KR100609966B1 - Surface acoustic wave filter apparatus and communication apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 통과대역 외에 발생하는 스퓨리어스 레벨이 개선되고, 평형-불평형 입출력 기능을 갖는 탄성 표면파 필터 장치 및 통신 장치를 제공한다.The present invention provides a surface acoustic wave filter device and a communication device with improved spurious levels occurring outside the passband and having a balanced-unbalanced input / output function.
압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 3개의 빗살형 전극부(121, 122, 123 또는 121, 128, 123)와, 상기 각 빗살형 전극부(121∼123)를 사이에 두고 각 반사기(124, 125 또는 126, 127)를 구비한, 4개의 종결합 공진자형 탄성 표면파 필터 소자(101∼104)를 평형-불평형 입출력 기능을 갖도록 형성한다. 각 반사기(124, 125) 와 반사기(126, 127)를 전극지의 갯수, 피치, 듀티 및 막 두께의 적어도 하나가 서로 다르도록 형성한다.Each reflector having three comb-shaped electrode portions 121, 122, 123 or 121, 128, 123 formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave, and the comb-shaped electrode portions 121-123 interposed therebetween. Four longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter elements 101 to 104 having 124, 125 or 126, 127 are formed to have a balanced-unbalanced input / output function. Each of the reflectors 124 and 125 and the reflectors 126 and 127 is formed so that at least one of the number, pitch, duty and film thickness of the electrode finger is different from each other.
탄성 표면파 필터 소자, IDT, 반사기Surface acoustic wave filter element, IDT, reflector
Description
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 상기 탄성 표면파 필터 장치에 있어서의 각 주파수에 대한 전송 특성을 나타내는 그래프이다.Fig. 2 is a graph showing transmission characteristics with respect to each frequency in the surface acoustic wave filter device.
도 3은 종래의 탄성 표면파 필터 장치에 있어서의 각 주파수에 대한 전송 특성을 나타내는 그래프이다.3 is a graph showing transmission characteristics with respect to each frequency in a conventional surface acoustic wave filter device.
도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.4 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a second embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.5 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a third embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.6 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a fourth embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 통신 장치의 주요부 블럭도이다.7 is a block diagram of an essential part of the communication device of the present invention.
도 8은 종래의 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.8 is a schematic configuration diagram of a conventional surface acoustic wave filter device.
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명> <Brief description of the main parts of the drawing>
101,102,103,104 탄성 표면파 필터 소자101,102,103,104 surface acoustic wave filter element
121,122,123,128 IDT(빗살형 전극부)121,122,123,128 IDT (comb-shaped electrode part)
124,125,126,127 반사기124,125,126,127 Reflector
본 발명은 탄성 표면파 필터 장치, 특히 입력측과 출력측의 특성 임피던스가 다르고, 평형-불평형 변환 기능을 갖는 탄성 표면파 필터 장치, 및 이를 갖는 통신 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a surface acoustic wave filter device, in particular a surface acoustic wave filter device having a characteristic impedance at the input side and an output side and having a balanced-to-unbalance conversion function, and a communication device having the same.
최근, 휴대 전화기 등의 통신 장치의 소형화, 경량화에 대한 기술적 진보는 눈부시다. 이것을 실현하기 위한 수단으로서, 각 구성 부품의 삭감, 소형화는 물론 복수의 기능을 복합한 부품의 개발도 진행되고 있다.In recent years, technological advances in miniaturization and weight reduction of communication devices such as mobile phones have been remarkable. As a means for realizing this, the reduction and miniaturization of each component, as well as the development of components incorporating a plurality of functions are also in progress.
이러한 상황을 배경으로 RF단에 사용하는 탄성 표면파 필터 장치에 평형-불평형 변환 기능, 소위 발룬(balun)의 기능을 구비한 것도 최근 활발히 연구되어, GSM(Global System for Mobile communications) 등을 중심으로 사용되어지고 있다.Against this backdrop, the equilibrium-to-unbalance conversion function and so-called balun function have been actively studied in the surface acoustic wave filter device used in the RF stage, and used mainly for GSM (Global System for Mobile communications). It is done.
통신 장치에서는, 안테나에서 필터까지의 부분은 불평형 신호로 50Ω의 특성 임피던스를 이용하는 것이 일반적이고, 필터 후에 사용되는 증폭기 등은 평형 신호로 150Ω에서 200Ω의 임피던스를 이용하는 경우가 많다.In a communication device, the portion from the antenna to the filter generally uses a characteristic impedance of 50 Ω as an unbalanced signal, and an amplifier or the like used after the filter often uses an impedance of 150 to 200 Ω as a balanced signal.
이 50Ω 불평형 신호에서 150Ω∼200Ω 평형 신호로 변환하는 기능을 아울러 구비한 탄성 표면파 필터 장치로서는 예를 들어, 일본국 특허 공개공보 (평)10- 117123호에 개시되어 있는 바와 같이, 탄성 표면파 필터 소자를 4소자 이용함으로써 불평형 입력-평형 출력을 실현한 것이 알려져 있다. 상기 공보에 나타나 있는 탄성 표면파 필터 장치의 구성을 도 8에 나타낸다.As a surface acoustic wave filter device having a function of converting a 50Ω unbalanced signal into a 150Ω to 200Ω balanced signal, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-117123, a surface acoustic wave filter element It is known to realize an unbalanced input-balanced output by using four elements. The structure of the surface acoustic wave filter device shown in the said publication is shown in FIG.
상기 탄성 표면파 필터 장치에서는 위상 특성이 서로 동일한 각 탄성 표면파 필터 소자(501, 502)를 2단으로 종속 접속한 종속 탄성 표면파 필터부(511); 탄성 표면파 필터 소자(503), 및 탄성 표면파 필터 소자(503)와는 전송 위상이 약 180°다른 탄성 표면파 필터 소자(504)를 종속 접속한 종속 탄성 표면파 필터부(512); 를 가지고, 각각의 입출력 단자의 하나를 병렬 접속, 다른 하나를 직렬 접속하고, 병렬 접속 단자를 불평형 단자(505), 직렬 접속 단자를 각 평형 단자(506, 507)로 하고 있다.The surface acoustic wave filter device includes: a dependent surface acoustic
이러한 평형-불평형 입출력 기능을 갖는 탄성 표면파 필터 장치에 있어서는 각 평형 단자(506, 507)로부터의 출력은 각 평형 단자(506, 507) 사이의 차동으로서 동작하기 때문에, 각각의 각 평형 단자(506, 507) 사이에서의 각 전기 신호의 위상이 서로 180° 반전하고 있는 상태에서 최대의 출력이 얻어진다. 반대로, 각각의 평형 단자(506, 507) 사이에서의 전기 신호의 위상이 동일한 경우에는 상기 각 전기 신호는 상쇄되기 때문에, 2개의 전기 신호의 레벨이 가까울수록 큰 감쇠량이 얻어진다.In the surface acoustic wave filter device having such a balanced-unbalanced input / output function, since the outputs from the
따라서, 탄성 표면파 필터 장치를 구성할 때, 각 평형 단자(506, 507)로부터의 각 출력은 통과대역에서는 위상이 180° 반전하고, 저지역(통과대역 외)에 있어서는 동위상인 것이 바람직하다.
