KR100680954B1 - Stacked chip package - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스택 칩 패키지를 개시하며, 개시된 본 발명의 스택 칩 패키지는, 다수개의 접합패드가 구비된 기판과, 상기 기판 상에 부착되며 다수개의 제 1본딩패드가 구비된 제 1반도체 칩과, 상기 제 1반도체 칩의 제 1본딩패드 면 위에 스택되고 상기 제 1반도체 칩과 동일 크기를 가지고 있으며 다수개의 제 2본딩패드가 구비된 제 2반도체 칩과, 상기 제 1반도체 칩과 상기 제 2반도체 칩 사이에 개재되며 상기 제 1 및 제 2반도체 칩들 보다 작은 크기를 가진 스페이서와, 상기 제 1반도체 칩 상의 상기 제 1본딩패드들 사이의 공간에 형성되며 전기적인 연결을 이룸이 없이 상기 제 1반도체 칩과 상기 제 2반도체 칩 사이를 지지해주는 비전도성 테이프로 이루어진 더미패드와, 상기 기판의 접합패드와 상기 제 1반도체 칩의 제 1본딩패드를 전기적으로 연결시키는 제 1본딩와이어와, 상기 기판의 접합패드와 상기 제 2반도체 칩의 제 2본딩패드를 전기적으로 연결시키는 제 2본딩와이어와, 상기 기판 상부의 제 1 및 제 2반도체 칩, 제 1 및 제 2본딩와이어를 덮는 몰딩체를 포함한다. The present invention discloses a stack chip package, and the disclosed stack chip package includes a substrate having a plurality of bonding pads, a first semiconductor chip attached to the substrate and having a plurality of first bonding pads; A second semiconductor chip stacked on the first bonding pad surface of the first semiconductor chip and having the same size as the first semiconductor chip and having a plurality of second bonding pads, the first semiconductor chip and the second semiconductor chip; A first semiconductor interposed between the chips and formed in a space between the spacer having a smaller size than the first and second semiconductor chips and the first bonding pads on the first semiconductor chip, without forming an electrical connection. When the dummy pad made of a non-conductive tape supporting the chip and the second semiconductor chip, the bonding pad of the substrate and the first bonding pad of the first semiconductor chip are electrically connected. The key includes a first bonding wire, a second bonding wire electrically connecting a bonding pad of the substrate and a second bonding pad of the second semiconductor chip, first and second semiconductor chips on the substrate, first and And a molding covering the second bonding wire.
Description
도 1은 종래기술에 따른 문제점을 설명하기 위한 도면.1 is a view for explaining a problem according to the prior art.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스택 칩 패키지를 설명하기 위한 평면도 및 일부 단면도.2 and 3 are plan and partial cross-sectional views illustrating a stack chip package according to an embodiment of the present invention.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스택 칩 패키지를 설명하기 위한 평면도 및 일부 단면도. 4 and 5 are a plan view and a partial cross-sectional view for explaining a stack chip package according to another embodiment of the present invention.
본 발명은 반도체 패키지에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 오버행 다이(overhang die) 구조를 갖는 스택 칩 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package, and more particularly, to a stack chip package having an overhang die structure.
최근 반도체 산업의 발전과 사용자의 요구에 따라 전자기기는 더욱 더 소형 화 및 경량화 되고 있으며 전자기기의 핵심 부품인 패키지 또한 소형화 및 경량화되고 있다. 이와 같은 추세에 따라 개발된 형태의 패키지 형태로서 복수의 반도체 칩을 수직으로 적층하여 하나의 단위 반도체 칩 패키지로 구현된 스택 칩 패키지가 알려져 있다. 이와 같은 스택 칩 패키지는 하나의 반도체 칩을 내재하는 단위 반도체 칩 패키지 복수 개를 이용하는 것보다 크기나 무게 및 실장면적에서 소형화와 경량화에 유리하다. Recently, according to the development of the semiconductor industry and the needs of users, electronic devices are becoming smaller and lighter, and packages, which are core components of electronic devices, are also becoming smaller and lighter. As a package type developed according to such a trend, a stack chip package implemented as a single unit semiconductor chip package by vertically stacking a plurality of semiconductor chips is known. Such a stack chip package is advantageous in size and weight in terms of size, weight, and mounting area, rather than using a plurality of unit semiconductor chip packages containing one semiconductor chip.
