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KR100556316B1 - Method of RIT process for removing water in the gap of rod and tube - Google Patents

Method of RIT process for removing water in the gap of rod and tube Download PDF

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Publication number
KR100556316B1
KR100556316B1 KR1020020055363A KR20020055363A KR100556316B1 KR 100556316 B1 KR100556316 B1 KR 100556316B1 KR 1020020055363 A KR1020020055363 A KR 1020020055363A KR 20020055363 A KR20020055363 A KR 20020055363A KR 100556316 B1 KR100556316 B1 KR 100556316B1
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KR
South Korea
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quartz tube
primary preform
preform
torch
tube
Prior art date
Application number
KR1020020055363A
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Korean (ko)
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KR20040023914A (en
Inventor
박지상
박래혁
권영일
황석우
Original Assignee
엘에스전선 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

본 발명은 광섬유 프리폼 제조를 위한 RIT공정에 있어서 경계지점 수분제거를 위한 공정방법에 관한 것으로서 광섬유 1차프리폼과, 그 내경이 상기 1차프리폼의 외경보다 큰 석영튜브를 구비하는 제1단계; 상기 1차프리폼을 석영튜브의 중공에 삽입하고, 토치를 이용하여 상기 석영튜브의 일단을 용융시키는 제2단계; 진공제너레이터를 이용하여 상기 1차프리폼과 석영튜브 사이에 음압을 인가하여 용융된 석영튜브의 일단과 1차프리폼을 밀봉접합하는 제3단계; 상기 진공제너레이터를 가동하여 상기 1차프리폼과 석영튜브 사이를 음압으로 유지한 상태에서, 석영튜브의 길이방향을 따라 토치를 왕복시키면서 1차프리폼과 석영튜브 사이의 수분을 기화하여 배기시키는 제4단계; 및 상기 석영튜브의 길이방향을 따라 토치를 이송시키면서 상기 석영튜브를 열수축시켜 1차프리폼에 융착시키는 제5단계;를 포함하는 RIT 공정방법이 개시된다.The present invention relates to a process method for removing boundary moisture in a RIT process for manufacturing an optical fiber preform, comprising: a first step comprising an optical fiber primary preform and a quartz tube whose inner diameter is larger than the outer diameter of the primary preform; Inserting the first preform into the hollow of the quartz tube and melting one end of the quartz tube using a torch; A third step of sealingly bonding one end of the molten quartz tube and the primary preform by applying a negative pressure between the primary preform and the quartz tube using a vacuum generator; A fourth step of operating the vacuum generator to vaporize and evacuate moisture between the primary preform and the quartz tube while reciprocating the torch along the longitudinal direction of the quartz tube while maintaining the negative pressure between the primary preform and the quartz tube; ; And a fifth step of thermally contracting the quartz tube and fusing the primary preform while transferring the torch along the longitudinal direction of the quartz tube.

광섬유프리폼, RIT, 콜렙스Fiber Preform, RIT, Collebs

Description

경계지점 수분제거를 위한 ＲＩＴ 공정방법{Method of RIT process for removing water in the gap of rod and tube}Process of RIT process for removing water in the gap of rod and tube}

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.The following drawings attached to this specification are illustrative of preferred embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the invention to serve to further understand the technical spirit of the present invention, the present invention is a matter described in such drawings It should not be construed as limited to

도 1은 통상의 RIT 공정을 통해 제조되는 광섬유 프리폼의 크로스섹션을 보여주는 도면.1 is a cross-sectional view of an optical fiber preform manufactured through a conventional RIT process.

도 2는 본 발명에 따라 석영튜브의 중공에 1차프리폼을 삽입한 상태의 측단면을 도시하는 도면.2 is a side cross-sectional view of a state in which a primary preform is inserted into a hollow of a quartz tube according to the present invention;

도 3은 도 2에서 진공제너레이터를 통해 경계지점에 음압이 인가된 상태를 도시하는 도면.3 is a view showing a state in which a negative pressure is applied to the boundary point through the vacuum generator in FIG.

도 4는 도 3에서 석영튜브의 일단을 용융시켜 밀봉하는 공정을 보여주는 도면.4 is a view showing a process of melting and sealing one end of the quartz tube in FIG.

