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JPS6257930B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6257930B2
JPS6257930B2 JP54172199A JP17219979A JPS6257930B2 JP S6257930 B2 JPS6257930 B2 JP S6257930B2 JP 54172199 A JP54172199 A JP 54172199A JP 17219979 A JP17219979 A JP 17219979A JP S6257930 B2 JPS6257930 B2 JP S6257930B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
sine
circuit
gate
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP54172199A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5696213A (en
Inventor
Akio Takahama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Kogaku KK filed Critical Nippon Kogaku KK
Priority to JP17219979A priority Critical patent/JPS5696213A/en
Priority to US06/160,534 priority patent/US4346447A/en
Publication of JPS5696213A publication Critical patent/JPS5696213A/en
Publication of JPS6257930B2 publication Critical patent/JPS6257930B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ポジシヨンエンコーダ、レーザ干渉
計などの如く、検出器が位置変化に応じて位相の
90度異なる2つの正弦信号を出力する装置に用い
られ、該正弦信号をさらに分割して読取る装置に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention enables a detector such as a position encoder, a laser interferometer, etc. to change the phase according to a change in position.
The present invention relates to a device that is used in a device that outputs two sine signals that differ by 90 degrees, and that further divides and reads the sine signal.

従来用いられているポジシヨンエンコーダの信
号の分割読取装置としては、検出器から得られる
位相の90度異なる2つの正弦信号を抵抗アレーに
印加することにより種々の位相の正弦信号を形成
し、これらの信号のゼロクロス点をすべて計数す
るものが知られている。
Conventionally used position encoder signal division reading devices apply two sine signals obtained from a detector with a phase difference of 90 degrees to a resistor array to form sine signals of various phases. A method is known that counts all zero-crossing points of the signal.

しかしながら、このような従来の分割読取装置
は、分割数を多くする為に数多くのゼロ検出回路
が必要となり、従つて回路構成が複雑になるとい
う欠点があつた。
However, such conventional divisional reading devices have the disadvantage that a large number of zero detection circuits are required to increase the number of divisions, resulting in a complicated circuit configuration.

本発明の目的は、回路構成の簡単な分割読取装
置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a divisional reading device with a simple circuit configuration.

以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を
説明する。
The present invention will be described below based on embodiments shown in the drawings.

以下の実施例においては、具体的に話を進める
為に、本発明の分割読取装置をリニアエンコーダ
に応用した例にて説明する。リニアエンコーダで
は通常、方向別弁の為に、検出器の出力として互
いに位相の90度異なる2つの正弦電圧を得ること
ができる。
In the following embodiments, in order to proceed with the discussion concretely, an example in which the divisional reading device of the present invention is applied to a linear encoder will be explained. In a linear encoder, two sine voltages with a phase difference of 90 degrees can be obtained as the output of the detector due to the directional valve.

