KR100587902B1 - 매체 노즐을 사용하여 2 이상의 매체를 방출하는 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 매체 노즐(15, 25, 35)로 2 이상의 매체를 방출하는 장치(1)로서, 각 매체 노즐이 매체 암(10, 20, 30)들 각각에 배치되고, 상기 매체 암(10, 20, 30)들이 동일 피봇 축(Z)을 중심으로 따로따로 피봇 운동을 행할 수 있도록 각각의 매체 암이 설치된 지지장치를 구비한 매체 방출 장치에 관한 것이다. 또한 본 발명은 2 이상의 매체로 디스크형 물체(2)를 처리하는 유닛으로서, 상기한 매체 방출 장치와, 디스크형 물체를 보유하는 캐리어를 포함하는 상기 유닛에 관한 것이다.

Description

매체 노즐을 사용하여 2 이상의 매체를 방출하는 장치{Device for discharging two or more media with media nozzles}

도 1은 3개의 매체 암을 구비한, 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 개략 사시도.

도 2는 도 3의 A-A선에 따른 수직 단면도.

도 3은 도 2의 B-B선에 따른 단면도.

본 발명은 매체 노즐을 사용하여 2 이상의 매체를 방출하는 장치에 관한 것이다.

그러한 매체 노즐이 반도체 웨이퍼(예를 들어, 실리콘 웨이퍼)와 같은 디스크형 물체를 처리하는데 사용되고, 또한, 플랫 스크린(플랫 패널 디스플레이)의 제조 중에 그러한 플랫 스크린을 처리하는 데에도 사용될 수 있다. 여기서는, 특정한 형상의 노즐이 포함될 수 있거나, 또는 단순히 덕트의 개방구일 수 있다.

매체 암(arm)은 굽혀 있거나 직선일 수 있는 실질적으로 강성(剛性)의 암으로서 해석된다. 매체 노즐에 이르는 덕트가 매체 암 바깥쪽에 있거나, 또는, 매체 암이, 예를 들어, 파이프인 경우에는, 안쪽에서 안내될 수 있다.

매체 노즐을 통해 방출될 수 있는 매체는, 예를 들어, 합성수지 용액(예를 들어, 포토레지스트), 세정제, 에칭제 또는 용제와 같은 액체일 수 있으나, 예를 들어, 공기 또는 순수 질소와 같은 기체일 수도 있다. 그러한 매체는 반도체 웨이퍼를 처리하는데 사용된다. 그 처리는, 예를 들어, 도포, 에칭 및/또는 세정일 수 있다. 기체가 사용되는 경우에는, 그 기체는 건조를 위한 것이다. 알코올(예를 들어, 이소프로판올)의 증기가 기체와 혼합되어 사용될 수도 있다.

피봇 운동이란, 매체 암이 회전 축선(피봇 축)을 중심으로 어떤 각도만큼 움직이는 회전 운동인 것으로 해석된다. 따라서, 매체 암의 단부에 설치된 매체 노즐은 원형 경로를 그리며 움직인다. 노즐은 정지(靜止)(rest) 위치와 작업 위치 사이에서 이동하거나, 또는, 온(on) 상태(매체 흐름 상태)에서, 2개의 가역(可逆) 위치 사이에서 전후로 이동한다.

본 발명은 또한, 2 이상의 매체로 디스크형 물체를 처리하는 유닛으로서, 상기한 바와 같은 매체 방출 장치와, 디스크형 물체를 보유하는 캐리어를 포함하는 상기 유닛에 관한 것이다. 여기서는 2가지 매체가 순차적으로 도포된다. 제1 매체는 세정액이고, 제2 매체는 건조 가스일 수 있다.

미국 특허 제5,089,305호는, 특히 회전하는 반도체 웨이퍼 상에 2 이상의 매체를 도포할 수 있는 각종 타입의 장치를 기재하고 있다.

미국 특허 제5,089,305호에 기재된 유닛들 중 하나에서는, 2개의 노즐을 가진 매체 암이 선형 모터에 의해 이동된다. 이 유닛의 단점은, 한가지 매체가 도포될 때 그 도포 중에 다른 매체의 노즐로부터 적하(滴下)가 일어나, 반도체 웨이퍼의 표면을 바람직하지 않게 적신다는 것이다. 이것은 최악의 경우에 웨이퍼 또는 그 웨이퍼 상에 배치된 구조물을 파괴할 수도 있다.

