KR100552078B1 - 초소형 구슬을 이용한 미세 밸브 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents
초소형 구슬을 이용한 미세 밸브 장치 및 그 제어 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (23)
- 유체를 이동하기 위한 유로; 상기 유로를 연결시키기 위한 유공; 상기 유로 및 유공을 형성하는 박막형 몸체; 상기 몸체의 상하면의 마주보는 위치에 설치되어 자력선를 발생시키는 전자석들과; 상기 전자석들의 온오프 제어에 따라 상하 어느 한 방향으로 움직이면서 상기 유공을 개폐함으로서 유체 흐름의 개폐와 유량을 제어하는 초소형 구슬을 포함하는 미세(micro) 밸브 장치.
- 유체를 이동하기 위한 유로; 상기 유로를 연결시키기 위한 유공; 상기 유로 및 유공을 형성하는 박막형 몸체; 상기 몸체의 상하면의 마주보는 위치에 설치되어 전원 인가시 전계를 발생시키는 전극판들과; 상기 전극판들에 인가된 전압 방향에 따라 상하 어느 한 방향으로 움직이면서 상기 유공을 개폐함으로서 유체 흐름의 개폐와 유량을 제어하는 전하를 띤 초소형 구슬을 포함하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 몸체는 유체의 이동으로 인한 공기압을 배출하기 위한 배기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 배기구는 유체 흐름의 반대방향 또는 원심력의 반대 방향으로 배치된 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 몸체는 플라스틱, PMMA, 유리, 운모, 실리카로 구성된 군에서 선택된 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 초소형 구슬은 강자성체 입자, 상자성체 입자, 반자성체 입자, 금속 입자, 금속코팅된 플라스틱 또는 유리 입자로부터 선택된 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 초소형 구슬은 구형입자, 또는 박막형 원기둥 또는 사각형과 같은 비구형 입자인 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 초소형 구슬은 1 um 내지 1mm 범위의 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 유공은 상기 초소형 구슬의 곡률을 갖는 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 유공은 상기 초소형 구슬의 직경보다 작은 내측 보조 유공 및/또는 상기 초소형 구슬의 직경보다 큰 외측 보조 유공을 갖는 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 전자석은 공심(air core)의 박막형 전자석인 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 몸체는 CD-ROM, DVD, 바이오 CD, 바이오 DVD 와 같은 박막 형태의 디스크 장치인 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 몸체는 초소형 구슬의 이탈을 방지하기 위한 구속홈 또는 구속 유로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 몸체는 윗 기질과 중간 기질과 아래 기질이 적층되어 구성된 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 제 14항에 있어서, 상기 윗 기질은 한쪽 챔버와 유공까지의 상측유로가 일정 깊이만큼 음각되고, 중간기질은 양쪽 챔버와 유공이 관통되고, 아래 기질은 다른 한쪽 챔버와 유공까지의 하측유로가 일정 깊이만큼 음각되어 설계된 것을 특징으로 하는 미세 밸브 장치.
- 미세 밸브 장치의 유공을 닫아 유로를 차단시키려면 상측 전자석은 전원을 차단하고 마주보는 하측 전자석에는 전원을 인가하여 상기 초소형 구슬에 대해 인 력이 작용하여 상기 유공에 밀착 부착되도록 하고, 반대로 유공을 열어 상기 유로를 연결시키려면 하측 전자석은 전원을 차단하고 마주보는 상측 전자석에는 전원을 인가하여 상기 초소형 구슬에 대해 인력이 작용하여 상기 구슬을 유공으로부터 이탈시키는 것을 특징으로 하는 제 1항에 따른 미세 밸브 장치의 제어 방법.
- 미세 밸브 장치의 유공을 닫아 유로를 차단시키려면, 상측 전극판은 상기 초소형 구슬의 전하와 동일 전원을 인가하여 상기 전하를 띤 초소형 구슬에 대해 반발력을 발생시키고 마주보는 하측 전극판에는 반대 전원을 인가하여 상기 전하를 띤 초소형 구슬에 대해 인력이 작용하여 상기 유공에 밀착 부착되도록 하고, 반대로 유공을 열어 상기 유로를 연결시키려면 하측 전극판에는 동일 전원을 인가하여 상기 전하를 띤 초소형 구슬에 대해 반발력을 발생시키고 마주보는 상측 전극판에는 반대 전원을 인가하여 상기 전하를 띤 초소형 구슬에 대해 인력이 작용하여 상기 구슬을 유공으로부터 이탈시키는 것을 특징으로 하는 제 2항에 따른 미세 밸브 장치의 제어 방법.
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