KR100315912B1

KR100315912B1 - 파일서버를이용한자동화시스템과그제어방법

Info

Publication number: KR100315912B1
Application number: KR1019980014907A
Authority: KR
Inventors: 변성준; 이상현
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-04-27
Filing date: 1998-04-27
Publication date: 2002-02-19
Also published as: JP4644322B2; CN1238481A; JPH11340110A; TW410284B; KR19990081131A; US6473664B1; CN1221873C

Abstract

본 발명의 자동화 시스템은 모든 설비가 네트워크를 통해 파일서버에 연결되어 설비간의 작업 결과 데이터가 공유된다. 하나의 설비(예컨대, 검사기)에서 수행한 작업 결과 데이터는 파일서버에 저장되며, 다른 설비(예컨대, 보수기)는 파일서버에 저장된 위의 작업 결과 데이터를 이용하여 작업을 수행할 수 있다.

Description

파일서버를 이용한 자동화 시스템과 그 제어방법

본 발명은 자동화 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것으로서, 특히 반도체나박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin film transistor liquid crystal display; 이하 'TFT-LCD' 라 함) 등의 제조 공정에 사용되는 자동화 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.

종래 TFT-LCD 공정 등에 사용되는 자동화 시스템은 도1에 도시한 바와 같이, 다수의 설비(30a-30n)와, 다수의 설비에 일대일로 연결되는 설비 서버(20a-20n) 와 설비 서버를 제어하는 호스트(10)로 이루어진다.

다수의 설비(30a-30n)는 설비 서버(20a-20n)의 제어를 받아 작업 집합물(예컨대, 카세트)(40) 안에 보관된 다수의 작업물 (예컨대, 글래스, 웨이퍼 등)에 대한 작업을 수행한다. 그리고 나서, 설비(30a-30n)는 작업물에 대한 작업 결과 데이터를 대응되는 설비 서버(20a-20n)에 전송한다.

이하에서는, TFT-LCD 공정에 사용되는 종래의 자동화 시스템을 도1을 참조하여 설명한다. 도1에서, 제1 설비(30a)는 검사기(tester)로 하고, 제2 설비(30b)는 보수기(repairer)로 가정한다.

먼저, 검사기(30a)는 자동 반송 장치(도시하지 않음)에 의해 인도되는 카세트(작업 집합물)(40)에서 글래스를 꺼낸 후, 각각의 글래스에 대한 검사 작업을 수행한다. 글래스에 대한 검사 결과는 검사기내의 하드디스크에 저장된다. 검사가 완료된 카세트(40)는 자동 반송 장치에 의해 보수기(30b)로 이동된다.

보수기(30b)는 이전에 검사기(30a)에서 수행한 작업 결과를 이용하여 글래스를 보수할 필요가 있다. 이에 따라 종래의 시스템에서는 검사기의 하드디스크에 저장된 글래스에 대한 검사 작업 결과 데이터를 작업자가 직접 플로피 디스켓에 복사한 후 이를 보수기(30b)에 입력하였다. 그리고 나서, 보수기(30b)는 상기 작업 결과 데이터를 기초로 하여 글래스에 대한 보수 작업을 행하였다.

이와 같이 종래의 시스템에서는, 검사기(30a)에서 행한 검사 작업 결과를 검사기의 하드디스크에 저장하고, 작업자는 하드디스크에 저장된 상기 내용을 플로피 디스켓에 복사하여 직접 보수기(30b)에 입력해야 하는 번거로움이 있었다. 또한, 플로피 디스켓(50)의 오류로 인해 불필요한 시간이 소요되는 문제점이 있었으며, 수 작업으로 플로피 디스켓(50)을 운반하기 때문에 작업 결과 데이터가 바뀌어 보수기(30b)가 오동작하는 등이 문제점이 발생하였다.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 플로피 디스켓(50)을 사용하는 대신 RS-232C 케이블과 같은 시리얼 통신 케이블을 검사기와 보수기 사이에 연결함으로써 검사기의 검사 작업 데이터를 보수기로 이동시키는 종래 기술이 있다.

그러나, RS-232C 케이블은 일대일 전송방법에 사용되는 것이므로, RS-232C 케이블로 연결된 검사기와 보수기 사이에만 데이터의 이동이 가능하다. 따라서, RS-232C를 이용한 종래 기술로는 하나의 설비에서 수행한 작업 결과 데이터를 여러 설비에서 이용하고자 하는 경우에는 사용할 수 없었으며, 이에 따라 작업자가 직접 플로피 디스켓을 이동시킬 수밖에 없었다. 또한, RS-232C를 이용한 통신 방식은 데이터 전송 속도가 느리기 때문에 용량이 큰 작업 결과를 이동시키는 경우에는 전송 시간이 많이 걸린다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 모든 설비가 네트워크를 통해 파일서버에 연결되어 설비의 작업 결과데이터가 공유되도록 함으로써, 설비에서 필요한 작업 결과 데이터를 자동적으로 이용할 수 있도록 하기 위한 것이다.

도1은 종래 시스템의 구성도이다.

도2는 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 통신 구조이다.

도3은 본 발명의 실시예에 사용되는 설비의 예시도이다.

도4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 구성도이다.

도5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템의 구성도이다.

도6은 도5의 파일서버의 상세 구성도이다.

도7은 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 제어방법을 도시한 개략 흐름도이다.

도8a 내지 도8e는 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 제어방법을 도시한 세부 흐름도이다.

도9는 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 제어방법에 사용되는 메시지 흐름도이다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 작업에 필요한 다수의 설비에 네트워크로 연결된 파일서버를 마련하고 다수 설비에서 수행한 작업 결과를 파일서버에 저장하여 공유하도록 함으로써, 이전 설비에서 수행한 작업 결과를 후속하는 설비가 자유로이 이용할 수 있도록 한다.

본 발명의 일 태양에 따른 자동화 시스템은

작업물에 대하여 각각 작업을 수행하는 다수의 설비와, 다수의 설비와 네트워크로 연결되어 다수의 설비에서의 작업 결과 데이터를 저장하는 하나 이상의 파일서버와, 다수의 설비와 일대일로 연결되어 각각의 설비를 제어하는 다수의 설비서버와, 해당 설비에 필요한 작업 정보를 설비서버로 제공하는 호스트를 포함한다.

여기서, 각 설비는 파일서버에 저장된 다수 설비에서의 작업 결과 데이터를 공유할 수 있으며, 이에 따라 각 설비는 이전 설비의 작업 결과 데이터를 이용하여 자유로이 작업을 수행할 있다.

또한, 상기 자동화 시스템은 작업물을 각각의 설비로 자동 운송하는 자동운송장치를 더 포함할 수 있으며, 상기 자동 운송장치는 호스트로부터 명령을 받는 자동운송장치 컨트롤러에 의해 제어될 수 있다.

또한, 상기 자동화 시스템은 파일서버에 접속하여 파일서버에 저장되어 있는작업 결과 데이터를 사용자가 직접 이용할 수 있는 사용자 인터페이스부를 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 태양인 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템은,

기판을 검사하기 위한 검사기를 포함하는 다수의 설비와, 다수의 설비와 네트워크로 연결되며 기판에 대한 각각의 설비에서의 작업 결과 데이터를 저장하여 상기 작업 결과 데이터를 상기 다수의 작업 설비가 공유하도록 하는 하나 이상의 파일서버와, 다수의 설비에 각각 일대일로 연결되어 각각의 설비를 제어하는 다수의 설비서버와, 설비서버와 네트워크로 연결되며 해당 설비에 필요한 작업 정보를 설비서버로 제공하는 호스트를 포함한다. 여기서, 호스트는 자체에 데이터 베이스를 가지고 있으며 기판의 고유 아이디인 기판 아이디를 기초로 하여 상기 데이터 베이스를 조회하여 설비에 필요한 작업정보를 얻는다.

