KR100939420B1

KR100939420B1 - Wire spool holder assembly

Info

Publication number: KR100939420B1
Application number: KR1020080078844A
Authority: KR
Inventors: 이상호; 박영진
Original assignee: 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사
Priority date: 2008-08-12
Filing date: 2008-08-12
Publication date: 2010-01-28

Abstract

본 발명은 반도체 패키징 공정에서 와이어 본딩의 완전성 테스트를 할 수 있고, 와이어 루프의 편차를 줄임으로써 불량의 발생을 줄일 수 있으며, 장비 수명을 증가시킬 수 있는 와이어 스풀 홀더 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a wire spool holder assembly capable of testing the integrity of wire bonding in semiconductor packaging processes, reducing the occurrence of defects by reducing the variation of wire loops, and increasing equipment life.

이를 위해 전기 에너지를 회전 운동 에너지로 변환하는 모터, 상기 모터의 회전축을 관통하여 형성된 관통 배선, 상기 관통 배선의 일단에 전기적으로 연결된 회전식 전기 커넥터, 상기 모터의 회전축에 결합되고, 상기 관통 배선의 타단에 전기적으로 연결된 와이어 스풀 홀더 및 상기 스풀 홀더에 결합한 와이어 스풀을 포함하는 와이어 스풀 홀더 조립체가 개시된다.To this end, a motor for converting electrical energy into rotational kinetic energy, a through wiring formed through the rotating shaft of the motor, a rotary electrical connector electrically connected to one end of the through wiring, coupled to a rotating shaft of the motor, and the other end of the through wiring. A wire spool holder assembly is disclosed that includes a wire spool holder electrically connected to and a wire spool coupled to the spool holder.

반도체 패키지, 스풀, 홀더, 와이어, 루프, WBMS Semiconductor Package, Spool, Holder, Wire, Loop, WBMS

Description

Wire Spool Holder Assembly

본 발명은 와이어 스풀 홀더 조립체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 패키징 공정에서 와이어 본딩의 완전성 테스트를 할 수 있고, 와이어 루프의 편차를 줄임으로써 불량의 발생을 줄일 수 있으며, 장비 수명을 증가시킬 수 있는 와이어 스풀 홀더 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a wire spool holder assembly, and more particularly, to completeness test of wire bonding in a semiconductor packaging process, to reduce the occurrence of defects by reducing the deviation of the wire loop, and to increase the equipment life. And a wire spool holder assembly.

통상적으로 반도체 패키지는 기판의 상부에 반도체 다이를 실장하는 반도체 다이 부착 공정, 반도체 다이의 본드 패드와 기판의 도전성 패턴을 와이어로 연결하는 와이어 본딩 공정, 반도체 다이와 와이어 등을 외부로부터 보호하기 위하여 기판의 상부에 인캡슐런트를 형성하는 인캡슐레이션 공정 등을 거쳐서 제조된다.In general, a semiconductor package includes a semiconductor die attaching process for mounting a semiconductor die on top of a substrate, a wire bonding process for connecting a bond pad of the semiconductor die and a conductive pattern of the substrate with a wire, and a semiconductor die and wires to protect the semiconductor die and wires from the outside. It is manufactured through an encapsulation process to form an encapsulant on the top.

그리고 와이어 본딩 공정을 수행하기 위해서 일반적으로 와이어 본더가 사용된다. 이러한 와이어 본더는 와이어가 인출 가능하게 연결된 와이어 스풀 홀더 조립체, 와이어의 공급 방향을 캐필러리 쪽으로 전환해 주는 디버팅 로드, 와이어를 가이드해주는 에어 가이드, 와이어의 장력을 조절해주는 텐셔너, 자재에 대한 와이어의 최종 공급 경로가 되는 미세한 직경의 관통홀이 형성된 캐필러리, 높은 전압을 걸어주어 그 전압이 캐필러리 하단으로 인출된 와이어에 방전되게 하여 볼 형상으로 만들어주는 EFO 완드 등을 포함하여 구성된다.And a wire bonder is generally used to perform the wire bonding process. These wire bonders are wire spool holder assemblies with wires retractable, diverting rods that divert the feed direction of the wires towards the capillary, air guides to guide the wires, tensioners to adjust the tension of the wires, and wires to the material. Capillary formed with a fine diameter through-hole that is the final supply path of the EFO wand that applies a high voltage and discharges the voltage drawn to the lower end of the capillary to form a ball shape. .

이 중에서 와이어 스풀 홀더 조립체는 와이어를 절연 홀더에 감긴 상태로 구비하고, 모터의 회전력에 의해 절연 홀더를 회전시켜 와이어를 디버팅 로드 등으로 공급하는 구성을 갖는다. 더불어, 와이어 스풀 홀더 조립체는 와이어 본딩이 제대로 이루어지는지 여부를 확인하기 위해, 배선을 통해 BITS 보드(Bond Integrity Test System Board)로부터 와이어 스풀에 감겨진 와이어까지 전기적 경로를 형성하고 전류를 흘려서 저항을 측정하는 동작을 할 수도 있다.Among them, the wire spool holder assembly has a structure in which the wire is wound around the insulation holder, and the wire spool holder assembly is rotated by the rotational force of the motor to supply the wire to the diverting rod or the like. In addition, the wire spool holder assembly forms an electrical path from the Board Integrity Test System Board (BITS) board to the wire wound on the wire spool and conducts current to measure resistance to ensure proper wire bonding. You can also do the operation.

