JPS6236112Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、血圧計などに使用され、流体圧力
を電気信号に変換する半導体感圧装置に関するも
のである。

従来、半導体感圧装置は第１図のように電気絶
縁基台１上に熱歪防止用スペーサ２を介して感圧
チツプ３を弾性接着剤４，５により接着し、上記
感圧チツプ３とリード片６，７とにリード線８，
９をワイヤボンデイングしたのち、基台１の開口
部にキヤツプ１０を接着して構成されている。上
記基台１およびスペーサ２には感圧チツプ３に流
体圧力を導入するための導入孔１１と連通孔１２
が形成されており、この孔１１，１２を通つて流
体圧力が感圧チツプ３に付勢されたとき、その圧
力に応じて変化する電気信号がリード片６，７か
ら取り出される。

しかし、上記のような構成では基台１とスペー
サ２並びにスペーサ２と感圧チツプ３の各間に弾
性接着剤層４，５を形成しなければねらず、その
接着剤層の形成に２工程を要する。さらに、基台
１とスペーサ２間の接着に際しては、両者の位置
合わせに作業者の十分な注意力を必要とするもの
で、きわめて生産性の悪いものであつた。

この考案は上記の欠点を改善するためになされ
たもので、以下、この考案の実施例を図面にした
がつて説明する。

第２図はこの考案による半導体感圧装置の一例
を示す断面図で、第１図と同一部分に同一番号が
付されている。

第２図に示すように、１対のリード片６，７の
うち、一方のリード片７が流体圧力の導入孔１１
をまたいで基台１に一体に成形されている。この
リード片７は感圧チツプ３と同じ熱膨張係数を有
するコバール、鉄−ニツケル合金からなり、上記
リード片７上に感圧チツプ３が弾性接着剤層１３
を介して接着されている。

また、感圧チツプ３の裏面に流体圧力を連通さ
せるため、上記リード片７に連通孔１４が形成さ
れている。

上記構成から明らかなように、基台１に一体形
成されたリード片７に感圧チツプ３を直接に固定
するようにしたから、従来のように、第１図で示
したスペーサ２を省略することができて部品点数
の減少が図れる。また、スペーサ２を基台１に接
着するための接着工程が省略でき、生産の能率化
を図ることができ、さらに、基台１とスペーサ２
との位置合わせ工程も不要となる。

この考案は以上詳述したように、絶縁基台に複
数のリード片を一体に形成し、所定のリード片の
上面に接着剤層を介して感圧チツプを固定するよ
うにしたから、部品点数が少なく、生産の容易な
半導体感圧装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体感圧装置を示す断面図、
第２図はこの考案による半導体感圧装置の一実施
例の要部を示す断面図である。 １……基台、３……半導体感圧チツプ、６，７
……リード片、１１……圧力導入孔、１３……弾
性接着剤層、１４……連通孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 流体圧力の導入孔をもつた絶縁基台に複数のリ
   ード片を一体に形成し、所定のリード片の上面に
   接着剤層を介して感圧チツプを固定するととも
   に、上記圧力導入孔を上記チツプの受圧部に連通
   させるための連通孔を上記リード片に形成し、さ
   らに感圧チツプの設定用リード片の熱膨張係数を
   感圧チツプのそれと等しくなるように選定したこ
   とを特徴とする半導体感圧装置。