여기서, 상기 다수의 설비는 검사기로부터의 검사 결과에 기초하여 기판을 보수하기 위한 보수기를 더 포함할 수 있으며, 이 때 검사기는 기판에 대한 검사 작업을 수행한 후 검사 결과 데이터를 파일서버에 저장하며 보수기는 상기 검사 결과 데이터를 파일서버로부터 읽어와 보수작업에 이용하고 보수 결과 데이터를 파일서버에 저장한다.

또한, 상기 자동화 시스템은 검사기에 의해 파일서버에 저장된 검사 결과 데이터를 이용하여 기판에 대한 검사 내용을 사용자가 직접 관찰하도록 하는 육안 검사장치를 더 포함할 수 있으며, 이 때, 육안 검사 장치는 불량 좌표 데이터로 자동으로 이동하여 사용자가 관찰할 수 있도록 할 수 있다.

또한, 상기 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템은 파일서버에 접속하여 파일서버에 저장되어 있는 작업 결과 데이터를 사용자가 직접 이용할 수 있는 사용자 인터페이스부와, 호스트에 의해 제어되며 기판을 각각의 설비로 자동 운송하는 자동운송장치를 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 일태양에 따른 공정 제어방법은

제1 설비에 로딩된 작업물을 인지하는 단계와, 작업물에 대한 제1 설비에서의 작업 명령을 제어부로부터 전달받는 단계와, 상기 작업물에 대한 다수 설비의 작업 결과 데이터를 저장하고 있는 파일서버로부터 제1 설비의 작업에 필요한 이전 설비에서의 작업 결과 데이터를 읽어오는 단계와, 이전 설비에서 수행된 작업 결과 데이터를 이용하여 상기 작업물에 대한 작업을 제1 설비에서 수행하는 단계와, 제1 설비에서 수행된 작업 결과 데이터를 상기 파일서버에 저장하는 단계를 포함한다.

여기서, 파일서버는 상기 제1 설비를 포함하는 다수의 설비에 온 라인으로 연결된다.

한편, 본 발명의 다른 태양에 따른 자동화 시스템의 제어 방법은

기판을 제1 설비에 로딩하는 제1 단계와, 제1 설비에서 상기 기판에 대한 작업을 수행하여 제1 작업 결과 데이터를 파일서버에 저장하는 제2 단계와, 제1 설비로부터 기판을 언로딩하는 제3 단계와, 상기 기판을 제2 설비로 반송하여 상기 제2 설비에 로딩하는 제4 단계와, 상기 제2 설비에서 작업 수행 전에 상기 제1 작업 결과 데이터를 상기 파일서버로부터 불러오고 작업 수행 시 상기 제1 작업 결과 데이터를 이용하여 상기 기판에 대한 작업을 수행하고 작업 수행 후 제2 작업 결과 데이터를 상기 파일서버에 저장하는 제5단계와, 상기 제2 설비로부터 상기 기판을 언로딩하는 제6 단계를 포함한다. 여기서, 파일서버는 다수의 설비에 네트워크로 연결되며 다수 설비의 작업 결과 데이터를 공유한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 시스템에 대해 설명한다. 이하에서는, 설명의 편의상 TFT-LCD 공정에서 사용되는 자동화 시스템을 구체적인 예로 들어 설명한다.

도2에서, 호스트(100)는 TCP/IP를 사용한 네트워크를 통해 설비 서버(200), 파일서버(400) 및 자동운송장치 컨트롤러(Automatic Guide Vehicle Controller, 500)와 연결되며, 이들과 미리 정해진 메시지를 주고받음으로써 정보교환을 하거나 제어명령을 내리게 된다.

자동운송장치 컨트롤러(500)는 호스트(100)로부터 명령을 받으면 무선통신으로 자동운송장치(600)와 통신하여 특정 명령을 내린다. 자동운송장치(200)는 자동운송장치 컨트롤러(500)의 명령에 따라 특정 설비(300)로 카세트를 싣고 이동하거나, 특정 설비(300)에서 작업 완료된 카세트를 실어 다음 설비로 이동하는 등의 작업을 자동으로 한다. 이러한 작업이 끝나면, 자동운송장치(800)는 무선통신 방법으로 자동운송장치 컨트롤러(500)에 완료 메시지를 전송한다. 이때 자동운송장치 컨트롤러(500)는 네트워크를 통해 다시 호스트로 해당 메시지를 전송함으로써 호스트(100)가 자동운송장치(600)의 상태를 관리할 수 있게 된다.

설비(300)는 설비서버(200)와 일대일 통신방법인 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)통신(반도체 표준통신)으로 연결되고, 파일서버(400)와는 TCP/IP를 통해 네트워크로 연결된다. 설비(300)에는 다수의 작업대기소(310a-310n)가 있는 데, 각각의 작업대기소(310a-310n)는 설비(300)의 한 포트씩을 점유하여 사용한다.

자동 운송 장치(600)가 카세트를 실어와 제1 작업대기소(310a)로 옮기면, 제1 작업대기소(310a)가 사용하는 제1 포트는 이벤트(event)(즉, 제1 작업 대기소에 카세트가 놓여져 있다는 이벤트)를 발생한다. 이때, 설비(300)는 상기 이벤트를 수신하여, 제1 작업대기소(310a)에 옮겨진 카세트에 대한 작업요청 메시지를 설비서버(200)로 전송한다. 이러한 방법으로 설비(300) 내에 있는 각각의 포트는 작업대기소(310a-310n)에 카세트가 옮겨지면 포트가 사용중이라는 이벤트를 발생시키고 카세트가 제거되면 포트가 비어 있다는 이벤트를 발생시킨다.

도3은 도2의 설비(300)를 상세하게 나타낸 도면이다.

도3에 도시된 바와 같이, 설비(300)에는 실제 작업을 진행하는 작업대(340)와, 작업자가 직접 보면서 설비를 조작할 수 있는 작업 제어화면(360)이 있다. 작업대(340)에는 카세트에 보관된 글래스(작업 대상물 (Mm))의 아이디(이하, '글래스 아이디'라 함)를 판독하기 위한 베리코드 리더(vericode reader;VCR)(350)가 장착되어 있다. 또한, 설비(300)의 다수의 작업대기소(310a-310n)에는 각각 자동운송장치와 무선 입출력 통신을 위한 센서(320a-320n)가 있고, 카세트가 작업대기소(310a-310n)에 옮겨지면 카세트의 아이디를 읽기 위한 바코드카드리더(330a-330n)가 있다.

작업 대기소에 놓여진 카세트에 보관된 글래스는 하나의 글래스 또는 하나의 작업 단위를 이루는 n 개의 글래스 집합(이를 'lot'이라 한다.) 단위로 작업대에 옮겨져 처리된다. 즉, 반송 로봇(370)은 작업 대기소에 놓여진 카세트로부터 하나의 글래스 또는 lot을 작업대(340)위로 옮겨 놓는다. 그러면, 작업대(340)에 장착된 VCR(350)은 하나의 글래스에 대한 아이디(글래스 아이디) 또는 lot에 대한 아이디(lot 아이디)를 판독하여, 상기 글래스 또는 lot에 대한 정보를 작업 제어 화면(360)에 표시한다.

다음은 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 구성도를 설명한다. 도4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 구성도이다.