기존의 와이어 스풀 홀더 조립체는 모터의 회전축 및 메인축에 기어를 구비하여 모터의 회전축이 BITS 보드에 연결되어 전류 경로를 형성하는 메인축을 구동하도록 하는 구조를 갖는다. 그런데 이렇게 모터의 회전축과 메인축을 기어로 연결하면, 와이어 스풀 홀더 조립체의 회전시 소음이 발생하는 문제이 있고, 서로 맞물린 기어가 마모되어 수명이 단축되는 문제가 있다.The existing wire spool holder assembly has a structure in which gears are provided on a rotating shaft and a main shaft of the motor so that the rotating shaft of the motor drives the main shaft which is connected to the BITS board to form a current path. However, when the rotation shaft and the main shaft of the motor is connected to the gear, there is a problem that noise occurs when the wire spool holder assembly is rotated, and there is a problem in that the gears meshed with each other wear and shorten the life.

또한, 기어에 의해 모터의 회전축에서 메인축으로 동력을 전달하면, 동력의 100%가 전달되지 않으며, 결과적으로 와이어 본딩 공정에서 와이어의 루프의 편차가 발생하여 반도체 패키지의 불량이 발생하게 되는 문제가 있다.In addition, when power is transmitted from the rotating shaft of the motor to the main shaft by the gear, 100% of the power is not transmitted, and as a result, a deviation of the loop of the wire occurs in the wire bonding process, resulting in a defect of the semiconductor package. have.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 패키징 공정에서 와이어 본딩의 완전성 테스트를 할 수 있고, 와이어 루프의 편차를 줄임으로써 불량의 발생을 줄일 수 있으며, 장비 수명을 증가시킬 수 있는 와이어 스풀 홀더 조립체를 제공함에 있다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to test the integrity of the wire bonding in the semiconductor packaging process, reduce the occurrence of defects by reducing the deviation of the wire loop, equipment life To provide a wire spool holder assembly that can increase the.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체는 전기 에너지를 회전 운동 에너지로 변환하는 모터, 상기 모터의 회전축을 관통하여 형성된 관통 배선, 상기 관통 배선의 일단에 전기적으로 연결된 회전식 전기 커넥터, 상기 모터의 회전축에 결합되고, 상기 관통 배선의 타단에 전기적으로 연결된 와이어 스풀 홀더 및 상기 와이어 스풀 홀더에 결합한 와이어 스풀을 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the wire spool holder assembly according to the present invention is a motor for converting electrical energy into rotational kinetic energy, a through wire formed through a rotating shaft of the motor, a rotary electrical connector electrically connected to one end of the through wire. And a wire spool holder coupled to the rotating shaft of the motor and electrically connected to the other end of the through wire, and a wire spool coupled to the wire spool holder.

여기서, 상기 모터의 회전축은 상기 회전식 전기 커넥터 및 와이어 스풀 홀더가 이루는 축과 동일선상에 형성될 수 있다.Here, the rotation axis of the motor may be formed on the same line as the axis formed by the rotary electrical connector and the wire spool holder.

그리고 상기 관통 배선은 양 단부를 제외한 나머지 부분에 절연 피막이 형성되어 상기 모터의 회전축과 전기적으로 독립될 수 있다.In addition, the through wiring may have an insulating film formed on the remaining portions except for both ends thereof, and may be electrically independent of the rotation shaft of the motor.

또한, 상기 관통 배선은 상기 회전식 전기 커넥터 및 와이어 스풀 홀더 사이에 연결되어 상기 모터의 회전축과 함께 회전할 수 있다.In addition, the through wire may be connected between the rotary electrical connector and the wire spool holder to rotate together with the rotation shaft of the motor.

또한, 상기 모터 및 회전식 전기 커넥터의 사이에는 상기 회전식 전기 커넥터를 지지하는 하우징이 더 형성될 수 있다.In addition, a housing for supporting the rotary electrical connector may be further formed between the motor and the rotary electrical connector.

또한, 상기 회전식 전기 커넥터는 BITS 보드에 연결된 배선, 상기 배선에 연결된 고정부 및 상기 고정부에 연결되고, 상기 관통 배선에 연결되어 회전하는 회전부를 포함할 수 있다.In addition, the rotary electrical connector may include a wire connected to a BITS board, a fixed part connected to the wire, and a rotating part connected to the fixed part and connected to the through wire to rotate.

또한, 상기 와이어 스풀 홀더는 상기 모터의 회전축에 연결된 스풀축, 상기 스풀축의 단부에 형성된 메인 엔드 와이어 고정단 및 상기 스풀축에 결합된 절연 홀더를 포함하고, 상기 메인 엔드 와이어 고정단은 상기 스풀축의 단부로부터 상기 절연 홀더의 직경 방향으로 돌출되어 상기 절연 홀더의 이탈을 방지하는 것일 수 있다.The wire spool holder may further include a spool shaft connected to a rotation shaft of the motor, a main end wire fixing end formed at an end of the spool shaft, and an insulation holder coupled to the spool shaft, and the main end wire fixing end of the spool shaft. Protruding from the end in the radial direction of the insulating holder may be to prevent the separation of the insulating holder.

또한, 상기 메인 엔드 와이어 고정단은 상기 와이어 스풀에 감겨 있는 와이어와 전기적으로 연결될 수 있다.In addition, the main end wire fixing end may be electrically connected to a wire wound on the wire spool.

또한, 상기 스풀축 및 절연 홀더의 사이에는 상기 스풀축의 둘레를 따라 돌출되어 상기 와이어 스풀을 지지하는 보조 엔드 와이어 고정단이 더 형성될 수 있다.In addition, an auxiliary end wire fixing end protruding along the spool shaft and supporting the wire spool may be further formed between the spool shaft and the insulating holder.

