 광을 기반으로 하는 일반적인 센서에 비해 감도를 향상시킬 수 있다. Disclosed is a surface plasmon resonance sensor. The apparatus of the present invention comprises: a base substrate; A metal thin film layer formed on the base substrate; A photonic crystal layer having a defect formed on a metal thin film is provided. According to the present invention, the surface plasmon wave formed by the incident inspection light has a large dissipation wave in a defective photonic crystal, and the large dissipation wave can detect a very small amount of change of the substance to be measured. Sensitivity can be improved compared with the general sensor.
표면 플라즈몬 공명 센서, 광결정, 결함, 프리즘 Surface Plasmon Resonance Sensor, Photonic Crystal, Defect, Prism
Description
본 발명은 표면 플라즈몬 공명 센서 및 이를 이용한 특성 측정방법에 관한 것으로, 특히 결함을 갖는 광결정 구조를 이용한 플라즈몬 공명 센서 및 이를 이용한 특성 측정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a surface plasmon resonance sensor and a characteristic measuring method using the same, and more particularly, to a plasmon resonance sensor using a photonic crystal structure having a defect and a characteristic measuring method using the same.
현재 바이오 칩 연구는 DNA 칩 중심에서 단백질 칩, 탄수화물 칩 등으로 다변화되고 있는 추세이다. 종래 바이오 칩 연구는 엘립소메트리(ellipsometry) 측정법, 형광 분석법 등이 이용되어 왔다. 그러나 엘립소메트리 측정법은 편광의 변화를 이용하는 방법으로서 장치가 크고 측정에 오랜 시간이 요구되는 문제점이 있고, 형광 분석법은 형광물질과 결합시켜야 하는 불편함으로 인한 시간과 경비를 요구하는 문제점이 있다. 따라서, 현재 굴절률의 변화를 측정하여 생체 물질의 상호작용을 인지할 수 있는 표면 플라즈몬 공명(Surface Plasmon Resonance, SPR) 센서에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다.Currently, biochip research is diversifying from DNA chips to protein chips and carbohydrate chips. In the conventional biochip research, ellipsometry, fluorescence, and the like have been used. However, the ellipsometry method is a method using a change in polarization, the device is large and requires a long time for measurement, and the fluorescence method has a problem of requiring time and expense due to the inconvenience of combining with the fluorescent material. Therefore, studies on surface plasmon resonance (SPR) sensors that can recognize the interaction of biological materials by measuring the change in refractive index have been actively conducted.
표면 플라즈몬 공명 센서는 빛이 금속 박막의 표면에 흡수되었을 때 일어나는 표면 플라즈마 파(Surface Plasma Wave, SPW)의 공명 현상을 이용하는 센서이 다. 그리고 금속 박막에 생물학적 요소가 도입되어 생물변환기(biotransducer)를 구성하게 되면 SPR 바이오 센서가 된다. 표면 플라즈몬 공명은 빛이 금속 표면과의 상호작용에 의해 발생하는 양자역학적 광전 현상(Quantum optical-electrical phenomenon)을 말한다. 광자(photon)에 의해 수송되는 에너지는 특정 조건하에서 금속 표면상의 전자 즉, 플라즈몬으로 전달되는데, 에너지의 전달은 빛의 특정한 공명 파장(resonance wavelength)에서만 이루어진다. 이때의 공명 파장은 광자가 가진 양자 에너지와 플라즈몬의 양자 에너지 준위가 일치하게 되는 파장이다. 금속 박막에서 자유전자가 특정한 속성을 가진 입사광에 의해 표면 플라즈마 파를 형성하며, 이때 입사되는 전자파는 경계면에서 최대이며 점점 소멸되고, 반사광은 플라즈마 파 공명조건하에서 급격히 감소한다. 이 경우 자유공간에서의 파동수와 표면 플라즈몬의 파동수는 일치한다. Surface plasmon resonance sensor is a sensor that uses the resonance phenomenon of the surface plasma wave (SPW) that occurs when light is absorbed on the surface of the metal thin film. When a biological element is introduced into a metal thin film to form a biotransducer, it becomes an SPR biosensor. Surface plasmon resonance refers to a quantum optical-electrical phenomenon in which light is caused by interactions with metal surfaces. The energy transported by the photon is transferred to electrons on the metal surface, or plasmons, under certain conditions, and the transfer of energy occurs only at a certain resonance wavelength of light. The resonance wavelength at this time is a wavelength at which the quantum energy level of the photon and the quantum energy level of plasmon coincide. In the metal thin film, free electrons form a surface plasma wave by incident light having a specific property. The incident electromagnetic wave is the maximum at the interface and gradually disappears, and the reflected light rapidly decreases under the plasma wave resonance condition. In this case, the wave numbers in free space coincide with those of surface plasmons.
