KR100224814B1 - Magnetic head and the manufacturing method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 자기 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic head and a method of manufacturing the same.
본 발명은 1)비자성 기판상에 자성층막을 형성하는 단계; 2)자성층막 상에 포토 레지스트막을 형성하는 단계: 3)포토 레지스트막 상에 소정 패턴의 마스크를 부착하고 감광 시키는 단계: 4)자성층막을 선택적으로 에칭시키는 단계; 5)포토 레지스트막을 제거시키는 단계; 6)자성층막 상에 절연층막을 형성하는 단계, 7)절연층막 상에 다시 자성층막을 형성하고, 상기 2)∼6)의 단계를 수회 반복하여 소정 두께의 적층구조체를 형성하는 단계; 8)적층구조체의 최상층에 소정의 애지머스 각도로 가공된 기판부재를 부착시키는 한편 권선용 윈도우를 형성하는 단계; 및 9)적층구조체의 일측면을 테이프와의 접촉을 좋게 하기 위하여 소정 곡률의 라운드 가공을 행하는 한편, 권선을 하여 자기 헤드를 완성시키는 단계를 포함하고 있다.The present invention comprises the steps of 1) forming a magnetic layer film on a nonmagnetic substrate; 2) forming a photoresist film on the magnetic layer film: 3) attaching and photosensitive a mask of a predetermined pattern on the photoresist film: 4) selectively etching the magnetic layer film; 5) removing the photoresist film; 6) forming an insulating layer film on the magnetic layer film, 7) forming a magnetic layer film again on the insulating layer film, and repeating the steps 2) to 6) several times to form a laminated structure having a predetermined thickness; 8) attaching the processed substrate member at a predetermined azimuth angle to the top layer of the laminated structure while forming a window for winding; And 9) performing round processing of a predetermined curvature on one side of the laminated structure so as to make good contact with the tape, and winding to complete the magnetic head.
이와 같이, 자성층막을 선택적으로 형성하므로 자로가 짧아져 인덕턴스가 줄어들고, 그에 따라 C/N을 높일 수 있으며, 종래와 같이 I 코어와 C 코어를 따로 제작하여 랩핑, 본딩 등의 가공공정을 해야하는 번거로움이 없어 수율이 향상되고, 특히 애지머스 각도 설정을 반도체 공정을 이용하지 않고 간단한 제작에 의해 구현함으로써 제품의 생산 단가를 절감할 수 있는 장점이 있다.As such, since the magnetic layer film is selectively formed, the magnetic path is shortened to reduce the inductance, thereby increasing the C / N. Accordingly, the process of lapping and bonding the I core and the C core separately is required as in the prior art. As a result, the yield is improved, and in particular, the azimuth angle setting can be implemented by simple fabrication without using a semiconductor process, thereby reducing the production cost of the product.
Description
제1도는 종래 VCR용 헤드 드럼의 분리사시도.1 is an exploded perspective view of a head drum for a conventional VCR.
제2도는 제1도의 헤드 드럼에 있어서, 자기 헤드의 부분 발췌 확대도.2 is an enlarged partial view of the magnetic head of the head drum of FIG.
제3도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 비자성 기판상에 자성층막을 형성한 상태의 측면도.3 is a side view of a state in which a magnetic layer film is formed on a nonmagnetic substrate in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.
제4도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 자성층막상에 포토 레지스트막을 형성한 상태의 측면도.4 is a side view of a state in which a photoresist film is formed on a magnetic layer film in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.
제5도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 제5(a)도는 포토 레지스트막 상에 마스크를 부착한 상태의 평면도이고, 제5(b)도는 제5(a)도를 감광한 후의 측면도.FIG. 5 is a plan view of a state in which a mask is attached on a photoresist film in the manufacturing method of a magnetic head according to the present invention, and FIG. After side view.
제6도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 자성층막을 선택적으로 에칭한 상태의 측면도.6 is a side view of a state in which a magnetic layer film is selectively etched in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.
