KR100326454B1

KR100326454B1 - Flat panel display with manufacturing method and flattened spacer of flat panel display

Info

Publication number: KR100326454B1
Application number: KR1019980020366A
Authority: KR
Inventors: 나양운
Original assignee: 삼성에스디아이 주식회사
Priority date: 1998-06-02
Filing date: 1998-06-02
Publication date: 2002-08-14
Also published as: KR20000000636A

Abstract

평판 디스플레이의 페이스 플레이트로서, 이 페이스 플레이트의 기판 상에는 스페이서가 그 일측을 삽입하여 고정되도록 하는 스페이서 삽입용 홈이 임의의 패턴을 유지하여 형성된다. 이러한 페이스 플레이트는 스페이서의 지지 상태를 강화시켜 스페이서의 얼라인 상태가 양호하게 이루어지도록 함으로써, 평판 디스플레이를 구성시, 스페이서가 그 기능을 제대로 수행하도록 하여 평판 디스플레이의 품질이 향상되도록 하는데 효과를 발휘한다.As a face plate of a flat panel display, a spacer inserting groove is formed on the substrate of the face plate to hold an arbitrary pattern so that the spacer is inserted and fixed to one side thereof. Such a face plate enhances the support state of the spacers so that the alignment of the spacers is good, and thus, when the flat panel display is configured, the spacers perform their functions properly, thereby improving the quality of the flat panel display. .

Description

Flat panel display having a spacer and a support method for manufacturing the flat panel display

본 발명은 평판 디스플레이에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판 디스플레이의 셀갭을 유지하는 스페이서를 페이스 플레이트(faceplate)에 형성하기 위한 방법 및 이 방법에 의해 제조된 페이스 플레이트를 갖는 평판 디스플레이에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a flat panel display, and more particularly, to a method for forming a spacer on a faceplate that maintains a cell gap of a flat panel display, and a flat panel display having a face plate manufactured by the method.

평판 디스플레이(Flat Panel Display)에서 스페이서(spacer)는, 양 기판 사이에 배치되어 해당 평판 디스플레이의 셀갭을 유지하도록 한다.In a flat panel display, a spacer is disposed between both substrates to maintain the cell gap of the flat panel display.

특히, 전계 방출 디스플레이(FED; Field Emission Display)에서는, 상기 스페이서의 기능이 중요하게 대두되는데, 이는 페이스 플레이트와 백 플레이트(backplate) 사이의 간격이 상기한 스페이서에 의해 균일하게 유지되어야만 화상의균일도를 양호하게 얻을 수 있기 때문이다.In particular, in the field emission display (FED), the function of the spacer is important, which means that the spacing between the face plate and the backplate must be maintained uniformly by the spacers to improve the uniformity of the image. It is because it can obtain favorably.

그러나, 전계 방출 디스플레이와 같이 양 기판 사이에 형성되는 내부 공간부를 대략 10^-7torr 정도의 진공 상태로 유지하고 있는 평판 디스플레이는, 상기 양 기판 사이의 내부 압력과 외부 대기압과의 압력 차이로 인해, 다른 디스플레이보다 상기한 간격을 균일하게 유지하는 것이 어렵다.However, a flat panel display that maintains an internal space formed between both substrates in a vacuum state of approximately 10 ^-7 torr, such as a field emission display, due to a pressure difference between the internal pressure and the external atmospheric pressure between the two substrates, It is more difficult to keep the above spacing uniform than other displays.

따라서, 전계 방출 디스플레이를 비롯한 평판 디스플레이에서는, 스페이서가 중요한 역할을 담당하게 되는데, 이는 디스플레이의 크기가 클수록 더욱 그러하다.Thus, in flat panel displays, including field emission displays, spacers play an important role, which is more so with larger displays.

이러한 스페이서가 통상적으로 갖추어야할 조건으로는, 1) 애노드와 캐소드어레이(array)와의 전기적인 브레이크다운(breakdown) 막기 위한 비전도성의 특성, 2) 대기압 하에서 평판 디스플레이가 무너지는 것을 방지할 수 있도록 기계적 강도, 3) 전자 충돌에 의한 안정성, 4) 기판 내부 공간부를 고진공 상태로 얻을 수 있도록 높은 온도(약 400℃)에서 견뎌낼 수 있는 능력, 5) 디스플레이 화면상에 보이지 않도록 충분히 작은 폭을 갖고 형성되는 것 등이다.Typical conditions for such spacers include: 1) non-conductive properties to prevent electrical breakdown between anode and cathode arrays, and 2) mechanical to prevent the flat panel display from collapse under atmospheric pressure. Strength, 3) stability due to electron collision, 4) ability to withstand high temperatures (approx. 400 ° C) to achieve high vacuum in the substrate, 5) formed with a width sufficiently small to be invisible on the display screen Etc.

