Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPS62195509A - 電子部品形状検査装置 - Google Patents

電子部品形状検査装置

Info

Publication number
JPS62195509A
JPS62195509A JP61038586A JP3858686A JPS62195509A JP S62195509 A JPS62195509 A JP S62195509A JP 61038586 A JP61038586 A JP 61038586A JP 3858686 A JP3858686 A JP 3858686A JP S62195509 A JPS62195509 A JP S62195509A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
terminal
lead
circuit
pulse
distance sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61038586A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiichi Tamura
恵一 田村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP61038586A priority Critical patent/JPS62195509A/ja
Priority to US07/016,732 priority patent/US4739175A/en
Publication of JPS62195509A publication Critical patent/JPS62195509A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0813Controlling of single components prior to mounting, e.g. orientation, component geometry
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/51Plural diverse manufacturing apparatus including means for metal shaping or assembling
    • Y10T29/5147Plural diverse manufacturing apparatus including means for metal shaping or assembling including composite tool
    • Y10T29/5148Plural diverse manufacturing apparatus including means for metal shaping or assembling including composite tool including severing means
    • Y10T29/515Plural diverse manufacturing apparatus including means for metal shaping or assembling including composite tool including severing means to trim electric component

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は電子部品形状検査装置、特に電子部品のリー
ド端子形状を検査する装置に関するものである。
〔従来の技術〕
第5図は、従来のリード端子形状を検査する装置を示す
もので、図中(1)は電子部品のパッケージモールド部
、(2)は被検査物であるリード端子部で、パッケージ
モールド部(1)の端面より等ピッチ間隔で配列されて
いる。(イ)はテレビジョンカメラで、リード端子部(
2)の画像を取込んで二次元の画像処理を行なう。
従来の電子部品形状検査装置は上記のように構成され、
電子部品のパッケージモールド部(1)の両側端に配列
したリード端子部(2)は、その上方に位置するテレビ
ジョンカメラ(イ)で画像として取込まれる。そして取
込まれた被検査物であるリード端子部(2)の二次元画
像は、二値化処理さnて各端子間のピッチが等ピッチ間
隔であるか否かが測定され、その測定結果から曲がりの
有無が検査さ几る。
〔発明が解決しよ5とする問題点〕 上記のような従来の電子部品形状検査装置では、二次元
的な画像処理により検査を行なっているため、リード端
子の三次元的な異常状態である浮き沈み状態の判定は不
可能であり、また画像処理装置を用いることは、コスト
面から見ても高価である等の問題がある。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、リード端子の曲がりとともに浮沈状態も検査する
ことができ、しかも装置を安価に構成できる電子部品形