제7도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 자성층막 위의 포토 레지스트막을 제거한 상태의 측면도 및 평면도.7 is a side view and a plan view of a state in which a photoresist film on a magnetic layer film is removed in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.
제8도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 자성층막 상에 절연층막을 형성한 상태의 측면도.8 is a side view of a state in which an insulating layer film is formed on a magnetic layer film in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.
제9도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 자성층막과 절연층막의 교번적층 구조체를 형성한 상태의 측면도.9 is a side view of a state in which an alternating laminated structure of a magnetic layer film and an insulating layer film is formed in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.
제10도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 제10(a)도는 적층구조체의 최상층 위에 기판부재를 부착한 상태의 측면도이고, 제10(b)도는 권선용 윈도우를 형성한 상태의 평면도.10 is a side view of a state in which a substrate member is attached on an uppermost layer of a laminated structure in a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, and FIG. 10 (b) is a plan view of a state in which a winding window is formed. .
제11도는 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법에 있어서, 제10도의 자기 헤드 구조체의 일측면을 라운드 가공한 상태의 평면도.11 is a plan view of a state in which one side surface of the magnetic head structure of FIG. 10 is rounded in the manufacturing method of the magnetic head according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 헤드 드럼 11 : 고정 드럼10 head drum 11: fixed drum
12 : 회전 드럼 13 : 상부 트랜스12: rotating drum 13: upper trance
14 : 자기 헤드 31 : 비자성기판14 magnetic head 31 non-magnetic substrate
32 : 자성층막 33 : 포토 레지스트막32 magnetic layer film 33 photoresist film
34 : 마스크 35 : 절연층막34 mask 35 insulating layer film
36 : 기판부재 37 : 접착제36 substrate member 37 adhesive
38 : 권선용 윈도우38: winding window
본 발명은 VCR(Video Cassette Recorder) 등에 사용되어 정보를 기록 및 재생하는 자기 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 헤드의 자로(磁路)를 줄여 C/N비(Carrier/Noise)를 높이고, 랩핑(lapping)이나 본딩(bonding)등의 가공 공정을 줄여 수율을 향상시키며, 애지머스(azimuth) 각도 제작이 용이한 자기 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic head used for recording and reproducing information and a method of manufacturing the same, which is used in a video cassette recorder (VCR) or the like, and in particular, reduces the magnetic path of the head to increase the C / N ratio. The present invention relates to a magnetic head and a method of manufacturing the same, which reduce yields such as lapping or bonding, improve yields, and are easy to produce azimuth angles.
일반적으로, VCR에는 주행하는 자기테이프로부터 기록된 소정의 정보를 판독하거나 자기테이프에 새로운 정보를 기록하기 위해 그 자기테이프의 주행방향에 대하여 경사상으로 스캐닝(scanning)하는 회전형 자기 헤드 드럼이 설치되어 있다.In general, the VCR is provided with a rotating magnetic head drum which scans inclined with respect to the traveling direction of the magnetic tape in order to read predetermined information recorded from the traveling magnetic tape or write new information on the magnetic tape. It is.
이와 같은 회전형 자기 헤드 드럼은, 자기테이프를 가이드하는 고정드럼과, 그 고정드럼과 동일축에 회전가능하게 설치되는 회전드럼과, 회전드럼에 설치되는 자기 헤드를 구비하여 구성되어 있다.Such a rotating magnetic head drum comprises a fixed drum for guiding a magnetic tape, a rotating drum rotatably provided on the same axis as the fixed drum, and a magnetic head provided on the rotating drum.
한편, 이와 같은 VCR에 있어서, 고밀도/고정도로 정보의 기록/재생을 하기 위해서는 상기 자기테이프의 주행속도 및 회전형 자기 헤드 드럼의 회전속도가 정확히 제어되어야 할 뿐만 아니라, 회전형 자기헤드 드럼 자체 또한 정밀하게 제작되어야 하는 과제를 안고 있다.On the other hand, in such a VCR, not only the traveling speed of the magnetic tape and the rotational speed of the rotary magnetic head drum must be precisely controlled, but also the rotary magnetic head drum itself in order to record / reproduce information with high density / precision. There is a challenge to be made precisely.
