JPS63259617A - ポリゴンミラ−ロ−タ - Google Patents
ポリゴンミラ−ロ−タInfo
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- JPS63259617A JPS63259617A JP9331587A JP9331587A JPS63259617A JP S63259617 A JPS63259617 A JP S63259617A JP 9331587 A JP9331587 A JP 9331587A JP 9331587 A JP9331587 A JP 9331587A JP S63259617 A JPS63259617 A JP S63259617A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザプリンタ、バーコードリーグやレーザ
複写機などに用いられているレーザ走査光学系において
し〜ザ光を反射させて感光体表面に照射するためのポリ
ゴンミラーロータに関するものである。
複写機などに用いられているレーザ走査光学系において
し〜ザ光を反射させて感光体表面に照射するためのポリ
ゴンミラーロータに関するものである。
従来のポリゴンミラーは第8図に示すように、高鮮明な
画像処理に適した密閉構造の例について知られているレ
ーザプリンタでは、半導体レーザやガスレーザなどから
なるレーザユニットからのレーザ光を回転するポリゴン
ロータaのミラーbによって反射させて、感光体表面に
照射するものであり、ポリゴンロータaは駆動モータC
によって固定軸d上にスリーブeを介して回転されるよ
うに構成されている。
画像処理に適した密閉構造の例について知られているレ
ーザプリンタでは、半導体レーザやガスレーザなどから
なるレーザユニットからのレーザ光を回転するポリゴン
ロータaのミラーbによって反射させて、感光体表面に
照射するものであり、ポリゴンロータaは駆動モータC
によって固定軸d上にスリーブeを介して回転されるよ
うに構成されている。
そして、前記固定軸dの外周面には多数の動圧発生用溝
部が形成され、回転スリーブeの回転によってスラスト
荷重及びラジアル荷重を支えるための動圧が発生する様
になっている。即ち、この動圧発生用の溝部は、機能的
にはへリングボーン状の上部溝部f、及びヘリングボー
ン形状を形成する中部溝部f2と上部溝部r3とによっ
て動圧を発生させてラジアル荷重を支え、且つ、中部溝
部f2によって固定軸d上面に空気を送り込み、以て固
定軸dの上端にあるスラスト軸受gとの間の空気圧を高
めてスラスト荷重を支えるようになっている。
部が形成され、回転スリーブeの回転によってスラスト
荷重及びラジアル荷重を支えるための動圧が発生する様
になっている。即ち、この動圧発生用の溝部は、機能的
にはへリングボーン状の上部溝部f、及びヘリングボー
ン形状を形成する中部溝部f2と上部溝部r3とによっ
て動圧を発生させてラジアル荷重を支え、且つ、中部溝
部f2によって固定軸d上面に空気を送り込み、以て固
定軸dの上端にあるスラスト軸受gとの間の空気圧を高
めてスラスト荷重を支えるようになっている。
回転スリーブeの上部にはポリゴンロータaがねじ止め
され、また下部にはロータマグネットc1が固定され、
かつロータマグネットc+を駆動するためのステータコ
イルc2がロータマグネットCl の周囲を囲むように
固定されて駆動モータCとなっていると共に、外部から
ポリゴンロータaのミラーbへ照射されるレーザ光、及
び所望の露光面へ反射されるレーザ光を透過させるレー
ザ入出窓部りが外筒iの上部周面の一部に形成されたも
のから成っていて、駆動モータCで高速回転するポリゴ
ンロータは回転精度が高く維持される必要があるばかり
でなく反射面の面振れを小さくしなければならないため
に固定軸と回転スリーブとの間隙は極めて狭いものとし
ている。
され、また下部にはロータマグネットc1が固定され、
かつロータマグネットc+を駆動するためのステータコ
イルc2がロータマグネットCl の周囲を囲むように
固定されて駆動モータCとなっていると共に、外部から
ポリゴンロータaのミラーbへ照射されるレーザ光、及
び所望の露光面へ反射されるレーザ光を透過させるレー
ザ入出窓部りが外筒iの上部周面の一部に形成されたも
のから成っていて、駆動モータCで高速回転するポリゴ
ンロータは回転精度が高く維持される必要があるばかり
でなく反射面の面振れを小さくしなければならないため
に固定軸と回転スリーブとの間隙は極めて狭いものとし
ている。