미국 특허 제5,089,305호에 기재된 다른 유닛에서는, 매체 암에서 분리시키도록 매체 노즐을 부착함으로써 이러한 문제점을 해결한다. 매체 암은 정지 위치로부터 작업 위치로 피봇된다. 이 유닛의 단점은 각 매체 암 마다 공간과 별도의 구동 기구가 제공되어야 한다는 것이다.

미국 특허 제5,089,305호에 기재된 세번째 유닛은, 정지 위치(대기 위치)로부터 각종 매체 노즐을 취할 수 있고, 이들 매체 노즐을 개별적으로 작업 위치로 이동시킬 수 있는 단일의 매체 암을 제공한다. 이 매체 암은 2개의 선형 모터에 의해 이동되거나 또는 관절식 암(articulated arm)으로서 구성될 수 있다. 이들 경우 모두에서, 구동 기구는 많은 공간을 필요로 하여 비용이 많이 든다. 또한, 중단이 없는 작동을 위해서는, 정지 위치로부터 매체 노즐을 취하기 위해 유닛의 매우 정밀한 조정이 필요하고, 이는 추가 비용을 수반한다.

본 발명의 목적은, 여러 노즐로부터 차례로 다수의 매체를 방출할 수 있고, 적하(滴下)의 문제점을 해결하고, 또한 기계적 또는 구동 기술의 비용이 가능한 적은 장치를 제공하는데 있다.

따라서, 본 발명의 가장 일반적인 실시형태에 따르면, 각 매체 노즐이 각 매체 암 마다 배치되어 있고, 각 매체 암을 위한 지지장치를 구비하여, 매체 암이 동일한 피봇 축을 중심으로 따로따로 피봇 운동을 행할 수 있게 된, 매체 노즐로부터 2 이상의 매체를 방출하는 장치가 제공된다.

매체(기체 또는 액체)가 각 매체 노즐로부터 방출될 수 있다. 매체 노즐이 작동하지 않을 때(매체가 흐르지 않을 때)는 그 매체 노즐이 정지 위치에 있는 것이 보장될 수 있도록 각 매체 암 마다 매체 노즐이 제공되어 있다.

각 매체 암 마다 1개의 지지장치를 갖춤으로써, 각 매체 암이 개별적으로 이동될 수 있다. 각 매체 암의 지지는 매체 암의 피봇 운동(회전 운동)이 공통의 회전 축선(피봇 축)을 중심으로 행해질 수 있도록 행해진다.

이 가장 일반적인 실시형태에서는, 각 매체 암은 그 자신의 구동 장치(모터)를 구비할 수도 있다.

종래 기술과 비교하여 본 발명의 이점(利點)은, 사용되지 않는 매체 노즐이 정지 위치에 유지될 수 있고, 매체 노즐이 매체 암에 고정적으로 설치되어 유지될 수 있어, 장치가 작은 공간만을 필요로 한다는 것이다.

일 실시형태에서는 이들 매체 암이 피봇 운동 중에 서로의 운동을 방해하지 않고 피봇 운동을 행할 수 있도록 공통의 피봇 축에서 자유롭게 회전하도록 장착되어 있기 때문에, 매체 암들은 사용된 후에 다른 매체 암의 작업 위치로부터 제거될 필요가 없다.

일 실시형태에 따르면, 모든 매체 암에 공통적으로 종속하는 피봇 운동을 행하기 위한 구동 유닛, 및 이 구동 유닛의 토크가 각각의 매체 암에 전달되도록 구동 유닛에 이동될 매체 암을 연결하는데 적합하고, 피봇될 매체 암(들)을 선택하는 연결부가 제공된다.

구동부가 작동을 시작하면, 연결부에 의해 구동부에 연결된 매체 암만이 움직인다. 이론적으로는, 예를 들어, 4개의 매체 암 중 2개가 동시에 이동 또는 피봇될 수 있다.

