Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR100818165B1 - Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property - Google Patents

Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property Download PDF

Info

Publication number
KR100818165B1
KR100818165B1 KR1020060012354A KR20060012354A KR100818165B1 KR 100818165 B1 KR100818165 B1 KR 100818165B1 KR 1020060012354 A KR1020060012354 A KR 1020060012354A KR 20060012354 A KR20060012354 A KR 20060012354A KR 100818165 B1 KR100818165 B1 KR 100818165B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
hard ceramic
ceramic film
vapor deposition
forming
Prior art date
Application number
KR1020060012354A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070080885A (en
Inventor
임상원
백운승
Original Assignee
(주)이온본드 엘트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)이온본드 엘트론 filed Critical (주)이온본드 엘트론
Priority to KR1020060012354A priority Critical patent/KR100818165B1/en
Publication of KR20070080885A publication Critical patent/KR20070080885A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100818165B1 publication Critical patent/KR100818165B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명의 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법은 a) 물리증착법(PVD) 또는 화학증착법(CVD)에 의해 모재에 경질세라믹피막을 형성하는 단계; b) 상기 경질세라믹피막 표면에 마이크로-블라스팅 또는 경면처리 등을 통하여 드롭렛홀(droplet hole) 또는 핀홀(Pin hole)이 노출되도록 하거나, 블라스팅, 연마 또는 경질세라믹피막 형성단계 중 공정변수 제어를 통해 피트(Pit), 요철, 골짜기 등과 같이 고체윤활제를 함유할 수 있는 음각(오일홀)을 형성하기 위한 표면제어 단계; c) 상기 경면처리된 경질세라믹피막층에 고체윤활피막을 형성하여 다층복합피막을 형성하는 단계; 및 d) 상기 다층복합 피막을 100-450℃로 고화시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Method for producing a multilayer composite coating having excellent lubricity and wear resistance of the present invention comprises the steps of: a) forming a hard ceramic coating on the base material by physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD); b) the droplet hole or the pin hole is exposed through micro-blasting or mirror surface treatment on the surface of the hard ceramic film, or the process variable control during the blasting, polishing or hard ceramic film forming step A surface control step for forming an intaglio (oil hole) which may contain a solid lubricant such as (Pit), irregularities, valleys, and the like; c) forming a multilayer lubricating film by forming a solid lubricating film on the mirror-treated hard ceramic film layer; And d) solidifying the multilayer composite film at 100-450 ° C .; Characterized in that it comprises a.

상술한 바와 같이 본 발명에 의해 형성된 다층복합피막은 경질세라믹피막의 장점인 우수한 내마모성과 고체윤활 피막이 장점인 저마찰계수의 윤활특성을 갖으며, 경질세라믹피막 내에 형성된 결함이 오일홀로 작용하여 지속적인 윤활성분을 공급할 수 있어 고하중의 조건에서도 오랜 기간 동안 지속적으로 내마모성과 윤활성을 유지할 수 있다. 이를 통해, 제품의 수명을 획기적으로 연장할 수 있으며, 제품의 미끄럼성, 내마모성, 내소착성 및 이형성을 크게 개선할 수 있는 장점이 있다.As described above, the multilayered composite film formed by the present invention has a lubricating property of low friction coefficient, which is an advantage of an excellent wear resistance and a solid lubricating film, which is an advantage of the hard ceramic film, and a defect formed in the hard ceramic film acts as an oil hole to continuously lubricate The components can be supplied to maintain wear resistance and lubricity for a long time even under high load conditions. Through this, it is possible to significantly extend the life of the product, there is an advantage that can greatly improve the slip resistance, wear resistance, tack resistance and mold release properties of the product.

또한, 생산공정이 간단하고 생산비용을 절감할 수 있어 생산효율을 높일 수 있으며, 안정된 품질을 얻을 수 있는 장점이 있다. In addition, the production process is simple and can reduce the production cost can increase the production efficiency, there is an advantage to obtain a stable quality.

저마찰, 복합피막, 경질세라믹피막, 이온플레이팅, 스파터링, 윤활피막, 소착 Low friction, composite coating, hard ceramic coating, ion plating, spattering, lubricating coating, sintering

Description

윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법{Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property}Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property

도 1은 본 발명에 의한 다층복합피막 제조공정의 하나의 실단계에 대한 구성도.1 is a configuration diagram for one actual step of the multi-layer composite film production process according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의하여 제조된 다층복합피막의 단면도.2 is a cross-sectional view of a multilayer composite film produced according to the present invention.

도 3은 본 발명에 의하여 제조된 다층복합피막의 마찰마모시험결과 그래프.Figure 3 is a graph of the friction wear test results of the multilayered composite film prepared according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

100 : 다층복합피막 10 : 모재100: multilayer composite coating 10: base material

20 : 경질세라믹피막 30 : 고체윤활피막20: hard ceramic coating 30: solid lubricating coating

50 : 오일홀(음각) 51 : 드롭렛홀50: oil hole (engraved) 51: droplet hole

52 : 핀홀52: pinhole

본 발명은 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법에 관한 것 으로, 보다 자세하게는 금속과 비금속소재의 성형시 또는 접촉시 발생되는 마모(abrasive wear), 소착(seizing), 냉접(cold weld), 탈리(delamination, spalling, pull-out) 등의 문제를 개선하기 위한 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer composite film having excellent lubricity and abrasion resistance. More particularly, the present invention relates to abrasive wear, seizing, and cold welds generated during or in contact with metal and nonmetal materials. The present invention relates to a method for producing a multilayer composite film having excellent lubricity and wear resistance for improving problems such as delamination, spalling, and pull-out.

일반적으로 각종 기계 부품이나 공구류의 내마모성을 개선하기 위한 방법으로는 용사, 산화처리, 질화처리, 물리 또는 화학증착에 의한 경질세라믹피막의 코팅 등이 알려져 있다.Generally, as a method for improving the wear resistance of various mechanical parts and tools, coating of hard ceramic coatings by thermal spraying, oxidation treatment, nitriding treatment, physical or chemical vapor deposition, and the like are known.

그 중 물리증착법을 이용하는 경우 주로 아크(Arc) 또는 전자빔(Electron Beam) 방식의 이온플레이팅이나 스퍼터링과 같은 방법이 있다.In the case of using the physical vapor deposition method, there are mainly methods such as ion plating or sputtering of an arc or an electron beam method.

이온플레이팅은 10-5 Torr 이상의 고진공으로 배기한 후 Ar, N2, C2H2 가스 등의 가스를 주입하고, 모재에 전위를 인가하여 플라즈마를 형성하고, 아크 또는 전자빔 등을 이용하여 재료를 증발시켜 기판에 코팅물질을 증착시키는 방법이다.Ion plating is exhausted with high vacuum of 10 -5 Torr or higher, and then gas such as Ar, N 2 , C 2 H 2 gas is injected, potential is applied to the base metal to form plasma, and the material is formed using an arc or electron beam. Is a method of depositing a coating material on a substrate by evaporation.

