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KR100717325B1 - 평판 표시소자의 제조장치 - Google Patents

평판 표시소자의 제조장치 Download PDF

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KR100717325B1
KR100717325B1 KR1020050035737A KR20050035737A KR100717325B1 KR 100717325 B1 KR100717325 B1 KR 100717325B1 KR 1020050035737 A KR1020050035737 A KR 1020050035737A KR 20050035737 A KR20050035737 A KR 20050035737A KR 100717325 B1 KR100717325 B1 KR 100717325B1
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Abstract

본 발명은 수율을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자의 제조장치에 관한 것이다.
본 발명은 다수의 박막들이 형성된 기판과; 상기 기판과 상기 다수의 박막들을 보호하기 위한 캡의 합착시에 상기 기판 상에 자외선을 조사하는 자외선 조사부와; 상기 기판과 상기 자외선 조사부 사이에 위치하며 상기 다수의 박막들이 형성된 영역과 대응되는 영역에 형성되어 상기 다수의 박막들에 상기 자외선이 조사되는 것을 방지하는 쉴드 및 상기 조사되는 자외선에 의해 온도가 상승되는 것을 방지하기 위해 그 내부에 등간격의 스트라이프(Stripe) 형태로 배치되는 냉각관이 형성된 마스크를 구비한다.

