KR100216065B1 - Multi-lead on chip package - Google Patents
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Abstract
본 발명은 리드 온 칩형(Lead On Chip type) 멀티 칩 패키지(multi chip package)에 관한 것으로서, 복수의 본딩패드를 갖는 적어도 두 개 이상의 반도체 칩들이 서로 이격되어 수평으로 배열되도록 하여 본딩패드가 형성된 면이 내부리드의 하면에 접착수단으로 부착되어 있고, 반도체 칩들의 하면에 본딩패드가 중앙부에 형성된 베이스 칩이 본딩패드가 반도체 칩들의 사이에 위치하도록 하여 부착되어 있으며, 전기적 연결수단에 의해 반도체 칩들과 베이스 칩 및 내부리드가 전기적으로 연결되어 있고, 반도체 칩들, 베이스 칩, 전기적 연결수단, 및 내부리드가 성형수지로 봉지되어 있으며, 내부리드와 일체형으로 형성되어 있는 외부리드가 성형 수지의 외부로 노출되어 있는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 패키지 대비 칩 점유면적이 증가되어 패키지의 크기가 감소된다고 다기능화 및 복합화가 가능한 멀티 칩 패키지를 구현할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead-on-chip type multi chip package, in which at least two or more semiconductor chips having a plurality of bonding pads are horizontally spaced apart from each other, Wherein the semiconductor chip is mounted on the lower surface of the inner lead with a bonding means and a base chip having a bonding pad formed at a central portion thereof on the lower surface of the semiconductor chip is attached so that the bonding pad is positioned between the semiconductor chips, Wherein the semiconductor chip, the base chip, the electrical connection means, and the inner lead are sealed with molding resin, and the outer lead formed integrally with the inner lead is exposed to the outside of the molding resin . According to this, the chip occupancy area is increased compared to the package, and the size of the package is reduced, so that a multi-chip package capable of multi-functioning and compositing can be realized.
Description
본 발명은 리드 온 칩(lead on chip)형 멀티 칩 패키지(multi chip package)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 리드 온 칩 구조의 패키지 형태에 복수 개의 칩이 내재되는 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead-on-chip type multi-chip package, and more particularly, to a lead-on-chip type multi-chip package having a plurality of chips will be.
최근 들어 반도체 패키지를 인쇄회로기판 등에 실장하고 상품화될 전자기기등에 탑재하여 생산하는 업체에서는 반도체 패키지의 다기능화, 고기능화, 고속화, 소형경량화 등의 기술향상을 요구하고 있다.In recent years, companies that mount semiconductor packages on printed circuit boards and mount them on electronic devices to be commercialized, for example, are demanding improvements in technologies such as versatility, high functionality, high speed, and small size and light weight of semiconductor packages.
이에 따라 반도체 제조 업체에서 단일 반도체 칩 내부에 많은 기능이 내장되도록 함에 따라 반도체 칩의 크기는 증가되었다. 반도체 칩의 크기의 증가는 한정된 반도체 패키지 내에 내재될 수 있는 반도체 칩의 크기 제약에 따른 반도체 패키지 제조 공정의 어려움과 신뢰성의 벽에 부딪히게 되었다.As a result, semiconductor manufacturers have increased the size of semiconductor chips by incorporating many functions within a single semiconductor chip. The increase in the size of the semiconductor chip has been faced with the difficulty and reliability of the semiconductor package manufacturing process due to the size restriction of the semiconductor chip which can be embedded in the limited semiconductor package.
플라스틱(plastic) 반도체 패키지 내에서 차지하는 칩의 점유율이 대략 70%이상을 차지하게 될 경우에는 다이패드(die pad)를 갖는 일반적인 리드 프레임(lead frame)을 이용한 칩 실장이 불가능할 뿐만이 아니라 신뢰성에 있어서도 취약하게 되며, 더욱이 메모리 칩(memory chip)을 탑재하는 반도체 패키지에서는 메모리 용량에 비례하여 증가되는 칩 크기로 인하여 더욱 패키지의 조립이 어렵게 되었다.When the occupation rate of a chip in a plastic semiconductor package is more than about 70%, it is impossible to mount a chip using a general lead frame having a die pad, In addition, in a semiconductor package mounting a memory chip, it is difficult to further assemble the package due to a chip size that increases in proportion to the memory capacity.
