JPS63113513A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
- Publication number
- JPS63113513A JPS63113513A JP25836586A JP25836586A JPS63113513A JP S63113513 A JPS63113513 A JP S63113513A JP 25836586 A JP25836586 A JP 25836586A JP 25836586 A JP25836586 A JP 25836586A JP S63113513 A JPS63113513 A JP S63113513A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光走査装置に関するもので、と（に走査光の速
度制御方法に関する。
度制御方法に関する。
従来のトーションバーを用いた光走査装置では、トーシ
ョンハーノ両端ヲ固定し、トーションバーのほぼ中心に
鏡を装着し、系の共振周波数で鏡を振動させて、鏡に入
射した光の反射方向を変えることにより光を走査してい
た。
ョンハーノ両端ヲ固定し、トーションバーのほぼ中心に
鏡を装着し、系の共振周波数で鏡を振動させて、鏡に入
射した光の反射方向を変えることにより光を走査してい
た。
前記光走査装置ではトーションバーの弾性係数の温度依
存性に起因して、共振周波数が−０，０’１２％／℃の
割合で変化する。従って共振周波数の関数である光走査
時間が、環境温度に依存して変化する欠点があった。
存性に起因して、共振周波数が−０，０’１２％／℃の
割合で変化する。従って共振周波数の関数である光走査
時間が、環境温度に依存して変化する欠点があった。
本発明の目的は、上記欠点を除いた光走査時間の温度依
存性の小さい光走査装置を提供するものである。
存性の小さい光走査装置を提供するものである。
本発明は、トーションバーを用いた光走査装置において
、光走査時間検出部を設け、前記検出部の出力値が基準
値と合致するようトーションバーの駆動エネルギーを制
御することで、光走査時間の温度依存性を低減する。
、光走査時間検出部を設け、前記検出部の出力値が基準
値と合致するようトーションバーの駆動エネルギーを制
御することで、光走査時間の温度依存性を低減する。
以下本発明の実施例を図面に基づいて詳述する。
第１図は本発明の光走査装置の構成図である。
半導体レーザな用いた光源８−１からの光は、集光レン
ズ８−２を通り両端を固定されたトーションバー１と一
体化されたローター６に着装された鏡２で反射されて角
度２０ｍ振れ、被走査物体７を走査する。ローター６の
振動の位相は光源８−１と光センサーで構成される振動
位相センサー９で検出する。振動位相センサー９は、振
動位相センサー９が有する光源８−１から光を出射して
ローター６に当て、その反射光を振動位相センサー９が
有する光センサーで検出して振動の位相を検出する。振
動位相センサー９の出力波形は移相回路部１６でその位
相をトーションバー１が共振するよう変化させ、駆動コ
イル４の駆動部１７で電力増幅して駆動コイ／Ｌ／４に
電流を流す。駆動コイル４が作る磁界がローター６を駆
動する。
ズ８−２を通り両端を固定されたトーションバー１と一
体化されたローター６に着装された鏡２で反射されて角
度２０ｍ振れ、被走査物体７を走査する。ローター６の
振動の位相は光源８−１と光センサーで構成される振動
位相センサー９で検出する。振動位相センサー９は、振
動位相センサー９が有する光源８−１から光を出射して
ローター６に当て、その反射光を振動位相センサー９が
有する光センサーで検出して振動の位相を検出する。振
動位相センサー９の出力波形は移相回路部１６でその位
相をトーションバー１が共振するよう変化させ、駆動コ
イル４の駆動部１７で電力増幅して駆動コイ／Ｌ／４に
電流を流す。駆動コイル４が作る磁界がローター６を駆
動する。
次に光走査速度制御の原理を述べる。位置センサー５か
ら位置センサー６の方向に光走査する。
ら位置センサー６の方向に光走査する。
位置センサー５を光がよぎってから、位置センサー６に
光が達するまでの時間Ｔは ２、−１ Ｔ＝ −５ｉｎ（θＷ／θｍ ） ・
−−・・・（１）ω である。ここでωはトーションバーの共振角周波数、θ
ｍは光走査の最大振れ角、θＷは位置センサーに対応す