스퍼터링은 금속을 스퍼터링에 의해 증발시켜 기판에 코팅하는 것을 의미하는데, 증착속도를 높이기 위해 타겟 배면에 자석을 부착하여 전기장에 수직한 자기장을 형성함으로써 전자들의 운동을 타겟 주위로 구속하고 이동 경로를 길게 함으로써 스퍼터링 효율을 높일 수 있도록 한 것이다. Sputtering refers to the evaporation of metal by sputtering and coating on the substrate. To increase the deposition rate, magnets are attached to the target backside to form a magnetic field perpendicular to the electric field, constraining the movement of electrons around the target and extending the path of travel. This is to increase the sputtering efficiency.

타겟 배면에 자석을 배치하는 방법인 마그네트론 스퍼터링 방법은 상기 이온플레이팅과 같이 10-5 Torr의 고진공으로 배기한 후 Ar 가스를 주입하고 타겟에 전위를 인가하여 플라즈마를 형성기킨 후 Ar 가스의 충돌에 의해 모재금속으로부터 증착물질이 발생되고 증착물질이 N2, C2H2 등의 반응 가스와 반응하여 기판에 경질세라믹 코팅층을 증착시키는 방법이다.The magnetron sputtering method, which is a method of arranging a magnet on the back of the target, exhausts the high vacuum of 10 -5 Torr as in the ion plating, injects Ar gas, applies an electric potential to the target, forms a plasma, and then reacts to the collision of Ar gas. The deposition material is generated from the base metal and the deposition material reacts with a reaction gas such as N 2 or C 2 H 2 to deposit a hard ceramic coating layer on the substrate.

전술한 물리증착법은 가공 특성과 수명의 향상을 위해 각종 기계류 부품, 프레스 금형, 사출금형, 각종 펀치류 등에 세라믹 경질박막을 코팅하는데 널리 활용되고 있는 방법이며, 특히 내마모성을 필요로 하는 부품들은 필수적인 공정이다. The above-described physical vapor deposition method is widely used to coat ceramic hard thin films on various machinery parts, press molds, injection molds, punches, etc. in order to improve processing characteristics and lifespan, and in particular, parts requiring wear resistance are essential processes. to be.

기계의 작동시 발생되는 문제점은 마모 외에도 소착, 냉접 등이 있는데, 이들이 기계의 성능이나 수명에 악영향을 미치므로 제품의 윤활성을 높이기 위해 종래에는 오일 등과 같은 액체 윤활제를 사용해 왔다. 최근 환경규제가 엄격하게 되면서 액체 윤활제의 사용이 점점 규제됨에 따라 액체 윤활제를 대신하여 환경에 적합한 고체 윤활제 피막이 각광을 받고 있다.Problems that occur during the operation of the machine is not only wear, but also sintering, cold welding, etc., because they adversely affect the performance or life of the machine has been conventionally used liquid lubricants such as oil to improve the lubricity of the product. As environmental regulations become more stringent in recent years, the use of liquid lubricants has been increasingly regulated, and solid lubricant coatings suitable for the environment have been spotlighted instead of liquid lubricants.

종래의 다층복합피막 제조방법의 일예로는 우리나라 공개특허공보 10-2003-0094870호가 개시된 바 있다. 이 방법은 진공실을 대기압 미만으로 진공배기시키는 단계; 기판에 음의 전압을 인가한 상태에서 아크 증발원에 전원을 인가하여 기판을 청정시키는 단계; 기판의 전압을 강하하여 모재에 금속 계면층을 형성하는 단계; 진공실 내로 반응가스를 도입하여 경질 코팅층을 형성하는 단계; 아크 증발원에 인가되는 전원과 반응가스의 도입을 차단하고 Ti 타겟을 스퍼터링하여 금속 버퍼층을 형성하는 단계; MoS2 타겟을 스퍼터링하여 MoS2-Ti 코팅층을 형성하는 단계; 및 Ti 타겟에 전원을 차단하여 MoS2 코팅층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되어 동일 시스템에서 내마모 코팅 및 윤활 코팅을 동시에 구현하도록 하여 내마모 코팅과 저마 찰 코팅층을 동시에 코팅하는 방법을 개발한 바 있다.As an example of a conventional multilayer composite coating method, Korean Laid-Open Patent Publication No. 10-2003-0094870 has been disclosed. The method comprises evacuating the vacuum chamber to below atmospheric pressure; Cleaning the substrate by applying power to an arc evaporation source while applying a negative voltage to the substrate; Dropping the voltage of the substrate to form a metal interface layer on the base material; Introducing a reaction gas into the vacuum chamber to form a hard coating layer; Blocking the introduction of a power source and a reaction gas applied to the arc evaporation source and sputtering the Ti target to form a metal buffer layer; Sputtering the MoS 2 target to form a MoS 2 -Ti coating layer; And forming a MoS 2 coating layer by cutting off the power to the Ti target to simultaneously implement abrasion resistant coating and lubricating coating in the same system, thereby developing a method of simultaneously coating the wear resistant coating and the low friction coating layer. have.

상기한 바와 같이 제조된 다층복합피막은 경질세라믹피막 및 고체 윤활피막이 물리증착법에 의해 증착되기 때문에 공정이 복잡하고, 조건이 엄격하여 안정된 품질을 얻기가 어려울 뿐만 아니라, 모든 공정이 진공에서 이루어지므로 비용이 많이 드는 단점이 있었다.The multilayer composite film prepared as described above has a complicated process because the hard ceramic film and the solid lubricating film are deposited by the physical vapor deposition method, which is not only difficult to obtain stable quality due to the strict conditions, but also because all the processes are performed in a vacuum. This had a lot of drawbacks.

또한 경질세라믹피막이 증착될 때 형성되는 다수의 표면결함에 대한 별도의 처리공정 없이 고체윤활피막을 바로 증착시키기 때문에 고체윤활제 고유의 윤활특성을 충분히 활용하기 어려울 뿐만 아니라, 작동 중에 경질세라믹피막 내에 박혀 있는 드롭렛(Droplet) 입자들이 이탈되면서 새로운 마모입자로 작용하여 마모를 촉진하고 두 재료간의 밀착성을 떨어뜨리는 단점이 있었다.In addition, since the solid lubricating film is directly deposited without a separate treatment process for a large number of surface defects formed when the hard ceramic film is deposited, it is difficult to fully utilize the lubricating characteristics inherent in the solid lubricant, and it is embedded in the hard ceramic film during operation. Droplet particles are separated and act as new wear particles to promote wear and to reduce the adhesion between the two materials.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 내마모성과 저마찰, 윤활성이 우수한 피막을 쉽게 형성할 수 있고 고하중의 조건에서도 장기간 우수한 내마모성을 유지할 수 있어, 부품의 내마모성, 내소착성 및 이형성을 개선할 수 있는 다층복합 피막의 제조방법을 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention can easily form a film with excellent wear resistance, low friction, lubricity and can maintain excellent wear resistance for a long time even under high load conditions, It is to provide a method for producing a multilayer composite coating that can improve the wear resistance, adhesion resistance and releasability.

