KR100845979B1

KR100845979B1 - 핸들러의 테스트트레이 반송장치

Info

Publication number: KR100845979B1
Application number: KR1020060118631A
Authority: KR
Inventors: 추승용; 이완하
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2006-11-28
Filing date: 2006-11-28
Publication date: 2008-07-11
Also published as: TWI342400B; KR20080048355A; CN101191809A; TW200823460A; CN101191809B; US20080124202A1

Abstract

본 발명은 핸들러의 테스트트레이 반송장치를 개시한다. 본 발명에 따르면, 베이스부; 베이스부의 상방에서 테스트트레이를 지지한 채로 리니어 액추에이터에 의해 일 방향으로 슬라이드 이동하는 서포트부; 서포트부의 하면 양측에 서포트부의 이동 방향을 따라 각각 연장 형성된 한 쌍의 제1 가이드부들; 및 베이스부의 상면에 제1 가이드부들에 대해 슬라이드 이동 가능하게 결합하되, 제1 가이드부들보다 짧은 길이를 갖도록 각각 형성된 제2 가이드부들;을 구비한다.

Description

핸들러의 테스트트레이 반송장치{Test tray transfer of handler}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트트레이 반송장치가 적용되는 핸들러의 일 예를 개략적으로 도시한 구성도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트트레이 반송장치를 도시한 사시도.

도 3은 도 2에 대한 분해 사시도.

도 4는 도 2에 도시된 테스트트레이 반송장치의 하부를 나타낸 도면.

도 5는 도 2의 테스트트레이 반송장치에 있어서, 테스트트레이를 슬라이드 이동시키는 과정을 설명하기 위한 도면.

도 6은 도 2의 테스트트레이 반송장치에 있어서, 테스트트레이를 회전시키는 과정을 설명하기 위한 도면.

〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉

10..로딩 스택커 20..언로딩 스택커

30..교환부 50..테스트부

100..테스트트레이 반송장치 110..베이스부

120..서포트부 130..제1 가이드부

140..제2 가이드부 T..테스트트레이

본 발명은 전자부품을 테스트하기 위한 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 교환부와 테스트부 간에 테스트트레이를 반송하는 핸들러의 테스트트레이 반송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 메모리나 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(device)와, 상기 디바이스들을 하나의 기판 상에 적절히 구성한 모듈을 포함하는 전자부품들은 생산 후 여러 가지 테스트를 거친 후에 출하된다. 이러한 테스트는 핸들러에 의하여 행해지는 것이 통상적이다.

핸들러는 테스트할 전자부품들을 로딩 스택커로부터 교환부에 놓인 테스트트레이에 수납하고, 교환부에서 전자부품들을 수납한 테스트트레이를 테스트부로 급송하여 전자부품들을 테스트한다. 그리고, 핸들러는 테스트부에서 테스트 완료된 전자부품들을 수납한 테스트트레이를 교환부로 환송한 후, 전자부품들을 테스트한 결과에 따라 그 등급에 맞게 분류하여 언로딩 스택커로 반출한다.

이러한 핸들러에 있어서, 교환부의 양측에 전자부품들을 잠시 대기시키기 위한 버퍼부가 각각 마련되고, 상기 버퍼부와 교환부 사이를 일 방향으로만 슬라이드 이동하면서 전자부품들을 반송하도록 픽커가 구성된 예가 있다. 이 경우, 교환부에는 상기 픽커의 이동 방향과 수직인 방향으로 테스트트레이를 슬라이드 이동시키기 위한 테스트트레이 반송장치가 마련된다. 이는 교환부의 일측에 위치한 버퍼부 로부터 전자부품들을 테스트트레이에 다수의 행과 열로 수납하고, 테스트트레이에 다수의 행과 열로 수납된 전자부품들을 교환부의 타측에 위치한 버퍼부로 반출할 수 있도록 하기 위함이다. 이와 같이 테스트트레이를 픽커의 이동 방향과 수직인 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있도록, 종래에 따르면, 테스트트레이 반송장치는 테스트트레이를 지지하는 서포트 부재가 가이드 레일을 따라 액추에이터에 의해 슬라이드 이동시킬 수 있게 구성되는 것이 일반적이다.