도 5는 본 발명에 따라 석영튜브의 길이방향을 따라 토치를 왕복시키면서 수분을 기화시키는 공정을 보여주는 도면.5 is a view showing a process of vaporizing water while reciprocating the torch along the longitudinal direction of the quartz tube according to the present invention.

도 6은 수분제거후 열수축 공정이 수행되는 모습을 보여주는 도면.6 is a view showing a heat shrink process is performed after the removal of moisture.

도 7은 본 발명에 따른 RIT 공정을 통해 제조된 최종프리폼의 구조를 보여주는 도면.7 is a view showing the structure of the final preform produced through the RIT process according to the present invention.

도 8은 본 발명을 통해 제조된 광섬유의 파장대별 광흡수손실을 종래의 기술과 비교한 그래프.8 is a graph comparing light absorption loss by wavelength band of an optical fiber manufactured through the present invention with conventional techniques.

<도면의 주요 참조부호에 대한 설명><Description of main reference numerals in the drawings>

10...1차프리폼 11...제1고정척 12...석영튜브10 ... 1st preform 11 ... 1st fixed chuck 12 ... Quartz tube

13...제2고정척 14...진공제너레이터 15...토치13 2nd fixed chuck 14 ... Vacuum generator 15 ... Torch

본 발명은 경계지점 수분제거를 위한 로드-인-튜브(Rod in Tube; 이하 RIT라고 함) 공정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 RIT 공정에 있어서 1차프리폼과 2차튜브 간의 경계지점에 존재하는 수분을 제거함으로써 고순도의 광섬유 프리폼을 제조하게 되는 RIT 공정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a rod in tube (hereinafter referred to as RIT) process method for removing moisture at a boundary point, and more particularly, at a boundary point between a primary preform and a secondary tube in a RIT process. The present invention relates to a RIT process for producing a high purity optical fiber preform by removing moisture.

RIT 공법은 1차프리폼을 2차튜브 내부에 삽입한 후, 2차튜브를 열수축시켜 1차프리폼에 융착시킴으로써 광섬유 프리폼을 제조하는 방법으로서, 광섬유 생산성을 높이기 위한 방안으로 현재 널리 사용되고 있는 기술이다.The RIT method is a method for manufacturing an optical fiber preform by inserting a primary preform into a secondary tube and heat-shrinking the secondary tube to fuse the primary preform, which is currently widely used as a method for increasing optical fiber productivity.

도 1에는 통상의 RIT 공법을 통해 제조된 광섬유 프리폼의 크로스섹션(Cross section)이 도시되어 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 1차프리폼(1)은 바람직하게 코어(1a), 클래드(1b) 및 1차튜브(1c)를 포함하여 구성이 되고, 상기 1차프리폼(1) 의 외곽에는 RIT공정을 통해 2차튜브(2)가 구성된다.1 illustrates a cross section of an optical fiber preform manufactured by a conventional RIT method. As shown in the figure, the primary preform 1 preferably comprises a core 1a, a clad 1b and a primary tube 1c, and an RIT outside the primary preform 1. The secondary tube 2 is constructed through the process.

일반적으로 상기 1차프리폼(1)은 미국특허 제US4217027호를 통해 개시된 MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition)법을 통해 제조가 된다. 즉, SiCl4, GeCl4, PoCl3 등의 원료물질을 담은 버블러에 캐리어가스를 통과시켜 상기 원료물질을 기화시킨 후 석영관에 해당하는 1차튜브(1c) 내부로 유입시키는 과정과, 토치(Torch)를 이용하여 상기 1차튜브(1c)를 반복적으로 가열함으로써 그 내부에 클래드(1b) 및 코어(1a)를 순차적으로 증착시키는 과정과, 최종적으로 열수축을 통해 1차튜브(1c) 중심의 빈공간을 채우는 콜렙스(Collapse) 과정을 거침으로써 순도가 높은 광섬유 프리폼을 얻게 된다.In general, the primary preform 1 is manufactured through the Modified Chemical Vapor Deposition (MCVD) method disclosed in US Pat. No. US4217027. That is, the process of passing the carrier gas through a bubbler containing a raw material such as SiCl 4 , GeCl 4 , PoCl 3 to vaporize the raw material and inflow into the primary tube 1c corresponding to the quartz tube, and torch The process of sequentially depositing the clad 1b and the core 1a therein by repeatedly heating the primary tube 1c by using Torch, and finally, centering the primary tube 1c through heat shrinkage. The high purity fiber preform is obtained by performing a Collapse process to fill the voids of the.