구동 유닛은 통상은 모터, 즉, 압력 매체 모터(유압 모터) 또는 전기 모터(예를 들어, 스텝핑 모터)이다. 구동은 다소 직접적으로 이루어지거나 또는 기어에 의해 이루어질 수 있다. 그 구동은 전후 운동을 달성할 수 있어야 한다.

매체 암은 정지 위치와 작업 위치 사이에서 피봇되거나, 또는, 온(on) 상태(매체 흐름 상태)에서, 2개의 가역 위치 사이에서 전후로 이동된다. 피봇 운동 범위는 10°내지 180°의 각도 범위 내 일 수 있다.

일 실시형태에서는, 매체 암은 동일한 샤프트 상에 있는 허브(hub)에 장착된다. 그 허브들은 샤프트로부터 허브로 토크를 전달하도록 샤프트를 1개 이상의 허브에 연결하는 연결부를 가지고 있다.

매체 암의 정지 위치에서, 허브는 샤프트 상에서 자유롭게 회전할 수 있어, 샤프트의 회전 시에 그 샤프트와 함께 회전하지 않는다. 허브가 연결부에 의해 샤프트에 연결된 경우, 허브는 샤프트와 함께 회전하고, 그에 상응하여, 그 허브에 장착된 매체 암이 피봇된다.

다른 실시형태에서는, 연결부는 샤프트 상에 설치된 스프링과, 그 스프링이 결합할 수 있도록 허브마다 제공된 1개 이상의 키 홈(keyway)으로 구성되고, 스프링은 샤프트를 축방향으로 미끄럼 이동시킴으로써 이동될 수 있어, 이동될 매체 암을 가진 허브의 키 홈에 결합할 수 있다.

이 경우, 스프링이 단지 1개 허브의 키 홈에만 결합할 수 있기 때문에, 단지 1개의 허브만이 샤프트에 의해 회전되고, 이에 따라, 1개의 매체 암만이 구동된다. 다른 위치에서는 스프링이 허브의 키 홈에 결합할 수 없기 때문에, 하나의 매체 암으로부터 다른 매체 암으로의 변경이 정지 위치에서만 행해질 수 있다. 정지 위치에서, 스프링은 샤프트를 그의 축선을 따라 상승 또는 하강시킴으로써, 즉, 미끄럼 이동시킴으로써 이동하고, 그리하여, 스프링은 소망의 허브 키 홈에 결합하여 구동 유닛을 샤프트 및 허브에 의해 매체 암에 연결한다.

구동 유닛이 축방향으로 이동하지 않는 것이면, 샤프트는 구동기의 회전부에 부착되어, 샤프트가 축방향으로 이동될 때, 구동기가 샤프트와 함께 이동하지 않게 된다.

이것은, 예를 들어, 축방향으로 움직일 수 있도록 스플라인 샤프트 허브(또는, 내부 톱니를 가진 허브)에 연결되는 스플라인 샤프트(또는 톱니가 있는 샤프트) 형태의 샤프트에 의해 행해질 수 있다. 스플라인 샤프트 허브가 구동 유닛에 의해 구동되면, 토크는 샤프트에 대한 허브의 축방향 위치와 관계없이 스플라인 샤프트로 전달된다.

다른 실시형태에서는, 매체 암의 수에 대응하는 다수의 위치를 취할 수 있는 공기압 장치에 의해 샤프트가 축방향으로 이동된다.

샤프트가 매체 암이 배치된 허브를 구동시키는 실시형태와 대조적으로, 또 다른 실시형태에서는, 구동 유닛이 캠을 구동시키고, 연결부가 각각의 매체 암에 대하여 제공되고 있고, 그 연결부는 캠에 결합할 수 있다.

그 연결부는, 필요한 때, 회전하도록 장착된 매체 암에 캠을 연결할 수 있다. 이 실시형태에서는, 2 이상의 매체 암이 동시에 이동될 수 있다. 이동되는 매체 암은 동시에 피봇될 경우 서로 평행하게 유지된다.

일 실시형태에서, 캠은 매체 암이 자유롭게 회전하도록 부착된 축과 간격을 두고 평행하게 배치된 스트립이다. 이 스트립은 상기 축을 중심으로 한 회전 운동을 행할 수 있다. 이 경우의 연결부는 대응하는 구멍에 결합하는 핀일 수 있고, 또는 양 측면에서 스트립을 둘러싸는 포크일 수 있다. 그러한 연결부의 구동은 공기압 또는 전자석에 의해 행해질 수 있다.