이를 고려하여 종래에 제시된 평판 디스플레이로서, 미국 특허 5,649,847에는 페이스 플레이트 상에 마련된 그립퍼(gripper)에 스페이서 벽(spacer wall)의 일측을 끼워 삽입함으로써, 필드 에미션 디바이스(field emission device)를 형성하는 기술이 개시되어 있다.In consideration of this, a conventional flat panel display is disclosed in US Pat. No. 5,649,847, which forms a field emission device by inserting one side of a spacer wall into a gripper provided on a face plate. Is disclosed.

이 기술에서는, 스페이서를 형성하기 위해, 먼저 필드 에미션 디바이스의 페이스 플레이트에 상기한 그립퍼를 형성하고, 이후, 스페이서 벽을 그립퍼 사이에 개재하게 된다.In this technique, in order to form a spacer, the above-described gripper is first formed on the face plate of the field emission device, and then the spacer wall is interposed between the grippers.

그러나, 이 기술에서는 스페이서를 고정시키기 위한 그립퍼가 경우에 따라 그 제조 단계에서, 그립퍼 형성물질을 다층으로 도포할 때, 그 층이 균일하게 도포되지 않아 불량하게 제조되면, 이에 고정되는 스페이서의 얼라인 상태를 저하시켜 결국, 스페이서가 그 기능을 제대로 발휘하지 못하도록 한다.However, in this technique, when a gripper for fixing a spacer is sometimes produced in the manufacturing step, when the gripper forming material is applied in multiple layers, if the layer is not uniformly applied and manufactured poorly, alignment of the spacer fixed thereto is performed. This lowers the state, which in turn prevents the spacer from functioning properly.

또한, 상기 그립퍼와 같이 스페이서를 고정시키기 위한 고정체가 페이스 플레이트의 기판 위에 형성되는 구조를 갖게 되면, 그립퍼가 스페이서를 고정시킬 때에 스페이서에 대한 지지력이 약해 경우에 따라서는 그 지지상태를 허무를 위험성이 있다.In addition, when the holder for fixing the spacer, such as the gripper, has a structure formed on the substrate of the face plate, when the gripper fixes the spacer, the holding force on the spacer is weak, and in some cases, the support state is in danger of being lost. There is this.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 기판의 셀갭을 유지하도록 하는 스페이서를 기판 상에 결합시킴에 있어 스페이서가 충분한 지지력을 받으면서 고정될 수 있도록 한 평판 디스플레이용 페이스 플레이트의 제조 방법 및 이 페이스 플레이트를 갖는 평판 디스플레이를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a flat panel display in which a spacer can be fixed while receiving sufficient supporting force in bonding a spacer to maintain a cell gap of the substrate on the substrate. The present invention provides a method for producing a face plate and a flat panel display having the face plate.

이에 본 발명은 상기 목적을 실현하기 위하여,In order to realize the above object,

평판 디스플레이용 기판의 일면에 복수의 스페이서 삽입용 홈을 형성하는 단계와;Forming a plurality of spacer insertion grooves on one surface of the substrate for a flat panel display;

상기 각 스페이서 삽입용 홈에 스페이서를 삽입하여 이를 고정시키는 단계를 포함하는 평판 디스플레이의 제조방법을 제공한다.It provides a method of manufacturing a flat panel display comprising the step of fixing the spacer by inserting the spacer in each of the spacer insertion groove.

또한, 본 발명은 상기 목적을 실현하기 위하여,In addition, the present invention to realize the above object,

기판과;A substrate;

이 기판의 일면에 임의의 패턴을 가지고 형성되는 복수의 애노드 전극과;A plurality of anode electrodes formed on one surface of the substrate with an arbitrary pattern;

이 애노드 전극 사이로 상기 기판에 임의의 패턴을 가지고 형성되는 복수의 스페이서 삽입용 홈에 일측을 삽입하여 결합되는 복수의 스페이서를 포함하여 이루어지는 평판 디스플레이의 페이스 플레이트를 제공한다.Provided is a face plate of a flat panel display comprising a plurality of spacers coupled by inserting one side into a plurality of spacer inserting grooves formed with an arbitrary pattern on the substrate between the anode electrodes.

페이스 플레이트와;A face plate;

이 페이스 플레이트와 봉인한 봉지 형태로 결합되는 백 플레이트와;A back plate coupled to the face plate and sealed in a sealed form;

상기 페이스 플레이트의 기판에 임의의 패턴을 가지고 형성된 스페이서 삽입용 홈에 일측을 삽입 결합하고, 다른 일측은 상기 백 플레이트에 지지하여 배치되는 복수의 스페이서를 포함하여 이루어지는 전계 방출 디스플레이를 제공한다.One side is inserted into and coupled to the spacer insertion groove formed in the substrate of the face plate having an arbitrary pattern, and the other side provides a field emission display comprising a plurality of spacers disposed to support the back plate.

