JPS604714A - 霧化装置 - Google Patents
霧化装置Info
- Publication number
- JPS604714A JPS604714A JP11371383A JP11371383A JPS604714A JP S604714 A JPS604714 A JP S604714A JP 11371383 A JP11371383 A JP 11371383A JP 11371383 A JP11371383 A JP 11371383A JP S604714 A JPS604714 A JP S604714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atomization
- nozzle
- time
- driving
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23D—BURNERS
- F23D11/00—Burners using a direct spraying action of liquid droplets or vaporised liquid into the combustion space
- F23D11/34—Burners using a direct spraying action of liquid droplets or vaporised liquid into the combustion space by ultrasonic means or other kinds of vibrations
- F23D11/345—Burners using a direct spraying action of liquid droplets or vaporised liquid into the combustion space by ultrasonic means or other kinds of vibrations with vibrating atomiser surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Pressure-Spray And Ultrasonic-Wave- Spray Burners (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、灯油や軽油等の液体燃料●水・薬溶液・記録
液等を、電気的振動子を用いて霧化する液体の霧化装置
に関する。
液等を、電気的振動子を用いて霧化する液体の霧化装置
に関する。
従来例の構成とその問題点
従来から液体の霧化装置には、種々のものが提案されて
おり、電気的振動子の振動現象を利用したものも多く見
うけられる。
おり、電気的振動子の振動現象を利用したものも多く見
うけられる。
電気的振ｌ１ｉＩノ子の中、圧電振動子を用いた超音波
霧化装置で噴霧歌を調整する手段に、圧電振動子をその
機械的共振点刊近で発振駆動させ、駆動信号の印加時間
と停止時間の比を変えるものがある。
霧化装置で噴霧歌を調整する手段に、圧電振動子をその
機械的共振点刊近で発振駆動させ、駆動信号の印加時間
と停止時間の比を変えるものがある。
このデユーティ−制御の様子を第１図に示す。（ａ）は
発振信ちを所定の周期で印加したり、停止したりしてい
る駆動波形の時間変化を示している。」１記停止時間内
は駆ｌＪＪ信号は全く印加されておらず、所定の周期後
に定常状態、すなわち、実際に霧化するレグエルの駆動
信号を印加している。（ｂ）は前述（ａ）の駆ｆｉｌＪ
波形に対応する圧電振動子の振幅変化を示す図で、定常
状ｊ島の駆−ノ振ＩＷＪレベルか印加されてから振幅が
徐々に増大していく様子がわかる。
発振信ちを所定の周期で印加したり、停止したりしてい
る駆動波形の時間変化を示している。」１記停止時間内
は駆ｌＪＪ信号は全く印加されておらず、所定の周期後
に定常状態、すなわち、実際に霧化するレグエルの駆動
信号を印加している。（ｂ）は前述（ａ）の駆ｆｉｌＪ
波形に対応する圧電振動子の振幅変化を示す図で、定常
状ｊ島の駆−ノ振ＩＷＪレベルか印加されてから振幅が
徐々に増大していく様子がわかる。
（ｃ）は前述のチューティー制御時の噴霧量、の時間特
性を示している。
性を示している。
このように従来のチューティ制作ｊては、（ｂ）で示し