이러한 문제점을 해결하기 위해 반도체 제조 업체에서는 다이패드를 갖는 리드 프레임을 사용하지 않고서 칩을 반도체 패키지에 탑재하는 새로운 개념의 리드 온 칩 패키지를 개발하게 되었다. 이와 같은 리드 온 칩 패키지의 구조를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.To solve these problems, semiconductor manufacturers have developed a new concept of lead-on-chip package that uses a chip in a semiconductor package without using a lead frame with a die pad. The structure of such a lead-on-chip package will be described with reference to the drawings.
제1도는 일반적인 리드 온 칩 패키지의 구조를 나타내는 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a general lead-on-chip package.
제1도를 참조하면, 리드 온 칩 패키지(50)은 복수 개의 본딩패드(12)들이 상면 중앙에 형성되어 있는 센터패드(center pad)형 반도체 칩(10)의 상면이 내부리드(42)들의 하면에 전기 절연성의 접착 테이프(20)에 의해 부착되어 있는 구조이다.Referring to FIG. 1, the lead-on chip package 50 includes a center pad-type semiconductor chip 10 having a plurality of bonding pads 12 formed at the upper center thereof, And is attached to the lower surface by an electrically insulating adhesive tape 20.
본딩 와이어(30)가 반도체 칩(10) 상면에 접착 고정된 내부리드(42)와 그에 대응되는 본딩패드(12)들을 전기적으로 연결하고 있고, 반도체 칩(10)을 포함하는 전기적 연결 부위가 성형 수지(60)로 봉지되어 있으며, 외부리드(43)가 실장에 알맞은 형태로 성형되어 있다.The bonding wires 30 are electrically connected to the bonding pads 12 corresponding to the inner leads 42 bonded and fixed to the upper surface of the semiconductor chip 10 and the electrical connection portions including the semiconductor chip 10 are formed Is sealed with a resin (60), and the outer lead (43) is molded in a shape suitable for mounting.
이와 같은 구조의 리드 온 칩 패키지 제조 공정을 간단하게 설명하면, 먼저, 칩 접합에 용이하도록 내부리드(42)의 소정 부분에 다운 셋(down set)(45)이 형성되어 있는 리드프레임을 준비한다.First, a lead frame having a down set 45 formed on a predetermined portion of the inner lead 42 is prepared so as to facilitate chip bonding. .
그리고, 그 내부리드(42)의 하면 또는 그 내부리드(42)가 접합되어지는 반도체 칩(10)의 상면에 접착 테이프(20)로서 폴리이미드(polyimide)계 양면 접착 테이프를 부착하고, 내부리드(42)와 반도체 칩(10)을 정렬한 후 고열을 발산하는 본딩툴(bonding tool)을 사용하여 그 내부리드(42)를 가압하는 방법으로 반도체 칩(10)과 내부리드(42)의 접합을 실시한다.A polyimide-based double-sided adhesive tape is attached as an adhesive tape 20 to the upper surface of the semiconductor chip 10 to which the lower surface of the inner lead 42 or the inner lead 42 thereof is bonded, The internal leads 42 are bonded to each other by a method of aligning the semiconductor chip 10 and the semiconductor chip 10 and then pressing the internal leads 42 using a bonding tool that emits high heat, .
다음에, 반도체 칩(10)이 외부와 전기적인 신호를 전달할 수 있도록 본딩패드(12)와 내부리드(42)간을 금속 와이어(30)로 와이어 본딩하고, 반도체 칩과 본딩 패드간의 전기적 접합 부위를 외부의 물리적, 기계적 충격이나 화학적 반응으로부터 안전하게 보호하기 위하여 성형 수지(60)로서 플라스틱 수지 계열인 에폭시 성형 수지(epoxy mold compound)로 몰딩을 실시한다.Next, the bonding pad 12 and the inner lead 42 are wire-bonded with the metal wire 30 so that the semiconductor chip 10 can transmit an electric signal to the outside, and the electrical connection portion between the semiconductor chip and the bonding pad The molding resin 60 is molded with an epoxy mold compound, which is a plastic resin series, in order to safely protect it from external physical, mechanical impact or chemical reaction.
이와 같이 종래의 리드 온 칩 패키지는 반도체 칩이 접착 고정되는 다이패드가 제거되어 소형화를 도모할 수 있고, 또한 다이패드에서 발생하고 있는 여러가지 불량 용인들을 제거됨으로서 신뢰성이 양호하다는 장점을 갖고 있다.Thus, in the conventional lead-on-chip package, the die pad to which the semiconductor chip is adhered and fixed can be removed to achieve miniaturization, and various defects generated in the die pad are removed, which is advantageous in terms of reliability.