페이스 플레이트와;A face plate;

이 페이스 플레이트의 일측면에 부착되는 페이스 플레이트 지지용 기판과;A face plate supporting substrate attached to one side of the face plate;

이 페이스 플레이트 지지용 기판과 봉인한 봉지 형태로 결합되는 백 플레이트와;A back plate coupled to the face plate supporting substrate in a sealed form;

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이를 도시한 단면도이고,1 is a cross-sectional view showing a flat panel display according to a first embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이의 페이스 플레이트를 도시한 사시도이고,2 is a perspective view illustrating a face plate of a flat panel display according to a first embodiment of the present invention;

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스페이서 삽입용 홈의 형성 단계를 설명하기 위해 도시한 개략도이고,3A to 3C are schematic views for explaining a step of forming a spacer for inserting a spacer according to a first embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스페이서 삽입용 홈에 스페이서가 삽입 결합되는 상태를 도시한 부분 확대 사시도이고,4 is a partially enlarged perspective view illustrating a state in which a spacer is inserted into a spacer for inserting a spacer according to a first embodiment of the present invention;

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스페이서 삽입용 홈에 스페이서가 삽입된 상태를 도시한 부분 확대 사시도이고,5A to 5C are partially enlarged perspective views illustrating a state in which a spacer is inserted into a spacer for inserting a spacer according to a first embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 디스플레이의 페이스 플레이트를 도시한 사시도이고,6 is a perspective view illustrating a face plate of a flat panel display according to a second embodiment of the present invention;

도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 스페이서 삽입용 홈의 형성 단계를 설명하기 위해 도시한 개략도이고,7A to 7C are schematic views for explaining a step of forming a spacer for inserting a spacer according to a second embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 디스플레이를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating a flat panel display according to a third embodiment of the present invention.

이하, 본 발명을 명확히 하기 위한 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments for clarifying the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이를 도시한 단면도로서, 본 실시예서 설명하게 될 평판 디스플레이는 전계 방출 디스플레이를 예로 한다.1 is a cross-sectional view showing a flat panel display according to a first embodiment of the present invention, and the flat panel display to be described in the present embodiment uses a field emission display as an example.

도시된 바와 같이 상기 전계 방출 디스플레이는, 통상의 전계 방출 디스플레이와 마찬가지로, 전계 방출용 음극(1a)이 배치되어 있는 백 플레이트(1)와, 형광층(3a)이 배치되어 있는 페이스 플레이트(3)를 소정의 간격을 유지하여 평행하게 배치하고, 이들 사이에는 디스플레이의 셀갭을 유지하도록 하는 다수의스페이서(5)를 배치한 구조를 갖는다.As shown in the drawing, the field emission display has a back plate 1 on which a cathode 1a for field emission is disposed, and a face plate 3 on which a fluorescent layer 3a is disposed, as in a normal field emission display. Are arranged in parallel at a predetermined interval, and a plurality of spacers 5 are arranged between them to maintain the cell gap of the display.

상기에서 양 플레이트(1,3)는 봉지 형태로 봉인되어 그 내부 공간부(7)를 진공 상태로 유지하게 되는데, 여기서 상기 양 플레이트(1,3)가 봉인될 때에 그 사이에는 사이드 벽(side wall)(9)이 개재된다.In the above, both plates (1,3) are sealed in a sealed form to maintain the inner space 7 in a vacuum state, where the side walls (side) therebetween when both plates (1,3) are sealed. A wall 9 is interposed.

이러한 구조에서 백 플레이트(1)는, 그 기판(substrate)(1b)의 일면으로 복수의 캐소드 전극(1c) 및 전계 방출용 음극(1d), 절연막(1e), 그리드 전극(1f)을 소정의 패턴을 유지하여 형성하고 있으며, 상기 페이스 플레이트(3)는, 그 기판(substrate)(3b)의 일면에 복수의 형광층(3a) 및 애노드 전극(3c)을 소정의 패턴을 유지하여 형성하고 있다.In this structure, the back plate 1 has a plurality of cathode electrodes 1c, field emission cathodes 1d, insulating films 1e, and grid electrodes 1f as one surface of the substrate 1b. The face plate 3 is formed by holding a pattern, and a plurality of fluorescent layers 3a and an anode electrode 3c are formed on one surface of the substrate 3b while maintaining a predetermined pattern. .