ところが、このようなレーザプリンタは鮮明な文字や画
像を高速度で再生するものであるから、ポリゴンミラー
ロータは高速度で、しかも反射面の倒れが少ない状態で
回転されねばならないために、ポリゴンミラーロータは
切削が容易で、高反射率のアルミ合金の平板をダイヤモ
ンドで切削することで製造されているが、形状を維持す
るために、その厚みは101m以上にもなっていた。し
かしポリゴンミラーロータが高速回転している時の負荷
は、大半がポリゴンの外周縁の空気抵抗であり、レーザ
光を反射する領域が1)■以下でも十分である狭い幅で
あることを考慮すればポリゴンミラーロータが周囲の空
気を乱すことによる動力損失は極めて大きなものとなる
。
像を高速度で再生するものであるから、ポリゴンミラー
ロータは高速度で、しかも反射面の倒れが少ない状態で
回転されねばならないために、ポリゴンミラーロータは
切削が容易で、高反射率のアルミ合金の平板をダイヤモ
ンドで切削することで製造されているが、形状を維持す
るために、その厚みは101m以上にもなっていた。し
かしポリゴンミラーロータが高速回転している時の負荷
は、大半がポリゴンの外周縁の空気抵抗であり、レーザ
光を反射する領域が1)■以下でも十分である狭い幅で
あることを考慮すればポリゴンミラーロータが周囲の空
気を乱すことによる動力損失は極めて大きなものとなる
。
これらのことから、固定軸と回転スリーブとの摺動部は
極めて精密に加工されて、空気による動圧が効果的に発
生するようにし、かつ回転スリーブ、ポリゴンロータ、
ミラ一部、ロータマグネット等の回転部分は精密に加工
され、同時に好適にマスバランスが調整されていなけれ
ばならない。
極めて精密に加工されて、空気による動圧が効果的に発
生するようにし、かつ回転スリーブ、ポリゴンロータ、
ミラ一部、ロータマグネット等の回転部分は精密に加工
され、同時に好適にマスバランスが調整されていなけれ
ばならない。
しかし、ポリゴンミラーロータの反射面での面の倒れを
±1,5μm以下とするには5(In以上の長さの固定
軸を精度よく加工し、回転スリーブとの間隔を3μm以
下にしなければならないので、製品の量産化が困難であ
り、また更に高速度の画像処理を行う場合には、ポリゴ
ンミラーロータの回転速度を30,000rp+w以上
とすることが望まれているも、この様な高速回転の場合
には固定軸に対するラジアル荷重が増加し、空気膜によ
る支持は極めて困難で、バランス調整も頗る煩雑であり
、しかも製作加工がやっかいであって、回転体などをセ
ラミックス製とした場合には延性が極めて小さいのでク
ランクが生じやすく表面にクランクが入っていたり、回
転中に表面にクラックが生じたりすると高速回転の遠心
力による張力によって直ちにクランクが伝播して破壊し
事故を起こし、しかも破損事故の際に窓孔からケース外
に逸出飛散して危険でまた、高価な機器類を損傷する事
故につながって保安上問題があった。
±1,5μm以下とするには5(In以上の長さの固定
軸を精度よく加工し、回転スリーブとの間隔を3μm以
下にしなければならないので、製品の量産化が困難であ
り、また更に高速度の画像処理を行う場合には、ポリゴ
ンミラーロータの回転速度を30,000rp+w以上
とすることが望まれているも、この様な高速回転の場合
には固定軸に対するラジアル荷重が増加し、空気膜によ
る支持は極めて困難で、バランス調整も頗る煩雑であり
、しかも製作加工がやっかいであって、回転体などをセ
ラミックス製とした場合には延性が極めて小さいのでク
ランクが生じやすく表面にクランクが入っていたり、回
転中に表面にクラックが生じたりすると高速回転の遠心
力による張力によって直ちにクランクが伝播して破壊し
事故を起こし、しかも破損事故の際に窓孔からケース外
に逸出飛散して危険でまた、高価な機器類を損傷する事
故につながって保安上問題があった。
本発明は、この従来の欠点を適確に排除しようとするも
ので、ポリゴンロータの垂直度、平行度を大幅に向上さ
せ回転時の空気抵抗も少なく、高速回転が可能なコンパ
クトなポリゴンミラーロータとし、さらに、反射面の倒
れが少なく、保安上良好でかつ安定した高速回転も可能
で、レーザ光等を精度よく反射できるポリゴンミラーロ
ータを構成簡単で製作容易で安全安価な形態で提供する
ことを目的とするものである。
ので、ポリゴンロータの垂直度、平行度を大幅に向上さ
せ回転時の空気抵抗も少なく、高速回転が可能なコンパ
クトなポリゴンミラーロータとし、さらに、反射面の倒
れが少なく、保安上良好でかつ安定した高速回転も可能