Therefore, when constructing the surface acoustic wave filter device, it is preferable that the respective outputs from the
일본국 특허 공개공보 (평)10-117123호에 개시되어 있는 탄성 표면파 필터 장치 등에서는 탄성 표면파 필터 소자를 4개 이용하고, 그 중에서 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 위상 반전시키는 방법으로서, 빗살형 전극부(Inter-Digital Transducer, 이하 IDT라 한다)의 방향을 탄성 표면파의 반전 방향을 대칭축으로 하여 반전시키거나, 또는 하나의 IDT-IDT의 간격을 0.5λ(파장)만큼 넓히는 수법을 이용하고 있다.In the surface acoustic wave filter device and the like disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-117123, four surface acoustic wave filter elements are used, and a method of reversing one surface acoustic wave filter element among them is a comb-shaped electrode. The direction of the negative (Inter-Digital Transducer, hereinafter referred to as IDT) is inverted using the inversion direction of the surface acoustic wave as the symmetry axis, or the interval of one IDT-IDT is widened by 0.5 lambda (wavelength).
이 구성에 의해, 통과대역 내에서는 각각의 평형 단자(506, 507)의 위상 특성은 반전하고 있고, 또한 탄성 표면파가 거의 여진되어 있지 않은 주파수역에 있어서는 각각의 평형 단자(506, 507)의 위상 특성은 동위상이 되어 있다.With this configuration, the phase characteristics of the
그러나 상기 종래의 구성에서 통과대역 근방의 통과대역 외에서의 스퓨리어스는 탄성 표면파의 여진에 의한 것으로, 이 스퓨리어스가 발생하는 범위에서는 통과대역과 마찬가지로 각각의 평형 단자(506, 507)의 위상 특성은 반전하고, 차동 상태에서의 신호 취소 효과를 얻을 수 없어, 통과대역 근방의 통과대역 외에서의 감쇠량이 부족하다는 문제점이 발생한다.However, in the conventional configuration, the spurious outside the pass band near the pass band is caused by the excitation of surface acoustic waves, and the phase characteristics of the respective
본 발명은 통과대역 외의 통과대역 근방에 있어서의 감쇠 특성도 양호한 평형-불평형 입출력 기능을 구비한 탄성 표면파 필터 장치 및 통신 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter device and a communication device having a balanced-unbalanced input / output function having good attenuation characteristics in the vicinity of a passband other than the passband.
본 발명의 탄성 표면파 필터 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여 압전 기판 상에, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 복수의 탄성 표면파 필터 소자가, 평형-불평형 변환 기능을 갖도록 형성되고, 상기 복수의 탄성 표면파 필터 소자 중 다른 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되는 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 포함하고, 상기 각 반사기 중 적어도 하나가 다른 반사기와 구조가 서로 다른 것을 특징으로 한다.In the surface acoustic wave filter device of the present invention, in order to solve the above problems, a plurality of surface acoustic wave filter elements having a plurality of IDTs formed along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof are balanced. At least one surface acoustic wave filter element which is formed to have an unbalance conversion function and whose transmission phase characteristic is opposite to that of other surface acoustic wave filter elements of the plurality of surface acoustic wave filter elements, wherein at least one of the reflectors It is characterized by different reflectors and structures.
상기 구성에 의하면, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT를 갖는 것에 의해, 각 IDT의 전기 신호와 탄성 표면파 사이의 변환에 의해 결정되는 통과대역 주파수의 전기 신호를 저손실로 통과시키고, 통과대역 외의 전기 신호를 감소시키는 필터 기능을 발휘할 수 있게 된다.According to the above configuration, by having a plurality of IDTs formed along the propagation direction of the surface acoustic wave, the electrical signal of the passband frequency determined by the conversion between the electrical signal of each IDT and the surface acoustic wave passes at low loss, and the passband It is possible to exert a filter function to reduce external electric signals.
또한, 상기 구성에서는 탄성 표면파 필터 소자를 평형-불평형 변환 기능을 갖도록 형성함으로써 평형-불평형 변환 기능을 발휘할 수 있다.Further, in the above configuration, the surface acoustic wave filter element is formed to have a balanced-unbalanced conversion function, thereby exhibiting a balanced-unbalanced conversion function.
상기 구성은 상기 각 IDT로부터의 탄성 표면파를 상기 각 IDT에 반사하기 위한 반사기를 구비함으로써, 발생한 탄성 표면파를 전기 신호로 변환하는 효율을 개선할 수 있다.The above configuration can improve the efficiency of converting the generated surface acoustic waves into electrical signals by providing reflectors for reflecting the surface acoustic waves from the respective IDTs to the respective IDTs.
게다가, 상기 구성은 각 반사기 중 적어도 하나를 다른 반사기와 구조를 다르게 함으로써, 통과대역 외에 있어서 특히, 통과대역 외의 통과대역 근방에서 불필요한 스퓨리어스의 발생을 감소할 수 있고, 감쇠량을 크게 할 수 있기 때문에 필요한 감쇠량을 얻을 수 있다.In addition, the above configuration requires a different structure from at least one of the reflectors, so that the generation of unnecessary spurious outside the pass band, particularly in the vicinity of the pass band outside the pass band, can be reduced and the amount of attenuation can be increased. Attenuation amount can be obtained.
본 발명의 다른 탄성 표면파 필터 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여, 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 제 1 탄성 표면파 필터 소자; 압전 기판 상에 탄성 표면파 의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비하고, 제 1 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되어 있는 제 2 탄성 표면파 필터 소자; 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각각 한 쪽의 단자를 전기적으로 병렬 접속한 불평형 단자; 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각각 다른 쪽의 단자를 전기적으로 직렬 접속한 평형 단자; 를 포함하는 탄성 표면파 필터 장치로서, 제 1 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조와 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조가 서로 다른 것을 특징으로 한다.Another surface acoustic wave filter device of the present invention comprises: a first surface acoustic wave filter element having a plurality of IDTs formed on a piezoelectric substrate along a propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof; A second surface acoustic wave filter element having a plurality of IDTs formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof, the transmission phase characteristic of which is opposite to the first surface acoustic wave filter element; ; An unbalanced terminal in which one terminal of each of the first and second surface acoustic wave filter elements is electrically connected in parallel; A balanced terminal in which terminals on the other side of the first and second surface acoustic wave filter elements are electrically connected in series; A surface acoustic wave filter device comprising: a structure of a reflector of a first surface acoustic wave filter element and a structure of a reflector of a second surface acoustic wave filter element are different from each other.
상기 탄성 표면파 필터 장치에 있어서는 제 1 탄성 표면파 필터 소자와 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각 반사기는 이들의 전극지의 갯수, 피치, 듀티(duty) 및 막 두께 중, 적어도 하나가 서로 다른 것이 바람직하다.In the surface acoustic wave filter device, preferably, each reflector of the first surface acoustic wave filter element and the second surface acoustic wave filter element is different from each other in the number, pitch, duty, and film thickness of the electrode fingers.