첨부 도면의 제1도에는 종래 VCR의 헤드 드럼을 분리한 상태가 도시되어 있다.1, the state in which the head drum of the conventional VCR is removed is shown.
이를 참조하면, 헤드드럼(10)은 비디오 카세트 레코더 본체에 조립될시 고정되어 자기테이프의 주행을 안내하는 원통형 고정드럼(11)과, 상기 고정드럼(11)과 동일축에 맞대향 결합되어 회전운동을 하는 원통형 회전드럼(12)으로 구성되어 있다. 그리고, 상기 회전드럼(12)에는 동심원 상의 다수개의 홈에 코일이 권취된 상부 트렌스(13)가 설치되어 있고, 도면상으로 상부 트렌스(13)의 상방 회전드럼(12)의 내면 소정 부위에는 자기 헤드(14)가 설치되어 있다.Referring to this, the head drum 10 is fixed when assembled to the video cassette recorder main body, the cylindrical fixed drum (11) for guiding the running of the magnetic tape, and the fixed drum 11 is coupled to the opposite axis on the same axis and rotated It is composed of a cylindrical rotating drum 12 for movement. The rotary drum 12 is provided with an upper transformer 13 in which coils are wound in a plurality of concentric grooves, and on a predetermined portion of the inner surface of the upper rotating drum 12 of the upper transformer 13 in the drawing. The head 14 is provided.
제2도는 제1도의 헤드 드럼에 있어서, 자기 헤드의 부분 발췌 확대도이다.FIG. 2 is an enlarged partial view of the magnetic head in the head drum of FIG.
이를 참조하면, 더블 애지머스(double azimuth) 자기헤드(14)는 헤드베이스(14b)의 일측부위에 소정의 갭을 가진 2개의 돌출부(14m, 14n)가 형성되어 있고, 각 돌출부(14m, 14n)의 단부에는 헤드팁(14r, 14s)이 부착되어 있으며, 각 헤드팁(14r, 14s)에는 코일(14p, 14q)이 권취되어 있다. 여기서, 부호 15는 PCB이고, 16은 납땜부이며, 17은 수지접착부이다.Referring to this, the double azimuth magnetic head 14 has two protrusions 14m and 14n having a predetermined gap at one side of the head base 14b, and each protrusion 14m and 14n. The head tips 14r and 14s are attached to the edge part, and coils 14p and 14q are wound by each head tip 14r and 14s. Here, reference numeral 15 is a PCB, 16 is a soldering portion, and 17 is a resin bonding portion.
그런데, 이와 같은 종래 자기 헤드는 I 코어와 C 코어를 따로 제작하여 랩핑, 본딩 등의 가공공정을 거쳐야 하고, 코어 상호간의 갭형성을 위한 여러 작업을 해야 하기 때문에 그 제조공정이 매우 복잡하며, 특히 가공시 발생하는 여러 편차로 인해 수율이 떨어지는 결점이 있다. 또한, 헤드 칩의 크기가 박막형태의 HDD(Hard Disk Drive) 헤드 칩보다 크기 때문에 인덕턴스(inductance)가 크며, 따라서 C/N이 낮다. 뿐만 아니라 헤드 칩의 제조에 있어 페라이트(ferrite)를 가공하여 제조하기 때문에 그 크기를 소형화하기 어려운 문제가 있다.However, such a conventional magnetic head has to be fabricated separately from the I core and the C core and subjected to lapping, bonding, and the like, and various operations for forming gaps between the cores are very complicated. Due to various deviations in processing, there is a drawback of poor yield. In addition, since the size of the head chip is larger than the HDD (Hard Disk Drive) head chip, the inductance is large, and thus the C / N is low. In addition, in the manufacture of the head chip, there is a problem that it is difficult to miniaturize the size because it is manufactured by processing ferrite (ferrite).
