JPS62109381A - レ−ザ−ビ−ム偏向における解像度の改善法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は可動鏡を用いたレーザービーム偏向における
偏向角の増大をはかり実質的な解像度を改善する装置に
関する。

（ロ）従来の技術 従来の回転多面鏡あるいはガルバ、メーター振動鏡を用
いた可動鏡方式レーザービーム偏向器では解像度を上げ
るためには回転数、工作精度、電気−機械変換の点で制
限があった。このため種々の解像度改善法が考えられて
いるが、それらは偏向システムを複雑にしたり、多段に
偏向器と光学系を用いるため装置は大型化する欠点を持
っている。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 この発明はレーザービーム偏向装置に簡便な光学系（レ
ンズまたは凹面鏡と平面鏡の組合せ）により、偏向され
たレーザービームを同じ可動鏡に繰返し入射し偏向角を
増大し解像度を上げることを目的とする。

（ニ）問題点を解決するための手段 この発明を円筒レンズと平面鏡を用い偏向角を可動鏡本
来の偏向角の３倍にする例を図面にもとすいて説明すれ
ば次の通りである。

第１図は固定鏡３、円筒レンズ１と２で構成する解像度
増倍の光学系を通常の可動鏡４に付加して作動させる場
合の一例を示すものである。第１図はその構成の平面図
であり第２図はその細面図である。

円筒レンズ１．２の焦点距離をそれぞれｆｌ　、ｆ２　
とすると円筒レンズ１は可動鏡４からｆ工、円筒レンズ
２は（２ｆ、＋ｆよ）の距離、固定鏡３は２　（ｆ□＋
ｆユ）の距離に位置する。第２図において入射したレー
ザービーム５は可動鏡４と固定鏡３の間を円筒レンズ１
．２を介して繰返し行き来し可動鏡４にビームが入射す
る都度偏向角はφだけ増加する。したがって、可動鏡４
に３回入射する本例の場合では出射ビームは３倍の偏向
角を得たことになる。

（ホ）作用 可動鏡４の周期的な機械的振り角をθとすると光学的振
り角φはφ＝２０となる。入射ビーム５の径をＤとする
と可動鏡のみの場合の解像度Ｎ１＝Ｔ／４（戸り４入）
　（八：レーザービームの波長）で与えられ解像度はｆ
ｏ積に比例する。（ロ）の項で述べたように偏向器自身
のφＤ積は機械的、技術的に制限がある。

第１図において、可動鏡４は入射ビーム５に対して機械
的に工θ／２の回転振動を行うものとする。すると入射
ビーム５はφだけ偏向をうけビーム６どなってレンズ１
．２を通って固定鏡３で反射してビーム７となって再び
可動鏡４に戻って来る。可動鏡４はこの時θ／２の回転
をしているためビーム７は更に偏向をうけビーム８とな
る。同様の過程により可動鏡４に戻って来たビーム９を
第２図のように偏向角増倍光学系をはずれるようにビー
ム１０を取り出せばビーム１０は３倍の偏向角となる。

上述の理由から解像度は本例の場合では３倍に改善され
る。

（へ）発明の効果 この発明は以上説明したように可動鏡方式のレーザービ
ーム偏向器に簡便な光学系を用いることにより容易に解
像度の改善が得られる。このためレーザープロジェクタ
、レーザープリンタ等の解像度の向上、高速化、小型化
、低コスト化等に効果がある。

【図面の簡単な説明】

図はこの発明の偏向角増倍光学系の実施例を示すもので
、第１図は実施例の平面図、第２図はその側面図である
。 １．２・・・・円筒レンズ ３・・・・・固定平面鏡

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １　可動鏡により偏向されたレーザービームを繰り返し
   可動鏡に入射することにより偏向角を入射回数だけ増倍
   し、実質的に解像度を改善する装置。