또한, 상기 스페이서(5)는 상기 공간부(7) 내에 배치되면서, 그 양측단을 상기 양 플레이트(1,3)측으로 지지하게 된다. 즉, 상기 스페이서(5)는 그 일측 부위를 상기 페이스 플레이트(3)의 기판(3b)에 형성된 스페이서 삽입용 홈(3d)에 끼우고, 그 다른 일측 부위는 상기 백 플레이트(1)의 그리드 전극(1f)에 밀착되도록 하여 상기 공간부(7) 내에 배치된다.In addition, the spacer 5 is disposed in the space 7, and supports both ends of the spacer 5 toward the plates 1 and 3. That is, the spacer 5 inserts one side portion into the spacer insertion groove 3d formed in the substrate 3b of the face plate 3, and the other side portion is a grid electrode of the back plate 1. It is arrange | positioned in the said space part 7 so that it may adhere to 1f.

여기서 상기한 스페이서 삽입용 홈(3d)은, 도 2를 통해 더욱 알 수 있듯이, 상기 애노드 전극(3c)의 전극 사이로 배치되겠끔 상기 페이스 플레이트(3)의 기판(3b) 상에 형성된다.Here, the spacer insertion groove 3d is formed on the substrate 3b of the face plate 3 so as to be arranged between the electrodes of the anode electrode 3c, as can be seen further from FIG.

본 실시예에서는 상기 애노드 전극(3c)이 상기 기판(3b)의 일면에 소정의 간격을 두고 복수로 형성됨에 따라, 실질적으로 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)은 이 애노드 전극(3c)의 길이 방향을 따라 이와 평행한 상태를 유지하면서 소정의 폭과높이를 갖는 직사각형의 형태로 형성된다.In the present embodiment, as the anode electrode 3c is formed in plural on one surface of the substrate 3b at predetermined intervals, the spacer insertion groove 3d is substantially in the longitudinal direction of the anode electrode 3c. It is formed in the form of a rectangle having a predetermined width and height while maintaining a parallel to this.

이러한 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)에 결합되는 상기 스페이서(5)는, 얇은 판인 시트(shee) 형상으로 이루어지며, 이는 글라스(glass), 글라스-세라믹(glass-ceramic), 세라믹(ceramic) 등을 재질로 하여 구비됨이 바람직하다.The spacer 5 coupled to the spacer insertion groove 3d has a thin sheet shape, which is glass, glass-ceramic, ceramic, or the like. It is preferred that the material is provided with.

또한, 상기 스페이서(5)는, 평판 디스플레이에서 요구되는 하이 어스펙트 레시오(high aspect ratio)를 가지며, 아울러 평판 디스플레이의 스페이서가 갖는 기본적인 물리 화학적인 특성을 지닌다.In addition, the spacer 5 has a high aspect ratio required for a flat panel display, and also has basic physicochemical properties of the spacer of the flat panel display.

본 실시예에서는 이러한 스페이서(5)를 다음의 공정 단계를 거쳐 형성되는 스페이서 삽입용 홈(3d)에 결합시켜 상기 전계 방출 디스플레이를 제조하게 된다.In this embodiment, the spacer 5 is bonded to the spacer insertion groove 3d formed through the following process step to manufacture the field emission display.

도 3a ∼ 도 3c는 페이스 플레이트(3)의 기판(3b)에 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)을 형성하는 과정을 단계별로 도시한 개략도이다.3A to 3C are schematic diagrams showing the step of forming the spacer inserting grooves 3d in the substrate 3b of the face plate 3 step by step.

도면을 참고하여 보면, 우선 상기 기판(3b)을 감광성 유리(photosensitive glass)와 같은 감광성 물질로 구비하고, 이 기판(3b)의 일면에 임의의 패턴 즉, 길이 방향으로 형성된 복수의 구멍부(20a)를 갖는 마스크(20)를 배치시킨 다음, 이에 280∼340㎚ 정도의 파장을 갖는 자외선(UV)을 조사한다.Referring to the drawings, first, the substrate 3b is formed of a photosensitive material such as photosensitive glass, and a plurality of holes 20a formed in an arbitrary pattern, that is, in the longitudinal direction, on one surface of the substrate 3b. ) Is disposed, and then irradiated with ultraviolet (UV) light having a wavelength of about 280 to 340 nm.

그러면, 상기 기판(3b) 상에는, 상기 구멍부(20a)를 통과하는 자외선(UV)의 노광 상태에 따라 상기 구멍부(20a)의 패턴에 맞는 이미지가 형성된다.Then, an image matching the pattern of the hole 20a is formed on the substrate 3b according to the exposure state of the ultraviolet light UV passing through the hole 20a.

이 후, HF를 에칭액으로 하여 상기 기판(3b)을 에칭하면, 상기 기판(3b) 상에는 상기한 이미지 부위가 제거되면서 상기한 소정의 폭(w)과 높이(h)를 갖는 스페이서 삽입용 홈(3d)이 형성되어지게 된다.Thereafter, when the substrate 3b is etched using HF as an etchant, the spacer insertion groove having the predetermined width w and height h is removed while the image portion is removed on the substrate 3b. 3d) is formed.