だように信号印加開始時は停市状態からの機械的振幅が
追従せず、所定の時定数をもって定常状１１に達してい
る様子がわかる。すなわち、信号印加開始時は、加えら
れたエネルギー分が全て機械的振動に富力しているので
はなく、大きなエネルギーを加えても熱損失となってい
る。それ故、電気から機械への変換効率をＦげていた−
１−、、Ｉｆ電振【１の了の接合部に対する機械的歪み
も大きく使用１−の寿命にも課題が残されていた。さら
に、第１図（ｃ）でわかるように、噴霧量の包絡線も信
り印υＤ開始時は徐々に増大している。すなわち、駆Ｕ
Ｊ波形の包絡線に比較して定常状態に達するまでの期間
が非常に長く、チューティー制御で噴悸竜調整する際に
、時同化との対応がとりにくく量規制が面倒であった。
だように信号印加開始時は停市状態からの機械的振幅が
追従せず、所定の時定数をもって定常状１１に達してい
る様子がわかる。すなわち、信号印加開始時は、加えら
れたエネルギー分が全て機械的振動に富力しているので
はなく、大きなエネルギーを加えても熱損失となってい
る。それ故、電気から機械への変換効率をＦげていた−
１−、、Ｉｆ電振【１の了の接合部に対する機械的歪み
も大きく使用１−の寿命にも課題が残されていた。さら
に、第１図（ｃ）でわかるように、噴霧量の包絡線も信
り印υＤ開始時は徐々に増大している。すなわち、駆Ｕ
Ｊ波形の包絡線に比較して定常状態に達するまでの期間
が非常に長く、チューティー制御で噴悸竜調整する際に
、時同化との対応がとりにくく量規制が面倒であった。
発明の１」的
本発明はかかる従来の問題を解消するもので、チューテ
ィー制御による霧化量調節（時にも、駆動エネルギーの
熱損失を下げ、圧電振動子の接合部に対する歪みを小さ
くし、スムースな振動て十分な霧化量を得ることを目的
とする。
ィー制御による霧化量調節（時にも、駆動エネルギーの
熱損失を下げ、圧電振動子の接合部に対する歪みを小さ
くし、スムースな振動て十分な霧化量を得ることを目的
とする。
発明の構成
この目的を達成するために、本発明は、液体を充填する
加圧室を備えたボテイーと、前記加圧室に液体を供給す
るための供給部と、ｉｉｆ＋記加圧室に臨むように設け
たノズルを有するノズル部と、前記ノズル部を付勢して
前記ノズルを加振する電気的振動子とからなる霧化器と
、１１「Ｉ記電気的振動子を所定の周波数で駆動する発
振駆動部と、前記電気的振動子への駆動信号レベルを時
間比で制御するデユーティ−制御部とから構成されてい
る。
加圧室を備えたボテイーと、前記加圧室に液体を供給す
るための供給部と、ｉｉｆ＋記加圧室に臨むように設け
たノズルを有するノズル部と、前記ノズル部を付勢して
前記ノズルを加振する電気的振動子とからなる霧化器と
、１１「Ｉ記電気的振動子を所定の周波数で駆動する発
振駆動部と、前記電気的振動子への駆動信号レベルを時
間比で制御するデユーティ−制御部とから構成されてい
る。
この構成によって、従来駆動信号の停止時間は信号レベ
ルが零であったが、前記停止時間に相当するデユーティ
−制御の期間、実際の噴霧には害鳥しない所定の小信号
をレベルを印加するという作用を有する。
ルが零であったが、前記停止時間に相当するデユーティ
−制御の期間、実際の噴霧には害鳥しない所定の小信号
をレベルを印加するという作用を有する。
実施例の説明
第２図で本発明の一実施例である霧化器について説明す
る。液体を充填する加圧室１を備えたボディー２は、ビ
ス３で取付板４に固定されている。
る。液体を充填する加圧室１を備えたボディー２は、ビ
ス３で取付板４に固定されている。
液体は供給パイプ５を介して前記加圧室１に入り、霧化
動作中は、気体排出用の）くイブ６の途中まで満たされ
る。７は加圧室１の一面に臨んで配されたノズル部で、
外円はボテイー２に接合されている。ノズル部７の中央
には、液滴吐出用の微細な孔を有する球面状の突起８が
形成されている。さらにノズル部７には、円環状の電気
的振動子、ここでは圧電素子９が装着されている。この
圧電素子９は厚さ方向に分極された圧電セラミックで、
ノズルとの接合面及び反対側の面には電極を有している
。１０は、圧電素子９へ駆動信号を伝達するリード線で
、一方は圧電素子９の片方の電極面へ半田接着され、他
方はボディー２ヘビス１１で接続されている。駆動信号
により圧電素子９０機械的振動が励起されると、ノズル
部７も付勢されて振動するので、結果として加圧室１内
