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KR100607752B1 - Standard mechanical interface apparatus - Google Patents

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KR100607752B1
KR100607752B1 KR1020010048762A KR20010048762A KR100607752B1 KR 100607752 B1 KR100607752 B1 KR 100607752B1 KR 1020010048762 A KR1020010048762 A KR 1020010048762A KR 20010048762 A KR20010048762 A KR 20010048762A KR 100607752 B1 KR100607752 B1 KR 100607752B1
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KR
South Korea
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smif
port
pod
door
wafer
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KR1020010048762A
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Korean (ko)
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박종운
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동부일렉트로닉스 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 SMIF 장치에 관한 것으로서, 웨이퍼카세트(13)를 수납하기 위한 SMIF 파드(10)와, SMIF 파드(10)에 웨이퍼카세트(13)를 저장하거나 인출하기 위한 포트 도어(25)를 구비한 SMIF 포트(20)와, SMIF 포트(20)의 내측에 마련되며 SMIF 포트(20)의 포트 도어(25)와 결합되어 웨이퍼카세트(13)를 수직방향으로 이동시키는 구동부(30)를 구비한 SMIF 장치에 있어서, SMIF 포트(20)의 내측에 설치되어 포트 도어(25)의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암(210)을 감지하여 감지신호를 출력하는 감지부(40)와; 감지부(40)로부터 출력된 감지신호를 수신하여 구동부(30)를 제어하는 제어부(50)를 포함하고 있다. The present invention relates to an SMIF device, comprising a SMIF pod (10) for accommodating a wafer cassette (13), and a port door (25) for storing or withdrawing a wafer cassette (13) in the SMIF pod (10). SMIF having a SMIF port 20 and a drive unit 30 provided inside the SMIF port 20 and coupled to the port door 25 of the SMIF port 20 to move the wafer cassette 13 in the vertical direction. An apparatus, comprising: a sensing unit 40 installed inside an SMIF port 20 to sense a wafer transfer arm 210 on a vertical movement path of a port door 25 and output a sensing signal; The control unit 50 receives the sensing signal output from the sensing unit 40 and controls the driving unit 30.

따라서, SMIF 장치의 포트 도어의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암이 위치하는 것을 감지하는 감지부를 구비하여 포트 도어와 웨이퍼이송아암이 충돌하는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.Therefore, the sensing unit may be provided to detect the location of the wafer transfer arm on the vertical movement path of the port door of the SMIF device, thereby preventing the port door and the wafer transfer arm from colliding with each other.

Description

ＳＭＩＦ 장치{STANDARD MECHANICAL INTERFACE APPARATUS}SMIF device {STANDARD MECHANICAL INTERFACE APPARATUS}

도 1은 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 일실시예를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing an embodiment of a SMIF device according to the prior art,

도 2는 도 1의 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 사용 상태를 도시한 단면도,2 is a cross-sectional view showing a state of use of the SMIF device according to the prior art of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 SMIF 장치의 일실시예를 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing an embodiment of an SMIF device according to the present invention;

도 4는 도 3의 A-A'선에 따른 단면도,4 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 3;

도 5는 도 3의 본 발명에 따른 SMIF 장치의 제어 블럭도이다.5 is a control block diagram of a SMIF device according to the present invention of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : SMIF 파드 11 : 파드 도어10: SMIF Pod 11: Pod Door

13 : 웨이퍼카세트 15 : 커버13: wafer cassette 15: cover

20 : SMIF 포트 21 : 포트 플레이트20: SMIF port 21: port plate

25 : 포트 도어 30 : 구동부25 port door 30 drive unit

31 : 이송부재 33 : 선형기어31: transfer member 33: linear gear

35 : 모터 40 : 감지부35: motor 40: detector

41 : 발광어레이 41a : 발광소자41: light emitting array 41a: light emitting element

43 : 수광어레이 43a : 수광소자43: light receiving array 43a: light receiving element

50 : 제어부50: control unit

본 발명은 SMIF 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 SMIF 장치의 포트 도어의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암이 위치하는 것을 감지하는 감지부를 구비하여 포트 도어와 웨이퍼이송아암이 충돌하는 것을 방지하는 SMIF 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an SMIF device, and more particularly, to a SMIF device having a detection unit for detecting a wafer transfer arm located on a vertical movement path of a port door of an SMIF device to prevent the port door and the wafer transfer arm from colliding with each other. Relates to a device.