상기 구성에 의하면, 각 반사기 중 적어도 하나를 다른 반사기와 구조를 다르게 함으로써, 통과대역 외 특히, 통과대역 근방에 있어서 불필요한 스퓨리어스의 발생을 감소시킬 수 있고, 한 단 구성에 있어서도 비교적 용이하게 필요한 감쇠량을 얻을 수 있다.According to the above configuration, by changing the structure of at least one of the reflectors from the other reflectors, it is possible to reduce the occurrence of unnecessary spurious outside the pass band, especially in the vicinity of the pass band. You can get it.
본 발명의 다른 탄성 표면파 필터 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여, 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 제 1∼3 탄성 표면파 필터 소자; 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비하고, 제 1∼3 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되어 있는 제 4 탄성 표면파 필터 소자; 제 1 탄성 표면파 필터 소자와 제 2 탄성 표면파 필터 소자를 종속 접속한 제 1 그룹, 및 제 3 탄성 표면파 필터 소자와 제 4 탄성 표면파 필터 소자를 종속 접속한 제 2 그룹의 각각 한 쪽의 단자를 전기적으로 병렬 접속한 불평형 단자; 상기 제 1 그룹 및 제 2 그룹의 각각 다른 쪽의 단자를 전기적으로 직렬 접속한 평형 단자; 를 포함하는 탄성 표면파 필터 장치로서, 제 1∼4 탄성 표면파 필터 소자 중 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조가 다른 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조와 다른 것을 특징으로 한다.Another surface acoustic wave filter device of the present invention, in order to solve the above problems, the first to third surface acoustic wave filter element having a plurality of IDT formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof. ; A fourth surface acoustic wave having a plurality of IDTs formed along the propagation direction of the surface acoustic wave on the piezoelectric substrate and reflectors disposed on both sides thereof, the transmission phase characteristic of which is opposite to the first to third surface acoustic wave filter elements; Filter elements; One terminal of each of the first group of cascaded first and second surface acoustic wave filter elements and the second group of cascaded connection of the third and fourth surface acoustic wave filter elements are electrically connected. Unbalanced terminals connected in parallel; A balanced terminal in which respective terminals of the first group and the second group are electrically connected in series; A surface acoustic wave filter device comprising: a structure of a reflector of at least one surface acoustic wave filter element of the first to fourth surface acoustic wave filter elements is different from the structure of the reflectors of other surface acoustic wave filter elements.
상기 구성에 의하면, 복수의 단 구성에 의해 입출력 임피던스가 다른 평형-불평형 입출력 기능을 발휘할 수 있게 되고, 또한 반사기의 구조를 서로 다르게 함으로써, 통과대역 외에 있어서의 통과대역 근방의 불필요한 스퓨리어스 발생을 감소할 수 있고, 2단 구성에 의해 얻어지는 감쇠량의 개선이 가능해지기 때문에, 보다 더 고감쇠량을 얻을 수 있다.According to the above configuration, the balanced / unbalanced input / output function having different input / output impedances can be exhibited by a plurality of stage configurations, and the structure of the reflector is made different so that unnecessary spurious generation near the passband outside the passband can be reduced. It is possible to improve the amount of attenuation obtained by the two-stage configuration, so that a higher attenuation amount can be obtained.
상기 탄성 표면파 필터 장치에서는 제 1 그룹의 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조와, 제 2 그룹의 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조가 서로 다른 것이 바람직하다.In the surface acoustic wave filter device, it is preferable that the structure of the reflector of the surface acoustic wave filter element of the first group and the structure of the reflector of the surface acoustic wave filter element of the second group are different from each other.
상기 구성에 의하면, 제 1 및 제 2의 각 그룹의 각 반사기의 구조를 서로 다르게 함으로써, 통과대역 외에 있어서의 통과대역 근방의 불필요한 스퓨리어스 발생을 더욱 확실하게 감소할 수 있다.According to the above configuration, by differenting the structures of the reflectors of each of the first and second groups, unnecessary spurious generation near the pass band outside the pass band can be more surely reduced.
상기 탄성 표면파 필터 장치에 있어서는 반사기의 전극지의 갯수, 피치, 듀티 및 막 두께 중 적어도 하나를 서로 다르게 함으로써, 반사기의 구조를 다르게 하는 것이 바람직하다. In the surface acoustic wave filter device, it is preferable to change the structure of the reflector by varying at least one of the number, pitch, duty, and film thickness of the electrode fingers of the reflector.
본 발명의 통신 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여, 상술한 어느 하나의 탄성 표면파 필터 장치를 갖는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problem, the communication device of the present invention is characterized by having any one of the surface acoustic wave filter devices described above.
상기 구성에 의하면, 통과대역에 있어서 저손실이고, 통과대역 외 특히, 통과대역 외의 통과대역의 저역측에서의 감쇠량이 큰, 우수한 전송 특성을 구비한 탄성 표면파 필터 장치를 갖기 때문에 우수한 통신 특성을 발휘할 수 있다.According to the said structure, since it has a low loss in a passband, and has the surface acoustic wave filter apparatus which has the outstanding transmission characteristic which has a large amount of attenuation outside the pass band, especially the low band of the pass band outside a pass band, it can exhibit the outstanding communication characteristic.
[발명의 실시형태]Embodiment of the Invention
본 발명의 각 실시형태에 대하여 도 1∼도 7에 기초하여 설명하면 이하와 같다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Each embodiment of this invention is described below based on FIGS.
본 발명의 제 1 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에서는 도 1에 나타낸 바와 같이, 압전 기판 상에 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(101∼104)가 형성되어 있다. 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 전송 위상 특성이 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)와, 반대 위상 즉, 약 180° 다르도록 설정되어 있다. 도면에서는 압전 기판은 생략하고 있다.In the surface acoustic wave filter device according to the first embodiment of the present invention, as shown in Fig. 1, first to fourth surface acoustic
우선, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 대하여 설명한다. 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)는 3개의 각 IDT(123, 121, 122)를 갖는다.First, the first surface acoustic
IDT는 띠 형상의 기단부(bus bar)와, 그 기단부의 한 쪽의 측부에서 상기 기단부의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향으로 연장되는 복수의, 서로 평행한 전극지를 구비한 전극지부를 2개 구비하고, 상기 각 전극지부의 전극지의 측부를 서로 대면하도록 서로의 전극지 사이에 들어간 상태로, 상기 각 전극지부를 갖는 것이다. The IDT includes two electrode supporting parts including a strip-shaped bus bar and a plurality of parallel electrode fingers extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the proximal end at one side of the proximal end. And each of the electrode finger portions in a state in which the electrode portions of the electrode finger portions face each other so as to face each other.
이러한 IDT에서는 각 전극지의 길이나 폭, 인접하는 각 전극지의 간격(피치), 서로의 전극지 사이에서 들어간 상태의 대면 길이를 나타내는 교차폭을 각각 설정함으로써, 신호 변환 특성이나 통과대역의 설정(바꿔 말하면 통과대역 외의 설정)이 가능하게 된다.In such an IDT, the signal conversion characteristics and the pass band are set by changing the length and width of each electrode finger, the interval (pitch) of adjacent electrode fingers, and the cross widths representing the lengths of facings in the state of entering between the electrode fingers. In other words, setting outside of the pass band is possible.
