Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPS60157715A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

Info

Publication number
JPS60157715A
JPS60157715A JP59010998A JP1099884A JPS60157715A JP S60157715 A JPS60157715 A JP S60157715A JP 59010998 A JP59010998 A JP 59010998A JP 1099884 A JP1099884 A JP 1099884A JP S60157715 A JPS60157715 A JP S60157715A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
film
grain size
layer
recording medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59010998A
Other languages
English (en)
Inventor
Haruyuki Morita
治幸 森田
Jiro Yoshinari
次郎 吉成
Kazumasa Fukuda
一正 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP59010998A priority Critical patent/JPS60157715A/ja
Priority to US06/691,883 priority patent/US4636448A/en
Priority to DE19853501819 priority patent/DE3501819A1/de
Publication of JPS60157715A publication Critical patent/JPS60157715A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
    • G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
    • G11B5/674—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having differing macroscopic or microscopic structures, e.g. differing crystalline lattices, varying atomic structures or differing roughnesses
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
    • G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
    • G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
    • Y10S428/9265—Special properties
    • Y10S428/928—Magnetic property
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12431—Foil or filament smaller than 6 mils
    • Y10T428/12438—Composite
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12465—All metal or with adjacent metals having magnetic properties, or preformed fiber orientation coordinate with shape
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12556—Organic component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12556—Organic component
    • Y10T428/12562—Elastomer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12556—Organic component
    • Y10T428/12569—Synthetic resin
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12597—Noncrystalline silica or noncrystalline plural-oxide component [e.g., glass, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12736—Al-base component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12736—Al-base component
