KR100910047B1 - A Sealing Method of FPD using Flexible Irradiating Area of Laser - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것이며, 그 목적은 가변형의 투과부를 이용하여, 패널 기판들에 마련된 접착부(접착제)의 다양한 형상에 대응하는 조사영역을 구현함으로서, 패널의 종류별 다양한 실시를 구현할 수 있는 가변형의 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법을 제공함에 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sealing method of a flat panel display panel, and an object thereof is to implement various types of panels by implementing irradiation areas corresponding to various shapes of adhesive parts (adhesives) provided on panel substrates using variable transmission parts. The present invention provides a sealing method of a flat panel display panel using a variable laser irradiation area that can be implemented.
본 발명은 발광소자가 형성된 화소영역과 이 화소영역의 외연에 형성되는 비화소영역을 포함하는 제1 및 2기판과, 상기 화소영역을 보호하게 제1 및 2기판의 비화소영역 상에 접착제를 용융시켜 밀봉 접착시키는 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 있어서; 일정한 폭과 너비의 조사영역을 갖는 레이저 발생기와, 다수개의 가동블록들을 구비하는 가변형 마스크를 포함한 광학계를 구비하는 레이저 조사장치를 접착부의 한쪽 시점에 위치시킨 후, 접착부의 반대쪽 종점을 향해 레이저 광원을 직선 이동시키며 조사하되; 레이저 광원의 이동과 함께 접착부의 패턴과 대응하도록 다수개의 가동블록들을 연동하여 상대 이동시켜, 레이저 광원의 너비를 조절하거나 분할시키며, 연속적인 접착을 수행하도록 한 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.According to the present invention, an adhesive is applied to first and second substrates including a pixel region in which a light emitting element is formed and a nonpixel region formed at an outer edge of the pixel region, and a nonpixel region of the first and second substrates to protect the pixel region. What is claimed is: 1. A sealing method for a flat panel display panel which is melted, sealed and adhered; A laser irradiation apparatus having a laser beam having a constant width and width and an optical system including a variable mask having a plurality of movable blocks is positioned at one point of the bonding portion, and then the laser light source is directed toward the opposite end of the bonding portion. Investigate by moving in a straight line; In the flat panel display panel using a flexible laser irradiation area to move or move the laser light source to match the pattern of the bonding portion to move relative to the plurality of movable blocks to adjust or divide the width of the laser light source and to perform continuous bonding. The technical gist of the sealing method is taken.
평판 디스플레이 패널, 레이저, 합착, 실링, 밀봉, 가변형 마스크 Flat Panel Display, Laser, Bonded, Sealed, Sealed, Adjustable Mask
Description
본 발명은 레이저를 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종래 접착부(프릿)의 패턴 형상에 대한 레이저 광원의 추적식 조사 작업을 수행함으로 인해 접착부의 굴곡부와 코너부 등에서 발생되었던 열응력 및 잔류응력을 방지하고, 패널 기판에 마련된 다양한 형상 및 크기와 무관하게 조사(실링)작업의 공정 단축을 수행할 수 있는 유연한 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것이다.The present invention relates to a sealing method of a flat panel display panel using a laser, and more particularly, it has been generated in the bent part and the corner part of the adhesive part by performing a tracking irradiation operation of the laser light source on the pattern shape of the conventional adhesive part (frit). The present invention relates to a sealing method of a flat panel display panel using a flexible laser irradiation area to prevent thermal stress and residual stress, and to shorten a process of irradiation (sealing) work regardless of various shapes and sizes provided on a panel substrate.
평판 디스플레이 패널의 단위 셀을 이루는 소자는, 제1전극과 제2전극사이에 발광층을 포함한 적어도 하나 이상의 유기막층을 갖는 구조를 이루게 된다. 상기 제1전극은 모 기판상에 형성되어 있으며, 정공을 주입하는 양극의 기능을 하고, 상기 제1전극의 상부에는 유기막층이 형성된다. 이 유기막층 상에는 전자를 주입하는 음극의 기능을 하는 제2전극이 상기 제1전극과 대향하도록 형성되어 있다.The device constituting the unit cell of the flat panel display panel has a structure having at least one organic layer including a light emitting layer between the first electrode and the second electrode. The first electrode is formed on a mother substrate, and functions as an anode for injecting holes, and an organic layer is formed on the first electrode. On this organic film layer, a second electrode which functions as a cathode for injecting electrons is formed to face the first electrode.
이러한 디스플레이소자는 주위로부터 산소, 수분이 내부로 유입되는 경우, 전극물질의 산화, 박리 등의 문제로부터 그 수명이 단축되거나 디스플레이의 성능이 저하되는 문제가 발생되어, 그 제조 시 외부로부터 소자를 격리하기 위한 실링(sealing)작업이 수행되는 것이다.When oxygen and moisture are introduced from the surroundings, such a display element may have a problem of shortening its lifespan or degrading the display performance from problems such as oxidation and peeling of electrode material, thereby isolating the element from the outside during its manufacture. Sealing work is performed.