도4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템은 다수의 설비(300a, 300b, 300c, 300d), 다수의 설비에 일대일로 연결되는 다수의 설비서버(200a, 200b, 200c, 200d), 상기 다수의 설비의 작업 결과 데이터를 저장하기 위한 파일 서버(400)와, 상기 다수의 설비 서버에 연결되는 호스트(100)로 이루어진다.

도4에서, 호스트(100)는 자체에 데이터베이스(110)를 가지고 있으며, 카세트 아이디 및 글래스 아이디(또는 lot 아이디)를 기초로 하여 데이터 베이스(110)를 조회하여 필요한 작업을 수행한 후, 작업수행 결과를 약속된 메시지를 통해 설비 서버(200a, 200b, 200c, 200d)에 지시한다. 또한, 호스트(100)는 자동 운송 장치(600)를 제어하여 카세트(650)가 소정의 순서에 따라 자동으로 설비(300a,300b, 300c, 300d)간을 이동하도록 한다. 즉, 호스트(100)가 자동운송장치 컨트롤러에게 특정 설비(예컨대, 300a)로 자동 운송 장치가 이동할 것을 명령하면, 자동 운송 장치 컨트롤러는 상기 자동 운송 장치와 무선으로 통신하여 상기 자동 운송 장치가 설비(300a)로 이동하도록 한다.

설비 서버(200a, 200b, 200c, 200d)는 설비(300a, 300b, 300c, 300d)와 호스트(100) 사이에서 카세트(650)와 카세트안에 보관된 다수의 글래스 또는 lot에 대한 메시지를 인터페이스하여 설비(300a - 300d)를 제어한다.

이하에서는, 제1 설비(300a)를 검사기로 하고 제2 설비(300b)를 보수기로 가정하여, 검사기(300a)의 검사 작업 데이터(제1 작업 데이터)가 보수기(300b)에서 어떻게 이용되는가에 대한 시스템 동작을 설명한다.

우선, 호스트(100)는 자동운송장치(600)를 제어하여 카세트(650)가 검사기(300a)에 이동되도록 한다. 다수의 글래스를 보관하는 카세트(650)가 검사기(300a)로 옮겨지면, 검사기(300a)는 검사기 서버(200a) 및 호스트(100)와 메시지를 인터페이스함으로써 작업제어를 받는다.

그러면, 검사기는 카세트(650)에 보관된 모든 글래스 또는 일부의 글래스에 대한 불량 여부(예컨대, 데이터선 등에 대한 단락 및 단선 등)를 검사한 후, 검사 작업 결과에 대한 데이터를 파일서버(400)에 전송한다. 이 때, 파일 서버(400)에 전송되는 작업 결과 데이터는 가공하지 않은 데이터(이하, '미가공' 데이터라 함)로 저장된다. 이러한 미가공 데이터의 예로는 각각의 글래스에 대한 불량 좌표 데이터, 불량 이미지 데이터, 불량 내용(예컨대, 단선, 단락) 등이 있다. 또한, 검사기(300a)는 검사하는 과정에서 발생한 결과 데이터를 가공한 데이터(이하, '서머리' 데이터라 함)를 검사기 서버(200a)에 일대일 통신을 통해 전송한다. 서머리 데이터의 예로서는 불량이 발생한 글래스의 개수 등이 있다.

이때, 검사기(300a)로부터 파일서버(400)에 전송되는 미가공데이터는 일반적으로 용량이 크기 때문에 본 발명의 제1 실시예에서는 파일서버(400)와 검사기(300a) 사이를 TCP/IP의 통신 네트워크로 연결하였으며, 검사기(300a)에서 검사기 서버(200a)로 전송되는 서머리 데이터는 용량이 작기 때문에 SECS 통신을 이용하여 검사기(300a)와 검사기 서버(200a)를 연결하였다.

검사기(300a)가 카세트(650)내에 보관된 글래스에 대한 검사를 종료하면 호스트(100)는 자동운송장치(600)를 제어하여 카세트(650)가 보수기(300b)로 이동되도록 한다. 카세트(650)가 보수기(300b)로 옮겨지면, 보수기(300b)는 파일서버(400)로부터 상기 카세트(650)(정확하게 말하면, 카세트내에 보관된 글래스)에 대해 이전에 행하여진 검사 결과 데이터(미가공 데이터)를 가져온다. 이 때, 보수기(300b)는 카세트 아이디를 기초로 하여 상기 카세트에 대한 검사 결과 데이터를 파일서버(400)로부터 가져온다.

보수기(300b)는 카세트에 대한 검사 결과 데이터를 이용하여, 카세트내에 보관된 글래스에 대하여 보수 작업을 행한다. 검사기(300a)와 마찬가지로 보수기(300b)도 보수기 서버(200b) 및 호스트(100)와 인터페이스하여 작업을 수행한다.

보수기(300b)가 보수 작업을 종료하면, 보수 작업 결과중 용량이 큰 미가공데이터(예컨대, 보수한 좌표 데이터, 보수 내용 등)는 파일서버에 저장하고 서머리 데이터(예컨대, 보수한 글래스의 수 등)는 보수기서버(200b)에 전송한다.

이와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 검사기(200a)에서 수행한 검사 작업 결과(미가공 데이터)가 파일서버(400)에 저장되고, 보수기(300b)가 이 작업 결과를 이용하여 보수 작업을 행하기 때문에 설비간의 데이터의 공유가 가능하다.

그러나, 제1 실시예에 의하면 검사기(200a)와 보수기(200b)가 각각 작업종료 후에 서머리 데이터를 파일서버(400)에 저장하지 않고 바로 검사기 서버(300a)나 보수기 서버(300b)에 전송하기 때문에 다음과 같은 문제점이 발생할 수 있다. 즉, 검사기(200a)와 보수기(200b)로부터의 서머리 데이터가 통신 에러 등의 문제로 검사기 서버(300a)나 보수기 서버(300b)로 전송되지 않은 경우에는 상기 서머리 데이터를 복구하는 방법이 없다는 문제점이 있다.

본 발명의 제2 실시예는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 고안된 것이다.

도5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템은, 다수의 설비(800a, 800b, 800c, 800d), 다수의 설비에 일대일로 연결되는 다수의 설비서버(700a, 700b, 700c, 700d), 상기 다수의 설비의 작업 결과 데이터를 저장하기 위한 파일 서버(900), 상기 호스트(1000)에 연결되어 사용자와 인터페이스하기 위한 사용자 인터페이스부(1100)로 이루어진다.

도5에서, 파일 서버(900)에 저장되는 작업 결과 데이터는 미가공 데이터 뿐만 아니라 서머리 데이터도 포함된다. 즉, 본 발명의 제2 실시예에서는 다수의 설비(800a - 800d)가 작업을 종료한 경우에, 제1 실시예와는 달리 서머리 데이터를 미가공 데이터와 함께 파일서버(900)에 저장하며, 설비 서버(700a - 700d)에는 단지 파일 서버에 상기 데이터를 저장했다는 이벤트만을 전송한다. 그러면, 설비 서버(700a - 700d)는 파일 서버(900)에 접속하여 상기 서머리 데이터를 직접 불러온다.

따라서, 설비로부터 설비 서버에 전송되는 이벤트가 통신 에러 등에 의해 전송되지 않은 경우에도, 서머리 데이터는 이미 파일 서버에 저장되어 있기 때문에 다음과 같이 상기 서머리 데이터를 파일서버에 전송할 수 있다.

