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KR100984333B1 - 전기 기계 변환기 및 그 제작방법 - Google Patents

전기 기계 변환기 및 그 제작방법 Download PDF

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KR100984333B1
KR100984333B1 KR1020080070084A KR20080070084A KR100984333B1 KR 100984333 B1 KR100984333 B1 KR 100984333B1 KR 1020080070084 A KR1020080070084 A KR 1020080070084A KR 20080070084 A KR20080070084 A KR 20080070084A KR 100984333 B1 KR100984333 B1 KR 100984333B1
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electro
piezoelectric
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한재흥
강래형
이종원
정상준
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국방과학연구소
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Abstract

본 발명은 구조물의 변형 및 진동이나 유체의 흐름을 감지하거나, 제어력을 가하여 구조물의 변형 및 진동이나 유체의 흐름을 제어할 수 있도록 하는, 전기 기계 변환기 및 그 제작방법에 관한 것으로서,
전기 기계 변환기는, 초기 응력이 가해진 기저 구조물(12)과; 기저 구조물(12)에 부착되는 전기작동 재료층(11)과; 전기작동 재료층(11)이 구동될 수 있도록 하는 전극(11a)(11b);을 포함하여 이루어지고, 기저 구조물(12)에 가해진 초기 응력을 제거하였을 때 기저 구조물(12) 및 전기작동 재료층(11)이 변형되어 곡률을 갖는 것을 특징으로 하고,
전기 기계 변환기 제작방법은, 장비를 이용하여 기저 구조물(12)에 응력을 가하는 단계; 전극(11a)(11b)을 포함한 전기작동 재료층(11)을 기저 구조물(12)에 접착제로 부착하는 단계; 접착제가 완전 경화될 때까지 대기하는 단계; 전기작동 재료층(11)이 접착된 기저 구조물(12)을 장비로부터 분리하여 전기 기계 변환기(10)를 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
전기기계변환기, 작동기, 센서, 액츄에이터, THUNDER, 유니모프, 바이모프, 압전, 전기구동

Description

전기 기계 변환기 및 그 제작방법 { Electromechanical Transducer and Manufacturing Method of the Same }
본 발명은 구조물의 변형 및 진동이나 유체의 흐름을 감지하거나, 제어력을 가하여 구조물의 변형 및 진동이나 유체의 흐름을 제어할 수 있도록 하는, 전기 기계 변환기 및 그 제작방법에 관한 것이다.
일반적으로 전기 기계 변환기는 기계적 움직임을 전기적 신호로 변환하거나 전기적 신호를 기계적 움직임으로 변환시키는 장치를 의미한다. 대표적인 전기 기계 변환기로는 압전 센서 및 압전 작동기가 있으며, 이하에서는 압전 작동기를 위주로 하여 설명한다.
압전 작동기는 전기적 신호에 따라 기계적 움직임을 발생시키는 장치로서, 이러한 압전 작동기를 이용하여 기계, 항공 우주 구조물, 토목 구조물 등에 적용되어 온 기존의 유공압 작동기 또는 전기 모터 등의 작동기를 대체하려는 시도가 널리 이루어지고 있다.
그런데, 통상의 단일(Monolithic) 압전 작동기는, 압전 작동에 따라 유발되는 길이 방향 변형률이 0.1~0.2% 정도로 매우 작고 재료 자체가 취성이 강하여 피 로 특성이 좋지 않은 단점이 있다. 따라서, 이러한 단점을 극복하기 위하여 증폭 메커니즘을 이용한 다양한 형태의 압전 작동기가 개발되었다.
이러한 증폭형 작동기 중 외부의 부가적인 장치 없이 재료의 굽힘(Bending)이나 압전재료의 길이 방향으로의 팽창을 이용하여 변위를 증폭한 작동기를 내부 증폭형(Internally Leveraged) 작동기 또는 벤더형(Bender) 작동기라고 하며, 유니모프(Unimorph) 작동기와 바이모프(Bimorph) 작동기, 수축된 내부 물성변화 산화물 세라믹층 압전 작동기(Reduced And INternally Biased Oxide Wafer; 이하 'RAINBOW'라 한다) 및 박판 유니모프 작동기(THin layer UNimorph DrivER; 이하 'THUNDER'라 한다) 등이 여기에 속한다.
