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KR100457739B1 - High frequency test device - Google Patents

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KR100457739B1
KR100457739B1 KR10-2000-0086315A KR20000086315A KR100457739B1 KR 100457739 B1 KR100457739 B1 KR 100457739B1 KR 20000086315 A KR20000086315 A KR 20000086315A KR 100457739 B1 KR100457739 B1 KR 100457739B1
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KR
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clock
signal
data
high frequency
frequency test
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KR10-2000-0086315A
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Korean (ko)
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KR20020058268A (en
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김영희
박종태
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주식회사 하이닉스반도체
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Abstract

본 발명은 고주파 테스트 장치에 관한 것으로, 특히, 칩 외부 테스트 장비의 속도 한계를 칩 내부에서 클럭 주기를 제어함으로써 극복하도록 하는 고주파 테스트 장치에 관한 것이다. 따라서, 웨이퍼 레벨에서의 고주파 테스트가 가능하도록 하여 테스트 장비의 업그레이드 주기를 늘릴 수 있고, 칩을 패키징하기 전에 고 속도로 패일 칩을 선별할 수 있어 비용을 절감할 수 있게 되는 효과를 제공한다.The present invention relates to a high frequency test apparatus, and more particularly, to a high frequency test apparatus for overcoming the speed limit of an off-chip test equipment by controlling a clock period inside the chip. This enables high frequency testing at the wafer level, increasing the upgrade cycle of the test equipment, and reducing the cost by selecting fail chips at high speed before packaging the chips.

Description

고주파 테스트 장치{High frequency test device}High frequency test device

본 발명은 고주파 테스트 장치에 관한 것으로서, 특히, 메모리 칩 내부에서 주파수 분할부를 이용하여 내부 마스터 클럭의 주기를 줄임으로써 외부 장비의 속도나 인터페이스의 로딩으로 인한 속도의 제약 조건을 없애고 고주파 테스트를 가능하게 하는 고주파 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high frequency test apparatus, and in particular, by reducing the period of the internal master clock by using the frequency divider in the memory chip, it is possible to remove the constraints of the speed due to the speed of external equipment or the interface loading and to perform the high frequency test. To a high frequency test apparatus.

기존의 테스트 장치에서 사용되는 테스트 주파수는 장비의 클럭 발생 능력과 장비 및 칩간 인터페이스의 LRC정도에 의존한다.The test frequency used in a conventional test device depends on the clock generation capability of the device and the LRC level of the device and the chip-to-chip interface.

따라서, 웨이퍼 레벨에서 기능 테스트의 경우 장비와 칩간에 프로브 카드(probe card)와 본딩(bonding)에 필요한 와이어(wire)등으로 인하여 LRC가 증가하게 되고, 장비 자체의 클럭 발생 능력으로 인해 50㎒이상에서 기능 테스트가 거의 불가능 하였다.Therefore, in the functional test at the wafer level, the LRC increases due to the wires necessary for the probe card and bonding between the device and the chip, and the clock generation capability of the device itself is more than 50 MHz. In functional testing was almost impossible.

이로 인하여 고주파 테스트시 그 장치의 구동능력이 검증이 안된 상태에서 메모리 칩을 패키지를 할 수 밖에 없었다.This forced the memory chip to be packaged in a state where the drive capability of the device was not verified during the high frequency test.

이렇게 패키지된 칩 상태에서 고주파 기능 테스트를 수행하게 되면 웨이퍼 일드(wafer yield)와 패키지 일드(package yield)의 차가 커질 수 밖에 없고, 이러한 경우 칩의 생산 단가가 증가하게 되는 문제점이 있다.When the high frequency function test is performed in the packaged chip state, the difference between the wafer yield and the package yield is inevitably increased. In this case, the production cost of the chip increases.

또한, 현재 반도체 칩의 동작 속도는 빠른 속도로 개선되고 있는 반면에 테스트에 사용되는 장비의 클럭 발생 속도는 반도체 칩의 동작 속도에 미치지 못하여 테스트상의 어려움이 증가되고 있다.In addition, the operation speed of the semiconductor chip is rapidly improving, while the clock generation speed of the equipment used for the test is less than the operation speed of the semiconductor chip, thereby increasing test difficulties.

따라서, 기존의 테스트 장치의 문제점에 대한 유일한 해결책은 테스트 장비의 업그레이드밖에 없으며 이는 또한 반도체 칩의 생산 단가를 올리는 주요 원인이 된다.Therefore, the only solution to the problem of the existing test apparatus is to upgrade the test equipment, which is also a major cause of increasing the production cost of the semiconductor chip.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 고주파 내부 클럭을 생성하여 고주파 테스트시에 이용하도록 하는데 제 1목적이 있다.The present invention was created to solve the above problems, and has a first object of generating a high frequency internal clock and using the same when performing a high frequency test.

그리고, 본 발명은 주파수 분할 방식으로 내부클럭을 생성하고, 외부클럭 또는 내부클럭을 선택하여 고주파 테스트에 이용하도록 하는데 제 2목적이 있다.In addition, the present invention has a second object of generating an internal clock in a frequency division scheme, selecting an external clock or an internal clock, and using the same for a high frequency test.

또한, 본 발명은 PLL,DLL 또는 클럭 주기 분할기등을 사용하여 외부 클럭 주파수보다 칩 내부클럭의 주파수를 증가시키고, 내부 데이타의 패턴을 제어하도록 하는 하는데 제 3목적이 있다.In addition, the present invention has a third purpose to increase the frequency of the chip internal clock and control the pattern of the internal data using a PLL, DLL or clock period divider.