で、レーザ光等を精度よく反射できるポリゴンミラーロ
ータを構成簡単で製作容易で安全安価な形態で提供する
ことを目的とするものである。
本発明は、固定軸に回転自在に嵌合されたセラミックス
製の筒体と、該筒体の外周に焼ばめ固着した金属製の外
周部材とから、ポリゴンミラーロータを構成し、該ロー
タにマグネットを設けると共に、前記外周部材の外周面
に鏡面を形成したことを特徴とするポリゴンミラーロー
タである。
製の筒体と、該筒体の外周に焼ばめ固着した金属製の外
周部材とから、ポリゴンミラーロータを構成し、該ロー
タにマグネットを設けると共に、前記外周部材の外周面
に鏡面を形成したことを特徴とするポリゴンミラーロー
タである。
本発明の実施例を第1〜2図例で説明すると、平板状に
して中央に貫通孔−1が形成されたセラミックス製の筒
体3Iと、該筒体3Iの外周に焼ばめ固着した金属製の
外周部材3.とからなり、外周部材3□の外周縁を正多
角形とする複数の鏡面2に形成してポリゴンミラーロー
タ3とし、このa−夕3を前記のMiI孔lを貫通して
支持体4に備えられた固定軸5に回転自在に設け、かつ
前記筒体3Iと平行に固定され、ロータ3を回転させる
ステータコイル6を前記支持体4に備え、前記口−り3
の筒体3.に設けられた永久磁石又は二次導体のマグネ
ット7と前記ステータコイル6とによってロータ3を回
転させるモータユニットを構成して、前記ロータ3と支
持体4との間に金属又はセラミックス材からなる受部材
10を介在配備するようにし、このロータ3とこれと対
向して形成される摺動面のいずれかに動圧発生用溝1)
゜litを形成しである。
して中央に貫通孔−1が形成されたセラミックス製の筒
体3Iと、該筒体3Iの外周に焼ばめ固着した金属製の
外周部材3.とからなり、外周部材3□の外周縁を正多
角形とする複数の鏡面2に形成してポリゴンミラーロー
タ3とし、このa−夕3を前記のMiI孔lを貫通して
支持体4に備えられた固定軸5に回転自在に設け、かつ
前記筒体3Iと平行に固定され、ロータ3を回転させる
ステータコイル6を前記支持体4に備え、前記口−り3
の筒体3.に設けられた永久磁石又は二次導体のマグネ
ット7と前記ステータコイル6とによってロータ3を回
転させるモータユニットを構成して、前記ロータ3と支
持体4との間に金属又はセラミックス材からなる受部材
10を介在配備するようにし、このロータ3とこれと対
向して形成される摺動面のいずれかに動圧発生用溝1)
゜litを形成しである。
前記ロータ3の筒体31は中央に円形状の貫通孔のある
円筒体若しくは角筒体で前記固定軸5又は固定軸5に嵌
支されるブツシュに嵌装され、前記支持体4上に介在さ
れる受部材IOに対面配備されているもので、この受部
材10としては角形又は円形の板体でロータ3のマグネ
ット7に対向する面及びステータコイル6に対向する面
にあるが、筒体31の軸方向側面に両側に設けて筒体3
1を挟持するようにしてもよい、また筒体3Iにはこの
受部材lOに対応する面に動圧発生用溝1)、−例えば
ねじり方向が逆向きのスパイラル溝をラン1部を残して
形成した硬質のセラミックス材料例えばSiC焼結体、
BeOを含むα−5iC焼結体、又はSiJ、焼結体な
どで構成したものを用いてスラスト軸受部として形成す
るのがよく、或いは、前記受部材10を前記硬質のセラ
ミックス材料として、そのロータ3と対向する面に動圧
発生用溝を形成してもよい。
円筒体若しくは角筒体で前記固定軸5又は固定軸5に嵌
支されるブツシュに嵌装され、前記支持体4上に介在さ
れる受部材IOに対面配備されているもので、この受部
材10としては角形又は円形の板体でロータ3のマグネ
ット7に対向する面及びステータコイル6に対向する面
にあるが、筒体31の軸方向側面に両側に設けて筒体3
1を挟持するようにしてもよい、また筒体3Iにはこの
受部材lOに対応する面に動圧発生用溝1)、−例えば
ねじり方向が逆向きのスパイラル溝をラン1部を残して
形成した硬質のセラミックス材料例えばSiC焼結体、
BeOを含むα−5iC焼結体、又はSiJ、焼結体な
どで構成したものを用いてスラスト軸受部として形成す
るのがよく、或いは、前記受部材10を前記硬質のセラ
ミックス材料として、そのロータ3と対向する面に動圧
発生用溝を形成してもよい。
前記マグネット7は筒体3.の挿入孔8に埋込配備して
、上面を平坦に面合せしてもよいし、挿入孔8に対して
マグネット7を上面より窪み状態或いは突出状態に配置
し、バックアツプ板(図示せず)を当てて保持する構成
としてもよい。
、上面を平坦に面合せしてもよいし、挿入孔8に対して