또한, 상기 보조 엔드 와이어 고정단은 상기 와이어 스풀에 감겨 있는 와이어와 전기적으로 연결될 수 있다.In addition, the auxiliary end wire fixing end may be electrically connected to a wire wound on the wire spool.

상기와 같이 하여 본 발명에 의한 와이어 스풀 홀더 조립체는 모터의 회전축 내부에 관통 배선을 구비하여, 모터의 회전축과 회전식 전기 커넥터, 관통 배선, 와이어 스풀 홀더로 형성된 축을 일치시킴으로써, 모터의 회전력을 와이어 스풀 홀더에 공급하기 위해 동력 전달용 기어를 구비하지 않으므로 모터의 수명을 늘릴 수 있고, 기어 간의 동력 전달 불량에서 오는 와이어 루프 불균일 문제를 해결할 수 있다.As described above, the wire spool holder assembly according to the present invention includes a through wire inside the rotating shaft of the motor to match the rotating shaft of the motor with the shaft formed by the rotary electrical connector, the through wiring, and the wire spool holder, thereby adjusting the rotational force of the motor to the wire spool. Since it is not equipped with a power transmission gear to supply the holder, the life of the motor can be extended, and the problem of wire loop unevenness resulting from poor power transmission between the gears can be solved.

또한, 본 발명에 의한 와이어 스풀 홀더 조립체는 BITS 보드로부터 회전식 전기 커넥터, 관통 배선, 와이어 스풀 홀더, 와이어를 통해 전류를 인가함으로써, 와이어 본딩시 와이어 본딩이 안정적으로 이루어지는지를 테스트할 수 있다.In addition, the wire spool holder assembly according to the present invention can test whether the wire bonding is stable during wire bonding by applying a current from the BITS board through the rotary electrical connector, the through wiring, the wire spool holder, and the wire.

본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily practice the present invention.

이하에서는 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)의 구성을 설명하도록 한다.Hereinafter will be described the configuration of the wire spool holder assembly 100 according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)를 도시한 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)에 이용되는 모터(110)를 도 시한 정면도이다. 도 4는 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)에 이용되는 모터(110)를 도시한 측면도이다. 도 5는 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)에 이용되는 모터(110)를 도시한 배면도이다. 도 6은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)에 이용되는 회전식 전기 커넥터(130)의 단면도이다. 도 7은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)에 이용되는 모터(110)와 하우징(120) 및 회전식 전기 커넥터(130)가 결합된 것을 도시한 측면도이다.1 is a perspective view of a wire spool holder assembly 100 in accordance with the present invention. 2 is an exploded perspective view of the wire spool holder assembly 100 according to the present invention. 3 is a front view illustrating the motor 110 used in the wire spool holder assembly 100 according to the present invention. 4 is a side view illustrating the motor 110 used in the wire spool holder assembly 100 according to the present invention. 5 is a rear view illustrating the motor 110 used in the wire spool holder assembly 100 according to the present invention. 6 is a cross-sectional view of the rotary electrical connector 130 used in the wire spool holder assembly 100 in accordance with the present invention. 7 is a side view showing that the motor 110 and the housing 120 and the rotary electrical connector 130 used in the wire spool holder assembly 100 according to the present invention are coupled.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)는 모터(110), 상기 모터(110)의 후면을 감싸는 하우징(120), 상기 모터(110)의 후면에 연결된 회전식 전기 커넥터(130), 상기 모터(110)의 전면을 고정시키는 커버(140), 상기 모터(110)에 결합된 와이어 스풀 홀더(150), 상기 와이어 스풀 홀더(150)에 결합된 와이어 스풀(160), 상기 와이어 스풀(160)에 감겨진 와이어(170)를 포함한다.1 to 7, the wire spool holder assembly 100 according to the present invention includes a motor 110, a housing 120 surrounding the rear surface of the motor 110, and a rotary type connected to the rear surface of the motor 110. Electrical connector 130, cover 140 for fixing the front of the motor 110, wire spool holder 150 coupled to the motor 110, wire spool 160 coupled to the wire spool holder 150 ), A wire 170 wound around the wire spool 160.

상기 모터(110)는 입력받은 외부의 전기 에너지를 회전하는 운동 에너지로 변환시킨다. 상기 모터(110)는 입력되는 전원에 따라 DC 모터일 수도 있고, AC 모터일 수도 있다. 상기 모터(110)는 상기 커버(140)에 결합하는 전면부(111), 상기 전면부(111)에 연결되어 내부에 고정자 및 회전자를 구비하는 후면부(112), 상기 후면부(112)로부터 상기 전면부(111)를 관통하여 형성된 회전축(113), 상기 회전축(113)을 관통하여 형성된 관통 배선(114)을 포함할 수 있다.The motor 110 converts the received external electrical energy into rotating kinetic energy. The motor 110 may be a DC motor or an AC motor according to the input power. The motor 110 is a front portion 111 coupled to the cover 140, the rear portion 112 is connected to the front portion 111 having a stator and a rotor therein, the rear portion 112 from the It may include a rotating shaft 113 formed through the front portion 111, a through wiring 114 formed through the rotating shaft 113.

