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KR100810148B1 - 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템 - Google Patents

어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템 Download PDF

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Publication number
KR100810148B1
KR100810148B1 KR1020070013304A KR20070013304A KR100810148B1 KR 100810148 B1 KR100810148 B1 KR 100810148B1 KR 1020070013304 A KR1020070013304 A KR 1020070013304A KR 20070013304 A KR20070013304 A KR 20070013304A KR 100810148 B1 KR100810148 B1 KR 100810148B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
channel
ultrasonic transducer
unit
radiation conductance
array ultrasonic
Prior art date
Application number
KR1020070013304A
Other languages
English (en)
Inventor
김용태
조문재
정성수
김호철
윤용현
Original Assignee
한국표준과학연구원
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Filing date
Publication date
Application filed by 한국표준과학연구원 filed Critical 한국표준과학연구원
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Priority to PCT/KR2007/001165 priority patent/WO2008096926A1/en
Priority to US12/525,899 priority patent/US8296082B2/en
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    • G—PHYSICS
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Abstract

본 발명은 어레이 초음파 변환기의 용도 즉, 발진용, 수신용 또는 수/발신용에 따라 음향파워, 방사컨덕턴스, 음향파워 또는 방사컨덕턴스의 균일성, 음압감도의 균일성을 선택적으로 평가할 수 있는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템에 관한 것이다.
이러한 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템은 어레이 초음파 변환기를 구성하는 채널 일부 또는 전체에 선택적으로 전기 신호를 가해주는 구동부와 ; 상기 구동부에 의해 가해진 동일한 전압을 공급받은 각 채널에서 방사하는 초음파의 음향 파워를 측정하는 음향파워 측정부와 ; 상기 구동부에 의해 가해진 전압이 동일하지 않더라도 각 채널에 가해진 전압을 측정하여 동일한 전압이 가해졌을 때의 초음파 음향 파워로 환산한 방사컨덕턴스 환산부와 ; 방사컨덕턴스 환산부에 의해 환산된 음향파워값 또는 동일한 전압으로 구동되는 상태에서 측정된 각 채널의 음향파워값들의 균일성을 평가하는 채널 균일성 평가부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
흡음형 표적, 전자저울, 지지수단, 정렬수단, 컴퓨터, 어레이 초음파 변환기, 스위칭 네트워크

Description

어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템{oscillation capability testing system of array ultrasonic power transducers}
도 1은 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템의 구성도이고,
도 2는 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 구동부의 구성도이고,
도 3은 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 음향파워 측정부의 구성도이고,
도 4는 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 방사컨덕턴스 환산부의 구성도이고,
도 5는 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 채널 균일성 평가부의 구성도이고,
도 6은 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 음향파워 측정부의 일예를 도시한 배치도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호설명>
1 : 구동부
11 : 신호발생기
12 : 진력증폭기
13 : 스위칭 네크워크
14 : 전압계
15 : 주파수계수기
16 : 전력증폭기
2 : 음향파워 측정부
21 : 어레이 초음파 변환기
22 : 음향파워 측정기 221 : 수조 222 : 정수
223 : 표적 224 : 지지판 225 : 전자저울
226 : 연결선 227 : 음향파워 환산장치
23 : 지지 및 정렬수단
24 : 데이터 수집장치
25 : 측정부 제어기
3 : 방사컨덕턴스 환산부
31 : 연산장치
32 : 연산프로그램
4 : 채널균일성 평가부
41 : 저장 및 연산장치
42 : 평가 프로그램
본 발명은 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템에 관한 것으로 보다 상세하게는 어레이 초음파 변환기의 용도 즉, 발진용, 수신용 또는 수/발신용에 따라 음향파워, 방사컨덕턴스, 음향파워 또는 방사컨덕턴스의 균일성, 음압감도의 균일성을 선택적으로 평가할 수 있는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템에 관한 것이다.
초음파 변환기는 전기 신호를 초음파 신호로 변환하거나 또는 초음파를 수신하여 전기신호로 변환시켜 주는 장치나 부품으로서 이러한 초음파 변환기를 기하학적으로 적절하게 배열하여 목적하는 음장(sound field)을 형성하도록 구성한 장치 또는 부품으로 어레이 초음파 변환기가 있다.
