JPS6138512A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPS6138512A JPS6138512A JP16308785A JP16308785A JPS6138512A JP S6138512 A JPS6138512 A JP S6138512A JP 16308785 A JP16308785 A JP 16308785A JP 16308785 A JP16308785 A JP 16308785A JP S6138512 A JPS6138512 A JP S6138512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- code
- code mark
- mark
- scale
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
- G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
- H03M1/308—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental with additional pattern means for determining the absolute position, e.g. reference marks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は測定方向においてスケールの目盛に溢って設け
られ、目盛に絶対的に付設されており、かつ識別のため
に、複数のコードマーク部分から成る個々のコードマー
クがそれぞれ直列的に付設されている識別参照マークと
、目盛、参照マーク及び評価装置と接続しでいる所属の
コードマークの走査のための走査装置とを備えた二つの
対象物の相対位置の測定のための測定装置に関する。
られ、目盛に絶対的に付設されており、かつ識別のため
に、複数のコードマーク部分から成る個々のコードマー
クがそれぞれ直列的に付設されている識別参照マークと
、目盛、参照マーク及び評価装置と接続しでいる所属の
コードマークの走査のための走査装置とを備えた二つの
対象物の相対位置の測定のための測定装置に関する。
この種の測定装置では参照マークで発生した電気的制御
信号は種々の方法、例えはカクンタにおけるゼロ位置の
再現のため、測定のはじめに所定の位置にセットするた
め及び妨害パルスの制御のため、並びに後続の制御装貌
の附勢のために使用さnる。
信号は種々の方法、例えはカクンタにおけるゼロ位置の
再現のため、測定のはじめに所定の位置にセットするた
め及び妨害パルスの制御のため、並びに後続の制御装貌
の附勢のために使用さnる。
(従来の技術)
西独−特許公報2416212からスケール上にインク
リメンタル目盛の他に別個のトラック上に参照マークが
設けられているインクリメンタル長さ又は角度測定器が
公知である。この参照マークの絶対値は、個々の参照マ
ークの間の相異なる間隔から決定される。
リメンタル目盛の他に別個のトラック上に参照マークが
設けられているインクリメンタル長さ又は角度測定器が
公知である。この参照マークの絶対値は、個々の参照マ
ークの間の相異なる間隔から決定される。
参照マークの間のこの間隔はインクリメンタル目盛の走
査によって検出される。従って参照マークの絶対的位置
の認識のために常に二つの参照マークが走査されたけれ
ばならない。この方法は、例えば二つの参照マークが相
互にかなシ離れて位置している場合には煩わしくかつ時
間を貸す。
査によって検出される。従って参照マークの絶対的位置
の認識のために常に二つの参照マークが走査されたけれ
ばならない。この方法は、例えば二つの参照マークが相
互にかなシ離れて位置している場合には煩わしくかつ時
間を貸す。
このため二つの参照マークの間のインクリメントの計数
を誤差があると、参照マークの誤った間隔従って誤った
絶対値が検出されうる。
を誤差があると、参照マークの誤った間隔従って誤った
絶対値が検出されうる。
西独−特許公報2952106に拡インクリメンタル長
さ又は角度測定装置が記載されており、その際スケール
上に目盛の他それぞれ相異なる線群目盛の参照マークが
設けられている。
さ又は角度測定装置が記載されており、その際スケール
上に目盛の他それぞれ相異なる線群目盛の参照マークが
設けられている。
個々の参照マークは走査ユニットにおける走査フィール
ドによって走査され、その際参照マークに各走査フィー
ルドが所属しておシ、参照マークは同一の線群目盛を有
する。
ドによって走査され、その際参照マークに各走査フィー
ルドが所属しておシ、参照マークは同一の線群目盛を有
する。
この配列は比較的コスト高である、そのわけは個々の参
照マークの線群目盛は個々の参照マークの明白な識別を
可能にするために相互にできる限り相違されたければな
らないからである。
照マークの線群目盛は個々の参照マークの明白な識別を
可能にするために相互にできる限り相違されたければな
らないからである。
その除走査ユニントi各参照マークにとって同一の走査
フィールドを有する。
フィールドを有する。
西独国特許公開公報3144554にはインクリメンタ
ル長さ又は角度測定装置が開示されており、その中でス
ケール上にインクリメンタル目盛の細別のトラック上に
識別性参照マークが設けられている。
ル長さ又は角度測定装置が開示されており、その中でス
ケール上にインクリメンタル目盛の細別のトラック上に
識別性参照マークが設けられている。
識別性参照マークの合致のために各コードマークに別の
トランク上のコードマークが並置されている。これらの
コードマークはそれぞれ例えば所定の二進数を示すコー
ドマーク部分から成る。他の二進数は存在しないコード
マーク部分、即ち間隙によって示される。
トランク上のコードマークが並置されている。これらの
コードマークはそれぞれ例えば所定の二進数を示すコー
ドマーク部分から成る。他の二進数は存在しないコード
マーク部分、即ち間隙によって示される。
コードマーク部分及び隙間の形の全コードマークの並列
走査の際両二進数の順序は所属の参照マークの識別のた
めの全コード情報を生ずる。
走査の際両二進数の順序は所属の参照マークの識別のた
めの全コード情報を生ずる。
そのような測定装置では参照マークの絶対値は一般にス
クールのインクリメンタル目盛の目盛ゼロ点に関する値
でちり、従って参照マークは走査ユニットによる目盛の