상기 전면부(111)는 상기 모터(110)의 회전축(113)에 수직한 플레이트 형상으로 형성된다. 상기 전면부(111)는 상기 커버(140)로부터 관통되어 인입된 나사에 의해 상기 커버(140)에 결합된다. 또한, 상기 전면부(111)는 내부에 홀(111a)을 구비하여 상기 회전축(113) 및 관통 배선(114)이 상기 홀(111a)을 관통하여 상기 와이어 스풀 홀더(150)와 결합할 수 있다. The front portion 111 is formed in a plate shape perpendicular to the rotation axis 113 of the motor 110. The front portion 111 is coupled to the cover 140 by a screw penetrated through the cover 140. In addition, the front part 111 may include a hole 111a therein, such that the rotating shaft 113 and the through wiring 114 may pass through the hole 111a to be coupled with the wire spool holder 150. .

상기 후면부(112)는 상기 전면부(111)의 후면에 형성된다. 상기 후면부(112)는 내부에 고정자와 회전자(도시되지 않음)를 구비할 수 있다. 상기 고정자 및 회전자에는 자계가 형성되어 상기 회전자에 연결된 상기 회전축(113)을 회전시킬 수 있다.The rear part 112 is formed at the rear of the front part 111. The rear portion 112 may have a stator and a rotor (not shown) therein. Magnetic fields are formed on the stator and the rotor to rotate the rotating shaft 113 connected to the rotor.

상기 회전축(113)은 상기 후면부(112)의 회전자에 연결된다. 따라서, 상기 회전축(113)은 상기 회전자로부터 회전력을 인가받아 회전을 하게 된다. 또한, 상기 회전축(113)은 상기 회전자와 일체로 형성될 수도 있다.The rotating shaft 113 is connected to the rotor of the rear portion 112. Therefore, the rotating shaft 113 is rotated by applying a rotational force from the rotor. In addition, the rotation shaft 113 may be integrally formed with the rotor.

상기 회전축(113)은 내부에 관통홀(113a)을 갖는다. 상기 관통홀(113a)은 상기 회전축(113)의 길이 방향을 따라 상기 회전축(113)을 관통한다. 그리고 상기 관통홀(113a)의 내부에는 상기 관통 배선(114)이 구비된다. 또한, 상기 관통홀(113a)은 상기 회전축(113)의 길이 방향을 따라서 형성되므로 상기 회전축(113)이 회전을 하는 경우에 그 내부의 상기 관통 배선(114)도 함께 회전을 할 수 있다.The rotation shaft 113 has a through hole 113a therein. The through hole 113a penetrates the rotation shaft 113 along the longitudinal direction of the rotation shaft 113. The through wiring 114 is provided inside the through hole 113a. In addition, since the through hole 113a is formed along the longitudinal direction of the rotation shaft 113, when the rotation shaft 113 rotates, the through wire 114 therein may also rotate.

상기 관통 배선(114)은 상기 회전축(113)의 관통홀(113a)의 내부에 구비된다. 상기 관통 배선(114)의 일단(114a)은 상기 하우징(120)을 관통하여 상기 회전식 전기 커넥터(130)에 연결된다. 또한, 상기 관통 배선(114)의 타단(114b)은 상기 와이어 스풀 홀더(150)와 연결된다. 따라서, 상기 관통 배선(114)은 상기 회전식 전기 커넥터(130)와 와이어 스풀 홀더(150)를 연결하는 전기적 경로를 형성한다.The through wiring 114 is provided in the through hole 113a of the rotation shaft 113. One end 114a of the through wire 114 passes through the housing 120 and is connected to the rotary electrical connector 130. In addition, the other end 114b of the through wire 114 is connected to the wire spool holder 150. Thus, the through wire 114 forms an electrical path connecting the rotary electrical connector 130 and the wire spool holder 150.

이 때, 상기 관통 배선(114)은 상기 회전축(113)의 관통홀(113a) 내부에서 일정 위치를 유지한다. 그리고 상기 관통 배선(114)은 상기 회전축(113)의 회전시 상기 회전축(113)을 따라 함께 회전할 수 있다. 따라서, 상기 관통 배선(114)은 상기 회전축(113)의 회전시 꼬이지 않는다.At this time, the through wire 114 maintains a predetermined position in the through hole 113a of the rotation shaft 113. In addition, the through wire 114 may rotate together along the rotation shaft 113 when the rotation shaft 113 is rotated. Therefore, the through wire 114 is not twisted when the rotating shaft 113 rotates.

그리고 상기 관통 배선(114)이 상기 모터(110)의 회전축(113) 내부에 구비되므로 상기 모터(110)의 회전축(113)은 상기 회전식 전기 커넥터(130), 관통 배선(114), 와이어 스풀 홀더(150)로 형성된 전기적 경로와 동일선상에 위치하게 된다. 따라서, 상기 모터(110)의 회전력을 상기 와이어 스풀 홀더(150)에 전달하기 위해 회전축(113)에 별도의 기어를 구비할 필요가 없다. 따라서, 기존의 구조에 비해 와이어 스풀 홀더 결합체(100)의 축이 일치되어 상기 모터(110)의 회전축(113)에 동력 전달용 기어를 구비할 필요가 없다. 따라서, 상기 모터(110)의 수명을 늘릴 수 있고, 기어의 동력 전달 불량에서 오는 와이어 루프 불균일 문제가 해결될 수 있다.Since the through wiring 114 is provided inside the rotating shaft 113 of the motor 110, the rotating shaft 113 of the motor 110 includes the rotary electrical connector 130, the through wiring 114, and a wire spool holder. It is positioned on the same line as the electrical path formed by 150. Therefore, it is not necessary to provide a separate gear on the rotating shaft 113 to transmit the rotational force of the motor 110 to the wire spool holder 150. Therefore, compared with the existing structure, the axis of the wire spool holder assembly 100 is matched, and it is not necessary to include a power transmission gear on the rotating shaft 113 of the motor 110. Therefore, the lifespan of the motor 110 can be increased, and the problem of wire loop non-uniformity resulting from poor power transmission of the gear can be solved.