第1図は本発明の分割読取の原理を示す回路図
であつて、ゼロ検出回路2,4は上述の検出器か
ら得られた2つの正弦電圧e0,e90(e90はe0に対
し90度位相の進んだ正弦電圧である)を入力して
0Vを基準として矩形電圧に波形整形する為のも
のである。ゲート回路6は、電圧e0に対応した矩
形電圧の立上りと立下りにてパルスを形成すると
共に電圧e0とe90とに夫々対応した2つの矩形電
圧の関係からエンコーダの主スケールの移動方向
を弁別し、正方向の移動の時、up―downカウン
タ8のup入力aに接続される端子にパルスを出
力し、逆方向の移動の時、up―downカウンタ8
のdown入力bに接続される端子にパルスを出力
する。従つて、カウンタ8の計数パルスの数は、
初期位置からの主スケールの変位に対応する。ま
た電圧e0の半周期が主スケール上の1μに対応す
る如く構成されているとすれば、カウンタ8の計
数内容nによつて主スケールの変位はnμである
ことがわかる。このような構成は、従来のリニア
エンコーダの計数回路として良く知られているも
のである。
FIG. 1 is a circuit diagram showing the principle of split reading according to the present invention, in which the zero detection circuits 2 and 4 detect two sinusoidal voltages e 0 and e 90 obtained from the above-mentioned detector (e 90 is equal to e 0) . (which is a sine voltage with a phase lead of 90 degrees)
This is for shaping the waveform into a rectangular voltage with 0V as the reference. The gate circuit 6 forms pulses at the rise and fall of a rectangular voltage corresponding to the voltage e 0 , and determines the moving direction of the main scale of the encoder from the relationship between the two rectangular voltages corresponding to the voltages e 0 and e 90 , respectively. When the movement is in the forward direction, a pulse is output to the terminal connected to the up input a of the up-down counter 8, and when the movement is in the reverse direction, the pulse is output to the terminal connected to the up input a of the up-down counter 8.
A pulse is output to the terminal connected to the down input b of the Therefore, the number of counting pulses of the counter 8 is:
Corresponds to the displacement of the main scale from its initial position. Further, if the configuration is such that a half period of the voltage e 0 corresponds to 1 μ on the main scale, it can be seen that the displacement of the main scale is n μ based on the count n of the counter 8. Such a configuration is well known as a counting circuit of a conventional linear encoder.

一方、正弦電圧e0,e90は夫々A―Dコンバー
タ10,12にてデジタル信号eD0,eD90に変
換された後、割算回路14でeD0/eD90が演算さ
れ出力 される。演算回路16はtan-1D0/eD90を演算
する。
On the other hand, the sine voltages e 0 and e 90 are converted into digital signals e D0 and e D90 by the AD converters 10 and 12, respectively, and then e D0 /e D90 is calculated by the dividing circuit 14 and output. The calculation circuit 16 calculates tan −1 e D0 /e D90 .

換算回路18は、正弦電圧の半周期(180度)を
いくつに分割するかによりあらかじめ設定された
丸め幅に従つて演算回路16の出力であるtan-1
D0/eD90を換算した信号を出力する(すなわち
、正弦 電圧の半周期が内挿されたことになる)。例え
ば、第2図に示した如く半周期を10分割する場合
には丸め幅が18度となり、従つて換算回路18は
tan-1D0/eD90が0度〜18度の時は0、18度〜3
6度の 時は1、36度〜54度の時は2……という如く18度
毎に0〜9に対応したデジタル信号を出力する。
半周期(180度)が1μに相当すれば、これらの
信号のオーダーは0.1μに相当する。加算回路2
0は、カウンタ8の計数内容に換算回路18の出
力を加算して表示器22の駆動信号とする。従つ
て、換算回路18の出力をm(0≦m≦9)とす
れば、表示回路22には(n+0.1m)μと表示
される。従つて読取精度が一桁向上したことにな
る。なお、以上の説明で用いた演算回路16及び
換算回路18はROMに比eD0/eD90と、該比に対
応す る0〜9までの値とを対応させて記憶させてお
き、割算回路14からの値をROMの番地指定デ
ータとして用いる如く成すこともできる。さら
に、電圧e0とe90との間でアナログ的に比を演算
した後、A―D変換し処理を行なうこともでき
る。
The conversion circuit 18 converts tan -1 , which is the output of the arithmetic circuit 16, according to the rounding width set in advance depending on how many parts the half cycle (180 degrees) of the sine voltage is divided into.
A signal converted from e D0 /e D90 is output (that is, a half cycle of the sine voltage is interpolated). For example, when dividing a half period into 10 as shown in FIG. 2, the rounding width is 18 degrees, so the conversion circuit 18
tan -1 e D0 /e 0 when D90 is 0 degrees to 18 degrees, 18 degrees to 3
A digital signal corresponding to 0 to 9 is output every 18 degrees, such as 1 for 6 degrees, 2 for 36 degrees to 54 degrees, and so on.
If a half period (180 degrees) corresponds to 1μ, then the order of these signals corresponds to 0.1μ. Addition circuit 2
0 is a drive signal for the display 22 by adding the output of the conversion circuit 18 to the count content of the counter 8. Therefore, if the output of the conversion circuit 18 is m (0≦m≦9), the display circuit 22 displays (n+0.1m) μ. Therefore, the reading accuracy has been improved by one order of magnitude. Note that the arithmetic circuit 16 and conversion circuit 18 used in the above explanation store the ratio e D0 /e D90 and the values from 0 to 9 corresponding to the ratio in the ROM, and use the division circuit It is also possible to use the value from 14 as ROM address designation data. Furthermore, after calculating the ratio between the voltages e 0 and e 90 in an analog manner, it is also possible to perform analog-to-digital conversion and processing.