통상 유기전계 발광소자의 제2 전극 상부에 PET(polyester) 등의 유기 고분자를 라미네이팅하거나, 흡습제를 포함하는 금속이나 유리로 커버, 캡(cap) 등의 상부기판을 형성하고, 그 내부에 질소가스를 충진시킨 후, 상기 커버, 캡 등의 상부기판의 테두리를 에폭시와 같은 밀봉재(접착제)로 실링하는 방법이 사용되고 있다. 또는 미국 공개특허 공보 [제2004-0207314호]에 의하면 상기 밀봉재(접착제)로 프릿(frit: 이하 '접착제라 칭함')을 사용하여 소자의 모기판과 상부기판 간의 밀착성을 향상시키는 실링방법이 고안되었다.Usually, an organic polymer such as PET (polyester) is laminated on the second electrode of the organic light emitting diode, or an upper substrate such as a cover or a cap is formed of metal or glass containing a moisture absorbent, and nitrogen gas is formed therein. After the filling, the method of sealing the edges of the upper substrate such as the cover and the cap with a sealing material (adhesive) such as epoxy is used. Alternatively, according to US Patent Publication No. 2004-0207314, a sealing method for improving adhesion between a mother substrate and an upper substrate of a device by using a frit as a sealant (adhesive) is used. It became.
한편, 이렇게 도포된 접착제를 경화시켜 기판들을 합착(실링)하기 위한 열원으로서는 레이저에서 조사되는 열파장(800nm)대의 에너지를 열원으로 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법이 제시되고 있다.On the other hand, as a heat source for curing (bonding) the substrates by curing the adhesive applied as described above has been proposed a sealing method of a flat panel display panel using the energy of the heat wavelength (800nm) band irradiated by a laser as a heat source.
도 1은 기판 상에 도포된 접착제에 대한 열원공급수단으로서, 종래 레이저 조사장치의 작동상태를 보이는 것으로, 레이저 발생기(6)와, 발생된 광원의 방향전환 및 이동을 구현하는 광학계(7)로 이루어지는 조사장치(5)가 구비되고, 기판(1)(2)상에 도포된 접착제(P)의 패턴과 동일하게 패터닝된 투과부(3a)를 갖는 고정식 마스크(3)가 레이저 조사장치(5)와 기판(1)(2) 사이에 배치된다. 또한, 도시되진 않았으나, 광학계(7) 혹은 광학계를 포함한 조사장치(5)에는 기판(1)(2)에 대 한 X-Y방향의 이동수단이 구비된다.Figure 1 is a heat source supply means for the adhesive applied on the substrate, showing the operating state of the conventional laser irradiation apparatus, the laser generator 6 and the optical system 7 for implementing the direction change and movement of the generated light source The
도 1에 도시된 바와 같이, 이러한 구조로부터 레이저 조사장치(5)는, 접착부(P)의 폭보다 큰 직경을 갖는 점(spot)형태의 조사영역을 가진다.As shown in Fig. 1, from this structure, the
이러한 점(spot) 형태의 조사와 함께 광학계(7)를 이용한 X-Y좌표에 대한 이동을 통해 하나의 단위 셀이 갖는 접착부(P)를 따라 광원(L)을 이동시키며 실링(조사)작업을 수행하게 된다. 이러한 하나의 단위 셀의 접착부(P)를 따르는 일련의 조사 작업이 완료된 후에는 기판(1)(2)으로부터 X 혹은 Y방향으로 1스텝 이동시켜 이웃하는 단위 셀로 이동하여 해당 접착부(P)에 대한 반복된 조사 작업을 수행하게 된다.Through the spot-type irradiation and the movement of the XY coordinates using the optical system 7, the light source L is moved along the adhesive part P of one unit cell to perform sealing (irradiation) work. do. After the series of irradiation work along the adhesion part P of one unit cell is completed, the
하지만, 이러한 종래의 레이저 조사장치를 이용한 실링공정은, 하나의 단위 셀이 갖는 접착부(P)에 대한 조사 작업이 그 길이를 따라 추적식 형태로 이루어지는 바, 레이저 광원의 조사 시작부와 종착부 및 사각패턴(대개 화소영역은 사각의 패턴을 가지게 됨)에 의한 코너부에서 광원의 조사가 중첩되는 현상이 발생되거나 조사의 끊김 현상이 발생하게 되어, 이로 인한 접착력의 저하로 밀봉력이 감소하여 차후 발광소자가 열화 및 변질되는 문제점이 발생하게 된다.However, in the sealing process using the conventional laser irradiation device, the irradiation operation for the adhesive portion (P) of one unit cell is made in a traced form along its length, the irradiation start portion and the termination portion of the laser light source and The overlapping of the irradiation of the light source occurs at the corner part due to the square pattern (usually the pixel area has a square pattern) or the disconnection of the irradiation occurs.As a result, the sealing force decreases due to the decrease in adhesive force. There is a problem that the light emitting device is deteriorated and deteriorated.
