JPS6167565A - セラミツクス管と金属管の接合方法 - Google Patents
セラミツクス管と金属管の接合方法Info
- Publication number
- JPS6167565A JPS6167565A JP18849484A JP18849484A JPS6167565A JP S6167565 A JPS6167565 A JP S6167565A JP 18849484 A JP18849484 A JP 18849484A JP 18849484 A JP18849484 A JP 18849484A JP S6167565 A JPS6167565 A JP S6167565A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- bellows
- ceramics
- metal
- metallic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 43
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005219 brazing Methods 0.000 abstract description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000220317 Rosa Species 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/02—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
- C04B37/023—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used
- C04B37/026—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used consisting of metals or metal salts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
- F16L27/10—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations
- F16L27/107—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations the ends of the pipe being interconnected by a flexible sleeve
- F16L27/11—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations the ends of the pipe being interconnected by a flexible sleeve the sleeve having the form of a bellows with multiple corrugations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
- C04B2235/6581—Total pressure below 1 atmosphere, e.g. vacuum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/341—Silica or silicates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/343—Alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/40—Metallic
- C04B2237/405—Iron metal group, e.g. Co or Ni
- C04B2237/406—Iron, e.g. steel
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/76—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
- C04B2237/765—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc at least one member being a tube
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の利用分野)
この発明はセラミックス管と金属管とを接合する方法の
改良に係る。
改良に係る。
(従来技術と解決すべき問題点)
部分的に耐熱性を必要とする配管等においてセラミック
ス管と金属管とを接合して使用することが行われるよう
になってきている。このような場合従来は第2図に示す
ようにセラミックス管12と金属管14とを直接に真空
中でロー付けすることが行われているが、セラミックス
は脆いので熱、膨豚の差によって生ずる歪力によって接
続部が破損しやすい。これに対して第3図に示すように
傘状の金属薄板11aとセラミックス管I2を接続部1
3において従来通り真空ロー付けで接合し、これと相対
向する傘状の金属薄板11bと金属管14の接合部15
を例えばTIG熔接溶接はプラズマ溶接しておいて傘状
の金属薄Fj、llaと11bをその周縁部16で対接
させ、ここをTIGまたはプラズマ溶接した伸縮管継手
をセラミックス管と金属管との間に設ける方法が提案さ
れているが、薄板のヘリ継手の溶接は技術的に難しく、