도 1은 표면 플라즈몬 공명을 이용한 종래의 센서 구조를 나타낸 개략도이다. 1 is a schematic view showing a conventional sensor structure using surface plasmon resonance.
도 1을 참조하면, 종래의 표면 플라즈몬 공명 센서는 유전체 매질의 경계면에 금속 박막(20)을 적층한 크레취만(Kretschmann) 구조를 갖는다. 광원(30)으로부터 방출된 레이저와 같은 단색광을 프리즘(10)과 같이 굴절률이 높은 매질 쪽으로 입사시키면, 프리즘(10)으로 입사된 광은 프리즘(10)의 바닥면에 위치하는 금속 박막(20)에서 반사되어 광원(30)의 반대편에 위치한 광검출기(40)에 도달한다. 그러나 프리즘(10)의 바닥면의 법선을 기준으로 하는 입사광의 입사각이 특정한 각이 되면, 광이 임계각 이상임에도 불구하고 반사되어 나오는 광이 급격히 줄어들게 된 다. 이러한 현상은 광학적 조건이 TM 모드 광파(Transverse Magnetic light wave)의 모멘트가 금속 박막(20)과 유전체 표면사이에서 전파되는 표면 플라즈몬 파의 모멘트와 같을 때 일어난다. 이와 같이 금속 박막(20)에 표면 플라즈몬 파가 여기되는 현상을 표면 플라즈몬 공명이라 하고, 공명의 결과로 반사된 후의 광에너지는 특정한 각도에서 급격히 감소한다.Referring to FIG. 1, a conventional surface plasmon resonance sensor has a Kretschmann structure in which a metal
SPR 센서의 기본적인 측정값은 센서의 응답신호 능력 즉, 빛의 세기, 각 응답신호 및 파장 응답신호이다. 각 응답신호가 SPR 센서의 측정값으로 사용될 때, 생체 분자들의 상호작용에 따른 성질은 반사된 빛의 세기가 최소가 되는 각(즉, SPR 각)의 이동량을 통하여 결정된다. 이때 SPR 센서의 출력은 매질이 금속 박막(20)과 접촉할 때 일어나는 매질의 유전상수변화에 매우 민감하다. 즉, 방해매질(Analyte)이 SPR 센서의 플로우 셀(Flow cell)을 통해 흘러감으로서 금속 박막(20)에 고정되어 있는 리셉터(Receptor)와의 상호작용에 의해 SPR 각이 이동한다. 그리고 SPR 센서는 측정 신호(즉, SPR 각의 이동량)을 굴절률(index of refractive)로 환산하여 방해매질인 생체 분자의 특성을 측정한다. The basic measured value of the SPR sensor is the response signal capability of the sensor, that is, the light intensity, each response signal, and the wavelength response signal. When each response signal is used as a measurement of the SPR sensor, the properties of the interaction of the biomolecules are determined through the amount of movement of the angle (ie, the SPR angle) at which the reflected light intensity is minimum. At this time, the output of the SPR sensor is very sensitive to the change in the dielectric constant of the medium occurs when the medium is in contact with the metal thin film (20). That is, as the analyte flows through the flow cell of the SPR sensor, the SPR angle is moved by interaction with the receptor fixed to the metal
이와 같이, SPR 센서는 금속 박막의 표면에 리간드(ligand)를 고정시키고, 생체 분자의 결합작용을 실시간으로 모니터링하여 생체 분자의 특성을 검출하는 소자이다. 서로 결합되는 생체 분자들의 예로는 항체-항원, 호르몬-수용체, 단백질-단백질, DNA-DNA, DNA-단백질 등을 들 수 있다. 리간드의 고정화 방법의 일예로서 리간드에 티올기를 공유결합에 의해 붙여서 티올화된 리간드를 금속 표면에 화학적으로 흡착시키는 방법을 들 수 있다. 또한 카르복실 메틸레이티드 덱스트 란(carboxyl-methylated dextran) 사슬로 구성된 히드로겔 매트릭스(hydrogel matrix)를 이용하여 리간드를 SPR 센서의 금속 박막 표면에 고정화하는 방법도 존재한다. 이러한 SPR 센서의 가장 큰 장점은 방사성 물질이나 형광 물질과 같은 지표 물질을 사용하지 않고 직접 분자를 측정할 수 있는 점이다. 