본 발명의 다른 양태에 따르면, 매체로 1개 이상의 디스크형 물체를 처리하기 위한 상기한 장치 하나 이상과, 디스크형 물체를 보유하는 캐리어를 포함하는, 매체로 디스크형 물체를 처리하는 유닛이 제공된다.

디스크형 물체는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼(예를 들어, 실리콘으로 된)일 수 있다. 이들의 처리에 사용되는 매체는, 예를 들어, 합성수지 용액(예를 들어, 포토레지스트), 세정제, 에칭제 또는 용제와 같은 액체일 수 있으나, 공기 또는 순수 질소와 같은 기체일 수도 있다.

캐리어는 진공 캐리어 또는 베르누이(Bernoulli) 원리에 따른 캐리어일 수 있다.

상기 유닛의 일 실시형태에서는, 매체 노즐의 출구 구멍은 디스크형 물체로 향하는 캐리어의 평탄면에 대하여 실질적으로 수직으로 향하여 있다. 여기서, "실질적으로 수직"이란 표현은 +/-45°의 범위도 포함하는 것이다. 이 방향은 액체가 저압 하에 매체 노즐로부터 층류로 방출되는 경우에 특히 중요하다.

다른 실시형태에 따른 상기 유닛은 캐리어(및, 그 캐리어 위의 디스크형 물체)를 회전시키는 수단을 포함한다. 액체가 디스크형 물체의 표면에 도포되는 경우, 그 액체가 그 물체의 가장자리로부터 뿌려진다.

일 실시형태에서는, 캐리어의 회전 축선은 상기한 피봇 축에 실질적으로 평행하다.

본 발명의 다른 세부사항, 특징, 및 장점은 도면에 나타낸 본 발명의 실시형태의 아래 설명으로부터 명백할 것이다.

부호 2는, 매체 암(arm)의 노즐로부터 방출되는 매체가 도포될 디스크형 물체(반도체 웨이퍼)를 나타낸다. 화살표 H는 처리 중에 축선(Z')을 중심으로 한 웨이퍼의 회전 운동을 나타낸다. 회전 축선(Z')은 매체 암이 피봇하는 중심을 이루는 피봇 축(Z)과 평행하다.

매체 암(10, 20, 30)들이 수직의 피봇 축(Z)에 대하여 실질적으로 수직방향으로 그리고 서로 간격을 두고 허브(hub)(11, 21, 31)에 장착되어 있고, 피봇 축(Z)을 중심으로 피봇할 수 있다. 즉, 매체 암들은 수평방향으로 배치되어 있다. 도 1에서, 매체 암(10, 30)은 정지(靜止) 위치(대기 위치)에 있다. 중간 매체 암(20)의 정지 위치(20s)가 점선으로 나타내어져 있다. 정지 위치에서, 3개의 매체 암은 서로 평행하게 위치한다.

3개의 매체 암(10, 20, 30) 각각은 파이프로 구성되어 있다. 공급되는 매체는 직접 이 파이프 내에서 안내되거나 또는 파이프 속에 삽입된 덕트 내에서 안내될 수 있다. 매체 암들은 그들의 배출 측에서 니(knee)(17, 27, 37)에 의해 90°만큼 하향으로 굽혀져 있다. 따라서, 노즐(15, 25, 35)들이 수직 하방으로 향하여 있다. 따라서, 노즐에서 나온 매체는 처리될 디스크형 물체(2)의 표면에 수직방향으로 부딪친다.

3개의 모든 매체 암에 대하여 노즐(15, 25, 35)과 디스크형 물체(2) 사이의 간격을 동일하게 하기 위해, 각 매체 암의 단부 부분(18, 28, 38), 즉, 니(knee)와 노즐 사이의 수직 부분은 길이가 상이해야 한다. 따라서, 하부 매체 암(10)의 단부 부분(18)은 중간 매체 암(20)의 단부 부분(28)보다 짧고, 중간 매체 암(20)의 단부 부분(28)은 상부 매체 암(30)의 단부 부분(38)보다 짧게 되어 있다.