도 1은 본 발명에 따른 고주파 테스트 장치에 관한 블록도,1 is a block diagram of a high frequency test apparatus according to the present invention,

도 2는 도 1의 고주파 테스트 장치에 관한 타이밍도,2 is a timing diagram related to the high frequency test apparatus of FIG. 1;

도 3은 본 발명에 따른 고주파 테스트 장치의 클럭 선택부에 관한 도면,3 is a view of a clock selector of the high frequency test apparatus according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 고주파 테스트 장치의 입력데이타 제어부에 관한 도면,4 is a view of an input data control unit of the high frequency test apparatus according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 고주파 테스트 장치의 클럭 주파수 분할부에 관한 회로도,5 is a circuit diagram of a clock frequency division unit of the high frequency test apparatus according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 고주파 테스트 장치의 동작 타이밍도.6 is an operation timing diagram of a high frequency test apparatus according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

70 : PLL 80 : 클럭 선택부70: PLL 80: clock selector

100 : 클럭 주파수 분할부 120 : 입력 데이타 제어부100: clock frequency division unit 120: input data control unit

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 고주파 테스트 장치는, 외부클럭을 입력받아 버퍼링하여 출력하는 클럭버퍼, 상기 클럭버퍼로부터 출력되는 버퍼링된 외부클럭을 입력받아 내부클럭의 주파수를 증가시키는 주파수 조절수단, 고주파 테스트 모드 진입신호의 상태에 따라 상기 버퍼링된 외부클럭 또는 상기 주파수 조절수단으로부터 출력되는 상기 내부클럭을 선택하여 내부 마스터 클럭으로 출력하는 클럭 선택수단, 상기 클럭 선택수단으로부터 인가되는 상기 내부 마스터 클럭과 파워업신호의 논리조합에 따라 클럭의 한 주기마다 데이타를 제어하기 위한 데이타 클럭신호를 출력하는 클럭 주파수 분할수단 및 상기 데이타 클럭신호와 데이타 패턴 선택신호의 논리조합에 따라 상기 데이타를 제어하여 글로벌 입력라인으로 출력하는 입력 데이타 제어수단을 구비함을 특징으로 한다.이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 고주파 테스트 장치의 고주파 테스트 모드시 내부 마스터 클럭의 주파수를 외부클럭의 주파수보다 증가시키도록 하는 PLL에 관한 블록도이다.In order to achieve the above object, the high frequency test apparatus of the present invention includes a clock buffer for receiving and buffering an external clock, and a frequency adjusting means for increasing the frequency of the internal clock by receiving a buffered external clock output from the clock buffer. Clock selection means for selecting the buffered external clock or the internal clock output from the frequency adjusting means and outputting the internal clock as an internal master clock according to a state of a high frequency test mode entry signal, and the internal master clock applied from the clock selection means And clock frequency dividing means for outputting a data clock signal for controlling data at one cycle of the clock according to a logical combination of a power-up signal and a data combination according to the logical combination of the data clock signal and the data pattern selection signal. Input to output to the input line Another control means is provided. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a high frequency test mode of a high frequency test apparatus according to a first embodiment of the present invention. Is a block diagram of a PLL for increasing the frequency of a clock internal master clock above the frequency of an external clock.

도 1의 구성은 외부클럭을 입력받아 버퍼링하여 출력하는 클럭버퍼(10)와, PLL(70)로 이루어진다.The configuration of FIG. 1 includes a clock buffer 10 that receives an external clock, buffers the output, and a PLL 70.

PLL(70)은 클럭버퍼(10)로부터 출력되는 외부클럭의 위상 주파수를 검출하여 출력하는 위상 주파수 검출부(PFD;Phase frequency detector;20)와, 위상 주파수 검출부(20)로부터 입력되는 신호를 차지펌프하는 차지펌프부(charge pump;30)와, 차지펌프부(30)로부터 인가되는 신호를 필터링하는 루프 필터(Loop filter;40)와, 루프필터(40)로부터 인가되는 신호의 주파수를 제어하여 내부클럭(Imclk)을 출력하는 전압 제어 발진기(50)와, 전압제어 발진기(50)로부터 출력되는 내부클럭(Imclk)을 피드백 입력받아 주파수 분할하여 위상 주파수 검출부(20)로 출력하는 주파수 분할부(60)로 이루어진다.The PLL 70 charge pumps a phase frequency detector 20 for detecting and outputting a phase frequency of an external clock output from the clock buffer 10 and a signal input from the phase frequency detector 20. A charge pump unit 30, a loop filter 40 for filtering a signal applied from the charge pump unit 30, and a frequency of a signal applied from the loop filter 40. The frequency divider 60 outputs the frequency controlled oscillator 50 that outputs the clock Imclk and the internal clock Imclk that is output from the voltage controlled oscillator 50, and divides the frequency into the phase frequency detector 20. )

여기서, PLL(Phase-locked loop;위상동기 루프;70)은 외부클럭 주파수를 입력받아 내부클럭의 주파수를 증가시키기 위한 것으로서, 위상 주파수 검출부(20)에 피드백 되어 입력되는 내부클럭(Imclk)을 주파수 분할부(60)를 사용하여 분할하고, 전압제어 발진기(VCO;Voltage controlled oscillator;50)의 출력인 내부클럭(Imclk) 주파수를 증가시킨다.Here, a phase-locked loop (PLL) 70 is used to increase the frequency of an internal clock by receiving an external clock frequency, and frequency the internal clock Imclk fed back to the phase frequency detector 20. The division unit 60 divides the signal by using the division unit 60, and increases the internal clock frequency Imclk, which is the output of the voltage controlled oscillator 50.