나아가 SPR 센서를 이용하면 실시간으로 생체 분자의 결합과정을 모니터링할 수 있다. As such, the SPR sensor is a device for fixing a ligand on the surface of the metal thin film and monitoring the binding activity of the biomolecules in real time to detect characteristics of the biomolecules. Examples of biological molecules bound to each other include antibody-antigens, hormone-receptors, protein-proteins, DNA-DNA, DNA-proteins, and the like. As an example of a method of immobilizing a ligand, a method of chemically adsorbing a thiolated ligand to a metal surface by attaching a thiol group to a ligand by covalent bonding. There is also a method of immobilizing a ligand on the surface of a metal thin film of an SPR sensor using a hydrogel matrix composed of carboxyl-methylated dextran chains. The biggest advantage of these SPR sensors is that they can directly measure molecules without the use of indicator materials such as radioactive materials or fluorescent materials. Furthermore, the SPR sensor can monitor the binding process of biomolecules in real time.
상술한 바와 같은 종래의 프리즘에 금속 박막을 증착하여 제조한 SPR 센서는 측정 매질의 교환이 용이하고 측정 변수가 다양하다는 장점을 갖는다. The SPR sensor manufactured by depositing a metal thin film on a conventional prism as described above has the advantage that the measurement medium can be easily exchanged and the measurement parameters are varied.
그러나 현재 요구되는 바이오/환경 센서 시스템에서는 초고감도 수준의 정밀한 측정이 필요하다. 즉, 아주 작은 양의 땀이나, 호흡만을 가지고 다양한 생체 정보를 정확히 검출해내기 위해서는 종래의 SPR 센서는 측정에 한계가 있다.However, currently required bio / environmental sensor systems require precise measurements with very high sensitivity. That is, in order to accurately detect various biometric information with only a small amount of sweat or breath, the conventional SPR sensor has a limitation in measurement.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 초고감도 수준의 정밀한 측정을 할 수 있는 표면 플라즈몬 공명 센서 및 이를 이용한 특성 측정방법을 제공하는데 있다. Accordingly, a technical object of the present invention is to provide a surface plasmon resonance sensor and a characteristic measuring method using the same that can make an accurate measurement of a very high sensitivity level.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는: 베이스 기판과; 상기 베이스 기판 상에 형성된 금속 박막층과; 상기 금속 박막 상에 형성된 결함을 갖는 광결정층이 구비되는 것을 특징으로 한다.Surface plasmon resonance sensor according to the present invention for achieving the above technical problem is a base substrate; A metal thin film layer formed on the base substrate; A photonic crystal layer having a defect formed on the metal thin film is provided.