즉, 설비가 작업 종료 이벤트를 전송하지 않는 경우에는, 사용자는 호스트에 접속하여 직접 상기 이벤트를 발생시키도록 한다. 즉, 사용자는 호스트에 연결된 사용자 인터페이스부(1100)에서 가상 이벤트(이벤트2)를 발생시킨다. 그러면, 설비 서버는 파일 서버에 접속하여 필요한 서머리 데이터를 불러온다.

도6은 도5의 파일서버의 상세 구성도이다.

도6에 도시한 바와 같이, 각각의 설비(410a-410n)는 각각 파일서버내의 하나의 디스크(910a-910n)에 연결되어 있으며, 또한 다수의 설비(410a-410n)는 하나의 디스크(910n+1)에 공통 연결되어 있다.

각 설비에서의 작업 결과 데이터는 앞서 설명한 바와 같이, 작업 결과를 가공하지 않은 미가공 데이터와 작업 결과를 가공하여 통계적인 정보로서 이용하기 위한 서머리 데이터로 구분된다.

본 발명의 실시예에서는 상기 미가공 데이터는 용량이 크기 때문에 각 설비별로 할당된 디스크에 저장하며, 서머리 데이터는 용량이 그다지 크지 않고 또한 관리의 효율성 측면을 고려하여 모든 설비에 공통 연결된 디스크(910n+1)에 저장한다. 한편, 예컨대 보수기의 미가공 데이터의 일종인 불량 이미지 데이터와 같이 저장 용량이 매우 큰 데이터는 별도의 디스크를 할당하여 사용할 수도 있다.

파일서버에서 사용되는 디스크는 데이터를 쉽게 찾을 수 있도록 설비 이름을 이용하여 디렉토리(directory)를 구성한다. 예를 들어 제1 설비(700a)가 파일서버의 제1 하드디스크(910a)를 사용하는 경우 "/disk1/eqpid_1"로 디렉토리를 구성하고, 제1 설비(700b)가 파일서버의 제n+1 하드디스크(910n+1)를 사용하는 경우 "/disk n+1/eqpid_1"로 디렉토리를 구성한다.

따라서, 제1 설비의 미가공 데이터는"/disk 1/eqpid_1"에 저장되며, 제1 설비의 서머리 데이터는 "/diskn+1/eqpid_1"에 저장된다.

이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 제어 방법을 설명한다.

도7은 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 제어방법을 도시한 개략 흐름도이다. 도7에서는 설명의 편의상, 도2 내지 도5의 설비 서버와 호스트를 제어부로 언급하였다. 이하에서는, 제1 설비를 검사기로 제2 설비를 보수기로 가정하여 검사 및 보수 공정을 설명한다.

검사기의 제1 작업대기소에 해당하는 제1 포트가 사용가능한 가를 판단하여(S3), 포트가 사용가능하면 검사기는 제어부에 카세트를 공급해 달라는 카세트 요청 메시지를 보낸다(S6).

카세트 요청 메시지를 받은 제어부는 자체 데이터베이스를 검색하여 상기 검사기에서 수행되어야 할 글래스들이 보관된 카세트의 아이디를 찾아내고, 자동 운송 장치를 제어하여 상기 검사기에 상기 카세트를 로딩하도록 명령을 내린다(S9).

그러면, 자동운송장치는 스토카(stocker)에서 해당 카세트를 꺼내어, 상기 검사기의 작업 대기소에 상기 카세트를 옮긴다.

그러면, 검사기의 제1 작업대기소에 장착되어 있는 바코드 리더(barcode reader)는 카세트 아이디를 읽은 후, 제어부에 카세트의 로딩이 완료되었음을 보고한다(S12). 여기서, 제어부에 보고하는 메시지에는 카세트의 아이디도 포함된다.

제어부는 카세트 아이디에 기초한 정보에 따라 검사기가 작업가능한 상태인지를 판단하고, 작업가능한 상태이면 검사기에 작업개시 명령을 내린다(S15). 이때 작업개시 명령과 함께 검사기가 작업을 수행하기 위해 필요한 정보도 함께 내려간다.

작업개시 명령을 받은 검사기는 현재 수행하고 있는 작업이 없으면 즉시 작업을 개시하고, 현재 수행하고 있는 작업이 있으면 작업이 끝난 후에 작업을 개시한다(S18). 그러면, 검사기는 카세트내에 있는 각각의 글래스에 대해 검사 작업을 수행하고, 미가공 데이터(또는 서머리 데이터)를 파일서버에 저장한다. 이 때, 검사기는 글래스를 하나씩 검사한 후 각각의 결과를 파일서버에 저장할 수도 있고, 카세트내의 모든 글래스를 검사한 후 검사 결과를 한 번에 파일서버에 저장할 수 있다. 검사 결과가 파일서버에 모두 저장되면, 검사기는 제어부에 작업완료 보고를 한다(S21).

그러면, 제어부는 검사기에 의해 파일서버에 저장된 미가공 데이터를 읽은 후, 이를 화상 데이터나 통계자료를 위해 다양한 방법으로 가공한다. 그리고 나서, 제어부는 자동운송장치에 카세트를 언로드 하라는 명령을 내린다(S24).

언로드 명령을 받은 자동운송장치는 검사가 완료된 카세트를 검사기로부터 언로드한다. 검사기로부터 카세트의 언로드가 완료되면 검사기는 제어부에 언로드 완료보고를 한다(S30).

그러면, 제어부는 자체 데이터베이스에 상기 카세트가 검사기에서 작업이 완료되었음을 기록한다. 검사기에서 작업이 완료된 카세트는, 다음 작업 공정인 보수 공정이 수행되어야 하므로, 제어부는 자체내의 데이터베이스를 조회하여 보수기 내의 다수의 포트 정보를 조회한다. 이 때, 보수기 내에 현재 사용할 수 있는 상태에 있는 빈 포트(즉, 작업 대기소)가 있으면, 제어부는 카세트를 상기 보수기의 작업 대기소로 이동하도록 자동운송장치에 명령을 내린다.

그러면, 자동운송장치는 카세트를 상기 작업 대기소에 로딩하고, 보수기는 검사기와 마찬가지의 흐름으로 제어부의 명령을 받고 동작하게 된다. 이 때, 보수기는 보수작업 수행전에 파일서버로부터 상기 카세트에 대해 검사기에서 수행한 미가공 데이터(예컨대, 불량 좌표 데이터, 불량 내용)를 읽어온 후, 카세트내 불량 글래스에 대한 보수를 수행한다. 보수기에서의 보수 작업이 완료되면, 보수기는 미가공 데이터(예컨대, 보수한 좌표 데이터, 보수 내용) 또는 서머리 데이터를 파일서버에 저장한다.

이하에서는, 위에서 설명한 제어부를 다시 설비 서버와 호스트로 구분하여각각의 역할과 메시지 교환에 대해 구체적으로 설명한다.

설비서버는 설비를 직접 제어하기 위한 프로그램으로서 설비에서 특정 이벤트가 발생할 때마다 이에 맞게 동작하는 이벤트 드리븐(event-driven) 방식으로 구동된다. 또한, 설비 서버는 설비에서 올려주는 카세트 아이디를 포함한 메시지를 호스트와 약속한 특정 메시지 형식으로 호스트에 전송하고, 호스트는 데이터베이스를 참조하여 해당 카세트에 대한 기본 정보를 특정 메시지 형식으로 설비서버로 보낸다. 그리고, 설비서버는 이 메시지 내의 정보를 조합하여 다시 설비로 명령을 전달한다. 설비서버는 파일서버와 연결되어 있으므로 필요시 파일서버의 데이터를 읽거나 파일서버에 데이터를 저장할 수 있다.