각 IDT(123, 121, 122)는 이들의 전극지가 탄성 표면파의 전파 방향에 대하여 직교함과 동시에, 탄성 표면파의 전파 방향을 따르도록, 상기 기재한 순서로 압전 기판 상에 배치되어 있다. 중앙의 IDT(121)는 불평형 단자(111)에 접속된 시그널 전극지(121a)와 접지 전극지(121b)를 가지고 있다. IDT(122)는 시그널 전극지(122a)와 접지 전극지(122b)를 가지고 있다. IDT(123)는 시그널 전극지(123a)와 접지 전극지(123b)를 가지고 있다. Each
또한, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에는 각 IDT(123, 121, 122)를 사이에 두도록, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라서 각 반사기(124, 125)가 배치되어 있다. 각 반사기(124, 125)는 전파되어 온 탄성 표면파를 반사하고, 전파되어 온 방향으로 되돌리는 기능을 가지고 있다.In addition, the
따라서, 반사기(124)는 IDT(122)를 사이에 두고, IDT(121)와 반대측의 탄성 표면파의 전파 방향을 따른 위치에 배치되어 있다. 또한, 반사기(125)는 IDT(123)를 사이에 두고 IDT(121)와 반대측의 탄성 표면파의 전파 방향을 따른 위치에 배치되어 있다.Therefore, the
이러한 반사기(124, 125)는 한 쌍의 띠 형상의 기단부(bus bar)와, 그들의 기단부의 한 쪽의 측부에서 상기 기단부의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향으로 연 장하고, 상기 각 기단부를 연결하는, 복수의 서로 평행한 전극지를 압전 기판 상에 구비하고 있다.The
이에 따라, 반사기(124, 125)는 전파되어 오는 탄성 표면파에 의해 여진되고, 그 여진 전기 신호에 의해 발생한 탄성 표면파에 따라 진행되어 오는 탄성 표면파를 상쇄함과 동시에, 상기 탄성 표면파의 전파 방향과 반대 방향의 새로운 탄성 표면파를 발생하도록 설정되어 있다. 즉, 반사기(124, 125)는 전파되어 오는 탄성 표면파를 유사적으로 반사하도록 되어 있다.Accordingly, the
다음으로, 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)에 대하여 설명한다. 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)와 동일한 진폭 특성이나 위상 특성을 가지고 있다.Next, the second surface acoustic
제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 배치는 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 탄성 표면파의 전파 방향이 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 있어서의 탄성 표면파의 전파 방향에 대하여 실질적으로 평행이 되도록, 또한 상기 전파 방향을 대칭선으로 하여 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 대하여 선 대칭이 되도록 되어 있다.The arrangement of the second surface acoustic
이에 따라, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)와 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)를 근접하여 배치할 수 있고, 또한 그들의 접속을 간소화할 수 있어, 소형화를 도모할 수 있다.Thereby, the 1st surface acoustic
이러한 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)에서는 그들의 시그널 전극지(122a, 123a)가 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 시그널 전극지(122a, 123a)에 접속됨으 로써, 종속 접속이 실현되고 있다. 또한, 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 IDT(121)의 시그널 전극지(121a)는 한 쪽의 평형 단자(112)에 접속되어 있다.In the second surface acoustic
다음으로, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)에 대하여 설명한다. 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 반사기(124, 125) 대신에 그것과 구조가 서로 다른 반사기(126, 127:예를 들어, 전극지의 갯수가 다르다)를 이용한 이외에는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)와 동일한 구조를 가지고 있다.Next, the third surface acoustic
또한, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 탄성 표면파의 전파로 상에, 상기 전파 방향을 따라 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)가 배치되어도, 각 반사기(124, 125, 126, 127)가 그들 사이에 배치되게 되기 때문에, 상호간의 탄성 표면파의 간섭은 방지되어 있다.The third surface acoustic
따라서, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)를 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 대하여 상기와 같이 배치함으로써, 탄성 표면파의 전파로 상을 벗어나서 배치하는 경우와 비교하여 소형화할 수 있다.Therefore, by arranging the third surface acoustic
마지막으로, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)에 대하여 설명한다. 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 IDT(121) 대신에, 상기 IDT(121)와 반대 위상이 되는 IDT(128)를 이용한 이외에는 동일한 구성을 가지고 있다.Finally, the fourth surface acoustic
또한, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)의 각 시그널 전극지(122a, 123a)는 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 각 시그널 전극지(122a, 123a)에 대하여, 각각 접속되어 있다. 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)의 IDT(128)의 시그널 전극지(128a)는 다른 쪽의 평형 단자(113)에 접속되어 있다.The
제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 그 탄성 표면파의 전파 방향이 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 탄성 표면파의 전파 방향에 대하여, 실질적으로 평행이 되도록 근접하여 형성되어 있다. 또한, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 그 탄성 표면파의 전파 방향이 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 탄성 표면파의 전파로 상이어도 된다. 이들의 구성에 의하여 상기와 동일하게 소형화할 수 있다.The fourth surface acoustic
이하에 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(101∼104)의 구체예에 대하여 각각 나타낸다.Specific examples of the first to fourth surface acoustic
제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 구성은The configuration of the first surface acoustic
교차폭 W:125㎛Cross width W: 125 µm
IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15
IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛
듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70
반사기 갯수 NR : 90개Number of reflectors NR: 90
반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛
반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.
제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 구성은The configuration of the second surface acoustic
교차폭 W:125㎛ Cross width W: 125 µm
IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15
IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛
듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70
반사기 갯수 NR : 90개Number of reflectors NR: 90
반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛
반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.
제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 구성은The configuration of the third surface acoustic
교차폭 W:125㎛Cross width W: 125 µm
IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15
IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛
듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70
반사기 갯수 NR : 73개Number of reflectors NR: 73
반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛
반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.
제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)의 구성은The structure of the fourth surface acoustic
교차폭 W:125㎛Cross width W: 125 µm
IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15
IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛
듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70
반사기 갯수 NR : 73개 Number of reflectors NR: 73
반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛
반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.
이상의 탄성 표면파 필터 소자는 예를 들어, 압전 기판:LiTaO3
상에 형성되어 있다. 단, 압전 기판은 이것에 한정되지 않는다. 또한, 상기 IDT 갯수의 기재에 있어서, 제 2/제 1/제 3의 기재는 제 1이 중앙의 IDT, 예를 들어 IDT(121)를 나타내고, 제 2 및 제 3은 그 중앙의 IDT를 사이에 두고 형성된 각 IDT, 예를 들어 IDT(122, 123)를 나타낸다.The above surface acoustic wave filter element is, for example, a piezoelectric substrate: LiTaO 3 It is formed on the phase. However, the piezoelectric substrate is not limited to this. In the above description of the IDT number, the second / first / third description indicates that the first indicates a central IDT, for example, an
제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101∼103)와, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 중앙의 IDT(128)의 배치를, 다른 중앙의 IDT(121)에 대하여 반전시키고 있기 때문에, 전송 위상 특성이 서로 반대 위상, 즉 약 180° 다르다.Since the first to third surface acoustic
그리고, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101) 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)로 이루어진 제 1 그룹의 탄성 표면파 필터부와, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103) 및 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)로 이루어진 제 2 그룹의 탄성 표면파 필터부에서는, 반사기(124, 125)와, 반사기(126, 127)처럼 서로 구조가 다르게, 예를 들어 각 전극지의 갯수가 서로 다르게 설정되어 있다.The first surface acoustic wave filter portion of the first group consisting of the first surface acoustic
또한, 본 명세서의 도면에서는 각 탄성 표면파 필터 소자의 각 IDT의 갯수, 반사기의 갯수는 그 수가 많아서 기재할 수 없기 때문에 간략화하고 있다.In the drawings of the present specification, the number of IDTs and the number of reflectors of each surface acoustic wave filter element are simplified because they cannot be described because the number is large.