しかしながら、以上の説明で用いた回路構成で
は、正弦電圧e0のゼロクロス点を検出する回路
と、分割読取に用いる回路と、が独立しているの
で、例えば夫々の回路によりドリフト量が異なつ
ていると第3図に示した如く桁上りの位置で読取
りに不都合が生じてしまう。以下はその欠点を解
決した本発明の一実施例の説明である。第3図a
は正弦電圧e90であり、第3図bは正弦電圧e0
ある。第3図cは正弦電圧e90のゼロクロス点で
波形成形された矩形電圧、第3図dは正弦電圧e0
のゼロクロス点で波形成形された矩形電圧であり
夫々第1図の回路2,4の出力である。第3図
e,fは第3図c,dの立上り、立下りで生ずる
パルスである。第3図gは第1図のカウンタ8の
計数値である。第3図h,iは夫々第3図bの半
周期を分割した場合の値であつて、第3図hは第
3図gに対して基準位置が左へずれた場合、第3
図iは第3図gに対して基準位置が右へずれた場
合の例である。すなわち、分割した最小桁の読取
が第3図hの如く成つている場合全体の読取は、
位置Aでは9999であり、位置Bでは9990であり、
位置Cでは0000であつて、位置Bにおける9990な
る読取値は無意味な値となつてしまう。また、分
割した最小桁の読取が第3図iの如く成つている
場合、位置Aでは9998であり、位置Bでは9999で
あり位置Cでは0009であり位置Cにおける0009な
る読取値は無意味な値となつてしまう。従つて表
示としては、第3図gか第3図h(もしくはi)
のどちらか一方を基準として他方の値を修正して
おかないと、デジタル表示の意味が無くなつてし
まう。第4図及び第5図は第3図h、すなわち最
小桁の値を基準として、第3図gの読みを修正す
る例である。第4図の回路で第1図のそれと異な
る点は、カウンタの機能を後述の如く変えた点
と、ゲート回路30を付加した点にあり、他は第
1図と同様であるので同じ部分の説明は省略す
る。第4図のブロツク30,80を第5図によつ
て詳述する。第5図において、ゲート50は換算
回路18の出力が、0〜4の時上側の出力端子に
Hの信号を、5〜9の時下側の出力端子にHの信
号を夫々出力する。ゲート51は排他的論理和ゲ
ートであり、ゼロ検出回路2,4からの信号レベ
ルが異なる時にのみHの信号を出力する。ゲート
52は、ゲート50の上側の出力端子とゲート5
1の出力端子とに生じた信号を入力し、2つの入
力信号がHの時はHの信号を出力する。ワンシヨ
ツト回路54はゲート52の出力がHとなるとパ
ルスを1つ出力し、プリセツトカウンタ82の計
数内容を1つ増加させる。一方、ゲート53は、
ゲート50の下側の出力端子とゲート51の2つ
の出力端子とに生じた信号を入力し、ゲート50
の下側の出力端子にHの信号が、またゲート51
の出力端子に夫々Lの信号が生じた時にHの信号
を出力する、ワンシヨツト回路55はゲート53
の出力がHとなるとパルスを1つ出力し、プリセ
ツトカウンタ82の計数内容を1つ減ずる。カウ
ンタ80は各桁に対応したカウンタ81a,81
b,81cを有し、第1図のゲート回路6からの
パルスが順次計数されている。なお付記すればこ
のカウンタ81a〜81cは第1図のカウンタ8
に対応する。プリセツトカウンタ82は、これら
カウンタ81a,81b,81cの内容を並列的
に入力されている。このような構成であるから、
例えば第3図Bの位置で、換算回路18の出力が
第3図hの如く0であつた場合を仮定する。この
時、カウンタ81aは9、カウンタ81bは9、
カウンタ81cは9を夫々計数している。ゼロ検
出回路2,4の出力は夫々L、Hであるからゲー
ト51はHの信号を出力する。一方、換算回路1
8の出力は0であるからゲート50の上側端子へ
の出力はHとなり、ゲート52の出力はH、従つ
てプリセツトカウンタ82はパルスを1つ計数
し、その計数内容は000となる。従つて、この場
合には第3図の位置Aでは9999、位置Bでは
0000、位置Cでも0000となり計数値が連続する。
また例えば第3図Cの位置で換算回路18の出力
が第3図iの如く9であつた場合を仮定する。こ
の時カウンタ81aは0、カウンタ81bは0、
カウンタ81cは0を夫々計数している。ゼロ検
出回路2,4の出力は夫々H、Hであるからゲー
ト51はLの信号を出力する。一方、換算回路1
8の出力は9であるからゲート50の下側端子へ
の出力はHとなり、ゲート53の出力はH、従つ
てプリセツトカウンタ82はパルスを1つ減算
し、その計数内容は999となる。従つて、この場
合には第3図の位置Aでは9998、位置Bでは
9999、位置Cでも9999となり計数値が連続する。
However, in the circuit configuration used in the above explanation, the circuit for detecting the zero-crossing point of the sine voltage e 0 and the circuit used for divided reading are independent, so for example, the amount of drift may differ depending on each circuit. As shown in FIG. 3, reading problems occur at carry positions. The following is a description of an embodiment of the present invention that overcomes the drawbacks. Figure 3a