Description

평판 표시소자의 제조장치{FABRICATING APPARATUS FOR FLAT DISPLAY DIVICE}
도 1은 종래 유기 EL 표시소자를 개략적으로 나타내는 도면.
도 2는 종래 유기 EL 어레이가 형성된 기판과 캡과의 합착을 나타내는 도면.
도 3은 인캡슐레이션 공정 후에 휘어진 유기 EL 표시소자의 기판을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치를 나타내는 단면도.
도 5는 큐어링 마스크로부터 기판에 전달되는 열을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 도 4에 도시된 큐어링 마스크를 나타내는 평면도.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 도 4에 도시된 큐어링 마스크를 나타내는 평면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 >
1, 51 : 기판 2 : 애노드전극
3 : 절연막 4 : 정공관련층
5 : 발광층 6 : 전자관련층
7 : 캐소드전극 8 : 게터
9, 59 : 캡 10, 60 : 실런트
11, 61 : 반투성막 15, 65 : 유기 EL 어레이
18, 68 : 캡트레이 19, 69 : 푸싱장치
20 : 스크라이빙 테이블 22, 72 : 쉴드
24, 74 : 큐어링 마스크 26, 76 : 마스크 홀더
78 : 냉각관
본 발명은 평판 표시소자에 관한 것으로 특히, 수율을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자의 제조장치에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 유기 전계발광(Electro-luminescence:이하 "EL "이라 함) 표시소자 등이 있 다.
이들 중 PDP는 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박 단소하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 적용된 액티브 매트릭스 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있고, 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 특성이 있다.
이에 비하여, EL 표시소자는 발광층의 재료에 따라 무기 EL 표시소자와 유기 EL 표시소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R(Red), G(Green), B(Blue)의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기 EL 표시소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다.
도 1은 종래 유기 EL 표시소자를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래 유기 EL 표시소자는 기판(1) 상에 형성된 애노드전극(2), 애노드전극(2)이 형성된 기판(1) 상에 형성된 절연막(3), 정공관련층(4), 발광층(Emitting Layer : EMI, 5), 전자관련층(6)이 적층된다. 전자관련층(6) 상에는 금속전극으로 캐소드전극(7)이 형성된다.
애노드전극(2) 및 절연막(3)은 기판(1) 상에 투명전극물질 및 절연물질을 도포한 후 사진식각법(Photolithgraphy) 등에 의해 차례로 형성된다. 정공관련층(4)에는 애노드전극(2) 상에 정공주입층(Hole Injection Layer : HIL), 정공수송층(Hole Transport Layer : HTL)이 순차적으로 형성된다.
발광층(5)은 주로 빛을 내는 기능을 하지만 전자 혹은 정공을 운반하는 기능도 함께 하는 것이 대부분이다.
전자관련층(6)에는 전자수송층(Electron Transport Layer : ETL), 전자주입층(Electron Injection Layer : EIL)이 발광층(5) 상에 순차적으로 적층된다. 정공관련층(4), 발광층(5) 및 전자관련층(6)은 저분자 화합물인 경우에는 진공증착에 의해 형성되며, 고분자 화합물의 경우에는 스핀 코팅(Spin Coating) 또는 잉크젯 프린팅 방식 등에 의해 형성된다.
전자관련층(6) 상에 캐소드전극(7)이 형성된다. 캐소드전극(7)은 반사율이 높은 Al, Ag 등이 쓰일 수 있으나 많은 경우 알루미늄(Al)과 같은 금속이 이용된다.
이러한 유기 EL 표시소자는 애노드전극(2) 및 캐소드전극(7)에 구동전압 및 전류가 인가되면 정공주입층 내의 정공과 전자주입층 내의 전자는 각각 발광층(5) 쪽으로 진행하여 발광층(5) 내의 형광물질을 여기시키게 된다. 이렇게 발광층(5)으로부터 발생되는 가시광은 투명한 애노드전극(2)을 통해 밖으로 빠져 나오는 원리로 화상 또는 영상을 표시하게 된다.
한편, 유기 EL 어레이(15)는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 봉지공정 또는 인캡슐레이션(Encapsulation)공정이 실시됨으로써 애노드전극(2) 등의 유기 EL 어레이(15)가 형성된 기판(1)과 캡(9)이 에폭시 수지와 같은 실런트(10)를 통해 합착된다. 캡(9)에는 그 배면 중앙부에 수분 및 산소를 흡수하기 위한 게터(Getter : 8)가 충진되어 있고, 게터(8)를 고정시킴과 아울러 수분 및 산소 등이 드나들도록 반투성막(11)이 부착된다.
도 2는 종래의 유기 EL 어레이가 형성된 기판과 캡과의 합착을 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 다수의 유기 EL 어레이(15)가 형성된 기판(1) 하부에는 기판(1)과의 합착영역에 실런트(10)가 도포된 캡(9)이 안착되어 있는 캡트레이(18)가 위치하게 되고, 캡트레이(18) 하부에는 캡(9)이 기판(1)과 밀착될 수 있도록 캡(9)을 밀어주는 푸싱장치(20)가 위치하게 된다.
기판(1)의 상부에는 기판(1) 상에 형성된 유기 EL 어레이(15)와 대응되도록 형성된 쉴드(Shield : 22)를 가지는 큐어링(Curing) 마스크(24)가 마스크 홀더(26)에 의해 고정되어 위치하게 된다. 마스크(24)의 쉴드(22)는 기판(1)과 캡(9)의 합착시 기판(1)에 조사되는 자외선(UV)에 유기 EL 어레이(15)가 노출되지 않게 함으로써 유기 EL 어레이(15)의 유기물질 등의 손상을 방지하는 역할을 한다.
이렇게 마스크(24) 및 캡트레이(18)가 기판(1)의 상하에 위치한 후 마스크(24)와 기판(1)을 얼라인 함과 아울러 밀착시키고 푸싱장치(20)로 캡(9)을 가압함으로써 캡(9)이 실런트(10)를 통해 기판(1)과 합착된다. 이 때, 마스크(24)의 소 정영역을 투과한 자외선(UV)에 의해 실런트(10)가 경화됨으로써 캡(9)과 기판(1)은 합착되게 된다.
이 후, 스크라이빙 공정을 통하여 캡(9)과 합착된 기판(1) 상에 형성된 다수의 유기 EL 어레이(15)들을 스크라이빙함으로써 유기 EL 표시소자는 완성된다.
그러나, 인캡슐레이션 공정이 수행되는 동안 기판(1)에는 실런트(10)의 경화를 위해 조사되는 자외선(UV)으로부터의 열에 의해 도 3에 도시된 바와 같이 그 외곽부가 휘어지는 현상이 나타나게 된다.