본 제 1 실시형태의 구조에 의한 특성예를 도 2에 나타낸다. 본 제 1 실시형태에서는 특히, 통과대역 외의 저역측에 있어서의 감쇠량이 종래 구조에서의 도 3에 나타낸 특성예에 비하여 개선되어 있다.The characteristic example by the structure of this 1st Embodiment is shown in FIG. In the first embodiment, the amount of attenuation on the low-pass side outside the pass band is particularly improved compared to the characteristic example shown in FIG. 3 in the conventional structure.
본 제 1 실시형태에서 제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103)는 각 반사기(124, 125)의 스톱밴드 내에서는 실질적으로 동일한 전송 특성이 얻어진다.In the first embodiment, the first to third surface acoustic
또한, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)에서는 반사기(126, 127)의 스톱밴드 내에 있어서는 제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101∼103)와는 위상 특성이 180° 다르고, 진폭 특성이 실질적으로 동일한 전송 특성이 얻어진다.In the fourth surface acoustic
이들의 제 1∼제 4의 각 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103, 104)를 제 2 실시형태처럼 접속하여, 출력측의 각 평형 단자(112, 113) 각각에 위상이 반대인 신호가 도출되고, 입력측이 불평형(임피던스가 예를 들어 50Ω)이고, 출력측이 평형(임피던스가 예를 들어 200Ω)이 되는 탄성 표면파 필터 장치가 얻어진다.Each of the first to fourth surface acoustic
제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)에서는 탄성 표면파를 여진하는 IDT(128)의 방향을 다른 제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103)의 각 IDT(121)에 대하여, 탄성 표면파의 전파 방향을 대칭축으로 해서 반전하여 전송 위상 특성을 바꾸고 있기 때문에, 탄성 표면파가 여진되지 않는 영역에서는 전송 특성은 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103)와 동일해진다. 따라서, 각 평형 단자(112, 113)에서는 동일 위상의 전기 신호는 서로 지워지기 때문에 큰 감쇠량을 얻을 수 있다.In the fourth surface acoustic
반사기의 스톱밴드의 외에서도 통과대역의 근방이라면 통과대역 외에서도 탄성 표면파가 여진되고 있는 주파수 영역이 존재한다. 이 주파수 영역에서는 반사기의 갯수나 듀티, 피치, 막 두께 등에 의해 전송 특성이 결정되기 때문에, 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103, 104)에서 반사기의 구조를 동일하게 하는 경우에는 각 출력단자에서의 신호는 통과대역 내와 마찬가지로 위상 특성이 서로 반전한 관계가 되어, 충분한 감쇠량을 얻기 어려운 상황이었다.In addition to the stop band of the reflector and the vicinity of the pass band, there is a frequency range where the surface acoustic wave is excited outside the pass band. In this frequency domain, since the transmission characteristics are determined by the number of the reflectors, the duty, the pitch, the film thickness, and the like, the structures of the reflectors in the first to fourth surface acoustic
제 1 실시형태에서는 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(101, 102)와, 제 3 및 제 4 탄성 표면파 필터 소자(103, 104)에서 반사기의 갯수를 바꾸어서, 반사기의 스톱밴드 외, 특히 통과대역의 저역측이 되는 통과대역 외에서의 전기 신호의 위상 특성을 바꾸고 있다.In the first embodiment, the number of reflectors is changed in the first and second surface acoustic
이러한 구성으로 하여 종래에는 위상 특성이 실질적으로 180° 다르고, 서로 지워지는 효과를 전혀 얻을 수 없었던 영역에서도 부분적으로 동일 위상이 되기 때문에, 신호가 서로 지워지는 효과를 이용하여 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다. 또한, 반사기의 갯수 이외에도 듀티나 피치 또는 막 두께 등의 변경으로 위상 특성을 바꾸어도 동일한 효과를 얻을 수 있다.With such a configuration, since the phase characteristics are substantially different from each other by 180 ° in the past, and become partially in phase even in areas where the effects of erasing each other cannot be obtained at all, a sufficient amount of attenuation can be obtained by utilizing the effects of erasing signals from each other. In addition to the number of reflectors, the same effect can be obtained by changing the phase characteristics by changing the duty, pitch, or film thickness.
반사기의 구조의 차이에 의한 감쇠량 개선 방법으로서, 일본국 특허 공개공보 (평)7-131291호에서는 종속 접속된 탄성 표면파 필터에서, 첫번째 단과 다음 단에서 반사기의 피치 또는 갯수를 바꾸는 예가 개시되어 있다.As a method for improving the attenuation due to the difference in the structure of the reflector, Japanese Patent Laid-Open No. Hei 7-131291 discloses an example of changing the pitch or number of reflectors at the first stage and the next stage in a cascaded surface acoustic wave filter.
그러나, 상기 공보에서는 진폭 특성에 주목하여 첫번째 단과 다음 단에서의 스퓨리어스의 주파수를 바꾸어서 감쇠량의 개선을 행하는데 대하여, 본 발명에서는 각 평형 단자에 있어서 서로 진폭이 동일하고 위상이 반전되어 있으면, 전기 신호는 취소된다는 불평형 필터의 특징을 이용하고, 위상 특성을 바꾸어서 감쇠량의 개선을 행하고 있어, 원리적으로 전혀 다르다. However, in the above publication, the attenuation is improved by changing the frequency of the spurious in the first stage and the next stage by paying attention to the amplitude characteristics. In the present invention, when each balanced terminal has the same amplitude and the phase is inverted, the electric signal Uses the characteristic of the unbalanced filter to be canceled, improves the amount of attenuation by changing the phase characteristic, and in principle is completely different.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에 대하여 도 4에 기초하여 설명한다. 제 2 실시형태에서는 상기 제 1 실시형태와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는 동일 번호를 부여하고 그들의 설명을 생략하였다.Next, the surface acoustic wave filter device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4. In 2nd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the member which has a function similar to the said 1st Embodiment, and their description was abbreviate | omitted.