그러나, 이러한 MCVD공법은 석영관 내부로의 열전달 문제로 인해 OVD나 VAD와 같은 여타의 공법에 비해 증착량에 한계가 있으므로, 제조된 1차프리폼(1)을 2차튜브(2)에 삽입한 후 토치를 이용하여 열수축시킴으로써 1차프리폼(1)의 외곽에 2차튜브(2)를 융착시키는 RIT 공법을 사용하게 되는 것이다.However, since the MCVD method has a limited deposition amount compared to other methods such as OVD or VAD due to heat transfer problems inside the quartz tube, the prepared primary preform 1 is inserted into the secondary tube 2. After the heat contraction using the torch is to use the RIT method for fusion bonding the secondary tube (2) to the outside of the primary preform (1).

RIT와 관련된 종래의 기술로는, 미국특허 제US4820322호를 통해 소개된 기술을 들 수가 있다. 그러나, 이 특허를 비롯하여 종래의 RIT 기술들은 열수축 속도를 높이기 위해 2차튜브 내부를 음압, 즉 대기압보다 낮은 압력으로 유지시키고, 2차튜브를 효과적으로 가열하도록 열원으로서 H2/O2 토치를 통상적으로 사용하고 있는데, 이에 따라 고순도의 최종프리폼을 얻을 수 없는 문제점이 발생하게 된다.As a conventional technique related to RIT, a technique introduced through US Pat. However, conventional RIT techniques, including this patent, typically maintain H 2 / O 2 torch as a heat source to maintain the inside of the secondary tube at negative pressure, i.e., lower than atmospheric pressure, in order to speed up heat shrinkage, and to heat the secondary tube effectively. This results in a problem that cannot obtain a high purity final preform.

즉, 1차프리폼과 2차튜브 사이를 음압으로 유지한 상태에서 H2/O2 토치를 사 용하여 2차튜브를 가열하게 되면, 2차튜브의 개방된 부분을 통해 H2/O2 토치의 화염이 1차프리폼과 2차튜브 사이의 영역, 즉 경계지점으로 유입되고, 절대습도가 높은 화염이 상대적으로 온도가 낮은 1차프리폼 외벽 및 2차튜브 내벽에 접촉되어 수분이 응결(condensing)된다. 이렇게 응결된 수분은 1차프리폼 외벽과 2차튜브 내벽에 흡착되어 열수축 공정 후에도 1차프리폼과 2차튜브의 경계지점에 불순물로 존재하게 되는 것이다. 특히 이러한 수분 불순물은 광섬유 내에서 수산화이온으로 존재하게 되어, 주지하는 바와 같이 1385nm 파장의 빛을 흡수하게 됨으로써 1385nm 에서의 광흡수손실을 높이게 된다.That is, using a H 2 / O 2 torch while maintaining between the primary preform and the secondary tube with the negative pressure secondary When heating the tube, the second of H 2 / O 2 torch through a partial opening of the tube The flame flows into the area between the primary preform and the secondary tube, that is, the boundary point, and the flame with high absolute humidity contacts the outer wall of the primary preform and the inner tube of the secondary tube where the temperature is relatively low and condensing the moisture. . The condensed water is adsorbed on the outer wall of the primary preform and the inner wall of the secondary tube so that it exists as impurities at the boundary between the primary preform and the secondary tube even after the heat shrink process. In particular, such moisture impurities are present as hydroxide ions in the optical fiber, so as to absorb light having a wavelength of 1385 nm, it is possible to increase the light absorption loss at 1385 nm.