マグネット7を上面より窪み状態或いは突出状態に配置
し、バックアツプ板(図示せず)を当てて保持する構成
としてもよい。
前記挿入孔8は前記筒体31、又は外周部材3□に複数
個環状に形成配備しであるが、円板状のロータコアを形
成するようにリング状に連接配備し固定軸5と直交する
平面上に沿って環状に複数の磁極を着磁しているように
することもできるし、さらに前記鏡面2はアルミニウム
箔(0,1〜0.5U)又は蒸着膜、その他の反射率の
高いコーティング層でミラ一部とするのが便利である。
個環状に形成配備しであるが、円板状のロータコアを形
成するようにリング状に連接配備し固定軸5と直交する
平面上に沿って環状に複数の磁極を着磁しているように
することもできるし、さらに前記鏡面2はアルミニウム
箔(0,1〜0.5U)又は蒸着膜、その他の反射率の
高いコーティング層でミラ一部とするのが便利である。
図中1)1はへリングボーン状に形成した動圧発生用溝
で固定軸5の外周面又はこれに対応する面に多数設けて
いる。12はカバ一体であって、支持体4に嵌着し、レ
ーザプリンタなどの密閉構造としたもので、バーコード
リーグなどのように鮮明度を要求されない場合には省略
できる。13は投光用窓部、14は留めナツトで温度膨
張経時によるゆるみを防止するものである。
で固定軸5の外周面又はこれに対応する面に多数設けて
いる。12はカバ一体であって、支持体4に嵌着し、レ
ーザプリンタなどの密閉構造としたもので、バーコード
リーグなどのように鮮明度を要求されない場合には省略
できる。13は投光用窓部、14は留めナツトで温度膨
張経時によるゆるみを防止するものである。
なお前記筒体31が、その上下両面に動圧発生用溝1)
を備えたものであるが、前記動圧発生用溝1)はスパイ
ラル状の方向は両面に設けた場合に逆方向(投彰面上同
じ向き)に設けてポリゴンミラーロータを回転駆動する
際に誤って逆方向に回転させても焼損することがないよ
うにし、即ち正逆いずれの回転時においても動圧効果を
生じさせスラスト荷重を受けて保安上有効にしたり、必
要に応じ同方向(投影面上逆向き)に設けて一方をクラ
ッチ作用を与えるようにしてもよい、この場合、中間部
材となる受部材IOを活用することが考慮されるし、さ
らにロータ3の外周部材3□の外周にある鏡面2もアル
ミニウム蒸着又はアルミニウム箔でバランス調整をする
ことができる。前記外周部材38としては、外周縁を正
多角形としたリング状の平板体であって、該外周面にア
ルミニウム箔を固着して鏡面2としたものであるが、上
下両面を切頭円錐状とし、厚さを外方に向って漸減して
外周面の一部を鏡面に形成したものでもよい。
を備えたものであるが、前記動圧発生用溝1)はスパイ
ラル状の方向は両面に設けた場合に逆方向(投彰面上同
じ向き)に設けてポリゴンミラーロータを回転駆動する
際に誤って逆方向に回転させても焼損することがないよ
うにし、即ち正逆いずれの回転時においても動圧効果を
生じさせスラスト荷重を受けて保安上有効にしたり、必
要に応じ同方向(投影面上逆向き)に設けて一方をクラ
ッチ作用を与えるようにしてもよい、この場合、中間部
材となる受部材IOを活用することが考慮されるし、さ
らにロータ3の外周部材3□の外周にある鏡面2もアル
ミニウム蒸着又はアルミニウム箔でバランス調整をする
ことができる。前記外周部材38としては、外周縁を正
多角形としたリング状の平板体であって、該外周面にア
ルミニウム箔を固着して鏡面2としたものであるが、上
下両面を切頭円錐状とし、厚さを外方に向って漸減して
外周面の一部を鏡面に形成したものでもよい。
第3〜5図の具体例では回転軸として金属製固定軸5、
例えばボルト上にヘリングボーン状溝の動圧発生用溝1
)1を外周に有する金属又はセラミックス材料のスリー
ブ状ブツシュ5Iを備えたもので、かつ前記回転筒体3
1をその両側からスラスト受部材10.10で挟持し、
前記ブツシュ5、と共に固定軸5に嵌着し、この受部材
10゜10に対向する摺動面に動圧発生用溝1).1)
を設けて組立て容易な構成としである。
例えばボルト上にヘリングボーン状溝の動圧発生用溝1
)1を外周に有する金属又はセラミックス材料のスリー
ブ状ブツシュ5Iを備えたもので、かつ前記回転筒体3
1をその両側からスラスト受部材10.10で挟持し、
前記ブツシュ5、と共に固定軸5に嵌着し、この受部材
10゜10に対向する摺動面に動圧発生用溝1).1)
を設けて組立て容易な構成としである。
この場合ブツシュ51と筒体3.との間の動圧軸受部分
に対して受部材10に形成された貫通孔20から容易に