우선, 상기 탄성 표면파 필터 장치는 압전 기판 상에 형성된 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(201∼204)를 가지고 있다. 상기 탄성 표면파 필터 장치에서는 제 2 탄성 표면파 필터 소자(202)의 중앙에 배치된 IDT(228)가 제 1, 제 3, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(201, 203, 204)의 중앙에 배치된 IDT(221)와 반대 방향이 되어 있다. 도면에서는 압전 기판은 생략하고 있다.First, the surface acoustic wave filter device has first to fourth surface acoustic
제 2 실시형태는 제 1 실시형태의 구성의 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자의 중앙 IDT의 갯수를 짝수로 하여 얻어진다. 이러한 구성에서도 단자(112, 113)는 각 평형 단자로서 기능한다. 따라서, 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(201, 202)의 반사기와, 제 3 및 제 4 탄성 표면파 필터 소자(203, 204)의 반사기의 사이에서 구조를 바꾸고(예를 들어 갯수를 변경), 통과대역 외의 주파수 영역에 있어서의 위상 특성을 서로 다르게 할 수 있고, 신호가 서로 지워지는 효과를 이용하여 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다.2nd Embodiment is obtained by making the number of center IDT of the 1st-4th surface acoustic wave filter element of the structure of 1st Embodiment an even number. Even in such a configuration, the
다음으로, 본 발명의 제 3 실시형태에 나타낸 탄성 표면파 필터 장치에 대하여 도 5에 기초하여 설명한다. 상기 탄성 표면파 필터 장치는 압전 기판 상에 형성된 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)를 가지고 있다.Next, the surface acoustic wave filter device shown in the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5. The surface acoustic wave filter device has first and second surface acoustic
제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)는 그 전송 위상 특성이 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)와 반대 위상, 즉 180° 다르다. 이것은 제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)의 중앙의 IDT(328)가 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)의 중앙의 IDT(121)에 대하여 상기와 동일하게 반전하여 배치되어 있는 것에 기인한다.The second surface acoustic
도면에서는 압전 기판은 생략되어 있다. 제 3 실시형태에서는 상기 제 1 실시형태와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는 동일 번호를 부여하고 설명을 생략하였다.In the figure, the piezoelectric substrate is omitted. In 3rd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the member which has a function similar to the said 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.
제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)의 구성은The configuration of the first surface acoustic
교차폭 W:115㎛Cross width W: 115㎛
IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 12/17/12IDT Number 2/1/3: 12/17/12
IDT 피치 PI : 2.10㎛IDT Pitch PI: 2.10㎛
듀티(전극피복율) L/P : 0.72Duty (electrode coverage) L / P: 0.72
반사기 갯수 NR : 90개Number of reflectors NR: 90
반사기 피치 PR : 2.15㎛Reflector Pitch PR: 2.15㎛
반사기의 막 두께 :345nm이다.The film thickness of the reflector is 345 nm.
제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)의 구성은The configuration of the second surface acoustic
교차폭 W:115㎛Cross width W: 115㎛
IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 12/17/12IDT Number 2/1/3: 12/17/12
IDT 피치 PI : 2.10㎛IDT Pitch PI: 2.10㎛
듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70
반사기 갯수 NR : 73개Number of reflectors NR: 73
반사기 피치 PR : 2.15㎛ Reflector Pitch PR: 2.15㎛
반사기의 막 두께 :345nmFilm thickness of reflector: 345nm
기판 :LiTaO3 이다.Substrate: LiTaO 3 to be.
제 3 실시형태의 구성에서 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)와 제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)는 반사기의 스톱밴드 내에 있어서는 위상 특성이 180° 다르고, 진폭 특성이 실질적으로 동일한 전송 특성이 얻어진다.In the configuration of the third embodiment, the first surface acoustic
이들의 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)를 제 3 실시형태처럼 서로 접속하여 입력측이 불평형이고, 출력측이 평형이 되는 탄성 표면파 필터 장치가 얻어진다.These first and second surface acoustic
반사기의 스톱밴드 외의 통과대역 근방이라면 탄성 표면파가 여진되어 있는 주파수 영역이 존재한다. 이 주파수 영역에 있어서는 반사기의 갯수, 듀티, 피치, 막 두께에 의해 전송 특성이 결정된다.In the vicinity of the pass band other than the stop band of the reflector, there is a frequency range where the surface acoustic wave is excited. In this frequency domain, the transmission characteristics are determined by the number of reflectors, duty, pitch, and film thickness.
따라서, 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)에서 반사기의 구조를 동일하게 설정하고 있는 경우에는, 각 출력 단자가 되는 각 평형 단자에서의 전기 신호의 위상 특성은 통과대역 내와 동일하게 서로 반전된 관계가 되어, 충분한 감쇠량을 얻기 어려운 상황이었다.Therefore, when the first and second surface acoustic
제 3 실시형태에서는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)와 제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)에서 반사기의 갯수를 바꾸어서, 반사기의 스톱밴드 외의 주파수 영역, 특히 통과대역의 저역측의 통과대역 외에서의 전기 신호의 위상 특성을 바꾸고, 각 평형 단자에서의 전기 신호가 서로 지워지는 효과를 이용함으로써, 통과대역 외에 있어서, 특히 통과대역 외의 통과대역 근방에 있어서도 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다.In the third embodiment, the number of reflectors is changed in the first surface acoustic
다음으로, 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에 대하여 도 6에 기초하여 설명한다. 제 4 실시형태에서는 상기 제 3 실시형태의 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)의 각 입출력 단자의 각각에, 이하에 나타낸 탄성 표면파 공진자(403)를 각각 접속하고 있다. Next, the surface acoustic wave filter device according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6. In the fourth embodiment, the surface
탄성 표면파 공진자(403)의 구성은 이하에 나타낸 대로, The structure of the surface
교차폭 : 80㎛Cross width: 80㎛
IDT 갯수 : 90쌍Number of IDT: 90 pairs
IDT 피치 PI : 2.10㎛IDT Pitch PI: 2.10㎛
듀티(전극피복율) L/P : 0.65Duty (electrode coverage) L / P: 0.65
반사기 갯수 NR : 30개Number of reflectors NR: 30
반사기 피치 PR : 2.10㎛Reflector Pitch PR: 2.10㎛
기판 : LiTaO3 이다.Substrate: LiTaO 3 .
제 4 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에서는 상기 각 탄성 표면파 공진자(403)를 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)에 대하여 각각 접속하여 통과대역 외의 감쇠량을 개선할 수 있다.In the surface acoustic wave filter device according to the fourth embodiment, the surface
제 4 실시형태는 제 3 실시형태의 구조에 탄성 표면파 공진자(403)를 부가한 구조이다. 탄성 표면파 필터 소자(401, 402)는 제 3 실시형태와 동일하고, 대역 외 의 스톱밴드 외의 주파수 영역, 특히 통과대역의 저역측이 되는 통과 대역 외에서의 전기 신호의 위상 특성을 바꾸고, 각 평형 단자에 있어서의 전기 신호가 서로 지워지기 쉽게 하여 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다.4th Embodiment is a structure which added the surface
또한, 탄성 표면파 공진자(403)는 통과대역 내에서 공진점을 가지고, 통과대역 외에 반공진점을 구비하기 때문에 대역내 로스를 증대시키지 않고, 특정의 주파수에서의 감쇠량을 효과적으로 크게 할 수 있다.In addition, since the surface
또한, 상기에서는 복수의 탄성 표면파 필터 소자를 이용한 각 예를 들었지만, 그들에 한정되지 않고 예를 들어, 하나의 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)만을 이용하여도 마찬가지로 평형-불평형 변환 기능을 가지며, 그들의 각 반사기의 구조를 전술한 바와 같이 서로 다르게 설정하여, 스퓨리어스 레벨을 감소하는 것이 가능해진다.In addition, although each example using the plurality of surface acoustic wave filter elements has been described above, the present invention is not limited thereto, and, for example, even using only one fourth surface acoustic
또한, 상기에서는 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 반대 위상으로 설정하기 위하여, 하나의 IDT의 배치를 반대 방향으로 설정한 예를 들었지만, 그에 한정되지 않고 예를 들어, 하나의 IDT-IDT의 간격을 다른 IDT-IDT의 간격에 대하여 약 0.5λ만큼 다르게 하여, 이용하는 탄성 표면파 필터 소자를 다른 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 반대 위상으로 설정하여도 된다.In addition, in the above example, in order to set the at least one surface acoustic wave filter element to the opposite phase, an example in which the arrangement of one IDT is set in the opposite direction has been exemplified, but the present invention is not limited thereto. The surface acoustic wave filter element to be used may be set in the opposite phase with respect to the other surface acoustic wave filter elements by varying the distance of another IDT-IDT by about 0.5 lambda.