이와 같은 단계를 거쳐 상기 기판(3b)에 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)이 형성되면, 상기 스페이서(5)는 그 일측부를 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)으로 끼움 결합시켜 고정시키게 되는 바, 이 때, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)으로 글라스 프리트(glass frit)나 부착 물질(adhesive material)과 같은 접착제(22)를 도포하고 상기 스페이서(5)를 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)에 끼우게 되면, 이의 고정 상태를 더욱 강화시킬 수 있게 된다.When the spacer insertion groove 3d is formed in the substrate 3b through the above steps, the spacer 5 is fixed by fitting one side thereof with the spacer insertion groove 3d. 4, an adhesive 22 such as glass frit or an adhesive material is applied to the spacer inserting groove 3d and the spacer 5 is inserted into the spacer. When inserted into the groove (3d), it is possible to further strengthen the fixed state thereof.

이러한 제조 단계에서 상기 스페이서(5)는, 기본적인 시트 형상에서 여러 가지로 변형된 형태를 가질 수 있는데, 이는 그 중심부를 기준으로 적어도 일 장변부측에 다수로 형성되는 배기홈(5a)을 갖는 것이다.In this manufacturing step, the spacer 5 may have various forms of deformation from a basic sheet shape, which has a plurality of exhaust grooves 5a formed on at least one long side of the center.

즉, 상기 스페이서(5)는 도 5a 내지 도 5b에 도시한 바와 같이, 일측 장변부로 다수의 배기홈(5a)을 형성하여 이 배기홈(5a)이 형성되지 않은 장변부측이 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)으로 삽입되도록 배치되거나, 혹은 상기 배기홈(5a)이 형성된 장변부측이 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)으로 삽입되도록 배치된다.That is, as shown in FIGS. 5A to 5B, the spacer 5 has a plurality of exhaust grooves 5a formed on one side of the long side, and the side of the long side where the exhaust groove 5a is not formed is the groove for inserting the spacer. It is arranged to be inserted into (3d) or the long side part side where the said exhaust groove 5a was formed is arrange | positioned so that it may be inserted into the said spacer inserting groove 3d.

또한, 상기 스페이서(5)의 다른 변형된 형태로는, 도 5c에 도시한 바와 같이 그 장변부 양측에 상기 배기홈(5a)을 각기 형성하는 것이 있는데, 이러한 스페이서(5)는 어느 일측 장변부를 상기 스페이서 삽입용 홈(3d)에 삽입하여 상기 기판(3b) 상에 배치된다.In addition, as another modified form of the spacer 5, as shown in FIG. 5C, the exhaust grooves 5a are formed on both sides of the long side portion, and the spacer 5 has any one long side portion. It is inserted in the spacer insertion groove 3d and disposed on the substrate 3b.

이처럼 상기 스페이서(5)가 배기홈(5a)을 갖는 변형된 형태로 이루어지면, 상기 전계 방출 디스플레이의 배기 공정시, 그 공정 상태는 한층 양호히 이루어질 수 있게 된다.When the spacer 5 is formed in a deformed form having the exhaust grooves 5a as described above, during the exhaust process of the field emission display, the process state can be made better.

이는 즉, 상기 배기홈(5a)을 갖는 스페이서(5)가 상기 양 플레이트(1,3)의 사이에 위치한 상태에서 상기 내부 공간부(7)에 대해 배기 공정이 진행되면, 상기 공간부(7)에 있는 공기가 상기 배기홈(5a)을 통해서도 흐르게 되므로, 상기 스페이서(5)의 저항을 덜 받으면서 상기 공간부(7)의 외부로 빠져나갈 수 있기 때문이다.That is, when the exhaust process is performed with respect to the inner space 7 while the spacer 5 having the exhaust grooves 5a is positioned between the plates 1, 3, the space 7 This is because the air in the) flows through the exhaust grooves 5a, and thus can escape to the outside of the space 7 with less resistance of the spacer 5.

이상과 같이 본 발명의 제1 실시예에서는, 애노드 전극(3c) 사이로 배치 형성되는 스페이서 삽입용 홈(3d)에 시트 형상을 갖는 스페이서(5)의 일측을 삽입하여 페이스 플레이트(3)를 구성하고, 이를 백 플레이트(1)와 조합하여 하나의 전계 방출 디스플레이로 형성하게 된다.As described above, in the first embodiment of the present invention, the face plate 3 is formed by inserting one side of the spacer 5 having a sheet shape into the spacer insertion groove 3d formed between the anode electrodes 3c. This is combined with the back plate 1 to form one field emission display.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 전계 방출 디스플레이의 페이스 플레이트(11)를 도시한 사시도이다.6 is a perspective view of the face plate 11 of the field emission display according to the second embodiment of the present invention.

