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KR100965094B1 - An Organic electroluminescence Display Device and the fabrication method thereof - Google Patents

An Organic electroluminescence Display Device and the fabrication method thereof Download PDF

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KR100965094B1
KR100965094B1 KR1020030099483A KR20030099483A KR100965094B1 KR 100965094 B1 KR100965094 B1 KR 100965094B1 KR 1020030099483 A KR1020030099483 A KR 1020030099483A KR 20030099483 A KR20030099483 A KR 20030099483A KR 100965094 B1 KR100965094 B1 KR 100965094B1
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organic
organic electroluminescent
electroluminescent device
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방희석
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Abstract

본 발명은 전계 발광 소자(Electroluminescence Display Device)에 관한 것으로 특히, 유기 전계 발광 소자의 수명을 연장시키기 위한 새로운 산화 방지용 흡습제가 구비된 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electroluminescent display device, and more particularly, to an organic electroluminescent device equipped with a novel antioxidant-absorbing agent for extending the life of an organic electroluminescent device, and a manufacturing method thereof.

본 발명은 유기 전계 발광 소자에서 흡습제의 단점을 보강하고 가스를 효과적으로 차단하기 위하여 VCI 필름(Volatile Corrosion Inhibitor film) 또는 가스를 소자 내의 캐소드 전극 상에 형성하여 산화 방지용 흡습제로 사용하고 캐소드 전극 메탈의 산화를 방지함으로써 그 하부막인 유기 EL층의 열화를 방지하여 수명을 연장시키고 소자의 신뢰성을 향상시킨다.The present invention is to form a VCI film (Volatile Corrosion Inhibitor film) or gas on the cathode electrode in the device to reinforce the disadvantages of the absorbent in the organic electroluminescent device and to effectively block the gas used as an antioxidant for the oxidation prevention and oxidation of the cathode electrode metal This prevents deterioration of the organic EL layer, which is a lower film thereof, thereby extending the service life and improving the reliability of the device.

VCI, 캐소드 전극, 유기 전계 발광 소자, 산화 방지, 열화VCI, cathode electrode, organic EL device, anti-oxidation, deterioration

Description

유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법{An Organic electroluminescence Display Device and the fabrication method thereof}Organic electroluminescent device and method of manufacturing the same

도 1은 일반적인 유기 전계 발광 소자의 단면도.1 is a cross-sectional view of a general organic electroluminescent device.

도 2는 종래기술의 문제점을 설명하기 위한 유기 전계 발광 소자 의 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view of an organic electroluminescent device for explaining the problems of the prior art.

도 3은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 유기 전계 발광 소자의 개략적인 단면도.3 is a schematic cross-sectional view of an organic electroluminescent device as an embodiment according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 일 실시예로서, 유기 전계 발광 소자의 제작 과정을 보여주는 순서도.4 is a flow chart showing a manufacturing process of an organic electroluminescent device as one embodiment according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 유기 전계 발광 소자의 개략적인 단면도.5 is a schematic cross-sectional view of an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 유기 전계 발광 소자의 제작 과정을 보여주는 순서도.6 is a flow chart showing a manufacturing process of an organic EL device according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawings>

200, 300 : 투명기판 202, 302 : 양극200, 300: transparent substrate 202, 302: anode

208, 308 : 음극 210, 310 : 유기 EL층208, 308: cathode 210, 310: organic EL layer

211, 311 : 패키징판 212, 312 : 흡습제211 and 311: packaging plate 212 and 312: moisture absorbent

214, 314 : 봉지제 219 : VCI 필름 214, 314: Encapsulant 219: VCI film                 

319 : VCI 가스319 VCI gas

본 발명은 전계 발광 소자(Electroluminescence Display Device)에 관한 것으로 특히, 유기 전계 발광 소자의 수명을 연장시키기 위한 새로운 흡습제가 구비된 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electroluminescent display device, and more particularly, to an organic electroluminescent device having a new hygroscopic agent for extending the life of the organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same.