즉, 주파수 분할부(60)의 갯수를 몇 개 사용하느냐에 따라 외부클럭 주기에 대한 PLL(70)의 출력, 즉, 내부 마스터 클럭의 감소율(decrease ratio)이 결정된다.That is, the output ratio of the PLL 70 for the external clock period, that is, the decrease ratio of the internal master clock is determined according to the number of the frequency divider 60 used.

만약, 외부클럭의 듀티 사이클이 50%로 정확하게 입력된다면 이 클럭의 라이징 엣지와 폴링 엣지에서 위상을 비교하고, 외부클럭의 듀티 사이클이 정확하게 50%로 입력되지 않으면 외부클럭의 라이징 엣지와 외부클럭의 한 주기동안 발생하는 클럭들 중에서 맨 처음에 발생하는 분할된 내부클럭의 라이징 엣지를 비교하면 된다.If the duty cycle of the external clock is correctly input at 50%, the phase is compared at the rising edge and the falling edge of this clock.If the duty cycle of the external clock is not exactly 50%, the rising edge of the external clock and the external clock are Compare the rising edges of the divided internal clocks that occur first among the clocks generated during one period.

따라서, 본 발명의 실시예에서는 내부클럭의 주파수를 증가시키기 위해 PLL(70)을 사용하였지만 PLL(70) 대신에 DLL이나 외부클럭과의 위상을 비교하지 않는 클럭 주기 분할기등을 사용하여도 무방하다.Therefore, in the embodiment of the present invention, although the PLL 70 is used to increase the frequency of the internal clock, a clock cycle divider that does not compare the phase with the DLL or the external clock may be used instead of the PLL 70. .

도 2는 도 1의 고주파 테스트 장치의 동작 타이밍도로서 외부클럭에 비해 고주파 테스트 클럭의 주파수가 증가함을 알 수 있다.2 is an operation timing diagram of the high frequency test apparatus of FIG. 1, and it can be seen that the frequency of the high frequency test clock is increased compared to the external clock.

한편, 도 3은 본 발명에 따른 고주파 테스트 장치의 다른 실시예이다.On the other hand, Figure 3 is another embodiment of a high frequency test apparatus according to the present invention.

도 3은 보면, 본 발명의 실시예는 외부클럭을 입력받아 버퍼링하여 출력하는 클럭버퍼(10)와, 클럭버퍼(10)로부터 인가되는 외부클럭의 주파수를 증가시켜 주파수 증가된 내부클럭(Imclk)을 출력하기 위한 PLL(70)과, 정상 내부 마스터 클럭과 고주파수 테스트 모드에서의 내부 마스터 클럭(int_mclk)을 선택하기 위한 클럭선택부(80)로 이루어진다.Referring to FIG. 3, an embodiment of the present invention increases an internal clock (Imclk) by increasing a frequency of a clock buffer 10 that receives an external clock and buffers and outputs an external clock applied from the clock buffer 10. And a clock selector 80 for selecting a normal internal master clock and an internal master clock int_mclk in the high frequency test mode.

여기서, 클럭선택부(80)는 PMOS트랜지스터를 통해 고주파 테스트 모드 진입신호(st_hfreq)를 입력받고 NMOS트랜지스터를 통해 인버터(IV1)에 의해 반전된 고주파 테스트 모드 진입신호(st_hfreq)를 입력받으며 이 신호의 상태에 따라 클럭버퍼(10)로부터 인가되는 외부클럭을 그대로 내부 마스터 클럭신호(int_mclk)로 출력하는 전송게이트(PG0)와, NMOS트랜지스터를 통해 고주파 테스트 모드 진입신호(st_hfreq)를 입력받고 PMOS트랜지스터를 통해 인버터(IV1)에 의해 반전된 고주파 테스트 모드 진입신호(st_hfreq)를 입력받으며 이 신호의 상태에 따라 PLL(70)로부터 인가되는 내부클럭(Imclk)을 내부 마스터 클럭신호(int_mclk)로 출력하는 전송게이트(PG1)로 이루어진다.Here, the clock selector 80 receives the high frequency test mode entry signal st_hfreq through the PMOS transistor and the high frequency test mode entrance signal st_hfreq inverted by the inverter IV1 through the NMOS transistor. According to the state, the transmission gate PG0 for outputting the external clock applied from the clock buffer 10 as the internal master clock signal int_mclk and the high frequency test mode entry signal st_hfreq through the NMOS transistor are input to receive the PMOS transistor. Receives the high frequency test mode entry signal st_hfreq inverted by the inverter IV1 and transmits the internal clock Imclk applied from the PLL 70 as the internal master clock signal int_mclk according to the state of the signal. The gate PG1 is formed.

따라서, 클럭선택부(80)는 고주파 테스트 모드 진입 신호(st_hfreq)의 상태에 따라 전송게이트(PG0,PG1)를 선택적으로 제어하여, 정상 테스트시에는 외부클럭을 그대로 내부 마스터 클럭(int_mclk)으로서 출력하고 고주파수 테스트 모드시에는 PLL(70)로부터 인가되는 주파수 증가된 내부클럭(Imclk)을 내부 마스터 클럭으로 출력하게 된다.Accordingly, the clock selector 80 selectively controls the transmission gates PG0 and PG1 according to the state of the high frequency test mode entry signal st_hfreq, and outputs the external clock as the internal master clock int_mclk during the normal test. In the high frequency test mode, the frequency increased internal clock (Imclk) applied from the PLL 70 is output to the internal master clock.