설비 서버가 하는 가장 중요한 역할은 설비에서 작업종료 메시지를 받으면, 파일서버에 접속하여 작업 데이터를 읽어서 가공한 후 호스트에 전송하고, 호스트로부터 특정 정보를 받으면, 이를 이용하여 설비를 원격 제어하는 것이다.

호스트는 첫째, 글래스(lot 포함)와 카세트의 상태를 유지 관리해 주고, 글래스 또는 lot에 대한 작업 공정 프로세스를 스케줄 해준다. 둘째, 자동운송장치의 상태를 관리하여 글래스가 보관된 카세트가 설비에서 설비로, 설비에서 스토카로, 임시보관장소에서 설비로, 스토카에서 스토카로 이동시키는 기능을 한다. 셋째, 설비 내의 다수의 포트들의 상태를 포함한 설비 상태를 관리하고 작업 결과 데이터를 관리하는 등 공정 전체 관리를 위해 필요한 기능을 한다. 따라서, 호스트 내에는 위에서 설명한 사항을 관리하기 위한 데이터베이스가 있게 된다.

도8a 내지 도8e는 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 제어방법을 도시한 세부 흐름도이며, 도9는 본 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템의 제어방법에 사용되는 메시지 흐름도이다.

이하에서도, 검사기와 보수기의 작업 공정을 예로 들어 설명한다.

검사기는 포트(작업 대기소)가 사용가능한지를 판단하고(S100), 작업 대기소에 카세트가 제거되어 포트가 사용가능한 상태로 되면 검사기는 검사기 서버에 카세트의 로드를 요청하는 로드 요청 메시지(CST_Req_toEQsrv)를 전송한다(S110).

카세트 로드 요청 메시지(CST_Req_toEQsrv)를 수신한(S115) 검사기 서버는 다시 호스트에 카세트 로드 요청 메시지(CST_Req_toHost)를 전송한다. (S120), 호스트는 카세트 로드 요청 메시지(CST_Req_toHost)를 수신하면(S125), 호스트는 자체 데이터 베이스를 검색하여 검사기에서 진행할 글래스가 들어있는 카세트를 찾는다. 그리고 나서, 호스트는 자동운송장치 컨트롤러를 호출하여, 카세트를 설비로 가져가도록 운송명령(Load_Cmd)을 내린다(S135).

그러면, 자동 운송 장치 컨트롤러는 자동운송장치로 하여금 스토카(또는 다른 설비)에서 해당 카세트를 싣고 검사기로 이동하도록 한다. (S140). 이 때, 자동운송장치는 검사기와의 무선 입출력 통신을 통해(S145, S150) 카세트를 검사기의 작업대기소에 로딩한다(S155).

카세트가 작업대기소에 올려지면, 작업 대기소내의 자동 센서가 이를 감지하여 카세트를 자동으로 고정하고(S160), 바코드 리더가 로딩되는 카세트의 아이디를 읽는다(S165). 검사기는 카세트의 로딩이 끝나면 자동으로 카세트 아이디를 실은 로드 완료 이벤트 메시지(Load_End_Event)를 검사기 서버에 전송한다(S170).

검사기 서버가 로드완료 이벤트 메시지(Load_End_Event)를 받으면(S175), 검사기 서버는 카세트에 대한 정보를 요구하는 카세트 정보 요구 메시지(CSTInfo_Req_toHost)를 호스트에 전송하고, 호스트의 데이터베이스 중에서 설비상태 및 포트정보를 갱신한다(S180).

실제로 이와 같은 설비상태 및 포트정보 갱신작업은 검사기 서버가 직접 네트워크를 통해 할 수도 있고, 호스트가 설비서버로부터 갱신 요구 메시지를 받고 수행 할 수도 있다. 즉, 설비서버와 호스트는 네트워크로 연결되어 있기 때문에 실제로 호스트에 있는 데이터베이스를 설비서버와 호스트 모두 갱신할 수 있다. 단, 호스트 내의 데이터베이스를 액세스(access)할 수 있는 접근 권한(access privilege)을 설비 서버에만 줄 것인지 호스트에만 줄것인지는 시스템 디자이너가 선택할 문제이다.

호스트가 카세트 정보 요구 메시지(CSTInfo_Req_toHost)를 수신하면, 호스트는 상기 메시지내에서 요구되는 카세트에 관한 정보를 카세트 아이디를 이용하여 데이터베이스를 검색한다(S190). 검색이 끝나면 호스트는 해당 정보를 카세트 정보 응답 메시지(CSTInfo_Ans_toHost)의 형태로 검사기 서버에 전송한다(S195). 이 카세트 정보 응답 메시지(CSTInfo_Ans_toHost)에는 현재 카세트 정보, 카세트내에 보관된 글래스 또는 lot에 관한 정보, 작업내용 정보와 진행공정, 글래스 또는 lot이 카세트에 보관되어 있는 위치, 작업 레시피(recipe), 수량 등의 정보가 포함된다.

검사기 서버가 카세트 정보 응답 메시지(CSTInfo_Ans_toEQsrv)를 수신하면 (S200), 검사기가 검사 작업을 진행할 수 있는 상태인지를 확인한다. 즉, 검사기서버는 카세트 정보 응답 메시지(CSTinfo_Req_toHost)에서 카세트에 관한 정보를 얻고, 이 카세트가 검사기에서 수행할 수 있는 정상적인 카세트인지를 검사한다(S205). 카세트의 정보가 정상적이면, 다음에는 상기 메시지(CSTinfo_Req_toHost)로부터 글래스(또는 lot)에 관한 정보를 얻어, 이 글래스 또는 lot에 관한 정보가 정상적인 정보인지를 검사한다(S210). 검사기 서버가 수신한 카세트 정보에는 앞서 설명한 바와 같이, 순수 카세트에 관한 정보, 카세트내에 보관된 글래스 또는 lot에 대한 정보와 작업내용 정보도 있으므로, 검사기서버는 이들 정보를 종합하여 검사기의 상태를 판단한다. 이때, 검사결과가 비정상이면 비상 상태(abort status)가 되고(S245), 정상이면 정상적인 작업개시 요청 메시지(TKIN_Req_toHost)를 호스트에 전송한다(S215).

호스트가 정상적인 작업개시 요청 메시지(TKIN_Req_toHost)를 수신하면(S220), 설비서버에서 수행한 검증과정을 반복하여 수행한다.

이와 같은 검증 작업을 설비 서버와 호스트에서 중복하여 실시하는 것은 보다 안정적인 제어를 위한 것으로, 필요한 경우 설계자는 상기 검증 작업을 설비 서버에서만 혹은 호스트에서만 실시하도록 설계할 수 있다.

호스트에서 수행한 상기 검증 작업이 정상적인 것으로 판단되면, 호스트는 데이터 베이스에 작업개시를 기록하고, (S225,③) 정상적인 작업개시 응답 메시지(TKIN_Ans_toEQsrv)를 검사기 서버에 전송한다(S230).