の液体が霧化粒子１２となって吐出される。
動作中は、気体排出用の）くイブ６の途中まで満たされ
る。７は加圧室１の一面に臨んで配されたノズル部で、
外円はボテイー２に接合されている。ノズル部７の中央
には、液滴吐出用の微細な孔を有する球面状の突起８が
形成されている。さらにノズル部７には、円環状の電気
的振動子、ここでは圧電素子９が装着されている。この
圧電素子９は厚さ方向に分極された圧電セラミックで、
ノズルとの接合面及び反対側の面には電極を有している
。１０は、圧電素子９へ駆動信号を伝達するリード線で
、一方は圧電素子９の片方の電極面へ半田接着され、他
方はボディー２ヘビス１１で接続されている。駆動信号
により圧電素子９０機械的振動が励起されると、ノズル
部７も付勢されて振動するので、結果として加圧室１内
の液体が霧化粒子１２となって吐出される。
ところで、加圧室１へ供給される液体は、霧化器設置構
成で前記気体排出用の・々イブ６途中まで充填してもよ
いが、別手段として、霧化器の設置構成では加圧室１及
び排気バイブロ中は空で、液滴吐出シーケンスに入る前
に、例えば排気）＜イブ６を通じて負圧を加え、液体を
加圧室１に充填すると共に排気バイブロ途中まで引き上
げてもよい。
成で前記気体排出用の・々イブ６途中まで充填してもよ
いが、別手段として、霧化器の設置構成では加圧室１及
び排気バイブロ中は空で、液滴吐出シーケンスに入る前
に、例えば排気）＜イブ６を通じて負圧を加え、液体を
加圧室１に充填すると共に排気バイブロ途中まで引き上
げてもよい。
後者の手段によれば、ノズル孔部で液体中の不純物等が
固化し、ｉ満を噴出できないという不具合が生じない。
固化し、ｉ満を噴出できないという不具合が生じない。
第３図は、本発明の霧化装置のプロ７り構成図を示し、
９は圧電振動子で発振駆動部１３からの信号で機械的振
動が励起される。前記発振駆動部の構成は、発振器を有
する他励式であってもよいし９の圧電振動子の電気的特
性を利用した自励式でもよい。１４のデユーティ−制御
部は、０〔（記発振駆動部の駆動信号、すなわち、圧電
振動子への振動エネルギー敏を可変すべく発振駆動部へ
制御部りを送る振動エネルギー制御部１５と、前記駆ａ
Ｊ信υレベルの可変時間を制御するタイマ一部１６から
構成されている。
９は圧電振動子で発振駆動部１３からの信号で機械的振
動が励起される。前記発振駆動部の構成は、発振器を有
する他励式であってもよいし９の圧電振動子の電気的特
性を利用した自励式でもよい。１４のデユーティ−制御
部は、０〔（記発振駆動部の駆動信号、すなわち、圧電
振動子への振動エネルギー敏を可変すべく発振駆動部へ
制御部りを送る振動エネルギー制御部１５と、前記駆ａ
Ｊ信υレベルの可変時間を制御するタイマ一部１６から
構成されている。
−１−記構成による駆動の状凭を第４図に示す。（、）
は駆動波形で、１＝ １０で所定の駆動部５レベルか印
加され、ｔ ”” ｔ １まで実際の噴霧に必要な振動
エネルギーが与えられている。ｔ ”’ ｔ １かうｔ
−−ｔ ２まては、従来例における停止時間で、本発明
では実際の噴霧に寄与しない所定レベルの振動エネルギ
ーか印加されている。噴霧に寄与しないレベルとは、ノ
ズル噴霧孔における液体の表面張力が破れない程度の圧
電振ωＪ子への振動エネルギーを指す。（ｂ）は、（、
）の駆動波形に対する圧電振りＪｒの振幅変化を示し、
第１図の（ｂ）に比較して１−ｔＣ）から定常状態に達
する寸での立ち一ヒがりが非常に早い。まだ、小借り動
作中も圧電振動子の機械的振動が励起されているので、
噴霧に必要な大部９を印加した直後も振幅の立ち」−が
りがスムーズで、従来程の熱損失は生じない。すなわち
、変換効率が高くなる。さらに、（ｃ）は噴霧量の時間
変化に対する包絡線を示し、第１図（ｃ）に比べて駆動
波形への追随性への良さがわかる。
は駆動波形で、１＝ １０で所定の駆動部５レベルか印
加され、ｔ ”” ｔ １まで実際の噴霧に必要な振動
エネルギーが与えられている。ｔ ”’ ｔ １かうｔ
−−ｔ ２まては、従来例における停止時間で、本発明
では実際の噴霧に寄与しない所定レベルの振動エネルギ
ーか印加されている。噴霧に寄与しないレベルとは、ノ
ズル噴霧孔における液体の表面張力が破れない程度の圧
電振ωＪ子への振動エネルギーを指す。（ｂ）は、（、
）の駆動波形に対する圧電振りＪｒの振幅変化を示し、