최근에는 고객들이 많은 양의 전자부품들을 신속하게 테스트하기를 원하고 있는 추세이다. 이에 상응하여, 테스트트레이는 한번에 가능한 많은 양의 전자부품들을 수납하여 테스트할 수 있게 대형화될 필요가 있다. 그런데, 전술한 바와 같이 테스트트레이 반송장치가 구성되면, 테스트트레이가 대형화될수록 가이드 레일이 길어질 수밖에 없다. 이처럼 가이드 레일이 길어지게 되면, 가이드 레일을 지지하는 베이스 부재의 크기도 커지게 될 뿐 아니라, 상기 베이스 부재를 설치하기 위해 많은 공간이 필요하게 된다. 그에 따라, 핸들러의 중량이 증가하게 되므로, 핸들러를 거치함에 있어 불편함이 따를 수 있다.

게다가, 핸들러에 있어서, 테스트부에 테스트 보드가 수직으로 세워져 배치된 경우에는, 이에 상응하여 테스트트레이 반송장치는 테스트트레이를 90°범위로 회전시킬 수 있게 구성된다. 즉, 테스트트레이 반송장치는 교환부에서 수평 상태로 눕혀진 테스트트레이에 전자부품들을 수납한 후에 90°회전시켜 수직 상태로 세우며, 테스트부를 거쳐 테스트 완료된 전자부품들을 수납한 테스트트레이를 수직 상태로부터 90°회전시켜 수평 상태로 눕힐 수 있게 구성된다. 여기서, 테스트트 레이 반송장치는 테스트트레이를 회전시킬 때 테스트트레이뿐 아니라, 테스트트레이를 지지하는 서포트 부재와, 가이드 레일을 지지하는 베이스 부재를 함께 회전시키도록 구성되는 것이 일반적이다. 이러한 구성에서, 가이드 레일이 길어지게 되면, 가이드 레일이 길어진 만큼 가이드 레일을 지지하는 베이스 부재도 커짐에 따라 중량이 증가하게 되므로, 테스트트레이를 회전시킬 때 큰 회전 구동력을 필요로 하는 문제가 있을 수 있다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 테스트트레이가 대형화되더라도 핸들러의 중량을 최대한 줄일 수 있으며, 테스트트레이의 회전시 회전 구동력을 최소화할 수 있는 핸들러의 테스트트레이 반송장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 핸들러의 트레이 반송장치는, 베이스부; 상기 베이스부의 상방에서 테스트트레이를 지지한 채로 리니어 액추에이터에 의해 일 방향으로 슬라이드 이동하는 서포트부; 상기 서포트부의 하면 양측에 상기 서포트부의 이동 방향을 따라 각각 연장 형성된 한 쌍의 제1 가이드부들; 및 상기 베이스부의 상면에 상기 제1 가이드부들에 대해 슬라이드 이동 가능하게 결합하되, 상기 제1 가이드부들보다 짧은 길이를 갖도록 각각 형성된 제2 가이드부들;을 구비한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설 명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트트레이 반송장치가 적용되는 핸들러의 일 예를 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 1에 도시된 핸들러는 메모리나 비메모리 반도체 소자 등의 전자부품을 테스트하는 것으로, 로딩 스택커(10)를 구비한다.

로딩 스택커(10)는 핸들러의 전방부에 배치되며, 여기에는 테스트할 전자부품들이 다수 개 수납되어 있는 고객용 트레이들이 적재된다. 이러한 로딩 스택커(10)의 일 측에는 언로딩 스택커(20)가 배치된다. 언로딩 스택커(20)에는 테스트 완료된 전자부품들이 테스트 결과에 따라 분류되어 고객용 트레이에 수납된다.

상기 로딩 스택커(10) 및 언로딩 스택커(20)의 후방, 즉 핸들러의 중앙부에는 교환부(30)가 배치된다. 상기 교환부(30)에서는, 테스트할 전자부품들을 로딩 스택커(10)로부터 공급받아서 테스트트레이(T)에 장착하는 작업과, 테스트 완료된 전자부품들을 테스트트레이(T)로부터 분리하여 언로딩 스택커(20)로 반출하는 작업이 이루어지게 된다. 상기 교환부(30)의 양측에는 작업 효율을 높이기 위해 전자부품들이 일시적으로 대기할 수 있는 로딩측 버퍼부(41)와 언로딩측 버퍼부(42)가 배치될 수 있다. 여기서, 버퍼부(41)(42)는 전,후진 가능하게 구성될 수 있다.