또한, 본 발명은 제조공정이 간단하고 안정된 품질을 얻을 수 있으며 생산비용을 줄여 효율을 높일 수 있는 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조 방법을 제공하는 것이다.In addition, the present invention is to provide a method for producing a multilayer composite film having excellent lubricity and wear resistance that can be obtained a simple and stable quality of the manufacturing process and increase the efficiency by reducing the production cost.

본 발명의 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법은 a) 물리증착법(PVD) 또는 화학증착법(CVD)에 의해 모재에 경질세라믹피막을 형성하는 단계; b) 상기 경질세라믹피막 표면에 마이크로-블라스팅 또는 경면처리 등을 통하여 드롭렛홀(droplet hole) 또는 핀홀(Pin hole)이 노출되도록 하거나, 블라스팅, 연마 또는 경질세라믹피막 형성단계 중 공정변수 제어를 통해 피트(Pit), 요철, 골짜기 등과 같이 고체윤활제를 함유할 수 있는 음각(오일홀)을 형성하기 위한 표면제어 단계; c) 상기 경면처리된 경질세라믹피막층에 고체윤활피막을 형성하여 다층복합피막을 형성하는 단계; 및 d) 상기 다층복합 피막을 100-450℃로 고화시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Method for producing a multilayer composite coating having excellent lubricity and wear resistance of the present invention comprises the steps of: a) forming a hard ceramic coating on the base material by physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD); b) the droplet hole or the pin hole is exposed through micro-blasting or mirror surface treatment on the surface of the hard ceramic film, or the process variable control during the blasting, polishing or hard ceramic film forming step A surface control step for forming an intaglio (oil hole) which may contain a solid lubricant such as (Pit), irregularities, valleys, and the like; c) forming a multilayer lubricating film by forming a solid lubricating film on the mirror-treated hard ceramic film layer; And d) solidifying the multilayer composite film at 100-450 ° C .; Characterized in that it comprises a.

또한, a) 단계에서 상기 경질세라믹피막은 CrN, Cr2N, TiN, AlTiN, TiAlN, CrTiN, TiSiN, AlCrN 등의 질화물과 TiC, CrC 등의 탄화물, 이들 질화물과 탄화물이 복합된 TiCN, TiAlCN, CrCN 등과 같은 탄질화물, 또는 Al2O3, SiO2, TiO2 등과 같은 산화물에서 선택되는 하나 혹은 이들의 복합층으로 형성되는 것을 특징으로 한다.Further, in step a), the hard ceramic film is formed of nitrides such as CrN, Cr 2 N, TiN, AlTiN, TiAlN, CrTiN, TiSiN, AlCrN, carbides such as TiC, CrC, TiNN, TiAlCN, It is characterized in that it is formed of one or a composite layer selected from carbonitrides such as CrCN, or oxides such as Al 2 O 3 , SiO 2 , TiO 2, and the like.

또, a) 단계에서 상기 물리적증착법은 아크, 저항가열, 전자빔 등을 이용하는 이온플레이팅 방법, 스퍼터링 방법 등을 이용하고, 화학적 증착법은 플라즈마나 열을 이용한 화학증착법(CVD)을 이용하는 것을 특징으로 한다.In the step a), the physical vapor deposition method is an ion plating method using an arc, resistance heating, electron beam, etc., sputtering method, etc., and the chemical vapor deposition method is characterized by using chemical vapor deposition (CVD) using plasma or heat. .

아울러, 상기 b) 단계의 공정변수 제어는 경질세라믹피막형성단계에서 아크 전류, 진공도, 바이어스 전압, 전류 등을 인위적으로 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, the process variable control of step b) is characterized in that artificially adjusting the arc current, vacuum degree, bias voltage, current in the hard ceramic film forming step.

또, 상기 c)단계는 고체 윤활제를 스프레이(Spray) 또는 디핑(Dipping)하여 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the step c) is characterized in that formed by spraying or dipping (solid) the solid lubricant.

또한, 상기 고체윤활제는 MoS2, WS2, PTFE에서 선택되는 하나 또는 이들의 혼합물로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the solid lubricant is characterized in that it is formed of one or a mixture thereof selected from MoS 2 , WS 2 , PTFE.

아울러, 상기 a)단계 이전에 탈지 및 건조 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, it is characterized in that it further comprises a degreasing and drying step before step a).

또한, 상기 b)단계와 c)단계 중간에 탈지 및 건조 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step of b) and c) characterized in that it further comprises a degreasing and drying step in the middle.

이하, 첨부된 도면을 참조로 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings with reference to the drawings as follows.

도 1은 본 발명에 의한 다층복합피막 제조공정의 하나의 실단계에 대한 구성도이며, 도 2는 본 발명에 의하여 제조된 다층복합피막의 단면도이고, 도 3은 본 발명에 의하여 제조된 다층 복합피막의 마찰마모 시험결과 그래프이다.1 is a configuration diagram for one actual step of the multi-layer composite film production process according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view of a multilayer composite film produced according to the present invention, Figure 3 is a multilayer composite prepared by the present invention This is a graph of the friction wear test results of the film.

도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 다층복합피막 제조방법은 연마 및 폴리싱 단계(S101), 경질세라믹피막 형성단계(S104), 경면 · 표면제어 처리단계(S105), 고체윤활 피막 처리단계(S108), 건조단계(S109) 또는 고화단계(S110)로 구 성된다.As shown in FIG. 1, the method for manufacturing a multilayer composite film according to the present invention includes a polishing and polishing step (S101), a hard ceramic film forming step (S104), a mirror surface and surface control treatment step (S105), and a solid lubricating film treatment step ( S108), it is composed of a drying step (S109) or a solidification step (S110).

상기 연마 및 폴리싱 단계(S101)는 준비된 모재(10)의 면조도를 높이고 경면을 부여하기 위한 단계로 블라스팅(blasting), 연마제를 사용한 버핑(Buffing) 또는 폴리싱(Polishing) 등으로 표면의 조도를 균일화하게 처리하는 단계이다.The polishing and polishing step (S101) is a step for increasing the surface roughness of the prepared base material 10 and giving a mirror surface to uniform the surface roughness by blasting, buffing or polishing using an abrasive. Processing step.

상기 경질 세라믹피막 형성단계(S104)는 아크, 저항가열, 전자빔 등의 이온플레이팅 방법, 스퍼터링 방법 등의 물리증착법(PVD)이나 플라즈마나 열을 이용한 화학증착법(CVD)을 이용하여 모재(10)의 표면에 질화물, 탄화물, 탄질화물, 산화물을 주성분으로 하는 경질세라믹피막(20)을 증착시키게 된다. 상기 경질세라믹피막(20)은 CrN, Cr2N, TiN, AlTiN, TiAlN, CrTiN 등의 질화물과 TiC, CrC 등의 탄화물, 이들 질화물과 탄화물이 복합된 TiCN, TiAlCN, CrCN 등과 같은 탄질화물, 또는 Al2O3, SiO2, TiO2 등과 같은 산화물에서 선택되는 하나 혹은 이들의 복합층으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The hard ceramic film forming step (S104) is a base material 10 using a physical vapor deposition method (PVD), such as arc plating, resistance heating, electron beam, sputtering method, or chemical vapor deposition (CVD) using plasma or heat. The hard ceramic film 20 containing nitride, carbide, carbonitride, and oxide as a main component is deposited on the surface thereof. The hard ceramic film 20 may include nitrides such as CrN, Cr 2 N, TiN, AlTiN, TiAlN, CrTiN, carbides such as TiC and CrC, carbonitrides such as TiCN, TiAlCN, CrCN, etc. It is characterized by being formed of one or a composite layer thereof selected from oxides such as Al 2 O 3 , SiO 2 , TiO 2, and the like.