特にアルミニウム薄板である場合には気密度の高い溶接
部を得ることは尚一層困難である。
ス管と金属管とを接合して使用することが行われるよう
になってきている。このような場合従来は第2図に示す
ようにセラミックス管12と金属管14とを直接に真空
中でロー付けすることが行われているが、セラミックス
は脆いので熱、膨豚の差によって生ずる歪力によって接
続部が破損しやすい。これに対して第3図に示すように
傘状の金属薄板11aとセラミックス管I2を接続部1
3において従来通り真空ロー付けで接合し、これと相対
向する傘状の金属薄板11bと金属管14の接合部15
を例えばTIG熔接溶接はプラズマ溶接しておいて傘状
の金属薄Fj、llaと11bをその周縁部16で対接
させ、ここをTIGまたはプラズマ溶接した伸縮管継手
をセラミックス管と金属管との間に設ける方法が提案さ
れているが、薄板のヘリ継手の溶接は技術的に難しく、
特にアルミニウム薄板である場合には気密度の高い溶接
部を得ることは尚一層困難である。
さらにセラミックス管に対する熱負荷を避けるためには
この形の伸縮管継手では管外周から外側へ張り出した鍔
部を長くすることが必要であり、管周囲の空間的制限が
厳しい配管に通用することが困難である等の問題点があ
る。
この形の伸縮管継手では管外周から外側へ張り出した鍔
部を長くすることが必要であり、管周囲の空間的制限が
厳しい配管に通用することが困難である等の問題点があ
る。
この発明は上記の如き問題点を解決して応力による破損
の少ない接合方法を提供することを目的とする。
の少ない接合方法を提供することを目的とする。
(問題点の解決手段)
この発明は、セラミックス管と金属管とを接合する方法
において、中間ジヨイントとして金属ベローズを用い、
その一端にセラミックス管を、他端には金属管を接合す
ることを特徴とするセラミックス管と金属管の接合方法
に係る。
において、中間ジヨイントとして金属ベローズを用い、
その一端にセラミックス管を、他端には金属管を接合す
ることを特徴とするセラミックス管と金属管の接合方法
に係る。
次に添付図面第1図を参照して本発明の詳細な説明する
。セラミックス管1と金属管2との中間に金属ベローズ
3をジヨイントとし、金属ベローズの一端4にセラミッ
クス管1の端部を接合し、金属ベローズ3の他端5には
金属管2の端部を接合する。金属ベローズの端部5は板
厚を厚くすると溶接施工が容易になるので便利である。
。セラミックス管1と金属管2との中間に金属ベローズ
3をジヨイントとし、金属ベローズの一端4にセラミッ
クス管1の端部を接合し、金属ベローズ3の他端5には
金属管2の端部を接合する。金属ベローズの端部5は板
厚を厚くすると溶接施工が容易になるので便利である。
すなわちこのようにすると例えば自動溶接法を採用する
ことにより継手の信頼性を高めることができる。
ことにより継手の信頼性を高めることができる。
セラミックス管としては電気絶縁、耐食性或いは一様磁
場の確保のため例えばアルミナやシリカ等のセラミック
スが使用され、金属管としてはステンレス鋼管、アルミ
ニウム管、或いは鋼管等が使用される。
場の確保のため例えばアルミナやシリカ等のセラミック
スが使用され、金属管としてはステンレス鋼管、アルミ
ニウム管、或いは鋼管等が使用される。
またジヨイントとして使用する金属ベローズは金泥管と
同じ材料で作ったものが普通であるが、目的用途に応じ
て金属管とへローズとの組合わせにステンレス鋼とコバ
ール、銅と黄銅、或いはチタンとステンレス鋼との組合
わせ等を使用することができる。
同じ材料で作ったものが普通であるが、目的用途に応じ
て金属管とへローズとの組合わせにステンレス鋼とコバ
ール、銅と黄銅、或いはチタンとステンレス鋼との組合
わせ等を使用することができる。
セラミックス管と金属ベローズとの接合は通例の真空ロ
ー材は法によるのが良く、セラミックス管の接合端部に
は通例メタライズ処理を施して接合を容易にしておくと
よい。しかしながらセラミックス管と金属ベローズとの
接合はロー付けに限定されるものではなく、例えば拡散
接合性等接合部の破損が防止できるものであれば適宜そ
の他の方法を用いることができる。
ー材は法によるのが良く、セラミックス管の接合端部に
は通例メタライズ処理を施して接合を容易にしておくと
よい。しかしながらセラミックス管と金属ベローズとの
接合はロー付けに限定されるものではなく、例えば拡散
接合性等接合部の破損が防止できるものであれば適宜そ
の他の方法を用いることができる。
金属管と金属ベローズの溶接には770等公知の溶接法
を採用することができる。
を採用することができる。
金属ベローズは板厚を薄く、山数を多くしてセラミック
ス管までの距離を長くすることが望ましく、溶接熱のセ
ラミックス管への伝導を最少限に抑えるようにする。
ス管までの距離を長くすることが望ましく、溶接熱のセ
ラミックス管への伝導を最少限に抑えるようにする。
(実施例)
次に実施例について述べる。
アルミナ(シリカ10%を含む)管とアルミニウム管と
の中間にジヨイントとしてアルミニウム(JISA30
04)製のベローズを用いる場合について述べれば、通
例の通りアルミナ管の接合端部にメタライズ処理を施し
たのち、ロー材としてアルミニウムプレージングシート
を用い、およそl Torrに減圧した雰囲気中で約6
05℃に加熱・ してアルミナ管とアルミニウムベロ
ーズとを接合したのち室温まで冷却した。アルミニウム
ベローズとアルミニウム管とは通例のようにTIG溶接
によって溶接した。
の中間にジヨイントとしてアルミニウム(JISA30
04)製のベローズを用いる場合について述べれば、通
例の通りアルミナ管の接合端部にメタライズ処理を施し
たのち、ロー材としてアルミニウムプレージングシート