상기 교환부(30)의 후방에는 테스트부(50)가 마련된다. 테스트부(50)에서는 테스트할 전자부품들이 장착된 테스트트레이(T)를 교환부(30)로부터 공급받아서 전자부품들을 테스트하는 작업이 이루어진다. 상기 테스트부(50)는 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트뿐만 아니라, 고온 및 저온의 극한 온도 조건에서도 전자부품 들이 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트할 수 있도록 구성된다.

이를 위해, 테스트부(50)는 가열/냉각 챔버(51), 테스트 챔버(52), 및 제열/제냉 챔버(54)를 포함하여 구성될 수 있다. 가열/냉각 챔버(51)는 교환부(30)로부터 공급된 테스트트레이(T)의 전자부품들에 고온 또는 저온의 온도 응력을 부여할 수 있게 한다.

테스트 챔버(52)는 가열/냉각 챔버(51)에 의해 온도 응력이 부여된 전자부품들을 외부의 테스트 장비(미도시)에 의해 테스트할 수 있게 한다. 이를 위해, 테스트 챔버(52)에는 외부의 테스트 장비와 전기적으로 연결된 다수의 테스트 소켓들을 갖는 테스트 보드(53)가 배치된다. 여기서, 테스트 보드(53)는 테스트 챔버(52)의 후방에 수직으로 세워져 배치될 수 있다. 그리고, 테스트 챔버(52) 내에는 테스트 보드(53)에 테스트트레이(T)를 가압하여 전자부품들과 테스트 소켓들 사이를 접속시킬 수 있도록, 테스트트레이(T)를 전,후진 이동시키는 접속 유닛(55)이 마련될 수 있다.

제열/제냉 챔버(54)는 전술한 테스트 챔버(52)로부터 테스트 완료된 전자부품들에 온도 응력을 제거할 수 있게 한다. 가열/냉각 챔버(51)와 제열/제냉 챔버(54)가 테스트 챔버(52)의 양측에 배치될 수 있다. 이 경우, 가열/냉각 챔버(51)에 위치한 테스트트레이(T)를 테스트 챔버(52)로 이송하는 한편, 테스트 챔버(52)에 위치한 테스트트레이(T)를 제열/제냉 챔버(54)로 이송하기 위해 제1 트레이 이송유닛(61)이 구비될 수 있다. 한편, 가열/냉각 챔버(51), 테스트 챔버(52), 및 제열/제냉 챔버(54)의 배치는 다양할 수 있으므로, 도시된 바에 한정되지는 않 는다.

그리고, 상기 교환부(30)와 로딩 스택커(10) 및 언로딩 스택커(20) 간에 전자부품들을 이송하고 테스트트레이(T)에 전자부품들을 장착 및 분리하기 위해, 전자부품 픽커(70)가 마련된다. 전자부품 픽커(70)는 핸들러의 전방부 상측에 설치된 제1 로딩/언로딩 픽커(71) 및 제2 로딩/언로딩 픽커(72)와, 교환부(30) 및 버퍼부(41)(42)의 상측에 설치된 제1 단축 픽커(73) 및 제2 단축 픽커(74)를 포함하여 구성될 수 있다.

제1 로딩/언로딩 픽커(71)는 로딩 스택커(10)와 로딩측 버퍼부(41) 사이를 x축 및 y축 방향으로 수평 이동하면서 전자부품들을 픽업하여 이송하며, 제2 로딩/언로딩 픽커(72)는 언로딩 스택커(20)와 언로딩측 버퍼부(42) 사이를 x축 및 y축 방향으로 수평 이동하면서 전자부품들을 픽업하여 이송한다.

그리고, 제1,2 단축 픽커(73)(74)는 버퍼부(41)(42)와 교환부(30) 사이를 x축 방향으로만 수평 이동하면서 전자부품들을 픽업하여 이송한다. 제1,2 단축 픽커(73)(74)가 전술한 바와 같이 구성된 경우, 교환부(30)에는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트트레이 반송장치(100)가 마련된다. 테스트트레이 반송장치(100)는 제1,2 단축 픽커(73)(74)의 이동 방향인 x축 방향과 수직인 방향, 즉 y축 방향으로 교환부(30)에 위치한 테스트트레이(T)를 이동시킬 수 있게 한다. 이에 따라, 로딩측 버퍼부(41)로부터 전자부품들이 테스트트레이(T)에 수납될 수 있으며, 테스트트레이(T)로부터 전자부품들이 언로딩측 교환부(42)로 반출될 수 있다.