상기 경질세라믹피막 경면·표면제어처리 단계(S105)는 고체 윤활제가 오랫동안 머물 수 있는 오일홀(음각)을 형성하는 단계로서 본 발명에서는 다층복합피막 공정 중에 형성되는 다양한 피막의 결함을 오일홀로 적극적으로 이용하는 것을 특징으로 한다.The hard ceramic film mirror surface and surface control treatment step (S105) is a step of forming an oil hole (engraved) in which the solid lubricant can stay for a long time. In the present invention, various defects of the film formed during the multilayer composite coating process are actively used as oil holes. It is characterized by using.

증착단계의 대표적인 결함은 드롭렛(Droplet, 표면에 부착 또는 박혀있는 입자)과 핀홀(Pin hole)이다. 상기 드롭렛과 핀홀(52)는 증착 과정 중에 상기 경질세라믹피막(20)의 표면에 생성되며, 아크 전류, 진공도, 바이어스 전압, 전류 등을 조정하여 인위적으로 크기, 분포, 수량 등의 표면상태를 조절할 수 있다. 다른 증착방법에 비해 아크 이온플레이팅방법을 이용하면 경질세라믹피막(20)에 다수의 드롭렛이 형성될 수 있으며 스퍼터링 방법을 이용하면 경질세라믹피막(20)에 핀홀(52)이 다수 형성될 수 있다. 그러나 종래에는 상기 드롭렛이나 핀홀(52)은 일반적으로 결함으로 인식되어 이를 없애기 위한 노력을 줄기차게 기울여왔다. Representative defects of the deposition step are droplets (particles attached or stuck to the surface) and pin holes. The droplets and pinholes 52 are formed on the surface of the hard ceramic film 20 during the deposition process, and artificially adjust the arc current, vacuum degree, bias voltage, current, and the like to change the surface state such as size, distribution, and quantity. I can regulate it. Compared to other deposition methods, a plurality of droplets may be formed in the hard ceramic film 20 using the arc ion plating method, and a plurality of pinholes 52 may be formed in the hard ceramic film 20 using the sputtering method. have. However, conventionally, the droplets or pinholes 52 are generally recognized as defects, and efforts have been made to eliminate them.

또한, 물리증착법이나 화학증착법에서 경질세라믹피막(20)을 형성하기 전에 모재(10)가 이론적으로 평면을 이루고 있다고 할지라도 증착되는 동안 경질세라믹피막(20) 표면에 미세한 성장의 꽃무늬 혹은 양배추 모양의 특징(growth feature of flower or growth feature of cabbage)을 갖게 된다. 이러한 무늬 모양도 피막 표면의 결함으로 여겨지고 있으며, 상기 드롭렛과 핀홀(52)과 같이 증착 공정 중 이러한 현상을 없애기 위해 노력해 왔다. 본 발명에서는 이러한 결함을 오일홀(50)로 활용하여 고체윤활제를 채워 마모가 일어나는 동안 고체 윤활제가 오랫동안 머물게 하는 역할을 담당하게 된다.In addition, even before the hard ceramic film 20 is formed in the physical vapor deposition method or the chemical vapor deposition method, even if the base material 10 is theoretically planar, a fine growth pattern or a cabbage pattern is formed on the surface of the hard ceramic film 20 during deposition. It will have a feature of growth of flower or growth feature of cabbage. This pattern is also regarded as a defect on the surface of the coating, and efforts have been made to eliminate this phenomenon during the deposition process, such as the droplets and pinholes 52. In the present invention, the defect is used as an oil hole 50 to fill a solid lubricant to play a role of maintaining the solid lubricant for a long time while the wear occurs.

또, 경질세라믹피막(20)을 형성하는 공정(S104)에서 물리적증착법을 이용할 경우, 경질세라믹피막(20)이 증착되는 전 단계인 이온충격 단계에서 이온충격의 조건에 따라서 표면의 상태를 제어할 수 있는데 조건에 따라서 미세한 피트(Pit), 요철, 골짜기 등을 생성시킬 수 있다. 상기 피트(Pit), 요철, 골짜기와 같은 결함를 형성한 후에 경질세라믹피막을 증착하면 표면에 형성된 결함을 따라 경질세라믹피막(20)이 증착된다. 이러한 경질세라믹피막(20) 표면의 결함도 역시 고체윤활제를 오랫동안 머물게 하는 역할을 담당하게 된다. In addition, when the physical vapor deposition method is used in the step (S104) of forming the hard ceramic film 20, the state of the surface can be controlled according to the conditions of the ion impact in the ion shock step, which is the previous step in which the hard ceramic film 20 is deposited. Depending on the conditions, fine pits, irregularities, and valleys may be generated. When the hard ceramic film is deposited after forming defects such as pits, unevenness and valleys, the hard ceramic film 20 is deposited along the defects formed on the surface. Defects on the surface of the hard ceramic film 20 also play a role of keeping the solid lubricant for a long time.

상기의 방법은 경질세라믹피막(20)을 형성하는 동안 결함을 인위적으로 만들어 주는 방법을 제시한 것이며, 하기 여러 가지 방법은 경질세라믹 피막(20)이 형성된 후에 경질세라믹 피막(20)의 표면 상태를 조절하는 방법을 제시하고 있다. 일반적으로 아크 이온플레이팅에 의해 증착된 표면에는 튀어나온 형상인 양각 모양의 드롭렛이 다수 존재하므로 상기 드롭렛이 탈리되도록 하여 오일홀로 활용할 수 있는 움푹한 음각이 생성되도록 하는 공정을 거쳐야 한다. 즉, 경질세라믹피막면 경면·표면제어처리단계(S105)는 피막 내에 부착된 드롭렛(Droplet)을 제거하여 다수의 드롭렛 홀(51)(Droplet hole)이 노출되도록 하는 단계이다. 만약 드롭렛(Droplet)입자가 제거되지 않은 경질세라믹피막(20)이 다른 면과 접촉하는 경우에 두 면의 접촉운동 중에 상기 드롭렛입자가 이탈되어 새로운 마모 요인으로 작용하게 되므로 제품의 성능에 악영향을 미치게 된다. 경질세라믹피막면 경면·표면제어처리단계(S105)는 건식과 습식의 블라스팅(Blasting), 연마제를 사용한 버핑(Buffing), 폴리싱(Polishing), 그라인딩(Grainding) 등의 여러 가지 방법이 있다. The above method suggests a method of artificially creating a defect during the formation of the hard ceramic film 20, and the following various methods are used to determine the surface state of the hard ceramic film 20 after the hard ceramic film 20 is formed. It shows how to adjust. In general, a large number of embossed droplets protruding on the surface deposited by arc ion plating have to be subjected to a process of allowing the droplets to be detached to generate a recessed indentation that can be utilized as an oil hole. That is, the hard ceramic film surface mirror surface and surface control processing step (S105) is a step of exposing a plurality of droplet holes 51 (Droplet holes) by removing the droplet (Droplet) attached to the film. If the hard ceramic film 20 in which the droplet particles are not removed is in contact with the other surface, the droplet particles are released during the contact movement of the two surfaces and act as a new wear factor, thus adversely affecting the performance of the product. Get mad. Hard ceramic coating surface mirror surface and surface control processing step (S105) has a variety of methods such as dry and wet blasting (buffing), buffing (polishing), polishing (Grinding) using an abrasive.