이 때, 상기 광결정층은 금속 광결정층인 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 광결정층은 유전체 광결정층인 것을 특징으로 한다. 그리고 상기 금속 광결정층 상에 형성된 결함이 있는 유전체 광결정층이 더 형성되는 것을 특징으로 한다.At this time, the photonic crystal layer is characterized in that the metal photonic crystal layer. In addition, the photonic crystal layer is characterized in that the dielectric photonic crystal layer. And a defective dielectric photonic crystal layer formed on the metal photonic crystal layer is further formed.
나아가, 상술한 각각의 예에 있어서 상기 베이스 기판과 상기 금속 박막층 사이에 Cr층이 개재되는 것이 바람직하다.Furthermore, in each example mentioned above, it is preferable that a Cr layer is interposed between the base substrate and the metal thin film layer.
또한, 상술한 각각의 예에 있어서 표면 플라즈몬 공명센서는 고굴절률을 갖는 매질 상에 형성되는 것이 바람직하다. 이 때, 상기 고굴절률을 갖는 매질은 프리즘인 것을 특징으로 한다.Further, in each of the above examples, the surface plasmon resonance sensor is preferably formed on a medium having a high refractive index. At this time, the medium having the high refractive index is characterized in that the prism.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 이용한 특성 측정방법은: 검사광이 상기 결함 부분에서 측정하고자 하는 피검체와의 반응으로 발생하는 공명각의 변화로 상기 피검체의 특성을 측정하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method for measuring a characteristic using a surface plasmon resonance sensor according to the present invention. It is characterized by measuring the characteristics.
본 발명에 따른 결함을 갖는 광결정 구조를 이용한 표면 플라즈몬 공명 센서 및 이를 이용한 특성 측정방법에 의하면, 입사된 검사광에 의해서 형성된 표면 플라즈몬 파는 결함이 있는 광결정에서 소산파가 커지게 되고, 커진 소산파에 의해서 측정 대상물질의 아주 작은 양의 변화를 검출할 수 있게 됨으로써 광을 기반으로 하는 일반적인 센서에 비해 감도를 향상시킬 수 있다. According to the surface plasmon resonance sensor using the photonic crystal structure having a defect according to the present invention and the characteristic measurement method using the same, the surface plasmon wave formed by the incident inspection light has a large dissipation wave in the defective photonic crystal, As a result, the small amount of change in the material to be measured can be detected, thereby improving sensitivity compared to general sensors based on light.
따라서 광결정의 결함 부분에서 반응성을 고감도로 향상시켜 아주 작은 양의 땀이나, 호흡만을 가지고 다양한 생체 정보를 정확히 검출해낼 수 있는 이점이 있다. 즉, 금속 박막에 형성된 광결정 구조의 높은 반응성으로 인해서 바이오뿐만 아 니라 환경 등 다양한 센서로 응용이 가능하다. Therefore, there is an advantage that it is possible to accurately detect various biometric information with only a small amount of sweat or respiration by improving the reactivity with high sensitivity at the defect part of the photonic crystal. That is, due to the high reactivity of the photonic crystal structure formed in the metal thin film, it can be applied to various sensors such as bio and environment.
첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. With reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.
