JPS63294910A - Filter element - Google Patents
Filter elementInfo
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- JPS63294910A JPS63294910A JP62130118A JP13011887A JPS63294910A JP S63294910 A JPS63294910 A JP S63294910A JP 62130118 A JP62130118 A JP 62130118A JP 13011887 A JP13011887 A JP 13011887A JP S63294910 A JPS63294910 A JP S63294910A
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Landscapes
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体集積回路の製造工程で使用される溶液
の一過に用いられるフィルターエレメントに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a filter element used for passing through a solution used in the manufacturing process of semiconductor integrated circuits.
半導体゛集積回路の製造工程で使用されるレジスト、エ
ツチング液、有機溶剤、洗浄液、純水等は、その製造工
程中で何段階かの一過処理を行い、不純物、汚れ等を除
去された後ユースポイントに供給されるが、多くの場合
ユースポイントで更にコンパクトなフィルターエレメン
トにより濾過処理されるのが一般的である。Resists, etching solutions, organic solvents, cleaning solutions, pure water, etc. used in the manufacturing process of semiconductor integrated circuits undergo several stages of temporary treatment during the manufacturing process to remove impurities, dirt, etc. It is supplied to the point of use, and in many cases, it is generally filtered through a more compact filter element at the point of use.
例えば半導体集積回路の写真蝕刻工程に用いられるレジ
ストの濾過に使用されるフィルターエレメントは、−Ｊ
Ｒに第３図に示すように、フィルターカートリッジ１１
をハウジングボール部１６及びハウジングヘッド部１５
より成るハウジングにセットして用いられる。流入口１
３より入ったレジストはフィルターカートリッジ１１に
より一過され、流出口１２より出てユースポイントに供
給される。エアーベント１４はハウジング内にたまった
気泡を抜くためのものであり、シール用〇−リング１７
は流入口側のレジストが流出口側のレジストを汚染しな
いようにフィルターカートリッジ１１の凸部１１Ａと流
出口１２間をシールするものである。For example, the filter element used for filtering resist used in the photolithography process of semiconductor integrated circuits is -J
As shown in FIG.
housing ball part 16 and housing head part 15
It is used set in a housing consisting of. Inlet 1
The resist entering from 3 is passed through a filter cartridge 11, exits from an outlet 12, and is supplied to a point of use. The air vent 14 is for removing air bubbles accumulated inside the housing, and the sealing ring 17
This seals between the convex portion 11A of the filter cartridge 11 and the outlet 12 so that the resist on the inlet side does not contaminate the resist on the outlet side.
上述した従来のフィルターエレメントでは、ハウジング
寸法が製作時のマージンのためフィルターカートリッジ
寸法より若干大きく、カートリッジをセットした状態で
ハウジングボール部１６とフィルターカートリッジ１１
の底面との間に１〜２關程度の間隙ができる。この間隙
はデッドボリュームの減少という観点からもゼロにする
ことが望ましいが、前述したようにハウジング製作時の
精度の制限の受け、ゼロにできない。In the conventional filter element described above, the housing dimension is slightly larger than the filter cartridge dimension due to the margin during manufacturing, and when the cartridge is set, the housing ball part 16 and the filter cartridge 11
There will be a gap of about 1 to 2 degrees between the bottom surface and the bottom surface. Although it is desirable to reduce this gap to zero from the perspective of reducing dead volume, it cannot be reduced to zero due to the limitations on accuracy during housing manufacturing as described above.
この間隙に起因してフィルターカートリッジをハウジン
グにセットし使用している段階で、シール用Ｏ−リング
１７にシールされた凸部１１Ａがフィルターカートリッ
ジ１１の自重によりハウジングからはずれたり、時には
シール用Ｑ−リング１７の膨潤等によりシールが不完全
になる場合がある。シール用○−リング１７によるシー
ルが不完全になると、当然ながら濾過前のレジストの一
部が一過後のレジスト内へ流入してしまい、濾過後のレ
ジストを汚染する。薬液の汚染は、半導体集積回路製造
工程中において欠陥発生の原因となり、半導体集積回路
の収率及び特性を低下させるという問題点がある。Due to this gap, when the filter cartridge is set in the housing and used, the convex portion 11A sealed on the sealing O-ring 17 may come off from the housing due to the weight of the filter cartridge 11, and sometimes the sealing Q- The seal may become incomplete due to swelling of the ring 17 or the like. If the sealing by the sealing ring 17 becomes incomplete, a portion of the resist before filtration naturally flows into the resist after passing through, contaminating the resist after filtration. Contamination of the chemical solution causes defects during the semiconductor integrated circuit manufacturing process, and there is a problem in that it reduces the yield and characteristics of the semiconductor integrated circuit.