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 창출된 것으로서, 헤드의 자로를 줄여 C/N을 높이고, 랩핑이나 본딩등의 가공 공정을 줄여 수율을 향상시키며, 애지머스 각도 설정이 용이한 자기 헤드 및 그 제조 방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to improve the above problems, to reduce the magnetic path of the head to increase the C / N, to improve the yield by reducing the machining process such as lapping or bonding, the magnetic head and easy to set the azimuth angle and The purpose is to provide a method for producing the same.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 자기 헤드는, 자성층막과 절연층막이 교번으로 적층된 적층구조체와, 그 적층구조체의 하부에 마련되어 적층구조체를지지 및 보호하는 비자성기판을 구비하여 된 자기 헤드에 있어서, 상기 적층구조체의 최상층에는 소정의 애지머스 각도로 가공된 기판부재가 부착되어 있는 점에 그 특징이 있다.In order to achieve the above object, a magnetic head according to the present invention includes a laminated structure in which a magnetic layer film and an insulating layer film are alternately stacked, and a nonmagnetic substrate provided under the laminated structure to support and protect the laminated structure. The magnetic head is characterized in that a substrate member processed at a predetermined azimuth angle is attached to the uppermost layer of the laminated structure.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조방법은, 1) 비자성 기판상에 자성층막을 형성하는 단계, 2) 상기 자성층막 상에 포토 레지스트(photo resist)막을 형성하는 단계, 3) 상기 포토 레지스트막 상에 소정 패턴의 마스크를 부착하고 감광시키는 단계, 4) 감광 후, 상기 자성층막을 선택적으로 에칭(etching)시키는 단계, 5) 에칭 후, 상기 포토 레지스트막을 제거시키는 단계, 6) 포토 레지스트가 제거된 자성층막 상에 절연층막을 형성하는 단계, 7) 상기 절연층막 상에 다시 자성층막을 형성하고, 상기 2)∼6)의 단계를 수회 반복하여 소성 두께의 적층구조체를 형성하는 단계, 8) 상기 적층구조체의 최상층에 소정의 애지머스 각도로 가공된 기판부재를 부착시키는 한편 권선용 윈도우(window)를 형성하는 단계, 및 9) 상기 구조체의 일측면을 테이프와의 접촉을 좋게 하기 위하여 소정 곡률의 라운드 가공을 행하는 한편, 권선을 하여 자기 헤드를 완성시키는 단계를 포함하여 된 점에 그 특징이 있다.In addition, a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention for achieving the above object, 1) forming a magnetic layer film on a non-magnetic substrate, 2) forming a photo resist film on the magnetic layer film 3) attaching and photosensitive a mask having a predetermined pattern on the photoresist film; 4) selectively etching the magnetic layer film after photosensitive; 5) removing the photoresist film after etching; 6) forming an insulating layer film on the magnetic layer film from which the photoresist has been removed, 7) forming a magnetic layer film on the insulating layer film again, and repeating steps 2) to 6) several times to form a laminated structure having a plastic thickness 8) attaching the substrate member processed at a predetermined azimuth angle to the uppermost layer of the laminated structure while forming a window for winding, and 9) one side of the structure There is a characteristic that in performing the round processing of a predetermined curvature On the other hand, the including the step of using the winding to complete the magnetic head point in order to improve the contact with the tape.
이와 같이, 자성층막을 선택적으로 형성하므로 자로가 짧아져 인덕턴스가 줄어들고, 그에 따라 C/N을 높일 수 있으며, 종래와 같이 I 코어와 C 코어를 따로 제작하여 랩핑, 본딩 등의 가공공정을 해야하는 번거로움이 없어 수율이 향상되고, 특히 애지머스 각도 설정을 반도체 공정을 이용하지 않고 간단한 제작에 의해 구현함으로써 제품의 생산 단가를 절감할 수 있다.As such, since the magnetic layer film is selectively formed, the magnetic path is shortened to reduce the inductance, thereby increasing the C / N. Accordingly, the process of lapping and bonding the I core and the C core separately is required as in the prior art. As a result, the yield is improved, and the production cost of the product can be reduced by implementing the azimuth angle setting by simple manufacturing without using a semiconductor process.