종래에는 이러한 문제점의 대안으로서, 클래드 직경(D)과 코어 직경(d)의 비율(D/d)을 증가시켜 1차프리폼(1)과 2차튜브(2) 경계지점에 있는 OH 오염물질이 광섬유 인선시 코어층으로 확산되지 않도록 충분한 거리를 유지하는 방법을 사용하였다. 그러나, 이러한 방법은 D/d를 크게해야 하므로 1차 프리폼에 대한 생산성을 떨어뜨리게 되는 취약점이 여전히 남아 있다.As an alternative to this problem, the OH contaminants at the boundary between the primary preform (1) and the secondary tube (2) are increased by increasing the ratio (D / d) of the clad diameter (D) and the core diameter (d). A method of maintaining a sufficient distance so as not to diffuse into the core layer during the optical fiber edge was used. However, since this method requires a large D / d, there are still vulnerabilities that reduce productivity for the primary preform.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, RIT 공정시 1차프리폼과 2차튜브 사이의 경계지점에 존재하는 수분을 제거하여 고순도의 광섬유 프리폼을 제조하게 되는 RIT 공정방법을 제공하는데 그 목적이 있다.        The present invention has been made to solve the above problems, to provide a RIT process method for manufacturing a high-purity optical fiber preform by removing the water present at the boundary between the primary preform and the secondary tube during the RIT process. Its purpose is.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 경계지점 수분제거를 위 한 RIT 공정방법은, 광섬유 1차프리폼과, 그 내경이 상기 1차프리폼의 외경보다 큰 석영튜브를 구비하는 제1단계; 상기 1차프리폼을 석영튜브의 중공에 삽입하고, 토치를 이용하여 상기 석영튜브의 일단을 용융시키는 제2단계; 진공제너레이터를 이용하여 상기 1차프리폼과 석영튜브 사이에 음압을 인가하여 용융된 석영튜브의 일단과 1차프리폼을 밀봉접합하는 제3단계; 상기 진공제너레이터를 가동하여 상기 1차프리폼과 석영튜브 사이를 음압으로 유지한 상태에서, 석영튜브의 길이방향을 따라 토치를 왕복시키면서 1차프리폼과 석영튜브 사이의 수분을 기화하여 배기시키는 제4단계; 및 상기 석영튜브의 길이방향을 따라 토치를 이송시키면서 상기 석영튜브를 열수축시켜 1차프리폼에 융착시키는 제5단계;를 포함한다.In order to achieve the above object, the RIT process method for removing the boundary point moisture in accordance with the present invention, the first step comprising an optical fiber primary preform and its inner diameter is larger than the outer diameter of the primary preform; Inserting the first preform into the hollow of the quartz tube and melting one end of the quartz tube using a torch; A third step of sealingly bonding one end of the molten quartz tube and the primary preform by applying a negative pressure between the primary preform and the quartz tube using a vacuum generator; A fourth step of operating the vacuum generator to vaporize and evacuate moisture between the primary preform and the quartz tube while reciprocating the torch along the longitudinal direction of the quartz tube while maintaining the negative pressure between the primary preform and the quartz tube; ; And a fifth step of thermally contracting the quartz tube while fusion to the primary preform while transferring the torch along the longitudinal direction of the quartz tube.

본 발명은 상기 제3단계에서, 1차프리폼과 석영튜브를 60RPM 이하의 속도로 회전시키는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.The present invention preferably further comprises a; in the third step, rotating the primary preform and the quartz tube at a speed of 60 RPM or less.

상기 1차프리폼과 석영튜브 사이에는 1기압 미만이 되도록 음압을 인가하는 것이 바람직하며, 수분의 기화를 위해 상기 제4단계에서는, 1차프리폼과 석영튜브 사이의 온도가 100℃ 이상으로 유지된다.A negative pressure is preferably applied between the primary preform and the quartz tube to be less than 1 atm. In the fourth step, for the vaporization of water, the temperature between the primary preform and the quartz tube is maintained at 100 ° C. or higher.

상기 제4단계에서, 석영튜브의 크랙방지를 위해 토치의 온도는 2000℃ 이하로 설정이 되며, 이송속도는 10mm/min 이하로 설정되는 것이 바람직하다.In the fourth step, to prevent cracking of the quartz tube, the temperature of the torch is set to 2000 ° C. or less, and the feeding speed is preferably set to 10 mm / min or less.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 2에는 본 발명에 따른 RIT 공정을 수행하기 위한 장치구성과 최초 셋팅상태가 도시되어 있다. 도면에 나타난 바와 같이, 2차튜브(이하 석영튜브라고 함)(12)의 내부 중공에는 1차프리폼(10)이 동심을 유지한 상태로 삽입되고, 상기 1차프리폼(10)과 석영튜브(12)에는 지지와 동시에 축방향 혹은 반경방향 위치조절을 할 수 있도록 제1고정척(11)과 제2고정척(13)이 각각 고정설치된다.First, FIG. 2 shows an apparatus configuration and initial setting state for performing the RIT process according to the present invention. As shown in the figure, the primary preform 10 is inserted into the inner hollow of the secondary tube (hereinafter referred to as quartz tube) 12 while maintaining concentricity, and the primary preform 10 and the quartz tube ( 12, the first fixing chuck 11 and the second fixing chuck 13 are fixedly installed so as to support the axial or radial position at the same time as the support.

