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KR0132023B1 - Voltage generator using pump circuit - Google Patents

Voltage generator using pump circuit

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Publication number
KR0132023B1
KR0132023B1 KR1019930031167A KR930031167A KR0132023B1 KR 0132023 B1 KR0132023 B1 KR 0132023B1 KR 1019930031167 A KR1019930031167 A KR 1019930031167A KR 930031167 A KR930031167 A KR 930031167A KR 0132023 B1 KR0132023 B1 KR 0132023B1
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KR
South Korea
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frequency
transistor
oscillator
inverting
vss
Prior art date
Application number
KR1019930031167A
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Korean (ko)
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KR950021496A (en
Inventor
김정필
Original Assignee
김주용
현대전자산업(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김주용, 현대전자산업(주) filed Critical 김주용
Priority to KR1019930031167A priority Critical patent/KR0132023B1/en
Publication of KR950021496A publication Critical patent/KR950021496A/en
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    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F3/00Non-retroactive systems for regulating electric variables by using an uncontrolled element, or an uncontrolled combination of elements, such element or such combination having self-regulating properties
    • G05F3/02Regulating voltage or current
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K3/00Circuits for generating electric pulses; Monostable, bistable or multistable circuits
    • H03K3/02Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
    • H03K3/027Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use of logic circuits, with internal or external positive feedback
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    • H03K3/0315Ring oscillators

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Abstract

disclosed is a voltage generator using a multi-stage pump circuit including a plurality of pump circuits and a plurality of ring oscillators. The plurality of pump circuits are parallel connected one another. The plurality of ring oscillators have different periods one another. The voltage generator is pumping in response to the signal output from the plurality of ring oscillators. Thus, latch-up and noise of power line can be reduced.

Description

다단 펌프회로를 이용한 전압 발생기Voltage Generator Using Multistage Pump Circuit

제 1 도는 전압 발생기의 블럭도.1 is a block diagram of a voltage generator.

제 2 도는 종래의 오실레이터에 대한 회로도.2 is a circuit diagram of a conventional oscillator.

제 3 도는 n-MOS 트랜지스터를 사용한 종래의 Vbb 발생용 펌프의 회로도.3 is a circuit diagram of a conventional Vbb generation pump using an n-MOS transistor.

제 4 도는 P-MOS 트랜지스터를 사용한 종래의 Vbb 발생용 펌프의 회로도4 is a circuit diagram of a conventional Vbb generation pump using a P-MOS transistor.

제 5 도는 제 3도및 제 4 도의 동작 설명을 위한 타이밍도.5 is a timing diagram for explaining the operation of FIG. 3 and FIG.

제 6 도는 종래의 Vpp 발생용 펌프의 회로도.6 is a circuit diagram of a conventional pump for generating Vpp.

제 7 도는 제 6 도의 동작 설명을 위한 타이밍도.7 is a timing diagram for explaining the operation of FIG.

제 8 도는 본 발명에 사용되는 오실레이터에 대한 회로도8 is a circuit diagram of an oscillator used in the present invention.

제 9 도는 제 8 도의 오실레이터를 이용한 Vbb 발생용 펌프의 회로도9 is a circuit diagram of a pump for generating Vbb using the oscillator of FIG.

제 10 도는 제 9 도의 설명을 위한 타이밍도.10 is a timing diagram for explaining the ninth figure.

제 11 도는 제 8 도의 오실레이터를 이용한 Vpp 발생용 펌프의 회로도.11 is a circuit diagram of a pump for generating Vpp using the oscillator of FIG.

제 12 도는 제 11 도의 동작 설명을 위한 타이밍도.12 is a timing diagram for explaining the operation of FIG.

제 13 도는 본 발명에 사용되는 또다른 오실레이터에 대한 회로도.13 is a circuit diagram of another oscillator used in the present invention.

