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KR100609966B1 - Surface acoustic wave filter apparatus and communication apparatus - Google Patents

Surface acoustic wave filter apparatus and communication apparatus Download PDF

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KR100609966B1
KR100609966B1 KR1020020021198A KR20020021198A KR100609966B1 KR 100609966 B1 KR100609966 B1 KR 100609966B1 KR 1020020021198 A KR1020020021198 A KR 1020020021198A KR 20020021198 A KR20020021198 A KR 20020021198A KR 100609966 B1 KR100609966 B1 KR 100609966B1
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surface acoustic
acoustic wave
wave filter
filter element
reflectors
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KR1020020021198A
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사와다요이치
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

본 발명은 통과대역 외에 발생하는 스퓨리어스 레벨이 개선되고, 평형-불평형 입출력 기능을 갖는 탄성 표면파 필터 장치 및 통신 장치를 제공한다.The present invention provides a surface acoustic wave filter device and a communication device with improved spurious levels occurring outside the passband and having a balanced-unbalanced input / output function.

압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 3개의 빗살형 전극부(121, 122, 123 또는 121, 128, 123)와, 상기 각 빗살형 전극부(121∼123)를 사이에 두고 각 반사기(124, 125 또는 126, 127)를 구비한, 4개의 종결합 공진자형 탄성 표면파 필터 소자(101∼104)를 평형-불평형 입출력 기능을 갖도록 형성한다. 각 반사기(124, 125) 와 반사기(126, 127)를 전극지의 갯수, 피치, 듀티 및 막 두께의 적어도 하나가 서로 다르도록 형성한다.Each reflector having three comb-shaped electrode portions 121, 122, 123 or 121, 128, 123 formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave, and the comb-shaped electrode portions 121-123 interposed therebetween. Four longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter elements 101 to 104 having 124, 125 or 126, 127 are formed to have a balanced-unbalanced input / output function. Each of the reflectors 124 and 125 and the reflectors 126 and 127 is formed so that at least one of the number, pitch, duty and film thickness of the electrode finger is different from each other.

탄성 표면파 필터 소자, IDT, 반사기Surface acoustic wave filter element, IDT, reflector

Description

탄성 표면파 필터 장치 및 통신 장치{Surface acoustic wave filter apparatus and communication apparatus}Surface acoustic wave filter apparatus and communication apparatus

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 상기 탄성 표면파 필터 장치에 있어서의 각 주파수에 대한 전송 특성을 나타내는 그래프이다.Fig. 2 is a graph showing transmission characteristics with respect to each frequency in the surface acoustic wave filter device.

도 3은 종래의 탄성 표면파 필터 장치에 있어서의 각 주파수에 대한 전송 특성을 나타내는 그래프이다.3 is a graph showing transmission characteristics with respect to each frequency in a conventional surface acoustic wave filter device.

도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.4 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a second embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.5 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a third embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.6 is a schematic configuration diagram of a surface acoustic wave filter device according to a fourth embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 통신 장치의 주요부 블럭도이다.7 is a block diagram of an essential part of the communication device of the present invention.

도 8은 종래의 탄성 표면파 필터 장치의 개략 구성도이다.8 is a schematic configuration diagram of a conventional surface acoustic wave filter device.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명> <Brief description of the main parts of the drawing>                 

101,102,103,104 탄성 표면파 필터 소자101,102,103,104 surface acoustic wave filter element

121,122,123,128 IDT(빗살형 전극부)121,122,123,128 IDT (comb-shaped electrode part)

124,125,126,127 반사기124,125,126,127 Reflector

본 발명은 탄성 표면파 필터 장치, 특히 입력측과 출력측의 특성 임피던스가 다르고, 평형-불평형 변환 기능을 갖는 탄성 표면파 필터 장치, 및 이를 갖는 통신 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a surface acoustic wave filter device, in particular a surface acoustic wave filter device having a characteristic impedance at the input side and an output side and having a balanced-to-unbalance conversion function, and a communication device having the same.

최근, 휴대 전화기 등의 통신 장치의 소형화, 경량화에 대한 기술적 진보는 눈부시다. 이것을 실현하기 위한 수단으로서, 각 구성 부품의 삭감, 소형화는 물론 복수의 기능을 복합한 부품의 개발도 진행되고 있다.In recent years, technological advances in miniaturization and weight reduction of communication devices such as mobile phones have been remarkable. As a means for realizing this, the reduction and miniaturization of each component, as well as the development of components incorporating a plurality of functions are also in progress.

이러한 상황을 배경으로 RF단에 사용하는 탄성 표면파 필터 장치에 평형-불평형 변환 기능, 소위 발룬(balun)의 기능을 구비한 것도 최근 활발히 연구되어, GSM(Global System for Mobile communications) 등을 중심으로 사용되어지고 있다.Against this backdrop, the equilibrium-to-unbalance conversion function and so-called balun function have been actively studied in the surface acoustic wave filter device used in the RF stage, and used mainly for GSM (Global System for Mobile communications). It is done.

통신 장치에서는, 안테나에서 필터까지의 부분은 불평형 신호로 50Ω의 특성 임피던스를 이용하는 것이 일반적이고, 필터 후에 사용되는 증폭기 등은 평형 신호로 150Ω에서 200Ω의 임피던스를 이용하는 경우가 많다.In a communication device, the portion from the antenna to the filter generally uses a characteristic impedance of 50 Ω as an unbalanced signal, and an amplifier or the like used after the filter often uses an impedance of 150 to 200 Ω as a balanced signal.

이 50Ω 불평형 신호에서 150Ω∼200Ω 평형 신호로 변환하는 기능을 아울러 구비한 탄성 표면파 필터 장치로서는 예를 들어, 일본국 특허 공개공보 (평)10- 117123호에 개시되어 있는 바와 같이, 탄성 표면파 필터 소자를 4소자 이용함으로써 불평형 입력-평형 출력을 실현한 것이 알려져 있다. 상기 공보에 나타나 있는 탄성 표면파 필터 장치의 구성을 도 8에 나타낸다.As a surface acoustic wave filter device having a function of converting a 50Ω unbalanced signal into a 150Ω to 200Ω balanced signal, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-117123, a surface acoustic wave filter element It is known to realize an unbalanced input-balanced output by using four elements. The structure of the surface acoustic wave filter device shown in the said publication is shown in FIG.

상기 탄성 표면파 필터 장치에서는 위상 특성이 서로 동일한 각 탄성 표면파 필터 소자(501, 502)를 2단으로 종속 접속한 종속 탄성 표면파 필터부(511); 탄성 표면파 필터 소자(503), 및 탄성 표면파 필터 소자(503)와는 전송 위상이 약 180°다른 탄성 표면파 필터 소자(504)를 종속 접속한 종속 탄성 표면파 필터부(512); 를 가지고, 각각의 입출력 단자의 하나를 병렬 접속, 다른 하나를 직렬 접속하고, 병렬 접속 단자를 불평형 단자(505), 직렬 접속 단자를 각 평형 단자(506, 507)로 하고 있다.The surface acoustic wave filter device includes: a dependent surface acoustic wave filter unit 511 which cascades two surface acoustic wave filter elements 501 and 502 having the same phase characteristics in two stages; A dependent surface acoustic wave filter 512 which cascades the surface acoustic wave filter element 503 and the surface acoustic wave filter element 504 whose transmission phase is different from the surface acoustic wave filter element 503 by about 180 degrees; One of each input / output terminal is connected in parallel, the other is connected in series, the parallel connection terminal is the unbalanced terminal 505, and the series connection terminal is the balanced terminal 506, 507, respectively.

이러한 평형-불평형 입출력 기능을 갖는 탄성 표면파 필터 장치에 있어서는 각 평형 단자(506, 507)로부터의 출력은 각 평형 단자(506, 507) 사이의 차동으로서 동작하기 때문에, 각각의 각 평형 단자(506, 507) 사이에서의 각 전기 신호의 위상이 서로 180° 반전하고 있는 상태에서 최대의 출력이 얻어진다. 반대로, 각각의 평형 단자(506, 507) 사이에서의 전기 신호의 위상이 동일한 경우에는 상기 각 전기 신호는 상쇄되기 때문에, 2개의 전기 신호의 레벨이 가까울수록 큰 감쇠량이 얻어진다.In the surface acoustic wave filter device having such a balanced-unbalanced input / output function, since the outputs from the balanced terminals 506 and 507 operate as differentials between the balanced terminals 506 and 507, the respective balanced terminals 506, The maximum output is obtained in the state where the phases of the respective electric signals between 507 are inverted by 180 ° from each other. On the contrary, when the electric signals between the balanced terminals 506 and 507 have the same phase, the electric signals are canceled, so that the closer the levels of the two electric signals are, the larger the amount of attenuation is obtained.