그러나, 이와 같은 리드 온 칩 패키지는 단일 반도체 칩만을 탑재할 수 있는 구조를 가지므로 여러 가지 기능을 갖는 복수 개의 반도체 칩을 탑재하는 것이 불가능하다. 이는 복수 개의 반도체 칩들이 실장되는 멀티 칩 패키지(multi chip package)화가 불가능한 것을 의미하며, 여러 가지 기능을 갖는 칩들이 실장되어 다 기능화 및 복합화의 기능 향상이 불가능한 단점들이 있다.However, since such a lead-on-chip package has a structure capable of mounting only a single semiconductor chip, it is impossible to mount a plurality of semiconductor chips having various functions. This means that it is impossible to make a multi chip package in which a plurality of semiconductor chips are mounted, and there are disadvantages in that it is impossible to improve functions of multi-functionalization and compounding by mounting chips having various functions.
본 발명의 목적은 리드 온 칩 패키지의 장점인 소형화 및 신뢰성을 유지하고, 복수 개의 반도체 칩이 리드 온 칩 패키지의 구조에 탑재될 수 있도록 하여 다 기능화 및 복합화가 가능한 멀티 리드 온 칩 패키지를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a multi-lead-on-chip package that can be multi-functionalized and compounded by allowing a plurality of semiconductor chips to be mounted on the structure of a lead-on-chip package while maintaining miniaturization and reliability as advantages of a lead- have.
제1도는 일반적인 리드 온 칩 패키지(Lead On Chip Package)의 구조를 나타내는 단면도.FIG. 1 is a cross-sectional view showing a structure of a general lead-on-chip package. FIG.
제2도는 본 발명에 의한 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지(multi chip package)의 일 실시예를 나타내는 부분 절개 사시도.FIG. 2 is a partial cutaway perspective view showing one embodiment of a lead-on-chip type multi-chip package according to the present invention; FIG.
제3도는 제2도의 '3-3'선에 따른 단면도.3 is a sectional view taken along line 3-3 of FIG. 2;
제4도는 본 발명에 의한 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지의 다른 실시예를 나타내는 부분 절개 사시도.FIG. 4 is a partially cutaway perspective view showing another embodiment of a lead-on-chip type multi-chip package according to the present invention;
제5도는 제4도의 '5-5'선에 따른 단면도.5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG. 4;
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS
10, 110, 210 : 칩 12, 112, 212 : 본딩패드10, 110, 210: chips 12, 112, 212: bonding pads
20, 120, 220 : 접착 테이프 30, 130, 230 : 본딩 와이어20, 120, 220: adhesive tape 30, 130, 230: bonding wire
40, 140, 240 : 리드 45, 145, 245 : 다운셋 부위40, 140, 240: leads 45, 145, 245:
60, 160, 260 : 성형수지 280 : 베이스 칩60, 160, 260: molding resin 280: base chip
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지는 복수의 본딩패드를 갖는 적어도 두개 이상의 반도체 칩들이 서로 이격되어 수평으로 배열되도록 하여 본딩패드가 형성된 면이 내부리드 밑면에 접착수단으로 부착되어 있고, 그 반도체 칩들의 하면에 본딩패드가 중앙부에 형성된 베이스 칩이 본딩패드가 반도체 칩들의 사이에 위치하도록 하여 부착되어 있으며, 전기적 연결 수단에 의해 바나도체 칩들, 베이스 칩, 전기적 연결수단, 및 내부리드가 성형수지로 봉지되어 있고, 내부리드와 일체형으로 형성되어 있는 외부리드가 성형수지의 외부로 노출되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a lead-on-chip type multi-chip package according to the present invention is characterized in that at least two or more semiconductor chips having a plurality of bonding pads are horizontally arranged so as to be spaced apart from each other, A base chip having a bonding pad formed at a central portion thereof on the lower surface of the semiconductor chips, and a bonding pad so that the bonding pads are positioned between the semiconductor chips, and electrically connected to the bar or conductor chips, And the inner leads are sealed with a molding resin, and the outer leads integrally formed with the inner leads are exposed to the outside of the molding resin.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
제2도는 본 발명에 의한 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지의 일실시예를 나타내는 부분 절개 사시도이고, 제3도는 제2도의 '3-3'성에 따른 단면도이다.FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing an embodiment of a lead-on-chip type multi-chip package according to the present invention, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line 3-3 'in FIG.