어레이 초음파 변환기를 이용한 장치로는 초음파 영상진단기, 초음파 도플러 진단기, 초음파 골밀도 측정기, 초음파 혈관감시기, 초음파 혈류계, 태아 초음파 측정기, 초음파 심장조영장치, 초음파 뇌조영장치, 초음파 펄스진단장치 등과 같이 진단의 목적으로 하는 초음파 진단기와 ; 초음파 자극기, 초음파 체외 충격파 쇄석기, 초음파 체내 충격파 쇄석기, 초음파 초자체흡인절단기, 초음파 수정체절단장치, 초음파 수술기, 초음파 흡입기등 과 같이 치료 또는 수술의 목적으로 하는 초음파 치료/수술기와 ; 초음파 탐상기, 초음파 두께 측정기, 초음파 결함 탐지기 등과 같이 건물, 교량, 자재 등의 안정성을 평가하는 목적으로 사용되는 초음파 비파괴 평가 장비와 ; 초음파 식기 세척기, 초음파 가습기, 개인용 초음파 자극기, 개 인용 초음파 피부 미용기 등과 같이 가정 및 개인용으로 활용되는 가정용 또는 개인용 초음파 장치 ; 초음파 음속 측정기, 초음파 감쇠계수 측정기, 초음파 탄성계수 측정기 등과 같이 각종 재료(고체, 액체, 기체)의 물성을 측정하는 초음파 물성 측정 장치 ; 초음파 연삭기, 초음파 용접기, 초음파 유화기, 초음파세척기(Sonicator), 초음파 분무기, 안경용 초음파 세정기, 메가소닉 초음파 세정기, 초음파 절단기 등과 같이 강력 초음파를 이용하여 산업용으로 사용하는 산업용 초음파 장치 등이 있다.
이러한 어레이 초음파 변환기를 이용한 장치들 중 초음파 진단기, 초음파 비파괴 평가 장비 및 초음파 물성 측정 장치의 경우에는 발진용, 수신용, 수/발신 겸용이 모두 사용되고 있고, 초음파 치료/수술기, 가정용/개인용 초음파 장치 및 산업용 초음파 장치의 경우에는 발진용만이 사용되고 있다.
이렇게 다양하게 사용되는 어레이 초음파 변환기는 상기한 바와 같이 단일 초음파 변환기의 조합으로 이루어진 것으로 단일 초음파 변환기의 성능에 따라 전체 어레이 초음파 변환기의 성능이 좌우된다.
따라서 단일 초음파 변환기는 표 1에 나타난 바와 같이, 성능을 평가를 위해 다수의 성능 평가 파라메타를 사용하고 있으며, 발진용의 경우에는 음향파워, 방사컨덕턴스, 음장(음압 또는 음향세기)의 공간 분포 등의 파라메타를 평가하고, 수신용의 경우에는 음압감도를 평가하며, 발진/수신 겸용은 상대음압감도를 평가하고 있다.
이러한 초음파 변환기의 성능 평가 파라메타는 어레이 초음파 변환기의 경우 에도 적용되어야 하나 현재의 어레이 초음파 변환기의 성능 평가에 적용되고 있는 평가 파라메타 들은 표 1에 도시한 바와 같이 일부만이 평가되고 있고, 발진용의 경우에는 음향파워, 방사컨덕턴스, 음향파워 또는 방사컨덕턴스의 균일성에 대한 평가가 이루어지지 못하고 있고, 수신용의 경우에는 음압감도의 균일성에 대한 평가가 이루어지지 않으며, 발진/수신 겸용의 경우에는 음향파워 또는 방사컨덕턴스의 균일성에 대한 평가를 할 수 없는 문제가 있다.
Figure 112007011911880-pat00001
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 발명된 것으로서, 어레이 초음파 변환기의 용도 즉, 발진용, 수신용 또는 수/발신용에 따라 음향파워, 방사컨덕턴스, 음향파워 또는 방사컨덕턴스의 균일성, 음압감도의 균일성을 선택적으로 평가할 수 있는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 제공함을 목적으로 한다.