최근 들어, 평판표시장치에 대한 연구가 활발한데, 그 중에서 각광받고 있는 것으로 LCD(Liquid Crystal Displays), FED(Feild Emission Displays), ELD(Electroluminescence Device), PDP(Plasma Display Panels) 등이 있다.Recently, researches on flat panel display devices have been actively conducted. Among them, liquid crystal displays (LCDs), Feiled Emission Displays (FEDs), electroluminescence devices (ELDs), and plasma display panels (PDPs) have been in the spotlight.

이 중, 현재 PCS(personal communication service)를 비롯한 개인 정보 단말기의 경우 액정 디스플레이가 널리 쓰이고 있으나 시야각이 좁고 응답속도가 느리다는 문제를 지니고 있기 때문에 자발광의 전계 발광 소자가 주목받고 있다. Among them, liquid crystal displays are widely used in personal information terminals including personal communication service (PCS), but self-luminous electroluminescent devices are attracting attention because they have a problem that the viewing angle is narrow and the response speed is slow.

상기 전계 발광 소자는 응답속도가 빠르고 휘도가 우수하며 박막화로 인한 저전압 구동을 실현시킬 수 있을 뿐만 아니라, 가시영역의 모든 색상을 구현할 수 있어 현대인의 다양한 기호에 맞출 수 있는 장점이 있다. 또한, 플라스틱과 같이 플렉서블(flexible)한 투명기판에도 소자를 형성할 수 있다. The electroluminescent device has the advantage of being able to realize various colors of the visible area as well as to realize low voltage driving due to the fast response speed, excellent brightness and thinning, and to realize all colors of the visible region. In addition, the device may be formed on a flexible transparent substrate such as plastic.

또한, PDP에 비해 저전압에서 구동할 수 있고, 전력 소비가 비교적 적으며, 녹색, 적색, 청색의 3가지 색을 쉽게 구현할 수 있기 때문에 차세대 평판디스플레이에 적합한 소자이다. In addition, the device is suitable for the next-generation flat panel display because it can be driven at a lower voltage than the PDP, has a relatively low power consumption, and can easily realize three colors of green, red, and blue.                         

한편, 전계 발광 소자는 EL층 양단에 형성된 캐소드 전극 및 애노드 전극에 전계를 가하여 EL층 내에 전자와 정공을 주입 및 전달시켜 서로 결합하게 함으로써, 이때의 결합 에너지에 의해 발광되는 전계 발광(EL;electroluminescence) 현상을 이용한 것이다. On the other hand, the electroluminescent device is applied to the cathode electrode and the anode electrode formed on both ends of the EL layer by injecting and transferring electrons and holes in the EL layer to be coupled to each other, thereby electroluminescence (EL) emitted by the binding energy at this time ) Using the phenomenon.

전계 발광특성을 갖는 물질로는 무기물 및 유기물 모두 가능한데, 무기물을 사용하는 무기 전계 발광 소자는 높은 전계에 의해 가속된 전자가 발광체(luminescent impurity)에 충돌, 여기시키고 여기된 발광체가 기저 상태로 떨어지면서 발광하며, 유기물을 사용하는 유기 전계 발광 소자는 애노드 전극(anode electrode)과 캐소드 전극(cathode electrode)으로부터 각각 주입된 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 여기상태(excite state)로부터 기저상태(ground state)로 떨어지면서 발광한다.Materials having electroluminescent properties can be both inorganic and organic. Inorganic electroluminescent devices using inorganic materials are excited by a high electric field, and electrons are accelerated into the luminescent impurity and excited, and the excited luminescent material falls to the ground state. An organic electroluminescent device that emits light and uses an organic material has a ground state from an excite state after pairing electrons and holes injected from an anode electrode and a cathode electrode, respectively. Luminous while falling down.

현재, 무기물을 이용한 전계 발광 소자는 이미 상용화되어 있으나, 무기 ELD는 전력소모가 크고 고휘도의 광을 얻기가 어려울 뿐만 아니라, 다양한 발색광을 얻기가 어렵다.Currently, electroluminescent devices using inorganic materials have already been commercialized, but inorganic ELDs are not only difficult to obtain high luminance and high luminance light, but also difficult to obtain various colored lights.