外気が流れるようにしである。そして、リング状の鉄片
のバックアンプリング18は、マグネット7の磁気回路
を良好にするためと、マスバランスをとるためのもので
あって、セラミックスからなる筒体3.の強度をそこな
うことなくバランスを修正することができる。
に対して受部材10に形成された貫通孔20から容易に
外気が流れるようにしである。そして、リング状の鉄片
のバックアンプリング18は、マグネット7の磁気回路
を良好にするためと、マスバランスをとるためのもので
あって、セラミックスからなる筒体3.の強度をそこな
うことなくバランスを修正することができる。
前記固定軸5のボルトは螺孔21に螺合し、座金15に
パツキン19を併用して受部材10.10の挟持が簡便
にできるようになっていて、また前記支持体4に下部受
部材10に設けた貫通孔20に連通ずるガイド用の通気
路22を形成しである。
パツキン19を併用して受部材10.10の挟持が簡便
にできるようになっていて、また前記支持体4に下部受
部材10に設けた貫通孔20に連通ずるガイド用の通気
路22を形成しである。
さらに前記マグネット7をロータ3の挿入孔8に埋込む
際に合成樹脂系コーティング剤で被覆カバーすることも
選んでできる。また、前記ロータ3の浮上量を拘束する
手段としてはロータ3の上方位置で固定軸5に設けた上
部摺動板或いは座金若しくはその他のストツパを選んで
当てる構成としたり、摺動板などにコイルバネその他弾
性部材を付設させたりその他弾性構造物などを押圧部材
としてロータ3の上方部の固定軸5に備えた構成として
もよい。
際に合成樹脂系コーティング剤で被覆カバーすることも
選んでできる。また、前記ロータ3の浮上量を拘束する
手段としてはロータ3の上方位置で固定軸5に設けた上
部摺動板或いは座金若しくはその他のストツパを選んで
当てる構成としたり、摺動板などにコイルバネその他弾
性部材を付設させたりその他弾性構造物などを押圧部材
としてロータ3の上方部の固定軸5に備えた構成として
もよい。
第6〜7図例では筒体3.の外周に焼ばめによって固定
された金属製の外周部材3□をつば状の平板体に代えて
、上下両面を切頭円錐状として所謂ソロパン球状体とし
、その大径外周面部を多角形状の鏡面2とし、風損を減
じエツジ部分を削除したもので回転バランス並びに筒体
31の強固な保護と窓部13を金属部材で覆う形態とし
て安全性を高めである。この場合、外周部材3.の上下
両面が円錐面状であり、厚さが外方に向って漸減してい
るので外周付近の鏡面2の輪郭の長さが短く風損が少な
いし、筒体3.の外周を囲って安全性を高められる。
された金属製の外周部材3□をつば状の平板体に代えて
、上下両面を切頭円錐状として所謂ソロパン球状体とし
、その大径外周面部を多角形状の鏡面2とし、風損を減
じエツジ部分を削除したもので回転バランス並びに筒体
31の強固な保護と窓部13を金属部材で覆う形態とし
て安全性を高めである。この場合、外周部材3.の上下
両面が円錐面状であり、厚さが外方に向って漸減してい
るので外周付近の鏡面2の輪郭の長さが短く風損が少な
いし、筒体3.の外周を囲って安全性を高められる。
また前記支持体4はアルミニウム材がら構成されるもの
であって、前記摺動部材の廻り止めとして用いられるも
のであるか、前記固定軸5及び支持体4もStCを主体
とするセラミックス材料で構成することも選んでできる
し、さらに前記支持体4は磁性体で構成してマグネット
7との間で常時吸引力を働かせてロータ3が墜落させな
いようにし、かつこの吸引力で安定な回転を得るように
考慮してもよい、さらに固定軸5は軸端面間の平行度及
びヘリングボーン状溝面との垂直度をtiy密加工しで
あるが、必要に応じ同様に精密加工したスリーブ状のブ
ツシュ51を嵌着配備してもよく、これらの場合固定軸
5又はブツシュ5.を段付軸として各部材に対応させて
もよい、また前記ロータ3に設けたマグネット7に対し
て平板状のステータコイル6を支持体4に設けてモータ
としてポリゴンミラーロータ3を回転させるようにしで
あるが、ステータコイル6に面する受部材10の端面は
固定軸5を直角即ち貫通孔1の内周面と直角で、その外
周縁に形成された鏡面2に対して直角となるように加工
されている。
であって、前記摺動部材の廻り止めとして用いられるも
のであるか、前記固定軸5及び支持体4もStCを主体
とするセラミックス材料で構成することも選んでできる
し、さらに前記支持体4は磁性体で構成してマグネット
7との間で常時吸引力を働かせてロータ3が墜落させな
いようにし、かつこの吸引力で安定な回転を得るように
