KR100698054B1 - 액정표시소자의 합착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 진공 상태 혹은 대기압 상태를 선택적으로 이루면서 기판의 반입 또는 반출이 이루어지도록 유출구가 형성된 진공 챔버와;상기 진공 챔버 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되어 상기 진공 챔버 내부로 반입된 각 기판을 고정하여 합착시키는 상부 스테이지 및 하부 스테이지와;상기 상부 스테이지에 설치되어 합착된 기판을 상기 상부 스테이지로부터 분리시키는 분리 수단을 포함하며;상기 분리 수단은,상기 분리 수단을 승강하기 위해 상기 상부 스테이지에 고정되는 적어도 하나의 실린더와,상기 상부 스테이지에 평행하게 설치되고 상기 실린더의 실린더 축에 연결되는 동력전달부재와,상기 상부 스테이지를 관통하도록 형성된 복수개의 관통 홀과,상기 상부 스테이지 하부면에 바 모양으로 형성된 복수개의 요부와,상기 관통 홀을 통해 상하 운동을 할 수 있도록 상기 동력전달부재에 연결되고 상기 요부에 수용되는 복수개의 바를 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
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- 제 1 항에 있어서,상기 바는 일 방향으로 배열됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 바는 매트릭스 형태로 배열됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 바는 링 모양으로 배열됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 진공 상태 혹은 대기압 상태를 선택적으로 이루면서 기판의 반입 또는 반출이 이루어지도록 유출구가 형성된 진공 챔버와;상기 진공 챔버 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되어 상기 진공 챔버 내부로 반입된 각 기판을 고정하여 합착시키는 상부 스테이지 및 하부 스테이지와;상기 상부 스테이지에 설치되어 합착된 기판을 상기 상부 스테이지로부터 분리시키는 분리 수단을 포함하며;상기 분리 수단은,상기 분리 수단을 승강하기 위해 상기 상부 스테이지에 고정되는 적어도 하나의 실린더와,상기 상부 스테이지에 형성되는 관통 홀 및 작동 공간과,상기 상부 스테이지에 평행하게 설치되고 상기 실린더의 실린더 축에 연결되는 동력전달부재와,상기 동력전달부재에 연결되어 작동 공간에 설치되는 연결부재와,상기 관통 홀을 통해 상하 운동을 할 수 있도록 상기 연결부재에 연결된 복수개의 핀을 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 진공 상태 혹은 대기압 상태를 선택적으로 이루면서 기판의 반입 또는 반출이 이루어지도록 유출구가 형성된 진공 챔버와;상기 진공 챔버 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되어 상기 진공 챔버 내부로 반입된 각 기판을 고정하여 합착시키는 상부 스테이지 및 하부 스테이지와;상기 상부 스테이지에 설치되어 합착된 기판을 상기 상부 스테이지로부터 분리시키는 분리 수단을 포함하며;상기 분리 수단은,상기 분리 수단을 승강하기 위해 상기 상부 스테이지에 고정되는 적어도 하나의 실린더와,상기 상부 스테이지에 형성되는 관통 홀 및 작동 공간과,상기 상부 스테이지에 평행하게 설치되고 상기 실린더의 실린더 축에 연결되는 동력전달부재와,상기 동력전달부재에 연결되어 작동 공간에 설치되는 연결부재와,상기 상부 스테이지 하부면에 바 모양으로 형성된 복수개의 요부와,상기 관통 홀을 통해 상하 운동을 할 수 있도록 상기 연결부재에 연결되고 상기 요부에 수용되는 복수개의 바를 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 바는 일 방향으로 배열됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 바는 매트릭스 형태로 배열됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 바는 링 모양으로 배열됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
- 외관을 이루는 베이스 프레임;상기 베이스 프레임에 장착되는 하부 챔버 유닛 및 상기 베이스 프레임으로부터 자유로운 상태로 상기 하부 챔버 유닛의 상측에 위치되는 상부 챔버 유닛;상기 베이스 프레임에 구비되어 상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시키는 챔버 이동 수단;상기 각 챔버 유닛의 내측 공간에 각각 구비되어 한 쌍의 기판을 고정하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지;적어도 어느 한 챔버 유닛의 면상에 구비되어 각 챔버 유닛간 결합이 이루어질 경우 각 스테이지가 장착되는 공간과 그 외측 공간을 상호 밀폐하는 밀봉수단; 그리고상기 상부 스테이지에 설치되어 합착된 기판을 상기 상부 스테이지로부터 분리시키는 분리 수단을 구비하며;상기 분리 수단은,상기 분리 수단을 승강하기 위해 상기 상부 스테이지에 고정되는 실린더와,상기 상부 스테이지에 평행하게 설치되고 상기 실린더의 실린더 축에 연결되는 동력전달부재와,상기 상부 스테이지를 관통하도록 형성된 복수개의 관통 홀과,상기 관통 홀을 통해 상하 운동을 할 수 있도록 상기 동력전달부재에 연결된 복수개의 핀과,상기 관통 홀과 상기 핀 사이에 설치되는 오링을 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
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- 외관을 이루는 베이스 프레임;상기 베이스 프레임에 장착되는 하부 챔버 유닛 및 상기 베이스 프레임으로부터 자유로운 상태로 상기 하부 챔버 유닛의 상측에 위치되는 상부 챔버 유닛;상기 베이스 프레임에 구비되어 상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시키는 챔버 이동 수단;상기 각 챔버 유닛의 내측 공간에 각각 구비되어 한 쌍의 기판을 고정하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지;적어도 어느 한 챔버 유닛의 면상에 구비되어 각 챔버 유닛간 결합이 이루어질 경우 각 스테이지가 장착되는 공간과 그 외측 공간을 상호 밀폐하는 밀봉수단; 그리고상기 상부 스테이지에 설치되어 합착된 기판을 상기 상부 스테이지로부터 분리시키는 분리 수단을 구비하며;상기 분리 수단은,상기 분리 수단을 승강하기 위해 상기 상부 스테이지에 고정되는 실린더와,상기 상부 스테이지에 평행하게 설치되고 상기 실린더의 실린더 축에 연결되는 동력전달부재와,상기 상부 스테이지를 관통하도록 형성된 복수개의 관통 홀과,상기 상부 스테이지 하부면에 바 모양으로 형성된 복수개의 요부와,상기 관통 홀을 통해 상하 운동을 할 수 있도록 상기 동력전달부재에 연결되고 상기 요부에 수용되는 복수개의 바와,상기 관통 홀과 상기 동력전달부재 사이에 설치되는 오링을 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
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