따라서, 탄성 표면파 필터 장치를 구성할 때, 각 평형 단자(506, 507)로부터의 각 출력은 통과대역에서는 위상이 180° 반전하고, 저지역(통과대역 외)에 있어서는 동위상인 것이 바람직하다. Therefore, when constructing the surface acoustic wave filter device, it is preferable that the respective outputs from the balanced terminals 506 and 507 are in phase 180 degrees in the pass band and in phase in the low region (outside the pass band).                         

일본국 특허 공개공보 (평)10-117123호에 개시되어 있는 탄성 표면파 필터 장치 등에서는 탄성 표면파 필터 소자를 4개 이용하고, 그 중에서 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 위상 반전시키는 방법으로서, 빗살형 전극부(Inter-Digital Transducer, 이하 IDT라 한다)의 방향을 탄성 표면파의 반전 방향을 대칭축으로 하여 반전시키거나, 또는 하나의 IDT-IDT의 간격을 0.5λ(파장)만큼 넓히는 수법을 이용하고 있다.In the surface acoustic wave filter device and the like disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-117123, four surface acoustic wave filter elements are used, and a method of reversing one surface acoustic wave filter element among them is a comb-shaped electrode. The direction of the negative (Inter-Digital Transducer, hereinafter referred to as IDT) is inverted using the inversion direction of the surface acoustic wave as the symmetry axis, or the interval of one IDT-IDT is widened by 0.5 lambda (wavelength).

이 구성에 의해, 통과대역 내에서는 각각의 평형 단자(506, 507)의 위상 특성은 반전하고 있고, 또한 탄성 표면파가 거의 여진되어 있지 않은 주파수역에 있어서는 각각의 평형 단자(506, 507)의 위상 특성은 동위상이 되어 있다.With this configuration, the phase characteristics of the balanced terminals 506 and 507 are inverted in the pass band, and the phases of the balanced terminals 506 and 507 in the frequency range where the surface acoustic waves are hardly excited. The characteristics are in phase.

그러나 상기 종래의 구성에서 통과대역 근방의 통과대역 외에서의 스퓨리어스는 탄성 표면파의 여진에 의한 것으로, 이 스퓨리어스가 발생하는 범위에서는 통과대역과 마찬가지로 각각의 평형 단자(506, 507)의 위상 특성은 반전하고, 차동 상태에서의 신호 취소 효과를 얻을 수 없어, 통과대역 근방의 통과대역 외에서의 감쇠량이 부족하다는 문제점이 발생한다.However, in the conventional configuration, the spurious outside the pass band near the pass band is caused by the excitation of surface acoustic waves, and the phase characteristics of the respective balanced terminals 506 and 507 are inverted similarly to the pass band in the range where this spurious occurs. Therefore, the signal cancellation effect in the differential state cannot be obtained, resulting in a problem that the amount of attenuation outside the pass band near the pass band is insufficient.

본 발명은 통과대역 외의 통과대역 근방에 있어서의 감쇠 특성도 양호한 평형-불평형 입출력 기능을 구비한 탄성 표면파 필터 장치 및 통신 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter device and a communication device having a balanced-unbalanced input / output function having good attenuation characteristics in the vicinity of a passband other than the passband.

본 발명의 탄성 표면파 필터 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여 압전 기판 상에, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 복수의 탄성 표면파 필터 소자가, 평형-불평형 변환 기능을 갖도록 형성되고, 상기 복수의 탄성 표면파 필터 소자 중 다른 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되는 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 포함하고, 상기 각 반사기 중 적어도 하나가 다른 반사기와 구조가 서로 다른 것을 특징으로 한다.In the surface acoustic wave filter device of the present invention, in order to solve the above problems, a plurality of surface acoustic wave filter elements having a plurality of IDTs formed along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof are balanced. At least one surface acoustic wave filter element which is formed to have an unbalance conversion function and whose transmission phase characteristic is opposite to that of other surface acoustic wave filter elements of the plurality of surface acoustic wave filter elements, wherein at least one of the reflectors It is characterized by different reflectors and structures.

상기 구성에 의하면, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT를 갖는 것에 의해, 각 IDT의 전기 신호와 탄성 표면파 사이의 변환에 의해 결정되는 통과대역 주파수의 전기 신호를 저손실로 통과시키고, 통과대역 외의 전기 신호를 감소시키는 필터 기능을 발휘할 수 있게 된다.According to the above configuration, by having a plurality of IDTs formed along the propagation direction of the surface acoustic wave, the electrical signal of the passband frequency determined by the conversion between the electrical signal of each IDT and the surface acoustic wave passes at low loss, and the passband It is possible to exert a filter function to reduce external electric signals.

또한, 상기 구성에서는 탄성 표면파 필터 소자를 평형-불평형 변환 기능을 갖도록 형성함으로써 평형-불평형 변환 기능을 발휘할 수 있다.Further, in the above configuration, the surface acoustic wave filter element is formed to have a balanced-unbalanced conversion function, thereby exhibiting a balanced-unbalanced conversion function.

상기 구성은 상기 각 IDT로부터의 탄성 표면파를 상기 각 IDT에 반사하기 위한 반사기를 구비함으로써, 발생한 탄성 표면파를 전기 신호로 변환하는 효율을 개선할 수 있다.The above configuration can improve the efficiency of converting the generated surface acoustic waves into electrical signals by providing reflectors for reflecting the surface acoustic waves from the respective IDTs to the respective IDTs.

게다가, 상기 구성은 각 반사기 중 적어도 하나를 다른 반사기와 구조를 다르게 함으로써, 통과대역 외에 있어서 특히, 통과대역 외의 통과대역 근방에서 불필요한 스퓨리어스의 발생을 감소할 수 있고, 감쇠량을 크게 할 수 있기 때문에 필요한 감쇠량을 얻을 수 있다.In addition, the above configuration requires a different structure from at least one of the reflectors, so that the generation of unnecessary spurious outside the pass band, particularly in the vicinity of the pass band outside the pass band, can be reduced and the amount of attenuation can be increased. Attenuation amount can be obtained.

본 발명의 다른 탄성 표면파 필터 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여, 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 제 1 탄성 표면파 필터 소자; 압전 기판 상에 탄성 표면파 의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비하고, 제 1 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되어 있는 제 2 탄성 표면파 필터 소자; 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각각 한 쪽의 단자를 전기적으로 병렬 접속한 불평형 단자; 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각각 다른 쪽의 단자를 전기적으로 직렬 접속한 평형 단자; 를 포함하는 탄성 표면파 필터 장치로서, 제 1 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조와 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조가 서로 다른 것을 특징으로 한다.Another surface acoustic wave filter device of the present invention comprises: a first surface acoustic wave filter element having a plurality of IDTs formed on a piezoelectric substrate along a propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof; A second surface acoustic wave filter element having a plurality of IDTs formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof, the transmission phase characteristic of which is opposite to the first surface acoustic wave filter element; ; An unbalanced terminal in which one terminal of each of the first and second surface acoustic wave filter elements is electrically connected in parallel; A balanced terminal in which terminals on the other side of the first and second surface acoustic wave filter elements are electrically connected in series; A surface acoustic wave filter device comprising: a structure of a reflector of a first surface acoustic wave filter element and a structure of a reflector of a second surface acoustic wave filter element are different from each other.

상기 탄성 표면파 필터 장치에 있어서는 제 1 탄성 표면파 필터 소자와 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각 반사기는 이들의 전극지의 갯수, 피치, 듀티(duty) 및 막 두께 중, 적어도 하나가 서로 다른 것이 바람직하다.In the surface acoustic wave filter device, preferably, each reflector of the first surface acoustic wave filter element and the second surface acoustic wave filter element is different from each other in the number, pitch, duty, and film thickness of the electrode fingers.

상기 구성에 의하면, 각 반사기 중 적어도 하나를 다른 반사기와 구조를 다르게 함으로써, 통과대역 외 특히, 통과대역 근방에 있어서 불필요한 스퓨리어스의 발생을 감소시킬 수 있고, 한 단 구성에 있어서도 비교적 용이하게 필요한 감쇠량을 얻을 수 있다.According to the above configuration, by changing the structure of at least one of the reflectors from the other reflectors, it is possible to reduce the occurrence of unnecessary spurious outside the pass band, especially in the vicinity of the pass band. You can get it.