る角度である。
光が達するまでの時間Ｔは ２、−１ Ｔ＝ −５ｉｎ（θＷ／θｍ ） ・
−−・・・（１）ω である。ここでωはトーションバーの共振角周波数、θ
ｍは光走査の最大振れ角、θＷは位置センサーに対応す
る角度である。
本発明の光走査速度制御原理は（１）式で共振角周波数
ωが温度で変化したり、最大振れ角θｍが変化すること
で時間Ｔが変化した場合に、ローター６への駆動エネル
ギーを調節することにより、最大振れ角θｍを調節して
時間Ｔを一定に保つことである。
ωが温度で変化したり、最大振れ角θｍが変化すること
で時間Ｔが変化した場合に、ローター６への駆動エネル
ギーを調節することにより、最大振れ角θｍを調節して
時間Ｔを一定に保つことである。
駆動エネルギーを調節する方法を述べる。
第１図及び第２図において、位置センサー５を光がよぎ
った事を示すスタートパルス１２を基準時間パルス発生
回路１８に入力し、基準時間パルス発生回路１８で基準
時間２０を経過した後に立ち上がる基準時間パルス１４
を作る。基準時間パルス１４と位置センサー６を光がよ
ぎった事を示すエンドパルス１３を位相比較部１９で比
較する。
った事を示すスタートパルス１２を基準時間パルス発生
回路１８に入力し、基準時間パルス発生回路１８で基準
時間２０を経過した後に立ち上がる基準時間パルス１４
を作る。基準時間パルス１４と位置センサー６を光がよ
ぎった事を示すエンドパルス１３を位相比較部１９で比
較する。
基準時間パルス１４がエンドパルス１６より早く立ち上
がった場合、すなわち光走査速度が基準より゛おそい場
合は、位相比較部１９の出力電圧１５は高電圧１５−１
を出力し、反対の場合は低電圧１５−２を出力する。基
準時間パルス１４とエンドパルス１３の立ち上がり時間
差以外の時間は、位相比較部１９の出力は高インピーダ
ンスである。
がった場合、すなわち光走査速度が基準より゛おそい場
合は、位相比較部１９の出力電圧１５は高電圧１５−１
を出力し、反対の場合は低電圧１５−２を出力する。基
準時間パルス１４とエンドパルス１３の立ち上がり時間
差以外の時間は、位相比較部１９の出力は高インピーダ
ンスである。
駆動コイル４の駆動部１７は、位相比較部１９の出力電
圧１５に依存して、駆動コイル４へ流す電流を変化して
、最大振れ角θｍを調節し、位置センサー５を光がよぎ
ってから、位置センサー乙に光が達するまでの時間Ｔを
常に一定に保つ。すなわち出力電圧１５が高い時は、駆
動コイル４の電流が高く、最大振れ角θｍが増大し、光
走査速度を増加して、時間Ｔを短か（し基準時間２ｏの
値に近づける。出力電圧１５が低い場合は、上記と反対
に時間Ｔを長くして基準時間２ｏの値に近づける。
圧１５に依存して、駆動コイル４へ流す電流を変化して
、最大振れ角θｍを調節し、位置センサー５を光がよぎ
ってから、位置センサー乙に光が達するまでの時間Ｔを
常に一定に保つ。すなわち出力電圧１５が高い時は、駆
動コイル４の電流が高く、最大振れ角θｍが増大し、光
走査速度を増加して、時間Ｔを短か（し基準時間２ｏの
値に近づける。出力電圧１５が低い場合は、上記と反対
に時間Ｔを長くして基準時間２ｏの値に近づける。
第３図に駆動コイル４の駆動部１７の詳細を示す。出力
電圧１５をローパスフィルター２１を通してＦＥＴ２２
の抵抗値を変化させ、移相回路部１６からの正弦波出力
１１の増幅率を制御する。
電圧１５をローパスフィルター２１を通してＦＥＴ２２
の抵抗値を変化させ、移相回路部１６からの正弦波出力
１１の増幅率を制御する。
第４図に位相比較部１９の詳細を示す。
基準時間パルス１４がエンドパルス１３より早く立ち上
がった場合は、両パルスの立ち上がりの差の時間だけス
イッチ２３が閉じスイッチ２４が開、基準時間パルス１
４がエンドパルス１３より遅い場合は、両パルスの立ち
上がりの差の時間だけスイッチ２６が開、スイッチ２４
が閉となることになり出力電圧１５が変化する。
がった場合は、両パルスの立ち上がりの差の時間だけス
イッチ２３が閉じスイッチ２４が開、基準時間パルス１
４がエンドパルス１３より遅い場合は、両パルスの立ち
上がりの差の時間だけスイッチ２６が開、スイッチ２４
が閉となることになり出力電圧１５が変化する。
以上述べたように、本発明によれば、環境温度に依存せ
ず光走査時間が一定であるので、光走査装置の信頼性が
向上する効果がある。