を用い、およそl Torrに減圧した雰囲気中で約6
05℃に加熱・ してアルミナ管とアルミニウムベロ
ーズとを接合したのち室温まで冷却した。アルミニウム
ベローズとアルミニウム管とは通例のようにTIG溶接
によって溶接した。
接合部について真空漏洩試験を行った結果リークは無く
、電子加速器の真空配管に適用して良い結果が得られた
。
、電子加速器の真空配管に適用して良い結果が得られた
。
(効果)
以上述べたように本発明の方法によればセラミックス管
と金属管とを直接ロー付けすることに伴って生ずる熱膨
張率の差により生ずる歪力の発生は無く、セラミックス
管と金属管との接合による歪力は金属ベローズ即ちベロ
ーズ形伸縮管継手の変形によって吸収され、セラミック
スの破損を防止することができる。
と金属管とを直接ロー付けすることに伴って生ずる熱膨
張率の差により生ずる歪力の発生は無く、セラミックス
管と金属管との接合による歪力は金属ベローズ即ちベロ
ーズ形伸縮管継手の変形によって吸収され、セラミック
スの破損を防止することができる。
金属管と金属ベローズとの接合には一般の溶接施工が適
用でき、自動溶接によってリーク等の欠陥の発生を防止
することができ、継手の信頼性をたかめることができる
。又金属ベローズの板厚を薄く、かつ山数を充分に多く
とっておけば溶接熱の影Kを防ぐことができる。而も金
属へローズを伸縮管継手としたので接続部の形状がWJ
単で、突出部が無いため狭隘な個所にも配管ができる等
実用上の効果はきわめて大きい。
用でき、自動溶接によってリーク等の欠陥の発生を防止
することができ、継手の信頼性をたかめることができる
。又金属ベローズの板厚を薄く、かつ山数を充分に多く
とっておけば溶接熱の影Kを防ぐことができる。而も金
属へローズを伸縮管継手としたので接続部の形状がWJ
単で、突出部が無いため狭隘な個所にも配管ができる等
実用上の効果はきわめて大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の方法による接合状態を示す一部破砕正
面図、第2図は従来のセラミックス管と金属管のロー付
けによるしか付けの状態を示す断面図、第3図は同しく
従来の中間に金属薄板製の伸縮管継手を介在させて接合
した状態を示す一部破砕正面図である。 1・・・セラミックス管、2・・・金属管、3・・・金
属へローズ、4・・・金属ベローズのセラミックス管接
合端、5・・・金属へローズの金属管接合端出願人代理
人 弁理士 鴨志1)次男 第2図 第3図 第1図
面図、第2図は従来のセラミックス管と金属管のロー付
けによるしか付けの状態を示す断面図、第3図は同しく
従来の中間に金属薄板製の伸縮管継手を介在させて接合
した状態を示す一部破砕正面図である。 1・・・セラミックス管、2・・・金属管、3・・・金
属へローズ、4・・・金属ベローズのセラミックス管接
合端、5・・・金属へローズの金属管接合端出願人代理
人 弁理士 鴨志1)次男 第2図 第3図 第1図
Claims (1)
- セラミックス管と金属管を接合する方法において、中間
ジョイントとして金属ベローズを用い、その一端にセラ
ミックス管を、他端には金属管を接合することを特徴と
するセラミックス管と金属管の接合方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18849484A JPS6167565A (ja) | 1984-09-08 | 1984-09-08 | セラミツクス管と金属管の接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18849484A JPS6167565A (ja) | 1984-09-08 | 1984-09-08 | セラミツクス管と金属管の接合方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6167565A true JPS6167565A (ja) | 1986-04-07 |
Family
ID=16224709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18849484A Pending JPS6167565A (ja) | 1984-09-08 | 1984-09-08 | セラミツクス管と金属管の接合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6167565A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0569838A (ja) * | 1990-12-28 | 1993-03-23 | Danfoss As | 完全液圧操舵システムの制御装置 |
JPH0663930A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-08 | Kubota Corp | 耐熱複合セラミック管と製法 |
US8404398B2 (en) | 2008-08-12 | 2013-03-26 | Bloom Energy Corporation | Hermetic high temperature dielectric with groove and thermal expansion compensator |
US8921001B2 (en) | 2012-11-28 | 2014-12-30 | Bloom Energy Corporation | Hermetic high temperature dielectric conduit assemblies |