상기한 유니모프 작동기는 도 1에 도시된 바와 같이 금속층(51)에 압전층(52)을 부착한 형태로 구성되고, 바이모프 작동기는 두 개의 압전층을 부착시킨 형태로 구성되며, 압전층(51)에 전기장이 가해질 때 인장 또는 수축이 발생하여 작동기 전체에 굽힘을 유발한다. 이러한 유니모프 작동기와 바이모프 작동기는 상대적으로 큰 작동변위를 유발하지만 작동력이 작은 단점이 있다.
그리고, 상기한 RAINBOW는, PZT(납-지르코늄-티타늄 복합산화물)와 같이 납을 포함하는 압전세라믹의 한 면을 화학적인 반응을 통하여 환원시킨 것으로서, 다음과 같은 공정에 의하여 제작되고 있다. 즉, 압전재료를 그래파이트(Graphite) 블록 위에 놓고 975℃ 정도의 고온으로 가열하게 되면, 그래파이트와 압전재료 경계면에서 압전재료로부터 산소가 빠져나가게 되고, 그로 인하여 압전재료층과 금속성의 비압전재료층이 결합된 단일 구조가 생성된다. 이를 상온에서 냉각시키면 두 층 사이의 열팽창 계수의 차이로 인해 곡률을 가지는 돔(Dome) 형태의 구조물이 제작된다. 이런 작동기는 펌핑 운동(Pumping Motion)을 통해 큰 작동 변위를 얻게 된다.
또, 미항공우주국(NASA) 랭리(Langley) 연구소에서 개발된 THUNDER는, 고온 경화용 접착제를 사용하여 얇은 압전세라믹과 금속판을 접합하여 제작한 것으로, 오토클레이브(Autoclave)에서 약 320℃로 경화시켜 제작하고 있다. 이 THUNDER는 상기한 RAINBOW와 마찬가지로 세라믹과 금속의 열팽창 계수 차이에 의해 곡률을 가지게 되고 압전층에 전압을 가해 발생하는 펌핑 운동을 이용해 큰 변위를 얻게 된다. 또한, 곡률을 갖는 형태의 작동기는 면외 방향(Out-of-Plane)으로 자체의 강성(Stiffness)이 증대되므로 유니모프 작동기나 바이모프 작동기에 비해 힘 특성이 더욱 향상된다.
한편, 건국대에서는 상기한 THUNDER의 개량형인 LIPCA(LIghtweight Piezo-composite Curved Actuator)를 개발하였다. 이는 THUNDER의 금속층을 섬유강화 복합재료로 대체한 작동기로서 섬유강화 복합재의 제조공정을 따라 177℃에서 경화되며 섬유강화 프리프레그(Prepreg)가 접착제 역할을 하기 때문에, 따로 접착층이 필요가 없어 제작 과정이 THUNDER에 비해 간단하다. 또한 THUNDER에 비해 약 40% 정도 경량이며 복합재료의 적층에 따른 구조적 성능 변화를 이용하면 다양한 형태의 작동기를 제작할 수 있다는 장점이 보고되어 있다.
도 2는 현재 시판되고 있는 상용 압전 작동기의 변위-힘 관계를 나타낸 그래프로서, THUNDER의 변위 특성이 매우 좋음을 알 수 있다. THUNDER의 경우 현재까지 개발된 벤더형 작동기 중 가장 성능이 좋다고 알려져 있으나, 제작 과정이 고온에서 이루어지므로 고온 접착용 특수 접착제가 필요하고, 고온에서 압전 세라믹의 압전 특성이 사라지므로 상온에서 다시 분극(Poling) 과정을 거쳐야 하는 단점이 있다. 그리고, THUNDER에 비해 제작 과정이 간단한 LIPCA도 복합재 제조 과정에서 오토 클레이브 장비가 요구되고, 경화되는데 시간이 필요하므로 짧은 시간 내에 작동기를 제작할 수 없는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, THUNDER의 제작과정을 단순화하기 위하여, 상온에서 금속층에 기계적인 힘을 가해 미리 변형 시켜둔 상태에서 전기작동 재료를 부착하여 최종 제작된 형상이 곡면을 가짐은 물론, 제작 후 따로 분극 과정 없이 바로 사용할 수 있도록 함으로써, 그 제작 기간을 단축시킬 수 있는 전기 기계 변환기 및 그 제작방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
구체적으로, 한 층 이상의 기저 구조물에 초기 변형을 가한 상태에서 다른 층을 접합시킨 후 초기 변형을 제거하여 전기 기계 변환기를 제작함으로써, 면외 방향으로 전기 기계 변환기 자체의 강성을 증가시키고, 펌핑 운동을 통해 작동력을 발생하거나 외부 자극에 의해 발생하는 움직임을 감지할 수 있도록 한 것이다.