第１図の（ｂ）に比較して１−ｔＣ）から定常状態に達
する寸での立ち一ヒがりが非常に早い。まだ、小借り動
作中も圧電振動子の機械的振動が励起されているので、
噴霧に必要な大部９を印加した直後も振幅の立ち」−が
りがスムーズで、従来程の熱損失は生じない。すなわち
、変換効率が高くなる。さらに、（ｃ）は噴霧量の時間
変化に対する包絡線を示し、第１図（ｃ）に比べて駆動
波形への追随性への良さがわかる。
第５図は、本発明の他の実施例を示し、（ａ）の駆動波
形、（ｂ）の振幅、（ｃ）の噴霧量とも包絡線で表わし
ている。（、）の図でわかるように、従来の停止時間ｔ
” ｔ １からｔ ＝ ｔ ２″ｉｆ、での間か、ｔ
”’ ｔ ３でレベルが変更された小さな駆動信号で
励記されている。このように、ｔ ” ｔ １からｔ
”’ ｔ ３４てをさらに小さな信号レベルとしている
のは、駈電振動子の振幅の立ち下がりを早くし、チュー
ティー制御における噴霧の切れを明確にするためである
。
形、（ｂ）の振幅、（ｃ）の噴霧量とも包絡線で表わし
ている。（、）の図でわかるように、従来の停止時間ｔ
” ｔ １からｔ ＝ ｔ ２″ｉｆ、での間か、ｔ
”’ ｔ ３でレベルが変更された小さな駆動信号で
励記されている。このように、ｔ ” ｔ １からｔ
”’ ｔ ３４てをさらに小さな信号レベルとしている
のは、駈電振動子の振幅の立ち下がりを早くし、チュー
ティー制御における噴霧の切れを明確にするためである
。
そして、ｔ ” ｔ ３からｔ ＝ ｔ ２’！では噴
霧はしないが、ｔ １ ＜ ｔ ＜’ ｔ ３の時間よ
りも大きな駆ｕＪ信すを印加し、ｔ ” ｔ ２からの
機械的振動増大をさらに早めている。この構成により、
（ｃ）で示すように噴霧量の駆動波形に対する追随性は
さらに良くなっている。
霧はしないが、ｔ １ ＜ ｔ ＜’ ｔ ３の時間よ
りも大きな駆ｕＪ信すを印加し、ｔ ” ｔ ２からの
機械的振動増大をさらに早めている。この構成により、
（ｃ）で示すように噴霧量の駆動波形に対する追随性は
さらに良くなっている。
ところで、第５図では小信号レベルを２段階としている
が、このようにステップ状てはなく連続的に変化させて
も同様の効果は得られる。
が、このようにステップ状てはなく連続的に変化させて
も同様の効果は得られる。
発り」の効果
以−にのように本発明の霧化装置によれば、次の効果が
得られる。
得られる。
チューティー制御において、実際に噴霧しないレベルの
小信号駆動エネルギーを、従来の停止時間帯も印加して
おくことにより、噴霧に必要な駆動エネルギーを印加し
てから圧電振動子の機械的振幅が定常状態に達するまで
の時間が短くなる。
小信号駆動エネルギーを、従来の停止時間帯も印加して
おくことにより、噴霧に必要な駆動エネルギーを印加し
てから圧電振動子の機械的振幅が定常状態に達するまで
の時間が短くなる。
すなわち、電気振動エネルギーが熱損失となって失われ
るのを軽減すると同時に、圧電振動子の接合部における
機械的歪みをも減少させる効果がある。さらに、実際の
噴霧量の応答も早くなるので、時間比の制御による噴霧
量調整も容易かつ確実に行なうことができる。
るのを軽減すると同時に、圧電振動子の接合部における
機械的歪みをも減少させる効果がある。さらに、実際の
噴霧量の応答も早くなるので、時間比の制御による噴霧
量調整も容易かつ確実に行なうことができる。
第１図ａ、ｄ、ｃはそれぞれ従来のデユーティ−制御手
段による駆動波形、振幅、噴霧量の時間変化を示す図、
第２図は本発明の一実施例を示す霧化器の断面図、第３
図は同霧化装置のプロ・ツク構成図、第４図ａ、ｂ、ｃ
は同デユーティ−制御手段による駆動波形、振動、噴霧
量の時間変化を示す図、第５図ａ、ｂ、’ｃは本発明の
チューディー制御手段の他の実施例による駆動波形、振
幅、噴霧量の時間変化を示す図である。 １・・・ 加圧室、２・・ ボテイー、５ ・供給部、
７・・・・ノズル部、９・・・電気的振動子、１３・
・発振駆動部、１４・・・・デユーティ−制御部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 １θ 第３図 ４図 第５図 り、ｔｌｊ３尤２ 手続補正書（ガ収） 昭和６２年７０月＋Ｌｌ′］ 特許庁長官殿 ２発明の名称 霧化装置 ３捕正をする者 月１１′１との関係 特 許 出 願 火柱 所 大阪