본 발명의 다른 탄성 표면파 필터 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여, 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 제 1∼3 탄성 표면파 필터 소자; 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비하고, 제 1∼3 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되어 있는 제 4 탄성 표면파 필터 소자; 제 1 탄성 표면파 필터 소자와 제 2 탄성 표면파 필터 소자를 종속 접속한 제 1 그룹, 및 제 3 탄성 표면파 필터 소자와 제 4 탄성 표면파 필터 소자를 종속 접속한 제 2 그룹의 각각 한 쪽의 단자를 전기적으로 병렬 접속한 불평형 단자; 상기 제 1 그룹 및 제 2 그룹의 각각 다른 쪽의 단자를 전기적으로 직렬 접속한 평형 단자; 를 포함하는 탄성 표면파 필터 장치로서, 제 1∼4 탄성 표면파 필터 소자 중 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조가 다른 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조와 다른 것을 특징으로 한다.Another surface acoustic wave filter device of the present invention, in order to solve the above problems, the first to third surface acoustic wave filter element having a plurality of IDT formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof. ; A fourth surface acoustic wave having a plurality of IDTs formed along the propagation direction of the surface acoustic wave on the piezoelectric substrate and reflectors disposed on both sides thereof, the transmission phase characteristic of which is opposite to the first to third surface acoustic wave filter elements; Filter elements; One terminal of each of the first group of cascaded first and second surface acoustic wave filter elements and the second group of cascaded connection of the third and fourth surface acoustic wave filter elements are electrically connected. Unbalanced terminals connected in parallel; A balanced terminal in which respective terminals of the first group and the second group are electrically connected in series; A surface acoustic wave filter device comprising: a structure of a reflector of at least one surface acoustic wave filter element of the first to fourth surface acoustic wave filter elements is different from the structure of the reflectors of other surface acoustic wave filter elements.

상기 구성에 의하면, 복수의 단 구성에 의해 입출력 임피던스가 다른 평형-불평형 입출력 기능을 발휘할 수 있게 되고, 또한 반사기의 구조를 서로 다르게 함으로써, 통과대역 외에 있어서의 통과대역 근방의 불필요한 스퓨리어스 발생을 감소할 수 있고, 2단 구성에 의해 얻어지는 감쇠량의 개선이 가능해지기 때문에, 보다 더 고감쇠량을 얻을 수 있다.According to the above configuration, the balanced / unbalanced input / output function having different input / output impedances can be exhibited by a plurality of stage configurations, and the structure of the reflector is made different so that unnecessary spurious generation near the passband outside the passband can be reduced. It is possible to improve the amount of attenuation obtained by the two-stage configuration, so that a higher attenuation amount can be obtained.

상기 탄성 표면파 필터 장치에서는 제 1 그룹의 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조와, 제 2 그룹의 탄성 표면파 필터 소자의 반사기의 구조가 서로 다른 것이 바람직하다.In the surface acoustic wave filter device, it is preferable that the structure of the reflector of the surface acoustic wave filter element of the first group and the structure of the reflector of the surface acoustic wave filter element of the second group are different from each other.

상기 구성에 의하면, 제 1 및 제 2의 각 그룹의 각 반사기의 구조를 서로 다르게 함으로써, 통과대역 외에 있어서의 통과대역 근방의 불필요한 스퓨리어스 발생을 더욱 확실하게 감소할 수 있다.According to the above configuration, by differenting the structures of the reflectors of each of the first and second groups, unnecessary spurious generation near the pass band outside the pass band can be more surely reduced.

상기 탄성 표면파 필터 장치에 있어서는 반사기의 전극지의 갯수, 피치, 듀티 및 막 두께 중 적어도 하나를 서로 다르게 함으로써, 반사기의 구조를 다르게 하는 것이 바람직하다. In the surface acoustic wave filter device, it is preferable to change the structure of the reflector by varying at least one of the number, pitch, duty, and film thickness of the electrode fingers of the reflector.                     

본 발명의 통신 장치는 상기 문제점을 해결하기 위하여, 상술한 어느 하나의 탄성 표면파 필터 장치를 갖는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problem, the communication device of the present invention is characterized by having any one of the surface acoustic wave filter devices described above.

상기 구성에 의하면, 통과대역에 있어서 저손실이고, 통과대역 외 특히, 통과대역 외의 통과대역의 저역측에서의 감쇠량이 큰, 우수한 전송 특성을 구비한 탄성 표면파 필터 장치를 갖기 때문에 우수한 통신 특성을 발휘할 수 있다.According to the said structure, since it has a low loss in a passband, and has the surface acoustic wave filter apparatus which has the outstanding transmission characteristic which has a large amount of attenuation outside the pass band, especially the low band of the pass band outside a pass band, it can exhibit the outstanding communication characteristic.

[발명의 실시형태]Embodiment of the Invention

본 발명의 각 실시형태에 대하여 도 1∼도 7에 기초하여 설명하면 이하와 같다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Each embodiment of this invention is described below based on FIGS.

본 발명의 제 1 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에서는 도 1에 나타낸 바와 같이, 압전 기판 상에 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(101∼104)가 형성되어 있다. 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 전송 위상 특성이 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)와, 반대 위상 즉, 약 180° 다르도록 설정되어 있다. 도면에서는 압전 기판은 생략하고 있다.In the surface acoustic wave filter device according to the first embodiment of the present invention, as shown in Fig. 1, first to fourth surface acoustic wave filter elements 101 to 104 are formed on a piezoelectric substrate. The fourth surface acoustic wave filter element 104 is set so that the transmission phase characteristic differs from the third surface acoustic wave filter element 103 in an opposite phase, that is, about 180 degrees. In the figure, the piezoelectric substrate is omitted.

우선, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 대하여 설명한다. 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)는 3개의 각 IDT(123, 121, 122)를 갖는다.First, the first surface acoustic wave filter element 101 will be described. The first surface acoustic wave filter element 101 has three respective IDTs 123, 121, 122.

IDT는 띠 형상의 기단부(bus bar)와, 그 기단부의 한 쪽의 측부에서 상기 기단부의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향으로 연장되는 복수의, 서로 평행한 전극지를 구비한 전극지부를 2개 구비하고, 상기 각 전극지부의 전극지의 측부를 서로 대면하도록 서로의 전극지 사이에 들어간 상태로, 상기 각 전극지부를 갖는 것이다. The IDT includes two electrode supporting parts including a strip-shaped bus bar and a plurality of parallel electrode fingers extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the proximal end at one side of the proximal end. And each of the electrode finger portions in a state in which the electrode portions of the electrode finger portions face each other so as to face each other.                     

이러한 IDT에서는 각 전극지의 길이나 폭, 인접하는 각 전극지의 간격(피치), 서로의 전극지 사이에서 들어간 상태의 대면 길이를 나타내는 교차폭을 각각 설정함으로써, 신호 변환 특성이나 통과대역의 설정(바꿔 말하면 통과대역 외의 설정)이 가능하게 된다.In such an IDT, the signal conversion characteristics and the pass band are set by changing the length and width of each electrode finger, the interval (pitch) of adjacent electrode fingers, and the cross widths representing the lengths of facings in the state of entering between the electrode fingers. In other words, setting outside of the pass band is possible.

각 IDT(123, 121, 122)는 이들의 전극지가 탄성 표면파의 전파 방향에 대하여 직교함과 동시에, 탄성 표면파의 전파 방향을 따르도록, 상기 기재한 순서로 압전 기판 상에 배치되어 있다. 중앙의 IDT(121)는 불평형 단자(111)에 접속된 시그널 전극지(121a)와 접지 전극지(121b)를 가지고 있다. IDT(122)는 시그널 전극지(122a)와 접지 전극지(122b)를 가지고 있다. IDT(123)는 시그널 전극지(123a)와 접지 전극지(123b)를 가지고 있다. Each IDT 123, 121, 122 is arranged on the piezoelectric substrate in the above-described order so that these electrode fingers are perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave and along the propagation direction of the surface acoustic wave. The center IDT 121 has a signal electrode finger 121a and a ground electrode finger 121b connected to the unbalanced terminal 111. The IDT 122 has a signal electrode finger 122a and a ground electrode finger 122b. The IDT 123 has a signal electrode finger 123a and a ground electrode finger 123b.

또한, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에는 각 IDT(123, 121, 122)를 사이에 두도록, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라서 각 반사기(124, 125)가 배치되어 있다. 각 반사기(124, 125)는 전파되어 온 탄성 표면파를 반사하고, 전파되어 온 방향으로 되돌리는 기능을 가지고 있다.In addition, the reflectors 124 and 125 are disposed in the first surface acoustic wave filter element 101 along the propagation direction of the surface acoustic waves so as to sandwich the IDTs 123, 121, and 122. Each reflector 124, 125 has a function of reflecting the surface acoustic wave which has propagated and returning it in the direction which has propagated.