이러한 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템은 어레이 초음파 변환기를 구성하는 채널 일부 또는 전체에 선택적으로 전기 신호를 가해주는 구동부와 ; 상기 구동부에 의해 가해진 동일한 전압을 공급받은 각 채널에서 방사하는 초음파의 음향 파워를 측정하는 음향파워 측정부와 ; 상기 구동부에 의해 가해진 전압이 동일하지 않더라도 각 채널에 가해진 전압을 측정하여 동일한 전압이 가해졌을 때의 초음파 음향 파워로 환산한 방사컨덕턴스 환산부와 ; 방사컨덕턴스 환산부에 의해 환산된 음향파워값 또는 동일한 전압으로 구동되는 상태에서 측정된 각 채널의 음향파워값들의 균일성을 평가하는 채널 균일성 평가부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템의 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 구동부의 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 음향파워 측정부의 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 방사컨덕턴스 환산부의 구성도이고, 도 5는 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 채널 균일성 평가부의 구성도이고, 도 6은 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템을 구성하는 음향파워 측정기의 일예를 도시한 배치도이다.
도시한 바와 같이 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템은 어레이 초음파 변환기(21)를 구성하는 채널 일부 또는 전체에 선택적으로 전기 신호를 가해주는 구동부(1)와 ; 상기 구동부(1)에 의해 가해진 동일한 전압을 공급받은 각 채널에서 방사하는 초음파의 음향 파워를 측정하는 음향파워 측정부(2)와 ; 상기 구동부(1)에 의해 가해진 전압이 동일하지 않더라도 각 채널에 가해진 전압을 측정하여 동일한 전압이 가해졌을 때의 초음파 음향 파워로 환산한 방사컨덕턴스 환산부(3)와 ; 방사컨덕턴스 환산부(3)에 의해 환산된 음향파워값 또는 동일한 전압으로 구동되는 상태에서 측정된 각 채널의 음향파워값들의 균일성을 평가하는 채널 균일성 평가부(4)를 포함하여 구성된다.
상기 구동부(1)는 어레이 초음파 변환기(21)를를 구동시키기 위한 수단으로서 어레이 초음파 변환기(21)를 구성하는 각 채널 즉, 각 초음파 변환기(이하, '채널'이라 통침한다.) 중 일부의 초음파 변환기나 전체 초음파 변환기에 전기 신호를 인가한다.
상기 구동부(1)는 도 2에 도시한 바와 같이, 신호발생기(11)로부터 발생된 신호의 전력을 증폭하는 전력 증폭기(12)와 ; 어레이 초음파 변환기(21)의 발진될 소자의 채널을 선택하는 스위칭 네트워크(13)와 ; 상기 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압을 측정하는 전압계(14)와 ; 주파수를 측정하는 주파수 계수기(15)와 ; 상기 신호발생기(11), 전력증폭기(12), 스위칭 네트워크(13), 전압계(14), 주파수 계측기(15)를 사용자의 요구에 맞게 제어하는 구동제어기(16)를 포함하여 구성된다.
상기 신호발생기(11)는 통상적으로 초음파 변환기에 신호를 공급하는 신호 발생수단과 동일 유사하며, 이 신호발생기(11)에서 발생된 신호는 약하여 초음파 변환기를 구동기키기에 충분치 못함으로서 상기 전력 증폭기(12)를 설치하여 신호를 증폭시킨다.
전력증폭기(12)에 의해 증폭된 신호는 어레이 초음파 변환기(21)를 구성하는 각 채널들 중 검사를 원하는 채널만을 선택하여 신호를 전송할 수 있도록 스위칭 네트워크(13)가 구비되어 있으며, 이 스위칭 네트워크(13)는 릴레이 모듈(relay module)의 일종으로서 다채널의 출력을 갖음으로서 입력된 신호를 각 채널에 선택적으로 공급한다.
상기 전압계(14)는 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압을 계측하는 수단이고, 수파수계수기(15)는 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압의 주파수를 계측하는 수단이며, 구동제어기(16)는 상기 각 구성요소의 구동을 제어함으로서 구동부의 출력을 원하는 조건으로 제어하는 수단이다.
상기 구동부(1)에 의해 어레이 초음파 변환기(21)가 구동되면, 각 채널에 초음파가 발생되며, 각 채널에서 방사된 초음파는 상기 음향파워 측정부(2)에 의해 음향파워값이 측정된다.