제 14 도는 제 13 도의 오실레이터를 이용한 Vbb 발생용 펌프의 회로도.14 is a circuit diagram of a Vbb generation pump using the oscillator of FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

G: 반전게이트, n 및 p: 트랜지스터,G: inversion gate, n and p: transistor,

C: 프리차지 캐패시터C: precharge capacitor

본 발명은 다단 펌프 회로를 이용한 전방 발생기에 관한 것으로, 특히 2개 이상의 오실헤이터 신호에 의해 전압을 발생 시키는 펌프회로를 다수개 결합시키고, 오실레이터에서 출력되며 서로 다른 위상을 갖는 다수의 오실레이터 출력신호에 의해 다수의 펌프 회로가 서로 다른 주기를 가지고 펌핑 동작 도로록하여 래치-업(Latch-up) 및 파워 라인(Power Line)의 노이즈를 감소시킬 수 있는 다단 펌프 회로를 이용한 전압 발생기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a front generator using a multi-stage pump circuit. In particular, a plurality of oscillator output signals coupled to a plurality of pump circuits for generating voltage by at least two oscillator signals and output from the oscillator and having different phases are provided. The present invention relates to a voltage generator using a multi-stage pump circuit that can reduce the latch-up and power line noise by causing a plurality of pump circuits to pump at different periods.

일반적으로 반도체 소자에 사용되는 전압 발생기에는 접지전압이하의 전압을 발생시키는 Vbb 발생기와 전원전압 이상의 전압을 발생시키는 Vpp 발생기가 있느데 이들은 제 1 도에 도시된 바와 같이 전압레벨 감지회로(1), 오실레이터(2), 및 펌프 회로(3)로 구성된다.In general, voltage generators used in semiconductor devices include a Vbb generator for generating a voltage below ground voltage and a Vpp generator for generating a voltage above a power supply voltage. As shown in FIG. (2) and the pump circuit 3.

오실레이터(1), 에서는 연속적인 주기를 갖는 오실레이터 신호를 펌프회로(2)에 공급하고, 펌프회로(2)는 입력되는 오실레이터 신호에 따라 설정된 전압레벨가지 펌핑 동작을 계속하는데, 설정된전압 레벨까지 도달하면 이를 상기 전압 레벨 감지회로(1)가 감지하여 상기 오실레이터(2)의 동작을 멈추게 하고 역으로 설정된 전압레벨 이하에서는 다시 오실레이터(2)의 동작을 재개시켜 설정된 전압을 생성한다.In the oscillator 1, an oscillator signal having a continuous period is supplied to the pump circuit 2, and the pump circuit 2 continues pumping operation with the set voltage level according to the input oscillator signal, and reaches the set voltage level. When the voltage level detection circuit 1 detects this, the operation of the oscillator 2 is stopped and the operation of the oscillator 2 is restarted again to generate the set voltage when the voltage level is lower than the reverse level.

제 2 도는 종래의 오실레이터에 대한 회로도로서, 반전게이트(G1 내지 G5)를 경유하는 지연시간 만큼의 특정주기(T)를 갖는 주파수(fa)와 반대 위상을 갖는 주파수(fb)가 반전게이트(inv1 및 inv2)를 거쳐 각각 발생된다.2 is a circuit diagram of a conventional oscillator, in which a frequency fb having a phase opposite to a frequency fa having a specific period T by a delay time passing through the inverting gates G1 to G5 is inverted. And inv2).

제 3 도는 n-MOS 트랜지스터를 사용한 종래의 Vbb 발생용 펌프의 회로도로서, 제 5 도를 참조하여 설명하면 다음 같다.3 is a circuit diagram of a conventional Vbb generation pump using an n-MOS transistor, which will be described below with reference to FIG.

상기 오실레이터(제 2 도)로부터 주파수(fa 및 fb)가 주파수 입력단자(fa 및 fb)에 각각 입력되면 제 5 도에서와 같이 주파수(fa)가 VSS 에서 VCC로 변하고, 주파수(fb)가 VCC 에서 VSS 로 변하는 시점에서, 노드(S1)는 -V1에서 VSS 로 변하므로 트랜지스터(n2)는 턴온되고, 트랜지스터(P2)는 턴오프 되므로 노드(S2)의 프리차지 캐패시터(C2)에서 전자가 노드(Vbb) 즉, 기판(Substrate)으로 공급되며, 노드(S2)는 VSS 에서 -V1으로 변하므로 트랜지스터(P1)튼 턴온되고, 트랜지스터(n1)는 턴온프 되므로 개패시터(C1)는 트랜지스터(P1)를 통하여 접지전위(Vss)로 프리차지 되어 다음 펌핑(Pumping)동작에 대비한다.When the frequencies fa and fb are respectively input to the frequency input terminals fa and fb from the oscillator (Fig. 2), the frequency fa changes from VSS to VCC as shown in Fig. 5, and the frequency fb is VCC. At the time point at which VSS changes from VS, the node S1 changes from -V1 to VSS, so that the transistor n2 is turned on and the transistor P2 is turned off, so that electrons are stored in the precharge capacitor C2 of the node S2. (Vbb), that is, supplied to the substrate (Substrate), the node (S2) is changed from VSS to -V1 transistor P1 is turned on, transistor n1 is turned on, so the capacitor (C1) is transistor P1. Precharge to ground potential (Vss) through) to prepare for the next pumping operation.

