Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR100928948B1 - 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템 - Google Patents

공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100928948B1
KR100928948B1 KR1020070106732A KR20070106732A KR100928948B1 KR 100928948 B1 KR100928948 B1 KR 100928948B1 KR 1020070106732 A KR1020070106732 A KR 1020070106732A KR 20070106732 A KR20070106732 A KR 20070106732A KR 100928948 B1 KR100928948 B1 KR 100928948B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bearing
magnetic
air foil
rotating shaft
foil
Prior art date
Application number
KR1020070106732A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090041162A (ko
Inventor
이용복
김창호
김승종
이상화
김희수
Original Assignee
한국과학기술연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국과학기술연구원 filed Critical 한국과학기술연구원
Priority to KR1020070106732A priority Critical patent/KR100928948B1/ko
Priority to PCT/KR2007/005811 priority patent/WO2009054562A1/en
Priority to US12/739,590 priority patent/US8772992B2/en
Priority to CN2007801020636A priority patent/CN101910657B/zh
Publication of KR20090041162A publication Critical patent/KR20090041162A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100928948B1 publication Critical patent/KR100928948B1/ko

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C27/00Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
    • F16C27/02Sliding-contact bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F16C17/024Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with flexible leaves to create hydrodynamic wedge, e.g. radial foil bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C25/00Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
    • F16C25/02Sliding-contact bearings
    • F16C25/04Sliding-contact bearings self-adjusting
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0402Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means combined with other supporting means, e.g. hybrid bearings with both magnetic and fluid supporting means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement
    • F16C32/048Active magnetic bearings for rotary movement with active support of two degrees of freedom, e.g. radial magnetic bearings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

본 발명은 고속회전장치의 회전체를 지지하기 위해 마그네틱베어링과 공기포일베어링이 결합한 형태의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링은 회전장치의 회전축 외면을 둘러싸며 형성되는 하우징과, 상기 하우징과 회전축 사이에 배치되어 회전축의 회전 시 동압을 형성하여 회전축을 부상시키는 공기포일베어링과; 상기 하우징의 내면에 방사상으로 복수 개가 상기 회전축의 중심을 향해 돌출된 코어와, 상기 각 코어에 권취되는 코일로 이루어져, 상기 코일에 전류가 인가되어 형성되는 자기력에 의한 인력을 이용하여 회전축을 부상시키는 마그네틱베어링과; 상기 공기포일베어링을 마그네틱베어링에 결합시키는 결합편을 포함한다. 상기 마그네틱베어링은 초기구동 또는 종료시, 공기포일베어링만이 작동하는 하이브리드 베어링의 공진영역, 그리고 외력이 인가된 경우에 작동하도록 제어된다.
공기포일베어링, 마그네틱베어링, 하이브리드, 다공성포일, 속도센서, 위치센서