따라서, 반사기(124)는 IDT(122)를 사이에 두고, IDT(121)와 반대측의 탄성 표면파의 전파 방향을 따른 위치에 배치되어 있다. 또한, 반사기(125)는 IDT(123)를 사이에 두고 IDT(121)와 반대측의 탄성 표면파의 전파 방향을 따른 위치에 배치되어 있다.Therefore, the reflector 124 is arrange | positioned in the position along the propagation direction of the surface acoustic wave on the opposite side to IDT 121, with IDT 122 interposed. In addition, the reflector 125 is arrange | positioned in the position along the propagation direction of the surface acoustic wave on the opposite side to IDT121, with IDT123 between them.

이러한 반사기(124, 125)는 한 쌍의 띠 형상의 기단부(bus bar)와, 그들의 기단부의 한 쪽의 측부에서 상기 기단부의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향으로 연 장하고, 상기 각 기단부를 연결하는, 복수의 서로 평행한 전극지를 압전 기판 상에 구비하고 있다.The reflectors 124 and 125 extend in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the proximal end at one side of the proximal end of a pair of band-shaped bus bars and connect the proximal ends. And a plurality of electrode fingers parallel to each other are provided on the piezoelectric substrate.

이에 따라, 반사기(124, 125)는 전파되어 오는 탄성 표면파에 의해 여진되고, 그 여진 전기 신호에 의해 발생한 탄성 표면파에 따라 진행되어 오는 탄성 표면파를 상쇄함과 동시에, 상기 탄성 표면파의 전파 방향과 반대 방향의 새로운 탄성 표면파를 발생하도록 설정되어 있다. 즉, 반사기(124, 125)는 전파되어 오는 탄성 표면파를 유사적으로 반사하도록 되어 있다.Accordingly, the reflectors 124 and 125 are excited by the surface acoustic wave propagated, and cancel the surface acoustic wave which proceeds according to the surface acoustic wave generated by the excitation electric signal, and at the same time, opposite the direction of propagation of the surface acoustic wave. It is set to generate a new surface acoustic wave in the direction. In other words, the reflectors 124 and 125 are configured to similarly reflect the surface acoustic waves that propagate.

다음으로, 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)에 대하여 설명한다. 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)와 동일한 진폭 특성이나 위상 특성을 가지고 있다.Next, the second surface acoustic wave filter element 102 will be described. The second surface acoustic wave filter element 102 has the same amplitude characteristics and phase characteristics as the first surface acoustic wave filter element 101.

제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 배치는 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 탄성 표면파의 전파 방향이 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 있어서의 탄성 표면파의 전파 방향에 대하여 실질적으로 평행이 되도록, 또한 상기 전파 방향을 대칭선으로 하여 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 대하여 선 대칭이 되도록 되어 있다.The arrangement of the second surface acoustic wave filter element 102 is such that the propagation direction of the surface acoustic wave of the second surface acoustic wave filter element 102 is substantially parallel to the propagation direction of the surface acoustic wave in the first surface acoustic wave filter element 101. In this way, the propagation direction is set to be a symmetrical line so as to be linearly symmetrical with respect to the first surface acoustic wave filter element 101.

이에 따라, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)와 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)를 근접하여 배치할 수 있고, 또한 그들의 접속을 간소화할 수 있어, 소형화를 도모할 수 있다.Thereby, the 1st surface acoustic wave filter element 101 and the 2nd surface acoustic wave filter element 102 can be arrange | positioned adjacently, can also simplify their connection, and can be miniaturized.

이러한 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)에서는 그들의 시그널 전극지(122a, 123a)가 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 시그널 전극지(122a, 123a)에 접속됨으 로써, 종속 접속이 실현되고 있다. 또한, 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 IDT(121)의 시그널 전극지(121a)는 한 쪽의 평형 단자(112)에 접속되어 있다.In the second surface acoustic wave filter element 102, the signal electrode fingers 122a and 123a are connected to the signal electrode fingers 122a and 123a of the first surface acoustic wave filter element 101, thereby making the cascade connection. . The signal electrode finger 121a of the IDT 121 of the second surface acoustic wave filter element 102 is connected to one balanced terminal 112.

다음으로, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)에 대하여 설명한다. 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 반사기(124, 125) 대신에 그것과 구조가 서로 다른 반사기(126, 127:예를 들어, 전극지의 갯수가 다르다)를 이용한 이외에는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)와 동일한 구조를 가지고 있다.Next, the third surface acoustic wave filter element 103 will be described. Instead of the reflectors 124 and 125 of the first surface acoustic wave filter element 101, the third surface acoustic wave filter element 103 has reflectors 126 and 127 having different structures from those of the first surface acoustic wave filter element 101 (for example, the number of electrode fingers is different). Except for using the above, it has the same structure as the first surface acoustic wave filter element 101.

또한, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 탄성 표면파의 전파로 상에, 상기 전파 방향을 따라 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)가 배치되어도, 각 반사기(124, 125, 126, 127)가 그들 사이에 배치되게 되기 때문에, 상호간의 탄성 표면파의 간섭은 방지되어 있다.The third surface acoustic wave filter element 103 is preferably arranged along the propagation direction on the propagation path of the surface acoustic wave of the first surface acoustic wave filter element 101. Even if such a third surface acoustic wave filter element 103 is disposed, since the reflectors 124, 125, 126, and 127 are arranged between them, interference of surface acoustic waves with each other is prevented.

따라서, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)를 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)에 대하여 상기와 같이 배치함으로써, 탄성 표면파의 전파로 상을 벗어나서 배치하는 경우와 비교하여 소형화할 수 있다.Therefore, by arranging the third surface acoustic wave filter element 103 with respect to the first surface acoustic wave filter element 101 as described above, it can be miniaturized as compared with the case where the surface acoustic wave propagates out of phase.

마지막으로, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)에 대하여 설명한다. 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 IDT(121) 대신에, 상기 IDT(121)와 반대 위상이 되는 IDT(128)를 이용한 이외에는 동일한 구성을 가지고 있다.Finally, the fourth surface acoustic wave filter element 104 will be described. The fourth surface acoustic wave filter element 104 has the same configuration except for using the IDT 128 that is out of phase with the IDT 121 instead of the IDT 121 of the third surface acoustic wave filter element 103.

또한, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)의 각 시그널 전극지(122a, 123a)는 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 각 시그널 전극지(122a, 123a)에 대하여, 각각 접속되어 있다. 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)의 IDT(128)의 시그널 전극지(128a)는 다른 쪽의 평형 단자(113)에 접속되어 있다.The signal electrode fingers 122a and 123a of the fourth surface acoustic wave filter element 104 are connected to the signal electrode fingers 122a and 123a of the third surface acoustic wave filter element 103, respectively. The signal electrode finger 128a of the IDT 128 of the fourth surface acoustic wave filter element 104 is connected to the other balanced terminal 113.

제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 그 탄성 표면파의 전파 방향이 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 탄성 표면파의 전파 방향에 대하여, 실질적으로 평행이 되도록 근접하여 형성되어 있다. 또한, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 그 탄성 표면파의 전파 방향이 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 탄성 표면파의 전파로 상이어도 된다. 이들의 구성에 의하여 상기와 동일하게 소형화할 수 있다.The fourth surface acoustic wave filter element 104 is formed in such a manner that the propagation direction of the surface acoustic wave is substantially parallel to the propagation direction of the surface acoustic wave of the third surface acoustic wave filter element 103. The surface acoustic wave propagation direction of the fourth surface acoustic wave filter element 104 may be in phase with the surface acoustic wave propagation of the second surface acoustic wave filter element 102. These structures can be miniaturized in the same manner as above.

이하에 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(101∼104)의 구체예에 대하여 각각 나타낸다.Specific examples of the first to fourth surface acoustic wave filter elements 101 to 104 are shown below.

제 1 탄성 표면파 필터 소자(101)의 구성은The configuration of the first surface acoustic wave filter element 101 is

교차폭 W:125㎛Cross width W: 125 µm

IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15

IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛

듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70

반사기 갯수 NR : 90개Number of reflectors NR: 90

반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛

반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.

제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)의 구성은The configuration of the second surface acoustic wave filter element 102 is

교차폭 W:125㎛ Cross width W: 125 µm                     

IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15

IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛

듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70

반사기 갯수 NR : 90개Number of reflectors NR: 90

반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛

반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.

제 3 탄성 표면파 필터 소자(103)의 구성은The configuration of the third surface acoustic wave filter element 103 is

교차폭 W:125㎛Cross width W: 125 µm

IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15

IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛

듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70

반사기 갯수 NR : 73개Number of reflectors NR: 73

반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛

반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.