또한, 주파수(fa)가 VCC 에서 VSS 로 변하고, 주파수(fb)가 VSS 에서 VCC 로변하는 경우 노드(S2)는 -V1에서 VSS로 변하므로 트랜지스터(n1)는 턴온되고, 트랜지스터(P1)는 턴오프 되므로 노드(S1)의 프리차지 캐패시터(C1)에서 전자가 기판으로 공급되며, 노드(S1) Vss 에서 -V1으로 변하므로 트랜지스터(P2)는 턴온되고, 트랜지스터(n2)는 턴오프 되므로 프리차지 캐패시터(C2)는 트랜지스터(P2)를 통하여 접지전위(VSS)로 프리차지 된다.In addition, when the frequency fa changes from VCC to VSS and the frequency fb changes from VSS to VCC, the node S2 changes from -V1 to VSS, so the transistor n1 is turned on and the transistor P1 is turned on. Since it is turned off, electrons are supplied to the substrate from the precharge capacitor C1 of the node S1, and the transistor P2 is turned on and the transistor n2 is turned off because the transistor S2 turns from -V1 to the node S1. Capacitor C2 is precharged to ground potential VSS through transistor P2.

상기와 같은 두경우의 동작은 주파수(fa 및 fb)에 따라 이루더져 Vbb 발생용 펌프에서 저전위 전원(Vbb)이 생성된다.The above two operations are performed according to the frequencies fa and fb to generate the low potential power Vbb in the pump for generating Vbb.

제 4 도는 P-MOS 트랜지스터를 사용한 종래의 Vbb 발생용 펌프의 회로도로서, 제 5 도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.4 is a circuit diagram of a conventional Vbb generation pump using a P-MOS transistor, which will be described below with reference to FIG.

상기 오실레이터(제 2 도)로부터 주파수(fa 및 fb)가 주파수 입력단자(fa 및 fb)에 각각 입력되면 제 5 도에서와 같이 주파수(fa)가 VSS에서 VCC로 변하고, 주파수(fb)가 VCC에서 VSS로 변하는 시점에서, 노드(S2)는 VSS에서 -V1으로 변하므로 트랜지스터(P1 및 P4)는 턴온되고, 트랜지스터(P2 및 P3)는 턴오프 되므로 노드(S2)의 프리차지 캐패시터(C2)에서 전자가 노드(Vbb)즉, 기판으로 공급되며, 노드(S1)는 -V1에서 VSS로 변하므로 프리차지 캐패시터(C1)는 트랜지스터(P1)을 통하여 접지전위(V)로 프리차지 된다.When the frequencies fa and fb are input from the oscillator (Fig. 2) to the frequency input terminals fa and fb, respectively, the frequency fa changes from VSS to VCC as shown in Fig. 5, and the frequency fb is VCC. At the time point at which VSS changes from VSS, since the node S2 changes from VSS to -V1, the transistors P1 and P4 are turned on and the transistors P2 and P3 are turned off, so the precharge capacitor C2 of the node S2 is turned off. The electrons are supplied to the node Vbb, that is, the substrate, and the node S1 changes from -V1 to VSS, and thus the precharge capacitor C1 is precharged to the ground potential V through the transistor P1.

이때 P-MOS 트랜지스터(P3 및 P4)는 다이오드로 동작되기 때문에 트랜지스터의 문턱전압(VT)만큼 전압강하가 발생되므로 낮은 전압에 있어서의 펌핑(Pumping)동작에서는 P-MOS 트랜지스터의 사용은 효율을 낮게 한다.At this time, since the P-MOS transistors P3 and P4 operate as diodes, a voltage drop occurs as much as the threshold voltage VT of the transistor. Therefore, in the pumping operation at a low voltage, the use of the P-MOS transistors has low efficiency. do.