검사기서버가 정상적인 작업개시 응답 메시지(TKIN_Ans_toEQsrv)를 수신하면(S235), 검사기 서버는 호스트에서 수행한 검증결과가 정상인지판단하여(S240), 비정상이면 비상 상태로 하고, 정상이면 검사기에 명령을 내리기 위해 지금까지 호스트로부터 받은 메시지 정보를 종합하여 검사기에 내릴 명령을 구성한다(S250). 그리고 나서, 검사기 서버는 작업시작 명령(Start_Cmd_toEQ)을 검사기로 전송한다(S255). 이러한 작업시작 명령(Start_Cmd_toEQ)에는 검사기가 어떻게 작업을 해야 하는지에 대한 상세한 정보가 들어 있다. 즉, 호스트가 검사기 서버에 전송한 작업 레시피가 작업시작 명령(Start_Cmd_toEQ)에 포함되어 검사기로 전송된다. 작업 레시피에는, 이전 작업 공정의 결과 데이터가 저장된 파일서버의 위치에 관한 정보, 작업종료후 결과 데이터를 파일서버에 저장하기 위한 정보, 작업 공정별 작업해야 할 글래스 정보 또는 기본적으로 검사기에서 작업해야 할 조건, 패러미터 셋(parameter set) 등이 포함된다.

작업시작 명령(Start_Cmd_toEQ)을 받은(S260) 검사기는 이 명령(Start_Cmd_toEQ)으로부터 작업수행에 필요한 모든 정보가 있는지 검사한다(S265). 이 때, 만약 누락된 정보가 있거나, 실제로 검사기가 작동할 수 없는 상태에 있는 경우에는 비상 상태로 하고,(S270). 검사결과가 정상인 경우에는 현재 수행중인 작업이 없으면 명령을 받은 즉시 작업을 개시하고(S275), 현재 수행중인 작업이 있으면 작업이 완료될 때까지 기다렸다가 작업을 개시한다.

작업이 개시되면, 검사기는 작업 레시피와 글래스 아이디 또는 lot 아이디를 조합하여 파일서버에 접속하고(S280), 카세트 아이디(실제로는 카세트 아이디, lot 아이디, 글래스 아이디는 모두 링크되어 있음)로 저장된 이전 작업 데이터를 읽어온 후 카세트내 글래스에 대한 작업을 진행한다(S285,④). 검사기가 카세트내 글래스에 대한 검사 작업이 수행된 것으로 판단하면, 검사기는 현재의 작업 레시피와 글래스 또는 lot 아이디를 조합하여 다시 파일서버에 접속하여, 각각의 글래스에 대한 미가공 데이터(불량 좌표 데이터, 불량 내용) 또는 서머리 데이터(특정이 불량이 발생한 글래스의 수 등)를 파일서버의 지정된 위치에 저장한다(S300).

검사기가 모든 글래스에 대한 검사를 마치면, 검사기는 검사기서버에 저장완료 보고 메시지(Save_End_toEQsrv)를 전송한다(S305). 검사기 서버가 상기 메시지를 수신하면, 검사기서버는 파일서버에 접속하여(S315) 작업결과 데이터(주로 서머리 데이터)를 가져온다(S320). 여기서, 작업결과 데이터에는 글래스 아이디, 설비 아이디, 공정 아이디, 작업시작 시간 또는 작업종료 시간, 글래스에 대한 불량 정보 또는 공정 데이터가 포함된다. 이러한 작업 결과 데이터를 이용하여, 검사기 서버는 특정 글래스의 리젝트(reject)나, 카세트에 들어있는 글래스(또는 lot)위치의 재조정이나 특정 글래스에 대한 재작업 처리를 지시하거나, 데이터 분석을 위한 데이터 등을 수집한다(S325).

그리고 나서, 검사기 서버는 호스트에 이들 데이터의 가공을 요청하는 데이터 가공요청 메시지(Dcoll_req_toHost)를 전송한다. (S330).

호스트가 이 메시지를 수신하면(S335), 호스트는 상기 데이터를 가공처리하여(S340) 데이터 가공응답 메시지(Dcoll_Ans_toEQsrv)를 검사기서버에 전송한다(S345).

검사기 서버는 이 메시지를 받고(S350) 데이터 가공 처리가 정상적으로 수행되었는지를 판단한다(S355). 이 과정에서 호스트가 데이터 가공처리를 비정상적으로 한 경우, 검사기 서버는 호스트에 연결되는 사용자 인터페이스를 통해 사용자가 필요한 데이터를 입력할 것을 기다린다. (S360).

검사기가 모든 작업을 완료하면, 검사기는 검사기 서버에 작업완료 보고 메시지(Work_End_toEQsrv)를 전송하는데 이 메시지(Work_End_toEQsrv)는 앞서 설명한 저장완료 메시지(Save_End_toEQsrv)보다 먼저 전송될 수도 있다(S370).

검사기서버가 작업완료 보고 메시지(Work_End_toEQsrv)를 수신하면(S375), 다시 호스트에 정상적인 작업종료 요청 메시지(TKOUT_Req_toHost)를 보낸다(S380).

이 메시지(TKOUT_Req_toHost)를 받은 호스트는 자체 데이터베이스에 작업종료에 대한 처리를 하고(S390) 다시 정상적인 작업종료 응답 메시지(TROUT_Ans_toHost)를 검사기서버에 보낸다(S395).

검사기 서버는 이 메시지(TKOUT_Ans_toHost)를 받고(S400) 호스트가 작업종료 처리를 정상적으로 수행했는지 판단하고(S405), 이 과정에서 결과가 비정상이면 작업자 호출을 한다(S415).

상기 과정이 정상이면, 검사기 서버는 이 언로드 플래그(unload flag)가 세트되어 있는지 판단한다(S410). 이렇게 언로드 플래그를 검사하는 이유는 실제로 검사기가 수행완료 후 검사기서버가 작업완료 요구 메시지(Work_End_toHost)를 호스트에 보내는 시점과 검사기가 언로드 요구 메시지(Unload_Req_toEQsrv)를 검사기서버에 보내는 시점이 뒤바뀔 수 있기 때문이다.

언로드 플래그가 세트되어 있으면, 검사기서버는 호스트에 다시 언로드 요구 메시지(Unload_Req_toHost)를 전송하고 호스트는 이 메시지를 받아(S425) 자동운송장치를 호출하여 운송명령을 내리고(S450), 검사기는 언로드 요청 메시지(Unload_Req_toHost)를 검사기서버에 전송하고(S430) 카세트의 고정을 해제한다(S435).

검사기 서버는 이 메시지(Unload_Req_toHost)를 수신하여(S440) 언로드 플래그를 세트한다.(S445) 따라서, 검사기서버는 자체 프로그램을 수행한 후 언로드 플래그를 검사하여 이 플래그가 세트되면 언로드 요청 메시지(Unload_Req_toHost)를 호스트에 보내게 된다.

이 메시지(Unload_Req_toHost)를 받은 호스트는 자체 데이터베이스에 검사기에서의 작업종료를 기록하고 자동운송장치에 언로드 명령(Unload_Cmd)을 내린다(S450),

자동운송장치는 다시 검사기로 이동하여(S455) 검사기의 자동센서와 무선통신을 통해(S460,S465) 검사가 끝난 카세트를 언로드한다(S470). 이에 따라 검사기는 자동센서에 의해 카세트가 언로드되었는지를 감지하고 언로드 완료 이벤트(Unload_End_Event)를 검사기서버에 전송한다(S475).

검사기서버는 이 이벤트를 수신하고 호스트 내의 데이터베이스에 포트 정보를 빈 상태로 기록하는 등 장비상태를 갱신한다(s485). 이 작업은 검사기서버가 호스트에 갱신 요청 메시지를 보내어 호스트가 직접 수행할 수도 있다.

호스트 내에 저장되어 있는 데이터베이스에는 해당 카세트와 글래스 작업물 아이디를 기준으로 각각의 작업공정이 연속적으로 기록되어 있으므로, 상기 카세트는 검사기의 수행을 마친 다음 데이터베이스에 따라 보수기에서 다시 전과정을 위와 같은 흐름대로 수행하게 된다.