제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)의 구성은The structure of the fourth surface acoustic wave filter element 104 is

교차폭 W:125㎛Cross width W: 125 µm

IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 15/20/15IDT Number 2/1/3: 15/20/15

IDT 피치 PI : 2.25㎛IDT Pitch PI: 2.25㎛

듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70

반사기 갯수 NR : 73개 Number of reflectors NR: 73                     

반사기 피치 PR : 2.30㎛Reflector Pitch PR: 2.30㎛

반사기의 막 두께 :370nm이다.The film thickness of the reflector is 370 nm.

이상의 탄성 표면파 필터 소자는 예를 들어, 압전 기판:LiTaO3 상에 형성되어 있다. 단, 압전 기판은 이것에 한정되지 않는다. 또한, 상기 IDT 갯수의 기재에 있어서, 제 2/제 1/제 3의 기재는 제 1이 중앙의 IDT, 예를 들어 IDT(121)를 나타내고, 제 2 및 제 3은 그 중앙의 IDT를 사이에 두고 형성된 각 IDT, 예를 들어 IDT(122, 123)를 나타낸다.The above surface acoustic wave filter element is, for example, a piezoelectric substrate: LiTaO 3 It is formed on the phase. However, the piezoelectric substrate is not limited to this. In the above description of the IDT number, the second / first / third description indicates that the first indicates a central IDT, for example, an IDT 121, and the second and third correspond to the central IDT. Each IDT formed, for example, IDTs 122 and 123 is shown.

제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101∼103)와, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)는 중앙의 IDT(128)의 배치를, 다른 중앙의 IDT(121)에 대하여 반전시키고 있기 때문에, 전송 위상 특성이 서로 반대 위상, 즉 약 180° 다르다.Since the first to third surface acoustic wave filter elements 101 to 103 and the fourth surface acoustic wave filter element 104 reverse the arrangement of the center IDT 128 with respect to the other center IDT 121, The transmission phase characteristics differ from each other in phase, that is, about 180 °.

그리고, 제 1 탄성 표면파 필터 소자(101) 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(102)로 이루어진 제 1 그룹의 탄성 표면파 필터부와, 제 3 탄성 표면파 필터 소자(103) 및 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)로 이루어진 제 2 그룹의 탄성 표면파 필터부에서는, 반사기(124, 125)와, 반사기(126, 127)처럼 서로 구조가 다르게, 예를 들어 각 전극지의 갯수가 서로 다르게 설정되어 있다.The first surface acoustic wave filter portion of the first group consisting of the first surface acoustic wave filter element 101 and the second surface acoustic wave filter element 102, the third surface acoustic wave filter element 103 and the fourth surface acoustic wave filter element ( In the surface acoustic wave filter unit of the second group consisting of 104, the structures of the reflectors 124 and 125 and the reflectors 126 and 127 are different from each other, for example, the number of electrode fingers is set different from each other.

또한, 본 명세서의 도면에서는 각 탄성 표면파 필터 소자의 각 IDT의 갯수, 반사기의 갯수는 그 수가 많아서 기재할 수 없기 때문에 간략화하고 있다.In the drawings of the present specification, the number of IDTs and the number of reflectors of each surface acoustic wave filter element are simplified because they cannot be described because the number is large.

본 제 1 실시형태의 구조에 의한 특성예를 도 2에 나타낸다. 본 제 1 실시형태에서는 특히, 통과대역 외의 저역측에 있어서의 감쇠량이 종래 구조에서의 도 3에 나타낸 특성예에 비하여 개선되어 있다.The characteristic example by the structure of this 1st Embodiment is shown in FIG. In the first embodiment, the amount of attenuation on the low-pass side outside the pass band is particularly improved compared to the characteristic example shown in FIG. 3 in the conventional structure.

본 제 1 실시형태에서 제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103)는 각 반사기(124, 125)의 스톱밴드 내에서는 실질적으로 동일한 전송 특성이 얻어진다.In the first embodiment, the first to third surface acoustic wave filter elements 101, 102 and 103 obtain substantially the same transmission characteristics in the stop bands of the reflectors 124 and 125. As shown in FIG.

또한, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)에서는 반사기(126, 127)의 스톱밴드 내에 있어서는 제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101∼103)와는 위상 특성이 180° 다르고, 진폭 특성이 실질적으로 동일한 전송 특성이 얻어진다.In the fourth surface acoustic wave filter element 104, the phase characteristics are 180 degrees different from those of the first to third surface acoustic wave filter elements 101 to 103 in the stop bands of the reflectors 126 and 127, and the amplitude characteristics are substantially different. The same transmission characteristics are obtained.

이들의 제 1∼제 4의 각 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103, 104)를 제 2 실시형태처럼 접속하여, 출력측의 각 평형 단자(112, 113) 각각에 위상이 반대인 신호가 도출되고, 입력측이 불평형(임피던스가 예를 들어 50Ω)이고, 출력측이 평형(임피던스가 예를 들어 200Ω)이 되는 탄성 표면파 필터 장치가 얻어진다.Each of the first to fourth surface acoustic wave filter elements 101, 102, 103, and 104 is connected as in the second embodiment, and a signal having a phase opposite to each of the balanced terminals 112, 113 on the output side is derived. Thus, a surface acoustic wave filter device is obtained in which the input side is unbalanced (impedance is 50 Ω, for example) and the output side is balanced (impedance is 200 Ω, for example).

제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)에서는 탄성 표면파를 여진하는 IDT(128)의 방향을 다른 제 1∼제 3 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103)의 각 IDT(121)에 대하여, 탄성 표면파의 전파 방향을 대칭축으로 해서 반전하여 전송 위상 특성을 바꾸고 있기 때문에, 탄성 표면파가 여진되지 않는 영역에서는 전송 특성은 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103)와 동일해진다. 따라서, 각 평형 단자(112, 113)에서는 동일 위상의 전기 신호는 서로 지워지기 때문에 큰 감쇠량을 얻을 수 있다.In the fourth surface acoustic wave filter element 104, the surface acoustic wave is applied to the IDTs 121 of the first to third surface acoustic wave filter elements 101, 102, and 103 which are different in the direction of the IDT 128 to excite the surface acoustic waves. Since the transmission phase characteristic is changed by inverting the propagation direction of the beam toward the symmetry axis, the transmission characteristic becomes the same as the surface acoustic wave filter elements 101, 102 and 103 in the region where the surface acoustic wave is not excited. Therefore, in each balanced terminal 112 and 113, electric signals of the same phase are erased from each other, so that a large amount of attenuation can be obtained.

반사기의 스톱밴드의 외에서도 통과대역의 근방이라면 통과대역 외에서도 탄성 표면파가 여진되고 있는 주파수 영역이 존재한다. 이 주파수 영역에서는 반사기의 갯수나 듀티, 피치, 막 두께 등에 의해 전송 특성이 결정되기 때문에, 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(101, 102, 103, 104)에서 반사기의 구조를 동일하게 하는 경우에는 각 출력단자에서의 신호는 통과대역 내와 마찬가지로 위상 특성이 서로 반전한 관계가 되어, 충분한 감쇠량을 얻기 어려운 상황이었다.In addition to the stop band of the reflector and the vicinity of the pass band, there is a frequency range where the surface acoustic wave is excited outside the pass band. In this frequency domain, since the transmission characteristics are determined by the number of the reflectors, the duty, the pitch, the film thickness, and the like, the structures of the reflectors in the first to fourth surface acoustic wave filter elements 101, 102, 103, 104 are the same. The signals at each output terminal were inverted in phase characteristics similar to those in the passband, and thus, it was difficult to obtain a sufficient amount of attenuation.

제 1 실시형태에서는 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(101, 102)와, 제 3 및 제 4 탄성 표면파 필터 소자(103, 104)에서 반사기의 갯수를 바꾸어서, 반사기의 스톱밴드 외, 특히 통과대역의 저역측이 되는 통과대역 외에서의 전기 신호의 위상 특성을 바꾸고 있다.In the first embodiment, the number of reflectors is changed in the first and second surface acoustic wave filter elements 101 and 102, and the third and fourth surface acoustic wave filter elements 103 and 104, so that the passband is outside the stop band of the reflector. The phase characteristic of the electric signal outside the pass band which becomes the low side of a band is changed.

이러한 구성으로 하여 종래에는 위상 특성이 실질적으로 180° 다르고, 서로 지워지는 효과를 전혀 얻을 수 없었던 영역에서도 부분적으로 동일 위상이 되기 때문에, 신호가 서로 지워지는 효과를 이용하여 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다. 또한, 반사기의 갯수 이외에도 듀티나 피치 또는 막 두께 등의 변경으로 위상 특성을 바꾸어도 동일한 효과를 얻을 수 있다.With such a configuration, since the phase characteristics are substantially different from each other by 180 ° in the past, and become partially in phase even in areas where the effects of erasing each other cannot be obtained at all, a sufficient amount of attenuation can be obtained by utilizing the effects of erasing signals from each other. In addition to the number of reflectors, the same effect can be obtained by changing the phase characteristics by changing the duty, pitch, or film thickness.