즉, 정상 동작시에는 클럭버퍼(10)로부터 인가되는 외부클럭을 사용하고, 고주파 테스트 모드시에는 내부클럭의 주파수를 분할하기 위한 멀티플(multiple)용 PLL(70), DLL 또는 클럭 주기 분할기의 출력을 내부 마스터 클럭(int_mclk)으로 사용한다.That is, the external clock applied from the clock buffer 10 is used in normal operation, and the output of the multiple PLL 70, DLL, or clock period divider for dividing the frequency of the internal clock in the high frequency test mode. Is used as the internal master clock (int_mclk).

이러한 구성을 갖는 본 발명의 클럭선택부에 관한 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the clock selector of the present invention having such a configuration will be described below.

먼저, 고주파 테스트 모드 진입을 알리는 고주파 테스트 모드 진입 신호(st_hfreq)가 하이로 인에이블 되면 전송게이트(PG1)가 턴온되어 PLL(70)로부터 인가되는 내부클럭(Imclk)의 출력을 내부 마스터 클럭(int_mclk)으로 출력하게 된다.First, when the high frequency test mode entry signal st_hfreq indicating high frequency test mode entry is enabled, the transmission gate PG1 is turned on to output the output of the internal clock Imclk applied from the PLL 70 to the internal master clock int_mclk. Will be printed).

또한, 고주파 테스트 모드 진입신호(st_hfreq)가 로우로 디세이블 되면 전송게이트(PG0)가 턴온되어 클럭 버퍼(10)로부터 인가되는 외부클럭의 출력이 그대로 내부 마스터 클럭 신호(int_mclk)가 된다.In addition, when the high frequency test mode entry signal st_hfreq is disabled, the transmission gate PG0 is turned on so that the output of the external clock applied from the clock buffer 10 becomes the internal master clock signal int_mclk.

한편, 보통의 고주파 테스트시 리드(read)용 데이타의 추출은 한 클럭에 2개 정도가 가능하다.On the other hand, in the normal high frequency test, the extraction of read data is possible about two in one clock.

따라서, 한 클럭 주기 내에 2개의 데이타 스트로브(strobe)신호를 띄워서 칩에서 입력되는 데이타를 추출하고 이를 라이트시 칩으로 출력한 데이타와 비교하여패스/패일을 판정하게 된다.Accordingly, two data strobe signals are displayed within one clock period to extract data input from the chip, and compare the data input to the chip upon writing to determine the pass / fail.

이 고주파 테스트에서는 외부클럭 한 주기동안 n개의 데이타를 내보낼 수 있는데, 만약 장비의 데이타 스트로브 갯수가 n개가 않되는 경우는 부족한 만큼 테스트의 횟수를 늘리고 매번 데이타 스트로브 인에이블 시간을 바꿔가면서 추출하면 된다.In this high frequency test, n data can be exported during one external clock cycle. If the number of data strobes of the equipment is not n, the number of tests is increased and the data strobe enable time is changed each time.

따라서, 고주파 테스트시 리드(read)동작은 칩 내부의 회로를 변경 내지 추가하지 않고도 테스트 방법의 변경에 의해 구현할 수 있다.Therefore, the read operation during the high frequency test can be implemented by changing the test method without changing or adding a circuit inside the chip.

한편, 고주파 테스트시 라이트(write)의 경우는 테스트 장비에서 클럭의 한 주기 동안 두개 이상의 데이타를 보내주기가 쉽지 않을 관계로 라이트시 데이타의 제어 방법을 고려해야 한다.On the other hand, in the case of writing during a high frequency test, it is not easy to send two or more pieces of data during one cycle of the clock in the test equipment, and thus a method of controlling data at the time of writing should be considered.

이상에서와 같이 고주파 테스트의 라이트시 고려해야할 상황은 두가로 나누어볼 수 있다.As mentioned above, the situation to be considered when writing a high frequency test can be divided into two.

하나는 외부 한 클럭 주기 동안 데이타를 2개 이상(편의상 n개로 표기) 기록 분할기에 출력해야 한다는 것과, 또 하나는 솔리드 라이트(solid write)와 체크 보더(check boarder)방식 모두를 지원해 주어야 한다는 것이다.One must output two or more data (indicated by n for convenience) to the write divider during an external clock cycle, and one must support both solid write and check boarder methods.

여기서, 버스트(burst) 기록시 DQ핀을 통해 매 클럭마다 데이타를 메모리 셀에 기록할 경우, 매 클럭마다 똑같은 데이타, 예를 들면, 1이면 계속 1, 0이면 계속 0의 데이타를 DQ핀에 입력하는 경우를 솔리드 라이트라고 한다.Here, when data is written to a memory cell every clock through the DQ pin during burst writing, the same data every clock, for example, 1 is continuously 1, 0 is continuously 0, is input to the DQ pin. This is called solid light.

또한, 매 클럭마다 데이타를 토글링(toggling)하면, 즉, 한번은 0, 한번은 1의 데이타를 입력하면 체크 보더 기록 방식이라고 한다In addition, when data is toggled every clock, that is, once the data of 0 is input and 1 is input, it is called a check border recording method.

일단 외부 테스트 장비의 입장에서는 한 클럭 동안 데이타를 하나밖에 칩에 공급해 줄 수밖에 없기 때문에, 셀에 데이타가 솔리드 방식으로 라이트 되든 체크 보더 방식으로 라이트 되든 상관없이 항상 동일 데이타만을 공급할 수밖에 없다.From the point of view of the external test equipment, only one data can be supplied to the chip for one clock, so it is only possible to supply the same data regardless of whether the data is written to the cell in a solid or check border manner.