SMIF란 Standard Mechanical Interface의 약자로써, 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로 SMIF 장치는 반도체 제조공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 반도체웨이퍼 또는 반도체웨이퍼가 저장된 웨이퍼카세트를 단위공정을 수행하기 위한 반도체 장비에 로딩하거나 언로딩하는데 이용된다.SMIF is an abbreviation of Standard Mechanical Interface. It is used to prevent human error during atmospheric control and process processing in a clean room of a narrow space. SMIF device is a peripheral device of semiconductor equipment that performs semiconductor manufacturing process. The stored wafer cassette is used to load or unload semiconductor equipment for performing a unit process.

도 1은 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 일실시예를 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이, SMIF 장치는 웨이퍼카세트(13)를 수납하기 위한 SMIF 파드(10)와, SMIF 파드(10)를 저장하거나 인출하기 위한 SMIF 포트(20)와, SMIF 포트(20)의 내측에 구비되어 웨이퍼카세트를 수직방향으로 이동시키는 구동부(30)를 포함한다.1 is a perspective view showing an embodiment of a SMIF device according to the prior art. As shown, the SMIF device includes a SMIF pod 10 for accommodating the wafer cassette 13, an SMIF port 20 for storing or withdrawing the SMIF pod 10, and an inside of the SMIF port 20. It includes a drive unit 30 is provided to move the wafer cassette in the vertical direction.

SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door;11)와, 파드 도어(11)의 상부에 탑재되며 반도체웨이퍼들이 정렬된 웨이퍼카세트(13)를 덮고 있는 커버(15)를 포함한다. 또한, SMIF 파드(10)의 내부는 진공상태를 유지하는 것이 바람직하므로, 파드 도어(11)에는 SMIF 파드(10)의 내부에 공기 등의 주입을 방지하기 위한 고무재질로 이루어지는 밀봉재(17)가 마련되어 있다. 밀봉재(17)는 파드 도어(11)의 각 측면을 따라 대략 사각형 형상으로 배치되어 커버(15)가 파드 도어(11)와 선택적으로 체결될 때 커버(15)와 파드 도어(11) 사이의 간격을 밀봉하는 역할을 한다. The SMIF pod 10 includes a pod door 11 provided below and a cover 15 mounted on the pod door 11 and covering the wafer cassette 13 in which semiconductor wafers are aligned. . In addition, since the inside of the SMIF pod 10 is preferably maintained in a vacuum state, the pod door 11 has a sealing material 17 made of a rubber material for preventing the injection of air or the like into the SMIF pod 10. It is prepared. The seal 17 is disposed in a substantially rectangular shape along each side of the pod door 11 such that the gap between the cover 15 and the pod door 11 when the cover 15 is selectively engaged with the pod door 11. It serves to seal the.

SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(port plate;21)와, 'L'자 형상의 가이드 레일(23) 및 포트 도어(25)를 포함한다. 포트 플레이트(21)는 SMIF 포트(20) 상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때, SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 것이고, 가이드 레일(23)은 포트 플레이트(21)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 한다. The SMIF port 20 includes a port plate 21, a guide rail 23 and a port door 25 having an 'L' shape. The port plate 21 is for keeping the lower surface of the SMIF pod 10 horizontally when the SMIF pod 10 is positioned on the SMIF port 20, and the guide rail 23 is used for the port plate 21. It is provided around each vertex and serves to guide the SMIF pod 10 to the desired position on the SMIF port 20.