또, 본 발명은, 열팽창 계수의 차이가 있는 재료뿐 아니라 열팽창 계수의 차이가 거의 없는 재료를 상온에서 접합하여 제작함으로써 고온 경화 및 재분극 과정이 없어 제작시간이 단축되고, 단일 압전 작동기에 비해 작동 변위 및 힘 특성이 우수함과 동시에 피로 특성이 향상된 전기 기계 변환기 및 그 제작방법을 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 전기작동 재료층에 내부 응력을 분포하게 함으로써 전기작동 재료층의 변형 성능 항샹 또는 피로 특성을 향상시킨 전기 기계 변환기 및 그 제작방법을 제공하는데 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전기 기계 변환기는, 초기 응력이 가해진 기저 구조물과; 상기 기저 구조물에 부착되는 전기작동 재료층과; 상기 전기작동 재료층이 구동될 수 있도록 하는 전극;을 포함하여 이루어지고, 상기 기저 구조물에 가해진 초기 응력을 제거하였을 때 상기 기저 구조물 및 전기작동 재료층이 변형되어 곡률을 갖는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 전기 기계 변환기에 따르면, 상기 기저 구조물 및 전기작동 재료층의 두께비는 하기의 수식에 의해 결정되는 것을 특징으로 한다;
Figure 112008051810715-pat00001
여기서, 상기
Figure 112008051810715-pat00002
는 상기 기저 구조물의 두께(tm)와 상기 전기작동 재료층의 두께(tp) 사이의 비(tm/tp)이고, 상기
Figure 112008051810715-pat00003
는 상기 기저 구조물의 탄성계수(1/sm)와 상기 전기작동 재료층의 탄성계수(1/sp) 사이의 비(sp/sm)를 의미한다.
또한, 본 발명의 전기 기계 변환기에 따르면, 상기 기저 구조물은, 금속, 유리, 플라스틱, 복합재료, 세라믹, 압전재료 또는 형상기억합금 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 전기 기계 변환기에 따르면, 상기 전기작동 재료층은, 압전 세라믹, 압전 필름, 압전 파이버, 전기작동 폴리머, 강유전체, 형상기억합금 또는 전왜재료 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 한다.
삭제
그리고, 본 발명에 의한 전기 기계 변환기 제작방법은, 장비를 이용하여 기저 구조물에 응력을 가하는 단계; 전극을 포함한 전기작동 재료층을 상기 기저 구조물에 접착제로 부착하는 단계; 상기 접착제가 완전 경화될 때까지 대기하는 단계; 상기 전기작동 재료층이 접착된 상기 기저 구조물을 장비로부터 분리하여 전기 기계 변환기를 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 전기 기계 변환기 제작방법에 따르면, 상기 기저 구조물에 응력을 가한 상태에서 상기 기저 구조물의 변형률을 측정하여 변형량이 적절한지 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전기 기계 변환기 제작방법은, 상기 전기 기계 변환기가 완성된 후, 상기 전기작동 재료층의 전극에 전기 신호를 입력하여 상기 전기 기계 변환기를 변형시키거나 상기 기저 구조물에 변형을 가하여 상기 전기작동 재료층에서 발생하는 전기신호를 취득하여, 상기 전기 기계 변환기의 작동 상태를 테스트하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 본 발명의 전기 기계 변환기는, 전기작동 재료층에 내부 응력을 분포하게 함으로써 전기작동 재료층의 변형 성능 항샹 또는 피로 특성이 향상되는 효과가 있다.