考慮してもよい、さらに固定軸5は軸端面間の平行度及
びヘリングボーン状溝面との垂直度をtiy密加工しで
あるが、必要に応じ同様に精密加工したスリーブ状のブ
ツシュ51を嵌着配備してもよく、これらの場合固定軸
5又はブツシュ5.を段付軸として各部材に対応させて
もよい、また前記ロータ3に設けたマグネット7に対し
て平板状のステータコイル6を支持体4に設けてモータ
としてポリゴンミラーロータ3を回転させるようにしで
あるが、ステータコイル6に面する受部材10の端面は
固定軸5を直角即ち貫通孔1の内周面と直角で、その外
周縁に形成された鏡面2に対して直角となるように加工
されている。
しかして鏡面2のある外周部材3□と筒体31とからな
るロータ3は支持体4にある固定軸5上に動圧発生用溝
1).1)+ によってマスバランス、流体バランス及
び磁気バランスが良好に維持されて円滑に回転され、回
転時の空気抵抗も小さく運転できるものである。
るロータ3は支持体4にある固定軸5上に動圧発生用溝
1).1)+ によってマスバランス、流体バランス及
び磁気バランスが良好に維持されて円滑に回転され、回
転時の空気抵抗も小さく運転できるものである。
この場合前記支持体4とロータ3との間に介在された受
部材10の対応面の一方に動圧発生用溝1)を形成し、
対面側は平滑な平面としてスラスト軸受部とするもので
あり、また、ラジアル軸受部は固定軸5の外周面、又は
貫通孔1の円筒面のいずれか一方の面にヘリングボーン
状の動圧発生用溝1).を形成し、他方の面を平滑な円
筒面とするものであり、この実施例においては、スラス
ト荷重を支えるための動圧発生用溝1)、ラジアル荷重
を支えるための動圧発生用/# I 1 + は各々3
〜50μm程度の溝深さである。またこの動圧発生用溝
■1はロータ3の両面に溝加工を施してバランスをよく
し、変形をなくすようにするのもよい。
部材10の対応面の一方に動圧発生用溝1)を形成し、
対面側は平滑な平面としてスラスト軸受部とするもので
あり、また、ラジアル軸受部は固定軸5の外周面、又は
貫通孔1の円筒面のいずれか一方の面にヘリングボーン
状の動圧発生用溝1).を形成し、他方の面を平滑な円
筒面とするものであり、この実施例においては、スラス
ト荷重を支えるための動圧発生用溝1)、ラジアル荷重
を支えるための動圧発生用/# I 1 + は各々3
〜50μm程度の溝深さである。またこの動圧発生用溝
■1はロータ3の両面に溝加工を施してバランスをよく
し、変形をなくすようにするのもよい。
前記筒体31及び/又は受部材10は全面のうねりが0
.3μm以下で最大面粗度が0,1μmの平滑な平面で
あるランド面とした上で、ショツトブラストによって3
〜50μmの深さのスパイラル状溝加工をしたものであ
る。
.3μm以下で最大面粗度が0,1μmの平滑な平面で
あるランド面とした上で、ショツトブラストによって3
〜50μmの深さのスパイラル状溝加工をしたものであ
る。
なお、動圧効果を利用したラジアル軸受を製作する場合
も同様に、上述のショツトブラストによる溝加工をする
ことができる。いずれにしても硬質のセラミックス材料
で高い精度で前記動圧発生用allを加工することがで
き、かつ、その動圧発生に適した摺動部の形状が動圧が
発生した状態においても維持され、しかも、起動、停止
の際に生しる固体摺擦に対しても、ある程度の負荷であ
れば耐久性を持って有効に用いられる。
も同様に、上述のショツトブラストによる溝加工をする
ことができる。いずれにしても硬質のセラミックス材料
で高い精度で前記動圧発生用allを加工することがで
き、かつ、その動圧発生に適した摺動部の形状が動圧が
発生した状態においても維持され、しかも、起動、停止
の際に生しる固体摺擦に対しても、ある程度の負荷であ
れば耐久性を持って有効に用いられる。
本発明は、固定軸に回転自在に嵌合されたセラミックス
製の筒体と、咳筒体の外周に焼ばめ固着した金属製の外
周部材とから、ポリゴンミラーロータを構成し、該ロー
タにマグネットを設けると共に、前記外周部材の外周面
に鏡面を形成したことにより・延性の小さいセラミック
ス製の筒体の外周を延性の大きな金属製外周部材で囲ま
れているので筒体がクランクで破壊することを防ぎ、た
とえセラミックス部材が破壊しても金属部材でさえぎら
れていて、ケース外に飛び出す危険も少なく、しかも焼
ばめ固着により筒体には特に外周表面に大きな初期圧縮
圧力が残留し、遠心力による半径方向及び円周方向の張
力を相殺してクランク発生成いは伝播を抑制し、回転速
度の限界を上げることが可能であり、また、ポリゴンロ