이로 인하여 다수의 유기 EL 표시소자가 형성된 기판(1)은 그 외곽부가 휘어진 상태로 스크라이빙 테이블(20)에 안착됨에 의하여 스크라이빙 테이블(20)에 바르게 안착되지 못하며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 스크라이빙은 기판(2)의 외곽부가 정확하게 얼라인 되지 않은 체 수행되게 된다.
외곽부가 정확하게 얼라인 되지 않은 기판(2)에 스크라이빙을 실시하게 되면 기판(2)의 외곽부에 형성된 유기 EL 표시소자는 정확한 스크라이빙이 이루어지지 않게 되며 따라서, 부정확한 스크라이빙에 의하여 유기 EL 표시소자는 불량으로 판별된다.
이와 같이, 부정확한 스크라이빙에 의하여 유기 EL 표시소자가 불량으로 판별될 경우 유기 EL 표시소자의 제조는 수율이 떨어지게 되는 문제를 가진다.
따라서, 본 발명의 목적은 정확한 스크라이빙을 통하여 수율을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자의 제조장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시소자의 제조장치는 다수의 박막들이 형성된 기판과; 상기 기판과 상기 다수의 박막들을 보호하기 위한 캡의 합착시에 상기 기판 상에 자외선을 조사하는 자외선 조사부와; 상기 기판과 상기 자외선 조사부 사이에 위치하며 상기 다수의 박막들이 형성된 영역과 대응되는 영역에 형성되어 상기 다수의 박막들에 상기 자외선이 조사되는 것을 방지하는 쉴드 및 상기 조사되는 자외선에 의해 온도가 상승되는 것을 방지하기 위해 그 내부에 등간격의 스트라이프(Stripe) 형태로 배치되는 냉각관이 형성된 마스크를 구비한다.
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상기 스트라이프 형태의 냉각관은, 상기 쉴드가 형성된 영역과 대응되는 영역에서는 그 폭이 넓게 형성된다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
삭제
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치는 다수의 유기 EL 어레이(65)가 형성된 기판(51)과, 기판(51) 하부에 기판(51)과 합착될 캡(59)과, 캡(59)이 안착되는 캡트레이(68)와, 캡트레이(18) 하부에서 캡(9)이 기판(51)과 합착될 수 있도록 캡(59)을 밀어주는 푸싱장치(69)를 구비한다.
또한, 기판(51) 상부에 기판(51) 상에 형성된 유기 EL 어레이(65)와 대응되도록 형성된 쉴드(Shield : 72) 및 기판(51)과 캡(59)을 합착하기 위하여 조사되는 자외선(UV)에 의해 큐어링(Curing) 마스크(74)의 온도가 상승하는 것을 방지하기 위한 냉각관(78)을 가지는 큐어링 마스크(74)와, 큐어링 마스크(74)를 고정하는 마스크 홀더(76)를 구비한다.
큐어링 마스크(74)의 쉴드(72)는 기판(51)과 캡(59)의 합착시 기판(51)에 조사되는 자외선(UV)에 유기 EL 어레이(65)가 노출되지 않게 함으로써 유기 EL 어레이(65)의 유기물질 등의 손상을 방지하는 역할을 한다.
냉각관(78)은 그 내부에 기판(51)과 캡(59)의 합착시 조사되는 자외선(UV)에 의하여 큐어링 마스크(74)의 온도가 상승하는 것을 방지하기 위하여 큐어링 마스크(74)의 온도를 하강시키도록 외부로부터 큐어링 마스크(74) 내부로 온도가 매우 낮은 냉각매질이 반입되고 냉각관(78)을 거쳐 외부로 다시 반출될 수 있도록 큐어링 마스크(78)를 관통하는 형태로 형성된다.
이 때, 냉각매질은 온도가 매우 낮은 액체 혹은 온도가 매우 낮은 기체의 형태로 외부로부터 큐어링 마스크(74)의 냉각관(78)으로 반입되고 냉각관(78)을 거쳐 외부로 다시 반출된다. 이에 따라, 큐어링 마스크(74)는 조사되는 자외선(UV)에 의해 그 온도가 상승되지 않는다.
다시 말해, 냉각관(78)을 통하여 외부로부터 큐어링 마스크(74) 내부로 냉각매질이 반입되며 반입된 냉각매질이 자외선(UV)에 의해 상승된 큐어링 마스크(74)의 온도를 하강시킨 후 다시 외부로 반출됨에 따라 큐어링 마스크(74)는 일정온도를 유지할 수 있으며, 이에 따라, 종래 큐어링 마스크(74)로부터 도 5에 도시된 바와 같이 기판(51)으로 전달되던 높은 온도의 열의 생성을 방지할 수 있음으로 기판(51)이 온도가 상승됨에 따라 휘어지는 것을 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 도 4에 도시된 큐어링 마스크를 나타내는 평면도이며, 도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 도 4에 도시된 큐어링 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 큐어링 마스크(74)는 기판(51)과 캡(59)의 합착시 기판(51)에 조사되는 자외선(UV)에 의해 유기 EL 어레이(65)가 노출되지 않도록 하는 쉴드(72) 및 쉴드(72)가 형성된 영역과 대응되는 영역에 스트라이프(Strife) 형태로 배치되는 냉각관(78)을 구비한다.
냉각관(78)은 외부로부터 큐어링 마스크(74) 내부로 온도가 매우 낮은 냉각매질이 반입되고 냉각관(78)을 거쳐 외부로 다시 반출될 수 있도록 큐어링 마스크(78)를 관통하는 형태로 형성된다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 큐어링 마스크(74)는 도 6에 도시된 본 발명의 제1 실시 예의 큐어링 마스크와 비교하여 냉각관(78)이 다른 형태로 형성된다.
제2 실시 예에 따른 큐어링 마스크(74)의 냉각관(78)은 외부로부터 큐어링 마스크(74) 내부로 온도가 매우 낮은 냉각매질이 반입되고 냉각관(78)을 거쳐 외부로 다시 반출될 수 있도록 큐어링 마스크(78)를 관통하는 형태는 제1 실시 예의 경우와 동일하나, 냉각관(78)이 쉴드(72)가 형성된 영역과 대응하는 영역에서는 보다 넓은 폭을 가지도록 형성된다. 제2 실시 예에 따른 큐어린 마스크(74)는 이를 통하여 많은 양의 냉각매질을 반입 및 반출시킬 수 있으며, 이에 따라 큐어링 마스크(74)의 온도가 상승되는 것을 보다 효율적으로 방지할 수 있다.
이러한 구성을 통하여, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치는 인캡슐레이션 공정에서 온도가 상승되는 큐어링 마스크(74)의 내부에 냉각관(78)을 설치하여 큐어링 마스크(74)의 온도가 상승하는 것을 방지함으로써 큐어링 마스크(74)의 열에 의해 기판(51)이 휘어지는 문제를 방지할 수 있다. 따라서, 종래 외곽부가 휘어진 기판(51)을 그대로 스크라이빙함에 따라 정확한 얼라인이 이루어지지 않아 발생하던 불량을 줄일 수 있으며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 수율은 향상된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치는 인캡슐레이션 공정에서 온도가 상승되는 큐어링 마스크 내부에 냉각관을 설치하여 큐어링 마스크의 온도가 상승하는 것을 방지함으로써 큐어링 마스크의 열에 의해 기판이 휘어지는 문제를 방지할 수 있다. 따라서, 종래 외곽부가 휘어진 기판 을 그대로 스크라이빙함에 따라 정확한 얼라인이 이루어지지 않아 발생하던 불량을 줄일 수 있으며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 수율은 향상된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (6)