상기 하우징(120)은 상기 모터(110)의 후면부(112)를 감싸도록 형성된다. 상기 하우징(120)은 후면에 홀(도시되지 않음)을 구비하여 상기 회전식 전기 커넥터(130)가 상기 하우징(120)의 내부로 일정 부분 인입되어 상기 모터(110)와 결합될 수 있도록 한다. 이 때, 상기 하우징(120)은 상기 모터(110)의 후면부(112)와 상기 회전식 전기 커넥터(130)의 위치를 고정시켜 상호간에 용이하게 결합할 수 있도록 한다. 또한, 상기 하우징(120)의 일측에는 상기 모터(110)에 전압을 인가하기 위한 배선이 연결되도록 하기 위한 홈이 구비될 수도 있다.The housing 120 is formed to surround the rear portion 112 of the motor 110. The housing 120 has a hole (not shown) at a rear side thereof to allow the rotary electrical connector 130 to be partially inserted into the housing 120 to be coupled with the motor 110. At this time, the housing 120 is fixed to the position of the rear portion 112 and the rotary electrical connector 130 of the motor 110 to be easily coupled to each other. In addition, one side of the housing 120 may be provided with a groove for connecting the wire for applying a voltage to the motor 110.

상기 회전식 전기 커넥터(130)의 일단은 상기 하우징(120)의 후면에 구비된 홀을 통해 상기 모터(110)의 후면부(112)와 결합한다. 또한, 상기 회전식 전기 커넥터(130)의 타단은 BITS 보드(Bond Integrity Test System Board, 도시되지 않음)에 연결되어, 상기 BITS 보드로부터 전류 신호를 인가받는다. 따라서, 상기 BITS 보드로부터 상기 회전식 전기 커넥터(130), 관통 배선(114), 와이어 스풀 홀더(150), 와이어(170)로 연결된 전류 경로가 형성된다. 따라서, 상기 BITS 보드로부터 전류를 인가하여 와이어 본딩이 제대로 이루어졌는지를 확인할 수 있다.One end of the rotary electrical connector 130 is coupled to the rear portion 112 of the motor 110 through a hole provided in the rear of the housing 120. In addition, the other end of the rotary electrical connector 130 is connected to a BITS board (Bond Integrity Test System Board (not shown)), and receives a current signal from the BITS board. Accordingly, a current path connected to the rotary electrical connector 130, the through wiring 114, the wire spool holder 150, and the wire 170 is formed from the BITS board. Therefore, it is possible to check whether wire bonding is properly performed by applying a current from the BITS board.

상기 회전식 전기 커넥터(130)는 회전하지 않고 상기 BITS 보드와 연결된 고정부(131), 상기 고정부(131)에 연결되어 회전하는 회전부(132), 상기 고정부(131)와 BITS 보드와 연결하는 배선(133)을 포함할 수 있다.The rotary electrical connector 130 is connected to the BITS board without rotating the fixing part 131, the rotating part 132 is connected to the rotating part 131, the fixing part 131 and the BITS board to connect The wiring 133 may be included.

상기 고정부(131)는 내부에 일정 공간을 구비하고, 상기 공간에 채워진 수은(131a)을 구비한다. 또한, 상기 고정부(131)는 상기 수은(131a)의 내부에서 회전 하는 회전축(131b)을 갖는다. 상기 회전축(131b)이 회전을 하는 경우, 상기 수은(131a)이 일종의 베어링 역할을 하여 상기 고정부(131)는 고정된 상태에서 상기 회전축(131b)만 회전할 수 있도록 한다.The fixing part 131 has a predetermined space therein and has mercury 131a filled in the space. In addition, the fixing part 131 has a rotating shaft 131b that rotates inside the mercury 131a. When the rotating shaft 131b rotates, the mercury 131a serves as a kind of bearing so that the fixing part 131 can rotate only the rotating shaft 131b in a fixed state.

또한, 상기 회전부(132)는 상기 고정부(131)의 회전축(131b)에 연결되어 상기 회전축(131b)과 함께 자유회전을 할 수 있다. 그리고 상기 회전부(132)는 상기 관통 배선(114)의 일단(114a)과 연결된다. 따라서, 상기 회전부(132)는 상기 관통 배선(114)와 함께 회전을 하되, 상기 고정부(131)와 전기적 연결 관계를 유지할 수 있게 된다.In addition, the rotating part 132 may be connected to the rotating shaft 131b of the fixing part 131 to freely rotate together with the rotating shaft 131b. The rotating part 132 is connected to one end 114a of the through wire 114. Accordingly, the rotation part 132 rotates together with the through wire 114, but maintains an electrical connection with the fixing part 131.

상기 배선(133)은 상기 고정부(131)와 BITS 보드를 전기적으로 연결한다. 따라서, 상기 배선(133)을 통해 상기 BITS 보드는 와이어 본딩 중 상기 와이어(170)까지 형성된 경로로 테스트 전류를 전송할 수 있다.The wiring 133 electrically connects the fixing unit 131 and the BITS board. Accordingly, the BITS board may transmit a test current through a path formed to the wire 170 during wire bonding.