또한, 크기가 서로 동일하거나, 서로 다른 반도체 칩들을 스택하기 위해서, 반도체 칩의 본딩와이어를 보호할 수 있도록 테이프 재질의 스페이서를 사용하여 왔다. 여기서, 스페이서의 재질로서 테이프 대신 비전도성 접찰물질인 WBL(Wafer Backside Lamination), 또는 에폭시를 사용할 수도 있다. 상기 스페이서는 반도체 칩들의 크기보다도 작게 형성하여 오버행(overhang) 구조를 갖도록 하여서, 반도체 칩 상에서 본딩와이어가 차지하는 공간을 확보한다.In addition, in order to stack semiconductor chips of the same size or different from each other, tape spacers have been used to protect the bonding wires of the semiconductor chips. Here, as a material of the spacer, a wafer backside lamination (WBL) or an epoxy, which is a non-conductive gluing material, may be used instead of the tape. The spacers are formed smaller than the sizes of the semiconductor chips to have an overhang structure, thereby securing a space occupied by the bonding wires on the semiconductor chips.
도 1은 종래기술에 따른 문제점을 설명하기 위한 도면으로서, 도면부호 1은 기판을, 도면부호 3및 5는 반도체 칩을, 도면부호 3a 및 5a는 본딩패드를, 도면부호 7은 스페이서를, 그리고 도면부호 9는 본딩와이어 형성을 위한 볼을 각각 나타낸 것이다.1 is a view illustrating a problem according to the prior art,
그러나, 이러한 오버행 구조를 갖는 스택 칩 패키지 제작 시, 상부 반도체 칩이 상대적으로 떠 있는 상태에 있기 때문에, 와이어본딩 공정 시에 가장 중요한 문지르는 힘, 누르는 힘의 전달이 안된다. 따라서, 이를 해결하기 위해서는, 와이어 본딩 속도는 최대한 느리게 하고 문지르는 힘은 강하게, 누르는 힘은 약하게 주어서 최대한 반도체 칩 탄력을 줄여야 한다. 특히, 여러 개의 반도체 칩을 적층할 경우, 반도체 칩의 두께는 점점 얇아지고 있으며, 서로 다른 기능의 디바이스를 스택하다보니 오버행은 길어지고 있는 추세를 못따라가고 있다. 일반적으로 와이어 본딩이 가능한 조건은 칩 두께를 125㎛에 오버행 길이 1mm까지 가능하다. However, when manufacturing a stack chip package having such an overhang structure, since the upper semiconductor chip is in a relatively floating state, the most important rubbing and pressing forces are not transmitted during the wire bonding process. Therefore, in order to solve this problem, the wire bonding speed should be as slow as possible, the rubbing force is strong, and the pressing force is weakened to reduce the semiconductor chip elasticity as much as possible. In particular, in the case of stacking a plurality of semiconductor chips, the thickness of the semiconductor chips is getting thinner and stacking devices having different functions, the overhang is not keeping up with the trend. In general, wire bonding is possible under the chip thickness of 125㎛ and overhang length of 1mm.
그러나, 종래의 기술에서는, 와이어 본딩 공정 시, 문지르는 힘, 누르는 힘 이 전달되도록 하기 위해, 와이어 본딩 속도를 줄임으로써, 장비의 가동력이 떨어지게 된다. 또한, 문지르는 힘은 강하고 누르는 힘은 약하게 적용함으로써, 본딩와이어 형성을 위한 볼이 뭉게져서 BST(Ball Shear Test)값이 일정하지 않게 된다. 특히, 125㎛ 두께의 반도체 칩에 오버행 길이가 1mm의 범위를 벗어나는 스택 칩 패키지 구조에서는 와이어 본딩 공정 자체가 힘든 문제점이 있다.However, in the prior art, in the wire bonding process, in order to transmit a rubbing force and a pressing force, by reducing the wire bonding speed, the movable force of the equipment is lowered. In addition, by applying a strong rubbing force and a pressing force weakly, the ball for forming the bonding wire is agglomerated, the BST (Ball Shear Test) value is not constant. In particular, the wire bonding process itself is difficult in a stack chip package structure in which the overhang length is outside the range of 1 mm in a 125 μm thick semiconductor chip.