또한, 상기에서는 불평형 단자를 입력측에, 평형 단자를 출력측에 설정한 예를 들었지만, 그들이 반대, 즉 평형 단자를 입력측에, 불평형 단자를 출력측에 설정하여도 된다.Moreover, although the example which set the unbalanced terminal to the input side and the balanced terminal to the output side was mentioned above, they may be set to the opposite, that is, the unbalanced terminal may be set to the input side, and the unbalanced terminal may be set to the output side.
다음으로, 본 발명의 제 5 실시형태인, 상기 제 1∼제 4 실시형태에 기재된 탄성 표면파 필터 장치의 어느 하나를 이용한 통신 장치에 대하여 도 7에 기초하여 설명한다.Next, a communication apparatus using any one of the surface acoustic wave filter devices described in the first to fourth embodiments, which is the fifth embodiment of the present invention, will be described with reference to FIG. 7.
도 7에 나타내는 바와 같이, 상기 통신 장치(600)는 수신을 행하는 리시버측(Rx측)으로서, 안테나(601), 안테나 공용부/RF Top 필터(602), 증폭기(603), Rx 단간 필터(604), 믹서(605), 제 1 IF 필터(606), 믹서(607), 제 2 IF 필터(608), 제 1+제 2 로컬 신시사이저(611), TCXO(temperature compensated crystal oscillator:온도 보상형 수정 발진기)(612), 디바이더(devider:613), 로컬 필터(614)를 구비하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 7, the
Rx 단간 필터(604)로부터 믹서(605)로는 도 7에 이중선으로 나타낸 바와 같이 밸런스 특성을 확보하기 위하여 각 평형 신호로 송신하는 것이 바람직하다.It is preferable to transmit to each mixer signal from the Rx
또한, 상기 통신 장치(600)는 송신을 행하는 트랜스시버측(Tx측)으로서, 상기 안테나(601) 및 상기 안테나 공용부/RF Top 필터(602)를 공용함과 동시에, Tx IF 필터(621), 믹서(622), Tx 단간 필터(623), 증폭기(624), 커플러(coupler:625), 아이솔레이터(626), APC(automatic power control:자동 출력 제어)(627)를 구비하여 구성되어 있다.Further, the
그리고, 상기 Rx 단간 필터(604), 제 1 IF 필터(606), Tx IF 필터(621), Tx 단간 필터(623)에는 상술한 제 1∼제 4 실시형태에 기재된 탄성 표면파 필터 장치를 적절하게 이용할 수 있다.The surface acoustic wave filter device according to the first to fourth embodiments described above is suitably used for the Rx
본 발명에 따른 탄성 표면파 필터 장치는 필터 기능과 아울러 평형-불평형 변환 기능을 구비하고, 게다가 통과대역 외, 특히 통과대역 외의 통과대역의 저역측에 있어서 감쇠량이 크다는 우수한 특성을 갖는 것이다. 따라서, 상기 탄성 표면파 필터 장치를 갖는 본 발명의 통신 장치는 복합화된 기능을 갖는 상기 탄성 표면파 필터 장치를 이용함으로써, 구성 부품수를 감소할 수 있고 소형화할 수 있음과 동시에, 전송 특성(통신 특성)을 향상시킬 수 있다.The surface acoustic wave filter device according to the present invention has a filter function as well as an equilibrium-unbalance conversion function, and also has an excellent characteristic of having a large amount of attenuation outside the pass band, particularly in the low pass side of the pass band outside the pass band. Therefore, the communication apparatus of the present invention having the surface acoustic wave filter device can reduce the number of components and reduce the size of the components by using the surface acoustic wave filter device having a combined function, and at the same time, the transmission characteristics (communication characteristics). Can improve.
본 발명의 탄성 표면파 필터 장치는 이상과 같이, 압전 기판 상에, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 빗살형 전극부 및 반사기를 구비한 탄성 표면파 필터 소자가 평형-불평형 변환 기능을 갖도록 형성되고, 상기 복수의 탄성 표면파 필터 소자 중 다른 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되는 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 포함하고, 상기 각 반사기 중 적어도 하나가 다른 반사기와 구조가 서로 다른 구성이다.In the surface acoustic wave filter device of the present invention, a surface acoustic wave filter element having a plurality of comb-shaped electrode portions and reflectors formed along the propagation direction of the surface acoustic wave on the piezoelectric substrate is formed to have a balanced-unbalance conversion function. And at least one surface acoustic wave filter element having a transmission phase characteristic opposite to that of other surface acoustic wave filter elements among the plurality of surface acoustic wave filter elements, wherein at least one of the reflectors has a different structure from the other reflectors. to be.
그러므로, 상기 구성은 각 반사기 중 적어도 하나를 다른 반사기와 구조가 다르도록 함으로써, 통과대역 외에 있어서, 특히 통과대역 외의 통과대역 근방의 불필요한 스퓨리어스의 발생을 감소할 수 있기 때문에, 일 단 구성에 있어서도 비교적 용이하게 필요한 감쇠량을 얻을 수 있다.Therefore, in the above configuration, since at least one of each reflector has a different structure from the other reflector, it is possible to reduce the occurrence of unnecessary spurious outside the pass band, especially in the vicinity of the pass band outside the pass band. The required amount of attenuation can be easily obtained.
따라서, 상기 구성에서는 통과대역 외, 특히 저역측에서의 감쇠량이 크고, 저손실이며 입출력 임피던스가 서로 다른 평형-불평형 입출력 탄성 표면파 필터 장치를 얻을 수 있는 효과를 갖는다.Therefore, the above configuration has the effect of obtaining a balanced-unbalanced input and output surface acoustic wave filter device having a large amount of attenuation outside the pass band, especially at the low side, low loss, and having different input and output impedances.
본 발명의 통신 장치는 이상과 같이 상기 탄성 표면파 필터 장치를 갖는 구성이다.The communication device of the present invention has a configuration including the surface acoustic wave filter device as described above.
그러므로, 상기 구성은 통과대역 외, 특히 저역측에서의 감쇠량이 크고, 저손실이라는 우수한 전송 특성을 구비한 탄성 표면파 필터 장치를 갖기 때문에, 우수한 통신 특성을 발휘할 수 있는 효과를 갖는다.