테스트트레이 반송장치(100)는 테스트부(50)에서 테스트트레이(T)가 수직으 로 세워진 상태로 전자부품들이 테스트를 받는 경우, 교환부(30)와 테스트부(50) 간에 테스트트레이(T)가 이송되기 전에 테스트트레이(T)를 90°범위로 왕복 회전시키도록 구성될 수 있다. 즉, 테스트트레이 반송장치(100)는 교환부(30)에서 수평 상태로 놓인 테스트트레이(T)를 수직 상태로 회전시킨 다음 제2 트레이 이송 유닛(62)에 의해 테스트부(50)로 이송할 수 있게 하며, 테스트부(50)에서 수직 상태로 놓인 테스트트레이(T)를 제2 트레이 이송유닛(62)에 의해 전달받은 다음 수평 상태로 회전시켜 교환부(30)로 환송할 수 있게 한다.

전술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트트레이 반송장치(100)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스부(110), 서포트부(120), 한 쌍의 제1 가이드부(130)들, 및 한 쌍의 제2 가이드부(140)들을 포함하여 구성될 수 있다.

베이스부(110)는 사각 형상으로 이루어질 수 있다. 이는 테스트트레이(T)가 통상적으로 사각 플레이트 형상을 이루고 있기 때문에, 이에 상응하는 형상을 갖기 위함이다. 그러나, 베이스부(110)의 형상은 전술한 바에 한정되지는 않는다. 상기 베이스부(110)에는 후술할 리니어 액추에이터(150)가 장착되어 지지가 된다.

그리고, 베이스부(110)는 중앙 부위가 상하로 관통된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 이는 베이스부(110)의 중량을 감소시킴으로써, 후술할 로터리 액추에이터(160)에 의해 베이스부(110)가 회전하게 된 경우, 작은 회전 구동력으로도 베이스부(110)를 회전시킬 수 있도록 하기 위함이다.

또한, 테스트트레이(T)에 전자부품들이 소정 위치에 각각 수납되어 있는지 여부를 검출하기 위한 검출수단이나, 테스트트레이(T)에 전자부품을 장착하거나 분 리하기 위한 착,탈수단 등이 베이스부(110)의 하측에 배치된 경우, 베이스부(110)의 관통된 중앙 부위를 통해 검출수단이나, 착,탈수단 등이 전술한 기능을 수행할 수 있도록 하기 위함이다. 이처럼 베이스부(110)의 중앙 부위가 상하로 관통된 구조로 이루어진 경우에는, 이에 상응하여 서포트부(120)의 중앙 부위도 상하로 관통된 구조로 이루어질 필요가 있다.

서포트부(120)는 테스트트레이(T)를 지지하기 위한 것으로, 전술한 베이스부(110)의 상부에 배치된다. 서포트부(120)는 테스트트레이(T)가 사각 플레이트 형상으로 이루어진 경우, 이에 상응하여 사각 형상으로 이루어질 수 있다. 그리고, 서포트부(120)는 베이스부(110)의 중앙 부위가 전술한 이유로 관통된 경우, 이에 상응하여 중앙 부위가 관통된 구조로 이루어진다. 이처럼 서포트부(120)의 중앙 부위가 관통된 구조로 이루어지게 되면, 서포트부(120)의 중량이 줄어들 수 있다. 이에 따라, 로터리 액추에이터(160)에 의해 베이스부(110)가 회전할 때, 제1,2 가이드부(130)(140)로 연결된 서포트부(120)도 함께 회전하게 되는바, 작은 회전 구동력으로도 베이스부(110) 및 서포트부(120)를 회전시킬 수 있게 된다.

서포트부(120)는 테스트트레이(T)를 지지한 채로, 리니어 액추에이터(150)에 의해 일 방향으로, 도 1에 도시된 핸들러에 적용되는 경우, y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해, 서포트부(120)가 y축 방향을 따라 전후로 슬라이드 이동하는 것을 예로 들어 설명하기로 한다.