따라서 전원전압이 낮추어지고 있는 현 추세에서는 제 3 도에 도시된 n-MOS형의 펌핑 회로가 더 유리하다.Therefore, in the current trend of lowering the power supply voltage, an n-MOS pumping circuit shown in FIG. 3 is more advantageous.

그러나 전자를 기판으로 공급하는 방식의 경우 하나의 트랜지스터와 하나의 트랜지스터와 하나의 캐패시터로 구성되는 메모리셀에 있어서 기판에 주입된 전자가 메모리 셀의 저장노드(Storage node)로 유입되면 데이타의 상태가 바뀌거나 파괴될 수 있으므로 n-MOS형의 펌핑회로도 신뢰성이 없게 된다.However, in the case of supplying electrons to a substrate, in a memory cell composed of one transistor, one transistor, and one capacitor, when the electrons injected into the substrate flow into the storage node of the memory cell, the state of data is changed. N-MOS pumping circuits are not reliable because they can be changed or destroyed.

제 6 도는 종래의 VPP발생용 펌프의 회로도로서, 제 7 도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.FIG. 6 is a circuit diagram of a conventional VPP generating pump. Referring to FIG.

상기 오실레이터(제 2 도)로부터 주파수(fa 및 fb)가 주파수 입력단자(fa 및 fb)에 각각 입력되면 제 7 도에서와 같이 주파수(fa)가 VSS에서 VCC로 변하고, 주파수(f)가 VCC에서 VSS로 변하는 시점에서, 노드(S2)는 +V1에서 VCC로 변하여 트랜지스터(P1)를 턴온시키므로 프리차지 캐패시터(C1)의 전하가 트랜지스터(P1)를 통하여 노드(VPP)즉, 고전위 단자로 출력되고, 노드(S1)는 VCC에서 +V1으로 변하여 트랜지스터(P2)를 턴오프 시키므로 프리차지 캐패시터(C2)에는 트랜지스터(n2)를 통하여 전원전위(VCC)가 프리차지 된다.When the frequencies fa and fb are respectively input from the oscillator (Fig. 2) to the frequency input terminals fa and fb, the frequency fa changes from VSS to VCC as shown in Fig. 7, and the frequency f is VCC. At the point of transition from Vs to Vss, the node S2 changes from + V1 to VCC to turn on the transistor P1 so that the charge of the precharge capacitor C1 passes through the transistor P1 to the node VPP, i. The node S1 changes from VCC to + V1 to turn off the transistor P2, and thus the precharge capacitor C2 is precharged through the transistor n2.

또한 주파수(fa)가 VCC 에서 VSS로 변하고, 주파수(fb)가 VSS에서 VCC로 변하는 경우 노드(S1)는 +V1에서 VCC로 변하여 트랜지스터(P2)를 턴온시키므로 프리차지 캐패시터(C2)의 전하가 트랜지스터(P2)를 통하여 고전위 단자로 출력되고, 노드(S2)는 VCC에서 +V1로 변하여 트랜지스터(P1)를 턴오프 시키므로 프리차지 캐패시터(C1)에는 트랜지스터(n1)를 통하여 전원전위(VCC)가 프리차지 된다. 상기와 같은 두경우의 동작은 주파수(fa 및 fb)에 따라 이루어져 VPP 발생용 펌프에서 고전위 전원(VPP)이 생성된다. 그런데 펌핑 동작시 노드(S1 및 S2)는 VPP 이상의 전압이 되어야 하므로 노드(S1 및 S2)의 P-활성(active) 영역과 N-웰 (Well) 영역사이에 형성되어지는 P-N 접합(Junction)이 턴온에서 래치-업(Latch-up)현상이 발생될 수 있으며, 상기 제 2 도에 도시된 오실레이터의 반전게이트(inv1 및 inv2)는 큰용량의 프리차지 캐패시터(C1 및 C2)를 구동시키기 위하여 용량(size)이 커야하므로 펌핑 동작시 파워 라인(power line)에는 노이즈 (noise)가 발생되고, 기판으로 전류를 흐르게 한다.In addition, when the frequency fa changes from VCC to VSS and the frequency fb changes from VSS to VCC, the node S1 changes from + V1 to VCC to turn on the transistor P2, so that the charge of the precharge capacitor C2 It is output to the high potential terminal through the transistor P2, and the node S2 changes from VCC to + V1 to turn off the transistor P1, so that the precharge capacitor C1 has a power supply potential VCC through the transistor n1. Is precharged. The above two operations are performed according to the frequencies fa and fb to generate a high potential power VPP in the pump for generating VPP. However, in the pumping operation, since the nodes S1 and S2 must be voltages of VPP or higher, a PN junction formed between the P-active region and the N-well region of the nodes S1 and S2 is formed. Latch-up may occur at turn-on, and the inverting gates inv1 and inv2 of the oscillator shown in FIG. 2 may have capacitances for driving the large-capacity precharge capacitors C1 and C2. Since the size must be large, noise is generated in the power line during the pumping operation, and current flows to the substrate.