Therefore, the above configuration has the effect of exerting excellent communication characteristics because it has a surface acoustic wave filter device having excellent transmission characteristics such as low loss and a large amount of attenuation outside the pass band, especially at the low pass side.
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---|---|---|---|---|
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JP3864850B2 (en) * | 2001-08-09 | 2007-01-10 | 株式会社村田製作所 | Surface acoustic wave filter, communication device |
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JP3826877B2 (en) * | 2002-01-22 | 2006-09-27 | 株式会社村田製作所 | Surface acoustic wave device and communication device having the same |
JP2004166213A (en) * | 2002-09-20 | 2004-06-10 | Murata Mfg Co Ltd | Surface acoustic wave device, and communication apparatus |
US7242268B2 (en) | 2002-10-25 | 2007-07-10 | Hitachi Metals, Ltd. | Unbalanced-balanced multiband filter module |
JP4273935B2 (en) * | 2003-01-24 | 2009-06-03 | 株式会社村田製作所 | Surface acoustic wave device, communication device |
JP2004304513A (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Surface acoustic wave device |
JP3985717B2 (en) | 2003-04-10 | 2007-10-03 | 株式会社村田製作所 | Surface acoustic wave device and communication device using the same |
CN101699768B (en) * | 2004-07-23 | 2012-07-11 | 株式会社村田制作所 | Acoustic surface wave device |
DE102004056946A1 (en) * | 2004-11-23 | 2006-05-24 | Karl Storz Gmbh & Co. Kg | Image pick-up module and method of assembling an image pick-up module |
EP1852973A4 (en) * | 2005-02-16 | 2011-09-07 | Murata Manufacturing Co | Balanced surface acoustic wave filter |
JP4534990B2 (en) | 2006-01-12 | 2010-09-01 | 株式会社村田製作所 | Surface acoustic wave filter device and duplexer |
JP4158818B2 (en) * | 2006-06-21 | 2008-10-01 | 株式会社村田製作所 | Elastic wave filter device and duplexer |
EP2066026B1 (en) * | 2006-09-22 | 2016-04-13 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter device |
EP2202882A4 (en) * | 2007-10-18 | 2011-12-21 | Murata Manufacturing Co | Surface acoustic wave resonator and ladder type filter |
JP2009206688A (en) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Fujitsu Media Device Kk | Balance filter |
WO2009113274A1 (en) | 2008-03-14 | 2009-09-17 | パナソニック株式会社 | Elastic wave filter, and duplexer and electronic device using same |
DE102009032840B4 (en) | 2009-07-13 | 2015-02-05 | Epcos Ag | SAW filter circuit with improved ESD resistance |
JP5418091B2 (en) | 2009-09-11 | 2014-02-19 | パナソニック株式会社 | Elastic wave filter device, duplexer and electronic apparatus using the same |
WO2011065048A1 (en) * | 2009-11-26 | 2011-06-03 | 株式会社村田製作所 | Acoustic wave filter and branching filter |
WO2013141151A1 (en) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | 株式会社村田製作所 | Vertically coupled resonator-type elastic surface wave filter |
US10707905B2 (en) * | 2015-06-23 | 2020-07-07 | Skyworks Solutions, Inc. | Wideband multiplexer for radio-frequency applications |
JP6267250B2 (en) * | 2016-02-25 | 2018-01-24 | 株式会社Subaru | Hydraulic circuit abnormality detection device and hydraulic circuit abnormality detection method |
US10395542B2 (en) * | 2016-03-28 | 2019-08-27 | Cisco Technology, Inc. | Drone traffic engineering |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6454805A (en) * | 1987-08-25 | 1989-03-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | Surface acoustic wave resonator |
JPH0454011A (en) * | 1990-06-21 | 1992-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | Longitudinal dual mode surface acoustic wave filter |
JPH077370A (en) * | 1993-06-18 | 1995-01-10 | Toshiba Corp | Multistage connection surface acoustic wave multiple mode filter |
JPH09321574A (en) * | 1996-05-28 | 1997-12-12 | Fujitsu Ltd | Surface acoustic wave device |
JPH10261935A (en) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Murata Mfg Co Ltd | Surface acoustic wave element |
KR19990072655A (en) * | 1998-02-17 | 1999-09-27 | 무라타 야스타카 | Surface acoustic wave filter |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5392013A (en) * | 1992-07-17 | 1995-02-21 | Nec Corporation | Surface acoustic wave filter capable of widening a bandwidth |
JP3254779B2 (en) * | 1993-01-05 | 2002-02-12 | 株式会社村田製作所 | Multi-electrode surface acoustic wave device |
JPH07131291A (en) | 1993-10-29 | 1995-05-19 | Kinseki Ltd | Dual mode surface acoustic wave filter |
EP0746095B1 (en) * | 1995-05-29 | 2007-02-14 | SANYO ELECTRIC Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
CA2178438C (en) * | 1995-06-16 | 2001-11-20 | Ji-Dong Dai | Cascaded surface wave device filters |
JPH09116372A (en) * | 1995-10-20 | 1997-05-02 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Surface acoustic wave device |
JPH09205342A (en) * | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Surface acoustic wave filter |
JP3186604B2 (en) | 1996-10-09 | 2001-07-11 | 株式会社村田製作所 | Surface acoustic wave filter device |
US5896071A (en) * | 1997-05-15 | 1999-04-20 | Northern Telecom Limited | Surface wave device balun resonator filters |
JP3869919B2 (en) * | 1997-11-05 | 2007-01-17 | Tdk株式会社 | Surface acoustic wave device |
DE19818038B4 (en) | 1998-04-22 | 2004-07-22 | Epcos Ag | Dual-mode surface acoustic wave filters |
JP2000059176A (en) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Toshiba Corp | Surface acoustic wave element |
DE19938748B4 (en) * | 1999-08-16 | 2007-02-01 | Epcos Ag | Dual mode surface wave filter with improved symmetry and increased stop attenuation |
JP2001267885A (en) | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Fujitsu Media Device Kk | Surface acoustic wave device |
JP3534080B2 (en) * | 2001-03-23 | 2004-06-07 | 株式会社村田製作所 | Surface acoustic wave filter device |
-
2001
- 2001-04-18 JP JP2001119963A patent/JP3509771B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-04-16 TW TW091107704A patent/TWI300651B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-04-17 US US10/123,452 patent/US6891451B2/en not_active Expired - Lifetime
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- 2002-04-18 KR KR1020020021198A patent/KR100609966B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6454805A (en) * | 1987-08-25 | 1989-03-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | Surface acoustic wave resonator |
JPH0454011A (en) * | 1990-06-21 | 1992-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | Longitudinal dual mode surface acoustic wave filter |
JPH077370A (en) * | 1993-06-18 | 1995-01-10 | Toshiba Corp | Multistage connection surface acoustic wave multiple mode filter |
JPH09321574A (en) * | 1996-05-28 | 1997-12-12 | Fujitsu Ltd | Surface acoustic wave device |
JPH10261935A (en) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Murata Mfg Co Ltd | Surface acoustic wave element |
KR19990072655A (en) * | 1998-02-17 | 1999-09-27 | 무라타 야스타카 | Surface acoustic wave filter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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