상기 서포트부(120)는 테스트트레이(T)가 수평으로 눕혀진 상태뿐 아니라, 로터리 액추에이터(160)에 의해 수직으로 세워진 상태에서도 테스트트레이(T)를 지 지할 수 있도록, 지지 브래킷(121)을 구비할 수 있다. 지지 브래킷(121)은 서포트부(120)의 상면에서 전단 및 후단에 각각 배치된다. 여기서, 지지 브래킷(121)은 테스트트레이(T)가 수직으로 세워진 상태에서 제2 트레이 이송 유닛(62)에 의해 슬라이드 이동하여 서포트부(120)로부터 반출되는 한편, 서포트부(120)로 공급되는 경우, 테스트트레이(T)의 전단 및 후단을 일부 감쌀 수 있게 2단 절곡된 구조로 이루어질 수 있다.

제1 가이드부(130)들은 후술할 제2 가이드부(140)들과 함께, 리니어 액추에이터(150)에 의한 서포트부(120)의 슬라이드 이동을 안내하기 위한 것이다. 제1 가이드부(130)들은 서포트부(120)를 안정적으로 슬라이드 이동시킬 수 있도록, 적어도 한 쌍으로 이루어진다. 그리고, 제1 가이드부(130)들은 서포트부(120)의 하면 양측에 상호 이격되어 배치된다. 서포트부(120)의 중앙 부위가 관통된 구조인 경우, 제1 가이드부(130)들은 서포트부(120)의 하면 가장자리 양측에 각각 배치될 수 있다. 여기서, 제1 가이드부(130)들은 서포트부(120)와 일체로 제조되거나, 별도의 부재로 제조된 후 서포트부(120)에 고정될 수 있다.

상기 제1 가이드부(130)들은 서포트부(120)가 슬라이드 이동하는 방향을 따라 각각 연장 형성된다. 여기서, 제1 가이드부(130)들은 서포트부(120)의 슬라이드 방향에 따른 길이에 상응하는 길이로 각각 이루어지는 것이 바람직하다. 이는 후술하겠지만, 서포트부(120)의 이동 거리를 최대한 확보하는 한편, 제2 가이드부(140)의 길이를 제1 가이드부(130)의 길이보다 최대한 짧게 구성할 수 있게 하여, 베이스부(110)의 크기를 최소화하기 위함이다.

만일, 제1 가이드부(130)의 길이를 제2 가이드부(140)보다 짧게 한 경우를 비교예로 하여 본 실시예와 비교한다면, 서포트부(120)를 베이스부(110)로부터 가능한 멀리 슬라이드 이동시킨다고 가정할 때, 비교예에서는 제2 가이드부(140)의 길이가 서포트부(120)의 슬라이드 방향에 따른 길이에 상응하는 길이로 이루어질 수밖에 없다. 반면, 본 실시예에 따르면, 제2 가이드부(140)의 길이는 서포트부(120)의 슬라이드 방향에 따른 길이보다 짧게 되므로, 비교예보다는 베이스부(110)의 크기를 줄일 수 있는 것이다. 따라서, 테스트트레이(T)가 대형화되어 서포트부(120)의 크기는 커지더라도, 베이스부(110)의 크기를 최대한 줄일 수 있으므로, 베이스부(110)의 중량이 감소할 수 있다. 이에 따라, 테스트트레이(T)를 포함한 베이스부(110) 및 서포트부(120)를 회전시키는 회전 구동력이 최소화될 수 있는 것이다.

제2 가이드부(140)들은 전술한 제1 가이드부(130)들에 각각 대응되게 베이스부(110)의 상면에 한 쌍으로 마련된다. 그리고, 제2 가이드부(140)들은 제1 가이드부(130)들과 슬라이드 이동 가능하게 각각 결합한다. 이를 위해, 제2 가이드부(140)는 서포트부(120)의 슬라이드 방향을 따라 결합 홈(141)이 함몰 형성된 구조로 이루어질 수 있다. 상기 결합 홈(141)에는 제1 가이드부(130)가 끼워지게 되며, 이에 따라 제2 가이드부(140)는 제1 가이드부(130)와 맞물려 결합될 수 있다. 한편, 결합 홈(141)은 제2 가이드부(140)에 형성되지 않고, 제1 가이드부(130)에 형성되는 것도 가능하므로, 전술한 바에 한정되지는 않는다.