여기서, 상기 1차프리폼(10)과 석영튜브(12)의 구조는 통상의 RIT 공정에 사용되는 것이 동일하게 채용된다.Here, the structures of the primary preform 10 and the quartz tube 12 may be used in the same manner as in the conventional RIT process.

상기 석영튜브(12)의 일단부는 개방이 되며, 그 타단부는 진공 제너레이터(Vacuum generator)(14)와 연통되며 결합된다.One end of the quartz tube 12 is opened, and the other end thereof is in communication with the vacuum generator 14 and is coupled.

도 3에는 본 발명에 따라 토치(15)를 이용하여 상기 석영튜브(12)의 개방된 부분을 가열함과 동시에 진공제너레이터(14)를 가동하여 석영튜브(12) 내부를 음압으로 유지하는 공정이 도시되어 있다. 도면에서, 점선화살표는 배기상태를 나타낸다. 바람직하게, 상기 진공제너레이터(14)는 석영튜브(12) 내부의 압력이 1기압 미만이 되도록 음압을 인가한다.3 shows a process of heating the open portion of the quartz tube 12 using the torch 15 and simultaneously operating the vacuum generator 14 to maintain the inside of the quartz tube 12 at a negative pressure. Is shown. In the figure, the dotted arrow indicates the exhaust state. Preferably, the vacuum generator 14 applies a negative pressure so that the pressure inside the quartz tube 12 is less than 1 atmosphere.

바람직하게, 상기 토치(15)로는 통상의 MCVD나 RIT 공법에 사용되는 H2/O2 토치가 채용되나 반드시 이것에 한정되는 것은 아니다. 알려진 바와 같이, 상기 토치(15)로부터 방사되는 화염은 음압상태의 석영튜브(12) 내부로 유입이 되고, 이에 따라 1차프리폼(10)의 외벽이나 석영튜브(12)의 내벽에는 수분불순물이 흡착된다.Preferably, the torch 15 is an H 2 / O 2 torch used in a conventional MCVD or RIT method, but is not necessarily limited thereto. As known, from the torch 15 The radiating flame is introduced into the quartz tube 12 in a negative pressure state, whereby water impurities are adsorbed onto the outer wall of the primary preform 10 or the inner wall of the quartz tube 12.

한편, 상기 석영튜브(12)의 개방부분은 토치(15)에 의해 바람직하게, 1700℃ 이상으로 가열되어 용융상태가 되고, 진공제너레이터(14)를 통해 석영튜브(12) 내 부는 음압으로 유지되므로 용융부분이 음압에 의해 유동하면서 1차프리폼(10)의 외벽에 접합되어 밀봉상태를 유지하게 된다. 도 4는 이러한 상태를 보여주는 도면으로서, 석영튜브(12)의 끝부분이 용융되어 1차프리폼(10)에 접합된 모습이 검은색 부분으로 도시되어 있다.On the other hand, the open portion of the quartz tube 12 is preferably heated to 1700 ° C. or more by the torch 15 to become molten, and the inside of the quartz tube 12 is maintained at a negative pressure through the vacuum generator 14. The molten portion is joined to the outer wall of the primary preform 10 while maintaining the sealing state while flowing by the negative pressure. 4 is a view showing such a state, in which the end of the quartz tube 12 is melted and bonded to the primary preform 10 is shown as a black portion.