이에 반하여, 유기 전계 발광 소자는 수 내지 수십 볼트의 직류전압으로 구동되며, 수백 내지 수천 cd/m2의 고휘도가 가능하고 또한 분자구조 변화에 따라 다양한 발광색을 얻을 수 있는 장점이 있어 디스플레이 분야의 관심의 대상이 되고 있다. On the contrary, the organic EL device is driven by a DC voltage of several to several tens of volts, and has a high brightness of several hundred to several thousand cd / m 2 , and has various advantages in obtaining various emission colors according to molecular structure changes. It becomes the target of.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술의 유기 전계 발광 소자를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an organic electroluminescent device of the prior art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일반적인 유기 전계 발광 소자의 단면도이고, 도 2는 종래기술의 문제점을 설명하기 위한 유기 전계 발광 소자 의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a general organic electroluminescent device, and FIG. 2 is a cross-sectional view of an organic electroluminescent device for explaining a problem of the prior art.

일반적으로, 유기 전계 발광 소자는 도 1에서와 같이, 투명기판(100) 상에 형성된 투명전극인 애노드 전극(102)과, 상기 애노드 전극(102) 상부에 형성된 유기 EL층(110)과, 상기 유기 EL층(110) 상에 형성된 캐소드 전극(108)과, 상기 캐소드 전극(108) 상부에서 상기 투명기판(100)에 대향하도록 합착된 패키징 판(packaging plate)(도 2의 '111')으로 구성된다. In general, as shown in FIG. 1, the organic electroluminescent device includes an anode electrode 102 which is a transparent electrode formed on the transparent substrate 100, an organic EL layer 110 formed on the anode electrode 102, and the A cathode electrode 108 formed on the organic EL layer 110 and a packaging plate ('111' in FIG. 2) bonded on the cathode electrode 108 to face the transparent substrate 100. It is composed.

이 때, 상기 유기 EL층(110)은 정공주입층(103), 정공수송층(104), 발광층(105), 전자수송층(106), 전자주입층(107)의 적층막으로 이루어진다. In this case, the organic EL layer 110 includes a laminated film of a hole injection layer 103, a hole transport layer 104, a light emitting layer 105, an electron transport layer 106, and an electron injection layer 107.

이러한 소자의 애노드 전극(102) 및 캐소드 전극(108)에 전계를 인가하면 캐소드 전극(108)으로부터 전자가 유기 EL층(110)으로 주입되고, 애노드 전극(102)으로부터 정공이 유기 EL층(110)으로 주입된다.When an electric field is applied to the anode electrode 102 and the cathode electrode 108 of such a device, electrons are injected from the cathode electrode 108 into the organic EL layer 110, and holes are injected from the anode electrode 102 into the organic EL layer 110. ) Is injected.

유기 EL층(110)에 주입된 전자와 정공은 전계하에서 유기 EL층(110)으로 이동하다가 서로 결합하여 엑시톤(exciton)을 형성하고, 엑시톤의 여기상태에 있던 전자가 기저상태로 천이되면서 가시광 영역의 빛을 내게 된다.The electrons and holes injected into the organic EL layer 110 move to the organic EL layer 110 under an electric field and combine with each other to form excitons, and the electrons in the excitons of the excitons transition to the ground state in the visible light region. Will shine.

하지만, 상기 유기 전계 발광 소자는 다양한 장점에도 불구하고, 수명이 짧다는 한계가 있다.However, in spite of various advantages, the organic electroluminescent device has a limit of short life.

즉, 상기 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층은 유기물을 재료로 하고, 캐소드 전극은 일함수(work function) 낮은 금속을 사용하는데, 이러한 물질들은 산소 및 수분에 취약한 특성을 가진다. That is, the hole injection layer, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, the electron injection layer is made of an organic material, and the cathode electrode uses a metal having a low work function, these materials are vulnerable to oxygen and moisture Have

따라서, 소자를 장시간 구동할 경우, 유기물과 캐소드 전극물질이 소자 내부 혹은 외부로부터 유입된 산소(O2) 및 수분(H2O)과 반응하여 열화되고 결국, 소자의 수명이 떨어진다.Therefore, when the device is driven for a long time, the organic material and the cathode electrode material deteriorate by reacting with oxygen (O 2 ) and moisture (H 2 O) introduced from inside or outside the device, resulting in a decrease in the life of the device.