본 실시예에 따르면, 제2 가이드부(140)는 제1 가이드부(130)보다 짧은 길이 를 갖도록 형성된다. 여기서, 제2 가이드부(140)는 중량을 최대한 줄일 수 있도록, 제1 가이드부(130)보다 짧게 형성됨과 아울러, 베이스부(110)의 전후 방향에 따른 길이보다 짧게 형성되는 것이 바람직하다. 다만, 제2 가이드부(140)가 너무 짧게 되면, 서포트부(120)를 슬라이드 지지하는 효과가 떨어지므로, 서포트부(120)를 최대한 안정적으로 지지할 수 있을 정도의 길이를 갖는 것이 바람직하다.

아울러, 제2 가이드부(140)는 서포트부(120)가 베이스부(110)로부터 설정된 최대 거리만큼 멀어진 상태에서도, 제1 가이드부(130)와 맞물린 상태를 유지하여 결합 홈(141)이 노출되지 않을 정도의 길이를 갖는 것이 바람직하다. 이는 노출된 결합 홈(141)을 통해 이물질이 유입되는 것을 차단하여, 제2 가이드부(140)와 제1 가이드부(130) 사이의 가이드 기능이 저하되는 것을 방지하도록 하기 위함이다. 제2 가이드부(140)들은 베이스부(110)와 일체로 제조되거나, 별도의 부재로 제조된 후 베이스부(110)에 고정될 수 있다.

상기와 같이 서포트부(120)가 베이스부(110)에 대해 슬라이드 이동할 수 있도록, 서포트부(120)에 슬라이드 구동력을 제공하는 리니어 액추에이터(150)는, 도 4에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다.

도 4에 도시된 바에 따르면, 리니어 액추에이터(150)는 회전 모터(151)와, 직선운동 변환부(152)를 포함하여 구성된다. 회전 모터(151)는 정,역회전 가능한 구성으로 이루어지며, 베이스부(110)에 장착되어 지지가 된다. 그리고, 직선운동 변환부(152)는 회전 모터(151)로부터 발생한 회전운동을 직선운동으로 변환하여 서포트부(120)로 전달함으로써, 서포트부(120)가 도 5에 도시된 바와 같이, 슬라이드 이동할 수 있게 한다.

상기 직선운동 변환부(152)는 다양하게 구성될 수 있는데, 그 일 예로 도시된 바와 같이, 제1 내지 제6 풀리(153a)(153b)(153c)(153d)(153e)(153f), 제1 내지 제3 벨트(154a)(154b)(154c), 제1,2 연결 축(155a)(155b)을 포함하여 구성될 수 있다. 상술하자면, 직선운동 변환부(152)에는, 서포트부(120)의 슬라이드 이동 방향을 기준으로, 베이스부(110)의 좌측 전방 및 후방에는 제1,2 풀리(153a)(153b)가 회전 가능하게 설치되며, 베이스부(110)의 우측 전방 및 후방에는 제3,4 풀리(153c)(153d)가 회전 가능하게 설치된다.

상기 제1 풀리(153a)와 제2 풀리(153b) 사이에는 동력이 전달될 수 있게 제1 벨트(154a)가 걸쳐져 설치된다. 그리고, 상기 제3 풀리(153c)와 제4 풀리(153d) 사이에는 동력이 전달될 수 있게 제2 벨트(154b)가 걸쳐져 설치된다. 이러한 제1,2 벨트(154a)(154b)에는 그 이동에 따라 직선 이동하는 제1,2 이동블록(156a)(156b)이 설치된다. 상기 제1,2 이동블록(156a)(156b)은 서포트부(120)의 양 측면에 각각 고정됨으로써, 제1,2 벨트(154a)(154b)의 전후 이동에 따라 서포트부(120)가 전후로 슬라이드 이동할 수 있게 한다.

상기 제1 풀리(153a)와 제3 풀리(153c) 사이에는 제1 풀리(153a)와 제3 풀리(153c)가 동시에 회전할 수 있게 제1 연결축(155a)이 연결된다. 그리고, 상기 제2 풀리(153b)와 제4 풀리(153d) 사이에는 제2 풀리(153b)와 제4 풀리(153d)가 동시에 회전할 수 있게 제2 연결축(155b)이 연결된다.