상기 음향파워 측정부(2)는 도 3에 도시한 바와 같이, 어레이 초음파 변환기(21)에서 발진된 채널에서 방사되는 초음파의 음향파워를 측정하는 음향파워 측정기(22)와, 어레이 초음파 변환기(21) 와 음향파워 측정기(22)를 지지하고 정렬하기 위한 지지 및 정렬 수단(23)과, 상기 음향파워 측정기(22)에서 측정된 데이터를 수집하는 데이터 수집장치(24)와, 상기의 음향파워 측정기(22), 지지 및 정렬 수단(23), 데이터 수집장치(24)를 제어하기 위한 측정부 제어기(25)로 구성되며, 상 기 음향파워 측정기(22)의 물리적인 구조는 도 6에 도시한 바와 같이 구성될 수 있다.
상기 음향파워 측정기(22)는 채널에서 방사된 초음파에 의해 방사힘이 작용하는 흡음형 표적(223)의 무게를 전자저울(224)로 감지하여 음향파워를 측정하는 수단으로 도 6에 도시한 바와 같이 구성되어 있다.
즉, 정수(222)가 저장된 수조(221)의 내부에 설치된 흡음형 표적(223)과, 상기 흠음형 표적(223)의 하부에 설치되어 상기 흡음형 표적(223)에 초음파를 방사하는 어레이 초음파 변환기(21)와, 상기 방사힘이 작용하는 흡음형 표적(223)의 무게를 감지하는 전자저울(224)을 포함하여 구성되며, 흡음형 표적(223)은 연결선(226)에 의해 상기 전자저울(224)에 매달려있다.
상기 전자저울(224)은 수조(221)의 상부에 설치된 지지대(227)에 의해 지지된다. 상기 전자저울(224)에 의해 감지된 흡음형 표적(223)의 무게는 음향파워 환산장치(226)에 의해 음향파워로 환산되어 데이터 수집장치(24)로 전달된다. 상기 음향파워 환산장치(226)는 상기한 바와 같이 전자저우레 의해 감지된 방사힘이 작용하는 흡음형 표적(223)의 무게를 기 설정된 기준에 따라 음향파워로 환산하는 수단으로, 예를 들면 기준이 되는 무게에 대하여 기준이 되는 음향파워를 설정하고 전자저울(224)에서 감지된 무게가 변화가 1일 때 음향파워의 변화를 1로 설정하여 무게의 변화에 따라 음향파워를 환산하게 된다.
상기지지 및 정렬수단(23)은 도 6에 도시한 바와 같이 전자저울(224를 지지하는 지지판(227)과, 어레이 초음파 변환기를 비롯한 여타의 장치를 지지하고, 서 로 다른 장치들을 서로 정렬하기 위한 수단을 포함하여 구성되며, 이러한 지지 및 정렬 수단은 이미 잘 알려진 기술로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기 측정부 제어기(25)는 음향파워 측정부(2)를 구성하는 각각의 구성 요소를 제어하기 위한 수단으로 상기 구동부(1)에 구성된 구동제어기(15)와 일체로 구성될 수 있으며, 컴퓨터 등의 전산 장치로 구성될 수 있다.
상기 음향파워 측정부(2)에 의해 측정된 음향파워는 방사컨덕턴스 환산부(3)로 전송된다.
상기 방사컨덕턴스 환산부(3)는 음향파워 측정부(2)에서 채널별로 측정된 음향파워 값(Pi)과, 상기 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압값(Vi)으로부터 방사컨덕턴스(Gi)를 구하는 연산 프로그램(32)과 ; 상기 연산 프로그램(32)을 실행시킬 수 있는 마이크로 프로세스 장치 또는 컴퓨터 장치인 저장 및 연산 장치(31)를 포함하여 구성된다.
상기 연산프로그램(32)은 방사컨덕턴스(Gi)를 구하는 프로그램이다.
상기 방사컨덕턴스(Gi)는 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압값(Vi)으로부터 산출되며, 아래의 식에 의해 구해진다.
Figure 112007011911880-pat00002
여기서,
Figure 112007011911880-pat00003
는 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압이고,
Figure 112007011911880-pat00004
는 음향파워 측정부(2)에서 채널별로 측정된 음향파워이다.