is the sinusoidal voltage e 90 and FIG. 3b is the sinusoidal voltage e 0 . Figure 3c shows a rectangular voltage shaped into a waveform at the zero crossing point of the sine voltage e 90 , and Figure 3d shows the sine voltage e 0.
These are the outputs of circuits 2 and 4 in FIG. 1, respectively. Figures 3e and 3f are pulses generated at the rising and falling edges of Figures 3c and d. FIG. 3g shows the count value of the counter 8 in FIG. Fig. 3 h and i are the values obtained by dividing the half period of Fig. 3 b, respectively.
Figure i is an example where the reference position is shifted to the right with respect to Figure 3g. In other words, when the divided minimum digit is read as shown in Figure 3h, the overall reading is as follows:
At position A it is 9999, at position B it is 9990,
The reading value of 0000 at position C and 9990 at position B becomes a meaningless value. In addition, if the reading of the divided minimum digit is as shown in Figure 3 i, at position A it is 9998, at position B it is 9999, at position C it is 0009, and the reading value 0009 at position C is meaningless. It becomes a value. Therefore, the display should be either Fig. 3 g or Fig. 3 h (or i).
If one of the two values is not used as a reference and the value of the other is not corrected, the digital display will lose its meaning. FIGS. 4 and 5 are examples of correcting the reading of FIG. 3 g based on FIG. 3 h, that is, the value of the minimum digit. The difference between the circuit in Figure 4 and that in Figure 1 is that the function of the counter has been changed as described later, and a gate circuit 30 has been added. Explanation will be omitted. Blocks 30 and 80 of FIG. 4 will be explained in detail with reference to FIG. In FIG. 5, the gate 50 outputs an H signal to the upper output terminal when the output of the conversion circuit 18 is 0 to 4, and outputs an H signal to the lower output terminal when the output is 5 to 9. Gate 51 is an exclusive OR gate and outputs an H signal only when the signal levels from zero detection circuits 2 and 4 are different. The gate 52 connects the upper output terminal of the gate 50 and the gate 5
The signal generated at the first output terminal is input, and when the two input signals are H, an H signal is output. When the output of the gate 52 becomes H, the one shot circuit 54 outputs one pulse and increases the count of the preset counter 82 by one. On the other hand, the gate 53 is