따라서 본 발명은 2개 이상의 오실레이터 신호에 의해 전압을 발생시키는 펌프회로를 다수개 결합시키고, 오실레이터에서 출력되며 서로다른 위상을 갖는 다수의 오실레이터 출력신호에 의해 다수의 펌프회로가 서로다른 주기를 가지고 펌핑동작 되도록 하여 상기한 단점을 해소할 수 있는 다단펌프회로를 이용한 전압 발생기를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, in the present invention, a plurality of pump circuits generating voltage by two or more oscillator signals are coupled, and a plurality of pump circuits are pumped with different periods by a plurality of oscillator output signals output from the oscillator and having different phases. It is an object of the present invention to provide a voltage generator using a multi-stage pump circuit that can be operated to solve the above disadvantages.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 펌프회로를 이용한 전압 발생기에 있어서, 다수의 펌프회로를 병렬접속하고 서로다른 주기를 갖는 다수의 링오실레이터 출력 신호에 따라 펌핑동작되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a voltage generator using a pump circuit, characterized in that configured to be pumped in accordance with a plurality of ring oscillator output signals having a parallel connection and a plurality of pump circuits in parallel.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 제 8도는 본 발명에 사용되는 오실레이터에 대한 회로도로서, 반전 게이트(G6 내지 G10)를 경유하는 지연시간 만큼의 주기(T)를 갖는 주파수(fa)와 반대위상을 갖는 주파수(fb), 그리고 상기 반전게이트(G6 및 G7)를 경유하느 지연시간 (예를들어 1/2T)만큼의 주기(1/2T)를 갖는 주파수(fa)가 반전게이트(inv1 내지 inv2)를 거쳐 각각 발생된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the present invention. 8 is a circuit diagram of an oscillator used in the present invention, which is a frequency fb having a phase opposite to that of a frequency fa having a period T equal to a delay time via the inverting gates G6 to G10, and A frequency fa having a period 1 / 2T for a delay time (for example, 1 / 2T) via the inversion gates G6 and G7 is generated via the inversion gates inv1 to inv2, respectively.

제9도는 제8도의 오실레이터를 이용한 Vbb 발생용 펌프의 회로 도로서, 제10도를 참조하여 설명하며 다음과 같다.FIG. 9 is a circuit diagram of a pump for generating Vbb using the oscillator of FIG. 8, which will be described with reference to FIG.