또한, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 종래 점 타입의 광원(L)은 그 중심에서 가장 높은 열의 집중현상이 발생되며, 그 양쪽으로 가며 상대적으로 낮은 온도패턴을 보이게 되는 바, 이러한 온도편차는 앞서 설명한 접착부(P)의 시작부, 종착부 및 코너뿐만 아니라, 접착부(P)의 전체적인 폭(ℓ)방향에 대한 온도편차를 발생시키게 되었다.In addition, as shown in Figures 2a and 2b, the conventional point-type light source (L) is the highest concentration of heat occurs in the center of the center, and both sides show a relatively low temperature pattern bar, this temperature The deviation caused not only the beginning, the end and the corner of the adhesive part P described above, but also the temperature deviation with respect to the overall width l direction of the adhesive part P.
무엇보다, 종래의 레이저 조사장치(5)는, 화소영역(A)에 대응하여 그 둘레를 따라 배치된 접착부(P)의 형상을 따르는 추적식 주행운동으로 인해, 하나의 단위 셀뿐만 아니라 기판에 대한 전체적인 실링작업에 많은 작업시간을 가중시키게 되었다.First of all, the conventional
또한, 기판에 도포된 접착부(P)의 두께, 크기, 그 모양에 따른 다양한 종류에 대응하는 각각의 고정식 마스크(3)를 개별적으로 구비하여야 했으며, 이로 인한 실링장비의 제작비를 가중시키게 되었다.In addition, each of the fixed masks 3 corresponding to various types according to the thickness, size, and shape of the adhesive part P applied to the substrate had to be individually provided, thereby increasing the manufacturing cost of the sealing equipment.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 가변형의 투과부를 이용하여, 패널 기판들에 마련된 접착부(접착제)의 다양한 형상에 대응하는 조사영역을 구현함으로서, 패널의 종류별 다양한 실시를 구현할 수 있다.Accordingly, the present invention is to solve the conventional problems as described above, the object of the panel by implementing the irradiation area corresponding to the various shapes of the adhesive portion (adhesive) provided on the panel substrates by using a variable transmission portion, by type of panel Various implementations can be implemented.
또한, 일정한 폭과 너비를 갖는 광원의 조사영역을 이용하여, 하나의 화소영역에 대한 접착부를 따라 1회의 직선구동을 통해 하나의 화소영역에 대한 접착부 및 전체 패널 기판에 형성된 다수개의 접착부를 대한 조사(실링)작업을 수행함으로서, 공정시간을 현저히 단축시킬 수 있는 것이다.In addition, by using the irradiation area of the light source having a constant width and width, irradiation of the bonding portion for one pixel region and the plurality of bonding portions formed on the entire panel substrate through one linear driving along the bonding portion for one pixel region By performing the (sealing) operation, the process time can be significantly reduced.
또한, 종래와 같이 접착부의 길이방향을 따라 점(spot)형의 광원 조사영역을 이용하여 주행식 이동 조사하는 것이 아닌 가변형 너비를 가지며 그 너비에 대해 균일한 에너지 분포를 갖는 선(line)형의 광원 조사영역을 이용함으로서, 접착부의 폭방향에 대한 가열 열원의 온도편차를 줄이는 한편, 접착부의 코너부에서 발생되는 가열 열원의 중첩현상과 집중현상을 배제할 수 있는 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법을 제공함에 있다.In addition, as in the prior art, a line-type having a variable width and having a uniform energy distribution with respect to the width, rather than a traveling movement irradiation using a spot-type light source irradiation area in the longitudinal direction of the adhesive part, has a uniform energy distribution. By using the light source irradiation area, a flat panel display using a flexible laser irradiation area can reduce the temperature deviation of the heating heat source in the width direction of the bonding portion and eliminate the overlapping and concentration of the heating heat source generated at the corner portion of the bonding portion. It is to provide a sealing method of the panel.
상기한 바와 같은 과제를 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 본 발명은 발광소자가 형성된 화소영역과 이 화소영역의 외연에 형성되는 비화소영역을 포함 하는 제1 및 2기판과, 상기 화소영역을 보호하게 제1 및 2기판의 비화소영역 상에 접착제를 용융시켜 밀봉 접착시키는 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 있어서,The present invention for achieving the above-mentioned problems and to eliminate the conventional drawbacks, the first and second substrates including a pixel region formed with a light emitting element and a non-pixel region formed on the outer edge of the pixel region, and the pixel region A sealing method of a flat panel display panel in which an adhesive is melted and sealed on non-pixel regions of first and second substrates to be protected.