走査の際参照マークの間の目盛インクリメントの完全な
計数の検査のために閃与しうる、そのわけは参照マーク
の相互間隔は知られているからである。
クールのインクリメンタル目盛の目盛ゼロ点に関する値
でちり、従って参照マークは走査ユニットによる目盛の
走査の際参照マークの間の目盛インクリメントの完全な
計数の検査のために閃与しうる、そのわけは参照マーク
の相互間隔は知られているからである。
しかし個々の参照マークの間には目盛の目盛インクリメ
ントの完全なt+tDのそのような検査はコードマーク
の個々の参照マークに並んで付設サワたコードマーク部
分によってのみ可能であめ。
ントの完全なt+tDのそのような検査はコードマーク
の個々の参照マークに並んで付設サワたコードマーク部
分によってのみ可能であめ。
しかしコードマークの個々のコードマーク部分の間には
多くの隣接した隙間、即ちコードマークのコード情報の
存在する二進数に相応して生じうる、存在しないコード
マーク部分がそのような隙間の内方で目盛の目盛インク
リメントの完全な計数の検査を行い得ない。
多くの隣接した隙間、即ちコードマークのコード情報の
存在する二進数に相応して生じうる、存在しないコード
マーク部分がそのような隙間の内方で目盛の目盛インク
リメントの完全な計数の検査を行い得ない。
(M決すべき課題]
本発明は前記のa Mの測定装置でコードマークの範囲
におけるスケールの目盛の目盛インクリメントの完全な
計数のできる限シ隙間のない検査を可能にすることを課
題の基礎とする。
におけるスケールの目盛の目盛インクリメントの完全な
計数のできる限シ隙間のない検査を可能にすることを課
題の基礎とする。
(課題の解決のための手段)
上記課題は6二つの可能な位置の各コードマーク部分は
コードマークの内方で、°そのコード情報に相応する一
つの位置を占め、評価装置におケイコードマークの評価
は、コードマーク部分の許容される位置に相応する走査
格子を備えた電子装置によって行われ、そして各コード
マーりのコード情報は評価装置に丸・いて二進数の形で
存在し、その際二進数の値は個々のコードマーク部分の
実際の位置に依存していることによって解決されoo (発明の作用効果ン 本発明によってイUられる利点は特に参照マークの間の
コードマークのコードマーク部分の構成によって簡単な
方法で、測定装置の測定精度の常に隙間のな1検をが行
われることができ、その結果測定i% f(+−の測定
安全性ど6(11定装置べが使用されることになる工作
機械の運転安全性が一層高められることにある。
コードマークの内方で、°そのコード情報に相応する一
つの位置を占め、評価装置におケイコードマークの評価
は、コードマーク部分の許容される位置に相応する走査
格子を備えた電子装置によって行われ、そして各コード
マーりのコード情報は評価装置に丸・いて二進数の形で
存在し、その際二進数の値は個々のコードマーク部分の
実際の位置に依存していることによって解決されoo (発明の作用効果ン 本発明によってイUられる利点は特に参照マークの間の
コードマークのコードマーク部分の構成によって簡単な
方法で、測定装置の測定精度の常に隙間のな1検をが行
われることができ、その結果測定i% f(+−の測定
安全性ど6(11定装置べが使用されることになる工作
機械の運転安全性が一層高められることにある。
本発明の有利な((・V成は実施態様項から把握される
。
。
(実施例)
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
第1図において、電気的インクリメンタル長さ測定装置
が示さ1.でおり、この装置は測定尺Mの形のスケール
と走査ユニツ)Aとから成F)、走査ユニット打1、各
々図示しない方法で工作機械の機械部分の形の被djl
定物と結合されている。
が示さ1.でおり、この装置は測定尺Mの形のスケール
と走査ユニツ)Aとから成F)、走査ユニット打1、各
々図示しない方法で工作機械の機械部分の形の被djl
定物と結合されている。
スケールM上には線格子(第2a図)の形のインクリメ
ンタル目盛Tが設けられており、インクリメンタル目盛
は走査ユニットAによって反射光により光電的に無接触
走査される。側走力向Xにおいて目盛TGC5ってスケ
ールM上に一列の識別参照マークRn (n=1.2
,3゜・・・)が設けられており、参照マークは公知の
方法で所定の、しかし不規則な線分布をもった識別線群
を有しかつ目盛Tに絶対的に付設されている6 1rt
Z a図には二つの隣接した参照マークltiとRk
が示されている。理解をよくするために参照マークは1
76 *な矩形のマークとして表わされている。
ンタル目盛Tが設けられており、インクリメンタル目盛
は走査ユニットAによって反射光により光電的に無接触
走査される。側走力向Xにおいて目盛TGC5ってスケ
ールM上に一列の識別参照マークRn (n=1.2
,3゜・・・)が設けられており、参照マークは公知の
方法で所定の、しかし不規則な線分布をもった識別線群
を有しかつ目盛Tに絶対的に付設されている6 1rt
Z a図には二つの隣接した参照マークltiとRk
が示されている。理解をよくするために参照マークは1
76 *な矩形のマークとして表わされている。
目盛Tの走査によって生じ、走丘ユニツ)Aで増巾され
かつ矩形信号S1’ e S!’に変形される周期的
走査46号は評価装置1tWを附勢しかつ後続のカウン
タ2に被測定物の相対位置の位置測定値として示される
。方向弁別のために目盛Tは公知の方法で走査フィール
ドAT によって走査され、走査フィールドは格子定数
(IKのAだけずれた二群AT1とAr1として配設さ
れている。
かつ矩形信号S1’ e S!’に変形される周期的
走査46号は評価装置1tWを附勢しかつ後続のカウン
タ2に被測定物の相対位置の位置測定値として示される
。方向弁別のために目盛Tは公知の方法で走査フィール
ドAT によって走査され、走査フィールドは格子定数
(IKのAだけずれた二群AT1とAr1として配設さ
れている。
この方法で相互に位相のずれた走査信号が発生する。参
照マークRnで参照信号R8nが発生し、走査二ニット
Aで増巾され、矩形波Ran’に変形され、かつ同様に
評価装置Wに供給される。参照信号R8nの発生は走査
板APに設けられた参照マーク走査フィールドARによ
って行われる。
照マークRnで参照信号R8nが発生し、走査二ニット
Aで増巾され、矩形波Ran’に変形され、かつ同様に
評価装置Wに供給される。参照信号R8nの発生は走査