반사기의 구조의 차이에 의한 감쇠량 개선 방법으로서, 일본국 특허 공개공보 (평)7-131291호에서는 종속 접속된 탄성 표면파 필터에서, 첫번째 단과 다음 단에서 반사기의 피치 또는 갯수를 바꾸는 예가 개시되어 있다.As a method for improving the attenuation due to the difference in the structure of the reflector, Japanese Patent Laid-Open No. Hei 7-131291 discloses an example of changing the pitch or number of reflectors at the first stage and the next stage in a cascaded surface acoustic wave filter.

그러나, 상기 공보에서는 진폭 특성에 주목하여 첫번째 단과 다음 단에서의 스퓨리어스의 주파수를 바꾸어서 감쇠량의 개선을 행하는데 대하여, 본 발명에서는 각 평형 단자에 있어서 서로 진폭이 동일하고 위상이 반전되어 있으면, 전기 신호는 취소된다는 불평형 필터의 특징을 이용하고, 위상 특성을 바꾸어서 감쇠량의 개선을 행하고 있어, 원리적으로 전혀 다르다. However, in the above publication, the attenuation is improved by changing the frequency of the spurious in the first stage and the next stage by paying attention to the amplitude characteristics. In the present invention, when each balanced terminal has the same amplitude and the phase is inverted, the electric signal Uses the characteristic of the unbalanced filter to be canceled, improves the amount of attenuation by changing the phase characteristic, and in principle is completely different.                     

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에 대하여 도 4에 기초하여 설명한다. 제 2 실시형태에서는 상기 제 1 실시형태와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는 동일 번호를 부여하고 그들의 설명을 생략하였다.Next, the surface acoustic wave filter device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4. In 2nd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the member which has a function similar to the said 1st Embodiment, and their description was abbreviate | omitted.

우선, 상기 탄성 표면파 필터 장치는 압전 기판 상에 형성된 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자(201∼204)를 가지고 있다. 상기 탄성 표면파 필터 장치에서는 제 2 탄성 표면파 필터 소자(202)의 중앙에 배치된 IDT(228)가 제 1, 제 3, 제 4 탄성 표면파 필터 소자(201, 203, 204)의 중앙에 배치된 IDT(221)와 반대 방향이 되어 있다. 도면에서는 압전 기판은 생략하고 있다.First, the surface acoustic wave filter device has first to fourth surface acoustic wave filter elements 201 to 204 formed on the piezoelectric substrate. In the surface acoustic wave filter device, the IDT 228 disposed in the center of the second surface acoustic wave filter element 202 is disposed in the center of the first, third, and fourth surface acoustic wave filter elements 201, 203, and 204. It is opposite to 221. In the figure, the piezoelectric substrate is omitted.

제 2 실시형태는 제 1 실시형태의 구성의 제 1∼제 4 탄성 표면파 필터 소자의 중앙 IDT의 갯수를 짝수로 하여 얻어진다. 이러한 구성에서도 단자(112, 113)는 각 평형 단자로서 기능한다. 따라서, 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(201, 202)의 반사기와, 제 3 및 제 4 탄성 표면파 필터 소자(203, 204)의 반사기의 사이에서 구조를 바꾸고(예를 들어 갯수를 변경), 통과대역 외의 주파수 영역에 있어서의 위상 특성을 서로 다르게 할 수 있고, 신호가 서로 지워지는 효과를 이용하여 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다.2nd Embodiment is obtained by making the number of center IDT of the 1st-4th surface acoustic wave filter element of the structure of 1st Embodiment an even number. Even in such a configuration, the terminals 112 and 113 function as balanced terminals. Therefore, the structure is changed between the reflectors of the first and second surface acoustic wave filter elements 201 and 202 and the reflectors of the third and fourth surface acoustic wave filter elements 203 and 204 (for example, the number is changed). Therefore, the phase characteristics in the frequency domain outside the pass band can be different from each other, and a sufficient amount of attenuation can be obtained by utilizing the effect that signals are erased from each other.

다음으로, 본 발명의 제 3 실시형태에 나타낸 탄성 표면파 필터 장치에 대하여 도 5에 기초하여 설명한다. 상기 탄성 표면파 필터 장치는 압전 기판 상에 형성된 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)를 가지고 있다.Next, the surface acoustic wave filter device shown in the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5. The surface acoustic wave filter device has first and second surface acoustic wave filter elements 301 and 302 formed on a piezoelectric substrate.

제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)는 그 전송 위상 특성이 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)와 반대 위상, 즉 180° 다르다. 이것은 제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)의 중앙의 IDT(328)가 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)의 중앙의 IDT(121)에 대하여 상기와 동일하게 반전하여 배치되어 있는 것에 기인한다.The second surface acoustic wave filter element 302 has a transmission phase characteristic opposite to that of the first surface acoustic wave filter element 301, that is, 180 °. This is because the IDT 328 in the center of the second surface acoustic wave filter element 302 is disposed in the same manner as described above with respect to the IDT 121 in the center of the first surface acoustic wave filter element 301.

도면에서는 압전 기판은 생략되어 있다. 제 3 실시형태에서는 상기 제 1 실시형태와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는 동일 번호를 부여하고 설명을 생략하였다.In the figure, the piezoelectric substrate is omitted. In 3rd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the member which has a function similar to the said 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.

제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)의 구성은The configuration of the first surface acoustic wave filter element 301 is

교차폭 W:115㎛Cross width W: 115㎛

IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 12/17/12IDT Number 2/1/3: 12/17/12

IDT 피치 PI : 2.10㎛IDT Pitch PI: 2.10㎛

듀티(전극피복율) L/P : 0.72Duty (electrode coverage) L / P: 0.72

반사기 갯수 NR : 90개Number of reflectors NR: 90

반사기 피치 PR : 2.15㎛Reflector Pitch PR: 2.15㎛

반사기의 막 두께 :345nm이다.The film thickness of the reflector is 345 nm.

제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)의 구성은The configuration of the second surface acoustic wave filter element 302 is

교차폭 W:115㎛Cross width W: 115㎛

IDT 갯수 제 2/제 1/ 제 3 : 12/17/12IDT Number 2/1/3: 12/17/12

IDT 피치 PI : 2.10㎛IDT Pitch PI: 2.10㎛

듀티(전극피복율) L/P : 0.70Duty (electrode coverage) L / P: 0.70

반사기 갯수 NR : 73개Number of reflectors NR: 73

반사기 피치 PR : 2.15㎛ Reflector Pitch PR: 2.15㎛                     

반사기의 막 두께 :345nmFilm thickness of reflector: 345nm

기판 :LiTaO3 이다.Substrate: LiTaO 3 to be.

제 3 실시형태의 구성에서 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)와 제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)는 반사기의 스톱밴드 내에 있어서는 위상 특성이 180° 다르고, 진폭 특성이 실질적으로 동일한 전송 특성이 얻어진다.In the configuration of the third embodiment, the first surface acoustic wave filter element 301 and the second surface acoustic wave filter element 302 have transmission characteristics substantially different in phase characteristics from each other in the stopband of the reflector and having substantially the same amplitude characteristics. Lose.

이들의 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)를 제 3 실시형태처럼 서로 접속하여 입력측이 불평형이고, 출력측이 평형이 되는 탄성 표면파 필터 장치가 얻어진다.These first and second surface acoustic wave filter elements 301 and 302 are connected to each other as in the third embodiment to obtain a surface acoustic wave filter device having an unbalanced input side and an unbalanced output side.

반사기의 스톱밴드 외의 통과대역 근방이라면 탄성 표면파가 여진되어 있는 주파수 영역이 존재한다. 이 주파수 영역에 있어서는 반사기의 갯수, 듀티, 피치, 막 두께에 의해 전송 특성이 결정된다.In the vicinity of the pass band other than the stop band of the reflector, there is a frequency range where the surface acoustic wave is excited. In this frequency domain, the transmission characteristics are determined by the number of reflectors, duty, pitch, and film thickness.

따라서, 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)에서 반사기의 구조를 동일하게 설정하고 있는 경우에는, 각 출력 단자가 되는 각 평형 단자에서의 전기 신호의 위상 특성은 통과대역 내와 동일하게 서로 반전된 관계가 되어, 충분한 감쇠량을 얻기 어려운 상황이었다.Therefore, when the first and second surface acoustic wave filter elements 301 and 302 have the same structure of reflectors, the phase characteristics of the electric signals at the balanced terminals serving as the output terminals are the same as in the passband. The relations were inverted so that it was difficult to obtain a sufficient amount of attenuation.