    • Y10T428/1275—Next to Group VIII or IB metal-base component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771—Transition metal-base component
    • Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
    • Y10T428/12931—Co-, Fe-, or Ni-base components, alternative to each other
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12986—Adjacent functionally defined components

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、多層から成る磁性薄膜を非磁性基体表面上に
有する磁気記録媒体に関する。より詳細には、本発明は
表面性、配向性の良好な垂直磁化型磁気記録媒体に関す
る。
従来技術 近年、磁気記録の高密度化を目的として記録媒体の磁性
体薄膜面に垂直の方向に磁化させる方式のいわゆる垂直
磁化型磁気記録媒体がいくつか提案されている。かかる
垂直磁化型磁気記録媒体の１つとして、ポリイミド基板
上にＭ　ｏ　−Ｆ　ｅ　−Ｎ　ｉの低抗磁力材層を、更
にその上にＣｏ−Ｃｒの磁気記録層を形成した２層構造
の磁性薄膜から成る磁気記録媒体が（特公昭５Ｂ−９１
号）公報にＵＨ示されている。磁性薄膜をこのような２
層構造とした場合、低保磁力の高透磁率磁性層によって
Ｃｏ　−Ｃｒ垂直磁化膜裏面の磁気回路が部分的に閉じ
られ、減磁作用が更に軽減され、残留磁化が強まる冶の
利点がある。
このように磁性薄膜をそれぞれ異る特性を有する層から
成る多層構造とすることにより全体として所留の性質を
有する磁性薄膜を得ることも可能になる。
上記した２層構造の磁性薄膜を形成する場合、従来、非
磁性基体を室温以上（特開昭５４−５１８０４号公報の
実施例では２　ｓ　ｏ　’ｃ　）に加熱し、その上に低
保磁力の高透磁率磁性層をスパッタリングにより形成し
、更にその上にＣｏ−Ｃｒの磁気記録層をスパッタリン
グにより形成する方法がとられている。
かかる方法によった場合、第１図に示すように低保磁力
の高透磁率磁性層１の平均結晶粒径Ｂは、Ｃｏ−Ｃｒ膜
２の平均結晶粒径Ａと同等あるいはそれ以上となってし
まう。この場合、高透磁率磁性層１の表面は微視的に凹
凸が大きくなり、この上にＣｏ−Ｃｒ膜２を形成すると
この微視的凹凸の影響を受けてＣｏ−Ｃｒの柱状の結晶
粒の配向性は乱れ、またＣｏ−Ｃｒ膜の表面性も悪くな
る。
さらに、低保磁力の高透磁率磁性層の表面には様々な結
晶面、例えば（１１０）、（１１１）、（１０ｏ）面が
露出しており、この表面上に垂直磁化膜となる磁気記録
層を形成するならば、形成初期過程において高透磁率磁
性層表面の様々な結晶面の影響を受けることになる。低
保磁力の高透磁率磁性層としてパーマロイ膜、垂直磁化
膜となる磁気記録層としてＣｏ−Ｃｒ膜を使用する場合
には、パーマロイの（１１１）面上にＣｏ−Ｃｒの（ｏ
ｏｌ）面が成長しやす（、Ｃｏ−Ｃｒの結晶は第２図で
矢印の方向に成長しやすい。このためＣｏ−Ｃｒの結晶
の配向性が乱れ、Ｃ６−Ｃｒ膜の表面性も悪くなる。
発明の目的 本発明の目的は、配向性、表面性の優れた多層構造の磁
性薄膜を有してなる磁気記録媒体を提供することにある
。
発明の描成 本発明の目的は、非磁性基体表面上に磁性薄膜を多Ｂ！
ｉに形成した磁気記録媒体において、平均結晶粒径Ａを
有する磁性層と該層に瞬接した平均結晶粒径Ｂを有する
磁性層との２層を含み、平均結晶粒径Ｂを有する磁性層
が非磁性基体に一層近く、かつＢ　＜、Ａとなるように
することにより達成される。
すなわち、隣接する２層の下層の平均結晶粒径が上層の
平均結晶粒径に比べ充分小さければ、第６図に示したよ
うに、下層表面の微視的な凹凸は小さくなり、また下層
表面の様々な結晶面の影響も平均化されるため無視でき
るようになる。その結果、上層の結晶成長の配向性は乱
されることがなくなり、また表面性もよくなる。
本発明の好適な実ｆｉ態様は、非磁性基体表面上に小さ
な平均結晶粒径Ｂを有する低保磁力の高透磁率磁性膜の
層を形成し、その上に平均結晶粒径Ａを有する垂直磁化
膜の層を形成して成る垂直磁化型磁気記録媒体である。
低保磁力の高透磁基磁性腺ハバーマロイ、アルパーム、
センダスト等の合金、各ｍ７エライト等を用いて形成す
ることができ、パーマロイが高い透磁率を有する点から
好適に使用できる。低保磁力の高透磁率磁性膜の形成に
は、蒸着、スパッタリング、メッキ、ＣＶＤなどが利用
できる。スパッタリングを利用する場合には、基体温度
、放電電力、Ａｒガス圧などによって低保磁力の高透磁
率磁性膜の平均結晶粒径Ｂを制御することができる。す
なわち、基体温度、放電電力およびＡｒガス圧を下げる
ほど平均結晶粒径Ｂは小さくなり、これらの因子を好適
に選定１ することによりＢ＜ＴＡ１好ましくはＢ＜、Ａとするこ
とができる。
後に実施例中で示すが、垂直磁化膜の平均結晶粒径Ａに
比べて低保磁力の高透磁率磁性膜の平均結晶粒径Ｂが小