여기서, 바람직하게는 1차프리폼(10)과 석영튜브(12)를 60RPM 이하의 저속으로 회전시킴으로써 1차프리폼(10)과 석영튜브(12) 간의 얼라인먼트(Alignment)를 향상시키게 된다. 이때, 60RPM 보다 고속으로 회전하게 되면 1차프리폼(10)과 석영튜브(12)의 중심축이 서로 어긋나서 충돌하는 현상이 발생하게 된다.Here, the alignment between the primary preform 10 and the quartz tube 12 may be improved by rotating the primary preform 10 and the quartz tube 12 at a low speed of 60 RPM or less. At this time, when rotating at a higher speed than 60 RPM, the central axes of the primary preform 10 and the quartz tube 12 are shifted from each other and collide with each other.

도 5는 도 4의 상태에서 토치(15)를 석영튜브(12)의 길이방향을 따라 왕복이송시키면서 1차프리폼(10)의 외벽과 석영튜브(12)의 내벽에 흡착되어 있던 수분을 기화시키는 공정이 도시되어 있다. 이때, 상기 토치(15)의 온도는 1차프리폼(10)과 석영튜브(12) 사이의 영역이 100℃ 이상으로 유지되도록 설정이 되며, 바람직하게는 석영튜브(12)의 크랙(Crack)방지를 위해 2000℃ 이하로 설정이 된다. 아울러, 상기 토치(15)의 이송속도는 석영튜브(12)의 크랙(Crack)방지를 위해 10mm/min 이하로 설정하는 것이 바람직하다.5 vaporizes moisture adsorbed on the outer wall of the primary preform 10 and the inner wall of the quartz tube 12 while reciprocating the torch 15 along the longitudinal direction of the quartz tube 12 in the state of FIG. 4. The process is shown. At this time, the temperature of the torch 15 is set so that the area between the primary preform 10 and the quartz tube 12 is maintained at 100 ° C. or higher, and preferably, crack prevention of the quartz tube 12 is prevented. It is set below 2000 ℃. In addition, the feed rate of the torch 15 is preferably set to 10 mm / min or less to prevent cracking of the quartz tube (12).

상기와 같이 밀폐된 석영튜브(12) 내부의 수분을 기화시켜 배기하는 진공가열공정을 바람직하게 10분 이상 수행하게 되면 1차프리폼(10)과 석영튜브(12) 사이에는 수분이 모두 제거된 상태가 되고, 이어서 붕괴공정에 해당하는 열수축 단계가 진행된다.When the vacuum heating process for vaporizing and evacuating the water inside the hermetically sealed quartz tube 12 is preferably performed for 10 minutes or more, the water is completely removed between the primary preform 10 and the quartz tube 12. Then, the heat shrink step corresponding to the collapse process is performed.

도 6은 1차프리폼(10)에 대하여 석영튜브(12)를 열수축시켜 융착하는 공정을 나타내는 도면으로서, 석영튜브(12)가 용융되도록 예컨대, 1700℃ 이상으로 가열하면서 석영튜브(12)의 일단으로부터 타단으로 토치(15)를 이송시키는 과정이 도시되어 있다. 이때, 진공제너레이터(14)는 석영튜브(12) 내부에 지속적으로 음압을 인가하여 열수축 속도를 향상시키는 역할을 수행한다.FIG. 6 is a view illustrating a process of thermally contracting and fusion of the quartz tube 12 with respect to the primary preform 10. One end of the quartz tube 12 is heated to, for example, 1700 ° C. or more so that the quartz tube 12 is melted. The process of conveying the torch 15 from to the other end is shown. At this time, the vacuum generator 14 serves to improve the heat shrinkage rate by continuously applying a negative pressure inside the quartz tube (12).

이와 같이 토치(15)가 이송됨에 따라 순차적으로 석영튜브(12)가 열수축되면서 1차프리폼(10)에 융착되어 최종적으로는 도 7에 도시된 바와 같은 광섬유 프리폼이 얻어지게 된다.As the torch 15 is transferred as described above, the quartz tube 12 is sequentially thermally contracted and fused to the primary preform 10 to finally obtain an optical fiber preform as shown in FIG. 7.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조로 설명하였다. 여기서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.In the above, preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings. Herein, the terms or words used in the present specification and claims should not be interpreted as being limited to the ordinary or dictionary meanings, and the inventors properly define the concept of terms in order to explain their own invention in the best way. It should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention based on the principle that it can. Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

본 발명에 따른 RIT 공정방법은 진공가열을 통해 1차프리폼과 2차튜브 사이에 존재하는 수분을 기화 및 배기한 상태에서 열수축 공정을 수행하게 되므로 고순도의 광섬유 프리폼을 제조할 수 있는 효과가 있다. The RIT process method according to the present invention has an effect of manufacturing a high-purity optical fiber preform because the heat shrink process is performed in a state in which water existing between the primary preform and the secondary tube is vaporized and exhausted through vacuum heating.                     