포트 도어(25)는 파드 도어(11)와 접촉하여 후술하는 구동부(30)에 의해 수직방향으로 이송되어 파드 도어(11) 상의 웨이퍼 카세트(13)를 운반하는 역할을 하며, 파드위치 결정핀(25a), 파드 센서(25b) 및 래치 핀(25c)을 포함한다. 파드위치 결정핀(25a)은 포트 도어(25)의 소정 위치에 배치되어 파드 도어(11)의 하면에 형성된 삽입홀(미도시)에 각각 삽입되며, 파드위치 결정핀(25a)이 파드 도어(11)의 삽입홀에 삽입됨으로써 SMIF 파드(10)를 소망하는 정위치에 배치시키며, 파드 센서(25b)는 SMIF 파드(10)가 정위치에 배치되었는가를 체크하며, 래치 핀(25c)은 포트 도어(25)의 중앙부에 위치하여 파드 도어(11)의 하면에 구비된 회전판(미도시)에 형성된 홀과 선택적으로 체결되어 파드 도어(11)를 커버(15)로부터 선택적으로 개폐시키는 역할을 한다.The port door 25 is in contact with the pod door 11 is vertically transferred by the drive unit 30 to be described later to transport the wafer cassette 13 on the pod door 11, the pod positioning pin ( 25a), pod sensor 25b, and latch pin 25c. The pod positioning pin 25a is disposed at a predetermined position of the port door 25 so as to be inserted into an insertion hole (not shown) formed on the bottom surface of the pod door 11, and the pod positioning pin 25a is inserted into the pod door ( The SMIF pod 10 is placed in a desired position by being inserted into the insertion hole of 11). The pod sensor 25b checks whether the SMIF pod 10 is disposed in the correct position, and the latch pin 25c is a port. Located in the center of the door 25 and selectively engaged with the hole formed in the rotating plate (not shown) provided on the lower surface of the pod door 11 serves to selectively open and close the pod door 11 from the cover 15 .

구동부(30)는 포트 도어(25)의 하측에 결합된 이송부재(31)와, 이송부재(31)에 나사결합되어 이송부재(31)를 수직방향으로 이송시키는 선형기어(33)와, 선형기 어(33)와 연결되어 선형기어(33)를 회전시키는 모터(35)를 포함한다. 모터(35)는 선형기어와 축결합된 풀리(33a)에 벨트(34)로 연결되며, 모터(35)의 회전에 의해 선형기어(33)를 회전시키면 포트 도어(25)와 결합된 이송부재(31)가 선형기어(33)를 따라 수직방향으로 이동하게 된다.The drive unit 30 includes a transfer member 31 coupled to the lower side of the port door 25, a linear gear 33 screwed to the transfer member 31 to transfer the transfer member 31 in the vertical direction, and a linear machine. It is connected to the gear 33 includes a motor 35 for rotating the linear gear (33). The motor 35 is connected to the pulley 33a coupled to the linear gear by a belt 34. When the linear gear 33 is rotated by the rotation of the motor 35, the transfer member coupled to the port door 25 is rotated. 31 moves along the linear gear 33 in the vertical direction.

이와 같은 구조로 이루어진 종래의 SMIF 장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.The operation of the conventional SMIF device having such a structure is performed as follows.

도 2는 도 1의 종래의 기술에 따른 SMIF 장치와 웨이퍼이송장치를 함께 사용하는 경우의 사용 상태를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 웨이퍼카세트(13)를 수납한 SMIF 파드(10)가 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(21)에 결합된 후 모터(35)의 구동력에 의해 포트 도어(25)를 하강시킨다. 이 때, 웨이퍼카세트(13)가 놓여진 포트 도어(25)와 연결된 파드 도어(11)도 함께 하강됨으로써 웨이퍼카세트(13)가 반도체웨이퍼를 언로딩시키는 작업위치에 놓이게 되면, 웨이퍼이송장치(210)의 웨이퍼이송아암(210)이 웨이퍼카세트(13)로부터 반도체웨이퍼를 언로딩시키기 위해 웨이퍼카세트(13)를 향해 수평방향으로 이동한다. 수평방향으로 이동을 마친 웨이퍼이송아암(210)은 웨이퍼카세트(13)로부터 반도체웨이퍼를 집어서 단위공정을 수행하기 위한 반도체 장비로 이송한다. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state of use when a SMIF device and a wafer transfer device according to the related art of FIG. 1 are used together. As shown, after the SMIF pod 10 containing the wafer cassette 13 is coupled to the port plate 21 of the SMIF port 20, the port door 25 is lowered by the driving force of the motor 35. . At this time, the pod door 11 connected to the port door 25 on which the wafer cassette 13 is placed is also lowered so that the wafer cassette 13 is placed in the working position to unload the semiconductor wafer. Of the wafer transfer arm 210 moves horizontally toward the wafer cassette 13 to unload the semiconductor wafer from the wafer cassette 13. The wafer transfer arm 210 which has finished moving in the horizontal direction picks up the semiconductor wafer from the wafer cassette 13 and transfers the semiconductor wafer to the semiconductor equipment for performing the unit process.