Description

공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템 {AN AIRFOIL-MAGNETIC HYBRID BEARING AND A CONTROL SYSTEM THEREOF}
본 발명은 고속 회전장치의 회전축을 지지하는 베어링 및 그 제어시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 산업용 압축기, 송풍기는 물론 항공기용 보조동력장치(APU)나 공기조화시스템(ACM) 등과 같은 고속회전장치의 회전체를 지지하기 위해 마그네틱베어링과 공기포일베어링이 결합한 형태의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 회전장치의 베어링은 회전축의 회전 시 발생하는 공기의 동압을 이용하여 부상시키는 공기포일베어링(airfoil bearing)과, 자기장에 의한 자기력을 이용하여 회전축을 부상시키는 마그네틱베어링 등이 있다. 공기포일베어링은 회전축과 하우징 사이에서 공기막을 형성하기 때문에 마찰이 적어 고속의 회전장치에 많이 사용된다. 마그네틱베어링은 전자석의 자력을 조절할 수 있으므로 제어가 쉬운 장점이 있으나, 고속회전 시 제어가 어렵다. 특히, 고속에서 회전축이 일측으로 치우쳐 자극에 접촉하여 회전하는 경우 시스템이 파단될 수 있다. 따라서, 공기포일베어링과 마그네틱베어링의 장점을 살리기 위하여 공기포일베어링과 마그네 틱베어링이 함께 사용되는 하이브리드 베어링이 대두하였다.
이하, 도 1을 참조하여 종래 기술에 따른 고속회전장치의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 상세히 설명한다.
도 1은 종래 기술에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 일 예를 도시한 측단면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링은 원통형의 하우징(10)의 중심부에 배치된 회전축(20)의 주위로 공기포일베어링(30)과 마그네틱베어링(50)이 차례로 배치된다. 하우징(10)에는 코어(51)가 회전축(20)과 평행한 방향으로 형성되고, 그 주위에 코일(52)이 권취된다. 하우징은 마그네틱베어링(50) 내측으로 더 연장되며, 이러한 연장부에 공기포일베어링(30)이 장착된다.
그러나 상기와 같은 종래의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링은 하우징(10)의 길이 방향으로 코어(51)를 형성하여야 하고 이 코어(51)에 코일(52)을 권취하여야 하므로 전체 회전로터의 길이가 길어지는 문제점이 있다.
이는, 공기포일베어링(30)과 마그네틱베어링(50)이 직접 연결되지 않고 하우징(10)에 구비되어야 하므로 축방향 길이(L1)가 현저히 길어지고, 공기포일베어링(30)과 마그네틱베어링(50) 사이의 간격이 발생하므로 하우징(10)의 회전축(20) 원주 방향의 두께가 커지기 때문에 하이브리드 베어링의 전체 부피가 커지고 하우징(10) 없이는 공기포일베어링과 마그네틱베어링(50)을 결합할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 공기포일베어링(30)과 마그네틱베어링(50)간의 간격에 의해 마그네틱 베어링(50)이 회전축에서 멀리 배치되므로 마그네틱베어링(50)의 지지효율이 낮아지는 또 다른 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 마그네틱베어링과 공기포일베어링을 직접결합하여 회전축과 마그네틱베어링 사이의 간격을 현저히 줄일 수 있어서 마그네틱베어링의 지지효율을 증가시킬 수 있고, 하우징이 공기포일베어링을 직접 장착할 필요가 없어서 하우징이 차지하는 공간을 현저히 줄일 수 있는 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 마그네틱베어링을 부상속도 이전, 외력이 인가되는 경우, 공진 주파수 부근에서 사용하도록 제어하여, 능동적으로 회전축을 지지하고, 충분한 동압을 얻을 수 있고 정상상태로 회전할 수 있는 속도구간에서는 공기포일베어링에 의한 유막으로 회전축을 지지함으로써 각 베어링을 효과적으로 사용할 수 있는 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링은 회전장치의 회전축 외면을 둘러싸며 형성되는 하우징과, 상기 하우징과 회전축 사이에 배치되어 회전축의 회전 시 동압을 형성하여 회전축을 부상시키는 공기포일베어링과; 상기 하우징의 내면에 방사상으로 복수개가 상기 회전 축의 중심을 향해 돌출된 코어와, 상기 각 코어에 권취되는 코일로 이루어져, 상기 코일에 전류가 인가되어 형성되는 자기장에 의한 인력을 이용하여 회전축을 부상시키는 마그네틱베어링과; 상기 공기포일베어링을 마그네틱베어링에 결합시키는 결합편을 포함한다.
상기 마그네틱베어링은 마그네틱베어링이 작동하지 않는 진동모드에서의 공진속도 영역에서 작동하거나, 상기 회전축이 구동된 후 회전축의 회전속도가 공기포일베어링에 의한 회전축 부상속도에 이를 때까지 작동하거나, 상기 회전축의 진폭이 설정 진폭보다 큰 경우 작동하는 것이 바람직하다.
상기 코어와 코일 사이는 유전체로 충진되는 것이 바람직하며, 상기 유전체에는 고정홈이 형성되고, 상기 결합편에는 상기 공기포일베어링의 일단이 결합되고, 상기 고정홈에 상기 결합편이 축방향으로 삽입되어 체결되는 것이 바람직하다.
상기 고정홈은 회전축 중심으로 갈수록 좁아지는 형상으로 이루어지고, 상기 결합편은 상기 고정홈에 대응하는 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 공기포일베어링은 다공질의 탄성체로 이루어진 다공성포일과, 상기 다공성포일에 적층되어 회전축에 인접하게 배치된 탑포일로 이루어지며, 상기 공기포일베어링의 일단은 상기 결합편에 결합되고 타단은 자유단으로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 제어시스템은 회전장치의 회전축 외면을 둘러싸며 형성되는 하우징과, 상기 하우징과 회전축 사이에 배치되어 회전축의 회전시 동압을 형성하여 회전축을 부상시켜 지지하는 포일형 공기포일베어링과, 상기 공기포일베어링과 하우징 사이에 배치되어 자기장에 의 한 인력을 이용하여 회전축을 부상시켜 지지하는 마그네틱베어링을 포함하는 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링과; 상기 회전축 중심의 진폭을 감지하는 위치센서와; 상기 회전축의 회전속도를 측정하는 속도센서와; 상기 마그네틱베어링을 제어하는 제어기를 포함하며, 상기 제어기는 상기 속도 센서에서 측정된 회전속도가 상기 공기포일베어링만으로 회전축을 부상시킬 수 있는 부상속도보다 낮은 경우 또는 마그네틱베어링이 작동하지 않는 경우의 공진 영역인 경우 또는 상기 위치센서에서 감지된 위치가 설정된 위치를 벗어나는 진폭을 갖는 경우 마그네틱베어링을 가동한다.