매체 암들이 그들의 피봇 동작 중에 서로 방해하지 않도록, 니(knee)(17, 27, 37)들은 피봇 축(Z)으로부터 해당 거리에 위치한다. 즉, 하부 매체 암(10)의 니(17)는 피봇 축(Z)에 가장 가깝고, 상부 매체 암(30)의 니(37)는 중간 매체 암(20)의 니(25)보다 피봇 축(Z)으로부터 더 멀리 있다.

노즐(15, 25, 35)들이 피봇 축(Z)에 수직인 동일 평면에 위치되고, 이 피봇 축(Z)으로부터 상이한 거리에 위치되기 때문에, 매체 암이 피봇될 때, 그 노즐들이 화살표 D, E, F로 나타낸 동심원의 원호를 따라 안내된다.

매체가 동일한 지점(예를 들어, 웨이퍼의 중앙)에서 웨이퍼에 부딪칠 필요가 있는 경우에는, 노즐들이 이에 맞게 배향되어야 한다. 이것은, 하부 매체 암(10)의 니(17)를 90°보다 작은 각도(예를 들어, 80°)로 굽히고 상부 매체 암(30)의 니(37)를 90°보다 큰 각도(예를 들어, 100°)로 굽힘으로써 이루어질 수 있다(도시되지 않음).

매체 암(10, 20, 30)들이 장착되는 허브(11, 21, 31)들은 상하로 겹쳐 배치되고, 동일한 피봇 축(Z)을 가진다. 축방향으로 움직일 수 있는 샤프트(40)가 허브내에 배치되어 있다. 샤프트의 움직임이 화살표 C로 나타내어져 있다.

허브(11, 21, 31)들은 외부에 부착된 베어링(도시되지 않음)을 사이에 두고 공통의 하우징(도시되지 않음)내에 수용되어 있다. 이 하우징은 매체 암들의 움직임을 방해하지 않도록 적절한 개구부를 가지고 있다.

각 허브(11, 21, 31)는 안쪽에 키 홈(keyway)(12, 22, 32)을 가지고 있다. 매체 암들이 정지 위치에 있을 때, 허브의 키 홈들은 일직선으로 정렬된다.

스프링(42)이 샤프트(40)상에 장착되어 있다. 즉, 스프링이 샤프트의 키 홈내에 끼워져 있다. 스프링(42)은 허브의 어떠한 키 홈(12, 22, 32)과도 결합될 수 있다. 즉, 스프링(42)은 샤프트(40)로부터 소망의 허브로 토크를 전달하기 위해 사용된다. 스프링(42)은 샤프트(40)의 축방향 이동에 의해 이동된다. 이것은, 3개의 위치(도시되지 않음)를 갖는 공기압 실린더에 의해 이루어질 수 있다. C 방향으로 움직이는 동안 샤프트(40)가 허브 안쪽에 접촉하지 않도록, 가이드 부재(45)(도 2에서는 단면이 아니다)가 샤프트의 상단부에 부착되어 있다.

허브의 키 홈(12, 22, 32)은 모든 매체 암이 정지 위치에 있을 때만 일직선으로 정렬되기 때문에, 샤프트(40)(및 스프링(42))는 이 정지 위치에서만 움직이게 할 수 있다.

도 2 및 도 3에서, 스프링(42)이 중간 허브(21)의 키 홈(22)에 결합하여 있다(여기서는 정지 위치만을 나타낸다). 이때, 샤프트(40)가 어떤 각도만큼 회전하면(도 1에서 화살표 G), 도 1에 도시된 바와 같이, 중간 매체 암(20)이 동일한 각도만큼 피봇된다. 작업 위치는 고정될 수 있고, 또는 매체 암은 매체를 방출되는 동안 2개의 가역 지점 사이에서 전후로 움직일 수 있다.