이에 따라, 본 발명에 의하면 도 8에 도시된 바와 같이 종래의 기술에 비해 1385nm에서의 광흡수손실이 현저히 감소되는 광섬유를 제조할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, according to the present invention, as illustrated in FIG. 8, an optical fiber having a light absorption loss at 1385 nm is significantly reduced compared to the conventional technology.

Claims (7)

광섬유 1차프리폼(10)과, 그 내경이 상기 1차프리폼(10)의 외경보다 큰 석영튜브(12)를 구비하는 제1단계;A first step having an optical fiber primary preform (10) and a quartz tube (12) whose inner diameter is larger than the outer diameter of the primary preform (10); 상기 1차프리폼(10)을 석영튜브(12)의 중공에 삽입하고, 토치(15)를 이용하여 상기 석영튜브(12)의 일단을 용융시키는 제2단계;A second step of inserting the primary preform 10 into the hollow of the quartz tube 12 and melting one end of the quartz tube 12 by using a torch 15; 진공제너레이터(14)를 이용하여 상기 1차프리폼(10)과 석영튜브(12) 사이에 음압을 인가하여 용융된 석영튜브(12)의 일단과 1차프리폼(10)을 밀봉접합하는 제3단계;A third step of sealingly bonding one end of the molten quartz tube 12 and the primary preform 10 by applying a negative pressure between the primary preform 10 and the quartz tube 12 using the vacuum generator 14 ; 상기 진공제너레이터(14)를 가동하여 상기 1차프리폼(10)과 석영튜브(12) 사이를 음압으로 유지한 상태에서, 석영튜브(12)의 길이방향을 따라 토치(15)를 왕복시키면서 1700℃ 미만으로 상기 석영튜브(12)를 가열하여 1차프리폼(10)과 석영튜브(12) 사이의 수분을 기화하여 배기시키는 제4단계; 및While operating the vacuum generator 14 to maintain the negative pressure between the primary preform 10 and the quartz tube 12 at a negative pressure, 1700 ° C while reciprocating the torch 15 along the longitudinal direction of the quartz tube 12. A fourth step of heating the quartz tube 12 below to vaporize and evacuate moisture between the primary preform 10 and the quartz tube 12; And 상기 석영튜브(12)의 길이방향을 따라 토치(15)를 이송시키면서 상기 석영튜브(12)를 열수축시켜 1차프리폼(10)에 융착시키는 제5단계;를 포함하는 RIT 공정방법.And a fifth step of thermally contracting the quartz tube (12) and fusion welding the primary preform (10) while transferring the torch (15) along the longitudinal direction of the quartz tube (12). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제3단계에서, 1차프리폼과 석영튜브를 60RPM 이하의 속도로 회전시키는 단계;를 더 포함하는 RIT 공정방법.In the third step, the step of rotating the primary preform and the quartz tube at a speed of less than 60 RPM; RIT process method further comprising. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 1차프리폼과 석영튜브 사이의 압력이 1기압 미만이 되도록 음압이 인가 되는 것을 특징으로 하는 RIT 공정방법.RIT process characterized in that the negative pressure is applied so that the pressure between the primary preform and the quartz tube is less than 1 atm. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제4단계에서, 1차프리폼과 석영튜브 사이의 온도를 100℃ 이상으로 유지하는 것을 특징으로 하는 RIT 공정방법.In the fourth step, the temperature between the first preform and the quartz tube is maintained at 100 ℃ or more method. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제4단계를 10분 이상 수행하는 것을 특징으로 하는 RIT 공정방법.RIT process characterized in that the fourth step is performed for more than 10 minutes. 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제4단계에서, 석영튜브의 크랙방지를 위해 토치의 이송속도를 10mm/min 이하로 설정하는 것을 특징으로 하는 RIT 공정방법.In the fourth step, RIT process characterized in that for setting the feed rate of the torch to less than 10mm / min to prevent cracking of the quartz tube.
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