증착방법 중 형성된 경질세라믹피막(20) 표면에 일반적으로 드롭렛이 적게 생성되는 스퍼터링이나 전자빔증착법과 핀홀(52)이 비교적 적게 생성되는 전자빔증착법에서는 인위적으로 표면에 물리적인 충돌을 가하여 경질세라믹피막(20) 표면에 결함을 형성할 수 있다. 글라인딩 툴을 이용하거나 알루미나와 실리카와 같이 경도가 높은 입자를 충돌시키는 습식과 건식의 블라스팅 공정을 이용하여 표면에 결함을 형성할 수 있다.In the hard ceramic film 20 formed during the deposition method, sputtering in which droplets are generally generated on the surface of the hard ceramic film 20, or electron beam deposition in which the pinholes 52 are relatively small, are artificially applied to the surface to artificially harden the hard ceramic film ( 20) Defects may form on the surface. Defects can be formed on the surface by using grinding tools or by wet and dry blasting processes that collide hard particles such as alumina and silica.

고체윤활피막 형성단계(S108)는 상기 경질세라믹피막(20)에 노출된 드롭렛홀 (51) 또는 핀홀(52)를 포함하는 결함을 메우도록 유기용제에 녹인 고체윤활제를 스프레이(Spray) 또는 디핑(Dipping)하여 고체윤활피막(30)을 형성하는 단계이다. 이때, 상기 고체 윤활피막(30)은 이 분야에서 사용되는 통상의 고체윤활제에서 선택되는 하나 또는 혼합물을 사용하는 것으로 특별한 제한은 없지만 MoS2, WS2, PTFE 등이 내구성 면에서 좋다. 상기 고체윤활 피막 형성단계(S108)는 수분과 이물질이 혼입되지 않도록 하고 경질세라믹피막(20)면에 고체윤활 피막(30)이 고르게 형성되도록 하여야 한다. 상기 고체윤활피막(30)을 형성하게 되면 경질세라믹피막(20)의 결함이 오일홀(50)로 작용하여 갈고리 효과(anchoring effect)에 의해 경질세라믹피막(20)과 고체윤활피막(30)의 밀착력을 높일 수 있다. 또한, 조건이 엄격한 증착법을 사용하지 않고 고체윤활피막(30)을 형성할 수 있어 제품의 내마모성과 품질을 개선할 수 있을 뿐만 아니라 생산단가를 줄일 수 있고 안정된 제품생산을 할 수 있게 된다. Solid lubricating film forming step (S108) is spray (spray) or dipping a solid lubricant dissolved in an organic solvent to fill the defects including the droplet hole 51 or pinhole 52 exposed to the hard ceramic film 20 ( Dipping) to form a solid lubricating film 30. At this time, the solid lubricating film 30 is not particularly limited to use one or a mixture selected from conventional solid lubricants used in this field, MoS 2 , WS 2 , PTFE and the like in terms of durability. In the solid lubrication film forming step (S108), moisture and foreign matter should not be mixed and the solid lubrication film 30 should be evenly formed on the surface of the hard ceramic film 20. When the solid lubricating film 30 is formed, defects of the hard ceramic film 20 act as oil holes 50, and the hard ceramic film 20 and the solid lubricating film 30 are formed by an anchoring effect. Adhesion can be improved. In addition, it is possible to form a solid lubricating film 30 without using a strict deposition method, it is possible not only to improve the wear resistance and quality of the product, but also to reduce the production cost and to enable stable product production.

상기 고체윤활피막(30)이 형성된 모재(10)는 건조단계(S109) 및 고화단계(S110)를 거쳐 윤활성과 내마모성이 우수한 고기능성 다층복합피막(100)이 제조되게 된다. The base material 10 on which the solid lubrication film 30 is formed is manufactured through a drying step (S109) and a solidification step (S110) of a highly functional multilayer composite film 100 having excellent lubricity and wear resistance.

이때 상기 건조단계(S109)는 도포된 고체윤활피막(30)을 자연 건조하는 단계이고 상기 고화단계((S110)는 100~450℃에서 필요에 따라 수십분~수시간 처리된다.At this time, the drying step (S109) is a step of naturally drying the applied solid lubricating film 30 and the solidification step (S110) is processed from several minutes to several hours as necessary at 100 ~ 450 ℃.

또 본 발명은 필요에 의해서 연마 및 폴리싱 단계(S101)와 경질세라믹피막형성단계(S104) 사이 그리고 경면처리단계(S105)와 고체윤활피막 형성단계(S108) 사 이에 표면을 세정하기 위한 탈지단계와 건조단계가 더 포함될 수도 있다.In addition, the present invention provides a degreasing step for cleaning the surface between the polishing and polishing step (S101) and the hard ceramic film forming step (S104) and between the mirror surface treatment step (S105) and the solid lubricating film forming step (S108) as necessary. A drying step may be further included.

연마 및 폴리싱단계(S101) 다음에 포함되는 상기 탈지단계(S102)는 모재(10)의 표면에 존재하는 이물질(기름이나 녹 등)을 유기용매 또는 알칼리를 이용하여 제거하는 단계로 모재(10)에 잔존하는 이물질은 최종제품의 밀착성 및 성능에 영향을 끼칠 수 있으므로 탈지단계(S102)에서 제거되는 것이 바람직하다. 상기 건조단계(S103)는 60℃ 이하의 열풍 또는 자연 건조하는 단계이다.The degreasing step (S102) included after the polishing and polishing step (S101) is a step of removing foreign substances (such as oil or rust) present on the surface of the base material 10 by using an organic solvent or an alkali. Foreign matter remaining in the may be affected in the adhesion and performance of the final product is preferably removed in the degreasing step (S102). The drying step (S103) is a step of hot air or natural drying below 60 ℃.

경면처리단계(S105)단계 다음에 포함되는 상기 탈지단계(S106)는 연마 및 폴리싱 단계(S101) 다음에 포함되는 상기 탈지단계(S102)와 같은 방법으로 수행되며, 건조단계(S107)는 60℃ 이하의 열풍 또는 자연 건조하는 단계이다.The degreasing step (S106) included after the mirror surface treatment step (S105) is performed by the same method as the degreasing step (S102) included after the polishing and polishing step (S101), and the drying step (S107) is 60 ° C. The following is a step of hot air or natural drying.