한편, 본 발명의 실시예에서 사용되는 파일서버의 운용 체제로는 유닉스, 윈도우 엔티 등을 사용하여 구현될 수 있으나 여기에 한정되는 것은 아니다.

또한, 각각의 설비와 파일서버간의 통신, 파일서버와 설비서버 사이의 통신과 설비서버와 호스트 사이의 통신은 네트워크로 접속되며, 네트워크를 구현하기 위한 물리적 계층(physical layer)으로는 토큰링(token ring), 스타(star) 또는 ATM 방식이 사용될 수 있고, 프로토콜 계층(protocal layer)으로는 TCP/IP, IPX 또는 네트뷰(netbeui) 방식이 사용될 수 있으며, 응용 계층(application layer)으로는 네트워크 파일 시스템(network file system), 네트웨어(netware) 또는 WFWG(Window For Work Group) 등이 사용될 수 있다. 여기서 언급한 모든 구동 방식은 언급한 사항에만 한정되는 것은 아니다.

또한, 작업자는 파일서버에 직접 접속하여 작업 결과 데이터(예컨대, 불량 내용, 불량 이미지 데이터)를 확인할 수도 있다. 이와 같이 하면, 작업자는 원격지에서(예컨대, 사무실내) 상기 작업 내용을 직접 확인하여 필요한 작업 지시를 호스트를 통해 특정 설비에 지시할 수도 있으며, 상기 작업 결과 데이터를 기초로 한 여러 가지 통계 자료를 생성할 수도 있다.

이상에서는 검사기와 보수기를 예로 들어 자동화 시스템을 설명하였지만, 본 발명이 상기 설비에 한정되는 것은 아니며, TFT-LCD 제조시 필요한 다른 설비(노광설비, 식각 설비, 증착 설비 등)에도 사용가능한 것은 물론이다.

예컨대, 검사기에 의해 파일서버에 저장되는 검사 결과 데이터(특히, 미가공데이터)를 보수기 이외에 다음과 같이 육안 검사장치에 이용할 수도 있다.

전자현미경과 같은 육안 검사장치는 파일서버에 직접 또는 호스트를 통해 접속하여 글래스에 대한 검사결과 데이터 특히, 불량 좌표 데이터를 읽어올 수 있다. 육안 검사장치에 상기 불량 좌표 데이터가 입력되면, 육안 검사장치는 상기 좌표에 해당하는 글래스의 위치로 자동으로 이동되며, 이에 따라 사용자는 상기 육안 검사장치를 이용하여 글래스의 불량 내용을 직접 확인할 수도 있다.

또한, 본 발명의 실시예에서는 TFT-LCD의 제조를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 상기한 TFT-LCD의 제조에 한하는 것은 아니며, 반도체, 플라즈마 디스플레이 패널, 인쇄회로기판 등과 같은 마이크로 일렉트로닉 디바이스(micro-electronic device)의 제조에도 적용 가능한 것은 물론이며, 이 외에도 하나의 설비에서 수행한 작업 결과를 다른 설비에서 이용하고자 하는 모든 산업 분야(예컨대, 자동차, 철강, 석유 화학 등)에서 적용할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 작업 공정의 모든 설비가 파일서버에 접속됨으로써 설비간 작업 데이터가 공유될 수 있다. 따라서, 이전 설비에서 수행한 작업 데이터를 이용하여 다른 설비에서의 작업을 진행할 수 있으며, 여러 가지 통계자료로도 이용할 수 있다.

Claims

작업물에 대하여 각각 작업을 수행하는 다수의 설비와;

상기 다수의 설비와 네트워크로 연결되며, 상기 다수의 설비에서의 작업 결과 데이터를 저장하여 상기 작업 결과 데이터를 상기 다수의 작업 설비가 공유하도록 하는 하나 이상의 파일서버와;

상기 다수의 설비와 연결되어, 각각의 설비를 제어하는 다수의 설비서버와;

상기 설비서버와 네트워크로 연결되고, 상기 설비에 필요한 작업 정보를 가지고 있으며, 해당 설비에 필요한 작업 정보를 상기 설비서버로 제공하는 호스트;

상기 호스트에 의해 제어되며, 상기 작업물을 각각의 설비로 자동 운송하는 자동운송장치; 및

상기 호스트와 유선으로 연결되며, 상기 호스트로부터 명령을 받아 상기 자동운송장치의 운송을 제어하는 자동운송장치 컨트롤러를 포함하는 자동차 시스템.
제1항에서,

상기 파일서버에 접속하여 상기 파일서버에 저장되어 있는 작업 결과 데이터를 사용자가 직접 이용할 수 있는 사용자 인터페이스부를 더 포함하는 자동화 시스템.
제1항에서,

상기 자동운송장치는 여러 개의 작업물을 하나의 반송 용기 안에 넣어 반송하며,

상기 반송 용기는 식별을 위한 고유 아이디인 반송 용기 아이디를 가지는 자동화 시스템.
제3항에서,

상기 설비는

상기 작업물에 대한 작업을 진행하기 위한 작업대와;

상기 작업물에 대한 작업 진행 전 또는 작업 진행 후에 상기 작업물을 놓기 위한 다수의 작업 대기소와;

상기 작업물을 상기 작업 대기소에서 상기 작업대로 옮기거나 상기 작업대에서 상기 작업 대기소로 옮기기 위한 반송 로봇을 포함하는 자동화 시스템.
제4항에서,

상기 작업대는 상기 작업물의 아이디를 판독하기 위한 제1 판독기를 가지며,

상기 작업 대기소는 상기 반송 용기 아이디를 판독하기 위한 제2 판독기와, 상기 자동운송장치와 통신하기 위한 통신수단을 가지는 자동화 시스템.
제5항에서,

상기 설비는

작업자가 직접 보면서 설비를 조작할 수 있는 작업 제어화면을 더 포함하는 자동화 시스템.
제6항에서,

상기 작업물은 웨이퍼이며, 상기 반송 용기는 카세트인 자동화 시스템.
제6항에서,

상기 작업물은 글래스이며, 상기 반송용기는 카세트인 자동화 시스템.
제7항 또는 제8항에서,

상기 다수의 설비는 검사기와 보수기를 포함하는 자동화 시스템.
소정의 패턴이 형성되어 있는 기판을 검사하기 위한 검사기를 포함하는 다수의 설비와;

상기 다수의 설비와 네트워크로 연결되며, 상기 기판에 대한 각각의 설비에서의 작업 결과 데이터를 저장하여 상기 작업 결과 데이터를 상기 다수의 작업 설비가 공유하도록 하는 하나 이상의 파일서버와;

상기 다수의 설비에 연결되어 각각의 설비를 제어하는 검사기 서버를 포함하는 다수의 설비서버와;

상기 설비서버와 네트워크로 연결되고 자체에 데이터 베이스를 가지고 있으며, 상기 기판의 고유 아이디인 기판 아이디를 기초로 하여 상기 데이터 베이스를 조회하여 해당 설비에 필요한 작업 정보를 상기 설비서버로 제공하는 호스트를 포함하는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항에서,

상기 파일서버에 접속하여 상기 파일서버에 저장되어 있는 작업 결과 데이터를 사용자가 직접 이용할 수 있는 사용자 인터페이스부를 더 포함하는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항에서,

상기 호스트에 의해 제어되며, 상기 기판을 각각의 설비로 자동 운송하는 자동운송장치를 더 포함하는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제12항에서,