さくなるにつれて、垂直磁化膜の結晶配向性の指標であ
る△Ｑｓｏ　（ｈａｐ　（００２’）面の四ツキングカ
ーブの半値幅）が小さくなり、垂直磁化膜の結晶配向性
が高まる。そしてＢ　＜Ｅ−Ａとなると、△Ｑｓｏ＜５
°となり、垂直磁化型磁気記録媒体として好ましい特性
を持つようになる。さらに、Ｂ＜１人となると△Ｑｓｏ
　＜　３°となるため非常に好ましい。
垂直磁化膜としては、コバルト・クロム（Ｃｏ−Ｃｒ）
、コバルト・バナジウム（Ｃｏ−Ｖ　）等の合金、コバ
ルト−リン（Ｃｏ−Ｐ）等を用いることができ、Ｃｏ−
Ｃｒが垂直異方性を容易に制御し得る点から好適に用い
られる。
垂直磁化膜の形成にも、蒸着、スパッタリング、メッキ
、ＣｖＤなどが用いられる。
本発明における平均結晶粒径は膜断面を走査型電子顕微
鏡（ＳＥＭ）や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察する
ことにより直接的にめることができる。またＸ線回折に
よっても平均結晶粒径を間接的にめることができる（カ
リティ「Ｘ線回折要要論」（アグネ）第９章）が、精度
的に問題があり好ましくない。
本発明は、上記の好適な具体例のみに限られず、多数の
種類の磁性層に適用することができ、表面性及び配向性
の改良された多層構造の磁性薄膜を有する磁気記録媒体
を提供することができる。
以下本発明を実施例に基づきさらに詳しく説明する。
〔実施例１〕 厚さ５０μ情のポリイミドフィルム全基体ホルダーに装
着して真空容器内に入れ、真空容器内を２Ｘ１０　Ｔｏ
ｒｒまで排気した。次にＡｒガスを１Ｘ１０　Ｔｏｒｒ
まで導入した。基体は基体近傍を循環する冷謀によって
様々な温度に冷却された。パーマロイ合金をＲＦｉ力５
０Ｗで１５分間スパッタリングしてこの基体上にパーマ
ロイの膜を形成した。得られたパーマロイ膜は組成が元
素の重量基準でＦｅ：Ｎｉ　：Ｍｏ＝１７：７８：５で
あり膜厚は０．５μη２であった。様々な基体温度で得
られたパーマロイ膜の平均結晶粒径ＢをＴＥＭで膜断面
を観察することによりめた結果第４図に示すようになっ
た。
次に、様々な基体温度で得られたパーマロイ膜上に、基
体温度を室温・Ａｒガス圧を５Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ、Ｒ
Ｆ定電力２００Ｗで１０分間Ｃｏ−Ｃｒをスパッタリン
グして、パーマロイ膜上にＣｏ−Ｃｒ合金膜の層を形成
した２層膜を得た。Ｃｏ−Ｃｒ合金膜の組成は重量基準
でＣｏ：Ｃｒ　＝８０　：　２０で膜厚は０５μｍであ
った。得られたＣｏ−Ｃｒ膜の平均結晶粒径ＡをＴＥＭ
で膜断面を観察することによりめた結果、パーマロイ膜
を形成した時の基体温度によらず一定で、５００Ａであ
った。
また、この２層膜のＸ線回折では、Ｃｏ−Ｃｒの〔００
１〕軸が膜面に対して垂直方向に配向していることがわ
かり、ｈｃｐ　（００２）面のロッキングカーブをとっ
たところその半値幅△Ｑｓｏはパーマロイ膜の平均粒子
径Ｂに対して第５図に示すように変化した。この図から
パーマロイ膜の平均結晶粒径ＢとＣｏ−Ｃｒ膜の平均結
晶粒径Ａとの比、Ｂ／ＡがＢ／Ａ＜’−の時△Ｑｓｏ＜
５°となり、垂直磁化型磁気記録媒体として好適な性質
を有するようになり、またＢ／Ａ＜’−の時は△Ｑ、Ｏ
＜３°となりさらに好ましいことがわかる。
第６図にＢ／Ａ＝２１５のサンプルの顕微鏡写真（Ｘ１
２５）を示した。表面性も良好であることがわかる。
〔比較例１〕 厚さ５０μｍのポリイミドフィルムを基体ホルダーに装
着して真空容器内に入れ、真空容器内を２Ｘ１０　Ｔｏ
ｒｒまで排気した。次にＡｒガスを５×１０””’　Ｔ
ｏｒｒまで導入し、基体を２５０℃に加熱した。パーマ
ロイ合金をＲＦ電力２００Ｗで１０分間スパッタリング
してこの基体上にパーマロイの膜を形成した。得られた
パーマロイ膜は組成が元素の重量基準でＦｅ：Ｎｉ：Ｍ
ｏ＝１７：７８：５であり、膜厚は０．５μｍであった
。また、このパーマロイ膜の平均結晶粒径Ｂは、ＴＥＭ
で膜断面を観察することによりめた結果Ｂ二６０ＯＡで
あった。
次に、基体温度を室温とし、他の条件は上記と同様にし
てスパッタリングを行ないパーマロイ膜上にＣｏ−Ｃｒ
合金膜の層を形成した。このＣｏ−Ｃｒ合金膜の組成は
重量基準でＣｏ：Ｃｒ＝８０：２０で膜厚はα５μｍで
あった。またこのＣｏ−Ｃｒ膜の平均結晶粒径ＡをＴＥ
Ｍで膜断面を観察することによりめた結果、Ａ＝５０Ｏ
Ａであった。
上記の２層膜のＸ線回折で、ｈＣｐ（００２）面のロッ
キングカーブをとったところ、その半値幅＆ま△Ｑｓｏ
　＝　１２°と大きく、Ｃｏ−０ｒ結晶の配向性が乱れ
ていることがわかる。この膜の表面は第７図に顕微鏡写
真（Ｘ１２５）で示すように凹凸が多し−。
上記実施例においてはＣｏ−Ｃｒ膜の平均結晶粒径Ａは
パーマロイ膜の平均結晶粒径に拘りなく５ｏｏｕであっ
た。Ｃ□−Ｃｒの組成及び蒸着条件を変えて他の平均結
晶粒径Ａの用いて実施例１と同様なパーマロイ膜上にＣ
ｏ−Ｃｒ膜を形成したところ、Ｂ＜’−Ａ、特にＢ＜ｉ
、Ａが好適なこと力（確認できた。
これらの事実は、パーマロイ膜の平均結晶粒径ＢとＣｏ
−Ｃｒ膜の平均結晶性粒径Ａとがｎｆｌ　／Ｊ、サイ程
良いというものではなく、両者が相関的に作用して初め
てすぐれた表面性と配向性が得られることを示す。例え
ばパーマロイ膜の小さい結晶粒の上にＧｏ−Ｃｒ膜の同