따라서, 본 발명에서는 외부 테스트 장비와 상관없이 라이트시 데이타의 패턴을 칩 내부에서 결정해 주도록 한다.Therefore, in the present invention, the pattern of write data is determined inside the chip regardless of external test equipment.

도 4는 상술된 바와 같이 메모리 데이타의 라이트시 데이타의 내부 패턴을 칩 내부에서 결정해 주도록 하기 위한 고주파 테스트 장치에 관한 실시예이다.FIG. 4 is an embodiment of a high frequency test apparatus for determining the internal pattern of data in the chip when writing the memory data as described above.

도 4를 보면, 본 발명의 고주파 테스트 장치는, 외부클럭을 입력받아 버퍼링하여 출력하는 클럭버퍼(10)와, 클럭버퍼(10)로부터 인가되는 외부클럭의 주파수를 증가시켜 주파수 증가된 내부클럭(Imclk)을 출력하기 위한 PLL(70)과, 정상 내부 마스터 클럭과 고주파수 테스트 모드에서의 내부 마스터 클럭(int_mclk)을 선택하기 위한 클럭선택부(80)와, 클럭선택부(80)로부터 인가되는 내부마스터 클럭신호(int_mclk) 및 파워업신호(pwrup)를 인가 받아 데이타 클럭신호(data_clk)를 출력하는 클럭주파수 분할부(100)와, 입력 데이타 data와 클럭주파수 분할부(100)로부터 인가되는 데이타 클럭신호(data_clk)에 따라 입력 데이타 data를 제어하는 입력 데이타 제어부(120)로 이루어진다.Referring to FIG. 4, the high frequency test apparatus of the present invention includes an internal clock having a frequency increased by increasing the frequency of the clock buffer 10 that receives the external clock and buffers the output and the external clock applied from the clock buffer 10. PLL 70 for outputting Imclk, a clock selector 80 for selecting a normal internal master clock and an internal master clock int_mclk in the high frequency test mode, and an internal applied from the clock selector 80 A clock frequency divider 100 that receives the master clock signal int_mclk and a power-up signal pwrup and outputs a data clock signal data_clk, and a data clock applied from the input data data and the clock frequency divider 100. The input data control unit 120 controls the input data data according to the signal data_clk.

여기서, 입력 데이타 제어부(120)는 입력 데이타 data를 입력받아 버퍼링하는 데이타 입력 버퍼(110)와, 데이타 입력버퍼(110)로부터 출력된 신호를 반전하여 출력하는 인버터(IV10)와, 클럭주파수 분할부(100)로부터 인가되는 데이타 클럭신호(data_clk)와 데이타 패턴을 선택하기 위한 테스트 모드 진입신호(st_hfreq_ckbd)를 입력받아 낸드연산하는 낸드 게이트(120)와, PMOS트랜지스터를 통해 낸드게이트(120)로부터 출력된 신호를 입력받고, NMOS트랜지스터를 통해 인버터(IV11)로부터 반전된 낸드게이트(120)의 출력신호를 입력받으며 이 신호의 입력에 따라 인버터(IV10)로부터 인가되는 신호를 글로벌 입력라인(din_line)으로 출력하는 전송게이트(PG6)와, NMOS트랜지스터를 통해 낸드게이트(120)로부터 출력된 신호를 입력받고, PMOS트랜지스터를 통해 인버터(IV11)로부터 반전된 낸드게이트(120)의 출력신호를 입력받으며 이 신호의 입력에 따라 데이타 입력 버퍼(110)로부터 인가되는 신호를 그대로 글로벌 입력라인(din_line)으로 출력하는 전송게이트(PG7)로 이루어진다.Here, the input data controller 120 includes a data input buffer 110 for receiving and buffering input data data, an inverter IV10 for inverting and outputting a signal output from the data input buffer 110, and a clock frequency division unit. A NAND gate 120 for receiving a data clock signal data_clk and a test mode entry signal st_hfreq_ckbd for selecting a data pattern from the 100 and performing an NAND operation, and outputs the NAND gate 120 through a PMOS transistor. The received signal, the output signal of the NAND gate 120 inverted from the inverter IV11 through the NMOS transistor, and the signal applied from the inverter IV10 according to the input of the signal to the global input line din_line. Receives the output signal from the NAND gate 120 through the transmission gate (PG6) and the NMOS transistor to output, and inverted from the inverter (IV11) through the PMOS transistor It receives the output signal of the NAND gate 120 comprises a transfer gate (PG7) to output as the input to the global line (din_line) the signal applied from the data input buffer 110 in accordance with input of the signal.

고주파 테스트 모드 진입 후 데이타 패턴 선택을 위한 테스트 모드 진입시 인에이블 되는 신호가 데이타 패턴 선택을 위한 테스트 모드 진입신호(st_hfre_ckbd)이다.The signal that is enabled when entering the test mode for data pattern selection after entering the high frequency test mode is the test mode entry signal (st_hfre_ckbd) for data pattern selection.

먼저, 이 신호가 하이로 엑티브 되면 전송게이트(PG7)가 턴온되고, 클럭 주파수 분할부(100)의 출력인 데이타 클럭(data_clk)에 따라 데이타 입력버퍼(110)로부터 출력된 데이타가 내부 마스터 클럭신호(int_mclk)의 한 주기마다 토글링 되면서 그대로 글로벌 입력라인(din_line)에 출력된다.First, when this signal is activated high, the transmission gate PG7 is turned on, and the data output from the data input buffer 110 is converted into the internal master clock signal according to the data clock data_clk which is the output of the clock frequency divider 100. Toggles every one period of (int_mclk) and outputs it to the global input line (din_line).