상기 커버(140)는 상기 모터(110)의 전면부(111)와 결합한다. 상기 커버(140)는 상기 모터(110)의 위치를 고정시키고, 상기 모터(110)의 진동을 흡수한다. 상기 커버(140)는 내부에 관통홀(140a)을 구비한다. 따라서, 상기 관통홀(140a)을 통해 상기 모터(110)의 회전축(113)이 돌출되어 상기 와이어 스풀 홀더(150)와 결합할 수 있게 된다.The cover 140 is coupled to the front portion 111 of the motor 110. The cover 140 fixes the position of the motor 110 and absorbs vibration of the motor 110. The cover 140 has a through hole 140a therein. Therefore, the rotating shaft 113 of the motor 110 protrudes through the through hole 140a to be coupled to the wire spool holder 150.

상기 와이어 스풀 홀더(150)는 상기 커버(140)를 관통하여 상기 모터(110)와 결합하고, 상기 와이어 스풀(160)을 회전시킨다. 상기 와이어 스풀 홀더(150)는 상 기 모터(110)의 회전축(113)에 결합되는 스풀축(151), 상기 스풀축(151)의 일단에 형성된 메인 엔드 와이어 고정단(152), 상기 스풀축(151)의 둘레를 따라 형성되는 보조 엔드 와이어 고정단(153), 상기 스풀축(151)의 외부에 형성되는 절연 홀더(154)를 포함할 수 있다.The wire spool holder 150 penetrates the cover 140 to be coupled with the motor 110 and rotates the wire spool 160. The wire spool holder 150 has a spool shaft 151 coupled to the rotary shaft 113 of the motor 110, a main end wire fixing end 152 formed at one end of the spool shaft 151, and the spool shaft. Auxiliary end wire fixing end 153 is formed along the periphery of 151, it may include an insulating holder 154 formed on the outside of the spool shaft 151.

상기 스풀축(151)은 상기 커버(140)를 관통하여 상기 모터(110)의 회전축(113)과 결합한다. 상기 스풀축(151)은 상기 모터(110)의 회전축(113)이 회전할 때 함께 회전하게 된다. 따라서, 상기 스풀축(151)은 상기 모터(110)의 회전력으로 상기 스풀축(151)에 결합된 상기 절연 홀더(154)를 회전시키며, 결과적으로 상기 와이어 스풀(160)을 회전시키게 된다.The spool shaft 151 penetrates through the cover 140 and is coupled to the rotating shaft 113 of the motor 110. The spool shaft 151 rotates together when the rotating shaft 113 of the motor 110 rotates. Accordingly, the spool shaft 151 rotates the insulation holder 154 coupled to the spool shaft 151 by the rotational force of the motor 110, and as a result, rotates the wire spool 160.

또한, 상기 스풀축(151)은 상기 모터(110)의 관통 배선(114)에 전기적으로 연결되어 상기 BITS 보드로부터 인가된 전류를 공급받는다. 따라서, 상기 스풀축(151)은 상기 와이어 본딩의 완정성 테스트에서 전류 경로를 형성한다.In addition, the spool shaft 151 is electrically connected to the through wire 114 of the motor 110 to receive the current applied from the BITS board. Thus, the spool shaft 151 forms a current path in the completeness test of the wire bonding.

상기 메인 엔드 와이어 고정단(152)은 상기 스풀축(151)이 상기 모터(110)와 결합되는 반대측 단부에 위치한다. 상기 메인 엔드 와이어 고정단(152)은 상기 와이어 스풀(160)이 상기 스풀축(151)에 결합된 경우, 상기 와이어 스풀(160)의 직경방향으로 더 돌출되어 상기 와이어 스풀(160)이 상기 스풀축(151)에서 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The main end wire fixing end 152 is located at the opposite end to which the spool shaft 151 is coupled to the motor 110. When the wire spool 160 is coupled to the spool shaft 151, the main end wire fixing end 152 further protrudes in the radial direction of the wire spool 160 such that the wire spool 160 is connected to the spool. Deviation from the shaft 151 can be prevented.

상기 보조 엔드 와이어 고정단(153)은 상기 스풀축(151)의 길이 방향으로 형 성되며, 상기 스풀축(151)의 둘레를 따라 이격되어 복수개로 형성된다. 상기 보조 엔드 와이어 고정단(153)은 상기 스풀축(151)으로부터 돌출되어 형성되어, 일부 탄성이 있도록 구비되어 상기 와이어 스풀(160)이 상기 스풀축(151)에 단단히 결합할 수 있도록 지지할 수 있다.The auxiliary end wire fixing end 153 is formed in the longitudinal direction of the spool shaft 151 and is formed in plural numbers spaced apart along the circumference of the spool shaft 151. The auxiliary end wire fixing end 153 is formed to protrude from the spool shaft 151 and is provided to have some elasticity so that the wire spool 160 can be firmly coupled to the spool shaft 151. have.

또한, 상기 메인 엔드 와이어 고정단(152) 또는 상기 보조 엔드 와이어 고정단(153)은 상기 와이어 스풀(160)에 감겨진 와이어(170)의 일단과 결합한다. 따라서, 상기 와이어(170)에 전류가 흐를 수 있도록 경로를 제공한다.In addition, the main end wire fixing end 152 or the auxiliary end wire fixing end 153 is coupled to one end of the wire 170 wound on the wire spool 160. Thus, a path is provided to allow current to flow through the wire 170.