이하 첨부된 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 자기 헤드는 다음과 같은 순서 및 방법에 의해 제조된다.The magnetic head of the present invention is manufactured by the following procedure and method.
먼저, 제3도를 참조하면, 도시된 것과 같이 비자성 기판(31) 상에 자성층막(32)을 형성하게 된다. 이때, 자성층막(32)의 형성방법으로는 스퍼터 링(sputtering)이나 증착방법을 사용하며, 자성층막(32)의 두께는 표면 깊이(skin depth)의 2배 이하로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 자성층막(32)으로 사용돠는 물질로는 투자율 및 포화자속밀도는 크고 보자력이 작은 철(Fe)계 화합물 또는 코발트(Co)계 비성질 합금 등을 선택하는 것이 바람직하다. 그리고, 비자성기판(31)으로는 상기 자성층막(32)과 열팽창 계수가 유사하며, 내마모성이 강한 물질을 선택한다.First, referring to FIG. 3, the magnetic layer film 32 is formed on the nonmagnetic substrate 31 as shown. In this case, as the method of forming the magnetic layer film 32, sputtering or vapor deposition is used, and the thickness of the magnetic layer film 32 is preferably formed to be twice or less than the skin depth. As the material to be used for the magnetic layer film 32, it is preferable to select an iron (Fe) compound, a cobalt (Co) amorphous alloy, or the like having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density and a small coercive force. As the nonmagnetic substrate 31, a material having a similar thermal expansion coefficient to that of the magnetic layer film 32 and having a high wear resistance is selected.
상기 자성층막(32)의 형성이 완료되면, 제4도에서와 같이 자성층막(32) 위에 포토 레지스트막(33)을 소정의 두께로 형성한다. 그런 후, 제5(a)도에서와 같이 포토 레지스트막(33) 상에 소정 패턴의(예컨대, 자기 헤드의 형상을 가지는) 마스크(34)를 부착하고 감광을 시키게 된다. 그러면, 제5(b)도에서와 같이 상기 포토 레지스트막(33)은 마스크(34)의 형상대로 감광되어 마스크(34)의 형상 부위만 남게 된다. 이와 같이 감광을 마치면, 제6도에서와 같이 상기 자성층막(32)을 선택적으로 에칭시키게 된다. 즉, 상기 마스크(34)의 형상을 제외한 부분의 자성층막 부위를 에칭에 의해 제거하게 되는 것이다. 그런 후, 제7도에서와 같이 상기 포토 레지스트막(33)을 게거하게 된다. 그런 다음 그 위에 제8도에서와 같이 절연층막(35)을 형성한다. 여기서, 이 절연층막(35)의 물질로는 와전류를 감소시키기 위해 보통 SiO2를 사용하며, 그 두께는 0.1㎛ 내외로 한다.When the formation of the magnetic layer film 32 is completed, as shown in FIG. 4, the photoresist film 33 is formed on the magnetic layer film 32 to have a predetermined thickness. Thereafter, as shown in FIG. 5A, a mask 34 having a predetermined pattern (for example, having a shape of a magnetic head) is attached to the photoresist film 33 and subjected to photosensitive. Then, as shown in FIG. 5 (b), the photoresist film 33 is exposed to the shape of the mask 34 so that only the shape portion of the mask 34 remains. When the photosensitive finishes as described above, the magnetic layer film 32 is selectively etched as shown in FIG. That is, the magnetic layer film portion of the portion except the shape of the mask 34 is removed by etching. Thereafter, as shown in FIG. 7, the photoresist film 33 is removed. Then, an insulating layer film 35 is formed thereon as in FIG. In this case, SiO 2 is usually used as a material of the insulating layer film 35 to reduce the eddy current, and the thickness thereof is about 0.1 μm.