상기 제어기는 상기 회전장치의 작동이 시작되면, 상기 회전축의 속도가 공기포일베어링이 회전축을 부상시킬 수 있는 동압을 형성할 수 있는 부상속도에 다다를 때까지 마그네틱베어링을 가동하고, 상기 회전장치의 작동이 정지되면, 상기 회전축이 부상속도에 다다른 이후 회전축이 회전하지 않을 때까지 마그네틱베어링을 가동하도록 제어한다.
상기 마그네틱베어링이 가동되지 않는 진동모드의 공진영역은 공진 속도의 90% 내지 110% 사이의 회전속도 범위인 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 공기포일베어링과 마그네틱베어링이 하이브리드 구조로 되어 회전로터의 길이를 줄일 수 있어, 고속 회전시 강성모드 운전 만으로 진동이 적은 영역에서 운전이 가능하고, 또한, 전체 시스템의 부피를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 결합편을 이용하여 공기포일베어링을 용이하게 착탈할 수 있으므로, 공기포일베어링의 파손시 또는 상황에 따라 공기포일베어링의 두께 또는 재질을 변경하고자 하는 경우 그 교체가 용이해지는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 부상속도에 이르기 전의 초기 구간, 공진 주파수 영역, 그리고 외력이 인가된 경우에는 마그네틱베어링을 작동시켜 회전축을 부상시키고 그 외의 경우에는 공기포일베어링을 사용함으로써 회전축을 효과적으로 지지하고 회전축의 위치를 일정하게 제어할 수 있으며, 베어링의 내구성을 높일 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 실시예를 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 도시한 정단면도이고, 도 3은 도 2의 측단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명은 베어링 하우징(110)의 중심방향으로 돌출되며 하우징 내부에 방사상으로 복수개가 배치되는 코어(111)와, 코어(111)에 권취되는 코일(120)및 이들 사이에 충진되는 유전체(112)로 이루어지는 마그네틱베어링(101)과; 다공성포일(130)과 탑포일(140)로 이루어지는 공기포일베어링(102)과; 마그네틱베어링(101)과 공기포일베어링(102)를 결합하는 결합편(150)을 포함한다. 인접한 코어(111)의 간격은 하우징의 중심으로 갈수록 좁아지므로 코일(120)은 내측부(121)와 외측부(122)의 권취밀도가 다르게 형성하였다. 이들 코일은 분리되지 않고 연속적으로 권취되며, 권선수는 동일하다. 마그네틱베어링(101)의 유전체(112)중 하나는 중심 일부가 유전물질로 충진되지 않고, 결합편(150)이 고정될 홈이 형성된다. 결합편(150)에는 공기포일베어링(102)의 일단이 고정된다. 도면에서 다공성포일(130)과 탑포일(140)은 결합편(150)에 나사(160)로 결합된다. 회전축(103)은 마그네틱베어링(101)의 자기력이 미칠 수 있도록 강자성체로 이루어지거나, 마그네틱베어링에 대응하는 부분이 강자성체로 이루어진다.
공기포일베어링(101)에서 다공성포일(130)은 다공질의 탄성체로 이루어진 다공성포일(wired meshed foil)이며, 탑포일(140)은 회전축(도시하지 않음)과 인접하게 배치되어 회전축의 회전시 회전축과의 사이에 공기막을 형성하여 회전축을 부상시키기 위한 것이다. 다공성포일(140)은 감쇠성능이 뛰어나서 초고속의 회전장치에 적합한 공기포일베어링 요소이다.
도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기와 같은 구성은 코어(111)의 내측단이 회전축(103)에 최대한 가까이 배치되어 마그네틱베어링(101)의 효율을 극대화 시킬 수 있다. 또한, 종래기술(a)에는 코어가 회전축과 평행하게 배치된 반면 본 발명(b)은 코어(111)가 회전축과 직교하게 배치된다. 따라서, 하우징(110)이 마그네틱베어링(101) 및 공기포일베어링(102)을 모두 감싸도록 형성될 필요가 없으므로 마그네틱베어링(101)의 축방향 길이(L2)가 종래기술 (a)의 마그네틱베어링의 길이(L1)에 비해 현저히 줄어들어 베어링이 축방향으로 차지하는 공간을 줄일 수 있다.
도 4는 도 2의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 마그네틱베어링 및 하우징만을 도시한 정단면도이고, 도 5는 도 2의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 공기포일베어링 및 결합편을 도시한 정단면도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 마그네틱베어링(101)의 유전체(112) 중 하나에는 중심에서 마그네틱 베어링까지 유전물질이 충진되지 않음으로써 형성된 5각형의 고정홈(113)이 형성된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 결합편(150)은 고정홈(113)에 대응하는 형상이며, 다공성포일(130) 및 탑포일(140)의 일단이 결합편(150)에 나사(160)로 결합된다.
이하, 상기와 같은 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 작용 및 효과를 설명한다.
고정홈(113)은 하우징(110)의 중심으로 갈수록 좁아지는 형상을 갖고, 결합편(150)도 이와 마찬가지로 중심으로 갈수록 좁아지는 형상이므로 결합편(150)이 원주방향으로는 이탈하지 않는다. 따라서, 공기포일베어링(102)이 하우징에 의해 결합되는 것이 아니라 결합편(150)을 이용하여 마그네틱베어링(101)에 결합되므로 하이브리드 베어링의 부피가 현저히 줄어든다.