板APに設けられた参照マーク走査フィールドARによ
って行われる。
参照マークRn から得られる参照信号Ranによって
種々の機能が始動されることができる。
種々の機能が始動されることができる。
各参照マークRn に例えば目盛Tの目盛ゼロ点に関す
る絶対的位置を表わす数が所属する。
る絶対的位置を表わす数が所属する。
更に参照マークRn全体から成る特定の参照マークRo
(図示せず〕は特定の参照マークROの発生の際に
カウンタ2を値「ゼロ」ニセットするために役立つこと
ができる。
(図示せず〕は特定の参照マークROの発生の際に
カウンタ2を値「ゼロ」ニセットするために役立つこと
ができる。
しかしこれらの機能は選択された参照マークROが明ら
かに区別さnることができる場合にのみ実施可能である
。
かに区別さnることができる場合にのみ実施可能である
。
識別のためにg1423図によれば各参照マークRn
にコード脅−りOn が所属しており、コードマークO
nが直列的に設けられており、コードマークはコードマ
ーク部分Onm (n、 m= 1゜2.3.・・・
)から成る。
にコード脅−りOn が所属しており、コードマークO
nが直列的に設けられており、コードマークはコードマ
ーク部分Onm (n、 m= 1゜2.3.・・・
)から成る。
図示の参照マークR1とその所属のコードマークC1に
ついて説明する。コードマーク部分011〜O15は参
照マークRn のパターンと同一の輪郭でありかつ同一
の参照マーク走査フィールドARによって走査される。
ついて説明する。コードマーク部分011〜O15は参
照マークRn のパターンと同一の輪郭でありかつ同一
の参照マーク走査フィールドARによって走査される。
従ってコードマーク部分もここでは簡単化されて矩形マ
ークとして表わされている。
ークとして表わされている。
コードマーク01 の内方において各コードマーク部分
01m ld可能な二つの位tPO又はPlの一つを占
める。
01m ld可能な二つの位tPO又はPlの一つを占
める。
可能な両位fPIPO又はPlのいずれを各コードマー
ク部分01mが占めるかはコードマークC1によって表
わされるべき情報によって特定される。コード情報の評
価では一つのコードマーク部分01mの位置POから二
進数「0」が導かれるが、コードマーク部分01mは内
方位置P1を占めると、二進数「1」が認められる。
ク部分01mが占めるかはコードマークC1によって表
わされるべき情報によって特定される。コード情報の評
価では一つのコードマーク部分01mの位置POから二
進数「0」が導かれるが、コードマーク部分01mは内
方位置P1を占めると、二進数「1」が認められる。
実施例において全コードマーク01 は5個のコードマ
ーク部分から成シ、C11は位置p口内、C12はP1
上に位置し、C13は同様にP1上、C1は再びPO上
、そして015はPO上に位置する。こうして二進コー
ド01100が導かれ、これはコードマークC1のため
の識別キーである。走査のために再び走査板APが使用
され、その走査フィールドAT1とAr1は目盛T1そ
の参照マーク走査フィールドARは参照マークRn 及
びコードマークOn を走査する。
ーク部分から成シ、C11は位置p口内、C12はP1
上に位置し、C13は同様にP1上、C1は再びPO上
、そして015はPO上に位置する。こうして二進コー
ド01100が導かれ、これはコードマークC1のため
の識別キーである。走査のために再び走査板APが使用
され、その走査フィールドAT1とAr1は目盛T1そ
の参照マーク走査フィールドARは参照マークRn 及
びコードマークOn を走査する。
これらの走査板APKU公知の従って図示しない方法で
光電要素が付設されている。
光電要素が付設されている。
そのようにしてliJられた信号は評価装KLwに供給
される。
される。
正の測定方向X(左から右)へのスケールMの走査の間
、参照信号)tE3k 、コード信号0811〜081
5及び参照信号R8kが発生する。これらの信号は第3
図に図式的に表わされている。
、参照信号)tE3k 、コード信号0811〜081
5及び参照信号R8kが発生する。これらの信号は第3
図に図式的に表わされている。
コード信号C811〜C3i5の二進数0−1−1−〇
−〇を決定するために間隔a、b及びrが知られなけれ
はならない。各コードマーク要素01mの二つの可能な
位置POとPlとの間の間隔は間隔aで表わされる。
−〇を決定するために間隔a、b及びrが知られなけれ
はならない。各コードマーク要素01mの二つの可能な
位置POとPlとの間の間隔は間隔aで表わされる。
隣接したコードマーク要素C11と012、C12とC
13等の間の間隔は間隔すで表わされる。最後のコード
マークi[c!isと次の参照マークRk との間の他
の間隔は間隔rによって表わされる。前記間隔rは走査
間隔が間隔b+2 aの和よりも大きくなるや否や認め
られる。間隔a。
13等の間の間隔は間隔すで表わされる。最後のコード
マークi[c!isと次の参照マークRk との間の他
の間隔は間隔rによって表わされる。前記間隔rは走査
間隔が間隔b+2 aの和よりも大きくなるや否や認め
られる。間隔a。
)はスケールMの製作の際に確定されかつ間隔格子とし
てデコーダユニットWのメモリユニットに記憶される。
てデコーダユニットWのメモリユニットに記憶される。
参照マークR1とRk及びコードマークO1l〜C15
の走査の際参照信号R8iとコ°−ド信号0811〜C
815との間に位置する間隔a、b、rは一目盛Tの目
盛線の数によって検出され、かつ個々のコード信号OF
;11〜08i5の二進コード情報の明らかな認識の定
めに評価装置W中に記憶された間隔格子と比較される。
の走査の際参照信号R8iとコ°−ド信号0811〜C
815との間に位置する間隔a、b、rは一目盛Tの目
盛線の数によって検出され、かつ個々のコード信号OF
;11〜08i5の二進コード情報の明らかな認識の定
めに評価装置W中に記憶された間隔格子と比較される。
第2a図及び第3図による測定方向Xにおけるケスール
Mの走査の際にまず参照マーク信号R8iが、それから
間隔すにおいて、コード情報「0」を有す/)第一コー
ド信号が、他の間隔(a+b+a)においてコード情報
「1」を有する第二コード信号08i2 が、他の間
隔(b+a)において、コード情報「1」を有する第三
のコード信号08i5 が、他の間隔すにおいてはコ
ード情報「0」を有する第四のコード信号C814が゛
、他の間隔(a−)−b )においてはコード情報「0