한편, 절연층막(35)의 형성 후, 제9도에서와 같이 그 절연층막(35) 위에 다시 자성층막(32)을 형성하고, 그 위에는 다시 절연층막(35)을 형성하는 과정을 수회 반복하게 된다. 즉, 상기 제3도에서 제7도까지의 과정을 되풀이하여 자성층막(32)과 절연층막(35)의 교번적층으로 구성된 다층의 적층구조체를 형성하게 되는 것이다. 이때, 이 적층구조체 (자성층막+절연층막)의 두꼐는 트랙폭과 같게 한다. 이와 같이 해서 적층구조체가 완성되면, 제10(a)도에서와 같이 그 적층구조체의 최상층 위에 소정의 애지머스 각도로 가공된 기판부재(36)를 접착제(37)를 이용하여 부착시키는 한편, 제10(b)도에서와 같이 권선용 윈도우(38)를 형성하게 된다. 여기서, 상기 접착제(37)로는 에폭시(epoxy) 수지 혹은 글라스(glass)를 사용한다. 그리고, 권선용 윈도우(38)의 형성은 레이저 가공기 혹은 다이싱 톱(dicing saw)을 이용한다. 이렇게 하여 권선용 윈도우(38)까지 형성되면, 제11도에서와 같이 자기테이프와의 접촉감을 좋게 하기 위하여 소성 곡률의 라운드 가공을 하며, 상기 윈도우(38)에는 권선을 하게 된다. 이렇게 함으로써 자기 헤드의 제조는 완성된다.On the other hand, after the insulating layer film 35 is formed, the process of forming the magnetic layer film 32 again on the insulating layer film 35 as shown in FIG. 9, and forming the insulating layer film 35 thereon is repeated several times. do. That is, the process of FIGS. 3 through 7 is repeated to form a multi-layered laminated structure composed of alternating stacks of the magnetic layer film 32 and the insulating layer film 35. At this time, the thickness of the laminated structure (magnetic layer film + insulating layer film) is equal to the track width. When the laminated structure is completed in this manner, the substrate member 36 processed at a predetermined azimuth angle is attached onto the top layer of the laminated structure using the adhesive 37, as shown in FIG. 10 (a). As shown in FIG. 10 (b), the winding window 38 is formed. In this case, an epoxy resin or glass is used as the adhesive 37. The winding window 38 is formed using a laser processing machine or a dicing saw. In this way, when the winding window 38 is formed, the round processing of the plastic curvature is performed to improve the contact with the magnetic tape as shown in FIG. 11, and the window 38 is wound. This completes the manufacture of the magnetic head.
한편, 참고로 설명을 덧붙이면 상기 완성된 자기 헤드를 헤드베이스(14b : 제2도참조)에 부착할 때에는 상기 기판부재(36)가 베이스측에 부착되는 면이 되도록 하여 부착한다.On the other hand, when the description is added for reference, when the completed magnetic head is attached to the head base 14b (see FIG. 2), the substrate member 36 is attached to the base side.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 자기 헤드 및 그 제조방법은 자성층막을 선택적으로 형성하므로 자로가 짧아져 인덕턴스가 줄어들고, 그에 따라 C/N을 높일 수 있으며, 종래와 같이 I 코어와 C 코어를 따로 제작하여 랩핑, 본딩 등의 가공공정을 해야하는 번거로움이 없어 수율이 향상되고, 특히 애지머스 각도 설정을 반도체 공정을 이용하지 않고 간단한 제작에 의해 구현함으로써 제품의 생산 단가를 절감할 수 있는 장점이 있다.As described above, the magnetic head and the method of manufacturing the same according to the present invention selectively form a magnetic layer film, so that the magnetic path is shortened, thereby reducing the inductance, thereby increasing the C / N, and separately the I core and the C core as in the prior art. Yield is improved because there is no hassle of manufacturing process such as lapping and bonding, and it is possible to reduce the production cost of product by implementing azimuth angle setting by simple manufacturing without using semiconductor process. .
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| KR960032311A (en) | 1996-09-17 |
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