또, 본 발명의 전기 기계 변환기에 따르면, 각 재료층의 두께비를 최적화함 으로써 변위 및 힘 성능이 향상되도록 하는 효과가 있다.
그리고, 본 발명의 전기 기계 변환기 제작방법에 따르면, 기저 구조물에 초기 응력을 가한 상태에서 전기작동 재료층을 부착하여 전기 기계 변환기를 제작하게 되므로, 완성된 제품을 추가로 가공하지 않고도 곡률을 가진 전기 기계 변환기를 얻을 수 있음은 물론 제작기간의 단축을 통해 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또, 본 발명의 전기 기계 변환기 제작방법에 따르면, 각 재료층의 두께비를 조절하여 최적의 조합으로 전기 기계 변환기를 제작할 수 있으므로, 변위 및 힘 성능이 우수한 전기 기계 변환기를 얻을 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 전기 기계 변환기를 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 의한 전기 기계 변환기가 개략적으로 도시된 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따라 두께비를 최적화한 유니모프 작동기와 그렇지 않은 유니모프 작동기에서의 두께비에 따라 유발되는 변위 특성을 나타낸 그래프이며, 도 5는 본 발명의 전기 기계 변환기와 종래의 박판 유니모프 작동기(THUNDER)의 변위 특성을 비교한 그래프이다.
본 발명에 의한 전기 기계 변환기는, 초기 응력이 가해진 기저 구조물(12)과; 상기 기저 구조물(12)에 부착되는 전기작동 재료층(11)과; 상기 전기작동 재료 층(11)이 구동될 수 있도록 하는 전극(11a)(11b);을 포함하여 이루어지며, 상기 기저 구조물(12)에 가해진 초기 응력을 제거하였을 때 상기 기저 구조물(12) 및 전기작동 재료층(11)이 변형되어 곡률을 갖는 구조로 형성된다.
여기서, 상기 기저 구조물(12)의 재료로는, 금속, 유리, 플라스틱, 복합재료, 세라믹, 압전재료 또는 형상기억합금이 있으며, 상기 전기작동 재료층(11)의 재료로는, 압전 세라믹, 압전 필름, 압전 파이버, 전기작동 폴리머, 강유전체, 형상기억합금 또는 전왜재료가 있다.
이때, 상기 기저 구조물(12) 및 전기작동 재료층(11)의 두께비는 하기의 수학식 1에 의해 결정된다.
Figure 112008051810715-pat00004
여기서, 상기
Figure 112008051810715-pat00005
는 상기 기저 구조물(12)의 두께(tm)와 상기 전기작동 재료층(11)의 두께(tp) 사이의 비(tm/tp)이고, 상기
Figure 112008051810715-pat00006
는 상기 기저 구조물(12)의 탄성계수(1/sm)와 상기 전기작동 재료층(11)의 탄성계수(1/sp) 사이의 비(sp/sm)를 의미한다.
외팔보 경계조건에서 유니모프 작동기의 변위 및 힘은 하기의 수학식 2와 같이 표현되고 있다.
Figure 112008051810715-pat00007
여기서,
Figure 112008051810715-pat00008
는 작동 변위, F는 작동력, E는 전계로서 인가 전압을 전기작동 재료층의 두께로 나누어 준 값이다. 그리고, L은 유니모프 작동기의 길이, ttot 는 유니모프 작동기의 전체 두께,
Figure 112008051810715-pat00009
는 유니모프 작동기의 너비, d31 은 압전 계수로서 전계에 따라 발생하는 자유 변형률을 나타낸다. 또, sp는 전기작동 재료층(11)의 탄성계수의 역수이며, 물질의 재질에 따라 결정되는 물질 상수(컴플라이언스;compliance)이다.