」を有する第五のコード4Q号CEli5か゛、そして
続いて他の間隔(a+r )においては次の参照信号1
(8kがt!ii出される。
Mの走査の際にまず参照マーク信号R8iが、それから
間隔すにおいて、コード情報「0」を有す/)第一コー
ド信号が、他の間隔(a+b+a)においてコード情報
「1」を有する第二コード信号08i2 が、他の間
隔(b+a)において、コード情報「1」を有する第三
のコード信号08i5 が、他の間隔すにおいてはコ
ード情報「0」を有する第四のコード信号C814が゛
、他の間隔(a−)−b )においてはコード情報「0
」を有する第五のコード4Q号CEli5か゛、そして
続いて他の間隔(a+r )においては次の参照信号1
(8kがt!ii出される。
左カラ右への正の測定方向XへのスケールMを走査ユニ
ットAが走査すゐと、参照マークRk上にコードマーク
部分Okn+をイjする次のコードマークOk が、
そして史に次の参照マークRk+ 1等(第2 a図に
は示してない)が続く。
ットAが走査すゐと、参照マークRk上にコードマーク
部分Okn+をイjする次のコードマークOk が、
そして史に次の参照マークRk+ 1等(第2 a図に
は示してない)が続く。
一般にコードマークOn はスタート情報と終端情報
を有することができる。スタート情報によって評価装H
wがスタート情報に続いてコード情報が読取られる準備
がなされることができる。
を有することができる。スタート情報によって評価装H
wがスタート情報に続いてコード情報が読取られる準備
がなされることができる。
終端情報は全コード情報が読出されたという確認に役立
つ。
つ。
それによってコード情報の走査中に測定方向Xの反転が
認められることができる。
認められることができる。
左から右への正の測定方向Xへの走査ユニットAの運動
の際所属の参照マークRn の走査によるコードマーク
部分Onmのコード情報の走査が行われる。右から左へ
の負の測定方向への走査運動では間隔rとコード情報の
方向に依存した評価によってコード1−り部分01mの
後に参照マークR1が続かねばならないことが認められ
る。
の際所属の参照マークRn の走査によるコードマーク
部分Onmのコード情報の走査が行われる。右から左へ
の負の測定方向への走査運動では間隔rとコード情報の
方向に依存した評価によってコード1−り部分01mの
後に参照マークR1が続かねばならないことが認められ
る。
合目的的にコードマーク部分Onm及び参照マークRn
は整数及び又はインクリメンタル目盛Tの格子定数G
k の整数倍としてスケールM上に形成されており、そ
の結果コードマーク部分Onmと参照マークRnの走査
はインクリメンタル目盛Tの走査の周期で行われること
ができる。
は整数及び又はインクリメンタル目盛Tの格子定数G
k の整数倍としてスケールM上に形成されており、そ
の結果コードマーク部分Onmと参照マークRnの走査
はインクリメンタル目盛Tの走査の周期で行われること
ができる。
間隔a、b、rは好ましくけ目盛Tの整数倍である。
発生したコード信号1nm の走査並びに間隔格子と
間隔a、b、rとの比較は18択装置を有することがで
きる評価装置Wで行われ、選択装置によって予め設定さ
れた参照マークRn が選択されかつ作用状態に持ち来
されることができる。
間隔a、b、rとの比較は18択装置を有することがで
きる評価装置Wで行われ、選択装置によって予め設定さ
れた参照マークRn が選択されかつ作用状態に持ち来
されることができる。
参照マークRn 0間のコードマークOn のコードマ
ーク部分Onmの本発明による連続配列はコードマーク
Onの範囲においてもスケールMの目盛Tのピッチの完
全な計数の常に殆んど隙間のない鞘査を可能にする。そ
のわけは各コード情報に相応した各コードマーク部分O
nmのための二つの可能な位ePO,P1の付・設によ
ってコードマークOn の個々のコードマーク部分On
mの間には最早よシ大きい隙間は生じ得ない。
ーク部分Onmの本発明による連続配列はコードマーク
Onの範囲においてもスケールMの目盛Tのピッチの完
全な計数の常に殆んど隙間のない鞘査を可能にする。そ
のわけは各コード情報に相応した各コードマーク部分O
nmのための二つの可能な位ePO,P1の付・設によ
ってコードマークOn の個々のコードマーク部分On
mの間には最早よシ大きい隙間は生じ得ない。
発生した各参照信号R8n及び発生し几各コード信号O
f3nm は評価装(B wにおいて相応した参照マー
クrtn及び相応したコードマーク部分Onmの位置と
目盛Tのピッチの所属のカンタ−値の間の比較に関与さ
れうる、そのわけは参照マークRn の位置は目盛Tに
絶対的に所属しておりかつ参照マークRn0間の個々の
コードマーク部分anmO位置は間隔格子としてメモリ
された間隔a、b、rによって与えられているからであ
る。この比較でカウタ値と間隔格子との間の差異が生ず
ると、評価装置Wによって誤差信号rが発せられ、その
結果直ちに誤差のある測定か認められることができる。
f3nm は評価装(B wにおいて相応した参照マー
クrtn及び相応したコードマーク部分Onmの位置と
目盛Tのピッチの所属のカンタ−値の間の比較に関与さ
れうる、そのわけは参照マークRn の位置は目盛Tに
絶対的に所属しておりかつ参照マークRn0間の個々の
コードマーク部分anmO位置は間隔格子としてメモリ
された間隔a、b、rによって与えられているからであ
る。この比較でカウタ値と間隔格子との間の差異が生ず
ると、評価装置Wによって誤差信号rが発せられ、その
結果直ちに誤差のある測定か認められることができる。
評価装fN、Wにおける間隔格子の記憶のためのメモリ
として合目的的に固定値メモリ(ROM又はFROM
) が使用される。相異なるスケール型式の特殊の間
隔格子への評価装置wの適合はプログラミング又は固定
値メモリの交換によって−行わ扛ることかできる。大き
な記憶容量を有する固定値メモリには種々のスケールの
ための間隔格子がメモリされることができ、そして利用
されたスケールのだk)の各間隔格子はレリえは間隔格
子の所属の間隔rによって選択さJ’Lることができる
。
として合目的的に固定値メモリ(ROM又はFROM
) が使用される。相異なるスケール型式の特殊の間
隔格子への評価装置wの適合はプログラミング又は固定
値メモリの交換によって−行わ扛ることかできる。大き
な記憶容量を有する固定値メモリには種々のスケールの
ための間隔格子がメモリされることができ、そして利用