A signal generated at the lower output terminal of the gate 50 and the two output terminals of the gate 51 is input, and the signal generated at the lower output terminal of the gate 50 is inputted.
An H signal is sent to the lower output terminal of the gate 51.
The one-shot circuit 55 outputs an H signal when an L signal is generated at the output terminal of the gate 53.
When the output becomes H, one pulse is output and the count content of the preset counter 82 is decremented by one. The counter 80 has counters 81a and 81 corresponding to each digit.
b, 81c, and the pulses from the gate circuit 6 in FIG. 1 are sequentially counted. It should be noted that the counters 81a to 81c are the counters 8 in FIG.
corresponds to The preset counter 82 receives the contents of these counters 81a, 81b, and 81c in parallel. Because of this configuration,
For example, assume that at the position shown in FIG. 3B, the output of the converting circuit 18 is 0 as shown in FIG. 3h. At this time, the counter 81a is 9, the counter 81b is 9,
The counter 81c counts 9. Since the outputs of the zero detection circuits 2 and 4 are L and H, respectively, the gate 51 outputs an H signal. On the other hand, conversion circuit 1
Since the output of 8 is 0, the output to the upper terminal of gate 50 is H, and the output of gate 52 is H. Therefore, preset counter 82 counts one pulse, and the count becomes 000. Therefore, in this case, 9999 is at position A in Figure 3, and 9999 is at position B.
0000, the count value becomes 0000 even at position C, and the count value continues.
For example, assume that the output of the conversion circuit 18 at the position shown in FIG. 3C is 9 as shown in FIG. 3I. At this time, the counter 81a is 0, the counter 81b is 0,
The counter 81c counts 0. Since the outputs of the zero detection circuits 2 and 4 are H and H, respectively, the gate 51 outputs an L signal. On the other hand, conversion circuit 1
Since the output of 8 is 9, the output to the lower terminal of gate 50 is H, and the output of gate 53 is H. Therefore, preset counter 82 subtracts one pulse, and the count becomes 999. Therefore, in this case, 9998 is at position A in Figure 3, and 9998 is at position B.
9999, the count value becomes 9999 at position C as well, and the count value continues.