단위공정을 완료한 반도체웨이퍼는 웨이퍼이송장치(200)의 웨이퍼이송아암(210)에 의해 다시 웨이퍼카세트(13)에 로딩되고, 웨이퍼카세트(13)에 로딩이 완료되면 웨이퍼카세트(13)는 SMIF 장치의 구동부(30)에 의해 상승하여 SMIF 파드(10)에 장착된다.The semiconductor wafer, which has completed the unit process, is loaded into the wafer cassette 13 again by the wafer transfer arm 210 of the wafer transfer device 200, and when the loading of the wafer cassette 13 is completed, the wafer cassette 13 is SMIF. It is lifted by the drive 30 of the device and mounted to the SMIF pod 10.

그런데, 이와 같은 종래에 따른 SMIF 장치는 웨이퍼이송장치에 오류가 발생하여 웨이퍼이송아암이 SMIF 장치의 포트 도어의 수직이동 경로상에 정지된 경우 SMIF 장치가 포트 도어를 수직으로 하강시 포트 도어와 웨이퍼이송아암이 서로 충돌하여 웨이퍼이송아암이 손상되거나 웨이퍼카세트에 장착된 반도체웨이퍼에 충격이 가해지는 문제점이 발생하게 된다.However, in the conventional SMIF device, when the wafer transfer arm stops on the vertical movement path of the port door of the SMIF device because an error occurs in the wafer transfer device, the SMIF device lowers the port door vertically. The transfer arms collide with each other, resulting in damage to the wafer transfer arm or impact on the semiconductor wafer mounted on the wafer cassette.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 SMIF 장치의 포트 도어의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암이 위치된 경우에 이를 감지하는 감지부를 구비하여 SMIF 장치의 포트 도어가 수직으로 하강시 웨이퍼이송아암과 충돌하는 것을 방지할 수 있는 SMIF 장치를 제공하는데 있다. The present invention is to solve such a conventional problem, an object of the present invention is to provide a port door of the SMIF device having a sensing unit for detecting when the wafer transfer arm is located on the vertical movement path of the port door of the SMIF device To provide a SMIF device that can prevent the collision with the wafer transfer arm when the vertically descending.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 웨이퍼카세트를 수납하기 위한 SMIF 파드와, SMIF 파드에 웨이퍼카세트를 저장하거나 인출하기 위한 포트 도어를 구비한 SMIF 포트와, SMIF 포트의 내측에 마련되며 SMIF 포트의 포트 도어와 결합되어 웨이퍼카세트를 수직방향으로 이동시키는 구동부를 구비한 SMIF 장치에 있어서, SMIF 포트의 내측에 설치되어 포트 도어의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암을 감지하여 감지신호를 출력하는 감지부와; 감지부로부터 출력된 감지신호를 수신하여 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a SMIF port having a SMIF pod for accommodating a wafer cassette, a port door for storing or withdrawing a wafer cassette in the SMIF pod, and an SMIF port provided inside the SMIF port. An SMIF device having a drive unit coupled to a port door of a wafer cassette to move a wafer cassette in a vertical direction, wherein the SMIF device is installed inside the SMIF port to detect a wafer transfer arm on a vertical movement path of the port door to output a detection signal. Wealth; It characterized in that it comprises a control unit for receiving the detection signal output from the detection unit to control the drive unit.