이 페이스 플레이트(11)도 전술한 페이스 플레이트와 마찬가지로 그 기판(11a)의 일면에 소정의 패턴을 가지고 형성되는 복수의 애노드 전극(11b)을 형성하고, 이 애노드 전극(11b) 사이로는 스페이서(13)의 일측 부위가 삽입될 수 있는 스페이서 삽입용 홈(11c)을 형성해 놓고 있다.Like the face plate described above, the face plate 11 also forms a plurality of anode electrodes 11b formed on one surface of the substrate 11a with a predetermined pattern, and the spacers 13 are interposed between the anode electrodes 11b. Spacer insertion grooves 11c into which one side portion of the side can be inserted are formed.

여기서 이 스페이서 삽입용 홈(11c)은, 십자형태를 이루면서 상기 애노드 전극(11b)의 길이 방향을 따라 소정의 간격을 두고 형성되고, 상기 스페이서(13)는 상기 스페이서 삽입용 홈(11c)의 형상에 맞추어 십자형의 기둥체로 이루어진다.Here, the spacer insertion grooves 11c are formed in a cross shape at predetermined intervals along the longitudinal direction of the anode electrode 11b, and the spacers 13 are shaped like the spacer insertion grooves 11c. It is made of cross-shaped pillars.

이 제2 실시예에 따른 상기 스페이서 삽입용 홈(11c)은, 다음 공정 단계를 거쳐 상기 기판(11a)상에 형성된다.The spacer insertion groove 11c according to the second embodiment is formed on the substrate 11a through the following process steps.

도 7a ∼ 도 7e는 상기 공정 단계를 스텝별로 구분져 도시한 개략도이다.7A to 7E are schematic diagrams illustrating the process step by step.

먼저, 소다석회 글라스(soda-lime glass)로 구비되는 기판(11a) 위에 드라이 필름 레지스터(DFR; Dry Film Resistor)(30)를 소정의 두께를 유지하여 적층된한. 여기서 이 이 드라이 필름 레지스터(30)는 라미네이팅(laminating) 방식으로 상기 기판(11a) 위에 형성되는데, 이 때, 이 드라이 필름 레지스터(30)가 기판(11a)위에 기포나 주름을 형성하지 않고 라미네이팅되기 위해서는, 라미네이팅을 행하는 롤러의 속도 및 압력 그리고 기판(11a)의 온도 등을 최적화시키는 것이 필수적이다.First, a dry film resistor (DFR) 30 is laminated on a substrate 11a provided with soda-lime glass while maintaining a predetermined thickness. Here, the dry film resistor 30 is formed on the substrate 11a in a laminating manner, whereby the dry film resistor 30 is laminated without forming bubbles or wrinkles on the substrate 11a. For this purpose, it is essential to optimize the speed and pressure of the laminating roller and the temperature of the substrate 11a.

그 다음 단계로는, 라미네이팅된 드라이 필름 레지스터(30) 위에, 마스크(32)를 배치하는데, 이 마스크(32)는 상기한 스페이서 삽입용 홈(11c)에 대응하는 구멍부(32a)를 보유한다. 즉, 이 실시예에서는 상기 스페이서 삽입용 홈(11c)이 십자형으로 이루어짐에 따라 상기 구멍부(32a) 또한 이에 대응하여서 십자형으로 이루어진다.In the next step, a mask 32 is placed over the laminated dry film register 30, which holds a hole 32a corresponding to the spacer inserting groove 11c. . That is, in this embodiment, as the spacer insertion groove 11c is made crosswise, the hole 32a is also made crosswise correspondingly.

이와 같은 상태에서 자외선(UV)이 상기 드라이 필름 레지스터(3)로 조사되는 노광 단계가 실시되며, 이 단계에 의해 상기 드라이 필름 레지스터(3)에는 상기 마스크(30)의 구멍부(30a)를 통해 노광 부위가 형성된다.In this state, an exposure step of irradiating ultraviolet (UV) light to the dry film register 3 is performed, and by this step, the dry film register 3 is formed through the hole 30a of the mask 30. An exposure site is formed.

여기서 이 노광 부위는, 상기 마스크(32)를 드라이 필름 레지스터(30)에서 분리하고 현상액으로 상기 드라이 필름 레지스터(30)를 현상시키는 단계에서 제거되어지게 된다.Here, the exposed portion is removed in the step of separating the mask 32 from the dry film register 30 and developing the dry film register 30 with a developer.