일정한 폭과 너비의 조사영역을 갖는 레이저 발생기와, 다수개의 가동블록들을 구비하는 가변형 마스크를 포함한 광학계를 구비하는 레이저 조사장치를 접착부의 한쪽 시점에 위치시킨 후, 접착부의 반대쪽 종점을 향해 레이저 광원을 직선 이동시키며 조사하되;A laser irradiation apparatus having a laser beam having a constant width and width and an optical system including a variable mask having a plurality of movable blocks is positioned at one point of the bonding portion, and then the laser light source is directed toward the opposite end of the bonding portion. Investigate by moving in a straight line;
레이저 광원의 이동과 함께 접착부의 패턴과 대응하도록 다수개의 가동블록들을 연동하여 상대 이동시켜 레이저 광원의 너비를 조절하거나 분할하여, 조사영역이 가변되는 너비를 갖는 레이저 광원을 이용하여 접착부에 대한 연속적인 접착을 수행하도록 한 것을 특징으로 한다.By moving and moving the laser light source to correspond to the pattern of the bonding part, the movable blocks are moved relative to each other to adjust or divide the width of the laser light source, thereby continuously using the laser light source having a variable width of the irradiation area. Characterized in that the adhesion is performed.
이때, 상기 화소영역은 사각영역이 구비되고, 이에 대응하는 접착부는 소정의 폭을 갖는 사각패턴이 구비된 것으로서,In this case, the pixel area is provided with a rectangular area, and the corresponding adhesive part is provided with a rectangular pattern having a predetermined width.
상기 접착부는, 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 조정된 너비가 사각패턴의 한쪽 변 길이를 갖도록 유지한 채, 접착부의 폭만큼 이동시키는 제1접착 단계; 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 조정된 너비가 사각패턴의 양쪽 변의 폭을 갖도록 유지한 채, 양쪽 변의 길이만큼 이동시키는 제2접착 단계; 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 조정된 너비가 사각패턴의 나머지 변 길이를 갖도록 유지한 채, 접착부의 폭만큼 이동시키는 제3접착 단계를 통해 밀봉 접착되도록 한다.The bonding unit may include: a first bonding step of operating the plurality of movable blocks of the variable mask to move by the width of the bonding unit while maintaining the adjusted width of the irradiated laser light source to have one side length of the square pattern; A second bonding step of operating a plurality of movable blocks of the variable mask to move by the lengths of both sides while maintaining the adjusted width of the irradiated laser light source to have the widths of both sides of the square pattern; A plurality of movable blocks of the variable mask are operated to seal-bond through a third bonding step of moving the width of the bonding portion while maintaining the adjusted width of the irradiated laser light source to have the remaining side length of the square pattern.
또한, 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원을 완전히 차단시키는 이동단계를 더 포함하여 이웃하는 다른 접착부로 연속하여 이동할 수 있다.In addition, by operating a plurality of movable blocks of the variable mask, it may further include a moving step to completely block the laser light source to be irradiated to continuously move to other neighboring adhesive portion.
이때, 상기 조사되는 레이저 광원의 너비는 사각패턴을 이루는 접착부의 어느 한쪽 변의 길이보다 큰 길이를 유지하도록 한다.At this time, the width of the irradiated laser light source to maintain the length greater than the length of any one side of the adhesive portion forming a square pattern.
상기와 같은 수단들을 통한 본 발명은 패널 기판에 마련된 접착부(프릿)의 크기에 대응하여 가열수단인 레이저 광원의 조사영역의 유연성을 구현함으로서, 도포된 접착부(프릿)의 크기, 폭 변화 등은 물론 다양한 크기와 형상을 가지는 화소영역에 대한 실링작업을 수행할 수 있는 것이며, 아울러 하나의 화소영역에 대한 접착부(프릿)를 따라 1회의 직선구동을 통해 해당 화소영역에 대한 접착부(프릿)에 대한 실링완료는 물론 전체 패널 기판에 배열된 다수개의 접착부(프릿)에 대한 실링작업을 짧은 시간에 수행할 수 있어, 전체적으로 공정시간의 단축과 함께 작업효율을 향상시킬 수 있는 것이다.The present invention through the above means by implementing the flexibility of the irradiation area of the laser light source as a heating means corresponding to the size of the adhesive portion (frit) provided on the panel substrate, as well as the size, width change, etc. of the applied adhesive portion (frit) It is possible to perform sealing for pixel areas having various sizes and shapes, and sealing for adhesive parts (frits) for the corresponding pixel areas through one linear driving along the adhesive parts (frits) for one pixel area. Of course, the sealing work for the plurality of adhesive parts (frits) arranged on the entire panel substrate can be performed in a short time, thereby improving the work efficiency with shortening of the overall process time.