감지부는, 포트 도어의 일단을 기준으로 SMIF 포트의 내측의 상면에 설치되며, 일정한 파장의 빛을 출력하는 복수의 발광소자로 이루어진 발광어레이와; 발광어레이의 직하방으로 SMIF 포트의 내측의 하면에 설치되어 발광어레이로부터 출력 된 빛을 수신하여 감지신호를 출력하는 복수의 수광소자로 이루어진 수광어레이를 구비하는 것을 특징으로 한다.The sensing unit includes: a light emitting array formed on a top surface of the inside of the SMIF port with respect to one end of the port door, the light emitting array comprising a plurality of light emitting devices for outputting light of a predetermined wavelength; It is provided on the lower surface of the inner side of the SMIF port directly below the light emitting array, characterized in that it comprises a light receiving array consisting of a plurality of light receiving elements for receiving the light output from the light emitting array and outputting a detection signal.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 SMIF 장치의 일실시예를 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3의 A-A'선에 따른 단면도이다. 한편, 종래와 동일한 구성으로 이루어지는 부분에 대해서는 도 1 및 도 2에 기재된 도면부호와 동일한 부호를 기재하여 설명한다.3 is a cross-sectional view showing an embodiment of the SMIF device according to the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view taken along the line AA 'of FIG. In addition, about the part which consists of the same structure as before, the same code | symbol as the code | symbol shown in FIG. 1 and FIG. 2 is described and demonstrated.

도시된 바와 같이, SMIF 장치는 웨이퍼카세트(13)를 수납하기 위한 SMIF 파드(10)와, SMIF 파드(10)에 웨이퍼카세트(13)를 저장하거나 인출하기 위한 포트 도어(25)를 구비한 SMIF 포트(20)와, SMIF 포트(20)의 내측에 마련되며 SMIF 포트(20)의 포트 도어(25)와 결합되어 웨이퍼카세트(13)를 수직방향으로 이동시키는 구동부(30)와, SMIF 포트(20)의 내측에 설치되어 포트 도어(25)의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암(210)을 감지하여 감지신호를 출력하는 감지부(40)와; 감지부(40)로부터 출력된 감지신호를 수신하여 구동부(30)를 제어하는 제어부(50)로 구성된다.As shown, the SMIF apparatus has a SMIF pod 10 for accommodating the wafer cassette 13 and a SMIF pod having a port door 25 for storing or withdrawing the wafer cassette 13 in the SMIF pod 10. A port 20, a driving unit 30 provided inside the SMIF port 20 and coupled to the port door 25 of the SMIF port 20 to move the wafer cassette 13 in the vertical direction, and the SMIF port ( A sensing unit 40 installed inside the sensing unit 40 for sensing a wafer transfer arm 210 on a vertical movement path of the port door 25 and outputting a sensing signal; The control unit 50 receives the sensing signal output from the sensing unit 40 and controls the driving unit 30.

SMIF 파드(10)는 그의 하부에 파드 도어(pod door;11)가 마련되고, 이 파드 도어(11)의 상부에 반도체웨이퍼들이 장착된 웨이퍼카세트(13)가 안착되며, 이 웨이퍼카세트(13)를 커버(15)가 덮고 있다. The SMIF pod 10 is provided with a pod door 11 at a lower portion thereof, and a wafer cassette 13 having semiconductor wafers mounted thereon is mounted thereon, and the wafer cassette 13 is mounted thereon. The cover 15 is covering.

또한, SMIF 파드(10)의 내부는 진공상태를 유지하는 것이 바람직하므로, 파드 도어(11)에는 SMIF 파드(10)의 내부에 공기 등의 주입을 방지하기 위한 고무재질로 이루어지는 밀봉재(17)가 마련되어 있다. 밀봉재(17)는 파드 도어(11)의 각 측면을 따라 대략 사각형 형상으로 배치되어 커버(15)가 파드 도어(11)와 선택적으로 체결될 때 커버(15)와 파드 도어(11) 사이의 간격을 밀봉하는 역할을 한다. In addition, since the inside of the SMIF pod 10 is preferably maintained in a vacuum state, the pod door 11 has a sealing material 17 made of a rubber material for preventing the injection of air or the like into the SMIF pod 10. It is prepared. The seal 17 is disposed in a substantially rectangular shape along each side of the pod door 11 such that the gap between the cover 15 and the pod door 11 when the cover 15 is selectively engaged with the pod door 11. It serves to seal the.

SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(port plate;21)와, 'L'자 형상의 가이드 레일(23) 및 포트 도어(25)를 포함한다. 포트 플레이트(21)는 SMIF 포트(20) 상에 SMIF 파드(10)를 위치시킬 때 SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키며, 가이드 레일(23)은 포트 플레이트(21)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 한다. The SMIF port 20 includes a port plate 21, a guide rail 23 and a port door 25 having an 'L' shape. The port plate 21 keeps the lower surface of the SMIF pod 10 horizontally when the SMIF pod 10 is positioned on the SMIF port 20, and the guide rails 23 each vertex of the port plate 21. It is provided as a center to guide the SMIF pod 10 to the desired position on the SMIF port 20.

포트 도어(25)는 파드 도어(11)와 결합하여 후술하는 구동부(30)에 의해 수직방향으로 이동되어 파드 도어(11) 상의 웨이퍼카세트(13)를 운반하는 역할을 한다.The port door 25 is coupled to the pod door 11 to be moved vertically by the drive unit 30 to be described later to serve to transport the wafer cassette 13 on the pod door 11.

구동부(30)는 이송부재(31)와, 선형기어(33)와, 모터(35: 도 1에 도시됨)를 포함하고 있다. 이송부재(31)는 포트 도어(25)의 하측에 결합되며, 이 이송부재(31)의 일단에는 SMIF 포트(20)의 내측의 일측에 수직으로 설치된 선형기어(33)가 나사결합된다. 선형기어는 그 끝단에 축결합된 풀리(33a: 도 1에 도시됨)에 벨트(34: 도 1에 도시됨)로 모터(35)와 연결되고, 모터(35)의 회전에 의해 선형기어(33)도 회전하게 되며, 이 선형기어(33)의 회전에 의해 포트 도어(25)와 결합된 이송부재(31)가 수직방향으로 이동하게 된다. The drive unit 30 includes a conveying member 31, a linear gear 33, and a motor 35 (shown in FIG. 1). The conveying member 31 is coupled to the lower side of the port door 25, and one end of the conveying member 31 is screwed with a linear gear 33 installed vertically on one side of the inner side of the SMIF port 20. The linear gear is connected to the motor 35 by a belt 34 (shown in FIG. 1) to a pulley 33a (shown in FIG. 1) axially coupled at its end, and is rotated by the rotation of the motor 35. 33) also rotates, the transfer member 31 coupled to the port door 25 is moved in the vertical direction by the rotation of the linear gear (33).

감지부(40)는 SMIF 포트(20)의 내측에 설치되어 포트 도어(25)의 수직이동 경로상에 웨이퍼카세트(13)로부터 반도체웨이퍼를 단위공정을 수행하기 위한 반도체제조장비로 이송시키기 위한 웨이퍼이송아암(210)을 감지하여 감지신호를 출력한다. 이 때 웨이퍼이송아암(210)은 SMIF 장치와 연계하여 사용하는 별도의 웨이퍼이송장치(200)의 이송블럭(220)에 결합되어 있다.The sensing unit 40 is installed inside the SMIF port 20 to transfer the semiconductor wafer from the wafer cassette 13 to the semiconductor manufacturing equipment for performing the unit process on the vertical movement path of the port door 25. The transfer arm 210 is detected to output a detection signal. At this time, the wafer transfer arm 210 is coupled to the transfer block 220 of the separate wafer transfer device 200 used in conjunction with the SMIF device.

이러한 감지부(40)는 포트 도어(21)의 일단을 기준으로 SMIF 포트(20)의 내측의 상면에 설치되며 일정한 파장의 빛을 출력하는 복수의 발광소자(41a)로 이루어진 발광어레이(41)와, 발광어레이(41)의 직하방으로 SMIF 포트(20)의 내측의 하면에 설치되어 발광어레이(41)로부터 출력된 빛을 수신하여 감지신호를 출력하는 다수의 수광소자(43a)로 이루어진 수광어레이(43)로 이루어질 수 있다. 또한, 바람직하게는 일예로, 발광어레이(41)를 이루는 복수의 발광소자(41a)는 발광다이오드로, 수광어레이(43)를 이루는 복수의 수광소자(43a)는 포토다이오드로 할 수 있다.The sensing unit 40 is installed on the upper surface of the inside of the SMIF port 20 on the basis of one end of the port door 21, the light emitting array 41 consisting of a plurality of light emitting elements (41a) for outputting light of a certain wavelength And a plurality of light receiving elements 43a installed on a lower surface of the SMIF port 20 directly below the light emitting array 41 to receive light output from the light emitting array 41 and output a detection signal. It may be made of an array 43. Preferably, for example, the plurality of light emitting elements 41a constituting the light emitting array 41 may be light emitting diodes, and the plurality of light receiving elements 43a constituting the light receiving array 43 may be photodiodes.