상기 제2 연결축(155b)의 중앙에는 제5 풀리(153e)가 제2 연결축(155b)과 함 께 회전하도록 설치되며, 회전 모터(151)의 축에는 제6 풀리(153f)가 설치된다. 상기 제6 풀리(153f)와 제5 풀리(153e) 사이에는 제3 벨트(154c)가 걸쳐져 설치됨으로써, 회전 모터(151)의 축이 회전함에 따라 제3 벨트(154c)를 거쳐 제2 연결축(155b)에 고정된 제5 풀리(153e)가 회전하게 되면, 제1 내지 제 4 풀리(153a)(153b)(153c)(153d)가 회전하여, 제1,2 벨트(154a)(154b)가 직선 운동할 수 있게 된다. 따라서, 제1,2 벨트(154a)(154b)에 각각 설치된 제1,2 이동블록(156a)(156b)이 직선 이동함에 따라, 제1,2 이동블록(156a)(156b)에 고정된 서포트부(120)가 도 5에 도시된 바와 같이, 슬라이드 이동할 수 있게 되는 것이다.

한편, 테스트트레이(T)가 서포트부(120)에 의해 지지가 된 채로, 도 6에 도시된 바와 같이 회전 가능하도록, 테스트트레이 반송장치(100)에는 로터리 액추에이터(160)가 구비될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 로터리 액추에이터(150)는 수평 상태로 놓인 테스트트레이(T)를 수직 상태로 회전시키거나, 이와 반대로 수직 상태로 놓인 테스트트레이(T)를 수평 상태로 회전시킬 수 있게 한다. 즉, 로터리 액추에이터(160)는 테스트트레이(T)를 90°범위로 회전 가능하게 구성될 수 있다.

이를 위해, 로터리 액추에이터(160)는 베이스부(110)의 후단에 고정된 샤프트 부재(161)를 구비한다. 상기 샤프트 부재(161)는 정,역회전 가능한 회전 모터(162)의 회전력을 전달받아서 정,역회전함으로써, 베이스부(110)를 정,역회전시킬 수 있게 한다. 이처럼 베이스부(110)가 회전 가능하게 되면, 제1,2 가이드부(130)(140)에 의해 연결된 서포트부(120)가 회전 가능하게 되며, 이에 따라 서포트부(120)에 의해 지지가 된 테스트트레이(T)가 회전 가능할 수 있는 것이다. 미 도시된 회전 모터(162)로부터 샤프트 부재(161)로의 동력 전달은 다양하게 이루어질 수 있는데, 그 일 예로, 적어도 한 쌍의 풀리(163a)(163b)와 벨트(164)가 이용될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 베이스부와 서포트부 사이에서 서포트부의 슬라이드 이동을 안내하는 제1,2 가이드부에 있어서, 테스트트레이를 지지하는 서포트부 측에 형성된 제1 가이드부의 길이보다 베이스부 측에 형성된 제2 가이드부의 길이를 짧게 구성함으로써, 테스트트레이가 대형화되어 서포트부의 크기가 커지더라도, 베이스부의 크기를 최대한 줄일 수 있다.

따라서, 베이스부의 중량이 감소할 수 있을 뿐 아니라 그에 따라 핸들러의 중량도 최대한 줄일 수 있다. 또한, 베이스부의 크기와 중량 감소로 인해, 테스트트레이를 포함한 베이스부 및 서포트부를 회전시키는 회전 구동력도 최소화되는 효과가 있을 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims

로터리 액추에이터에 의해 회전 가능하게 된 베이스부;

상기 베이스부의 상방에서 테스트트레이를 지지한 채로 리니어 액추에이터에 의해 일 방향으로 슬라이드 이동하는 서포트부;

상기 서포트부의 하면 양측에 상기 서포트부의 이동 방향을 따라 각각 연장 형성된 한 쌍의 제1 가이드부들; 및

상기 베이스부의 상면에 상기 제1 가이드부들에 대해 슬라이드 이동 가능하게 결합하되, 상기 제1 가이드부들보다 짧은 길이를 갖도록 각각 형성된 제2 가이드부들;

을 구비하는 핸들러의 테스트트레이 반송장치.
제 1항에 있어서,

상기 제1 가이드부들은 상기 서포트부에 상응하는 길이를 갖도록 각각 형성된 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트트레이 반송장치.
제 1항에 있어서,

상기 리니어 액추에이터는, 정,역회전 가능하게 된 회전 모터와, 상기 회전 모터로부터 발생한 회전운동을 직선운동으로 변환하여 상기 서포트부를 슬라이드 이동시키는 직선운동 변환부를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트트레 이 반송장치.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 로터리 액추에이터는 상기 베이스부를 90°범위에서 회전 왕복시켜 테스트트레이가 90°범위에서 회전 왕복하게 하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트트레이 반송장치.