ず光走査時間が一定であるので、光走査装置の信頼性が
向上する効果がある。
第１図乃至第４図は本発明に係り、第１図は本発明の光
走査装置の構成図、第２図は基準時間パルス、エンドパ
ルス、スタートパルスおよび出力電圧の時間関係図、第
３図は駆動コイル駆動部の回路例を示す回路図、第４図
は位相比較部の回路例を示す回路図である。 １・・・・・・トーションバー、 ２・・・・・・鏡、 ５．６・・・・・・光検出器、 ７・・・・・・被走査物体、 ８−１・・・・・・光源、 ８−２・・・・・・集光レンズ、 １２・・・・・・スタートパルス、 １３・・・・・・エンドパルス、 １４・・・・・・基準時間パルス。 第１図 １”−’
走査装置の構成図、第２図は基準時間パルス、エンドパ
ルス、スタートパルスおよび出力電圧の時間関係図、第
３図は駆動コイル駆動部の回路例を示す回路図、第４図
は位相比較部の回路例を示す回路図である。 １・・・・・・トーションバー、 ２・・・・・・鏡、 ５．６・・・・・・光検出器、 ７・・・・・・被走査物体、 ８−１・・・・・・光源、 ８−２・・・・・・集光レンズ、 １２・・・・・・スタートパルス、 １３・・・・・・エンドパルス、 １４・・・・・・基準時間パルス。 第１図 １”−’
Claims (1)
- 光源、集光レンズ、トーションバーに着装した鏡を一定
の周期で駆動エネルギーを印加して正弦波状に振動させ
る共振スキャナーにて走査方向に平面状もしくは直線状
被走査物体を光走査する光走査装置において、前記被走
査物体の両端近傍にそれぞれ走査光を検出する光検出器
を設け、前記２つの光検出器間を走査する時間が基準時
間と一致するよう前記駆動エネルギーを制御することを
特徴とする光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25836586A JPS63113513A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25836586A JPS63113513A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63113513A true JPS63113513A (ja) | 1988-05-18 |
Family
ID=17319226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25836586A Pending JPS63113513A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63113513A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100738090B1 (ko) | 2005-12-30 | 2007-07-12 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 미러의 동작 주파수의 측정이 가능한 마이크로광스캐너 |
| KR100754623B1 (ko) | 2006-02-01 | 2007-09-05 | 삼성전자주식회사 | 영상 스캔 장치 |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP25836586A patent/JPS63113513A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100738090B1 (ko) | 2005-12-30 | 2007-07-12 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 미러의 동작 주파수의 측정이 가능한 마이크로광스캐너 |
| KR100754623B1 (ko) | 2006-02-01 | 2007-09-05 | 삼성전자주식회사 | 영상 스캔 장치 |
| US7609426B2 (en) | 2006-02-01 | 2009-10-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image scanning apparatus |
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