상기 절연 홀더(154)는 중공형의 원통형으로 구비된다. 상기 절연 홀더(154)는 전기적으로 절연성이 있는 재질로 형성되며, 플라스틱 성형체로 형성될 수 있다. 상기 절연 홀더(154)는 길이 방향으로 상기 스풀축(151)에 의해 관통되어 결합된다. 상기 메인 엔드 와이어 고정단(152)이 상기 스풀축(151)의 단부로 돌출되어 상기 절연 홀더(154)의 결합을 유지한다. 또한, 상기 절연 홀더(154)는 그 둘레에 다수개의 홀을 구비하여, 상기 보조 엔드 와이어 고정단(153)이 상기 홀을 통과하여 돌출된 상태로 고정될 수 있도록 한다. 따라서, 상기 와이어 스풀(160)에 감겨있는 와이어의 일단이 상기 메인 엔드 와이어 고정단(152) 또는 보조 엔드 와이어 고정단(153)과 결합할 수 있다.The insulating holder 154 is provided in a hollow cylindrical shape. The insulation holder 154 may be formed of an electrically insulating material, and may be formed of a plastic molded body. The insulation holder 154 penetrates and is coupled by the spool shaft 151 in the longitudinal direction. The main end wire fixing end 152 protrudes to the end of the spool shaft 151 to maintain the coupling of the insulating holder 154. In addition, the insulating holder 154 is provided with a plurality of holes in the periphery, so that the auxiliary end wire fixing end 153 can be fixed in a protruding state through the hole. Accordingly, one end of the wire wound on the wire spool 160 may be combined with the main end wire fixing end 152 or the auxiliary end wire fixing end 153.

상기 와이어 스풀(160)은 내부가 중공인 원통형으로 구비된다. 상기 와이어 스풀(160)은 상기 와이어 스풀 홀더(150)의 외부를 감싸면서 상기 와이어 스풀 홀 더(150)와 결합한다. 상기 와이어 스풀(160)은 상기 와이어 스풀 홀더(150)의 절연 홀더(154)보다 큰 직경을 구비하고, 상기 보조 엔드 와이어 고정단(153)에 의해 결합이 지지된다. 또한, 상기 와이어 스풀(160)은 상기 메인 엔드 와이어 고정단(152)에 의해 상기 절연 홀더(154)에서 이탈되는 것이 방지된다. 상기 와이어 스풀(160)은 절연성이 있는 재질로 형성되어 상기 메인 엔드 와이어 고정단(152) 및 보조 엔드 와이어 고정단(153)과 전기적으로 절연된다. 또한, 상기 와이어 스풀(160)의 둘레에는 와이어(170)가 감기게 된다. 따라서, 상기 와이어 스풀(160)이 회전하는 경우, 상기 와이어(170)가 풀리게 된다.The wire spool 160 is provided in a cylindrical shape that is hollow inside. The wire spool 160 is coupled to the wire spool holder 150 while surrounding the outside of the wire spool holder 150. The wire spool 160 has a diameter larger than that of the insulating holder 154 of the wire spool holder 150, and the coupling is supported by the auxiliary end wire fixing end 153. In addition, the wire spool 160 is prevented from being separated from the insulation holder 154 by the main end wire fixing end 152. The wire spool 160 is formed of an insulating material and is electrically insulated from the main end wire fixing end 152 and the auxiliary end wire fixing end 153. In addition, the wire 170 is wound around the wire spool 160. Therefore, when the wire spool 160 is rotated, the wire 170 is released.

상기 와이어(170)는 상기 와이어 스풀(160)에 감긴 상태로 구비된다. 상기 와이어(170)는 일단(171)이 상기 와이어 스풀 홀더(150)의 메인 엔드 와이어 고정단(152) 또는 보조 엔드 와이어 고정단(153)과 결합된다. 상기 와이어(170)의 타단(172)은 캐필러리(도시되지 않음)로 공급되어 와이어 본딩 공정이 진행될 수 있도록 한다. 이 때, 상기 와이어(170)가 감겨 있는 와이어 스풀(160)이 상기 모터(110)의 회전에 의해 함께 회전하면, 상기 와이어(170)가 풀리면서 상기 캐필러리에 공급될 수 있다.The wire 170 is provided in a state wound around the wire spool 160. The wire 170 has one end 171 coupled to the main end wire fixing end 152 or the auxiliary end wire fixing end 153 of the wire spool holder 150. The other end 172 of the wire 170 is supplied to a capillary (not shown) to allow the wire bonding process to proceed. In this case, when the wire spool 160 wound around the wire 170 rotates together by the rotation of the motor 110, the wire 170 may be released and supplied to the capillary.

한편, 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)를 이용한 와이어 본딩이 이루어지는 경우, 상기 BITS 보드로부터 인가된 전류는 상기 회전식 전기 커넥터(130)의 배선(133), 고정부(131), 회전부(132), 모터(110)의 관통 배선(114), 와 이어 스풀 홀더(150)의 스풀축(151), 메인 엔드 와이어 고정단(152) 또는 보조 엔드 와이어 고정단(153), 와이어 스풀(160)에 감겨진 와이어(170)로 흐르게 된다. 또한, 상기 와이어(170)로 전달된 전류는 와이어 본딩이 이루어지는 순간, 반도체 다이 및 기판을 포함하는 자재를 통하여 접지로 흘러들어가게 된다. 그리고 상기 회전식 전기 커넥터(130)의 고정부(131)와 회전부(132) 사이의 접촉 저항을 측정하고, 기준치와 비교하여 와이어 본딩이 정상적으로 수행되었는지 여부를 판단할 수 있게 된다.On the other hand, when wire bonding is performed using the wire spool holder assembly 100 according to the present invention, the current applied from the BITS board is connected to the wiring 133, the fixing part 131, and the rotating part of the rotary electrical connector 130. 132, the through wire 114 of the motor 110, the spool shaft 151 of the wire spool holder 150, the main end wire fixing end 152 or the auxiliary end wire fixing end 153, and the wire spool 160. ) To the wire 170 wound around. In addition, the current delivered to the wire 170 flows to the ground through the material including the semiconductor die and the substrate at the time of wire bonding. In addition, the contact resistance between the fixing part 131 and the rotating part 132 of the rotary electrical connector 130 may be measured, and it may be determined whether wire bonding is normally performed by comparing with a reference value.