상기 오실레이터(제8도)로 부터 주파수(fa, fb, fc, 및 fd)가 주파수입력단자(fa, fb, fc, 및 fd)에 각각 입력되면, 제10도에서와 같이 주파수(fa)가 Vss에서 Vcc로 변하고, 주파수(fb)가 VCC에서 VSS로 변하며, 주파수(fc)는 VSS 상태이고 주파수(fd)는 VCC 상태인 시점에서, 노드(S11)는 -V1에서 VSS로 변하여 트랜지스터(n21)를 턴온시키므로 프리차지캐패시터(C21)의 전자가 트랜지스터(n21)를 통하여 노드(Vbb)즉, 저전위 단자로 공급되고, 노드(S21)는 VSS에서 -V1으로 변하여 트랜지스터(P11)를 턴온시키므로 프리차지 캐패시터(C11)에는 트랜지스터(P11)를 통하여 접지전위(VSS)가 프리차지 된다. 또한 노드(S12)는 -V1 상태로 트랜지스터(P22)가 턴온상태이므로 프리차지 캐패시터(C22)에는 트랜지스터(P22)를 통하여 접지전위(VSS)의 프리차지가 진행중이며, 노드(S22) VSS 상태로 트랜지스터(n12)가 턴온상태이므로 프리차지 캐패시터(C12)의 전자는 트랜지스터(n12)를 통하여 노드(Vbb)로의 공급이 진행중인 상태가 된다.When the frequencies fa, fb, fc, and fd are respectively input from the oscillator (Fig. 8) to the frequency input terminals fa, fb, fc, and fd, the frequency fa is as shown in Fig. 10. At the time when Vss changes from Vcc, frequency fb changes from VCC to VSS, frequency fc is in VSS state and frequency fd is in VCC state, node S11 changes from -V1 to VSS to transistor n21. Since the electrons of the precharge capacitor C21 are supplied to the node Vbb, that is, the low potential terminal through the transistor n21, the node S21 changes from VSS to -V1 to turn on the transistor P11. The ground potential VSS is precharged in the precharge capacitor C11 through the transistor P11. In addition, since the transistor P22 is turned on with the node S12 in the -V1 state, the precharge capacitor C22 is in the precharge of the ground potential VSS through the transistor P22, and the node S22 is in the VSS state. Since the transistor n12 is turned on, the electrons of the precharge capacitor C12 are in a state where supply to the node Vbb is in progress through the transistor n12.

한편 주파수(fa)가 VCC 에서 VSS로 변하고, 주파수(fb)가 VSS에서 VCC로 변하며, 주파수(fc)는 VCC상태이고 주파수(fd)는 VSS 상태인 시점에서, 노드(S11)는 VSS에서 -V1로 변하여 트랜지스터(P21)를 턴온시키므로 프리차지 캐패시터(C21)에는 트랜지스터(P21)를 통하여 접지전위가 프리차지되고, 노드(S21)는 -V1에서 VSS로 변하여 트랜지스터(n11)를 턴온시키므로 프리차지 캐패시터(C11)의 전자가 트랜지스터(n11)를 통하여 노드(Vbb)로 공급된다. 또한 노드(S12)는 VSS 상태로 트랜지스터(n22)가 턴온상태이므로 프리차지 캐패시터(C22)의 전자는 트랜지스터(n22)를 통하여 노드(Vbb)로의 공급이 진행중이며, 노드(S22)는 -V1 상태로 트랜지스터(P12)가 턴온상태이므로 프리차지 캐패시터(C12)에는 트랜지스터(P12)를 통하여 접지전위(VSS)의 프리차지가 진행중인 상태가 된다. 상기의 프리차지 캐패시터(C11, C12, C21 및 C22)를 상기 제 3 도의 프리차지 캐패시터(C1 및 C2)와 비교하면 C11+C12=C1, C21+C22=C2와 같으며, 이경우 C11=C12=1/2C1, C21=C22=1/2C2가 되는 것이 이상적이다. 따라서 많은량의 전자를 한꺼번에 기판으로 주입하지 않고 적은양의 전자를 2번으로 나누어 기판에 공급하므로써 전자가 확산되어가는 거리가 줄어들게 된다.On the other hand, at a time when the frequency fa changes from VCC to VSS, the frequency fb changes from VSS to VCC, the frequency fc is in the VCC state and the frequency fd is in the VSS state, the node S11 is-in VSS. Since the transistor P21 is turned on by turning to V1, the ground potential is precharged through the transistor P21 in the precharge capacitor C21, and the node S21 changes from -V1 to VSS to turn on the transistor n11 to precharge. Electrons of the capacitor C11 are supplied to the node Vbb through the transistor n11. In addition, since the node S12 is in the VSS state and the transistor n22 is turned on, the electrons of the precharge capacitor C22 are being supplied to the node Vbb through the transistor n22, and the node S22 is in the -V1 state. Since the low transistor P12 is turned on, the precharge capacitor C12 is in a state where precharge of the ground potential VSS is in progress through the transistor P12. Comparing the precharge capacitors C11, C12, C21 and C22 with the precharge capacitors C1 and C2 of FIG. 3, C11 + C12 = C1, C21 + C22 = C2, in which case C11 = C12 = Ideally, 1 / 2C1, C21 = C22 = 1 / 2C2. Therefore, the distance from which electrons are diffused is reduced by supplying a small amount of electrons into the substrate twice without supplying a large amount of electrons to the substrate at once.