상기 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 목적은 오버행 구조의 반도체 칩 사이에 더미패드를 적용시킴으로써, 상대적으로 떠 있는 반도체 칩 상태를 안정적으로 고정시켜 와이어 본딩 공정을 안정적으로 수행할 수 있는 스택 칩 패키지를 제공하려는 것이다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to apply a dummy pad between the semiconductor chip of the overhang structure, the stack chip package capable of stably fixing the relatively floating semiconductor chip state to perform the wire bonding process stably Is to provide.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 다수개의 접합패드가 구비된 기판; 상기 기판 상에 부착되며, 다수개의 제 1본딩패드가 구비된 제 1반도체 칩; 상기 제 1반도체 칩의 제 1본딩패드 면 위에 스택되고, 상기 제 1반도체 칩과 동일 크기를 가지고 있으며, 다수개의 제 2본딩패드가 구비된 제 2반도체 칩; 상기 제 1반도체 칩과 상기 제 2반도체 칩 사이에 개재되며, 상기 제 1 및 제 2반도체 칩들 보다 작은 크기를 가진 스페이서; 상기 제 1반도체 칩 상의 상기 제 1본딩패드들 사이의 공간에 형성되며, 전기적인 연결을 이룸이 없이 상기 제 1반도체 칩과 상기 제 2반도체 칩 사이를 지지해주는 비전도성 테이프로 이루어진 더미패드; 상기 기판의 접합패드와 상기 제 1반도체 칩의 제 1본딩패드를 전기적으로 연결시키는 제 1본딩와이어; 상기 기판의 접합패드와 상기 제 2반도체 칩의 제 2본딩패드를 전기적으로 연결시키는 제 2본딩와이어; 및 상기 기판 상부의 제 1 및 제 2반도체 칩, 제 1 및 제 2본딩와이어를 덮는 몰딩체;를 포함하여 이루어진 스택 칩 패키지를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention is a substrate having a plurality of bonding pads; A first semiconductor chip attached to the substrate and having a plurality of first bonding pads; A second semiconductor chip stacked on the first bonding pad surface of the first semiconductor chip, having a same size as the first semiconductor chip, and having a plurality of second bonding pads; A spacer interposed between the first semiconductor chip and the second semiconductor chip, the spacer having a smaller size than the first and second semiconductor chips; A dummy pad formed in a space between the first bonding pads on the first semiconductor chip and formed of a non-conductive tape supporting the first semiconductor chip and the second semiconductor chip without making an electrical connection; A first bonding wire electrically connecting the bonding pad of the substrate and the first bonding pad of the first semiconductor chip; A second bonding wire electrically connecting the bonding pad of the substrate and the second bonding pad of the second semiconductor chip; And a molding body covering the first and second semiconductor chips and the first and second bonding wires on the substrate.
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또한, 본 발명은, 다수개의 접합패드가 구비된 기판; 상기 기판 상에 부착되며, 다수개의 제 1본딩패드가 구비된 제 1반도체 칩; 상기 제 1반도체 칩의 제 1본딩패드 면 위에 스택되고, 상기 제 1반도체 칩 보다 큰 크기를 가지며, 다수개의 제 2본딩패드가 구비된 제 2반도체 칩; 상기 제 1반도체 칩과 상기 제 2반도체 칩 사이에 개재되며, 상기 제 1반도체 칩 보다 작은 크기를 가진 스페이서; 상기 제 2반도체 칩의 제 2본딩패드들 사이의 공간에 형성되며, 전기적인 연결을 이룸이 없이 상기 제 2반도체 칩과 상기 기판 사이를 지지해주는 비전도성 테이프로 이루어진 더미패드; 상기 기판의 접합패드와 상기 제 1반도체 칩의 제 1본딩패드를 전기적으로 연결시키는 제 1본딩와이어; 상기 기판의 접합패드와 상기 제 2반도체 칩의 제 2본딩패드를 전기적으로 연결시키는 제 2본딩와이어; 및 상기 기판 상부의 제 1 및 제 2반도체 칩, 상기 제 1 및 제 2본딩와이어를 덮는 몰딩체;를 포함하여 이루어진 스택 칩 패키지를 제공한다. In addition, the present invention, a substrate having a plurality of bonding pads; A first semiconductor chip attached to the substrate and having a plurality of first bonding pads; A second semiconductor chip stacked on the first bonding pad surface of the first semiconductor chip, having a size larger than that of the first semiconductor chip, and having a plurality of second bonding pads; A spacer interposed between the first semiconductor chip and the second semiconductor chip, the spacer having a smaller size than the first semiconductor chip; A dummy pad formed in a space between the second bonding pads of the second semiconductor chip, the dummy pad being made of a non-conductive tape supporting the second semiconductor chip and the substrate without making an electrical connection; A first bonding wire electrically connecting the bonding pad of the substrate and the first bonding pad of the first semiconductor chip; A second bonding wire electrically connecting the bonding pad of the substrate and the second bonding pad of the second semiconductor chip; And a molding body covering the first and second semiconductor chips on the substrate and the first and second bonding wires.