  1. 다수의 박막들이 형성된 기판과;
    상기 기판과 상기 다수의 박막들을 보호하기 위한 캡의 합착시에 상기 기판 상에 자외선을 조사하는 자외선 조사부와;
    상기 기판과 상기 자외선 조사부 사이에 위치하며 상기 다수의 박막들이 형성된 영역과 대응되는 영역에 형성되어 상기 다수의 박막들에 상기 자외선이 조사되는 것을 방지하는 쉴드 및 상기 조사되는 자외선에 의해 온도가 상승되는 것을 방지하기 위해 그 내부에 등간격의 스트라이프(Stripe) 형태로 배치되는 냉각관이 형성된 마스크를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 스트라이프 형태의 냉각관은,
    상기 쉴드가 형성된 영역과 대응되는 영역에서는 그 폭이 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조장치.
  6. 삭제
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102723115B1 (ko) * 2022-03-22 2024-10-29 주식회사 에스에프에이 광조사형 건조장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001319776A (ja) * 2000-05-12 2001-11-16 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Ｅｌパネルの作製方法
KR20020044891A (ko) * 2000-12-07 2002-06-19 박원석 이중 경화공정에 의한 유기 전계 발광 표시패널 및 그제조방법
KR20030026223A (ko) * 2001-09-25 2003-03-31 세이코 엡슨 가부시키가이샤 마스크 및 그 제조 방법, 일렉트로루미네선스 장치 및 그제조 방법, 및 전자 기기
JP2004185827A (ja) 2002-11-29 2004-07-02 Nippon Seiki Co Ltd 紫外線カットマスク及び封止装置
KR20060075463A (ko) * 2004-12-28 2006-07-04 엘지전자 주식회사 실란트 경화용 마스크

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001319776A (ja) * 2000-05-12 2001-11-16 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Ｅｌパネルの作製方法
KR20020044891A (ko) * 2000-12-07 2002-06-19 박원석 이중 경화공정에 의한 유기 전계 발광 표시패널 및 그제조방법
KR20030026223A (ko) * 2001-09-25 2003-03-31 세이코 엡슨 가부시키가이샤 마스크 및 그 제조 방법, 일렉트로루미네선스 장치 및 그제조 방법, 및 전자 기기
JP2004185827A (ja) 2002-11-29 2004-07-02 Nippon Seiki Co Ltd 紫外線カットマスク及び封止装置
KR20060075463A (ko) * 2004-12-28 2006-07-04 엘지전자 주식회사 실란트 경화용 마스크

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