US9786043B2 (en) | 2014-12-03 | 2017-10-10 | Bloom Energy Corporation | Inspection method for the effect of composition on the bond strength of a metallized alumina ceramic |
US10050298B2 (en) | 2014-06-04 | 2018-08-14 | Bloom Energy Corporation | Hermetic high temperature dielectric conduit assemblies |
US11916265B2 (en) | 2020-02-05 | 2024-02-27 | Bloom Energy Corporation | Metal-dielectric conduit assemblies and methods of making thereof |
-
1984
- 1984-09-08 JP JP18849484A patent/JPS6167565A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0569838A (ja) * | 1990-12-28 | 1993-03-23 | Danfoss As | 完全液圧操舵システムの制御装置 |
JPH0663930A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-08 | Kubota Corp | 耐熱複合セラミック管と製法 |
US8404398B2 (en) | 2008-08-12 | 2013-03-26 | Bloom Energy Corporation | Hermetic high temperature dielectric with groove and thermal expansion compensator |
US8921001B2 (en) | 2012-11-28 | 2014-12-30 | Bloom Energy Corporation | Hermetic high temperature dielectric conduit assemblies |
US10050298B2 (en) | 2014-06-04 | 2018-08-14 | Bloom Energy Corporation | Hermetic high temperature dielectric conduit assemblies |
US9786043B2 (en) | 2014-12-03 | 2017-10-10 | Bloom Energy Corporation | Inspection method for the effect of composition on the bond strength of a metallized alumina ceramic |
US11916265B2 (en) | 2020-02-05 | 2024-02-27 | Bloom Energy Corporation | Metal-dielectric conduit assemblies and methods of making thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6180931B1 (en) | Heater unit for semiconductor processing | |
US3531853A (en) | Method of making a ceramic-to-metal seal | |
JPS6167565A (ja) | セラミツクス管と金属管の接合方法 | |
US4268712A (en) | Electron display tubes | |
JPH0542089B2 (ja) | ||
JPH061666B2 (ja) | ラミツク部材の接合方法 | |
US4795866A (en) | Vacuum tube switch which uses low temperature solder | |
JPH0619285B2 (ja) | 外筒を有するセラミック導管 | |
JPS59671Y2 (ja) | 真空しや断器 | |
JP2791059B2 (ja) | 燃料電池 | |
JPH069907B2 (ja) | 黒鉛と金属からなる複合材の製造方法 | |
US3147361A (en) | Vacuum tight joint and method of making such joint | |
JPH0380162A (ja) | セラミック部品と金属部品の接合方法 | |
JPH02125601A (ja) | 極低温冷却器低温ヘッド界面ソケット | |
US3082347A (en) | Electric discharge device utilizing novel sealing means | |
JPH0218195B2 (ja) | ||
JPS5814500Y2 (ja) | 真空開閉器 | |
JPS608271Y2 (ja) | 太陽熱集熱管 | |
JPH05109364A (ja) | イオン源 | |
JPH05315463A (ja) | セラミックスと金属との接合構造真空気密装置 | |
JPH0441564Y2 (ja) | ||
JPS6336098B2 (ja) | ||
JPS6276241A (ja) | マグネトロンのステム | |
JPH046677B2 (ja) | ||
KR100356112B1 (ko) | 브레이징 접합 도금층을 가진 세라믹체 |