이상과 같이, 유기물 재료와 캐소드 전극물질이 내습성 및 내산화성이 낮아서 디스플레이의 동작에 열화가 발생되고 이러한 열화는 흑점(dark spot)이라 불리는 비발광 영역을 형성시키고, 시간이 지남에 따라 흑점 영역이 주위로 확산되어 소자 전체에서 발광이 일어나지 않게 된다. As described above, since the organic material and the cathode electrode material have low moisture resistance and oxidation resistance, deterioration occurs in the operation of the display, and this deterioration forms a non-light emitting area called a dark spot, and over time the black spot area Diffusion around this prevents light emission from occurring throughout the device.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 도 2에서와 같이, 투명기판(100) 상에 흡습제(112)를 부착한 패키징판(111)을 씌운다.In order to solve this problem, as shown in Figure 2, the packaging plate 111 is attached to the moisture absorbent 112 on the transparent substrate 100.

상기 흡습제(112)는 산화바륨(BaO), 탄산칼슘(CaCO3), 산화칼슘(CaO), 산화인(P2O5), 제올라이트(zeolite), 실리카겔(silicagel), 알루미나(alumina)와 같은 무기계 화합물을 사용하고 있으며, 이들이 수분과 접촉되면 화학반응에 의해 수산기(-OH)를 형성함으로써 수분을 제거시키는 역할을 한다. The moisture absorbent 112 is an inorganic type such as barium oxide (BaO), calcium carbonate (CaCO 3), calcium oxide (CaO), phosphorus oxide (P 2 O 5), zeolite , zeolite, silica gel, alumina, or alumina. Compounds are used, and when they come into contact with water, they form a hydroxyl group (-OH) by chemical reaction, which serves to remove water.

하지만, 수분과의 반응성이 낮아 수분 제거 효과가 낮고 또한, 흡습제(112) 분말이 소자 내부에서 비산하여 소자동작의 오류를 일으킨다. However, the reactivity with water is low, the water removal effect is low, and the moisture absorbent 112 powder scatters inside the device, causing an error in device operation.

또한, 상기 투명 기판(100)을 합착하기 위해 사용하는 봉지제(114)도 유기 고분자 물질이기 때문에 외부로부터의 수분 차단기능을 완벽하게 수행하지 못하는 문제점이 있다. In addition, since the encapsulant 114 used to bond the transparent substrate 100 is also an organic polymer material, there is a problem in that it does not completely perform a moisture blocking function from the outside.                         

또한, 유기 전계 발광 소자의 봉지(encapsulation) 공정 중에서 UV 경화시에 발생하는 가스(gas)에 의해서 캐소드 전극 메탈이 산화되어 결국 캐소드 전극 메탈 하부의 유기막이 열화되는 문제점이 있다.In addition, the cathode electrode metal is oxidized by a gas generated during UV curing during the encapsulation process of the organic electroluminescent device, resulting in a degradation of the organic layer under the cathode electrode metal.

본 발명은 유기 전계 발광 소자에서 흡습제의 단점을 보강하고 가스를 효과적으로 차단하기 위하여 VCI 필름(Volatile Corrosion Inhibitor film) 또는 VCI 가스를 소자 내에 포함하는 유기 전계 발광 소자를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an organic electroluminescent device comprising a VCI film (Volatile Corrosion Inhibitor film) or a VCI gas in order to reinforce the disadvantage of the absorbent in the organic electroluminescent device and to effectively block the gas.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자는, 기판 상의 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 발광층을 가지는 유기 전계 발광 소자에 있어서, 기 캐소드 전극 상에 VCI(Volatile Corrosion Inhibitor)가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the organic electroluminescent device according to the present invention is an organic electroluminescent device having a light emitting layer between an anode electrode and a cathode on a substrate, wherein a VCI (Volatile Corrosion Inhibitor) is formed on the cathode It is characterized by being.