이처럼 상기 드라이 필름 레지스터(30)로부터 노광 부위가 제거되면, 이 드라이 필름 레지스터(30)도 상기 마스크(32)와 마찬가지로 십자형으로 이루어지는 구멍부(30a)를 갖게 되는데, 그 다음 단계는 이러한 드라이 필름 레지스터(30)를마스크로 하여 상기 기판(11a)에 대해 샌드 브라스트(sand blast)를 행하는 것이다.When the exposure site is removed from the dry film register 30 as described above, the dry film register 30 also has a cross-shaped hole portion 30a similar to the mask 32, and the next step is the dry film register. Sand blasting is performed on the substrate 11a using the mask 30 as a mask.

여기서 이 샌드 브라스트 단계는 통상적인 방법으로 이루어지며 이 단계가 끝나게 되면, 상기 기판(11a)위에 남아 있는 드라이 필름 레지스터(30)가 박리액에 의해 박리됨에 따라, 이로 인해 상기 기판(11a) 상에는 최종적으로 스페이서 삽입용 홈(11c)이 형성되게 된다.Here, the sand blasting step is performed in a conventional manner, and when this step is completed, the dry film register 30 remaining on the substrate 11a is peeled off by the stripping liquid, and thus, on the substrate 11a, Finally, the spacer insertion groove 11c is formed.

이와 같이 이 제2 실시예에서는 샌드 브라스트법을 통해 스페이서 삽입용 홈을 형성하고, 여기에 스페이서(13)를 삽입하여 이를 기판(11c)에 고정시켜 페이스 플레이트(11)를 구성한 다음, 이러한 페이스 플레이트(11)와 백 플레이트를 조합하여 전술한 예의 구조와 같은 전계 방출 디스플레이를 구성하게 된다.As described above, in the second embodiment, the groove for inserting the spacer is formed through the sand blasting method, the spacer 13 is inserted therein, and the face plate 11 is formed by fixing it to the substrate 11c. The plate 11 and the back plate are combined to form a field emission display as in the structure of the example described above.

다음으로는 본 발명의 제3 실시예에 따른 전계 방출 디스플레이를 도 8을 참조하여 설명하도록 한다.Next, a field emission display according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 8.

도시된 전계 방출 디스플레이는, 스페이서를 상기한 구조로 페이스 플레이트의 기판상에 결합할 때, 페이스 플레이트에 발생될 수 있는 균열을 방지하도록 하는 구조를 가진다.The illustrated field emission display has a structure that prevents cracks that may occur in the face plate when coupling the spacer to the substrate of the face plate in the above-described structure.

즉, 이 전계 방출 디스플레이는, 페이스 플레이트(50)와 백 플레이트(52)가 봉지 형태로 봉인될 때, 이 양 플레이트(50,52)가 연결되어 봉인되지 않고, 상기 페이스 플레이트(50)의 일면에 부착되는 페이스 플레이트 지지용 기판(54)과 상기 백 플레이트(52)가 연결되는 봉인 구조를 가진다.That is, when the face plate 50 and the back plate 52 are sealed in an encapsulated form, the field emission display is not sealed because the two plates 50 and 52 are connected to each other. It has a sealing structure that is connected to the face plate supporting substrate 54 and the back plate 52 is attached to.

이 외의 다른 구조는 전술한 제1 실시예의 전계 방출 디스플레이의 구조와동일하므로, 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.The other structure is the same as that of the field emission display of the first embodiment described above, and thus a detailed description thereof will be omitted.

이처럼 전계 방출 디스플레이가 스페이서(56)를 상기 페이스 플레이트(50)의 기판(50a) 상에 형성된 스페이서 삽입용 홈(50b)에 결합하면서 상기 페이스 플레이트(5)를 별도로 지지하는 기판(54)을 갖게 되면, 상기 페이스 플레이트(50)에 발생될 수 있는 균열 현상을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.As such, the field emission display has a substrate 54 which separately supports the face plate 5 while coupling the spacer 56 to the spacer insertion groove 50b formed on the substrate 50a of the face plate 50. If so, it is possible to effectively prevent the crack phenomenon that may occur in the face plate (50).

이는 즉, 전계 방출 디스플레이의 내부 공간부(58)가 진공 상태로 유지되어 상기 페이스 플레이트(52)가 압력을 받게 되더라도, 상기 페이스 플레이트 지지용 기판(54)에 의해 안정적으로 지지되어 이를 견뎌낼 수 있기 때문이다.That is, even if the inner space 58 of the field emission display is kept in a vacuum state and the face plate 52 is pressurized, it is stably supported by the face plate supporting substrate 54 and can withstand it. Because there is.

이상의 실시예에서와 같이 본 발명의 평판 디스플레이는, 스페이서를 페이스 플레이트와 백 플레이트 사이에 배치할 때, 스페이서의 일측이 페이스 플레이트의 기판에 형성된 홈으로 삽입 결합되어 기판 자체에 지지되도록 함으로써, 스페이서의 지지 상태가 강화되도록 한다.In the flat panel display of the present invention as in the above embodiment, when the spacer is disposed between the face plate and the back plate, one side of the spacer is inserted into a groove formed in the substrate of the face plate to be supported by the substrate itself. Ensure that support is strengthened.