제 3 실시형태에서는 제 1 탄성 표면파 필터 소자(301)와 제 2 탄성 표면파 필터 소자(302)에서 반사기의 갯수를 바꾸어서, 반사기의 스톱밴드 외의 주파수 영역, 특히 통과대역의 저역측의 통과대역 외에서의 전기 신호의 위상 특성을 바꾸고, 각 평형 단자에서의 전기 신호가 서로 지워지는 효과를 이용함으로써, 통과대역 외에 있어서, 특히 통과대역 외의 통과대역 근방에 있어서도 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다.In the third embodiment, the number of reflectors is changed in the first surface acoustic wave filter element 301 and the second surface acoustic wave filter element 302, so that the frequency band outside the stop band of the reflector, especially outside the pass band on the low pass side of the pass band, is changed. By changing the phase characteristics of the electric signals and utilizing the effect of the electric signals at each balanced terminal being erased from each other, a sufficient amount of attenuation can be obtained outside the pass band, especially in the vicinity of the pass band outside the pass band.

다음으로, 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에 대하여 도 6에 기초하여 설명한다. 제 4 실시형태에서는 상기 제 3 실시형태의 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)의 각 입출력 단자의 각각에, 이하에 나타낸 탄성 표면파 공진자(403)를 각각 접속하고 있다. Next, the surface acoustic wave filter device according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6. In the fourth embodiment, the surface acoustic wave resonators 403 shown below are connected to respective input / output terminals of the first and second surface acoustic wave filter elements 301 and 302 of the third embodiment, respectively.

탄성 표면파 공진자(403)의 구성은 이하에 나타낸 대로, The structure of the surface acoustic wave resonator 403 is as shown below.

교차폭 : 80㎛Cross width: 80㎛

IDT 갯수 : 90쌍Number of IDT: 90 pairs

IDT 피치 PI : 2.10㎛IDT Pitch PI: 2.10㎛

듀티(전극피복율) L/P : 0.65Duty (electrode coverage) L / P: 0.65

반사기 갯수 NR : 30개Number of reflectors NR: 30

반사기 피치 PR : 2.10㎛Reflector Pitch PR: 2.10㎛

기판 : LiTaO3 이다.Substrate: LiTaO 3 .

제 4 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터 장치에서는 상기 각 탄성 표면파 공진자(403)를 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자(301, 302)에 대하여 각각 접속하여 통과대역 외의 감쇠량을 개선할 수 있다.In the surface acoustic wave filter device according to the fourth embodiment, the surface acoustic wave resonators 403 may be connected to the first and second surface acoustic wave filter elements 301 and 302, respectively, to improve the attenuation outside the pass band.

제 4 실시형태는 제 3 실시형태의 구조에 탄성 표면파 공진자(403)를 부가한 구조이다. 탄성 표면파 필터 소자(401, 402)는 제 3 실시형태와 동일하고, 대역 외 의 스톱밴드 외의 주파수 영역, 특히 통과대역의 저역측이 되는 통과 대역 외에서의 전기 신호의 위상 특성을 바꾸고, 각 평형 단자에 있어서의 전기 신호가 서로 지워지기 쉽게 하여 충분한 감쇠량을 얻을 수 있다.4th Embodiment is a structure which added the surface acoustic wave resonator 403 to the structure of 3rd Embodiment. The surface acoustic wave filter elements 401 and 402 are the same as those in the third embodiment, and change the phase characteristics of the electric signals in the frequency region other than the stop band out of the band, especially in the pass band which becomes the low side of the pass band, and each balanced terminal. It is possible to easily erase the electrical signals in each other, thereby obtaining a sufficient attenuation amount.

또한, 탄성 표면파 공진자(403)는 통과대역 내에서 공진점을 가지고, 통과대역 외에 반공진점을 구비하기 때문에 대역내 로스를 증대시키지 않고, 특정의 주파수에서의 감쇠량을 효과적으로 크게 할 수 있다.In addition, since the surface acoustic wave resonator 403 has a resonance point in the pass band and an anti-resonance point in addition to the pass band, it is possible to effectively increase the amount of attenuation at a specific frequency without increasing the loss in the band.

또한, 상기에서는 복수의 탄성 표면파 필터 소자를 이용한 각 예를 들었지만, 그들에 한정되지 않고 예를 들어, 하나의 제 4 탄성 표면파 필터 소자(104)만을 이용하여도 마찬가지로 평형-불평형 변환 기능을 가지며, 그들의 각 반사기의 구조를 전술한 바와 같이 서로 다르게 설정하여, 스퓨리어스 레벨을 감소하는 것이 가능해진다.In addition, although each example using the plurality of surface acoustic wave filter elements has been described above, the present invention is not limited thereto, and, for example, even using only one fourth surface acoustic wave filter element 104 has a balanced-unbalance conversion function. By setting the structures of their respective reflectors differently as described above, it becomes possible to reduce the spurious level.

또한, 상기에서는 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 반대 위상으로 설정하기 위하여, 하나의 IDT의 배치를 반대 방향으로 설정한 예를 들었지만, 그에 한정되지 않고 예를 들어, 하나의 IDT-IDT의 간격을 다른 IDT-IDT의 간격에 대하여 약 0.5λ만큼 다르게 하여, 이용하는 탄성 표면파 필터 소자를 다른 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 반대 위상으로 설정하여도 된다.In addition, in the above example, in order to set the at least one surface acoustic wave filter element to the opposite phase, an example in which the arrangement of one IDT is set in the opposite direction has been exemplified, but the present invention is not limited thereto. The surface acoustic wave filter element to be used may be set in the opposite phase with respect to the other surface acoustic wave filter elements by varying the distance of another IDT-IDT by about 0.5 lambda.

또한, 상기에서는 불평형 단자를 입력측에, 평형 단자를 출력측에 설정한 예를 들었지만, 그들이 반대, 즉 평형 단자를 입력측에, 불평형 단자를 출력측에 설정하여도 된다.Moreover, although the example which set the unbalanced terminal to the input side and the balanced terminal to the output side was mentioned above, they may be set to the opposite, that is, the unbalanced terminal may be set to the input side, and the unbalanced terminal may be set to the output side.

다음으로, 본 발명의 제 5 실시형태인, 상기 제 1∼제 4 실시형태에 기재된 탄성 표면파 필터 장치의 어느 하나를 이용한 통신 장치에 대하여 도 7에 기초하여 설명한다.Next, a communication apparatus using any one of the surface acoustic wave filter devices described in the first to fourth embodiments, which is the fifth embodiment of the present invention, will be described with reference to FIG. 7.

도 7에 나타내는 바와 같이, 상기 통신 장치(600)는 수신을 행하는 리시버측(Rx측)으로서, 안테나(601), 안테나 공용부/RF Top 필터(602), 증폭기(603), Rx 단간 필터(604), 믹서(605), 제 1 IF 필터(606), 믹서(607), 제 2 IF 필터(608), 제 1+제 2 로컬 신시사이저(611), TCXO(temperature compensated crystal oscillator:온도 보상형 수정 발진기)(612), 디바이더(devider:613), 로컬 필터(614)를 구비하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 7, the communication device 600 is a receiver side (Rx side) that performs reception, and includes an antenna 601, an antenna common unit / RF Top filter 602, an amplifier 603, and an Rx inter-stage filter ( 604, mixer 605, first IF filter 606, mixer 607, second IF filter 608, first + second local synthesizer 611, temperature compensated crystal oscillator: temperature compensated crystal Oscillator) 612, a divider 613, and a local filter 614.

Rx 단간 필터(604)로부터 믹서(605)로는 도 7에 이중선으로 나타낸 바와 같이 밸런스 특성을 확보하기 위하여 각 평형 신호로 송신하는 것이 바람직하다.It is preferable to transmit to each mixer signal from the Rx inter-stage filter 604 to the mixer 605 in order to ensure a balance characteristic as shown by the double line in FIG.

또한, 상기 통신 장치(600)는 송신을 행하는 트랜스시버측(Tx측)으로서, 상기 안테나(601) 및 상기 안테나 공용부/RF Top 필터(602)를 공용함과 동시에, Tx IF 필터(621), 믹서(622), Tx 단간 필터(623), 증폭기(624), 커플러(coupler:625), 아이솔레이터(626), APC(automatic power control:자동 출력 제어)(627)를 구비하여 구성되어 있다.Further, the communication device 600 is a transceiver side (Tx side) for transmitting, sharing the antenna 601 and the antenna common part / RF Top filter 602, and at the same time, the Tx IF filter 621, The mixer 622, the Tx end filter 623, the amplifier 624, the coupler 625, the isolator 626, and APC (automatic power control) 627 are comprised.