도 4에 도시된 바와 같이, 포트 도어(25)의 일단을 기준으로 웨이퍼카세트(13)로부터 반도체웨이퍼(W)가 웨이퍼이송아암(210)에 의해 단위공정을 수행하기 위한 반도체 제조장비로 로딩/언로딩되는 방향(B)??의 포트 도어(25)의 일단을 기준으로 SMIF 포트(20)의 내측 상단면에 발광어레이(41)가 설치되어 있으며, 이 발광어레이(41)의 직하방에는 수광어레이(43)가 설치되어 있다. 따라서, 이러한 발광어레이(41)와 수광어레이(43)의 설치로 인해 포트 도어(25)의 수직방향 이동경로상에 웨이퍼이송아암(210)이 위치하는지를 충분히 감지할 수 있게 된다.As shown in FIG. 4, the semiconductor wafer W is loaded / loaded from the wafer cassette 13 to the semiconductor manufacturing equipment for performing a unit process by the wafer transfer arm 210 based on one end of the port door 25. The light emitting array 41 is provided on the inner top surface of the SMIF port 20 with respect to one end of the port door 25 in the unloading direction B ??, and is directly below the light emitting array 41. The light receiving array 43 is provided. Therefore, due to the installation of the light emitting array 41 and the light receiving array 43, it is possible to sufficiently detect whether the wafer transfer arm 210 is located on the vertical movement path of the port door 25.

제어부(50)는 수광어레이(43)의 복수의 수광소자(43a)로부터 출력되는 감지 신호를 수신받아 포트 도어(25)의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암(210)이 위치시에 포트 도어(25)가 하강하지 못하도록 구동부(30)로 제어신호를 출력한다.The control unit 50 receives the detection signals output from the plurality of light receiving elements 43a of the light receiving array 43 and the port door (when the wafer transfer arm 210 is positioned on the vertical movement path of the port door 25). The control signal is output to the driver 30 to prevent the 25 from falling.

이와 같은 구조로 이루어진 본 발명에 따른 SMIF 장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.The operation of the SMIF device according to the present invention having such a structure is performed as follows.

웨이퍼카세트(13)를 수납한 SMIF 파드(10)가 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(21)에 결합되면, 웨이퍼카세트(13)로부터 반도체웨이퍼(W)를 단위공정을 수행하기 위한 반도체 제조장비로 로딩/언로딩하기 위해 웨이퍼이송장치(200)의 웨이퍼이송아암(210)이 위치하는 작업위치로 웨이퍼카세트(13)를 수직방향으로 하강시키게 된다. When the SMIF pod 10 containing the wafer cassette 13 is coupled to the port plate 21 of the SMIF port 20, the semiconductor manufacturing equipment for performing a unit process on the semiconductor wafer W from the wafer cassette 13 is performed. The wafer cassette 13 is lowered vertically to a working position where the wafer transfer arm 210 of the wafer transfer device 200 is positioned for loading / unloading.