상기 채널 균일성 평가부(4)는 상기 방사컨덕턴스 환산부(3)에서 환산된 채널의 수(N)에 대하여 채널별로 방사컨덕턴스 값(Gi)으로부터 방사컨덕턴스 산술 평균(<G>), 방사컨덕턴스의 분산(DG), 방사컨덕턴스의 표준편차(SG), 음향파워의 산술 평균(<P>), 방사컨덕턴스의 분산(DP), 방사컨덕턴스의 표준편차(SP)를 산출하는 연산하는 평가 프로그램(42)과, 상기 평가 프로그램(42)을 구동시키는 저장 및 연산 장치(41)를 구비하고 있으며, 상기 방사컨덕턴스의 분산(DP)은 음향파워 산술 평균값(<P>)과 채널별 방사컨덕턴스 값(Pi)에 의해 구해지고, 방사컨덕턴스의 표준편차(SP)는 상기 방사컨덕턴스의 분산(DP)으로부터 구해진다.
방사컨덕턴스 산술 평균값(<G>)은
Figure 112007011911880-pat00005
이다. 여기서, N은 채널의 수로 자연수이다.
위와 같이 구해진 방사컨덕턴스 산술 평균값(<G>)과 채널별 방사컨덕턴스 값(Gi)들을 아래의 식에 적용하여 방사컨덕턴스의 분산(DG)을 구한다.
Figure 112007011911880-pat00006
상기와 같은 수식에 의해 구해진 방사컨덕턴스의 분산(DG)을 이용하여 방사컨덕턴스의 표준편차(SG)를 구하고 이는 아래의 수식에 의해 이루어진다.
Figure 112007011911880-pat00007
상기 음향파워 측정부(2)에서 측정된 음향파워값(Pi)들을 이용하여 아래의 음향파워의 산술 평균 값(<P>)을 구하고
Figure 112007011911880-pat00008
음향파워 산술 평균값(<P>)과 채널별 방사컨덕턴스 값(Pi)들을 이용하여 아래의 방사컨덕턴스의 분산(DP)을 구하며,
Figure 112007011911880-pat00009
상기 방사컨덕턴스의 분산(DP)으로부터 아래의 방사컨덕턴스의 표준편차(SP)
Figure 112007011911880-pat00010
를 구한다.
본 발명은 바람직한 실시예를 참조하여 기술되었지만, 후술하는 청구범위에 의해 제시되는 본 발명의 범주와 기술적 사상을 벗어남이 없이 많은 수정 및 변형이 가능하다.
이상에서 상세히 기술한 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템은 방사컨덕턴스 환산부에서 음향파워 측정부에서 측정된 음향파워값과 어레이 초음파 변환기에 공급되는 전압값으로부터 방사컨덕턴스를 산출하 고, 이 방사컨덕턴스 값으로부터 방사컨덕턴스 산술 평균, 방사컨덕턴스, 방사컨덕턴스의 분산, 방사컨덕턴스의 표준편차, 음향파워의 산술 평균을 산출할 수 있어 어레이 초음파 변환기가 다양한 용도에 맞게 음향파워, 방사컨덕턴스, 방사컨덕턴스의 균일성, 음압감도의 균일성을 평가할 수 있는 효과가 있다.
더욱이, 이와 같이 어레이 초음파 변환기가 다양한 용도에 따라 다양한 평가 항목을 검사할 수 있으므로 발진 및 수신 겸용 어레이 초음파 변환기에서 발진기로서의 성능이 분리되어 평가될 수 있음에 따라 어레이 초음파 변환기의 성능평가가 세분화되고, 용도에 따라 발진 성능을 강화하고 수신 성능을 낮추거나, 발진 성능을 낮추고 수신 성능을 강화하는 설계 또는 두 성능 모두를 강화하거나 낮추는 설계에 활용할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명은 첨부된 특허청구범위의 문언에 의해서만 제한 해석될 수 있다.