제11도는 제8도의 오실레이터를 이용한 VPP 발생용 펌프의 회로도로서, 제12도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.FIG. 11 is a circuit diagram of a pump for generating VPP using the oscillator of FIG. 8 and described with reference to FIG.

상기 오실레이터(제8도)로 부터 주파수(fa, fb, fc 및 fd)가 주파수 입력단자(fa, fb, fc 및 fd)에 각각 입력되는데, 이때 주파수(fa 및 fb)가 주기(T)를 가질경우 주파수(fc 및 fd)는 예를들어 1/2T의 주기를 가지며, 동작설명은 주파수(fa 및 fb)가 입력되는 경우와 주파수(fc 및 fd)가 입력되는 경우가 각각 상기 제6도 및 제7도의 내용과 동일하므로 생략하기로 한다. 또한 프리차지 캐패시터(C11, C12, C21, C22, C31, C32, C41 및 C42)를 제6도의 프리차지 캐패시터(C1 내지 C4)와 비교하면 C11+C12=C1, C21+C22=C2, C31+C32=C3 및 C41+C42=C4와 같으며, 이경우 트랜지스터(n11, n12, p11, p12, n21, n22, p21 및 p22)의 용량(size)도 P11+P12=P1, P21+P22=P2가 된다. 즉, 노드(S11, S12, S21 및 S22)의 전압은 상기 제6도의 노드(S1 및 S2)의 전압과 동일하나 공급되는 전하는 반정도밖에 안된다.The frequencies fa, fb, fc and fd are inputted from the oscillator (Fig. 8) to the frequency input terminals fa, fb, fc and fd, respectively, where the frequencies fa and fb determine the period T. For example, the frequencies fc and fd have a period of, for example, 1 / 2T, and the operation description is that the frequencies fa and fb are input and the frequencies fc and fd are input, respectively. And the same as the contents of Figure 7 will be omitted. In addition, when the precharge capacitors C11, C12, C21, C22, C31, C32, C41 and C42 are compared with the precharge capacitors C1 to C4 of FIG. 6, C11 + C12 = C1, C21 + C22 = C2, C31 + C32 = C3 and C41 + C42 = C4, in which case the size of transistors (n11, n12, p11, p12, n21, n22, p21 and p22) also equals P11 + P12 = P1, P21 + P22 = P2. do. That is, the voltages of the nodes S11, S12, S21 and S22 are the same as the voltages of the nodes S1 and S2 in FIG. 6, but only about half of the electric charge is supplied.

제13도는 본 발명에 사용되는 또다른 오실레이터에 대한 회로도로서, 반전게이트(G11 내지 G15)를 경유하는 지연시간 만큼의 주기(T)를 갖는 주파수(fd)와 반대위상을 갖는 주파수(fc), 그리고 상기 반전게이트(G11 내지 G15)및 반전게이트(G16 및 G17)를 경유하는 지연시간(예를들어 2/3T) 만큼의 주기(2/3T)를 갖는 주파수(fa)와 반대 위상을 갖는 주파수(fb)가 반전게이트(inv1 내지 inv4)를 거쳐 각각 발생된다.FIG. 13 is a circuit diagram of another oscillator used in the present invention, in which frequency fc having a phase opposite to frequency fd having a period T equal to a delay time via inverting gates G11 to G15, And a frequency having a phase opposite to a frequency fa having a period (2 / 3T) for a delay time (for example, 2 / 3T) passing through the inversion gates G11 to G15 and the inversion gates G16 and G17. (fb) is generated through the inversion gates inv1 to inv4, respectively.

제14도는 제13도의 오실레이터를 이용한 Vbb 발생용 펌프의 회로도로서, 제13도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.FIG. 14 is a circuit diagram of a pump for generating Vbb using the oscillator of FIG. 13, which will be described below with reference to FIG.