状検査装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る電子部品形状検査装置は、電子部品のリ
ード端子の曲がりと浮沈状態とを同時に検査するために
、検出センナとして距離センサを用い、この距離センナ
をリード端子上方を定速で平行移動させてリード端子の
曲がりおよび浮沈状態を検査するようにしたものである
〔作用〕
この発明においては、検出センナとして距離センサを用
いているので、センサ信号とセンサ移動量とからリード
端子の曲がり状態が検査さn、またセンサの距離信号か
らリード端子の浮沈状態が検査さn、リード端子の曲が
りおよび浮沈状態の同時検査が可能となる。
〔実施例〕
第1図〜第4図はこの発明の一実施例を示すもので、図
中、第5図と同一符号は同−又は和尚部分を示す。 (
2a)、(2b)、(2c)、(2a)はパッケージモ
ールド部(1)の両端縁に配列されたリード端子で。
(2a)は正常なもの、  (2b)はリード端子配列
方向に曲がっているもの、(2c)は上向きに浮いてい
るもの、(2a)は下向きに沈んでいるものをそれぞれ
示す。(8)は距離センナ本体で、発光素子(4)と、
この発光素子(4)から照射され対象物ではね返った反
射光を受光する受光素子(6)とを備えている。この距
離センサ本体(8)は、第1図(a) 、 (t))に
示すようにフラットなベース(211上に位置決め固定
された被検査物としての電子部品の両側のリード端子(
2a)。
(2b) 、 (2c) 、 (2a)  上方にそn
−6n設置さnている。
(6)は上記距離センナ本体(8)をベース■l)に平
行にリード端子配列方向に定速移動させるための移動機
構を構成する取付はブロックで、その下端両側に距離セ
ンサ本体(8)がそれぞれ取付けられている。
(γ)は上記取付はブロック(6)を移動させるねじ部
、(8)は直線ガイド部、(9)はねじ部(γ)を定速
駆動するステッピングモータである。
また、叫はステッピングモータ駆動回路、(2)はパル
ス発生回路で、上記ステッピングモータ駆動回路C1す
およびパルス演算回路(至)に基準パルス信号を出力す
る。0鴇は正規のリードピッチヲパルス換算した比較値
と距離センナ本体(3)で測定さf′Lfcリードピッ
チをパルス換算した実測値とを比較するパルス比較回路
で、その判定結果は、リードピッチ(曲がり)の判定と
して処理される。a旬は距離センナ本体(8)からの出
力信号を増幅する出力増幅回路、□□□〕はリード端子
のエツジを抽出する立上がり検出回路、(16a)はリ
ード端子の浮き状態を比較するコンパレータ、(16b
)はリード端子の沈み状態を比較するコンパレータで、
上記距離センナ本体(8)からの出力信号は、各コンパ
レータ(16a)。
(16/b)で比較値とコンパレートさ九、比較値に対
する実測値の出力の相違からリード端子の浮沈状態が判
定さ九る。
また、第4図において(22a)は正常なリード端子(
2a)を検出した際の出力波形、(221:+)は曲か
つ−hv−ド端子(2b)の出力波形、(22c)は上
向きに浮いたリード端子(2C)に対応する出力波形、
(22d)は下向きに沈んだリード端子(2d)に対応
する出力波形である。
上記のように構成された電子部品形状検査装置において
は、まずベース@ll上に電子部品を位置決め固定し、
次いで距離センサ本体(8)の応答速度を考慮した一定
のスピードでステッピングモータ(9)を駆動し、距離
センサ本体(8)をパッケージモールド部(1)の各側
のリード端子配列方向にそってべ一ス(211に平行に
定速移動させる0こnにより、第4図に示すようなセン
サ出力が得らnる。
ところで、センサ出力は、リード端子(2a)。
(2b)、(2c)、(2a)が曲がりも浮き沈みもな
く正常状態となっている場合には、出力波形(22a)
で示すように一定間隔で一定振幅のパルスとなる。とこ
ろがリード端子(2b)のように曲がりがある場合には
、出力波形(22b)で示すようにパルス間隔が変化し
、この変化はパルス比較回路α印で検出さnる。
またリード端子(2C)のように上向きに浮いている場
合には、出力波形(22c)で示すように発光素子(4
)からの距離が短かくなるので比較値に比べて振幅が大
きくなり、この変化はコンパレータ(16a)で検出さ
几る。またリード端子(2d)のように下向きに沈んで
いる場合には、出力波形(22111)で示すように発
光素子(4)からの距離が長くなるので比較値に比べて
振幅が小さくなシ、この変化はコンパレータ(16b)
で検出さnる0 すなわち、リード端子の曲がりは、出力波形の立上がり
タイミング、本実施例では距離センサ本体(8)の移動
量と一致するステッピングモータ駆動回路頭に与えるパ
ルス数のカウント値の変化をみて、等間隔の立上がりタ
イミングで得らnでいるか否かにより判定さn、tたリ
ード端子の浮き沈みは、センサ出力波形の山の高低から
判定される。
具体的には、ステッピングモータ駆動回路α@に、パル
ス発生回路(2)より所定のパルス数および周波数を与
える〇一方センナ出力波形は、増幅後立上がシ検出回路
邸)でリード端子端面エツジを検出し、パルス演算回路
(2)に立上が9タイミング信号を与える。パルス演算
回路(2)では、立上がりタイミング間のパルス数を演