상기와 같이 하여, 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체(100)는 관통 배선(114)이 상기 모터(110)의 회전축(113) 내부에 구비되도록 하여, 모터(110)의 회전축(113)과 상기 회전식 전기 커넥터(130), 관통 배선(114), 와이어 스풀 홀더(150)로 형성된 축을 일치시킬 수 있다. 따라서, 모터(110)의 회전력을 와이어 스풀 홀더(150)에 공급하기 위해 모터(110)의 회전축(113)에 별도의 기어가 연결될 필요가 없다. 결국, 본 발명에 따른 와이어 스풀 조립체(100)는 모터(110)의 회전축(113)에 동력 전달용 기어를 구비하지 않으므로 모터(110)의 수명을 늘릴 수 있고, 기어 간의 동력 전달 불량에서 오는 와이어 루프 불균일 문제를 해결할 수 있다.As described above, the wire spool holder assembly 100 according to the present invention is such that the through wire 114 is provided inside the rotating shaft 113 of the motor 110, and the rotating shaft 113 of the motor 110 and the The axes formed by the rotary electrical connector 130, the through wiring 114, and the wire spool holder 150 can be matched. Therefore, a separate gear does not need to be connected to the rotation shaft 113 of the motor 110 to supply the rotational force of the motor 110 to the wire spool holder 150. As a result, since the wire spool assembly 100 according to the present invention does not include a gear for transmitting power to the rotation shaft 113 of the motor 110, the life of the motor 110 can be increased, and wires coming from poor power transmission between gears. Solve loop unevenness

도 1은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view of a wire spool holder assembly in accordance with the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체를 도시한 분해 사시도이다.2 is an exploded perspective view showing a wire spool holder assembly according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체에 이용되는 모터를 도시한 정면도이다.3 is a front view showing a motor used in the wire spool holder assembly according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체에 이용되는 모터를 도시한 측면도이다.Figure 4 is a side view of the motor used in the wire spool holder assembly according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체에 이용되는 모터를 도시한 배면도이다.5 is a rear view of the motor used in the wire spool holder assembly according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체에 이용되는 회전식 전기 커넥터의 단면도이다.6 is a cross-sectional view of a rotary electrical connector for use in a wire spool holder assembly in accordance with the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체에 이용되는 모터와 하우징 및 회전식 전기 커넥터가 결합된 것을 도시한 측면도이다.FIG. 7 is a side view illustrating a combination of a motor, a housing, and a rotary electrical connector used in the wire spool holder assembly according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100; 본 발명에 따른 와이어 스풀 홀더 조립체100; Wire Spool Holder Assembly According to the Invention

110; 모터 111; 전면부110; Motor 111; Front

112; 후면부 113; 회전축112; Rear 113; Axis of rotation

114; 관통 배선 120; 하우징114; Through wiring 120; housing

130; 회전식 전기 커넥터 140; 커버130; Rotary electrical connector 140; cover

150; 와이어 스풀 홀더 160; 와이어 스풀150; Wire spool holder 160; Wire spool

170; 와이어170; wire

Claims

A motor for converting electrical energy into rotational kinetic energy;

A through wire formed through the rotating shaft of the motor;

A rotary electrical connector electrically connected to one end of the through wire;

A wire spool holder coupled to the rotating shaft of the motor and electrically connected to the other end of the through wire; And

And a wire spool coupled to the wire spool holder.

The method of claim 1,

The rotating shaft of the motor is formed on the same line as the axis formed by the rotary electrical connector and the wire spool holder assembly.

The method of claim 1,

The through wire is an insulating film formed on the remaining portion except the both ends, the wire spool holder assembly, characterized in that the electrical axis of the motor.

The method of claim 1,

The through wire is connected between the rotary electrical connector and the wire spool holder to rotate together with the rotation axis of the motor.

The method of claim 1,

And a housing for supporting the rotary electrical connector is further formed between the motor and the rotary electrical connector.

The method of claim 1,

The rotary electrical connector

Wiring to the BITS board;

A fixing part connected to the wiring; And

And a rotating part connected to the fixing part and connected to the through wire to rotate.

The method of claim 1,

The wire spool holder

A spool shaft connected to the rotating shaft of the motor;

A main end wire fixing end formed at an end of the spool shaft; And

And an insulation holder coupled to the spool shaft, wherein the main end wire fixing end protrudes from the end of the spool shaft in the radial direction of the insulation holder to prevent separation of the insulation holder.

The method of claim 7, wherein

And the main end wire fixing end is electrically connected to a wire wound on the wire spool.

The method of claim 7, wherein

The wire spool holder assembly, characterized in that between the spool shaft and the insulating holder is further formed a secondary end wire fixing end protruding along the spool shaft to support the wire spool.

The method of claim 9,

And the auxiliary end wire fixing end is electrically connected to a wire wound on the wire spool.