상기 기판과 대향하여 합착되는 패키징 판을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.And a packaging plate bonded to face the substrate.

상기 패키징 판 내면에 흡습제가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.A moisture absorbent is formed on the inner surface of the packaging plate.

상기 VCI가 필름 형태로 캐소드 전극 상에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The VCI is formed on the cathode in the form of a film.

상기 VCI가 가스 형태로 주입되어 있는 것을 특징으로 한다.The VCI is characterized in that the gas is injected.

상기 VCI는 DICHAN(Dicyclohexyl Ammonium Nitrite), DIPAN(Diisopropyl Ammonium Nitrite), B.T(Benzotriazole)에서 선택되어진 물질로 형성되는 것을 특 징으로 한다.The VCI is characterized in that it is formed of a material selected from DICHAN (Dicyclohexyl Ammonium Nitrite), DIPAN (Diisopropyl Ammonium Nitrite), B.T (Benzotriazole).

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은, 기판 상에 애노드 전극, 발광층, 캐소드 전극을 형성하는 단계와; 상기 캐소드 전극 상에 VCI(Volatile Corrosion Inhibitor)필름을 형성하는 단계와; 상기 기판과 대향하는 패키징판으로 봉지하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, a method of manufacturing an organic EL device according to the present invention comprises the steps of: forming an anode electrode, a light emitting layer, a cathode electrode on a substrate; Forming a VCI (Volatile Corrosion Inhibitor) film on the cathode electrode; And encapsulating with a packaging plate facing the substrate.

상기 VCI 필름은 VCI 가스 챔버 내에서 형성되는 것을 특징으로 한다.The VCI film is formed in the VCI gas chamber.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은 기판 상에 애노드 전극, 발광층, 캐소드 전극을 형성하는 단계와; 상기 기판과 대향하는 패키징판으로 1차 봉지하는 단계와; 상기 기판과 패키징판 사이에 VCI(Volatile Corrosion Inhibitor) 가스를 주입하고 2차 봉지하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, in another embodiment according to the present invention to achieve the above object, a method of manufacturing an organic electroluminescent device comprises the steps of forming an anode electrode, a light emitting layer, a cathode electrode on a substrate; Primary encapsulation with a packaging plate facing the substrate; Injecting a VCI (Volatile Corrosion Inhibitor) gas between the substrate and the packaging plate and characterized in that it comprises a second encapsulation.

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 구체적인 실시예에 대해서 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a specific embodiment of the organic EL device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 개략적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of an organic EL device according to the present invention.

도 3에 도시한 바와 같이, 투명 기판(200) 상에 형성된 투명 전극인 애노드 전극(202)과, 상기 애노드 전극(202) 상부에 형성된 유기 EL층(210)과, 상기 유기 EL층(210) 상에 형성된 캐소드 전극(208)과, 상기 캐소드 전극(208) 상부에서 상기 투명기판(200)에 대향하도록 합착된 패키징 판(packaging plate)(211)으로 구성된다. As shown in FIG. 3, an anode electrode 202 which is a transparent electrode formed on the transparent substrate 200, an organic EL layer 210 formed on the anode electrode 202, and the organic EL layer 210 are formed. The cathode electrode 208 formed thereon and a packaging plate 211 bonded together on the cathode electrode 208 to face the transparent substrate 200.                     

그리고, 상기 패키징판(211) 하부에는 흡습제(212)가 형성되어 있다.In addition, a moisture absorbent 212 is formed below the packaging plate 211.

상기 흡습제(212)는 산화바륨(BaO), 탄산칼슘(CaCO3), 산화칼슘(CaO), 산화인(P2O5), 제올라이트(zeolite), 실리카겔(silicagel), 알루미나(alumina)와 같은 무기계 화합물을 사용하고 있으며, 이들이 수분과 접촉되면 화학반응에 의해 수산기(-OH)를 형성함으로써 수분을 제거시키는 역할을 한다. The moisture absorbent 212 is inorganic, such as barium oxide (BaO), calcium carbonate (CaCO3), calcium oxide (CaO), phosphorus oxide (P 2 O 5), zeolite , zeolite, silica gel, alumina, or alumina. Compounds are used, and when they come into contact with water, they form a hydroxyl group (-OH) by chemical reaction, which serves to remove water.