(실시예)(Example)
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스택 칩 패키지를 설명하기 위한 평면도 및 일부 단면도로서, 제1반도체 칩과 제 2반도체 칩의 크기가 같은 경우에 해당된다. 2 and 3 are plan and partial cross-sectional views illustrating a stack chip package according to an exemplary embodiment of the present invention, and correspond to a case in which the size of the first semiconductor chip and the second semiconductor chip is the same.
본 발명의 일 실시예에 따른 스택 칩 패키지는, 도 2및 도 3에 도시된 바와 같이, 다수개의 접합패드(11a)가 구비된 기판(11)과, 기판(11) 상에 부착되며 다수개의 제 1본딩패드(23)가 구비된 제 1반도체 칩(21)과, 제 1반도체 칩(21)의 제 1본딩패드(23) 면 위에 스택되고 다수개의 제 2본딩패드(33)가 구비된 제 2반도체 칩(31)와, 제 1반도체 칩(21)과 제 2반도체 칩(31) 사이에 개재되며 제 1및 제 2반도체 칩들보다도 작은 크기를 가진 스페이서(43)와, 제 1반도체 칩(21) 상의 제 1본딩패드(21a)들 사이의 공간에 형성되어 제 1반도체 칩(21) 및 제 2반도체 칩(31) 사이를 지지해주는 더미패드(71)를 포함한다. 여기서, 상술한 바와 같이, 제 1및 제 2반도체 칩(11)(31)은 서로 동일한 크기를 가지고 있다. Stack chip package according to an embodiment of the present invention, as shown in Figures 2 and 3, the
또한, 더미패드(71)는 전기적으로 연결되어 있지 않은 상태로서, 제 1반도체 칩(11) 및 제 2반도체 칩(21) 간의 공간 크기 만큼 형성되어, 제 2반도체 칩(33)에서의 와이어 본딩 공정 시, 제 2반도체 칩(33)을 안정적으로 지지해주는 역할을 한다. 여기서, 더미패드(71)는 제 1반도체 칩과 제 2반도체 칩 간의 간격에 맞춰 범프 볼 형태로 제작하거나, 비전도성 테이프를 이용한다.In addition, the
한편, 기판(11)과 제 1반도체 칩(11) 사이에는 기판(11)의 접합패드(11a)와 제 1본딩패드(13)를 전기적으로 연결시키는 제 1본딩와이어(51)이 형성되고, 기판(11)과 제 2반도체 칩(33) 사이에는 기판(11)의 접합패드(11a)와 제 2본딩패드(33)를 전기적으로 연결시키는 제 2본딩와이어(53)가 형성되어 있다.Meanwhile, a
기판(11) 상부에 제 1반도체 칩(11), 제 2반도체 칩(31), 제 1및 제 2본딩와이어(51)(53)을 덮는 몰딩체(61)가 형성되어 있다.A
한편, 미설명된 도면부호 41은 기판과 제 1반도체 칩 사이에 개재되어 이들 간의 접착력을 향상시키는 접착제를 나타낸 것이다.Meanwhile,
도 4및 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스택 칩 패키지를 설명하기 위한 평면도 및 일부 단면도로서, 제1반도체 칩과 제 2반도체 칩의 크기가 서로 다른 경우에 해당된다. 4 and 5 are a plan view and a partial cross-sectional view for explaining a stack chip package according to another embodiment of the present invention, which corresponds to the case where the sizes of the first semiconductor chip and the second semiconductor chip are different from each other.