されたスケールのだk)の各間隔格子はレリえは間隔格
子の所属の間隔rによって選択さJ’Lることができる
。
記載の間隔a、b、rとは異なる追加の間隔が−好まし
くはコードマーク部分の間の一他の識別間隔として設定
されることができる。
くはコードマーク部分の間の一他の識別間隔として設定
されることができる。
この追加的識別間隔によって評価が同期され、即ち、コ
ードマーク部分−信号の評価が次の追加の間隔に従って
開始されることができる。この措置によって走査ユニツ
)Aの方法路程が短縮される、そのわけは間隔rは無条
件に求められねばならないのではなく、むしろ間隔rで
あれ、追加の間隔であれ、次に位置する距離によって同
期化が行わねばならないからである。
ードマーク部分−信号の評価が次の追加の間隔に従って
開始されることができる。この措置によって走査ユニツ
)Aの方法路程が短縮される、そのわけは間隔rは無条
件に求められねばならないのではなく、むしろ間隔rで
あれ、追加の間隔であれ、次に位置する距離によって同
期化が行わねばならないからである。
本発明は光電的走査原理に限られるものではない。
第1図はインクリメンタル長さ測定1L第2a図はスケ
ール、 第213図は走査板、そして ・・シ3図に(8照信号とコード信号の信号ダイヤグラ
ムである。 図中符号 On コードマーク Onm コードマーク部分 PO位置 Pl 位置 W 評価装置
ール、 第213図は走査板、そして ・・シ3図に(8照信号とコード信号の信号ダイヤグラ
ムである。 図中符号 On コードマーク Onm コードマーク部分 PO位置 Pl 位置 W 評価装置
Claims (9)
- (1)測定方向においてスケールの目盛に沿つて設けら
れ、目盛に絶対的に付設されており、かつ識別のために
、複数のコードマーク部分から成る個々のコードマーク
がそれぞれ直列的に付設されている識別参照マークと、
目盛、参照マーク及び評価装置と接続している所属のコ
ードマークの走査のための走査装置とを備えた二つの対
象物の相対位置の測定のための測定装置において、各コ
ードマーク部分 (Cnm)はコードマーク(Cn)の内方の可能な二つ
の各位置(P0又はP1)のうちそのコード情報に相応
して一つの位置(P0又はP1)を占め、評価装置(W
)におけるコードマーク(Cn)の評価は、コードマー
ク部分(Cnm)の許容される位置(P0及びP1)に
相応する走査格子を備えた電子装置によつて行われ、そ
して各コードマーク(Cn)のコード情報は評価装置(
W)において二進数の形で存在し、その際二進数の値は
個々のコードマーク部分(Cnm)の実際の位置(P0
又はP1)に依存していることを特徴とする測定装置。 - (2)コードマーク部分(Cnm)の許容される位置(
P0及びP1)の間の間隔(a)、隣接したコードマー
ク部分(Cnm及びCnm+1)の間の間隔(b)、並
びに参照マーク(Rn)と次のコードマーク部分(Cn
m)との間のスケールに固有の特性間隔(r)をメモリ
することにより好ましくは固定値メモリに間隔格子が予
め設けられている、特許請求の範囲第1項記載の測定装
置。 - (3)参照マーク(Rn)とコードマーク(Cn)のコ
ードマーク部分(Cnm)の連続した走査のために走査
板(AP)が光電要素の付設された共通の走査フィール
ド(AR)を有する、特許請求の範囲第1項記載の測定
装置。 - (4)走査格子によつて予め与えられた間隔(a、b、
r)が評価装置(W)においてスケール(M)の目盛(
T)の目盛インクリメントのカウント数と比較可能であ
る、特許請求の範囲第1項又は第2項記載の測定装置。 - (5)目盛インクリメントのカウント数と走査格子によ
つて予め与えられた間隔(a、b、r)との間に差があ
る場合、評価装置(W)によつて誤差信号(F)が発生
する、特許請求の範囲第4項記載の測定装置。 - (6)コードマーク(Cn)のコードマーク部分(Cn
m)が所属の参照マーク(Rn)の識別のためのコード
情報の外に少なくとも完全認識のための情報をも有する
、特許請求の範囲第1項記載の測定装置。 - (7)コードマーク(Cn)のコードマーク部分(Cn
m)及び参照マーク(Rn)がスケール(M)の目盛(
T)の格子定数(GK)の整数分の一又は整数倍として
形成されている、特許請求の範囲第1項記載の測定装置
。 - (8)間隔格子の間隔(a、b、r)がスケール(M)
の目盛の格子定数(Gk)の整数分の一又は整数倍であ
る、特許請求の範囲第2項記載の測定装置。 - (9)相異なるスケール(M)のために間隔格子が評価
装置(W)にメモリされている場合、使用されたスケー
ル(M)のための各間隔格子が間隔(r)に基いて選択
可能である、特許請求の範囲第2項記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3427411A DE3427411C2 (de) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | Meßeinrichtung |
DE3427411.1 | 1984-07-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6138512A true JPS6138512A (ja) | 1986-02-24 |
JPH0548841B2 JPH0548841B2 (ja) | 1993-07-22 |
Family
ID=6241530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16308785A Granted JPS6138512A (ja) | 1984-07-25 | 1985-07-25 | 測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4701615A (ja) |
EP (1) | EP0172323B1 (ja) |
JP (1) | JPS6138512A (ja) |
AT (1) | ATE34043T1 (ja) |
DE (2) | DE3427411C2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9234737B2 (en) | 2009-11-11 | 2016-01-12 | Andritz Oy | Method for measuring and aligning a rotary cylindrical apparatus |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2188805B (en) * | 1986-03-27 | 1991-01-09 | Duracell Int | Device |