程度の小さい結晶粒が支えられたのでは配向性は満足で
ない。パーマロイ膜の小さい結晶粒数個の上にＣｏ−Ｃ
ｒ膜の１つの結晶粒が支えられたときパーマロイ膜のこ
れら数個の結晶粒の平均表面か水平化されてｃｏ−Ｃｒ
結晶粒にすぐれた配向性を与えるものと思われる。これ
はあくまで仮設であるが、実験事実を良く説明するよう
に思われる。
以上のように、本発明によると配向性及び表面性の良い
垂直磁化型磁気記録媒体が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の方法により製造される垂直磁化型磁気記
録媒体の照型図、第２図は同媒体の高透磁率層の表面状
態と結晶配向を示す模型図、第３図は本発明の方法で製
造される垂直磁化型磁気記録媒体の模型図、第４図は本
発明の実施例における高透磁率層の平均結晶粒径Ｂと基
体温度の関係を示すグラフ、第５図は粒径Ｂと垂直磁化
膜の配写真である。 第５図 第６図 第７図 手続補正書 昭和５９年　３月２１日 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 事件の表示　昭和５９年　特願第１０９９８　壮発明の
名称　磁気記録媒体 補「［：を−する者 事（’ｌとの関係　特許出願人 名ｉｌｌ　（３０６）ティーディーケイ株式会社代理人 補正の対象 一願書兵発朋者圓鴇Ｕば」栴−一 明細書の」−゛６′−“′−゛°　−′１←溌明の詳細
な説明の欄補正の内容　別紙の通り １、　明細書第３頁第１２〜１６行に［特開昭５４−５
１８０４４とあるを［特公昭５Ｂ−９１４と訂正する。 ２、　回書第６直下から第３行にｒＱＪとあるを「θ」
と訂正する。 ３、　図面中筒２図及び第５図を別紙の通り訂正する。 抽１〔の対象 ・−願個４弓圓ル隷袖■庇ん蟲滞し一一＝−明細書の発
明つ烙雨−寺詐請求の噺■←発明の詳細な説明の欄ｈｉ
ｉ　ｉｌ二の内容　別紙の通り 明細書中筒７頁第１行及び第３行、第９頁第１２行、第
１６行及び第１８行、第１１頁第５行にｒＱｓｏＪとあ
るを「θｓｏ」と訂正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）少なくとも２層からなる磁性薄膜を非磁性基体表面
    上に形成してなる磁気記録媒体において、平均結晶粒径
    Ａを有する磁性層と該層に隣接した平均結晶粒径Ｂを有
    する磁性層との２層を含み、平均結晶粒径Ｂを有する磁
    性層が非磁性基体に一層近く、Ｂ＜ヲＡであることを特
    徴とする磁気記録媒体。 ２）Ｂ＜百Ａであることを特徴とする特許請求の範囲第
    １項記載の磁気記録媒体。 ３）平均結晶粒径Ａを有する磁性層が低保磁力の高透磁
    率磁性膜であり、平均結晶粒径Ｂを有する磁性層が垂直
    磁化型膜であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
    または第２項記載の磁気記録媒体。 ４）平均結晶粒径Ａを有する磁性層がコバル）−クロム
    膜であり、平均結晶粒径Ｂを有する磁性層がパーマロイ
    膜であることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし
    第３項のいずれかに記載の磁気記録媒体。
JP59010998A 1984-01-26 1984-01-26 磁気記録媒体 Pending JPS60157715A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59010998A JPS60157715A (ja) 1984-01-26 1984-01-26 磁気記録媒体
US06/691,883 US4636448A (en) 1984-01-26 1985-01-16 Magnetic recording medium
DE19853501819 DE3501819A1 (de) 1984-01-26 1985-01-21 Magnetaufzeichnungsmedium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59010998A JPS60157715A (ja) 1984-01-26 1984-01-26 磁気記録媒体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60157715A true JPS60157715A (ja) 1985-08-19

Family

ID=11765801

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59010998A Pending JPS60157715A (ja) 1984-01-26 1984-01-26 磁気記録媒体

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4636448A (ja)
JP (1) JPS60157715A (ja)
DE (1) DE3501819A1 (ja)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4990389A (en) * 1984-10-12 1991-02-05 Nippon Gakki Seizo Kabushiki Kaisha Disk for magnetic recording