또한, 코어가 공기포일베어링(102)에 의해 회전축과 차단되므로, 마그네틱베어링(101) 가동 중에 강자성체인 회전축이 마그네틱베어링(101)에 직접 닿는 위험성이 완벽히 제거된다.
도 6은 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱베어링에서 공기포일베어링을 마그네틱베어링에 결합하는 과정을 도시한 사시도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 공기포일베어링(102)은 일단이 결합편(150)에 결합되고 결합편(150)은 고정홈(113)에 축방향으로 삽입될 수 있다. 따라서, 마그네틱베어링(101)과 공기포일베어링(102) 의 결합이 용이하다. 즉, 공기포일베어링(102)의 장착 및 교체가 용이하며, 공기포일베어링(102)이 파손되어 교체가 필요한 경우 그 교체작업이 용이하며, 상황에 따라 공기포일베어링(102)의 두께 또는 재질을 변경하고자 하는 경우에도 공기포일베어링(102)의 교체작업이 용이하다.
이하, 도 7 내지 도 12을 참조하여 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 제어시스템의 실시예를 설명한다.
도 7은 도 5의 마그네틱베어링에 전류가 인가되어 형성된 자기장을 개략적으로 도시한 개념도이다. 도시된 바와 같이, 본 실시예는 8개의 코어(111)를 상하 대칭으로 형성하였다. 인접한 두 코어(111)에 권취된 코일(112)에 의한 자기장의 방향은 동일하고. 그에 인접한 두 코어(111)에 권취된 코일(112)에 의한 자기장의 방향은 반대이다. 전류를 인가하면, 회전축 주위로 4개의 순환 형태의 자기장이 형성된다. 회전축은 자중이 있으므로 자기장에 의한 인력이 상측에 더 많이 작용하여야 한다. 따라서, 상측의 자기장을 형성하는 코일에는 바이어스 전류(I01)와 제어전류(i)를 더하여 (I01+i)의 전류를 인가하고, 하측의 코일에는 바이어스 전류(I02)에서 제어전류(i)만큼 적게 (I02-i)의 전류를 인가한다.
도 8은 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 제어시스템을 도시한 블록도이다. 도시된 바와 같이, 본 제어시스템은 회전축(103)의 속도를 감지하는 센서(211)와, 베어링(100)에 장착되어 회전축(103)의 중심에서의 위치변화를 감지하는 진동상태분석기(212)와, 이들 회전축의 속도 및 회전축의 위치에 따 라 마그네틱베어링에 인가되는 전류를 제어하는 제어기(200)와 마그네틱베어링에 인가될 전류를 증폭하는 증폭기(220)를 포함한다. 제어기(200)는 증폭기(220)를 제어하여 마그네틱베어링(101)에 인가되는 전류의 세기를 조절한다. 또한, 증폭기(220)에서 마그네틱베어링에 인가되는 전류를 계속적으로 감지한다. 진동상태분석기(212)는 정면에서 본 베어링(100')의 회전축(103)의 진폭을 감지하는 것으로서, FFT분석기 또는 오실로스코프일 수 있다.
도 9는 도 8의 시스템에서 마그네틱베어링의 작동을 제어하는 과정을 도시한 순서도이다. 도시된 바와 같이, 제어부(200)가 마그네틱베어링(101)을 작동하는 때는 초기 구동조건이거나, 외력이 인가되는 경우이거나, 마그네틱베어링(101)에 전류가 인가되지 않은 상태의 베어링 진동모드(이하, 제1 진동모드)에서 공진 영역에 다다른 경우이다. 우선 회전장치의 구동이 시작되는 초기에는 공기포일베어링(102)이 회전축을 지지하기 위한 충분한 동압이 생성되기 어려우므로 마그네틱베어링(101)을 가동한다(S10). 공기포일베어링(102)이 회전축(103)을 부상시키기에 충분한 동압을 얻는 회전속도를 부상속도 W1이라고 설정해두면, 속도센서(211)가 감지한 회전속도 W가 W1보다 큰 경우 마그네틱베어링(101)의 가동을 중단한다(S20). 반대로 회전장치가 정지된 경우에는 회전축(103)의 회전속도가 부상속도 W1일 때부터 회전속도가 0인 경우까지 마그네틱베어링(101)을 가동하는 것이 바람직하다. 본 실시예의 하이브리드 베어링은 초고속회전장치에 사용되기 때문에, 회전장치 가동 중에는 부상속도 밑으로 떨어지지 않는다. 따라서, 회전장치가 정지된 후 회전축(103)의 회전속도 W가 공기포일베어링(102)에 의한 회전축(103)의 부 상속도 W1보다 작아지면 마그네틱베어링을 가동한다(S30). 회전축(103)의 회전이 완전히 정지되어 회전속도 W가 0이 되면 마그네틱베어링(101)의 가동도 중단한다(S31). 본 실시예와는 다른 저속의 회전장치에 사용되는 하이브리드 베어링인 경우에는 회전장치의 가동여부에 관계없이 회전속도 W가 부상속도W1 보다 작은지를 실시간으로 감지하여 회전속도W가 부상속도W1 보다 작아진 때부터 회전속도W가 0이 될 때까지 마그네틱베어링을 가동하여야 한다.
임계속도 W2는 공기포일베어링만 사용되는 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 진동모드에 따른 공진속도를 의미하며, W0는 W2의 10%수치이다. 본 실시예에서 마그네틱베어링(101)은 회전축(103)이 임계속도의 90% 에서 110% 사이에서 회전하는 동안 가동된다. 제어부는 회전속도W가 임계속도의 90% 속도인 W2-W0보다 크고 임계속도의 110% 속도인 W2+W0보다 작은지를 판단하고(S40), 그 사이 값이면 마그네틱베어링(101)을 가동한다(S41).
시스템의 초기 가동 또는 정지 상태가 아니고 공진 영역이 아닌 부상속도 이상의 영역에서는 공기포일베어링(102)이 회전축(103)을 지지하는 것이 바람직하지만, 외력이 인가된 경우 회전축(103)의 위치가 변하여 공기포일베어링과 마찰할 수 있고 심지어 파단될 수 있다. 따라서, 회전축(103)의 진동상태분석기(212)에서 감지한 회전축(103) 중심의 위치가 일정 진폭을 넘어서는 경우 마그네틱베어링(101)을 가동하는 것이 바람직하다. S는 외력이 인가되는지를 판단하는 설정진폭이다. 제어기(200)는 위치 센서를 통해 진동상태분석기(212)에서 분석한 회전축의 진폭 X가 S를 넘어서는지를 판단하여(S50) 회전축(103)의 진폭 X가 S보다 큰 경우 마그네 틱베어링(101)을 가동한다(S51).