도 3은 본 발명에 의해 제조된 다층복합피막(100)의 마찰, 마모 시험 결과 그래프이다. 이때 실험조건은 하중 950g, 속도 100rpm이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 의하여 제조된 경질세라믹피막인 CrN과 윤활 피막인 MoS2 형성된 다층복합피막(100)이 형성된 모재는 경질세라믹피막인 CrN이 단독으로 형성된 모재에 비해 마찰계수가 현저히 낮음을 알 수 있다. 또한 본 발명에 의하여 제조된 CrN+MoS2 다층복합피막(100)은 고하중의 조건에서도 장시간 동안 우수한 윤활성을 보임을 알 수 있다.Figure 3 is a graph of the friction, wear test results of the multilayered composite film 100 prepared by the present invention. At this time, the test condition is 950g load and 100rpm speed. As shown, the hard ceramic film CrN produced by the present invention and the lubricating film MoS 2 is It can be seen that the base material on which the formed multilayer composite film 100 is formed has a significantly lower coefficient of friction than the base material on which the hard ceramic film CrN is formed alone. In addition, it can be seen that the CrN + MoS 2 multilayer composite film 100 prepared according to the present invention shows excellent lubricity for a long time even under high load conditions.

[실시예 1]Example 1

HRC58의 경도를 갖는 냉간금형강(SKD11)으로 된 버링 펀치(Burring Punch)를 공압식 연마툴을 이용하여 120번, 220번, 320번, 400번, 600번 휠페이퍼로 순차적으로 연마한 후 올리브유에 1~4μm의 입경을 가진 인조 다이아몬드를 소량 함유하는 연마제를 사용하여 양모휠로 폴리싱 하였다. 그 다음 상기 버링 펀치(Burring Punch)를 MC(메틸렌클로라이드)용매에 침지하여 초음파 세정하고, 111-TCE(트리클로로에탄) 용매에 침지하여 다시 초음파 세정하며, 린스과정을 거치고, 상기 트리클로로에탄 용매 상에 상기 버링 펀치의 표면을 인접하게 위치시키며 트리클로로에탄 용매를 증발시켜 증발된 트리클로로에탄 용매가 버링펀치 표면에 응축되어 세정되도록 한 후, 자연 건조하였다.Burring punches made of cold die steel (SKD11) with hardness of HRC58 were polished sequentially using 120, 220, 320, 400, and 600 wheel paper using pneumatic polishing tools, and then in olive oil. Polishing with a wool wheel was carried out using an abrasive containing a small amount of artificial diamond having a particle size of 1 ~ 4μm. Then, the Burring Punch was ultrasonically immersed in MC (methylene chloride) solvent, ultrasonically immersed in 111-TCE (trichloroethane) solvent, and rinsed again, followed by the rinsing process, and the trichloroethane solvent. The surface of the burring punch was placed adjacent to and the trichloroethane solvent was evaporated to allow the evaporated trichloroethane solvent to condense and wash on the burring punch surface, followed by natural drying.

고순도 Cr타겟이 표면 내부에 구비된 아크 이온플레이팅 챔버에서 아크 이온플레이팅 방법으로 CrN 경질세라믹피막을 형성하였다. 상기 아크 이온플레이팅 방법은 450℃로 3시간 예열한 후, 전압 -500V → -800V, 진공도 2.5×10-2 Torr, 450℃ 온도에서 Ar으로 1차 플라즈마 세정하고, 전압 -450V → 650V, 타겟아크 전류 65A, 진공도 8×10-4 Torr, 450℃의 온도에서 Ar으로 플라즈마 2차 세정하고, 전압 -600V → 700V, 타겟 아크전류 85A, 진공도 8×10-4 → 1×10-3 Torr, 450℃의 온도에서 N2를 주입하고, 타겟에서 발생된 Cr 이온을 제품표면에 충돌하여 활성화 시킨 후, 전압 -105V, 타겟 아크전류 95A, 진공도 9×10-3 Torr, 450℃의 온도로 N2 가스를 이용하여 코팅하고 150℃에서 N2 가스를 사용하여 냉각하였다.A CrN hard ceramic film was formed by an arc ion plating method in an arc ion plating chamber having a high purity Cr target inside the surface. The arc ion plating method is preheated to 450 ℃ for 3 hours, voltage -500V → -800V, vacuum degree 2.5 × 10 -2 Torr, primary plasma cleaning with Ar at 450 ℃ temperature, voltage -450V → 650V, target Plasma secondary cleaning with Ar at an arc current of 65 A, vacuum degree of 8 × 10 -4 Torr, and 450 ° C., voltage -600V → 700V, target arc current of 85A, vacuum degree of 8 × 10 -4 → 1 × 10 -3 Torr, After injecting N 2 at the temperature of 450 ℃ and activating Cr ions generated at the target by impacting the surface of the product, the voltage is -105V, target arc current 95A, vacuum degree 9 × 10 -3 Torr, and the temperature is 450 ℃ 2 Coating with gas and N 2 at 150 Cool with gas.

상기 CrN으로 코팅된 경질 피막면을 양모휠을 사용하여 연마하였으며 연마효율을 높이기 위해 올리브유에 1~4μm의 입경을 가진 인조 다이아몬드를 소량 함유하는 연마제를 사용하였다. 그 다음 상기 버링 펀치를 메틸렌클로라이드 용매에 침지하여 초음파 세정하고, 트리클로로에탄 용매에 침지하여 초음파 탈지하였으며, 린스 과정을 거쳐, 증기를 이용하여 표면을 탈지 한 후 자연 건조하였다.The hard coating surface coated with CrN was polished using a wool wheel, and an abrasive containing a small amount of artificial diamond having a particle size of 1 to 4 μm in olive oil was used to increase polishing efficiency. Then, the burring punch was ultrasonically immersed in a methylene chloride solvent, ultrasonically degreased by immersing in a trichloroethane solvent, rinsed, degreased the surface using steam, and then naturally dried.

공압식 스프레이건을 사용하여 MoS2(SANDSTROM社 제품, #103) 분사하여 자연건조하고 BATCH식 건조로에서 180℃로 30분간 고화하여 약 15μm의 MoS2 피막을 갖는 버링 펀치를 제조하였다.Using a pneumatic spray gun MoS 2 (SANDSTROM社product, # 103) is sprayed to dry and solidify for 30 minutes at 180 ℃ in BATCH expression oven of about 15μm MoS 2 A burring punch having a coating was produced.

상기 버링 펀치의 작업성능을 평가하기 위하여 피성형재로 3.2t 스테인레스 판재를 이용하여 버링(Burring)가공을 실시하였으며 비교평가하기 위해 기존 CrN 단일피막을 가지는 버링펀치를 동시에 작업하였다. 버링펀치의 작업횟수를 비교하여 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다.In order to evaluate the work performance of the burring punch, a burring process was performed using a 3.2t stainless plate as a molding material, and a burring punch having a single CrN film was simultaneously worked for comparative evaluation. The results are shown in Table 1 below by comparing the number of times of burring punches.