본 발명의 다른 실시예에 따른 스택 칩 패키지는, 도 4및 도 5에 도시된 바와 같이, 다수개의 접합패드(101a)가 구비된 기판(101)과, 기판(101) 상에 부착되며 다수개의 제 1본딩패드(123)가 구비된 제 1반도체 칩(121)과, 제 1반도체 칩(121)의 제 1본딩패드(123) 면 위에 적층되고 제 1반도체 칩(121)보다 크기가 크며 다수개의 제 2본딩패드(133)가 구비된 제 2반도체 칩(131)과, 제 1반도체 칩(121)과 제 2반도체 칩(131) 사이에 개재되며 제 1반도체 칩(121)보다도 작은 크기를 가진 스페이서(143)와, 제 2반도체 칩(131)의 제 2본딩패드(131a)들 사이의 공간에 형성되어 제 2반도체 칩(131)과 기판(101) 사이를 지지해주는 더미패드(171)를 포함한다. Stack chip package according to another embodiment of the present invention, as shown in Figures 4 and 5, the
또한, 기판(101)과 제 1반도체 칩(121) 사이에는 이들 간의 접착력을 좋게 하기 위한 접착제(141)가 개재되어 있다.In addition, an adhesive 141 is provided between the
여기서, 더미패드(171)는 전기적으로 연결되어 있지 않은 상태로서, 기판(101)에서 제 2반도체 칩(131) 사이의 빈공간 크기만큼 형성되어, 제 2반도체 칩(131)에서의 와이어 본딩 공정 시, 제 2반도체 칩(131)이 떠 있지 않도록 안정적으로 고정 및 지지해주는 역할을 한다. 상기 더미패드(171)는 범프 볼 형태로 제작하되, 상기 제 2반도체 칩과 상기 기판 간의 간격에 맞춰 다수개의 범프 볼을 적층시 키거나, 또는 비전도성 테이프를 이용하되, 제 2반도체 칩과 상기 기판 간의 간격에 맞춰 다수개의 범프 볼을 적층시켜 형성한다. Here, the
또한, 상기 기판(101)과 제 1반도체 칩(121) 사이에는 기판(101)의 접합패드(101a)와 제 1본딩패드(123)를 전기적으로 연결시키는 제 1본딩와이어(151)가 형성되고, 기판(101)과 제 2반도체 칩(131) 사이에는 기판(101)의 접합패드(101a)와 제 2본딩패드(133)를 전기적으로 연결시키는 제 2본딩와이어(153)이 형성되어 있다.In addition, a
한편, 기판(101) 상부에 제 1반도체 칩(121), 제 2반도체 칩(131), 제 1및 제 2본딩와이어(151)(153)을 덮는 몰딩체(161)가 형성되어 있다.On the other hand, a
본 발명에 따르면, 오버행 구조의 반도체 칩에 더미패드를 적용하여 본딩와이어 공정 시에 반도체 칩이 떠 있지 않도록 안정적으로 고정시켜 준다. 따라서, 와이어 본딩 공정을 안정적으로 수행할 수 있다.According to the present invention, a dummy pad is applied to a semiconductor chip having an overhang structure to stably fix the semiconductor chip so as not to float during the bonding wire process. Therefore, the wire bonding process can be performed stably.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은, 오버행 구조의 반도체 칩을 스택하여 패키지 제작 시, 오버행 구조의 반도체 칩에 더미패드를 적용함으로써, 본딩와이어 공정 시에 반도체 칩이 떠 있지 않도록 안정적으로 고정시켜 준다. 따라서, 와이어 본딩 공정을 안정적으로 수행할 수 있다.As described above, the present invention stacks the semiconductor chip of the overhang structure and applies a dummy pad to the semiconductor chip of the overhang structure during package fabrication, thereby stably fixing the semiconductor chip so as not to float during the bonding wire process. . Therefore, the wire bonding process can be performed stably.
또한, 본 발명에서는, 와이어본딩 공정시, 와이어 본딩 속도를 줄일 필요가 없기 때문에 장비의 가동력을 향상시킬 뿐만 아니라, 본딩와이어 형성을 위한 볼의 뭉게짐을 방지하여 일정한 BST값을 얻을 수 있다. In addition, in the present invention, since the wire bonding speed does not need to be reduced during the wire bonding process, not only the moving force of the equipment can be improved, but also the ball for forming the bonding wire can be prevented to obtain a constant BST value.
특히, 본 발명은 서로 다른 기능을 하는 반도체 칩을 스택하는 경우 및 125 ㎛ 두께의 반도체 칩에 오버행 길이가 1mm의 범위를 벗어나는 스택 칩 패키지 제작에 어려움이 있는 경우에 적용가능하다.In particular, the present invention is applicable when stacking semiconductor chips having different functions and when stacking semiconductor packages having a thickness of 125 μm has difficulty in manufacturing a stack chip package having an overhang length of 1 mm.
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