도 2a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도이고, 도 2b는 도 2a의 A-A' 선에 따른 단면도이며, 도 3a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도이고, 도 3b는 도 3a의 B-B' 선에 따른 단면도이며, 도 4a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도이고, 도 4b는 도 2a의 C-C' 선에 따른 단면도이며, 도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도이다.2A is a schematic diagram illustrating a surface plasmon resonance sensor according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2A, and FIG. 3A is a surface according to a second embodiment of the present invention. 3B is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG. 3A, FIG. 4A is a schematic diagram illustrating a surface plasmon resonance sensor according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 4B is FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line CC ′ of FIG. 2, and FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a surface plasmon resonance sensor according to a fourth embodiment of the present invention.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는 유전체 기판(110) 상에 Cr층(120), 금속 박막층(130) 및 일정한 간격으로 결함(141)을 갖는 금속 광결정층(140)이 순차적으로 적층되어 이루어진다. 이 때, 금속 박막(130) 및 상기 금속 광결정(140)은 Au, Al, Ag 또는 Cu 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지며, 광결정은 나노 홀 또는 나노 기둥을 포함하는 것을 특징으로 한다. Cr층(120)은 유전체 기판(110)과 금속 박막(130) 사이의 결합을 강하게 해준다.2A and 2B, the surface plasmon resonance sensor according to the first exemplary embodiment of the present invention detects the
본 실시예에 따른 센서에 입사된 검사광은 광경로를 따라서 결함(141)이 있는 금속 광결정(140)에서 반사되어 출사된다. 입사된 검사광에 의해서 형성된 표면 플라즈몬 파는 결함이 있는 광결정에서 소산파가 커지게 되고, 커진 소산파에 의해서 측정 대상물질의 아주 작은 양의 변화를 검출할 수 있게 된다. The inspection light incident on the sensor according to the present exemplary embodiment is reflected and emitted from the metal
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는 유전체 기판(110) 상에 Cr층(120), 금속 박막층(130) 및 일정한 간격으로 결함(211)을 갖는 유전체 광결정층(210)이 순차적으로 적층되어 이루어진다. 이 때, 유전체 광결정층(210)은 ZnO, TiO2, SiO2 또는 SiNx 중에서 선택된 어느 하나로 이루어진다. 검출 방식은 상술한 제1 실시예에 따른 검출 방식과 동일하므로 반복되는 설명은 생략한다.3A and 3B, the surface plasmon resonance sensor according to the second exemplary embodiment of the present invention detects the
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는 유전체 기판(110) 상에 Cr층(120), 금속 박막층(130), 일정한 간격으로 결함(141)을 갖는 금속 광결정층(140) 및 일정한 간격으로 결함(211)을 갖는 유전체 광결정층(210)이 순차적으로 적층되어 이루어진다. 이 때, 금속 광결정의 결함(141)과 유전체 광결정의 결함(211)이 동일 위치에 위치되도록 형성된다. 검출 방식은 상술한 제1 실시예에 따른 검출 방식과 동일하므로 반복되는 설명은 생략한다.4A and 4B, the surface plasmon resonance sensor according to the third exemplary embodiment of the present invention detects the
도 5를 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는 프리즘(300) 상에 상술한 제1, 제2 또는 제3 실시예에 표면 플라즈몬 공명 센서가 형성된 것이다. 즉, 프리즘(300) 상에 유전체 기판(110), Cr층(120), 금속 박막층(130), 일정한 간격으로 결함(141 또는 211)을 갖는 금속 광결정(140) 또는 유전체 광결정층(210)이 순차적으로 적층되어 이루어진다. 프리즘(300)과 같이 굴절률이 높은 매질 쪽으로 검사광이 입사되면, 검사광은 프리즘(300)의 바닥면에 위치하는 금속 박막층(130)에서 반사되어 일정한 각을 가지고 출사된다. 광결정(140 또는 210) 구조가 결합된 표면 플라즈몬 공명 센서는 특정 파장의 빛이 특정한 입사각으로 금속 박막층(130)에 도달할 때 표면 플라즈몬 공명 현상을 보이는데, 이때 생성된 플라즈몬 파가 광결정 구조의 결함(141 또는 211) 부분에서 소산파의 증폭이 발생하게 된다. 표면 플라즈몬 공명 현상은 소산파가 도달하는 금속 박막층(130) 외부의 유효굴절률에 따라 공명각이 매우 민감하게 바뀌는데, 소산파가 증폭되면 센서의 감도 역시 증가하게 된다. 광결정(140 또는 210)의 결함(141 또는 211) 부분에서 측정하고자 하는 물질과 반응하게 되면, 표면의 유효굴절률이 변하게 되어 공명각이 변하게 된다. 결함(141 또는 211)이 있는 광결정(140 또는 210)에서 측정대상물질이 반응하여 발생하는 표면 플라즈몬 공명에 의한 공진조건의 변화를 기초로, 결함(141 또는 211) 부분에서 반응하는 측정대상물질의 농도를 포함하는 특성을 검출할 수 있다. Referring to FIG. 5, in the surface plasmon resonance sensor according to the fourth embodiment of the present invention, the surface plasmon resonance sensor is formed on the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음은 자명하다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below It is self-evident.