本発明の目的は、フィルターカートリッジのハウジング
からの脱離がなく、フィルターカートリッジとハウジン
グボール部間のシールの不完全さをなくしたフィルター
エレメントを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a filter element in which the filter cartridge does not come off from the housing and the seal between the filter cartridge and the housing ball part is not imperfect.
本発明のフィルターエレメントは、液体の流入口と流出
口とを有するハウジングヘッド部と該ハウジングヘッド
部を上部に固着するハウジングボール部とからなるハウ
ジングと、前記ハウジングボール部内にセットされたフ
ィルターカートリッジと、前記流出口と該流出口にはめ
込まれた前記フィルターカートリッジの凸部との間に挿
入されたシール用０−リングとを有するフィルターエレ
メントであって、前記ハウジングボールの底部と前記フ
ィルターカートリッジの底面との間に前記シール用０−
リングのシール性を高めるための発条体を設けたもので
ある。The filter element of the present invention includes a housing including a housing head portion having a liquid inlet and an outlet, a housing ball portion fixing the housing head portion to an upper portion, and a filter cartridge set in the housing ball portion. , a filter element having a sealing O-ring inserted between the outlet and a protrusion of the filter cartridge fitted into the outlet, the bottom of the housing ball and the bottom of the filter cartridge; 0- for the seal between
A spring is provided to improve the sealing performance of the ring.
以下本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第１図は本発明の第１の実施例の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a first embodiment of the invention.
第１図において、フィルターエレメントは、液体の流入
口１３と流出口１２とを有するハウジングヘッド部１５
とこのハウジングヘッド部１５を上部に固着するハウジ
ングボール部１６とからなるハウジングと、ハウジング
ボール部１６内にセットされたフィルターカートリッジ
１１と、流出口１２とこの流出口１２にはめ込まれたフ
ィルターカートリッジの凸部１１Ａとの間に挿入された
シール用０−リング１７と、シール用Ｏ−リング１７の
シール性を高めるためハウジングボール１６の底面とフ
ィルターカートリッジ１１の底面との間に設けられた発
条体としてのＯ−リング１８とから構成されている。In FIG. 1, the filter element includes a housing head 15 having a liquid inlet 13 and an outlet 12.
A housing consisting of a housing ball part 16 to which the housing head part 15 is fixed to the upper part, a filter cartridge 11 set in the housing ball part 16, an outlet 12, and a filter cartridge fitted in the outlet 12. A sealing O-ring 17 inserted between the convex portion 11A and a spring body provided between the bottom surface of the housing ball 16 and the bottom surface of the filter cartridge 11 to improve the sealing performance of the sealing O-ring 17. It is composed of an O-ring 18 as an O-ring 18.
流入口１３より入ったレジストはフィルターカートリッ
ジ１１のフィルタ一部にて濾過された後、流出口１２よ
り出てユースポイントに供給される。ハウジング内に滞
留する空気は、エアーベント１４によりハウジング外に
出され、エアーロック現象を解消している。The resist that enters through the inlet 13 is filtered by a part of the filter of the filter cartridge 11, and then exits through the outlet 12 and is supplied to the point of use. Air remaining within the housing is vented to the outside of the housing by the air vent 14, eliminating the air lock phenomenon.
フィルターカートリッジ１１の底面に取り付けるＯ−リ
ング１８の材質は、濾過する薬品に耐性のあるものであ
れば何でも良いが、適度な弾性を有することが条件とな
る。本実施例では、キシレン等の溶剤を含有するレジス
トの濾過を目的としているため、四フッ化のフッ素樹脂
を用いた。The O-ring 18 attached to the bottom of the filter cartridge 11 may be made of any material as long as it is resistant to the chemicals to be filtered, but it must have appropriate elasticity. In this example, since the purpose was to filter a resist containing a solvent such as xylene, a tetrafluoride fluororesin was used.
このように構成された第１の実施例においては、０−リ
ング１８によりフィルターカートリッジの凸部１１ Ａ
がハウジングヘッド部１５側に押しつけられるため、シ
ール用○−リング１７のシールは完全となり、フィルタ
ーカートリッジ１１のはずれもなくなる。In the first embodiment configured in this way, the O-ring 18 connects the convex portion 11 A of the filter cartridge.
Since it is pressed against the housing head portion 15 side, the sealing ring 17 seals completely and the filter cartridge 11 does not come off.
第２図は本発明の第２の実施例に用いるフィルターカー
トリッジの斜視図及びＡ部拡大図である。FIG. 2 is a perspective view and an enlarged view of part A of a filter cartridge used in a second embodiment of the present invention.