또한, 데이타 패턴 선택을 위한 테스트 모드 진입신호(st_hfre_ckbd)가 로우로 되면 전송게이트(PG6)의 턴온에 의해 인버팅된 데이타를 글로벌 입력 라인(din_line)에 출력한다.In addition, when the test mode entry signal st_hfre_ckbd for data pattern selection becomes low, the data inverted by the turn-on of the transmission gate PG6 is output to the global input line din_line.

따라서, 외부클럭은 한 클럭의 주기 동안 n개의 고주파 테스트용 내부클럭의데이타를 셀에 저장하게 된다.Therefore, the external clock stores the data of the n high frequency test internal clocks in the cell during one clock cycle.

도 5는 상술된 클럭주파수 분할부(100)의 상세 회로도이다.5 is a detailed circuit diagram of the clock frequency division unit 100 described above.

도 5를 보면, 고주파 테스트시 사용되는 내부 마스터 클럭을 한 주기마다 데이타를 제어하기 위해 다시 주파수를 분할하기 위한 클럭 주파수 분할부(100)의 회로도를 나타내고 있다.Referring to FIG. 5, a circuit diagram of a clock frequency divider 100 for dividing a frequency in order to control data of an internal master clock used in a high frequency test every cycle is shown.

즉, 클럭 주파수 분할부(100)는 클럭의 한 사이클 동안 하이가 되면 그 다음 사이클에서는 로우가 되도록 제어하여 클럭의 한 주기마다 데이타 제어를 수행하도록 한다.That is, the clock frequency dividing unit 100 controls to become low in the next cycle when the clock frequency divider 100 becomes high for one cycle of the clock so as to perform data control for each cycle of the clock.

이러한 클럭 주파수 분할부(100)는 인버터(IV2)를 통해 반전된 내부 마스터 클럭 신호(int_mclk)와, 파워업신호(Pwrup)를 입력받아 낸드연산하여 출력신호(inc)를 출력하는 낸드 게이트(90)와, 낸드게이트(90)의 출력신호(inc)를 반전하여 incb신호를 출력하는 인버터(IV3)를 구비한다.The clock frequency divider 100 receives an inverted internal master clock signal int_mclk and a power-up signal Pwrup through the inverter IV2 and NAND to output an output signal inc. And an inverter IV3 for inverting the output signal inc of the NAND gate 90 and outputting the incb signal.

그리고, 파워업신호(Pwrup)를 그 게이트 단자로 입력받는 PMOS트랜지스터(P1)와, PMOS트랜지스터(P1)의 출력신호를 반전하여 출력하는 인버터(IV4)와, 인버터의 출력은 반전하여 전송게이트(PG2)로 출력하는 인버터(IV5)와, PMOS트랜지스터를 통해 incb신호를 입력받고 NMOS트랜지스터를 통해 inc신호를 입력 받으며 이 신호의 입력에 따라 턴온되어 인버터(IV4)로부터 인가되는 신호를 출력하는 전송게이트(PG2)와, PMOS트랜지스터를 통해 incb신호를 입력받고 NMOS트랜지스터를 통해 inc신호를 입력받으며 이 신호의 입력에 따라 턴온되어 인버터(IV4)로부터 인가되는 신호를 출력하는 전송게이트(PG3)와, 전송게이트(PG3)의 출력을반전하는 인버터(IV6)와, 인버터(IV6)의 출력을 반전하여 전송게이트(PG4)로 출력하는 인버터(IV7)와, PMOS트랜지스터를 통해 inc신호를 입력받고 NMOS트랜지스터를 통해 incb신호를 입력받으며 이 신호의 입력에 따라 턴온되어 전송게이트(PG3)로부터 인가되는 신호를 출력하는 전송게이트(PG4)와, 인버터(IV6)의 출력을 반전하여 데이타 클럭신호(data_clk)를 출력하는 인버터(IV9)로 이루어진다.Then, the inverter IV4 for inverting and outputting the output signal of the PMOS transistor P1, the PMOS transistor P1 receiving the power-up signal Pwrup to its gate terminal, and the output of the inverter Inverter IV5 outputs to PG2) and incb signal through PMOS transistor, inc signal through NMOS transistor, and is turned on according to the input of this transmission gate to output the signal from inverter IV4. (PG2) and the transmission gate (PG3) for receiving the incb signal through the PMOS transistor, the inc signal through the NMOS transistor, and turns on according to the input of this signal to output the signal applied from the inverter IV4, and the transmission. Inverter IV6 that inverts the output of gate PG3, Inverter IV7 that inverts the output of inverter IV6 and outputs to transfer gate PG4, and an inc signal through an PMOS transistor and receives an NMOS transistor. The incb signal is input through the jitter, and is turned on in response to the input of the incb signal to output the signal applied from the transmission gate PG3 and the output of the inverter IV6 by inverting the output of the data clock signal data_clk. The inverter IV9 is output.