도 1은 표면 플라즈몬 공명을 이용한 종래의 센서 구조를 나타낸 개략도; 1 is a schematic diagram showing a conventional sensor structure using surface plasmon resonance;
도 2a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도;2A is a schematic diagram for explaining a surface plasmon resonance sensor according to a first embodiment of the present invention;
도 2b는 도 2a의 A-A' 선에 따른 단면도;FIG. 2B is a cross sectional view along line AA ′ in FIG. 2A;
도 3a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도;3A is a schematic diagram for explaining a surface plasmon resonance sensor according to a second embodiment of the present invention;
도 3b는 도 3a의 B-B' 선에 따른 단면도;3B is a cross sectional view along line B-B 'of FIG. 3A;
도 4a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도;4A is a schematic diagram for explaining a surface plasmon resonance sensor according to a third embodiment of the present invention;
도 4b는 도 2a의 C-C' 선에 따른 단면도; 및4B is a cross sectional view along line C-C 'of FIG. 2A; And
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서를 설명하기 위한 개략도이다.5 is a schematic diagram illustrating a surface plasmon resonance sensor according to a fourth embodiment of the present invention.
* 도면 중의 주요부분에 대한 참조번호의 설명 *Explanation of Reference Numbers for Main Parts in Drawings
10: 프리즘 20: 금속 박막10: prism 20: metal thin film
30: 광원 40: 광검출기30: light source 40: photodetector
110: 유전체 기판 120: Cr층110: dielectric substrate 120: Cr layer
130: 금속 박막층 140: 금속 광결정층130: metal thin film layer 140: metal photonic crystal layer
141: (금속 광결정의) 결함 210: 유전체 광결정층141: Defect 210 (of metal photonic crystal) Dielectric photonic crystal layer
211: (유전체 광결정의) 결함211: defect (of dielectric photonic crystal)
Claims (13)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020090033085A KR101083605B1 (en) | 2009-04-16 | 2009-04-16 | Surface plasmon resonance sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020090033085A KR101083605B1 (en) | 2009-04-16 | 2009-04-16 | Surface plasmon resonance sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20100114622A KR20100114622A (en) | 2010-10-26 |
| KR101083605B1 true KR101083605B1 (en) | 2011-11-16 |
Family
ID=43133738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020090033085A KR101083605B1 (en) | 2009-04-16 | 2009-04-16 | Surface plasmon resonance sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101083605B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018041267A1 (en) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | 上海交通大学 | Metal micro-nano structure and optical fibre with end face having same |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5900615B2 (en) * | 2013-04-12 | 2016-04-06 | 日本精工株式会社 | Target substance capture device |
| KR102470256B1 (en) * | 2020-12-23 | 2022-11-25 | 광운대학교 산학협력단 | Substrate for photodetector comprising network nanostructures and photodetector using the same |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080225293A1 (en) | 2006-07-25 | 2008-09-18 | The Regents Of The University Of Michigan | Photonic crystal sensor |
-
2009
- 2009-04-16 KR KR1020090033085A patent/KR101083605B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US11137353B2 (en) | 2016-08-29 | 2021-10-05 | Shanghai Jiaotong University | Metallic micro/nano-structure and optical fiber having a micro/nano-structure on the end-facet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20100114622A (en) | 2010-10-26 |
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| FPAY | Annual fee payment |
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|
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|
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|
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