또한, 종래와 같이 점(spot)형 광원을 이용하여, 패널 기판에 마련된 접착부(프릿)의 길이방향을 따라 추적형의 조사단계를 수행하는 것이 아닌, 가변성 너비를 갖는 선(line)형 광원을 이용함으로서, 접착부(프릿)의 패턴에 따른 굴곡, 코너부에서 레이저 광원이 중첩, 집중되는 현상을 방지하고 이러한 열응력 및 잔류응력으로부터 야기되는 균열, 크랙발생 등의 결함을 최소화하는 등 고품질의 패널 기 판을 제공할 수 있는 효과가 있는 것이다.In addition, using a spot light source as in the prior art, a line type light source having a variable width is used instead of performing a tracking type irradiation step along the longitudinal direction of the adhesive part (frit) provided on the panel substrate. By using this method, high-quality panels such as bending according to the pattern of the adhesive part (frit), preventing overlapping and concentration of the laser light source at the corner part, and minimizing defects such as cracks and cracks caused by thermal stress and residual stress, etc. The effect is to provide a substrate.
또한, 굴곡과 코너부를 갖는 접착부(프릿)의 형상변화에 대응하여 광원의 출력량, 진행방향의 조절과 관련된 구동프로그램의 간소화를 이룰 수 있는 효과가 있는 것이다.In addition, there is an effect that can simplify the drive program associated with the adjustment of the output amount and the traveling direction of the light source in response to the shape change of the adhesive portion (frit) having the bend and the corner portion.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 실링방법의 개념도를, 도 4는 본 발명에 의한 레이저 조사장치의 광학계로부터 출력되는 광원의 다양한 조사형태를 보이는 것으로, 도 3 및 도 4를 참조하면,3 is a conceptual diagram of a sealing method according to the present invention, Figure 4 shows a variety of irradiation form of the light source output from the optical system of the laser irradiation apparatus according to the present invention, referring to Figures 3 and 4,
우선 본 발명에 적용되는 평판 디스플레이 패널은, 발광소자가 형성된 하나 이상의 화소영역(A)과 이 화소영역(A)의 외연에 형성되는 비화소영역(B)을 포함하는 제1 및 2기판(1)(2)과, 상기 화소영역(A)을 보호하게 상기 제1,2기판(1)(2)들 중 어느 하나의 비화소영역(B) 상에 접착제(P)가 도포된 상태를 이룬다.First, the flat panel display panel according to the present invention includes first and
이러한 제1 및 2기판(1)(2)들은, 실링작업을 위한 스테이지(미 도시)상에서 정렬된 상태를 이루게 된다.These first and
이때 레이저 조사장치(10)는 기판(1)(2)들은 도시된 바와 같이 기판들의 상부, 혹은 도시되진 않았으나 스테이지의 하부에 배치될 수 있다.In this case, the
또한, 본 발명에 적용되는 레이저 조사장치(10)는 레이저 발생기(11), 광학계(12) 및 마스크(20)를 포함하는 일체형으로 구성될 수 있다.In addition, the
레이저 조사장치(10)는, 기판(1)(2)들의 X-Y방향으로의 이동수단(미 도시)이 구성된다.The
이러한 레이저 조사장치(10)는, 이동수단을 통해, 레이저 발생기(11) 및 마스크(20)를 포함한 광학계(12)가 기판(1)(2)들의 X-Y방향으로 일체로 이동할 수 있 으며, 마스크(20)를 포함한 광학계(12)만이 X-Y방향으로 이동될 수 있다. 이러한 레이저 조사장치(10)의 X-Y방향 이동수단은, 예컨대 광학스테이지를 이용하여 전체 조사장치의 이동을 구현한다거나 혹은 다수의 반사거울, 투영거울을 이용한 광학계 내에서의 이동으로부터 구현될 수 있으며, 관련한 레이저 광원의 이동기술에 관한 공지 공용된 상세설명은 생략한다.In the
계속해서, 본 발명에 적용되는 레이저 발생기(11)는, 그 출력헤드(11a)를 통해 일정한 폭(d)과 너비(ℓ)를 가지는 선(line)형의 광원(L)을 출력시킨다.Subsequently, the