샤프트(40)는 그 속에 삽입된 스플라인 샤프트 허브(43)에 의해 스플라인 샤프트(52)를 통해 구동된다. 스플라인 샤프트(52)는 연결부(51)에 의해 모터(50)에 연결되어 있다. 샤프트(40)는, 샤프트가 동작할 때 그 안에 스플라인 샤프트(52)를 위한 공간을 제공하도록 영역(41)에서 중공으로 되어 있다. 샤프트(40)가 축방향으로 이동할 때, 허브(11, 21, 31)에 대한 스플라인 샤프트(52)의 위치는 변하지 않는다. 따라서, 허브를 수용하는 하우징(도시되지 않음) 및 모터(50)를, 서로 강성으로 연결된 부재들(예를 들어, 공통의 캐리어 플레이트)에 장착하는 것이 가능하다.

본 발명에 의하면, 사용되지 않는 매체 노즐이 정지 위치에 유지될 수 있고, 매체 노즐이 매체 암에 고정적으로 설치되어 유지될 수 있어, 장치가 작은 공간만을 필요로 한다.

매체 암들이 피봇 운동 중에 서로의 운동을 방해하지 않고 피봇 운동을 행할 수 있도록 공통의 피봇 축에서 자유롭게 회전하도록 장착되어 있기 때문에, 매체 암들은 사용된 후에 다른 매체 암의 작업 위치로부터 제거될 필요가 없다.

Claims (13)

1. 매체 노즐(15, 25, 35)들로부터 2 이상의 매체를 방출하는 장치(1)로서, 각각의 매체 노즐이 매체 암(10, 20, 30)들 각각에 배치되고, 상기 매체 암들이 동일한 피봇 축(Z)을 중심으로 한 피봇 운동(D, E, F)을 따로따로 행할 수 있도록 설치된 매체 방출 장치에 있어서, 상기 매체 암(10, 20, 30)들 각각은 피봇 운동을 행할 때 서로 방해하지 않고 피봇 운동을 행하도록 공통의 피봇 축(Z)을 중심으로 자유롭게 회전할 수 있게 각각의 허브(11, 21, 31)에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 매체 방출 장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서, 상기 매체 암(10, 20, 30)들이 피봇 운동을 행하도록 모든 매체 암에 공동으로 제공된 구동 유닛(50)과, 피봇될 매체 암을 선택하고, 상기 구동 유닛의 토크가 상기 매체 암에 전달되도록 상기 구동 유닛에 이동될 상기 매체 암을 연결하기 위한 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매체 방출 장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 허브(11, 21, 31)들이 동일한 샤프트(40) 상에 설치되고, 상기 연결부가 상기 샤프트로부터 상기 허브로 토크를 전달하도록 상기 샤프트를 1개 이상의 상기 허브에 연결하는 것을 특징으로 하는 매체 방출 장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 샤프트에 설치된 스프링(42)과, 그 스프링이 결합할 수 있도록 허브마다 제공된 1개 이상의 키 홈(12, 22, 32)으로 이루어지고, 상기 스프링은 상기 샤프트를 축방향(C)으로 이동시킴으로써 이동되어, 이동될 매체 암을 가진 허브의 키 홈에 결합할 수 있게 된 것을 특징으로 하는 매체 방출 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 샤프트가 축방향으로 이동할 때 구동부(52)가 그와 함께 이동하지 않도록 상기 샤프트가 구동부(52)의 회전부에 부착된 것을 특징으로 하는 매체 방출 장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 샤프트가 상기 매체 암의 수에 대응하는 다수의 위치를 취할 수 있는 공기압 장치에 의해 축방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 매체 방출 장치.
8. 삭제
9. 삭제
10. 디스크형 물체(2)를 매체로 처리하기 위한 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 장치와, 상기 디스크형 물체를 보유하는 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는, 매체로 디스크형 물체를 처리하는 유닛.
11. 제 10 항에 있어서, 매체 노즐(15, 25, 35)들의 출구 구멍이 상기 디스크형 물체로 향하는 상기 캐리어의 평탄면에 대하여 실질적으로 수직으로 향하여 있는 것을 특징으로 하는, 매체로 디스크형 물체를 처리하는 유닛.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 캐리어를 회전시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 매체로 디스크형 물체를 처리하는 유닛.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 캐리어의 회전 축선(Z')이 상기 매체 암들의 피봇 축(Z)에 평행한 것을 특징으로 하는, 매체로 디스크형 물체를 처리하는 유닛.

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