상기 호스트와 유선으로 연결되며, 상기 호스트로부터 명령을 받아 상기 자동운송장치의 운송을 제어하는 자동운송장치 컨트롤러를 더 포함하는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항에서,

상기 다수의 설비는 상기 검사기로부터의 검사 결과에 기초하여 상기 기판을보수하기 위한 보수기를 더 포함하는 마이크로 일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제14항에서,

상기 검사기는 상기 기판에 대한 검사 작업을 수행한 후, 검사 결과 데이터를 상기 파일서버에 저장하며,

상기 보수기는 상기 검사 결과 데이터를 상기 파일서버로부터 읽어와 보수작업에 이용하고, 보수 결과 데이터를 상기 파일서버에 저장하는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제15항에서,

상기 검사기는

상기 기판을 검사한 후, 검사 결과를 가공하지 않는 미가공 데이터를 상기 검사 결과 데이터로서 상기 파일서버에 저장하며,

상기 검사 결과를 가공한 서머리 데이터를 상기 검사기 서버에 전송하는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제15항에서,

상기 검사기는

상기 기판을 검사한 후, 검사 결과를 가공하지 않는 미가공 데이터와 상기검사 결과를 가공한 서머리 데이터를 상기 검사 결과 데이터로서 상기 파일서버에 저장하며,

상기 검사 결과 데이터 저장의 이벤트를 상기 검사기 서버에 전송하는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제17항에서,

상기 미가공 데이터는

불량 좌표 데이터, 불량 내용 데이터인 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항에서,

상기 검사기에 의해 상기 파일서버에 저장된 검사 결과 데이터를 이용하여, 상기 기판에 대한 검사 내용을 사용자가 직접 관찰하도록 하는 육안 검사장치를 더 포함하는 마이크로 일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제19항에서,

상기 검사 결과 데이터는 불량 좌표 데이터를 포함하며,

상기 육안 검사 장치는 상기 불량 좌표 데이터로 자동으로 이동하여 사용자가 관찰할 수 있도록 하는 마이크로 일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항에서,

상기 다수의 설비와 상기 파일서버, 상기 파일서버와 상기 설비서버, 상기 설비서버와 상기 호스트는 각각 TCP/IP 방식으로 연결되는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항에서,

상기 설비와 상기 설비서버는 SECS 통신 방식으로 연결되는 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항 내지 제22항 중 어느 한 항에서,

상기 기판은 웨이퍼인 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제10항 내지 제22항 중 어느 한 항에서,

상기 기판은 글래스인 마이크로일렉트로닉 디바이스의 자동화 시스템.
제1 설비에 로딩된 작업물을 인지하는 단계와;

상기 작업물에 대한 상기 제1 설비에서의 작업 명령을 제어부로부터 전달받는 단계와;

상기 제1 설비를 포함하는 다수의 설비에 온 라인으로 연결되며 상기 작업물에 대한 상기 다수 설비의 작업 결과 데이터를 저장하고 있는 파일서버로부터, 상기 제1 설비의 작업에 필요한 이전 설비에서의 작업 결과 데이터를 읽어오는 단계와;

상기 이전 설비에서 수행된 상기 작업 결과 데이터를 이용하여 상기 작업물에 대한 작업을 상기 제1 설비에서 수행하는 단계와;

상기 제1 설비에서 수행된 작업 결과 데이터를 상기 파일서버에 저장하는 단계를 포함하는 공정 제어방법.
제25항에서,

상기 이전 설비는 검사기이며,

상기 제1 설비는 보수기인 공정 제어방법.
제26항에서,

상기 작업물은 웨이퍼인 공정 제어 방법.
제26항에서,

상기 작업물은 글래스인 공정 제어방법.
기판에 대하여 각각의 작업을 행하는 다수의 설비와, 상기 다수의 설비를 제어하는 제어부와, 상기 기판을 각각의 설비로 자동 운송하는 자동운송장치를 포함하는 자동화 시스템의 제어방법에 있어서,

상기 기판을 제1 설비에 로딩하는 제1 단계와;

상기 제1 설비에서 상기 기판에 대한 작업을 수행하고, 상기 다수의 설비에 네트워크로 연결되어 상기 다수 설비의 작업 결과 데이터를 공유하기 위한 파일서버에 상기 제1 설비의 제1 작업 결과 데이터를 저장하는 제2 단계와;

상기 제1 설비로부터 상기 기판을 언로딩하는 제3 단계와;

상기 기판을 제2 설비로 반송하여 상기 제2 설비에 로딩하는 제4 단계와;

상기 제2 설비에서 작업 수행전에 상기 제1 작업 결과 데이터를 상기 파일서버로부터 불러오고, 작업 수행 시 상기 제1 작업 결과 데이터를 이용하여 상기 기판에 대한 작업을 수행하고, 작업 수행 후 제2 작업 결과 데이터를 상기 파일서버에 저장하는 제5단계와;

상기 제2 설비로부터 상기 기판을 언로딩하는 제6 단계를 포함하는 자동화 시스템의 제어 방법.
제29항에서,

상기 제1 단계는

상기 제1 설비가 제어부에 상기 기판을 요청하는 메시지를 전송하는 단계와;

상기 제어부가 자체 데이터베이스를 검색하여 상기 제1 설비에서 수행되어야 할 기판을 찾아내고, 찾아낸 기판을 제1 설비에 로딩하도록 상기 자동운송장치에 명령하는 단계와;

제1 설비에 로딩되면, 상기 제1 설비가 기판의 아이디를 읽은 후 로딩 완료를 제어부에 보고하는 단계를 포함하는 자동화 시스템의 제어방법.
제30항에서,

상기 제2 단계는

제어부가 상기 기판 아이디에 기초한 정보에 따라 상기 제1 설비가 작업가능한 상태인지를 판단하고, 작업가능한 상태이면 상기 제1 설비의 작업 수행에 필요한 작업정보와 함께 작업 시작 명령을 상기 제1 설비에 내리는 단계와;

상기 제1 설비가 상기 기판에 대한 작업을 수행하고, 상기 제1 작업 결과 데이터를 파일서버에 저장한 후 제어부에 작업 완료를 보고하는 단계를 포함하는 자동화 시스템의 제어 방법.
제31항에서,

상기 제3 단계는

상기 제어부가 상기 파일서버에서 상기 제1 작업 결과 데이터를 읽어와 상기 제1 작업 결과 데이터를 가공하고, 상기 자동운송장치에 상기 기판의 언로딩을 명령하는 단계와;

상기 자동운송장치가 작업이 완료된 기판을 상기 제1 설비로부터 언로딩하는 단계와;

언로딩이 완료되면 상기 제1 설비가 상기 제어부에 언로드 완료를 보고하는 단계를 포함하는 자동화 시스템의 제어방법.
제32항에서,

상기 제4 단계는

제어부가 상기 파일서버에 저장된 상기 제1 작업 결과 데이터의 저장 위치와, 상기 제2 설비에서 수행할 제2 작업 결과 데이터를 저장할 위치를 상기 제2 설비에 알려주는 단계와;

상기 제2 설비가 상기 제1 작업 결과 데이터를 상기 파일서버로부터 읽어와 작업을 수행하고, 제2 작업 결과 데이터를 상기 파일 서버에 저장하는 단계를 포함하는 자동화 시스템의 제어방법.
제33항에서,

상기 제1 설비는 검사기이고, 상기 제2 설비는 보수기인 자동화 시스템의 제어방법.
제34항에서,

상기 기판은 웨이퍼인 자동화 시스템의 제어방법.
제34항에서,

상기 기판은 글래스인 자동화 시스템의 제어방법.