웨이퍼카세트(13)를 수직방향으로 하강시키게 위해 웨이퍼카세트(13)가 안착된 파드 도어(11)와 결합된 포트 도어(25)를 모터(35)의 구동력에 의해 하강시키게 되는데, 이 때 감지부(40)가 웨이퍼이송장치(200)의 웨이퍼이송아암(210)이 포트 도어(25)의 수직이동 경로상에 위치함을 감지하게 되면, 도 5에 도시된 바와 같이, 감지부(40)가 감지신호를 출력하게 되고 제어부(50)는 이를 수신하여 구동부(30)의 모터(35)로 제어신호를 출력하여 모터(35)를 정지하게 함으로써 포트 도어(25)와 웨이퍼이송아암(210)이 서로 충돌하는 것을 방지하게 된다.In order to lower the wafer cassette 13 in the vertical direction, the port door 25 coupled with the pod door 11 on which the wafer cassette 13 is seated is lowered by the driving force of the motor 35. When 40 detects that the wafer transfer arm 210 of the wafer transfer device 200 is located on the vertical movement path of the port door 25, as shown in FIG. The control unit 50 receives the detection signal and outputs the control signal to the motor 35 of the driving unit 30 to stop the motor 35 so that the port door 25 and the wafer transfer arm 210 are stopped. To prevent them from colliding with each other.

이상과 같이, SMIF 장치의 포트 도어의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암이 위치된 경우에 이를 감지하는 감지부를 구비하여 SMIF 장치의 포트 도어가 수직으로 하강시 웨이퍼이송아암과 충돌하는 것을 방지한다.As described above, the sensing unit detects when the wafer transfer arm is positioned on the vertical movement path of the port door of the SMIF device to prevent the port door of the SMIF device from colliding with the wafer transfer arm when the port door is vertically lowered.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 SMIF 장치는 포트 도어의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암이 위치된 경우에 이를 감지하는 감지부를 구비하여 SMIF 장치의 포트 도어가 수직으로 하강시 웨이퍼이송아암과 충돌하는 것을 방지할 수 있는 효과를 제공한다. As described above, the SMIF apparatus according to the present invention includes a sensing unit for detecting a case where the wafer transfer arm is located on the vertical movement path of the port door, and thus collides with the wafer transfer arm when the port door of the SMIF apparatus is vertically lowered. It provides an effect that can be prevented.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 SMIF 장치를 실시하기 위한 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is merely an embodiment for implementing the SMIF device according to the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment, without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims. Anyone with ordinary knowledge in the field of the present invention will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (2)

웨이퍼카세트를 수납하기 위한 SMIF 파드와, 상기 SMIF 파드에 웨이퍼카세트를 저장하거나 인출하기 위한 포트 도어를 구비한 SMIF 포트와, 상기 SMIF 포트의 내측에 마련되며 상기 SMIF 포트의 포트 도어와 결합되어 웨이퍼카세트를 수직방향으로 이동시키는 구동부를 구비한 SMIF 장치에 있어서,A SMIF port having a SMIF pod for storing a wafer cassette, a port door for storing or withdrawing a wafer cassette in the SMIF pod, and a wafer cassette provided inside the SMIF port and coupled with a port door of the SMIF port. In the SMIF apparatus having a drive unit for moving the vertical direction, 상기 SMIF 포트의 내측에 설치되어 상기 포트 도어의 수직이동 경로상에 웨이퍼이송아암을 감지하여 감지신호를 출력하는 감지부와;A detection unit installed inside the SMIF port to detect a wafer transfer arm on a vertical movement path of the port door and output a detection signal; 상기 감지부로부터 출력된 감지신호를 수신하여 상기 구동부를 제어하는 제어부;A control unit which receives the detection signal output from the detection unit and controls the driving unit; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치.SMIF device comprising a. 제 1 항에 있어서, 상기 감지부는, The method of claim 1, wherein the detection unit, 상기 포트 도어의 일단을 기준으로 SMIF 포트의 내측의 상면에 설치되며, 일정한 파장의 빛을 출력하는 복수의 발광소자로 이루어진 발광어레이와;A light emitting array disposed on an upper surface of the inside of the SMIF port with respect to one end of the port door, the light emitting array including a plurality of light emitting devices for outputting light having a predetermined wavelength; 상기 발광어레이의 직하방으로 상기 SMIF 포트의 내측의 하면에 설치되어 상기 발광어레이로부터 출력된 빛을 수신하여 감지신호를 출력하는 복수의 수광소자로 이루어진 수광어레이를 구비하는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치.And a light receiving array including a plurality of light receiving elements installed on a lower surface of the inner side of the SMIF port directly below the light emitting array to receive light output from the light emitting array and output a detection signal.
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