따라서, 클럭 주파수 분할부(100)는 도 2의 클럭선택부(80)로부터 인가되는 내부 마스터 클럭(int_mclk)과 파워업(pwrup)신호의 논리조합에 따라 전송게이트(PG2,PG3,PG4,PG5)가 순차적으로 턴온되어 클럭의 한 주기마다 데이타를 제어하기 위한 데이타 클럭신호(data_clk)를 출력한다.Accordingly, the clock frequency divider 100 transmits PG2, PG3, PG4, and PG5 according to a logical combination of an internal master clock int_mclk and a power up signal applied from the clock selector 80 of FIG. ) Is sequentially turned on and outputs a data clock signal data_clk for controlling data at one cycle of the clock.

도 6은 본 발명에 따른 고주파 테스트 모드시 체크 보더 기록의 타이밍도를 나타낸다.6 is a timing diagram of check border recording in the high frequency test mode according to the present invention.

도 6을 보면, 외부클럭의 한 주기동안 글로벌 입력라인에 2개의 데이타를 출력할 수 있게 됨을 알 수 있다.6, it can be seen that two data can be output to the global input line during one period of the external clock.

여기서, 빗금친 부분은 외부 입력 데이타와 반대 데이타를 나타낸다.Here, the hatched portions represent data opposite to the external input data.

도 6에서는 체크보더 방식의 라이트시 동작 타이밍도를 나타내고 있지만, 솔리드 라이트 방식에서는 고주파 테스트 모드 진입 후 바로 엑세스 동작에 들어가게 되면 데이타 패턴 선택을 위한 테스트 모드 진입신호(st_hfreq_ckbd)가 로우로 디세이블 되어 데이타를 분할하도록 할 뿐 데이타의 극성에는 변화가 없다.In FIG. 6, the write-border operation timing diagram of the check border method is shown. However, in the solid write method, when the access operation is performed immediately after entering the high frequency test mode, the test mode entry signal (st_hfreq_ckbd) for data pattern selection is disabled to low. It only splits the data, so there is no change in the polarity of the data.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 고주파 테스트 장치는 외부 장비에서공급되는 주파수를 칩 내부에서 자동으로 분할 함으로써 저주파 테스트용 장비에서도 고주파 테스트가 가능하여 테스트시간과 비용 모두를 절감할 수 있게 되는 효과를 제공한다.As described above, the high frequency test apparatus of the present invention automatically divides the frequency supplied from an external device in the chip, thereby enabling high frequency testing even in low frequency test equipment, thereby reducing both test time and cost. to provide.