제2도와 제3도를 참조하면, 본 발명에 의한 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지(100)는 복수 개의 본딩패드(112)들이 형성되어 있는 두개의 반도체 칩(110)이 소정의 간격으로 이격되어 수평으로 배열되도록 하여 내부리드(142)의 하면에 부착되어 있는 구조를 갖고 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, a lead-on-chip type multi-chip package 100 according to the present invention includes two semiconductor chips 110 having a plurality of bonding pads 112 formed thereon, And is attached to the lower surface of the inner lead 142.
반도체 칩(110)들 상면 소정의 영역으로 연장되어 형성된 내부리드(142)는 그 내부리드(142)에서 멀어지는 방향으로 연장되어 형성된 외부리드(143)와 일체형 이다. 반도체 칩(110)들은 내부리드(142)의 하면에 접착 테이프(120)에 의해 부착되어 고정되고 있다.The inner leads 142 formed on the top surface of the semiconductor chips 110 are formed integrally with the outer leads 143 formed in a direction away from the inner leads 142. The semiconductor chips 110 are attached and fixed to the lower surface of the inner lead 142 by an adhesive tape 120. [
그리고, 본딩 와이어(130)가 각 반도체 칩(110)들에 형성되어 있는 본딩패드(112)들과 그에 대응되는 내부리드(142)들을 전기적으로 연결하고 있고, 성형 수지(160)가 반도체 칩(110)들 및 전기적 연결 부위를 내재 봉지하고 있다.The bonding wires 130 electrically connect the bonding pads 112 formed in the semiconductor chips 110 and the corresponding internal leads 142 and the molding resin 160 is electrically connected to the semiconductor chips 110 and the electrical connection portion are internally sealed.
여기서, 반도체 칩(110)과 리드(142)의 부착에 사용된 접착 테이프(120)는 전기 절연상의 폴리이미드계 테이프의 양면에 접착성 물질이 도포된 것으로서, 반도체 칩(110)의 본딩패드(112)가 형성되어 있지 않는 부분에 접착되어 있다.The adhesive tape 120 used for attaching the semiconductor chip 110 and the lead 142 is formed by applying an adhesive material to both sides of a polyimide tape electrically insulated from the semiconductor chip 110, 112 are not formed.
한편, 내부리드는 반도체 칩(110)들의 부착이 용이하게 이루어지고 몰딩 공정시 반도체 칩(110)들이 성형수지 가운데 위치하도록 하여 패키지의 뒤틀림 등의 불량을 방지하기 위하여 소정 부위가 다운 셋(145)이 되어 있다.The inner leads are easily attached to the semiconductor chips 110, and the semiconductor chips 110 are positioned in the molding resin during the molding process. Thus, .
이와 같은 멀티 리드 온 칩 패키지는 두개의 반도체 칩이 내부리드에 부착되어 패키지 대비 반도체 칩의 점유면적의 증가에 유리하다. 또한, 멀티 리드 온 칩 패키지의 제조에 있어서 기존의 리드 온 칩 패키지 제조에 사용되는 장치를 준용하여 사용할 수 있다.In such a multi-lead-on-chip package, two semiconductor chips are attached to the internal leads, which is advantageous in increasing the occupied area of the semiconductor chip relative to the package. In addition, in the manufacture of a multi-lead-on-chip package, a device used for manufacturing a conventional lead-on chip package can be used as a substitute.
한편, 위 실시예에서는 와이어를 이용한 전기적 연결 방법이 적용되고 있으나, 이와는 다른 방법인 범프를 형성하여 연장된 내부리드와 본딩패드 상에 형성된 금속 범프를 이용하여 직접 전기적으로 접합시키는 방법을 사용할 수도 있다. 또한, 실시예에서는 리드들이 양측으로 이분 대칭되고 각각의 리드 측에 반도체 칩이 각각 접착 고정되어 있는 것을 예시하였으나, 센터패드를 갖는 복수 개의 칩들이 일정한 간격으로 수평으로 배열되고 각 칩들의 양 측면 말단에 리드들이 접착 고정되는 형태를 갖는 멀티 리드 온 칩 패키지의 제조도 가능하다.Meanwhile, although the electrical connection method using wires is applied in the above embodiment, another method may be used in which a bump is formed, and a direct electrical connection is made between the extended inner lead and the metal bump formed on the bonding pad . In addition, in the embodiment, the leads are symmetrically bisected to both sides and the semiconductor chips are respectively bonded and fixed to the respective leads. However, a plurality of chips having center pads are horizontally arranged at regular intervals, On-chip package having a shape in which leads are adhered and fixed on the substrate.