광학계(12)는 이러한 선형 광원(L)의 방향을 전환시키며, 기판(1)(2)들을 향해 광원(L)을 출력시킨다. 이때 본 발명에 적용되는 마스크(20)는 광학계(12)의 출력단에 설치되어, 광학계(12)로부터 출력되는 광원의 너비(ℓ)를 조절하거나 다수개의 광원으로 분할시켜 기판(1)(2)에 마련된 접착부(P)의 패턴과 동일한 조사영역을 구현하게 된다.The
아울러, 본 발명에 적용되는 일정 폭(w)과 너비(ℓ)를 가지는 광원(l)은, 광학계(12)내에 포함되어 구성되는 균질기(미 도시)를 통해 구현된다.In addition, the
이러한 균질기는 원통형 렌즈들의 집합체로 구성되는데, 도 8b에 도시된 바와 같이, 균질기의 기능은 레이저 발생기(11)에 의해 출력된 레이저 광원을 수직방향으로 평행한 광원들로 전환하여 수직방향에 있어서의 광학적 보정을 행하는 기능을 가진다. 이 수직방향에 있어서의 광학적 보정은, 최종적으로 레이저 광원의 폭(w)방향에 있어서의 에너지밀도를 균일화하는데 기여한다. 또한 균질기는 레이저 광원을 수평방향으로 전환하여 수평방향에 있어서의 광학적 보정을 행하는 기능을 가진다. 이 수평방향에 있어서의 광학적 보정은, 최종적으로 레이저 광원의 너비(ℓ)방향에 있어서의 에너지밀도를 균일화하는데 기여하게 된다.Such a homogenizer is composed of a collection of cylindrical lenses. As shown in FIG. 8B, the function of the homogenizer is to convert the laser light source output by the
상기와 같은 레이저 발생기(11) 및 광학계(12)의 공지된 상세한 설명은 생략하기로 한다.The well-known detailed description of the
계속해서, 마스크(20)는 레이저 조사장치(10)에 포함되어 구성되는 것으로, 광학계(12)와 연동하여 기판(1)(2)과 나란한 X-Y방향으로 연동하여 이동하게 된다.Subsequently, the
또한, 이러한 마스크(20)는, 종래의 정해진 형상으로 패터닝(patterning)된 투과부를 갖는 고정식 마스크가 아닌 다양한 접착부(P)의 패턴에 대응하여 가변될 수 있는 가변형 마스크(20)의 구성을 이루도록 한다.In addition, such a
이러한 가변형 마스크(20)는, 광학계(12)의 출력단에 설치되어 광학계(12) 혹은 조사장치(10)의 X-Y구동과 연동 이동하는 것과 동시 이와 함께 상대 운동좌표 X'-Y'내에서 구속되는 다수개의 가동블록을 구비하게 된다.Such a
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 이러한 상대좌표 X'-Y'방향에 대한 가동블록들의 이동을 통해, 일정 폭(d)과 너비(ℓ)로 조사되는 광원(L)에 대한 너비(ℓ')의 크기를 조절하거나 혹은 다수개의 광원으로 분할하도록 조정하게 된다. 즉, 도 4d에서와 같이, 초기 레이저 발생기(11)로부터 출력된 일정 폭(d)과 너비(ℓ)를 갖는 광원은 상기 가변형 마스크(20)에 구비된 가동블록을 지나며, 기판을 향해 전체 조사(a)되거나, 전체 차단(b)되거나, 부분 차단(c)(d)되거나, 2개, 3개소의 조사영역으로 분할(e)(f)하게 된다.As shown in Figures 4 and 5, through the movement of the movable blocks in the relative coordinates X'-Y 'direction, the width for the light source (L) irradiated at a constant width (d) and width (l) ( L ') may be adjusted or divided into a plurality of light sources. That is, as shown in Figure 4d, the light source having a predetermined width (d) and width (l) output from the
즉, 기판(1)(2)들과 나란한 레이저 조사장치(10)의 이동좌표(X-Y)에 대한 이동과 연동하여 상대좌표(X'-Y')를 갖는 마스크(20)의 가동블록(21)(22)들의 연동된 이동을 이용하여, 레이저 발생기(11)로부터 출력되는 광원(L)의 너비(ℓ)를 조절하거나 분할시켜, 실질적으로 가동블록(21)(22)들의 사이공간을 지나며 형성되는 새로운 너비(ℓ')를 갖는 광원을 레이저 조사장치(10)로부터 출력시키게 된다.That is, the
도 5에 도시된 바와 같이, 가변형 마스크(20)를 지나며 새로이 조절된 너비(ℓ')를 갖는 레이저 광원은 이동 중 대향하는 접착부(P)의 패턴과 동일한 조사영역을 구현하게 되는 것이다.As shown in FIG. 5, the laser light source having the newly adjusted width l ′ passing through the
일반적인 사각영역을 갖는 화소영역에 대응하여 그 둘레에 소정의 폭(t)을 가지며 사각(x-y)패턴으로 프릿(접착부)이 도포된 상태를 이루는 하나의 화소영역에 대한 실링작업을 설명하면 다음과 같다.A sealing operation for one pixel region corresponding to a pixel region having a general rectangular region and having a predetermined width t around and forming a frit (adhesive portion) in a rectangular (xy) pattern will be described as follows. same.