府門真市大字門真１００６番地名 ４′１・ （５８２
）松下電器産業株式会ｄ−代表者 １１１ 下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器産
業株式会社内 ５補正命令の日付 昭和５８年９月２７日 ６補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄 ６、補正の内容 明細書第１０頁第１行目〜第６行目に記載の［第４図ａ
、 ｂ、ｃは・・・・・・示す図である。」を下記の通
り補正します。 「第４図は同デユーティ制御手段による駆動波形。
段による駆動波形、振幅、噴霧量の時間変化を示す図、
第２図は本発明の一実施例を示す霧化器の断面図、第３
図は同霧化装置のプロ・ツク構成図、第４図ａ、ｂ、ｃ
は同デユーティ−制御手段による駆動波形、振動、噴霧
量の時間変化を示す図、第５図ａ、ｂ、’ｃは本発明の
チューディー制御手段の他の実施例による駆動波形、振
幅、噴霧量の時間変化を示す図である。 １・・・ 加圧室、２・・ ボテイー、５ ・供給部、
７・・・・ノズル部、９・・・電気的振動子、１３・
・発振駆動部、１４・・・・デユーティ−制御部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 １θ 第３図 ４図 第５図 り、ｔｌｊ３尤２ 手続補正書（ガ収） 昭和６２年７０月＋Ｌｌ′］ 特許庁長官殿 ２発明の名称 霧化装置 ３捕正をする者 月１１′１との関係 特 許 出 願 火柱 所 大阪
府門真市大字門真１００６番地名 ４′１・ （５８２
）松下電器産業株式会ｄ−代表者 １１１ 下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器産
業株式会社内 ５補正命令の日付 昭和５８年９月２７日 ６補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄 ６、補正の内容 明細書第１０頁第１行目〜第６行目に記載の［第４図ａ
、 ｂ、ｃは・・・・・・示す図である。」を下記の通
り補正します。 「第４図は同デユーティ制御手段による駆動波形。
Claims (3)
- （１）液体を充填する加圧室を備えだボディーと、ｉ’
＋ｒｉ記加圧室圧加圧室供給するための供給部と、前記
加圧室に臨むように設けたノズルを有するノズル部と、
前記ノズル部を付勢して１［１記ノズルを加振する電気
的振動子とからなる霧化器と、前記電気的振動子を所定
の周波数で駆動する発振駆動部と、前記電気的振１１ｉ
１Ｊ子への駆仙信り・レベルを時間化で制御するデユー
ティ−制御部とから構成される装置 - （２）霧化に必蜆な所定の信号レベルを印加する時間と
、霧化しない所定の不信リレベルを印加する時間との比
を制御する前記チューティー制御部から構成された特許
請求の範囲第１項記載の霧化装置。 - （３）霧化しない所定の小信号レベルを複数レベル設け
たデユーティ−制御部から構成された特許請求の範囲第
２項記載の霧化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11371383A JPS604714A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 霧化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11371383A JPS604714A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 霧化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604714A true JPS604714A (ja) | 1985-01-11 |
| JPH0118785B2 JPH0118785B2 (ja) | 1989-04-07 |
Family