이 때, 상기 유기 EL층(210)은 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층의 적층막으로 이루어진다. At this time, the organic EL layer 210 is formed of a laminated film of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer.

이러한 소자의 애노드 전극(202) 및 캐소드 전극(208)에 전계를 인가하면 캐소드 전극(208)으로부터 전자가 유기 EL층(210)으로 주입되고, 애노드 전극(202)으로부터 정공이 유기 EL층(210)으로 주입된다.When an electric field is applied to the anode electrode 202 and the cathode electrode 208 of such a device, electrons are injected from the cathode electrode 208 into the organic EL layer 210, and holes are injected from the anode electrode 202 into the organic EL layer 210. ) Is injected.

유기 EL층(210)에 주입된 전자와 정공은 전계하에서 유기 EL층(210)으로 이동하다가 서로 결합하여 엑시톤(exciton)을 형성하고, 엑시톤의 여기 상태에 있던 전자가 기저 상태로 천이되면서 가시광 영역의 빛을 내게 된다.The electrons and holes injected into the organic EL layer 210 move to the organic EL layer 210 under an electric field, combine with each other to form an exciton, and the electrons in the exciton excited state transition to the ground state, and the visible region Will shine.

그리고, 상기 캐소드 전극(208) 상에는 VCI 필름(Volatile Corrosion Inhibitor film)(219)이 형성되어 있다.A VCI film (Volatile Corrosion Inhibitor film) 219 is formed on the cathode electrode 208.

상기 VCI 필름(219)은 DICHAN(Dicyclohexyl Ammonium Nitrite), DIPAN(Diisopropyl Ammonium Nitrite), B.T(Benzotriazole) 등과 같은 물질로 형성된다.The VCI film 219 is formed of a material such as dicyclohexyl ammonium nitrite (DICHAN), diisopropyl ammonium nitrite (DIPAN), or benzotriazole (B.T).

도 4는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제작 과정을 보여주는 순서도 이다.4 is a flowchart illustrating a manufacturing process of an organic EL device according to the present invention.

유기 전계 발광 소자는 애노드 전극과 유기 EL층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층과 캐소드 전극의 순차적인 형성에 의해 이루어진다.The organic electroluminescent element is formed by the sequential formation of an anode electrode and an organic EL layer, a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer and a cathode electrode.

먼저, 투명기판 상에 투명한 도전 물질인 ITO(indium tin oxide, In2O3+SnO2)를 증착하고 패터닝하여 애노드 전극을 형성한다.First, an anode electrode is formed by depositing and patterning ITO (Indium Tin Oxide, In 2 O 3 + SnO 2 ), which is a transparent conductive material on a transparent substrate.

다음, 애노드 전극 상에 코퍼-프탈로시아닌(copper(Ⅱ) phthalocyanine)을 10∼30nm의 두께로 증착하여 정공주입층을 형성하고, 그 위에 NPD(N,N-di(naphthalen-1-yl)-N,N'-diphenylbenzidine)을 30∼60nm의 두께로 증착하여 정공수송층을 형성한다. Next, copper-phthalocyanine (copper (II) phthalocyanine) is deposited on the anode to form a hole injection layer, and NPD (N, N-di (naphthalen-1-yl) -N is formed thereon. , N'-diphenylbenzidine) is deposited to a thickness of 30 to 60nm to form a hole transport layer.

다음, 상기 정공수송층 상에 녹색광, 적색광, 청색광을 발하는 발광층을 선택적으로 형성하는데, 각각의 고유한 발광 물질을 단독으로 사용하여 형성하거나 또는 호스트(host) 재료에 발광 물질을 도핑하여 형성할 수 있다.Next, a light emitting layer for emitting green light, red light, and blue light is selectively formed on the hole transport layer, and may be formed by using each unique light emitting material alone or by doping the light emitting material into a host material. .