[실시예 2]Example 2

버링 펀치(Burring Punch)를 사용하는 대신 드로잉(Drawing)가공에 이용되며 HRC 10이하의 경도를 갖는 비열처리강(S45C)으로 된 성형다이를 사용하는 것을 제외하고는 실시예 1의 방법과 동일하게 다층복합피막을 형성하였다. 또한 상기 성형다이의 작업성능을 평가하기 위하여 피성형재로 0.8t 엠보싱 알루미늄 판재를 이용하여 드로잉가공을 실시하였으며 비교평가하기 위해 0.8t 엠보싱 알루미늄 판재를 피성형재로 이용하여 기존 CrN 단일피막을 가지는 성형다이도 동시에 작업하였다. 성형다이의 작업횟수를 비교하여 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다. In the same manner as in Example 1, except that a forming die of non-heat treated steel (S45C), which is used for drawing processing and has a hardness of HRC 10 or less, is used instead of a burring punch. A multilayer composite film was formed. In addition, in order to evaluate the work performance of the molding die, drawing processing was performed using a 0.8t embossed aluminum sheet as a to-be-molded material. The molding die was also worked at the same time. The number of operations of the molding die is compared and the results are shown in Table 1 below.

표 1은 실시예 1 및 실시예 2의 작업효율을 비교하여 나타내었다.Table 1 compares the working efficiency of Example 1 and Example 2.

[표 1]TABLE 1

작업 횟수Operation count 기존의 CrN 단층피막Conventional CrN Monolayer CrN+MoS2 다층복합피막CrN + MoS 2 Multilayer Composite Film 실시예 1Example 1 1,250개 1,250 40,000개 40,000 실시예 2Example 2 찢김 현상으로 작업 불가No work due to tearing 25,000개25,000

상기 표 1에 나타난 바와 같이 피성형재로 3.2t 스테인레스 판재를 이용하여 버링가공을 실시한 결과, 기존의 CrN 단층피막을 갖는 버링 펀치는 1,250개의 작업을 수행한 후 심한 소착 및 스크레치의 발생으로 더 이상 작업이 불가했으며 본 발명에 의한 CrN+MoS2 다층복합피막은 40,000개 작업후에도 상태가 양호함을 보였다. As shown in Table 1, as a result of the burring process using a 3.2t stainless plate as a to-be-molded material, the burring punch having a conventional CrN monolayer was performed after 1,250 operations and was no longer subjected to severe sintering and scratching. The operation was impossible and the CrN + MoS 2 multilayer composite film according to the present invention was in good condition even after 40,000 operations.

또한 피성형재로 0.8t 엠보싱 알루미늄 판재를 이용하여 드로잉가공을 실시한 결과, 기존의 CrN 단층피막을 갖는 성형 다이는 찢김 현상으로 작업 자체가 불가했으며 본 발명에 의한 CrN+MoS2 다층복합피막은 25,000개 작업 후에도 상태가 양호함을 보였다. In addition, as a result of drawing processing using 0.8t embossed aluminum sheet as a molding material, the existing die having a CrN single layer coating was not able to work due to tearing, and the CrN + MoS 2 multilayer composite film according to the present invention was 25,000. The condition was good even after the dog work.

상기에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의해 다층복합피막을 형성하면 성형금형, 단조금형의 내구성과 피성형재의 품질을 대폭 개선할 수 있다. 특히, 자동차를 비롯한 각종 내마모용 산업 부품, 점착성재료(알루미늄 합금, 동, 동합금, 스테인레스, 도금강판 등)와 후판의 성형 가공시에 더욱 현저한 효과를 기대할 수 있다.As described above, when the multilayered composite film is formed according to the present invention, the durability of the molding die and the forging mold and the quality of the molding material can be greatly improved. In particular, more remarkable effects can be expected in the molding processing of various wear-resistant industrial parts, such as automobiles, adhesive materials (aluminum alloys, copper, copper alloys, stainless steel, plated steel sheets, etc.) and thick plates.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application is not limited, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 의해 형성된 다층복합피막은 경질세라믹피막의 장점인 우수한 내마모성과 고체윤활 피막이 장점인 저마찰계수의 윤활특성을 갖으며, 경질세라믹피막 내에 형성된 결함이 오일홀로 작용하여 지속적인 윤활성분을 공급할 수 있어 고하중의 조건에서도 오랜 기간 동안 지속적으로 내마모성과 윤활성을 유지할 수 있다. 이를 통해, 제품의 수명을 획기적으로 연장할 수 있으며, 제품의 미끄럼성, 내마모성, 내소착성 및 이형성을 크게 개선할 수 있는 장점이 있다.As described above, the multilayered composite film formed by the present invention has a lubricating property of low friction coefficient, which is an advantage of an excellent wear resistance and a solid lubricating film, which is an advantage of the hard ceramic film, and a defect formed in the hard ceramic film acts as an oil hole to continuously lubricate The components can be supplied to maintain wear resistance and lubricity for a long time even under high load conditions. Through this, it is possible to significantly extend the life of the product, there is an advantage that can greatly improve the slip resistance, wear resistance, tack resistance and mold release properties of the product.

또한, 생산공정이 간단하고 생산비용을 절감할 수 있어 생산효율을 높일 수 있으며, 안정된 품질을 얻을 수 있는 장점이 있다. In addition, the production process is simple and can reduce the production cost can increase the production efficiency, there is an advantage to obtain a stable quality.

Claims (8)