この第２の実施例においては、第１図に示した第１の実
施例の０−リング１８に代わるものとして、フィルター
カートリッジのサポート部２１の下端にプリーツ２２を
設けたものである。プリーツ２２はサポート部２１を射
出成形する際に作り込めば良く、特別の工程は必要では
ない。サポート材としては一最にフッ素系樹脂が用いら
れるが、プリーツ２２の厚み及び長さを調節することに
より適度な弾性を持たせることができる。In this second embodiment, a pleat 22 is provided at the lower end of the support portion 21 of the filter cartridge in place of the O-ring 18 of the first embodiment shown in FIG. The pleats 22 can be formed when the support portion 21 is injection molded, and no special process is required. Although fluororesin is most commonly used as the support material, appropriate elasticity can be imparted by adjusting the thickness and length of the pleats 22.
この第２の実施例ではプリーツの長さを２ ｍｍとし、
弾性を持たせるため形状を楔形とした。このように構成
されたフィルターカートリッジをハウジングにセットし
た状態では、プリーツ２２がスプリングの役目をし、上
部のシール用０−リング１７のシール性をより高める効
果がある。In this second embodiment, the length of the pleats is 2 mm,
The shape is wedge-shaped to provide elasticity. When the filter cartridge configured in this manner is set in the housing, the pleats 22 serve as a spring, and have the effect of further improving the sealing performance of the upper sealing O-ring 17.
以上説明したように本発明は、ハウジングボール部とフ
ィルターカートリッジの底面間にシール用○−リングの
シール性を高める為の発条性を設けることにより、従来
問題となっていたハウジングからのフィルターカートリ
ッジの脱離及びシール用Ｏ−リングのシールの不完全さ
を解消できる効果がある。従って沢過された薬液等の汚
染が防止されるため、半導体集８Ｆ回路の品質向上、収
率向上、コストダウンに大きく貢献できる。As explained above, the present invention provides a spring between the housing ball portion and the bottom surface of the filter cartridge to improve the sealing performance of the sealing ring. This has the effect of eliminating imperfections in the seal of the O-ring for detachment and sealing. Therefore, contamination by the spilled chemical solution and the like is prevented, which greatly contributes to improving the quality, improving yield, and reducing costs of semiconductor integrated 8F circuits.
第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図（ａ）
、（ｂ）は本発明の第２の実施例に用いられるフィルタ
ーカートリッジの斜視図及びＡ部拡大国、第３図は従来
のフィルターエレメントの断面図である。
１１・・・フィルターカートリッジ、１２・・・流出口
、１３・・・流入口、１４・・・エアーベント、１５・
・・ハウジングヘッド部、１６・・・ハウジングボール
部、１７・・・シール用Ｏ−リング、１８・・・０−リ
ング、２１・・・サポート部、２２・・・プリーツ。Fig. 1 is a sectional view of the first embodiment of the present invention, Fig. 2(a)
, (b) is a perspective view of a filter cartridge used in a second embodiment of the present invention and an enlarged view of part A, and FIG. 3 is a sectional view of a conventional filter element. DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Filter cartridge, 12... Outlet, 13... Inlet, 14... Air vent, 15...
...Housing head part, 16...Housing ball part, 17...O-ring for sealing, 18...O-ring, 21...Support part, 22...Pleats.
Claims (1)
該ハウジングヘッド部を上部に固着するハウジングボー
ル部とからなるハウジングと、前記ハウジングボール部
内にセットされたフィルターカートリッジと、前記流出
口と該流出口にはめ込まれた前記フィルターカートリッ
ジの凸部との間に挿入されたシール用Ｏ−リングとを有
するフィルターエレメントにおいて、前記ハウジングボ
ールの底部と前記フィルターカートリッジの底面との間
に前記シール用Ｏ−リングのシール性を高めるための発
条体を設けたことを特徴とするフィルターエレメント。A housing comprising a housing head portion having a liquid inlet and an outlet, a housing ball portion fixing the housing head portion to an upper portion, a filter cartridge set in the housing ball portion, and the liquid flow outlet and the housing head portion. In the filter element, the sealing O-ring is inserted between the convex portion of the filter cartridge fitted into the outlet, and the sealing O-ring is inserted between the bottom of the housing ball and the bottom surface of the filter cartridge. A filter element characterized by the provision of a spring body to improve the sealing performance of the ring.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62130118A JPS63294910A (en) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | Filter element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62130118A JPS63294910A (en) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | Filter element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63294910A true JPS63294910A (en) | 1988-12-01 |
Family
ID=15026379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62130118A Pending JPS63294910A (en) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | Filter element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63294910A (en) |
-
1987
- 1987-05-26 JP JP62130118A patent/JPS63294910A/en active Pending
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