DE3617254A1 (de) * | 1986-05-22 | 1987-11-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Messeinrichtung |
JPS62278408A (ja) * | 1986-05-28 | 1987-12-03 | Tamagawa Seiki Co Ltd | アナログ三角波出力エンコ−ダ |
US5057686A (en) * | 1988-10-12 | 1991-10-15 | Mitutoyo Corporation | Self-stabilizing photoelectric displacement detector |
AT394781B (de) * | 1989-02-03 | 1992-06-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales messsystem |
US5251013A (en) * | 1989-03-27 | 1993-10-05 | Danielson Glen C | Vehicle straightener measuring unit, measuring apparatus reliant on reflected beam(s), and source, targets and method |
DE4037545C2 (de) * | 1990-11-26 | 1994-03-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Meßeinrichtung |
FI91325C (fi) * | 1992-04-07 | 1994-06-10 | Partek Cargotec Oy | Paikka-asteikko ja optinen lukuanturi tämän paikka-asteikon lukemiseksi |
US5336884A (en) * | 1992-07-01 | 1994-08-09 | Rockwell International Corporation | High resolution optical hybrid absolute incremental position encoder |
BE1007404A3 (nl) * | 1993-08-09 | 1995-06-06 | Agfa Gevaert Nv | Encoder element. |
EP0662603B1 (de) * | 1993-12-08 | 1997-03-12 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längenmesssystem |
FR2757628B1 (fr) * | 1996-12-20 | 1999-02-26 | Eaton Controls | Procede et dispositif de mesure numerique de positions angulaires |
EP1056989B1 (de) | 1998-02-21 | 2002-12-18 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Verfahren zum betrieb eines positionsmesssystems und geeignetes positionsmesssystem hierzu |
US6147342A (en) * | 1998-06-02 | 2000-11-14 | Caterpillar Inc. | Encoding system for determining the position of a cylinder rod along a path of movement |
JP3506613B2 (ja) * | 1998-09-21 | 2004-03-15 | 株式会社ミツトヨ | 原点検出方式 |
DE19962278A1 (de) | 1999-12-23 | 2001-08-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
US6834574B2 (en) * | 2002-01-04 | 2004-12-28 | Parker-Hannifin Corporation | Cylinder with optical position sensing device and method |
US7552671B2 (en) * | 2002-01-04 | 2009-06-30 | Parker-Hannifin Corporation | Cylinder with fiber optical position sensing device and method |
US6765664B2 (en) * | 2002-01-09 | 2004-07-20 | Delaware Capital Formation, Inc. | Laser scanner with parabolic collector |
ITTO20030365A1 (it) * | 2003-05-20 | 2004-11-21 | Fiat Ricerche | Dispositivo e procedimento per determinare la posizione |
GB0413711D0 (en) * | 2004-06-21 | 2004-07-21 | Renishaw Plc | Scale and readhead apparatus |
JP4148194B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2008-09-10 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
US7191943B2 (en) * | 2004-07-28 | 2007-03-20 | Caterpillar Inc | Robust barcode and reader for rod position determination |