이것을 고려하여 살펴보면, 유니모프 작동기를 구성하는 재료와 형상, 가해지는 전압이 정해졌을 때 작동 변위와 작동력은 두 층의 두께비와 탄성계수비에 의해 결정됨을 알 수 있다. 상기한 수학식 2를 최적화하면, 상기한 수학식 1과 같은 결과를 얻을 수 있다.
도 4는 상기 식(1)과 식(2) 및 하기 표 1에 나타낸 재료를 이용하여 구성된 다양한 유니모프 작동기의 변위 특성을 나타낸 그래프이다. 도 4에 따르면, 최적화 공식을 사용하여 제작된 작동기(S1,C2,A1)의 성능이 그렇지 않은 작동기에 비해 보다 큰 변위를 유발함을 알 수 있다. 또한, 종래의 박판 유니모프 작동기(THUNDER) 중 TH-8R의 경우 두께 최적화가 되어 있지 않기 때문에, 그 변형 특성 또한 최적화 공식을 사용하여 제작된 작동기에 비해 변위 성능이 더 떨어짐을 알 수 있다.
Figure 112008079445630-pat00020
상기한 본 발명의 전기 기계 변환기는 다음과 같은 공정을 통해 제작된다.
먼저, 장비(도시 생략)를 이용하여 기저 구조물(12)에 응력을 가한 후, 상기 기저 구조물(12)에 전극(11a)(11b)을 포함한 전기작동 재료층(11)을 접착제로 부착하고, 상기 접착제가 완전 경화될 때까지 대기한다. 상기 접착제가 완전 경화되면 상기 전기작동 재료층(11)이 접착된 상기 기저 구조물(12)을 장비로부터 분리하여 전기 기계 변환기(10)를 완성한다.
여기서, 상기한 전기 기계 변환기 제작공정은 모두 상온에서 이루어지므로, 고온에서 기저 구조물과 전기작동 재료층을 접합시키는 종래의 제작방법에 비해 쉽고 간편한 작업이 가능하고 제작시간을 단축할 수 있다.
그리고, 상기한 공정을 통해 제작 완료된 전기 기계 변환기(10)는 단독으로도 사용할 수 있으나, 상기 전기 기계 변환기(10)를 상하로 적층함으로써 복층으로 이루어진 전기 기계 변환 시스템을 구성하여 사용할 수도 있다. 따라서, 이와 같이 전기 기계 변환 시스템을 구성하게 되면, 작동력을 증대시키거나 강성을 증대시킬 수 있다. 따라서, 큰 힘과 변위가 필요한 다양한 분야에서 이용 가능하다. 예를 들어, 항공기, 우주 구조물 등에서 발생하는 진동 문제 및 변형을 제어 및 감지하는 데 사용할 수 있고 교량과 같은 토목 구조물에도 적용이 가능하다.
또한, 제작 완료된 상기 전기 기계 변환기(10)를 이용하여 음압을 유발하는 음향 장치를 구성할 수도 있다. 즉, 상기 전기 기계 변환기(10)를 스피커 등의 음향장치에도 적용하는 것이다.
한편, 상기 기저 구조물(12)에 응력을 가한 상태에서 상기 기저 구조물(12)의 변형률을 측정하여 변형량이 적절한지 확인할 필요가 있다. 이에 따라 전기 기계 변환기의 곡률을 적절하게 설정하는 것이 가능하다.
그리고, 상기 전기 기계 변환기(10)가 완성된 후, 상기 전기작동 재료층(11)의 전극(11a)(11b)에 전기 신호를 입력하여 전기 기계 변환기(10)를 변형시키거나 상기 기저 구조물(12)에 변형을 가하여 상기 전기작동 재료층(11)에서 발생하는 전기신호를 취득하여, 상기 전기 기계 변환기(10)의 작동 상태를 테스트하게 된다.
한편, 이상의 공정을 통해 제작된 전기 기계 변환기(10)와 종래의 박판 유니모프 작동기의 작동변위를 각각 실험을 통해 비교하여, 도 5와 같은 결과를 얻을 수 있었다. 이 실험에 따르면 본 발명에 의한 전기 기계 변환기의 변위 성능이 종래의 박판 유니모프 작동기에 비해 10~30% 정도 우수함을 확인할 수 있다.