먼저 도 6에 도시된 바와 같이, 레이저 발생기로부터 생성된 광원(L)은 출력헤드를 지나며 일정 폭(d)과 너비(ℓ)를 가지는 선(line)형 타입을 생성시키되, 이때 광원의 너비(ℓ)는 사각(x-y)패턴을 이루는 접착부(P)의 어느 한쪽 길이보다 큰 길이를 유지하도록 한다.First, as shown in FIG. 6, the light source L generated from the laser generator generates a line type having a predetermined width d and a width l passing through the output head, wherein the width of the light source ( ℓ) to maintain the length greater than either length of the adhesive portion (P) forming a square (xy) pattern.
아울러, 광학계의 출력단에 설치되는 가변형 마스크(20)에 구비되는 다수개의 가동블록(23)(24)(25)(26)들은, 레이저 조사장치의 X-Y축 방향으로의 구동과 연동하는 동시 이 X-Y축에 대한 상대적인 별도의 X'-Y'방향의 구동수단을 구비하게 된다.In addition, the plurality of
이러한 레이저 광원의 이동좌표계(X-Y)상에서 연동하는 상대좌표계(X'-Y')에 의한 다수개의 가동블록들을 이용하여, 일정 폭(d)과 너비(ℓ)를 갖는 선(line)형 광원(L)의 너비(ℓ)를 가변시키거나 분할시켜 새로이 조정된 너비(ℓ')를 접착부(P)를 향해 조사하게 된다.By using a plurality of movable blocks by the relative coordinate system X'-Y 'interlocked on the moving coordinate system XY of the laser light source, a line type light source having a predetermined width d and a width l By varying or dividing the width l of L), the newly adjusted width l 'is irradiated toward the bonding portion P. FIG.
이와 관련하여 본 발명의 실시예로 적용된 사각(x-y)패턴의 이동을 위해서는 아래 설명에서와 같이 필요로 하는 조사영역의 대응하여 3가지 패턴의 가변 투과부를 생성하기 위한 작업단계를 필요로 하게 될 것이다.In this regard, in order to move the rectangular pattern (xy) applied in the embodiment of the present invention will require a work step for generating a variable transmission of the three patterns in response to the required irradiation area as described below. .
즉, 초기 이러한 레이저 조사장치(10)는 초기 X-Y방향 구동을 이용하여 단위 셀의 한쪽 시점에 위치시킨다.That is, the initial
이때 가변형 마스크(20)의 가동블록(23)(26)들은, 광원(L)의 진행방향에 수직한 방향 즉, X'축 이동하며 사각(x-y)패턴의 한쪽 변(x) 길이를 유지시키게 된다.In this case, the
이후, 레이저 조사장치(10)는 레이저 광원(L)의 조사와 함께 접착부(P)의 폭(t)만큼 Y축 이동하며 접착을 수행하게 된다. (도 7a, b 참조)Subsequently, the
이때, 또 다른 가동블록(24)(25)들은 X'-Y'축 이동하여, 접착부(P)의 안쪽 화소영역에 미리 배치시킨다. 도시된 실시예에서는 두개의 가동블록(24)(25)을 이용하여 접착부(P)의 안쪽 화소영역에 대한 광원(L)의 조사를 차단하도록 하고 있으나, 크기를 달리하는 하나 혹은 그 이상의 가동블록들을 이용하여 차단시킬 수 있다.At this time, the other
이후, 레이저 조사장치(10)의 계속적인 Y축 이동과 연동하여 한 쌍의 가동블록(23)(24)과 다른 한 쌍의 가동블록(25)(26)을 통해 사각(x-y)패턴의 양쪽 변의 폭(t)에 해당하는 2개의 분할된 조사영역을 구현하게 된다.Then, both of the square pattern (xy) through the pair of movable blocks (23) and (24) and the other pair of movable blocks (25) and (26) in conjunction with the continuous Y-axis movement of the laser irradiation apparatus (10). Two divided irradiation areas corresponding to the width t of the sides are implemented.