DE102005047009A1 (de) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Bosch Rexroth Mechatronics Gmbh | Absolutes Positionsmesssystem |
US7458309B2 (en) * | 2006-05-18 | 2008-12-02 | Simmons Tom M | Reciprocating pump, system or reciprocating pumps, and method of driving reciprocating pumps |
DE102007031218B4 (de) * | 2006-07-05 | 2020-10-29 | Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg | Vorrichtung, Etikettiermaschine und Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung |
DE102007045362A1 (de) * | 2007-09-22 | 2009-04-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
WO2009140503A1 (en) | 2008-05-16 | 2009-11-19 | Parker Hannifin Corporation | Probe for determining an absolute position of a rod of a cylinder |
EP2357451B1 (de) * | 2010-02-09 | 2011-11-16 | SICK STEGMANN GmbH | Messvorrichtung zur Absolutwertbestimmung von Längen oder Winkeln mit aus einzelnen Teilstücken zusammengesetzter aktiver Massverkörperung |
US9470556B2 (en) | 2012-10-18 | 2016-10-18 | Cnh Industrial Canada, Ltd. | Method and apparatus for sensing position |
EP2725325B1 (de) * | 2012-10-26 | 2019-12-11 | Robert Bosch Gmbh | Positionsmesssystem |
EP3892962B1 (de) * | 2020-04-08 | 2023-03-08 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Anordnung für eine positionsmessung |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52101065A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-24 | Sony Corp | Magnetic scale |
JPS5822914A (ja) * | 1981-08-04 | 1983-02-10 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光電型エンコ−ダの零点検出装置 |
JPS58204314A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-29 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | エンコ−ダ装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2103196A1 (de) * | 1971-01-23 | 1972-07-27 | Ferranti Ltd | Meßvorrichtung |
US3982106A (en) * | 1973-05-14 | 1976-09-21 | Contraves Ag | System for measuring the longitudinal or angular displacement of a movable component |
FR2310549A1 (fr) * | 1975-05-07 | 1976-12-03 | Sagem | Perfectionnements aux dispositifs optiques de determination de la position d'un organe mobile |
DE2952106C2 (de) * | 1979-12-22 | 1982-11-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
JPS56159794A (en) * | 1980-05-12 | 1981-12-09 | Tokyo Optical | Length or angle measuring device |
JPS56159798A (en) * | 1980-05-12 | 1981-12-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Length or angle measuring device |
DE3039483C2 (de) * | 1980-10-18 | 1986-09-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
JPS5829093A (ja) * | 1981-08-13 | 1983-02-21 | 株式会社トプコン | アブソリユ−トエンコ−ダ |
DE3144334C2 (de) * | 1981-11-07 | 1985-06-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken |
-
1984
- 1984-07-25 DE DE3427411A patent/DE3427411C2/de not_active Expired
-
1985
- 1985-05-25 AT AT85106497T patent/ATE34043T1/de not_active IP Right Cessation