계속하여, 상기 발광층 상부에 전자수송층 및 전자주입층을 차례로 진공 증착한다. Subsequently, an electron transport layer and an electron injection layer are sequentially vacuum deposited on the light emitting layer.

마지막으로, 상기 전자주입층 상면에 알루미늄(Al), 리튬(Li), 마그네슘(Mg) 등의 금속 물질을 증착하여 캐소드 전극을 형성한다(S100).Finally, a cathode is formed by depositing a metal material such as aluminum (Al), lithium (Li), or magnesium (Mg) on the upper surface of the electron injection layer (S100).

그리고, VCI 가스 챔버(gas chamber)로 이동하여(S110) 상기 캐소드 전극 상에 VCI 필름을 형성하고(S120) 봉지한다(S130). In operation S110, a VCI film is formed on the cathode electrode (S120) and encapsulated (S130).                     

그러면, 상기 VCI 필름이 캐소드 전극이 산화되어 하부막인 유기 EL층이 산화되는 것을 방지하여 소자의 수명이 연장된다.Then, the VCI film prevents the cathode electrode from being oxidized to oxidize the organic EL layer, which is a lower film, thereby extending the life of the device.

도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 유기 전계 발광 소자를 보여주는 도면이다.5 is a view showing an organic electroluminescent device as another embodiment according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 투명기판(300) 상에 형성된 투명 전극인 애노드 전극(302)과, 상기 애노드 전극(302) 상부에 형성된 유기 EL층(310)과, 상기 유기 EL층(310) 상에 형성된 캐소드 전극(308)과, 상기 캐소드 전극(308) 상부에서 상기 투명기판(300)에 대향하도록 합착된 패키징 판(packaging plate)(311)으로 구성된다. As shown in FIG. 5, an anode electrode 302 which is a transparent electrode formed on the transparent substrate 300, an organic EL layer 310 formed on the anode electrode 302, and the organic EL layer 310 are formed. And a packaging plate 311 bonded to the cathode electrode 308 formed on the cathode electrode 308 so as to face the transparent substrate 300 on the cathode electrode 308.

그리고, 상기 패키징판(311) 하부에는 흡습제(312)가 형성되어 있다.In addition, a moisture absorbent 312 is formed below the packaging plate 311.

여기서, 상기 투명 기판(300)과 봉지되어 있는 패키징판(311) 내부에는 VCI 가스(319)가 충진되어 있다.Here, the VCI gas 319 is filled in the packaging plate 311 encapsulated with the transparent substrate 300.

상기 VCI 가스(319)는 DICHAN(Dicyclohexyl Ammonium Nitrite), DIPAN(Diisopropyl Ammonium Nitrite), B.T(Benzotriazole) 등과 같은 물질로 형성된다.The VCI gas 319 is formed of a material such as dicyclohexyl ammonium nitrite (DICHAN), diisopropyl ammonium nitrite (DIPAN), or benzotriazole (B.T).

도 6은 도 5에서 도시한 유기 전계 발광 소자의 제작 과정을 보여주는 순서도이다.FIG. 6 is a flowchart illustrating a manufacturing process of the organic EL device illustrated in FIG. 5.

먼저, 투명기판 상에 투명한 도전 물질인 ITO(indium tin oxide, In2O3+SnO2)를 증착하고 패터닝하여 애노드 전극, 유기막으로 이루어지는 유기 EL층, 알루미늄(Al), 리튬(Li), 마그네슘(Mg) 등의 금속 물질로 이루어지는 캐소드 전극을 순차적으로 형성한다(S200).First, an indium tin oxide (ITO), In 2 O 3 + SnO 2 (ITO), which is a transparent conductive material, is deposited and patterned on a transparent substrate to form an anode electrode, an organic EL layer composed of an organic layer, aluminum (Al), lithium (Li), A cathode electrode made of a metal material such as magnesium (Mg) is sequentially formed (S200).

그리고, 상기 투명 기판 상의 캐소드 전극 상부에서 상기 투명기판에 대향하도록 봉지제로 패키징 판(packaging plate)과 합착, 1차 봉지된다(S210).In addition, the sealing substrate is bonded to the packaging plate (packaging plate) with an encapsulant so as to face the transparent substrate on the cathode electrode on the transparent substrate (S210).