算処理し、パルス比較回路α句にその結果を与える。こ
のパルス比較回路(1B)では、正常なリード端子間の
パルス換算値と比較を行ない、異なnばリード端子が曲
がっていると判定し、また一致すれば正常であると判定
する。
一方、出力増幅されたセンサ出力は、一対のコンパレー
タ(16a)、(16b)に与えら九、ここで出力波形
の出力の高低、すなわち振幅を正常なリード端子の出力
値と比較する。この際、リード端子部の出力波形を判定
することから、コンパレータ(16a)、(16b)は
立上がり検出信号と同期させて動作させる。このコンパ
レータ(16a)、(16b)の判定結果からリード端
子部の浮き沈み状態を判定する。
なお上記実施例では、距離センナ本体の移動機構を、取
付はブロック(6)、ねじ部(γ)、直線ガイド部(8
)、およびステッピングモータ(9)で構成するものを
示したが、パルス駆動のアクチュエータを用いて同様の
動作をするものであnば、他の構成の移動機構でもよい
。例えば、リニアステッピングモータ駆動、サーボモー
タ駆動等の7クチユエータを用いてもよく、またねじ駆
動でなくベルト駆動、ラックピニオン駆動、あるいはワ
イヤ駆動等の駆動でもよい。このようにしても、上記実
施例と同様の効果が期待できる。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したとおり、リード端子検出センサ
として距離センサを用い、この距離センサをリード端子
上方を定速で平行移動させるようにしているので、リー
ド端子の曲がりおよび浮沈状態を同時に検査することが
でき、電子部品実装の品質および信頼性を向上させるこ
とができる。
また装置構成が簡単であるので、安価な装置が実現でき
る等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図(alはこの発明の一実施例を示す電子部品形状
検査装置の構成図、同図(1))はその要部側面図、第
2図はステッピングモータ駆動回路およびセンナ出力信
号処理回路を示すブロック図、第3図(alは検査対象
電子部品の斜視図、同図(1))は同様の正面図、第4
図はこの発明のセンサ出力波形の一例を示すグラフ、第
5図は従来の電子部品形状検査装置を示す構成図である
。 (1):パッケージモールド部 (2a)−(2b)−(2c)、(2a)  ; リー
ド端子(8):距離センサ本体 (4)二発光素子(6
):受光素子    (9)ニスチッピングモータα田
:パルス発生回路 (2):パルス演算回路a印:パル
ス比較回路 (至)二重上がシ検出回路(16a)、(
16b) :コンバレータ(211:ベース なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示すものと
する。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)リード付電子部品のリード端子の曲がりおよび浮
    沈の状態を検査する装置において、上記リード付電子部
    品を位置決めするベースと、リード端子の上方位置に配
    置された距離センサと、この距離センサをリード端子の
    配列方向にベースと平行に定速移動させるセンサ移動機
    構と、上記距離センサからの出力信号に基づきリード端
    子の曲がりおよび浮沈状態を検出する信号処理回路とを
    具備することを特徴とする電子部品形状検査装置。
  2. (2)信号処理回路は、正規状態のリード端子のリード
    ピッチを定振幅パルスにパルス変換した比較値とセンサ
    からの出力信号をパルス変換した実測値とを比較し両者
    のパルス間隔の相違によりリード端子の曲がりを検出す
    る曲がり検出手段と、上記比較値と実測値とを比較し両
    者の振幅の相違によりリード端子の浮沈状態を検出する
    浮沈検出手段とを有していることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載の電子部品形状検査装置。
JP61038586A 1986-02-24 1986-02-24 電子部品形状検査装置 Pending JPS62195509A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61038586A JPS62195509A (ja) 1986-02-24 1986-02-24 電子部品形状検査装置
US07/016,732 US4739175A (en) 1986-02-24 1987-02-20 Apparatus for inspecting configuration of terminal legs of an electronic device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61038586A JPS62195509A (ja) 1986-02-24 1986-02-24 電子部品形状検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62195509A true JPS62195509A (ja) 1987-08-28