제4도는 본 발명에 의한 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지의 다른 실시예를 나타내는 부분 절개 사시도이고, 제5도는 제4도의 '5-5'선에 따른 단면도이다.FIG. 4 is a partially cutaway perspective view showing another embodiment of the lead-on-chip type multi-chip package according to the present invention, and FIG. 5 is a sectional view taken along line 5-5 of FIG.
제4도와 제5도를 참조하면, 이 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지(200)는 내부리드(242)들의 하면에 복수 개의 본딩패드(212)들이 형성된 반도체 칩(210)들이 서로 수평으로 이격되어 접착 테이프(220)에 의해 부착되어 있고, 그 반도체 칩(210)들의 하면에는 상면 중앙부에 복수 개의 본딩패드(282)들이 형성되어 있는 센터패드형의 베이스 칩(280)이 전기 절연성의 접착 테이프(222)에 의해 부착되어 있다. 이때, 베이스 칩(280)의 본딩패드(282)가 그 상부의 반도체 칩(210)들의 사이에 위치한다.4 and 5, in the lead-on-chip type multi-chip package 200, the semiconductor chips 210 having the plurality of bonding pads 212 formed on the lower surfaces of the internal leads 242 are horizontally spaced apart from each other A center chip type base chip 280 in which a plurality of bonding pads 282 are formed on the upper surface of the semiconductor chips 210 is attached to the bottom surface of the semiconductor chips 210 by an electrically insulating adhesive tape 222 As shown in Fig. At this time, the bonding pads 282 of the base chip 280 are positioned between the upper semiconductor chips 210.
각 반도체 칩(210, 280)들의 본딩패드(212, 282)들과 내부리드(240)들은 본딩 와이어(230)에 의해 전기적으로 연결되어 있으며, 성형 수지(260)가 반도체 칩들(210)과 베이스 칩(280) 및 전기적 연결 부위를 내재 봉지하고 있다.The bonding pads 212 and 282 of the semiconductor chips 210 and 280 and the internal leads 240 are electrically connected by a bonding wire 230. The forming resin 260 is electrically connected to the semiconductor chips 210 and the base 210. [ The chip 280 and the electrical connection portion are internally encapsulated.
이 실시예는 전술한 멀티 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지의 다른 형태로 센터패드를 갖는 반도체 칩을 이용하여 전기 절연성의 접착 테이프로 반도체 칩들을 적충한 구조이다. 즉, 센터 패드가 형성되어 있지 않은 반도체 칩들을 서로 수평으로 이격되도록 하여 리드의 하면에 전기 절연성의 접착 테이프로 부착되도록 하고 그 반도체 칩들의 하면에 센터패드를 갖는 베이스 칩을 적층하여 다기능의 칩들을 여러 개 실장한 형태로서 패키지의 크기를 감소시키는 데에 유리하다.This embodiment is a structure in which semiconductor chips are laminated with an electrically insulating adhesive tape by using a semiconductor chip having a center pad in another form of the multi-lead-on-chip type multi-chip package. That is, the semiconductor chips having no center pads are horizontally spaced apart from each other to be attached to the lower surface of the leads with an electrically insulating adhesive tape, and the base chips having the center pads on the lower surfaces of the semiconductor chips are stacked to form multi- It is advantageous to reduce the size of the package as several mounted types.
이상과 같이 본 발명에 의한 멀티 리드 온 칩형 멀티 칩 패키지는 복수의 반도체 칩을 갖는 멀티 칩 패키지를 구현할 때 반도체 패키지의 실장 밀도를 높일 수 있으며, 리드 온 칩 구조가 갖고 있는 장점을 활용한 다기능 및 복합화된 멀티 칩 패키지의 제조가 가능한 이점을 갖고 있다.As described above, the multi-lead-on-chip type multi-chip package according to the present invention can increase the mounting density of a semiconductor package when implementing a multi-chip package having a plurality of semiconductor chips, It is possible to manufacture a composite multi-chip package.
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KR20000040218A (en) * | 1998-12-17 | 2000-07-05 | 윤종용 | Multi chip package |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04252061A (en) * | 1991-01-10 | 1992-09-08 | Hitachi Ltd | Multichip type semiconductor device |
-
1996
- 1996-10-05 KR KR1019960044167A patent/KR100216065B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04252061A (en) * | 1991-01-10 | 1992-09-08 | Hitachi Ltd | Multichip type semiconductor device |
Also Published As
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KR19980025875A (en) | 1998-07-15 |
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