a) 물리증착법(PVD) 또는 화학증착법(CVD)에서 아크 전류, 진공도, 바이어스 전압, 또는 전류를 조절하여 모재에 표면 및 내부에 결함이 형성된 경질세라믹피막을 형성하는 단계;a) controlling the arc current, the degree of vacuum, the bias voltage, or the current in physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD) to form a hard ceramic film having defects on the surface and in the substrate; b) 상기 경질세라믹피막 표면에 마이크로-블라스팅, 경면처리 또는 연마에 의해 드롭렛홀(droplet hole) 또는 핀홀(Pin hole)을 노출되게 하여 음각(오일홀)을 형성하기 위한 표면제어 단계; b) a surface control step of forming a negative hole (oil hole) by exposing a droplet hole or a pin hole by micro-blasting, mirroring or polishing the hard ceramic film surface; c) 상기 표면제어된 경질세라믹피막에 고체윤활제를 스프레이(Spray) 또는 디핑(Dipping)에 의해 고체윤활피막을 형성하여 다층복합피막을 형성하는 단계; 및c) forming a multi-layer composite film by forming a solid lubricating film by spraying or dipping a solid lubricant on the surface-controlled hard ceramic film; And d) 상기 다층복합 피막을 100-450℃로 고화시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법.d) solidifying the multilayer composite film to 100-450 ° C .; Method for producing a multilayer composite film excellent in lubricity and wear resistance comprising a. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, a) 단계에서 상기 경질세라믹피막은 CrN, Cr2N, TiN, AlTiN, TiAlN, CrTiN, TiSiN, AlCrN 등의 질화물과 TiC, CrC 등의 탄화물, 이들 질화물과 탄화물이 복합된 TiCN, TiAlCN, CrCN 등과 같은 탄질화물, 또는 Al2O3, SiO2, TiO2 등과 같은 산화 물에서 선택되는 하나 혹은 이들의 복합층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법.In step a), the hard ceramic film is formed of nitrides such as CrN, Cr 2 N, TiN, AlTiN, TiAlN, CrTiN, TiSiN, AlCrN, carbides such as TiC, CrC, TiCN, TiAlCN, CrCN, etc. A method for producing a multilayer composite film having excellent lubricity and abrasion resistance, characterized in that it is formed of one or a composite layer of the same carbonitride or an oxide such as Al 2 O 3 , SiO 2 , TiO 2, or the like. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, a) 단계에서 상기 물리적증착법(PVD)은 아크, 저항가열, 전자빔 등을 이용하는 이온플레이팅 방법, 스퍼터링 방법 등을 이용하고, 화학적 증착법(CVD)은 플라즈마나 열을 이용하는 화학적증착법을 이용하는 것을 특징으로 하는 제조방법.In step a), the physical vapor deposition method (PVD) uses an ion plating method, a sputtering method, etc. using an arc, resistance heating, an electron beam, etc., and the chemical vapor deposition method (CVD) uses a chemical vapor deposition method using plasma or heat. Manufacturing method. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고체윤활제는 MoS2, WS2, PTFE에서 선택되는 하나 또는 이들의 혼합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 윤활성과 내마모성이 우수한 다층복합피막의 제조방법.The solid lubricant is formed of one or a mixture thereof selected from MoS2, WS2, PTFE, the method of producing a multilayer composite film having excellent lubricity and wear resistance. 제 1 항 내지 제 3 항 또는 제 6 항에서 선택되는 어느 한 항의 제조방법에 의해서 제조되는 다층복합피막. A multilayer composite film produced by the method of any one of claims 1 to 3 or 6 . 제 7 항의 다층복합피막을 가지는 금형 또는 내마모 부품인 것을 특징으로 하는 금속부품.A metal part, which is a metal mold or a wear-resistant part having the multilayered composite film of claim 7.
KR1020060012354A 2006-02-09 2006-02-09 Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property KR100818165B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060012354A KR100818165B1 (en) 2006-02-09 2006-02-09 Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060012354A KR100818165B1 (en) 2006-02-09 2006-02-09 Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070080885A KR20070080885A (en) 2007-08-14
KR100818165B1 true KR100818165B1 (en) 2008-04-02

Family

ID=38601114

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060012354A KR100818165B1 (en) 2006-02-09 2006-02-09 Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100818165B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8746027B2 (en) 2012-08-07 2014-06-10 Hyundai Motor Company Multi-layer mold coating

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103476963B (en) * 2011-04-18 2016-08-17 日本高周波钢业株式会社 Pressure forming metal pattern and the manufacture method of pressure forming metal pattern protecting film
KR102175284B1 (en) * 2018-12-21 2020-11-06 한국야금 주식회사 A hard layer for cutting tools and manufacturing method for the same
KR102200647B1 (en) * 2018-12-26 2021-01-11 한국야금 주식회사 A hard layer for cutting tools and manufacturing method for the same
KR102168162B1 (en) * 2018-12-26 2020-10-20 한국야금 주식회사 A hard layer for cutting tools and manufacturing method for the same
KR102513140B1 (en) * 2019-11-11 2023-03-23 주식회사 아모그린텍 Sheet type heat pipe and manufacturing method thereof
CN114481024A (en) * 2021-12-29 2022-05-13 江苏佳搏实业发展集团有限公司 High-performance aluminum alloy die ceramic coating and preparation method thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000027398A (en) * 1998-10-28 2000-05-15 김영환 Method for forming perovskite nuclei of ferroelectric layer
KR20010028157A (en) * 1999-09-18 2001-04-06 김덕중 Plasma of use nitriding aluminum formative and apparatus
JP2002038255A (en) * 2000-07-27 2002-02-06 Toshiba Tungaloy Co Ltd Abrasion resistant lubricating-film and coated member

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000027398A (en) * 1998-10-28 2000-05-15 김영환 Method for forming perovskite nuclei of ferroelectric layer
KR20010028157A (en) * 1999-09-18 2001-04-06 김덕중 Plasma of use nitriding aluminum formative and apparatus
JP2002038255A (en) * 2000-07-27 2002-02-06 Toshiba Tungaloy Co Ltd Abrasion resistant lubricating-film and coated member

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8746027B2 (en) 2012-08-07 2014-06-10 Hyundai Motor Company Multi-layer mold coating

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070080885A (en) 2007-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100818165B1 (en) Method for Producing Multilayered-film having Lubricant and Anti-abrasive Property
US6599400B2 (en) Method for the manufacture of coatings and an article
US20140044944A1 (en) Coating material for aluminum die casting mold and method of manufacturing the coating material
US5252360A (en) Process for the protection of an engraved roll or plate by coating an engraved surface with an interlayer and thereafter applying a wear-resistant layer to the interlayer by PVD
US20100086397A1 (en) Surface Treatments for Turbine Components to Reduce Particle Accumulation During Use Thereof
CN101380659B (en) Mould for cold forging and manufacture method thereof
CN107761072A (en) A kind of matrix and preparation method of the enhancing of face coat bond strength
CN103826773A (en) Covering member with excellent sliding properties
Lackner Industrially-scaled large-area and high-rate tribological coating by pulsed laser deposition
CN105220120B (en) A kind of method of MULTILAYER COMPOSITE fullerene film industrialization in automobile engine
Bisht et al. Nitrides ceramic coatings for tribological applications: A journey from binary to high-entropy compositions
Erkens New approaches to plasma enhanced sputtering of advanced hard coatings
JP4827204B2 (en) Coated mold for plastic working and manufacturing method thereof
JP2009061464A (en) Die for warm and hot forging, and its manufacturing method
Vetter Surface treatments for automotive applications
EP4419726A1 (en) Method for forming hard and ultra-smooth a-c by sputtering
KR20050063463A (en) Manufacturing method and structure of hard coatings with lubrication properties
US6478933B1 (en) Method for creating surface oil reservoirs on coated iron
KR20190081103A (en) MANUFACTURING METHOD FOR HIGHLY CORROSION RESISTIVE CrAlSiN HARD COATINGS BY INSERTING CrAlSiON LAYER USING OXYGEN SUPPLY AND DIE CASTING MOLD THEREBY
KR20120129445A (en) The method of high wear and oxidation resistant multi-layer coating material process.
KR20050022764A (en) Multilayer Coating Process for High Speed Machining Tools
Goršćak et al. Comparison of mechanical properties of various PVD hard coatings for forming tools
JP3954739B2 (en) Method for producing nitrogen-containing Cr coating
CN111771011B (en) Coated member and method for producing same
JP2024514733A (en) AlTiN-CrN based coating for forming tools

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130319

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140128

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150204

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160126

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170117

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180109

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190115

Year of fee payment: 12