Family

ID=12529399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61038586A Pending JPS62195509A (ja) 1986-02-24 1986-02-24 電子部品形状検査装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4739175A (ja)
JP (1) JPS62195509A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01272126A (ja) * 1988-04-25 1989-10-31 Sony Corp 半導体装置のリード曲り検査装置
JPH02199900A (ja) * 1989-01-27 1990-08-08 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子部品実装装置
JPH04350506A (ja) * 1991-05-28 1992-12-04 Matsushita Electric Works Ltd リード半田付け及び半田面検査方法

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4862510A (en) * 1987-03-24 1989-08-29 Emhart Industries, Inc. Lead sense system for component insertion machine
JPH0666370B2 (ja) * 1987-04-14 1994-08-24 株式会社東芝 半導体デバイス用外観検査装置
US4996439A (en) * 1989-10-27 1991-02-26 American Tech Manufacturing, Corp. Coplanarity inspection machine
US5045710A (en) * 1989-10-27 1991-09-03 American Tech Manufacturing Corp. Coplanarity inspection machine
WO1992002806A1 (en) * 1990-08-09 1992-02-20 American Tech Manufacturing, Corp. Lead inspection straightening apparatus and method
US5146101A (en) * 1990-11-05 1992-09-08 American Tech Manufacturing Corp. Lead inspection and straightener apparatus and method with scanning
JPH04105341A (ja) * 1990-08-24 1992-04-07 Hitachi Ltd 半導体装置のリード曲がり、浮き検出方法及び検出装置
JP2851151B2 (ja) * 1990-10-12 1999-01-27 株式会社東芝 ワイヤボンディング検査装置
US5124644A (en) * 1990-12-19 1992-06-23 Vlsi Technology, Inc. System for positioning a semiconductor chip package with respect to a testing device
US5463227A (en) * 1992-06-24 1995-10-31 Robotic Vision Systems, Inc. Method for obtaining three-dimensional data from multiple parts or devices in a multi-pocketed tray
US5600150A (en) * 1992-06-24 1997-02-04 Robotic Vision Systems, Inc. Method for obtaining three-dimensional data from semiconductor devices in a row/column array and control of manufacturing of same with data to eliminate manufacturing errors
US5406372A (en) * 1993-04-16 1995-04-11 Modular Vision Systems Inc. QFP lead quality inspection system and method
US5793051A (en) * 1995-06-07 1998-08-11 Robotic Vision Systems, Inc. Method for obtaining three-dimensional data from semiconductor devices in a row/column array and control of manufacturing of same with data to eliminate manufacturing errors
US6118540A (en) * 1997-07-11 2000-09-12 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Method and apparatus for inspecting a workpiece
US5956134A (en) * 1997-07-11 1999-09-21 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Inspection system and method for leads of semiconductor devices
US6064483A (en) * 1997-08-07 2000-05-16 Siemens Aktiengesellschaft Device for checking the position the coplanarity and the separation of terminals of components
KR100234122B1 (ko) * 1997-08-30 1999-12-15 윤종용 Ic 패키지 리드핀 검사장치 및 그 제어방법과 레이저센서의포커스 검출장치 및 그 포커스검출방법
US6072898A (en) 1998-01-16 2000-06-06 Beaty; Elwin M. Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US6173213B1 (en) 1998-05-11 2001-01-09 Ellison Machinery Company Motorized inbound laser orientation and wheel recognition station
KR100364559B1 (ko) 1998-09-17 2002-12-12 주식회사 뷰웰 반도체 리드 검사장치
US7034272B1 (en) 1999-10-05 2006-04-25 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for evaluating integrated circuit packages having three dimensional features
EP1220596A1 (en) * 2000-12-29 2002-07-03 Icos Vision Systems N.V. A method and an apparatus for measuring positions of contact elements of an electronic component
US20030205665A1 (en) * 2002-05-03 2003-11-06 Stewart Gilbert Mark Sensor movability relative to base for receiving electromagnetic radiation
USRE43925E1 (en) * 2008-11-21 2013-01-15 Industrial Technology Research Institute Three dimensional profile inspecting apparatus
TWI387721B (zh) * 2008-11-21 2013-03-01 Ind Tech Res Inst 三維形貌檢測裝置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4264202A (en) * 1979-09-04 1981-04-28 Automation Systems, Inc. Pin receptacle inspection apparatus and method
US4553843A (en) * 1981-08-03 1985-11-19 Micro Component Technology, Inc. Apparatus for determining the alignment of leads on a body
US4499649A (en) * 1982-08-11 1985-02-19 Usm Corporation All lead sensor
US4549087A (en) * 1982-12-27 1985-10-22 Usm Corporation Lead sensing system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01272126A (ja) * 1988-04-25 1989-10-31 Sony Corp 半導体装置のリード曲り検査装置
JPH02199900A (ja) * 1989-01-27 1990-08-08 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子部品実装装置
JPH04350506A (ja) * 1991-05-28 1992-12-04 Matsushita Electric Works Ltd リード半田付け及び半田面検査方法

Also Published As

Publication number Publication date
US4739175A (en) 1988-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62195509A (ja) 電子部品形状検査装置
JP2890578B2 (ja) Icリード検査装置とicリード検査方法
WO2009094489A1 (en) High speed optical inspection system with multiple illumination imagery
JP4474221B2 (ja) 光学式変位計
JP2599812B2 (ja) 光学検査装置
JP2676780B2 (ja) 半導体装置のリード曲り検査装置
JPH10185830A (ja) 透明シート検査装置
JP2890577B2 (ja) リード形状検査装置
JPS62144008A (ja) 印刷回路板のパタ−ン検査装置
JPH0259402B2 (ja)
JPS6191543A (ja) Icリ−ド曲り検出方法及び装置
JP5136837B2 (ja) 実装部品用検査装置および実装部品の検査方法
JPH02231513A (ja) 集積回路素子のリード曲り検査方式
JPH0350416B2 (ja)
JP2002181733A (ja) プリント基板検査装置
JP3029723B2 (ja) 半田付け工程でのリード浮きの検出方法
JPS61233311A (ja) 電子部品の形状検査装置
JPH10326337A (ja) 画像処理装置
JPH04116406A (ja) 自動板厚測定装置
JPH0458106A (ja) スチールコードの角度検出方法及び装置
JPS61294900A (ja) リ−ド曲り検出方法
JPS6296805A (ja) 電子部品のピン変形検出装置
JPH08247735A (ja) 電子部品の端子検査装置
JPH0229964B2 (ja) Sunhosokuteisochi
JPS63278345A (ja) 半導体装置の検査装置