이하, 도 10 내지 도 12를 참조하여 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 제어시스템의 작용 및 효과를 설명한다.
도 10은 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 이용하여 회전축을 지지한 경우와 공기포일베어링 만을 이용하여 회전축을 지지한 경우의 회전축의 진폭을 도시한 오빗(orbit) 그래프이다. 도 10에서 A(두꺼운 선)는 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 이용하여 회전축(103)을 지지한 경우의 회전축의 진폭을 나타낸 것이고, B(얇은 선)는 공기포일베어링만 이용하여 회전축을 지지한 경우의 회전축의 진폭을 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 동일한 RPM에서 공기포일베어링만 사용하는 B의 경우 감쇠성능 부족으로 인한 지지력 감소 등에 따라 회전축의 진폭이 커질 수 있다. 특히 실시예에서의 공진속도 20000RPM에서는 진폭이 매우 커짐을 알 수 있다. 그러나, A의 경우 진폭의 변화가 현저히 줄어든다. 즉, A의 경우 회전축 중심에서 회전축이 크게 벗어나지 않는다. 따라서, 진동의 감쇠성능이 현저히 향상되었음을 알 수 있다.
도 11은 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 이용하여 공진 영역에서의 진폭을 제어한 결과를 도시한 그래프이다. 본 발명에 따른 하이브리드 베어링은 두 개의 진동모드를 갖는다. 첫 번째 진동모드는 마그네틱베어링(101)이 가동되지 않고 공기포일베어링(102) 만이 사용된 경우의 제1 진동모드 C이고, 두 번째 진동모드는 공기포일베어링(102)과 마그네틱베어링(101)이 모두 사용되는 경우의 제2 진동모드 D이다. 도시된 바와 같이, 회전축(103)이 회전하기 시작되고 회전속도가 증가함에 따라 마그네틱베어링(101)을 사용하지 않는 상태에서는 C의 진동모드를 따라 진폭이 증가한다. 제1 진동모드의 공진영역 근방에서는 회전축의 진폭이 현저히 증가한다. 이때, 마그네틱베어링(101)을 가동하여 진폭을 감소시킬 수 있다. 마그네틱베어링(101)이 가동된 후에는 하이브리드 베어링이 D의 진동모드를 따르게 되고, 회전속도가 증가함에 따라 진폭이 다시 증가한다. 진동모드 C에서의 진폭은 공진속도 이후에는 감소하므로 C의 진폭과 D의 진폭이 만나는 점에서 마그네틱베어링의 가동을 정지하여 C의 진동모드를 따르도록 한다. 따라서, 회전축(103)의 진폭은 굵은 선을 따라 변화하며, 일정한 진폭 이내로 유지될 수 있다. 다만, 실시예에서는 각 진동모드가 만나는 회전속도를 정확히 측정하거나 계산하기는 어려우므로 진동모드 C의 공진속도의 90% 내지 110%의 영역에서 마그네틱베어링(101)을 가동하였다.
도 12는 종래 기술의 공기포일베어링과 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 진동 워터폴(waterfall of vibration)을 비교한 그래프이다. 도시된 바와 같이, 공기포일베어링만 사용한 경우 회전축(101)의 자유단 또는 터빈단 근처에서 원으로 표시한 비동기 진동성분이 임계속도 이전에서 두드러짐을 알 수 있다. 그러나 전술한 실시예에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 사용한 결과 비동기 진동성분을 추가적으로 감쇠시킬 수 있어서 제진 성능이 현저히 향상되었음을 알 수 있다.
전술한 실시예 및 첨부된 도면에서 베어링은 저널 베어링으로 설명되었으나, 회전축을 축방향으로 지지하는 스러스트 베어링에도 사용될 수 있다. 즉, 회전축 에 원주방향으로 강자성체로 이루어진 스러스트 디스크가 형성되고, 디스크 전 후면에 공기포일베어링과 마그네틱베어링이 결합된 하이브리드 베어링이 장착되어 회전축을 축방향으로 지지할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 일 예를 도시한 측단면도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 도시한 정단면도,
도 3은 종래기술과 비교하여 도시한도 2의 측단면도,
도 4는 도 2의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 마그네틱베어링 및 하우징을 도시한 정단면도,
도 5는 도 2의 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 공기포일베어링 및 결합편을 도시한 정단면도,
도 6은 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱베어링에서 공기포일베어링을 마그네틱베어링에 결합하는 과정을 도시한 사시도,
도 7은 도 5의 마그네틱베어링에 전류가 인가되어 형성된 자기장을 개략적으로 도시한 개념도,
도 8은 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 제어시스템을 도시한 블록도,
도 9는 도 8의 시스템에서 마그네틱베어링의 작동을 제어하는 과정을 도시한 순서도,
도 10은 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 이용하여 회전축을 지지한 경우와 공기포일베어링 만을 이용하여 회전축을 지지한 경우의 회 전축의 진폭을 도시한 오빗(orbit) 그래프,
도 11은 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링을 이용하여 공진 영역에서의 진폭을 제어한 결과를 도시한 그래프, 그리고
도 12는 종래 기술의 공기포일베어링과 본 발명에 따른 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링의 진동 워터폴(waterfall of vibration)을 비교한 그래프이다.
<도면의 주요부분에 대한 설명>
101: 마그네틱베어링 102: 공기포일베어링
103: 회전축 110: 하우징
111: 코어 112: 충진부
113: 고정홈 120: 코일
200: 제어기 211: 속도센서
212: 진동상태 분석기: 220: 증폭기