Claims (5)

  1. 어레이 초음파 변환기(21)를 구성하는 채널 일부 또는 전체에 선택적으로 전기 신호를 가해주는 구동부(1)와 ;
    상기 구동부(1)에 의해 가해진 동일한 전압을 공급받은 각 채널에서 방사하는 초음파의 음향 파워를 측정하는 음향파워 측정부(2)와 ;
    상기 구동부(1)에 의해 가해진 전압이 동일하지 않더라도 각 채널에 가해진 전압을 측정하여 동일한 전압이 가해졌을 때의 초음파 음향파워로 환산한 방사컨덕턴스 환산부(3)와 ;
    방사컨덕턴스 환산부(3)에 의해 환산된 음향파워값 또는 동일한 전압으로 구동되는 상태에서 측정된 각 채널의 음향파워값들의 균일성을 평가하는 채널 균일성 평가부(4)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부(1)는 ;
    신호발생기(11)로부터 발생된 신호의 전력을 증폭하는 전력 증폭기(12)와 ;
    어레이 초음파 변환기(21)의 발진될 소자의 채널을 선택하는 스위칭 네트워크(13)와 ;
    상기 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압을 측정하는 전압계(14)와 ;
    주파수를 측정하는 주파수 계수기(15)와 ;
    상기 신호발생기(11), 전력증폭기(12), 스위칭 네트워크(13), 전압계(14), 주파수 계측기(15)를 사용자의 요구에 맞게 제어하는 구동제어기(16)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 음향파워 측정부(2)는 ;
    어레이 초음파 변환기(21)에서 발진된 채널에서 방사되는 초음파의 음향파워를 측정하는 음향파워 측정기(22)와 ;
    어레이 초음파 변환기(21) 또는 음향파워 측정기(22)를 적절하게 지지하고 정렬하기 위한 지지 및 정렬 수단(23)과 ;
    상기 음향파워 측정기(22)에서 측정된 데이터를 수집하는 데이터 수집장치(24)와 ;
    상기의 음향파워 측정기(22), 지지 및 정렬 수단(23), 데이터 수집장치(24)를 제어하기 위한 측정부 제어기(25)로 구성됨을 특징으로 하는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템.
  4. 제 1 항의 상기 방사컨덕턴스 환산부(3)는 ;
    음향파워 측정부(2)에서 채널별로 측정된 음향파워 값(Pi)과, 상기 어레이 초음파 변환기(21)에 인가되는 전압값(Vi)으로부터 방사컨덕턴스(Gi)를 구하는 연산 프로그램(32)과 ;
    상기 연산 프로그램(32)을 실행시킬 수 있는 마이크로 프로세스 장치 또는 컴퓨터 장치인 저장 및 연산 장치(31)를 포함하여 구성되고,
    상기 방사컨덕턴스(Gi)는
    Figure 112007011911880-pat00011
    로 구해짐을 특징으로 하는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템.
  5. 제 1 항의 채널 균일성 평가부(4)는 ;
    상기 방사컨덕턴스 환산부(3)에서 환산된 채널의 수(N)에 대하여 채널별로 방사컨덕턴스 값(Gi)으로부터 아래의 식에 의해 구해지는 방사컨덕턴스 산술 평균값(<G>)과 ;
    Figure 112007011911880-pat00012
    산술 평균(<G>)과 채널별 방사컨덕턴스 값(Gi)들을 이용하여 아래의 식으로 구해지는 방사컨덕턴스의 분산(DG)과 ;
    Figure 112007011911880-pat00013
    상기 방사컨덕턴스의 분산(DG)을 이용하여 아래의 식으로 구해지는 방사컨덕턴스의 표준편차(SG)와 ;
    Figure 112007011911880-pat00014
    상기 음향파워 측정부(2)에서 측정된 음향파워값(Pi)들을 이용하여 아래의 식으로 구해지는 음향파워의 산술 평균 값(<P>)과 ;
    Figure 112007011911880-pat00015
    음향파워 산술 평균값(<P>)과 채널별 방사컨덕턴스 값(Pi)들을 이용하여 아래의 식으로 구하는 방사컨덕턴스의 분산(DP)과 ;
    Figure 112007011911880-pat00016
    상기 방사컨덕턴스의 분산(DP)으로부터 아래의 식으로부터 구하는 방사컨덕턴스의 표준편차(SP)를
    Figure 112007011911880-pat00017
    연산하는 평가 프로그램(42)과 ;
    상기 평가 프로그램(42)을 수행할 수 있는 저장 및 연산 장치(41)를 포함함을 특징으로 하는 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템.
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