このようにして、各回路の固有の誤差により桁
上りの位置で生ずる場合のある不連続な値は、読
取りの段階で修正することができる。
In this way, discontinuous values that may occur at carry positions due to inherent errors in each circuit can be corrected at the reading stage.

以上述べた如く、本発明の分割読取装置は、位
相が90度異なる2つの正弦信号の大きさの比をと
り、この比を例えばリニアエンコーダの主スケー
ルの変位に対応させる構成なので、回路構成が簡
単であるのみならず、換算回路、ROM等の構成
を少し変えるのみで分割数を自由に調節できる利
点があり、さらに、読取値を連続して得ることが
できる。
As described above, the split reading device of the present invention takes the ratio of the magnitudes of two sine signals whose phases differ by 90 degrees, and makes this ratio correspond to, for example, the displacement of the main scale of a linear encoder, so the circuit configuration is Not only is it simple, but it also has the advantage of being able to freely adjust the number of divisions by just slightly changing the configuration of the conversion circuit, ROM, etc., and furthermore, reading values can be obtained continuously.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の装置の原理を示すブロツク
図、第2図は分割の様子を説明する為の波形図、
第3図は第1図の回路において生ずる場合のある
読取誤差を説明する波形図、第4図は第1図の回
路に読取誤差の補正回路を付加した実施例のブロ
ツク図、第5図は第4図のブロツク30,80の
詳細を示すブロツク図である。 〔主要部分の符号の説明〕 割算回路……1
4、換算回路……18。
Fig. 1 is a block diagram showing the principle of the device of the present invention, Fig. 2 is a waveform diagram to explain the state of division,
FIG. 3 is a waveform diagram explaining reading errors that may occur in the circuit of FIG. 1, FIG. 4 is a block diagram of an embodiment in which a reading error correction circuit is added to the circuit of FIG. 1, and FIG. 5 is a block diagram showing details of blocks 30 and 80 of FIG. 4. FIG. [Explanation of symbols of main parts] Division circuit...1
4. Conversion circuit...18.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 位置変化に応じて検出器より得られる位相の
90度異なる2つの正弦信号を所定のレベルで夫々
パルス化するパルス化手段と、前記パルス化手段
によるパルスのうち、一方の正弦信号に対応した
パルスを正方向へ計数し、他方の正弦信号に対応
したパルスを負方向へ計数する計数手段と、を有
する読取装置に用いられる正弦信号の分割読取装
置において、 前記2つの正弦信号の大きさの比を演算して出
力する割算手段と、 前記割算手段の出力を前記パルス間の位置に対
応させた内挿値に変換し出力する換算手段と、 前記内挿値が内挿最大値の1/2以下である場合
に第1信号を、それ以外の場合に第2信号を出力
する第1ゲート手段と、 前記正弦信号の一方が前記所定のレベルより大
きく、且つ他方が前記所定レベルより小さい場合
に第3信号を、それ以外のときは第4信号を出力
する第2ゲート手段と、 前記第1信号と前記第3信号が共に生じると前
記計数手段の計数値に1を加算し、前記第2信号
と前記第4信号が共に生じると前記計数手段の計
数値から1を減算する補正手段と、 前記補正手段により補正された前記計数手段の
計数値と前記換算手段の内挿値とを合成し、合成
値を出力する合成手段と、 を有することを特徴とする分割読取装置。
[Claims] 1. The phase obtained by the detector according to the position change.
pulsing means for pulsing two sine signals that differ by 90 degrees at predetermined levels, and counting pulses corresponding to one sine signal in the positive direction among the pulses produced by the pulsing means, and adding the pulses to the other sine signal. A sine signal division reading device for use in a reading device comprising: counting means for counting corresponding pulses in the negative direction; converting means for converting the output of the dividing means into an interpolated value corresponding to the position between the pulses, and outputting the first signal; a first gate means for outputting a second signal in other cases; and a third signal for outputting a third signal when one of the sine signals is higher than the predetermined level and the other is lower than the predetermined level; a second gate means for outputting a fourth signal; when the first signal and the third signal occur together, 1 is added to the count value of the counting means; when the second signal and the fourth signal occur together; a correction means for subtracting 1 from the count value of the counting means; a synthesis means for synthesizing the count value of the counting means corrected by the correction means and the interpolated value of the conversion means and outputting a composite value; A split reading device characterized by having:
JP17219979A 1979-12-28 1979-12-28 Dividing/reading circuit for sine signal Granted JPS5696213A (en)

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JP17219979A JPS5696213A (en) 1979-12-28 1979-12-28 Dividing/reading circuit for sine signal
US06/160,534 US4346447A (en) 1979-12-28 1980-06-18 Divisional reading device for sine signals

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JP17219979A JPS5696213A (en) 1979-12-28 1979-12-28 Dividing/reading circuit for sine signal

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JPS5696213A JPS5696213A (en) 1981-08-04
JPS6257930B2 true JPS6257930B2 (en) 1987-12-03

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