ID=14619262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11371383A Granted JPS604714A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 霧化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604714A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5152456A (en) * | 1989-12-12 | 1992-10-06 | Bespak, Plc | Dispensing apparatus having a perforate outlet member and a vibrating device |
| US5297734A (en) * | 1990-10-11 | 1994-03-29 | Toda Koji | Ultrasonic vibrating device |
| US5938117A (en) * | 1991-04-24 | 1999-08-17 | Aerogen, Inc. | Methods and apparatus for dispensing liquids as an atomized spray |
| US6427682B1 (en) | 1995-04-05 | 2002-08-06 | Aerogen, Inc. | Methods and apparatus for aerosolizing a substance |
| US6629646B1 (en) | 1991-04-24 | 2003-10-07 | Aerogen, Inc. | Droplet ejector with oscillating tapered aperture |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11371383A patent/JPS604714A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5152456A (en) * | 1989-12-12 | 1992-10-06 | Bespak, Plc | Dispensing apparatus having a perforate outlet member and a vibrating device |
| US5261601A (en) * | 1989-12-12 | 1993-11-16 | Bespak Plc | Liquid dispensing apparatus having a vibrating perforate membrane |
| US5297734A (en) * | 1990-10-11 | 1994-03-29 | Toda Koji | Ultrasonic vibrating device |
| US5938117A (en) * | 1991-04-24 | 1999-08-17 | Aerogen, Inc. | Methods and apparatus for dispensing liquids as an atomized spray |
| US6540153B1 (en) | 1991-04-24 | 2003-04-01 | Aerogen, Inc. | Methods and apparatus for dispensing liquids as an atomized spray |
| US6629646B1 (en) | 1991-04-24 | 2003-10-07 | Aerogen, Inc. | Droplet ejector with oscillating tapered aperture |
| US7083112B2 (en) | 1991-04-24 | 2006-08-01 | Aerogen, Inc. | Method and apparatus for dispensing liquids as an atomized spray |
| US6427682B1 (en) | 1995-04-05 | 2002-08-06 | Aerogen, Inc. | Methods and apparatus for aerosolizing a substance |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0118785B2 (ja) | 1989-04-07 |
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