Claims (11)

  1. 회전장치의 회전축 외면을 둘러싸며 형성되는 하우징과,
    상기 하우징과 회전축 사이에 배치되어 회전축의 회전시 동압을 형성하여 회전축을 부상시키는 공기포일베어링과;
    상기 하우징의 내면과 공기포일 베어링의 외면 사이에 배치되며, 상기 하우징의 내면으로부터 상기 회전축의 중심을 향해 각각 방사상으로 연장되는 복수개의 코어와, 상기 각 코어에 권취되는 코일로 이루어져, 상기 코일에 전류가 인가되어 형성되는 자기장에 의한 인력을 이용하여 회전축을 부상시키는 마그네틱베어링과;
    상기 공기포일베어링을 마그네틱베어링에 결합시키는 결합편
    을 포함하는 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마그네틱베어링은 마그네틱베어링이 작동하지 않는 진동모드에서의 공진속도 영역에서 작동하는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 마그네틱베어링은 상기 회전축이 구동된 후 회전축의 회전속도가 공기포일베어링에 의한 회전축 부상속도에 이를 때까지 작동하는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 마그네틱베어링은 상기 회전축의 진폭이 설정 진폭보다 큰 경우 작동하는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코어와 코일 사이는 유전체로 충진되는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 코어에 충전되는 유전체에는 고정홈이 형성되고,
    상기 결합편에는 상기 공기포일베어링의 일단이 결합되고,
    상기 고정홈에 상기 결합편이 축방향으로 삽입되어 체결되는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 고정홈은 회전축 중심으로 갈수록 좁아지는 형상으로 이루어지고,
    상기 결합편은 상기 고정홈에 대응하는 형상으로 이루어져 상기 결합편을 고 정홈에 회전축 길이방향으로 삽입하여 결합하는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공기포일베어링은 다공질의 탄성체로 이루어진 다공성포일과, 상기 다공성포일에 적층되어 회전축에 인접하게 배치된 탑포일로 이루어지며,
    상기 공기포일베어링의 일단은 상기 결합편에 결합되고 타단은 자유단으로 이루어지는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링.
  9. 회전장치의 회전축 외면을 둘러싸며 형성되는 하우징과, 상기 하우징과 회전축 사이에 배치되어 회전축의 회전시 동압을 형성하여 회전축을 부상시켜 지지하는 포일형 공기포일베어링과, 상기 하우징의 내면과 공기포일 베어링의 외면 사이에 배치되며 상기 하우징의 내면으로부터 상기 회전축의 중심을 향해 각각 방사상으로 연장되는 복수개의 코어와 상기 각 코어에 권취되는 코일로 이루어져, 상기 코일에 전류가 인가되어 형성되는 자기장에 의한 인력을 이용하여 회전축을 부상시켜 지지하는 마그네틱베어링을 포함하는 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링과;
    상기 회전축 중심의 진폭을 감지하는 위치센서와;
    상기 회전축의 회전속도를 측정하는 속도센서와;
    상기 마그네틱베어링을 제어하는 제어기를 포함하며,
    상기 제어기는 상기 속도 센서에서 측정된 회전속도가 상기 공기포일베어링만으로 회전축을 부상시킬 수 있는 부상속도보다 낮은 경우와, 마그네틱베어링이 작동하지 않는 경우의 공진 영역인 경우와, 상기 위치센서에서 감지된 위치가 설정된 위치를 벗어나는 진폭을 갖는 경우에 마그네틱베어링을 가동하도록 제어하는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 제어시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어기는
    상기 회전장치의 작동이 시작되면, 상기 공기포일베어링이 회전축을 부상시킬 수 있는 동압을 형성할 수 있는 부상속도에 다다를 때까지 마그네틱베어링을 가동하고, 상기 회전장치의 작동이 정지되면, 상기 회전축이 부상속도에 다다른 이후 회전축이 회전하지 않을 때까지 마그네틱베어링을 가동하도록 제어하는
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 제어시스템.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 마그네틱베어링이 가동되지 않는 진동모드의 공진영역은 공진 속도의 90% 내지 110% 사이의 회전속도 범위인
    공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 제어시스템.
KR1020070106732A 2007-10-23 2007-10-23 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템 KR100928948B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070106732A KR100928948B1 (ko) 2007-10-23 2007-10-23 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템
PCT/KR2007/005811 WO2009054562A1 (en) 2007-10-23 2007-11-19 Airfoil-magnetic hybrid bearing and a control system thereof
US12/739,590 US8772992B2 (en) 2007-10-23 2007-11-19 Airfoil-magnetic hybrid bearing and a control system thereof
CN2007801020636A CN101910657B (zh) 2007-10-23 2007-11-19 气浮-磁性混合轴承及其控制系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070106732A KR100928948B1 (ko) 2007-10-23 2007-10-23 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090041162A KR20090041162A (ko) 2009-04-28
KR100928948B1 true KR100928948B1 (ko) 2009-11-30