이상에서는 전기 기계 변환기를 작동기로 사용한 경우를 위주로 하여 설명하였으나, 본 발명의 전기 기계 변환기 기술은 작동기가 아닌 센서에도 적용이 가능하다. 구체적으로 밸브, 스위치, 펌프 등 기계 장비에 이용가능하며, 스피커 등의 음향 장비, 유량계, 변형 측정기, 힘 측정기 등으로도 활용 가능하다. 그리고, 본 발명의 기술은 기계, 항공우주, 전자, 건축, 토목 등 여러 분야에 적용이 되어 기존의 다양한 작동기 및 센서를 대체할 수 있을 것으로 기대된다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이 같은 특정 실시 예에만 한정되지 않으며, 해당분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 특허청구범위 내에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경이 가능할 것이다.
도 1은 일반적인 유니모프 작동기의 구조를 나타낸 개념도.
도 2는 시판중인 상용 압전 작동기의 변위-힘 관계를 나타낸 그래프.
도 3은 본 발명에 의한 전기 기계 변환기가 개략적으로 도시된 구성도.
도 4는 유니모프 작동기에서 두께비에 따라 유발되는 변위 특성을 나타낸 그래프.
도 5는 본 발명의 전기 기계 변환기와 종래의 박판 유니모프 작동기의 변위 특성을 비교한 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 전기 기계 변환기
11: 전기작동 재료층
11a, 11b: 전극
12: 기저 구조물

Claims (9)

  1. 기계적 움직임을 전기적 신호로 변환하거나 전기적 신호를 기계적 움직임으로 변환시키는 전기 기계 변환기(10)에 있어서,
    기계적인 힘에 의해 초기 응력이 가해진 기저 구조물(12)과;
    상기 기저 구조물(12)에 부착되는 전기작동 재료층(11)과;
    상기 전기작동 재료층(11)이 구동될 수 있도록 하는 전극(11a)(11b);을 포함하여 이루어지고,
    상기 기저 구조물(12)에 가해진 초기 응력을 제거하였을 때 상기 기저 구조물(12) 및 전기작동 재료층(11)이 변형되어 곡률을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기저 구조물(12) 및 전기작동 재료층(11)의 두께비(
    Figure 112008051810715-pat00011
    )는 하기의 수식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환기;
    Figure 112008051810715-pat00012
    여기서, 상기
    Figure 112008051810715-pat00013
    는 상기 기저 구조물(12)의 두께(tm)와 상기 전기작동 재료층(11)의 두께(tp) 사이의 비(tm/tp)이고, 상기
    Figure 112008051810715-pat00014
    는 상기 기저 구조물(12)의 탄성계수(1/sm)와 상기 전기작동 재료층(11)의 탄성계수(1/sp) 사이의 비(sp/sm)를 의미 한다.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기저 구조물(12)은, 금속, 유리, 플라스틱, 복합재료, 세라믹, 압전재료 또는 형상기억합금 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전기작동 재료층(11)은, 압전 세라믹, 압전 필름, 압전 파이버, 전기작동 폴리머, 강유전체, 형상기억합금 또는 전왜재료 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환기.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 전기 기계 변환기(10)를 제작하는 방법에 있어서,
    장비를 이용하여 기계적인 힘으로 기저 구조물(12)에 응력을 가하는 단계;
    전극(11a)(11b)을 포함한 전기작동 재료층(11)을 상기 기저 구조물(12)에 접착제로 부착하는 단계;
    상기 접착제가 완전 경화될 때까지 대기하는 단계;
    상기 전기작동 재료층(11)이 접착된 상기 기저 구조물(12)을 장비로부터 분리하여 전기 기계 변환기(10)를 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환기 제작방법.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 전기 기계 변환기(10)가 완성된 후, 상기 전기작동 재료층(11)의 전극(11a)(11b)에 전기 신호를 입력하여 상기 전기 기계 변환기(10)를 변형시키거나 상기 기저 구조물(12)에 변형을 가하여 상기 전기작동 재료층(11)에서 발생하는 전기신호를 취득하여, 상기 전기 기계 변환기(10)의 작동 상태를 테스트하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환기 제작방법.
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