한편, 본 발명은 상기 실시예에서 언급한 방법이외도 다른 방법으로도 상기한 스페이서 삽입용 홈을 형성할 수 있다. 이에는 가령, 다이아몬드 휠로서 이를 형성하는 것이다.On the other hand, the present invention can form the above-described spacer inserting grooves in a method other than the method mentioned in the above embodiment. This is, for example, formed as a diamond wheel.

즉, 본 발명에서는 스페이서 삽입용 홈의 형태에 따라, 선택적인 방법에 의해 상기 스페이서 삽입용 홈을 형성할 수 있게 된다.That is, according to the present invention, the spacer insertion groove can be formed by an optional method according to the shape of the spacer insertion groove.

아울러, 상기한 실시예에서는 전술한 바와 같이 평판 디스플레이의 예를 전계 방출 디스플레이로 하여 설명하였지만, 본 발명은 이 전계 방출 디스플레이뿐만 아니라 기타 다른 평판 디스플레이 가령, 플랫 씨알티(flat CRT)도 적용됨이 가능하다.In addition, in the above embodiment, as described above, an example of a flat panel display is described as a field emission display, but the present invention may be applied to not only the field emission display but also other flat panel displays such as flat CRT. Do.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허 청구의 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it is within the scope of the present invention.

상기한 본 발명의 구성과 작용 설명을 통해 알 수 있듯이, 본 발명은, 스페이서가 강화된 지지 상태를 가지고 평판 디스플레이의 페이스 플레이트와 백 플레이트 사이에 배치되도록 한다.As can be seen from the above-described configuration and operation of the present invention, the present invention allows the spacer to be disposed between the face plate and the back plate of the flat panel display with an enhanced support state.

따라서, 본 발명에 따른 평판 디스플레이는, 스페이서의 양호한 얼라인 상태로 인해 그 기능 향상에 효과를 갖게 된다.Accordingly, the flat panel display according to the present invention has an effect on improving the function due to the good alignment state of the spacers.

Claims

Forming a plurality of spacer insertion grooves on one surface of the substrate for a flat panel display;

And inserting a spacer into each of the spacer insertion grooves to fix the spacer.

The method of claim 1, wherein the spacer insertion groove is formed,

The substrate is formed of a photosensitive material,

A mask having a hole formed in an arbitrary pattern is placed on the substrate,

Exposing and etching the substrate through the mask.

The flat panel display according to claim 1, wherein the groove for inserting the spacer is formed by a diamond wheel.

The method of claim 1, wherein the spacer insertion groove is formed,

Laminating a dry film register on the substrate,

A mask having holes formed in an arbitrary pattern is placed over this dry film register,

After exposing the dry film register through this mask, the exposed portions are removed,

And removing the dry film register from the substrate after the substrate is processed by sandblasting.

The method of claim 1, wherein the flat panel display comprises a field emission display.

The method of claim 1, wherein the substrate is a substrate of a face plate.

A substrate;

A plurality of anode electrodes formed on one surface of the substrate with an arbitrary pattern;

A face plate of a flat panel display comprising a plurality of spacers which are coupled by inserting one side into a plurality of spacer insertion grooves formed with an arbitrary pattern on the substrate between the anode electrodes.

The face plate of claim 7, wherein the spacer insertion groove is formed to have a predetermined width and height along the longitudinal direction of the anode electrode.

The face plate of a flat panel display according to claim 8, wherein the spacer insertion groove is formed in a rectangular shape.

The face plate of a flat panel display according to claim 7, wherein the spacer insertion groove is formed in parallel with the anode electrode.

The face plate of claim 7, wherein the spacer is further fixed by an adhesive when the spacer is coupled to the spacer inserting groove.

The face plate of a flat panel display according to claim 7, wherein the spacer is formed in a thin plate shape.

The face plate of a flat panel display according to claim 7, wherein the spacer insertion groove is formed at a predetermined interval along the longitudinal direction of the anode electrode.

The face plate of claim 13, wherein the spacer insertion groove is formed in a cross shape.

The face plate of a flat panel display according to claim 7, wherein the spacer is formed in the shape of a cross pillar having a predetermined height.

The face plate of claim 12, wherein the spacer is provided with a plurality of exhaust grooves on at least one long and short side of the spacer.

A face plate;

A back plate coupled to the face plate and sealed in a sealed form;

And inserting and coupling one side to a spacer insertion groove formed in the substrate of the face plate with an arbitrary pattern, and the other side comprising a plurality of spacers disposed to support the back plate.

A face plate;

A face plate supporting substrate attached to one side of the face plate;

A back plate coupled to the face plate supporting substrate in a sealed form;