Family

ID=40579654

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070106732A KR100928948B1 (ko) 2007-10-23 2007-10-23 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8772992B2 (ko)
KR (1) KR100928948B1 (ko)
CN (1) CN101910657B (ko)
WO (1) WO2009054562A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101133257B1 (ko) 2010-02-25 2012-04-09 서울대학교산학협력단 에어포일-전자기 하이브리드 베어링
KR20230173377A (ko) 2022-06-17 2023-12-27 한국과학기술연구원 마그네틱 베어링, 영구자석 및 슬리브 저널 베어링으로 구성된 하이브리드 베어링 구조를 갖는 터보기기 및 그 제어방법

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102947606B (zh) * 2010-06-21 2015-08-19 英派尔科技开发有限公司 影响磁轴承中的磁场的系统
CN101846133B (zh) * 2010-06-30 2012-05-16 哈尔滨工业大学 波纹箔片轴向排列的自调式动压气体弹性箔片轴承
GR1007565B (el) * 2010-09-08 2012-03-26 ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΠΑΤΡΩΝ (κατά ποσοστό 40%), Υβριδικο εδρανο ολισθησης
JP5827492B2 (ja) * 2011-04-28 2015-12-02 株式会社日立製作所 振動特性測定装置および振動特性測定方法
EP2589827A1 (en) * 2011-11-04 2013-05-08 ETH Zürich Rotating electrical machine and method for measuring a displacement of a rotating electrical machine
US9234522B2 (en) 2012-01-03 2016-01-12 United Technologies Corporation Hybrid bearing turbomachine
WO2014165285A1 (en) 2013-03-12 2014-10-09 Waukesha Bearings Corporation Damper
CN103256304B (zh) * 2013-04-10 2015-11-25 中国计量学院 一种大承载高刚度静压气体轴承
US10876539B2 (en) 2016-09-07 2020-12-29 Hamilton Sunstrand Corporation Ventilation fan having a hybrid bearing system
GB201718068D0 (en) * 2017-11-01 2017-12-13 Rolls Royce Plc Resonance vibration control method and system
CN108869542B (zh) * 2018-01-12 2023-12-05 靳普 一种推力轴承、转子系统及推力轴承的控制方法
CN108980207A (zh) * 2018-08-07 2018-12-11 燕山大学 一种带有多孔介质的磁气双悬浮分断式锥形轴承
CN109236847B (zh) * 2018-10-29 2020-05-22 清华大学 智能动压轴承的控制系统和控制方法
CN109114103B (zh) * 2018-10-29 2020-01-10 清华大学 智能动压轴承
CN112879317B (zh) * 2021-01-30 2022-08-16 江苏海拓宾未来工业科技集团有限公司 高速高压磁悬浮离心式两级空气压缩机及其控制方法
CN113864334A (zh) * 2021-09-24 2021-12-31 浙江翰翔科技有限公司 一种含有电磁装置和动态气浮轴颈轴承的转子装置
TWI806228B (zh) * 2021-11-08 2023-06-21 財團法人工業技術研究院 用於高速旋轉機械的感測器裝置
KR20240001578A (ko) 2022-06-27 2024-01-03 가천대학교 산학협력단 무게 저감과 성능을 향상시킨 마그네틱 베어링
US20240352889A1 (en) * 2023-04-21 2024-10-24 Raytheon Technologies Corporation Magnetic-foil bearing supporting turbine engine rotating structure