상기 오실레이터(제13도)로부터 주파수(fa, fb, fc 및 fd)가 주파수 입력단자(fa, fb, fc 및 fd)에 각각 입력되는데, 이때 주파수( fc 및 fd)가 주기(T)를 가질경우 주파수(fa 및 fb)는 예를들어 2/3T 주기를 가지며 동작의 설명은 상기 제9도 및 제10도의 내용과 동일하므로 생략하기로 한다.The frequencies fa, fb, fc and fd are input to the frequency input terminals fa, fb, fc and fd, respectively, from the oscillator (Fig. 13), where the frequencies fc and fd have a period T. In this case, the frequencies fa and fb have a 2 / 3T period, for example, and descriptions of the operations are the same as those of FIGS. 9 and 10, and thus the description thereof will be omitted.

상술한 바와같이 일정주기(T)의 주파수를 생성하는 오실레이터에 의해 동작되는 펌핑회로는 큰용량의 프리차지 캐패시터를 갖지만, 상기 제8도 및 제13도의 오실레이터와 같이 일정주기(T)와 (1/N T)를 갖으며 위상이 서로 다른 다수의 주파수를 생성하여 N개의 펌핑회로에 입력하면 펌핑회로내 트랜지스터 및 프리차지 캐패시터의 용량(size)도 1/N로 작아지므로서 래치-업(Latch-up)및 전자의 주입으로 인한 메모리 셀 데이타의 파괴등의 문제점을 해결할 수 있을뿐만 아니라, 큰 프리차지 캐패시터를 동작시키는 반전게이트(inv1 및 inv2)의 용량(size)도 적어지고 각기 다른 주기에 의해 동작되므로서 전원(VCC 및 VSS)의 안정화 및 기판으로 흐르는 전류가 없게된다.As described above, the pumping circuit operated by the oscillator generating the frequency of the constant period T has a large capacity of the precharge capacitor, but the constant periods T and (1) like the oscillators of FIGS. / NT) with different phases and input to N pumping circuits, the size of transistors and precharge capacitors in the pumping circuit is also reduced to 1 / N and latch-up. In addition to solving problems such as up and destruction of memory cell data due to the injection of electrons, the size of the inverting gates inv1 and inv2 for operating a large precharge capacitor is also reduced, and the cycles are different. In operation, the power supply VCC and VSS are stabilized and there is no current flowing to the substrate.

Claims (2)

전압 레벨 감지회로에 의해 설정된 전압을 펌핑하는 전압 발생기에 있어서, 위상이 서로 다른 다수의 주파수를 출력시키기 위한 오실레이터 수단과, 서로 병렬로 접속되며, 상기 오실레이터 수단으로 부터 출력되는 위상이 서로 다른 다수의 주파수에 따라 서로 다른 주기를 가지고 펌핑 동작을 수행하는 다수의 펌프회로를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다단 펌프회로를 이용한 전압 발생기.In a voltage generator for pumping a voltage set by a voltage level sensing circuit, an oscillator means for outputting a plurality of frequencies having different phases, and a plurality of phases connected in parallel with each other and having a different phase output from the oscillator means. A voltage generator using a multistage pump circuit, characterized in that it comprises a plurality of pump circuits for performing a pumping operation having a different period according to the frequency. 제1항에 있어서, 상기 오실레이터 수단은 직렬접속되되 최종출력이 입력으로 궤환되도록 구성된 다수의 반전게이트와, 상기 최종출력을 반전시켜 제1주파수를 생성하기 위한 제1반전수단과, 상기 제1반전수단의 출력신호를 다시 반전시켜 제2주파수를 생성하기 위한 제2반전수단과, 상기 다수의 반전게이트 중 임의의 출력을 반전시켜 제3주파수를 생성하기 위한 제 3 반전수단과, 상기 제3반전수단의 출력을 다시 반전시켜 제4주파수를 생성하기 위한 제4반전수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다단 펌프회로를 이용한 전압 발생기.2. The apparatus of claim 1, wherein the oscillator means comprises a plurality of inverted gates connected in series, the final output being fed back to an input, first inverting means for inverting the final output to generate a first frequency, and the first inversion. Second inverting means for inverting the output signal of the means again to generate a second frequency, third inverting means for inverting any output of the plurality of inverting gates to generate a third frequency, and the third inverting And a fourth inversion means for inverting the output of the means again to generate a fourth frequency.
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