ータの垂直度、平行度を大幅に向上できロータの芯振れ
も可及的に小さくできるほか、ステータコイルやマグネ
ットの付設位置も変化させてバランス調整も容易であっ
て安定した回転運転が可能となり、ポリゴンミラーロー
タを回転させるための永久磁石又は二次導体からなるロ
ータコアと、外周面がミラ一部とされたポリゴンミラー
ロータの厚みが薄くてもその変形量を小さくすることが
でき、従来のポリゴンミラーロータに比べ、ポリゴンミ
ラーロータを装着した回転軸方向の寸法が短くなり、著
しく薄く小型軽量化することが可能であって・その空気
抵抗をも著しく減少せしめることができるし、さらに小
さな動力で従来と同等の回転速度が得られることになり
、また従来と同程度の電力を投入すれば、より高回転速
度を得ることができるポリゴンミラーロータとなるし、
ポリゴンミラーロータの回転軸方向端面をセラミックス
部材部分の保護と堅牢化がはかれ熱膨張に対する変動を
も抑制でき、耐久性も著しく増加し、動圧効果をも生じ
させスラスト荷重を良好に受けることから保守・保安が
らくで起動・停止の際の固体接触があっても摩耗するこ
とがなく、また、製作が容易で寸法精度の出し方も楽で
、精度の高い加工ができて量産性に適し更に、動圧発生
時の動圧発生効果は良好に維持されて高負荷のスラスト
荷重を支えることができるので、光線を安定して走査す
るポリゴンミラーロータとしての機能が常時良好で、か
つセラミックス部材の介在もケース並びに外周部材の金
属部材でカバーすることで破を員による障害がなく安全
性と信輔性を増し、レーザ光等を精度よく反射できるポ
リゴンミラーを構成簡単で製作容易安価な形態で得られ
るものである。
製の筒体と、咳筒体の外周に焼ばめ固着した金属製の外
周部材とから、ポリゴンミラーロータを構成し、該ロー
タにマグネットを設けると共に、前記外周部材の外周面
に鏡面を形成したことにより・延性の小さいセラミック
ス製の筒体の外周を延性の大きな金属製外周部材で囲ま
れているので筒体がクランクで破壊することを防ぎ、た
とえセラミックス部材が破壊しても金属部材でさえぎら
れていて、ケース外に飛び出す危険も少なく、しかも焼
ばめ固着により筒体には特に外周表面に大きな初期圧縮
圧力が残留し、遠心力による半径方向及び円周方向の張
力を相殺してクランク発生成いは伝播を抑制し、回転速
度の限界を上げることが可能であり、また、ポリゴンロ
ータの垂直度、平行度を大幅に向上できロータの芯振れ
も可及的に小さくできるほか、ステータコイルやマグネ
ットの付設位置も変化させてバランス調整も容易であっ
て安定した回転運転が可能となり、ポリゴンミラーロー
タを回転させるための永久磁石又は二次導体からなるロ
ータコアと、外周面がミラ一部とされたポリゴンミラー
ロータの厚みが薄くてもその変形量を小さくすることが
でき、従来のポリゴンミラーロータに比べ、ポリゴンミ
ラーロータを装着した回転軸方向の寸法が短くなり、著
しく薄く小型軽量化することが可能であって・その空気
抵抗をも著しく減少せしめることができるし、さらに小
さな動力で従来と同等の回転速度が得られることになり
、また従来と同程度の電力を投入すれば、より高回転速
度を得ることができるポリゴンミラーロータとなるし、
ポリゴンミラーロータの回転軸方向端面をセラミックス
部材部分の保護と堅牢化がはかれ熱膨張に対する変動を
も抑制でき、耐久性も著しく増加し、動圧効果をも生じ
させスラスト荷重を良好に受けることから保守・保安が
らくで起動・停止の際の固体接触があっても摩耗するこ
とがなく、また、製作が容易で寸法精度の出し方も楽で
、精度の高い加工ができて量産性に適し更に、動圧発生
時の動圧発生効果は良好に維持されて高負荷のスラスト
荷重を支えることができるので、光線を安定して走査す
るポリゴンミラーロータとしての機能が常時良好で、か
つセラミックス部材の介在もケース並びに外周部材の金
属部材でカバーすることで破を員による障害がなく安全
性と信輔性を増し、レーザ光等を精度よく反射できるポ
リゴンミラーを構成簡単で製作容易安価な形態で得られ
るものである。
第1図は本発明の実施例の縦断面図、第2図第1図1−
1線における平面図、第3図は他の実施例の縦断面図、
第4図は第3図■−■線における底面図、第5図は第3
図■■線における平面図、第6図はさらに他の実施例の
一部切断側面図、第7図はロータの斜面図、第8図は従
来例の縦断面図である。 1・・・貫通孔、2・・・鏡面、3・・・ロータ、31
・・・筒体、3□・・・外周部材、4・・・支持体、5
・・・固定軸、51・・・ブツシュ、6・・・ステータ