이렇게 2개의 분할된 조사영역을 이용하여 접착부(P)의 양쪽 변(y)의 길이만큼 레이저 조사장치(10)를 Y축 이동하여 접착을 수행하게 된다. (도 7c 내지 e 참조)As described above, the
이후, 접착부(P)의 안쪽 화소영역에 배치된 두개의 가동블록(24)(25)은 Y'축 구동이 정지되고, 연속하여 레이저 조사장치(10)는 접착부(P)의 폭(t)만큼 Y축 이동하여 접착을 마무리 하게 된다. ( 도 7f, g 참조)Thereafter, the two
이후, 도시되진 않았으나, 이상과 같은 하나의 단위 셀에 대한 일련의 조사 작업을 종료하고 종점에 레이저 조사장치(10)가 도착하면, 가변형 마스크(20)의 가동블록들은 X'-Y'축 이동을 통해 레이저 광원(L)을 모두 차단시키게 되며 이후, 이웃하는 다른 단위 셀의 시점으로 이동하게 되며, 상기와 같은 일련의 단위 셀에 대한 반복된 조사 작업을 수행하게 되는 것이다.Thereafter, although not shown, when the series of irradiation operations for one unit cell as described above is finished and the
이상과 같이, 레이저 조사장치(10)는 패널 기판에 대해 X-Y축 방향으로 연속하여 이동하는 동시 이와 연동하여 상대좌표 X'-Y'축 이동하는 가변형 마스크(20)의 가동블록들을 통해 하나의 단위 셀 혹은 X-Y축 방향으로 배열된 다수개의 단위 셀에 대한 연속적인 조사 작업을 수행하게 된다.As described above, the
이러한 하나의 단위 셀에 대한 X축 혹은 Y축 방향의 대한 레이저 조사장치의 1회 직선구동을 통해 하나 혹은 다수개의 화소영역에 대한 접착공정의 시간을 현저히 단축시킬 수 있다.Through the one-time linear driving of the laser irradiation apparatus in the X-axis or Y-axis direction with respect to one unit cell, the time for the bonding process for one or a plurality of pixel regions can be significantly shortened.
아울러, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 조사되는 레이저 광원의 너비 (ℓ)가 이와 나란하게 위치하는 접착부(P)의 어느 한 쪽 변(x, x')의 길이보다 큰 길이를 유지하는 경우, 그 길이 성분을 따라 균일한 온도패턴을 유지하게 되는 바, 이러한 균일한 온도분포 영역 내에 항상 접착부(P)가 위치하게 됨으로 인해 접착부(P)의 폭(t)방향에 대한 온도편차를 줄일 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 8A and 8B, the width l of the irradiated laser light source maintains a length greater than the length of one side (x, x ') of the adhesive portion P positioned side by side. In this case, since the uniform temperature pattern is maintained along the length component, the temperature difference with respect to the width (t) direction of the adhesive part P is maintained because the adhesive part P is always located in the uniform temperature distribution region. Can be reduced.
또한, 조사되는 레이저 광원의 X축 혹은 Y축 방향의 이동함에 따라 접착부(P)에 대한 조사 작업의 시점, 종점 및 코너부를 배제할 수 있어, 광원의 이동속도, 중첩에 따른 가열 열원이 국부 위치에 편중되는 현상을 방지할 수 있다.In addition, the start point, the end point, and the corner of the irradiation operation with respect to the bonding portion P may be excluded as the laser light source is irradiated in the X-axis or Y-axis direction, so that the heating heat source according to the moving speed and overlap of the light source is localized. The phenomenon which is biased in can be prevented.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.
도 1은 종래의 레이저 조사방법을 보이는 개념도1 is a conceptual diagram showing a conventional laser irradiation method
도 2a 및 도 2b는 종래 레이저 조사방법에 의한 접착부의 온도편차를 보이는 예시도2a and 2b is an exemplary view showing the temperature deviation of the adhesive portion by the conventional laser irradiation method
도 3은 본 발명에 따른 실링작업의 개념도3 is a conceptual diagram of a sealing operation according to the present invention
도 4는 본 발명의 레이저 조사방법에 따른 다양한 조사영역을 보이는 예시도Figure 4 is an exemplary view showing a variety of irradiation area according to the laser irradiation method of the present invention
도 5는 본 발명에 의한 접착부의 형상에 대응하는 가변형의 레이저 조사영역을 보이는 작업예시도Figure 5 is a working example showing a variable laser irradiation area corresponding to the shape of the adhesive portion according to the present invention
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 사각(x-y)패턴의 접착부에 대한 실링작업을 위한 평면도Figure 6 is a plan view for sealing work for the adhesive portion of the square (x-y) pattern according to an embodiment of the present invention
도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 일 실시예에 의한 실링작업의 단계를 보이는 평면 예시도7a to 7g is a plan view showing a step of the sealing operation according to an embodiment of the present invention
도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 레이저 조사방법에 의한 접착부의 온도편차를 보이는 예시도8a and 8b is an exemplary view showing the temperature deviation of the adhesive portion by the laser irradiation method according to the present invention
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
(1)(2) : 기판(1) (2): substrate
(10) : 레이저 조사장치(10): laser irradiation device
(11) : 레이저 발생기(11): laser generator
(12) : 광학계(12): optical system
(20) : 가변형 마스크20: variable mask
(21)(22)(23)(24)(25)(26) : 가동블록(21) (22) (23) (24) (25) (26): movable block
(A) : 화소영역(A): Pixel area
(B) : 비화소영역(B): non-pixel area
(P) : 접착부(프릿)(P): Bonding part (frit)
(L) : 레이저 광원(L): laser light source
(d) : (광원) 폭(d): (light source) width
(ℓ) : (광원) 너비(ℓ): (light source) width
(t) : (접착부) 폭(t): (adhesion) width
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