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0687827A1 (en) * 1994-06-13 1995-12-20 Mechanical Technology Incorporated Hybrid magnetic/foil gas bearings
JP2003074550A (ja) * 2001-09-05 2003-03-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd フォイルガス軸受
KR20060034054A (ko) * 2004-10-18 2006-04-21 한국과학기술연구원 다공성 포일을 갖는 공기 포일 베어링

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6110116A (ja) 1984-06-22 1986-01-17 Toray Ind Inc 軸受
JPS63168501A (ja) 1986-12-30 1988-07-12 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 磁気軸受の変位計
JPH02151239A (ja) 1988-12-01 1990-06-11 Ebara Res Co Ltd 磁気軸受装置
US5486729A (en) * 1992-03-09 1996-01-23 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for controlling a magnetic bearing
JP3322932B2 (ja) 1992-03-09 2002-09-09 株式会社日立製作所 磁気軸受制御装置
GB2268984B (en) * 1992-07-23 1996-04-03 Glacier Metal Co Ltd Magnetic bearing back-up
JPH08251865A (ja) 1995-03-08 1996-09-27 Shinko Electric Co Ltd 振動抑制回転機
WO1997002437A1 (en) * 1995-06-30 1997-01-23 Alliedsignal Inc. Hybrid foil/magnetic bearing
JP3696398B2 (ja) * 1997-04-28 2005-09-14 Ntn株式会社 静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置
CN2428615Y (zh) * 1999-11-19 2001-05-02 王雷 磁浮轴承
CN1632330A (zh) * 2005-01-18 2005-06-29 哈尔滨工业大学 磁悬浮与动压气浮复合轴承
CN1730959A (zh) * 2005-08-19 2006-02-08 南京航空航天大学 磁气混合轴承及弹性箔片制作方法
JP4788351B2 (ja) * 2006-01-19 2011-10-05 株式会社ジェイテクト 燃料電池用過給機
JP2007270647A (ja) 2006-03-30 2007-10-18 Jtekt Corp 燃料電池用圧縮機

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0687827A1 (en) * 1994-06-13 1995-12-20 Mechanical Technology Incorporated Hybrid magnetic/foil gas bearings
JP2003074550A (ja) * 2001-09-05 2003-03-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd フォイルガス軸受
KR20060034054A (ko) * 2004-10-18 2006-04-21 한국과학기술연구원 다공성 포일을 갖는 공기 포일 베어링

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101133257B1 (ko) 2010-02-25 2012-04-09 서울대학교산학협력단 에어포일-전자기 하이브리드 베어링
KR20230173377A (ko) 2022-06-17 2023-12-27 한국과학기술연구원 마그네틱 베어링, 영구자석 및 슬리브 저널 베어링으로 구성된 하이브리드 베어링 구조를 갖는 터보기기 및 그 제어방법

Also Published As

Publication number Publication date
US20100247010A1 (en) 2010-09-30
CN101910657A (zh) 2010-12-08
CN101910657B (zh) 2013-10-23
US8772992B2 (en) 2014-07-08
KR20090041162A (ko) 2009-04-28
WO2009054562A1 (en) 2009-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100928948B1 (ko) 공기포일-마그네틱 하이브리드 베어링 및 그 제어시스템
JP6351873B2 (ja) 電磁イネーブル能動型動圧気体軸受
JP4767488B2 (ja) 磁気浮上型ポンプ
JP3266559B2 (ja) ブラシレスdcモータ
JP6558501B2 (ja) 磁気軸受装置、及びそれを用いた流体機械システム
WO2010067682A1 (ja) 遠心式ポンプ装置
JP2009014084A (ja) 軸受装置およびこれを備えた遠心圧縮機
CN108716480B (zh) 一种磁悬浮结构及风机
JP2013050180A (ja) 磁気軸受機構
KR100701550B1 (ko) 베어링리스 스텝모터
JP3259404B2 (ja) 振動抑制装置
JPH09308185A (ja) フライホイール装置
KR101291577B1 (ko) 등속운동용 자기 베어링 시스템
KR101180026B1 (ko) 하이브리드 무급유 댐퍼 베어링 및 그 제어장치
JP2000257586A (ja) ターボ分子ポンプ
JP2000170766A (ja) 磁気軸受を利用した発電装置
CN115398782B (zh) 电动机系统及包括该电动机系统的涡轮压缩机
US7465097B2 (en) Fluid dynamic bearing system
KR101200067B1 (ko) 전자기 베어링
JP7192502B2 (ja) 磁気軸受
JP3735742B2 (ja) 超電導軸受部の回転損失測定装置
JP2002174199A (ja) レーザ発振器ブロワ用軸受装置
JP2002199655A (ja) 高速電動機
JP2008111476A (ja) 回転駆動装置及び回転駆動装置を具備した回転機器
Tsunoda et al. Combination of Oil Film Bearing and Bearingless Motor for High Load Capacity and Stable Rotation

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121031

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131029

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141103

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151102

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171101

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181101

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191028

Year of fee payment: 11