이어서, 상기 봉지된 소자 내부로 VCI 가스를 충진한다(S220)Subsequently, the VCI gas is filled into the encapsulated device (S220).

그리고, 상기 VCI 가스 주입을 위한 주입구를 2차 봉지한다(S230).In operation S230, an injection hole for injecting the VCI gas is secondary.

본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.Although the present invention has been described in detail with reference to specific examples, it is intended to describe the present invention in detail, and the organic electroluminescent device and its manufacturing method according to the present invention are not limited thereto. It is apparent that modifications and improvements are possible by those skilled in the art.

본 발명은 유기 전계 발광 소자에서 VCI 필름을 캐소드 전극 상에 형성하거나 VCI 가스를 충진하여 산화 방지용 흡습제로 사용하여 캐소드 전극 메탈의 산화를 방지함으로써 그 하부막인 유기 EL층의 열화를 방지하여 수명을 연장시키고 소자의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.According to the present invention, the VCI film is formed on the cathode electrode or filled with VCI gas to prevent oxidation of the cathode electrode metal by preventing oxidation of the metal of the cathode electrode. There is an effect of extending and improving the reliability of the device.

Claims (9)

기판 상의 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 발광층을 가지는 유기 전계 발광 소자에 있어서,In an organic electroluminescent device having a light emitting layer between an anode electrode and a cathode electrode on a substrate, 상기 캐소드 전극을 둘러싸도록 VCI(Volatile Corrosion Inhibitor)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.An organic electroluminescent device, characterized in that a VCI (Volatile Corrosion Inhibitor) is formed to surround the cathode electrode. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판과 대향하여 합착되는 패키징 판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.An organic electroluminescent device, further comprising a packaging plate bonded to face the substrate. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 패키징 판 내면에 흡습제가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.An organic electroluminescent element, characterized in that a moisture absorbent is formed on the inner surface of the packaging plate. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 VCI가 필름 형태로 상기 캐소드 전극의 상부 및 측면을 둘러싸도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.The VCI is formed in a film form to surround the upper and side of the cathode electrode. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 VCI가 가스 형태로 주입되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.The VCI is injected in the form of a gas. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 VCI는 DICHAN(Dicyclohexyl Ammonium Nitrite), DIPAN(Diisopropyl Ammonium Nitrite), B.T(Benzotriazole)에서 선택되어진 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.The VCI is formed of a material selected from DICHAN (Dicyclohexyl Ammonium Nitrite), DIPAN (Diisopropyl Ammonium Nitrite), B.T (Benzotriazole). 기판 상에 애노드 전극, 발광층, 캐소드 전극을 형성하는 단계와;Forming an anode electrode, a light emitting layer, and a cathode electrode on the substrate; 상기 캐소드 전극을 둘러싸도록 VCI(Volatile Corrosion Inhibitor) 필름을 형성하는 단계와;Forming a VCI (Volatile Corrosion Inhibitor) film to surround the cathode electrode; 상기 기판과 대향하는 패키징판으로 봉지하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.The method of manufacturing an organic electroluminescent device comprising the step of encapsulating with a packaging plate facing the substrate. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 VCI 필름은 VCI 가스 챔버 내에서 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.The VCI film is a method of manufacturing an organic electroluminescent device, characterized in that formed in the VCI gas chamber. 기판 상에 애노드 전극, 발광층, 캐소드 전극을 형성하는 단계와;Forming an anode electrode, a light emitting layer, and a cathode electrode on the substrate; 상기 기판과 대향하는 패키징판으로 1차 봉지하는 단계와;Primary encapsulation with a packaging plate facing the substrate; 상기 기판과 패키징판 사이에 VCI(Volatile Corrosion Inhibitor) 가스를 주입하고 2차 봉지하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.A method of manufacturing an organic electroluminescent device comprising the step of injecting and secondary sealing a VCI (Volatile Corrosion Inhibitor) gas between the substrate and the packaging plate.
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