Claims (20)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 외부클럭을 입력받아 버퍼링하여 출력하는 클럭버퍼;A clock buffer which receives an external clock and buffers and outputs the buffer; 상기 클럭버퍼로부터 출력되는 버퍼링된 외부클럭을 입력받아 내부클럭의 주파수를 증가시키는 주파수 조절수단;Frequency adjusting means for receiving a buffered external clock output from the clock buffer and increasing a frequency of the internal clock; 고주파 테스트 모드 진입신호의 상태에 따라 상기 버퍼링된 외부클럭 또는 상기 주파수 조절수단으로부터 출력되는 상기 내부클럭을 선택하여 내부 마스터 클럭으로 출력하는 클럭 선택수단;Clock selection means for selecting the buffered external clock or the internal clock output from the frequency adjusting means and outputting the internal clock according to a state of a high frequency test mode entry signal; 상기 클럭 선택수단으로부터 인가되는 상기 내부 마스터 클럭과 파워업신호의 논리조합에 따라 클럭의 한 주기마다 데이타를 제어하기 위한 데이타 클럭신호를 출력하는 클럭 주파수 분할수단; 및Clock frequency dividing means for outputting a data clock signal for controlling data at one cycle of the clock according to a logical combination of the internal master clock and a power-up signal applied from the clock selecting means; And 상기 데이타 클럭신호와 데이타 패턴 선택신호의 논리조합에 따라 상기 데이타를 제어하여 글로벌 입력라인으로 출력하는 입력 데이타 제어수단을 구비함을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.And input data control means for controlling the data according to a logical combination of the data clock signal and the data pattern selection signal and outputting the data to a global input line. 제 5 항에 있어서, 상기 클럭 선택수단은,The method of claim 5, wherein the clock selection means, 상기 고주파 테스트 모드 진입신호의 인에이블시 턴온되어 상기 클럭 주기 분할기로부터 인가되는 상기 내부클럭을 상기 내부 마스터 클럭 신호로 출력하는 제 1스위칭부;A first switching unit which is turned on when the high frequency test mode entry signal is enabled and outputs the internal clock applied from the clock period divider as the internal master clock signal; 상기 고주파 테스트 모드 진입신호의 디세이블시 턴온되어 상기 클럭버퍼로부터 인가되는 상기 버퍼링된 외부클럭을 상기 내부 마스터 클럭 신호로 출력하는 제 2스위칭부를 구비함을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.And a second switching unit which is turned on when the high frequency test mode entry signal is disabled and outputs the buffered external clock applied from the clock buffer as the internal master clock signal. 제 6 항에 있어서, 상기 제 1스위칭부는,The method of claim 6, wherein the first switching unit, PMOS트랜지스터를 통해 상기 고주파 테스트 모드 진입신호를 입력받고 NMOS트랜지스터를 통해 반전된 상기 고주파 테스트 모드 진입신호를 입력받으며, 이 신호의 상태에 따라 상기 버퍼링된 외부클럭을 그대로 상기 내부 마스터 클럭신호로 출력하는 전송게이트로 이루어짐을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치Receiving the high frequency test mode entry signal through a PMOS transistor and the inverted high frequency test mode entry signal through an NMOS transistor, and outputs the buffered external clock as the internal master clock signal as it is. High frequency test device, characterized in that the transmission gate 제 6 항에 있어서, 상기 제 2스위칭부는,The method of claim 6, wherein the second switching unit, NMOS트랜지스터를 통해 상기 고주파 테스트 모드 진입신호를 입력받고 PMOS트랜지스터를 통해 반전된 상기 고주파 테스트 모드 진입신호를 입력받으며, 이 신호의 상태에 따라 상기 버퍼링된 내부클럭을 상기 내부 마스터 클럭신호로 출력하는 전송게이트로 이루어짐을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.Receives the high frequency test mode entry signal through an NMOS transistor and the inverted high frequency test mode entry signal through a PMOS transistor, and transmits the buffered internal clock as the internal master clock signal according to the state of the signal. High frequency test device, characterized in that the gate. 삭제delete 제 5 항에 있어서, 상기 클럭 주파수 분할수단은,The method of claim 5, wherein the clock frequency dividing means, 상기 클럭선택수단으로부터 인가되는 상기 내부 마스터 클럭과 상기 파워업신호를 논리연산하여 제어신호를 출력하는 논리연산부;A logic operation unit for performing a logic operation on the internal master clock and the power-up signal applied from the clock selecting means, and outputting a control signal; 상기 파워업신호에 따라 선택적으로 턴온되는 풀업부;A pull-up unit selectively turned on according to the power-up signal; 상기 제어신호에 따라 상기 풀업부로부터 인가되는 출력신호를 선택적으로 출력하는 스위칭수단을 구비함을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.And switching means for selectively outputting an output signal applied from the pull-up unit according to the control signal. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 논리연산부는 낸드게이트임을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.The logic unit is a high frequency test device, characterized in that the NAND gate. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 풀업부는 PMOS트랜지스터임을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.The pull-up unit is a high frequency test device, characterized in that the PMOS transistor. 제 10 항에 있어서, 상기 스위칭수단은,The method of claim 10, wherein the switching means, 상기 논리연산부로부터 인가되는 상기 제어신호에 의해 턴온되어 상기 파워업신호를 반전하여 출력하는 제 1스위칭부;A first switching unit turned on by the control signal applied from the logic operation unit and inverting and outputting the power up signal; 상기 제어신호에 의해 턴온되어 반전된 상기 파워업신호를 출력하는 제 2스위칭부;A second switching unit outputting the power-up signal turned on and inverted by the control signal; 상기 논리연산부로부터 반전된 제어신호의 입력시 상기 제 2전송게이트로부터 인가되는 신호를 출력하는 제 3스위칭부; 및A third switching unit outputting a signal applied from the second transmission gate when the control signal inverted from the logic operation unit is input; And 상기 논리연산부로부터 상기 반전된 제어신호의 입력시 상기 제 3스위칭부로의 출력을 피드백 입력받아 상기 제 1스위칭부에 반전하여 출력하는 제 4스위칭부를 구비함을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.And a fourth switching unit which receives a feedback input to the third switching unit when the inverted control signal is input from the logic operation unit, and inverts and outputs the first switching unit. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 스위칭수단은 전송게이트임을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.The switching means is a high frequency test device, characterized in that the transmission gate. 제 5 항에 있어서, 상기 입력 데이타 제어수단은The method of claim 5, wherein the input data control means 상기 데이타를 입력받아 버퍼링하여 출력하는 데이타 입력 버퍼;A data input buffer for receiving the data and buffering the data; 상기 클럭 주파수 분할수단으로부터 인가되는 상기 데이타 클럭신호와 상기 데이타 패턴 선택신호를 논리연산하여 제어신호를 출력하는 논리연산부; 및A logic operation unit configured to logically operate the data clock signal and the data pattern selection signal applied from the clock frequency dividing unit and output a control signal; And 상기 논리연산부로부터 인가되는 제어신호에 따라 상기 데이타 입력 버퍼로부터 인가되는 데이타를 반전하여 출력하거나 그대로 글로벌 입력라인으로 출력하는 제어수단을 구비함을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.And a control means for inverting the data applied from the data input buffer and outputting the data applied from the data input buffer to the global input line as it is, according to a control signal applied from the logic operation unit. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 논리연산부는 낸드게이트임을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.The logic unit is a high frequency test device, characterized in that the NAND gate. 제 15 항에 있어서, 상기 제어수단은,The method of claim 15, wherein the control means, 상기 논리연산부로부터 인가되는 제어신호가 하이일 경우 턴온되어 상기 데이타 입력 버퍼로부터 인가된 데이타 반전 신호를 상기 글로벌 입력라인으로 출력하는 제 1전송게이트; 및A first transfer gate turned on when the control signal applied from the logic operation unit is high to output a data inversion signal applied from the data input buffer to the global input line; And 상기 논리연산부로부터 인가되는 제어신호가 로우일 경우 턴온되어 상기 데이타 입력버퍼로부터 인가되는 데이타를 그대로 상기 글로벌 입력라인으로 출력하는 제 2전송게이트를 구비함을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.And a second transmission gate which is turned on when the control signal applied from the logic operation unit is low and outputs data applied from the data input buffer to the global input line as it is. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 주파수 조절수단은 위상동기회로(phase-locked loop)인 것을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.The frequency control means is a high frequency test device, characterized in that the phase-locked loop (phase-locked loop). 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 주파수 조절수단은 지연동기회로(delay-locked loop)인 것을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.The frequency control means is a high frequency test device, characterized in that the delay-locked loop (delay-locked loop). 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 주파수 조절수단은 클럭 주기 분할기인 것을 특징으로 하는 고주파 테스트 장치.And the frequency adjusting means is a clock period divider.
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