コイル、7・・・マグネット、8・・・挿入孔、IO・
・・受部材、1).1)+・・・動圧発生用溝。
1線における平面図、第3図は他の実施例の縦断面図、
第4図は第3図■−■線における底面図、第5図は第3
図■■線における平面図、第6図はさらに他の実施例の
一部切断側面図、第7図はロータの斜面図、第8図は従
来例の縦断面図である。 1・・・貫通孔、2・・・鏡面、3・・・ロータ、31
・・・筒体、3□・・・外周部材、4・・・支持体、5
・・・固定軸、51・・・ブツシュ、6・・・ステータ
コイル、7・・・マグネット、8・・・挿入孔、IO・
・・受部材、1).1)+・・・動圧発生用溝。
Claims (4)
- (1)固定軸に回転自在に嵌合されたセラミックス製の
筒体と、該筒体の外周に焼ばめ固着した金属製の外周部
材とからポリゴンミラーロータを構成し、該ロータにマ
グネットを設けると共に、前記外周部材の外周面に鏡面
を形成したことを特徴とするポリゴンミラーロータ。 - (2)前記筒体が、中央に貫通孔のある円筒状であって
、上下両面に動圧発生用溝を備えたものである特許請求
の範囲第1項記載のポリゴンミラーロータ。 - (3)前記外周部材が、外周縁を正多角形としたリング
状の平板体である特許請求の範囲第1項又は第2項記載
のポリゴンミラーロータ。 - (4)前記外周部材が、上下両面を切頭円錐形状面とし
、厚さを外方に向って漸減したものである特許請求の範
囲第1項又は第2項記載のポリゴンミラーロータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9331587A JPH0677109B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | ポリゴンミラ−ロ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9331587A JPH0677109B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | ポリゴンミラ−ロ−タ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63259617A true JPS63259617A (ja) | 1988-10-26 |
JPH0677109B2 JPH0677109B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=14078873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9331587A Expired - Lifetime JPH0677109B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | ポリゴンミラ−ロ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0677109B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0290817U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-18 | ||
US5373391A (en) * | 1992-02-26 | 1994-12-13 | Ebara Corporation | Polygon mirror with embedded yoke |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP9331587A patent/JPH0677109B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0290817U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-18 | ||
US5373391A (en) * | 1992-02-26 | 1994-12-13 | Ebara Corporation | Polygon mirror with embedded yoke |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0677109B2 (ja) | 1994-09-28 |
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