- 1985-05-25 DE DE8585106497T patent/DE3562531D1/de not_active Expired
- 1985-05-25 EP EP85106497A patent/EP0172323B1/de not_active Expired
- 1985-07-17 US US06/755,928 patent/US4701615A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-07-25 JP JP16308785A patent/JPS6138512A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52101065A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-24 | Sony Corp | Magnetic scale |
JPS5822914A (ja) * | 1981-08-04 | 1983-02-10 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光電型エンコ−ダの零点検出装置 |
JPS58204314A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-29 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | エンコ−ダ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9234737B2 (en) | 2009-11-11 | 2016-01-12 | Andritz Oy | Method for measuring and aligning a rotary cylindrical apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0172323B1 (de) | 1988-05-04 |
ATE34043T1 (de) | 1988-05-15 |
EP0172323A1 (de) | 1986-02-26 |
DE3562531D1 (en) | 1988-06-09 |
DE3427411C2 (de) | 1987-01-08 |
DE3427411A1 (de) | 1986-02-06 |
US4701615A (en) | 1987-10-20 |
JPH0548841B2 (ja) | 1993-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6138512A (ja) | 測定装置 | |
US5651187A (en) | Position measuring device | |
US4793067A (en) | Position measuring instrument with plurality of reference | |
US4654527A (en) | Reference mark identification system for measuring instrument | |
DE69119500T2 (de) | System und Verfahren zur dreidimensionalen Positionserfassung | |
EP0013799B1 (en) | Encoder for length or angle measuring devices with high accuracy | |
US5010655A (en) | Incremental measuring system | |
US5539993A (en) | Location scale and optical reading sensor for reading the location scale | |
US7089678B2 (en) | Encoder with reference marks | |
US4606642A (en) | Measuring arrangement for the clear scanning of at least one reference mark allocated to a graduation | |
EP0042179B1 (en) | Encoder | |
US4519140A (en) | System for identifying reference marks in a path measuring device | |
US7461464B2 (en) | Position measuring arrangement | |
EP0042178B1 (en) | Absolute encoder | |
EP0268558B1 (de) | Längen- oder Winkelmesseinrichtung | |
EP0039082B1 (en) | Method and apparatus for measuring the displacement between a code plate and a sensor array | |
JP4620330B2 (ja) | 絶対的な位置設定をするための位置測定装置 | |
US6545262B1 (en) | Position measuring system | |
JPH043811B2 (ja) | ||
US8020310B2 (en) | Measuring element comprising a track used as a material measure and corresponding measurement method carried out by means of such a measuring element | |
JPH01502452A (ja) | 位置決め装置用スケール | |
CN100376874C (zh) | 光学定位测量装置 | |
DE3818044A1 (de) | Praezisions-messeinrichtung fuer grosse verschiebungen | |
US5456021A (en) | Apparatus and method for measuring linear and angular displacements | |
JPH05196451A (ja) | 測長または測角装置 |