그리고, 상기 Rx 단간 필터(604), 제 1 IF 필터(606), Tx IF 필터(621), Tx 단간 필터(623)에는 상술한 제 1∼제 4 실시형태에 기재된 탄성 표면파 필터 장치를 적절하게 이용할 수 있다.The surface acoustic wave filter device according to the first to fourth embodiments described above is suitably used for the Rx inter-step filter 604, the first IF filter 606, the Tx IF filter 621, and the Tx inter-step filter 623. It is available.

본 발명에 따른 탄성 표면파 필터 장치는 필터 기능과 아울러 평형-불평형 변환 기능을 구비하고, 게다가 통과대역 외, 특히 통과대역 외의 통과대역의 저역측에 있어서 감쇠량이 크다는 우수한 특성을 갖는 것이다. 따라서, 상기 탄성 표면파 필터 장치를 갖는 본 발명의 통신 장치는 복합화된 기능을 갖는 상기 탄성 표면파 필터 장치를 이용함으로써, 구성 부품수를 감소할 수 있고 소형화할 수 있음과 동시에, 전송 특성(통신 특성)을 향상시킬 수 있다.The surface acoustic wave filter device according to the present invention has a filter function as well as an equilibrium-unbalance conversion function, and also has an excellent characteristic of having a large amount of attenuation outside the pass band, particularly in the low pass side of the pass band outside the pass band. Therefore, the communication apparatus of the present invention having the surface acoustic wave filter device can reduce the number of components and reduce the size of the components by using the surface acoustic wave filter device having a combined function, and at the same time, the transmission characteristics (communication characteristics). Can improve.

본 발명의 탄성 표면파 필터 장치는 이상과 같이, 압전 기판 상에, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 빗살형 전극부 및 반사기를 구비한 탄성 표면파 필터 소자가 평형-불평형 변환 기능을 갖도록 형성되고, 상기 복수의 탄성 표면파 필터 소자 중 다른 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되는 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자를 포함하고, 상기 각 반사기 중 적어도 하나가 다른 반사기와 구조가 서로 다른 구성이다.In the surface acoustic wave filter device of the present invention, a surface acoustic wave filter element having a plurality of comb-shaped electrode portions and reflectors formed along the propagation direction of the surface acoustic wave on the piezoelectric substrate is formed to have a balanced-unbalance conversion function. And at least one surface acoustic wave filter element having a transmission phase characteristic opposite to that of other surface acoustic wave filter elements among the plurality of surface acoustic wave filter elements, wherein at least one of the reflectors has a different structure from the other reflectors. to be.

그러므로, 상기 구성은 각 반사기 중 적어도 하나를 다른 반사기와 구조가 다르도록 함으로써, 통과대역 외에 있어서, 특히 통과대역 외의 통과대역 근방의 불필요한 스퓨리어스의 발생을 감소할 수 있기 때문에, 일 단 구성에 있어서도 비교적 용이하게 필요한 감쇠량을 얻을 수 있다.Therefore, in the above configuration, since at least one of each reflector has a different structure from the other reflector, it is possible to reduce the occurrence of unnecessary spurious outside the pass band, especially in the vicinity of the pass band outside the pass band. The required amount of attenuation can be easily obtained.

따라서, 상기 구성에서는 통과대역 외, 특히 저역측에서의 감쇠량이 크고, 저손실이며 입출력 임피던스가 서로 다른 평형-불평형 입출력 탄성 표면파 필터 장치를 얻을 수 있는 효과를 갖는다.Therefore, the above configuration has the effect of obtaining a balanced-unbalanced input and output surface acoustic wave filter device having a large amount of attenuation outside the pass band, especially at the low side, low loss, and having different input and output impedances.

본 발명의 통신 장치는 이상과 같이 상기 탄성 표면파 필터 장치를 갖는 구성이다.The communication device of the present invention has a configuration including the surface acoustic wave filter device as described above.

그러므로, 상기 구성은 통과대역 외, 특히 저역측에서의 감쇠량이 크고, 저손실이라는 우수한 전송 특성을 구비한 탄성 표면파 필터 장치를 갖기 때문에, 우수한 통신 특성을 발휘할 수 있는 효과를 갖는다.
Therefore, the above configuration has the effect of exerting excellent communication characteristics because it has a surface acoustic wave filter device having excellent transmission characteristics such as low loss and a large amount of attenuation outside the pass band, especially at the low pass side.

Claims (7)

삭제delete 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 제 1 탄성 표면파 필터 소자; A first surface acoustic wave filter element having a plurality of IDTs formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof; 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비하고, 상기 제 1 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되어 있는 제 2 탄성 표면파 필터 소자;A second surface acoustic wave filter having a plurality of IDTs formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof, the transmission phase characteristic of which is opposite to the first surface acoustic wave filter element; device; 상기 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각각 한 쪽의 단자를 전기적으로 병렬 접속한 불평형 단자;An unbalanced terminal in which one terminal of each of the first and second surface acoustic wave filter elements is electrically connected in parallel; 상기 제 1 및 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 각각 다른 쪽의 단자를 전기적으로 직렬 접속한 평형 단자; 를 포함하는 탄성 표면파 필터 장치로서,A balanced terminal in which terminals on the other side of the first and second surface acoustic wave filter elements are electrically connected in series; A surface acoustic wave filter device comprising: 상기 제 1 탄성 표면파 필터 소자와 상기 제 2 탄성 표면파 필터 소자의 반사기는 이들의 전극지의 갯수, 피치, 듀티 및 막 두께 중, 적어도 하나가 서로 다른 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터 장치.And the reflectors of the first surface acoustic wave filter element and the second surface acoustic wave filter element are different from each other in the number, pitch, duty, and film thickness of the electrode fingers. 삭제delete 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비한 제 1∼3 탄성 표면파 필터 소자;First to third surface acoustic wave filter elements having a plurality of IDTs formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic waves and reflectors disposed on both sides thereof; 압전 기판 상에 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 형성된 복수의 IDT 및 이들의 양측에 배치된 반사기를 구비하고, 상기 제 1∼3 탄성 표면파 필터 소자에 대하여 전송 위상 특성이 반대 위상이 되어 있는 제 4 탄성 표면파 필터 소자;A fourth elasticity having a plurality of IDTs formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave and reflectors disposed on both sides thereof, the transmission phase characteristic being opposite to the first to third surface acoustic wave filter elements; Surface wave filter elements; 상기 제 1 탄성 표면파 필터 소자와 상기 제 2 탄성 표면파 필터 소자를 종속 접속한 제 1 그룹, 및 상기 제 3 탄성 표면파 필터 소자와 상기 제 4 탄성 표면파 필터 소자를 종속 접속한 제 2 그룹의 각각 한 쪽의 단자를 전기적으로 병렬 접속한 불평형 단자;One of a first group in which the first surface acoustic wave filter element and the second surface acoustic wave filter element are cascaded, and a second group in which the third surface acoustic wave filter element and the fourth surface acoustic wave filter element are cascaded. An unbalanced terminal with electrically connected terminals in parallel; 상기 제 1 그룹 및 제 2 그룹의 각각 다른 쪽의 단자를 전기적으로 직렬 접속한 평형 단자; 를 포함하는 탄성 표면파 필터 장치로서,A balanced terminal in which respective terminals of the first group and the second group are electrically connected in series; A surface acoustic wave filter device comprising: 상기 제 1∼4 탄성 표면파 필터 소자 중 적어도 하나의 탄성 표면파 필터 소자의 반사기는 다른 탄성 표면파 필터 소자의 반사기와 전극지의 갯수, 피치, 듀티 및 막 두께 중 적어도 하나가 서로 다른 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터 장치The reflector of at least one surface acoustic wave filter element of the first to fourth surface acoustic wave filter elements has a surface acoustic wave characterized in that the reflectors of the other surface acoustic wave filter elements and at least one of the number, pitch, duty, and film thickness of the electrode fingers are different from each other. Filter unit 제 4항에 있어서, 상기 제 1 그룹의 반사기와, 상기 제 2 그룹의 반사기는 전극지의 갯수, 피치, 듀티 및 막 두께 중 적어도 하나가 서로 다른 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터 장치.5. The surface acoustic wave filter device according to claim 4, wherein the first group of reflectors and the second group of reflectors differ from each other by at least one of the number, pitch, duty, and film thickness of electrode fingers. 삭제delete 제 1항에 기재된 탄성 표면파 필터 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 통신 장치.A surface acoustic wave filter device according to claim 1, comprising the communication device.
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