JPH0640361B2 (ja) * 1985-03-07 1994-05-25 日本ビクター株式会社 垂直磁気記録再生方法
JP2522246B2 (ja) * 1986-05-06 1996-08-07 ブラザー工業株式会社 薄膜磁気記録媒体の製造方法
US4939045A (en) * 1987-03-23 1990-07-03 Hitachi, Ltd. Magnetic recording medium
ES2040343T3 (es) * 1987-06-08 1993-10-16 Esselte Meto International Gmbh Dispositivos magneticos.
JP2728498B2 (ja) * 1988-05-27 1998-03-18 株式会社日立製作所 磁気記録媒体
US5582924A (en) * 1989-01-09 1996-12-10 Esselte Meto International Gmbh Magnetic materials for security applications
US5368948A (en) * 1989-01-09 1994-11-29 Esselte Meto International Produktions Magnetic materials for security applications
JPH04102223A (ja) * 1990-08-20 1992-04-03 Hitachi Ltd 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録装置
US5324593A (en) * 1992-02-18 1994-06-28 Hmt Technology Corporation Thin film medium with layered film gradient
JPH0573881A (ja) * 1991-09-17 1993-03-26 Hitachi Ltd 磁気記録媒体およびその製造方法
US6194058B1 (en) 1998-07-31 2001-02-27 Quantegy, Inc. Multi-layer magnetic recording medium, method and system of manufacture
US7736765B2 (en) * 2004-12-28 2010-06-15 Seagate Technology Llc Granular perpendicular magnetic recording media with dual recording layer and method of fabricating same
US8110298B1 (en) 2005-03-04 2012-02-07 Seagate Technology Llc Media for high density perpendicular magnetic recording
US8119263B2 (en) * 2005-09-22 2012-02-21 Seagate Technology Llc Tuning exchange coupling in magnetic recording media
US8697260B2 (en) * 2008-07-25 2014-04-15 Seagate Technology Llc Method and manufacture process for exchange decoupled first magnetic layer
US7867637B2 (en) * 2008-11-17 2011-01-11 Seagate Technology Llc Low coupling oxide media (LCOM)
US9142240B2 (en) 2010-07-30 2015-09-22 Seagate Technology Llc Apparatus including a perpendicular magnetic recording layer having a convex magnetic anisotropy profile
US9963777B2 (en) 2012-10-08 2018-05-08 Analog Devices, Inc. Methods of forming a thin film resistor

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58141433A (ja) * 1982-02-16 1983-08-22 Teijin Ltd 磁気記録媒体とその製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5758226A (en) * 1980-09-22 1982-04-07 Toshiba Corp Magnetic recording medium
JPS5798135A (en) * 1980-12-11 1982-06-18 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium
JPS57208631A (en) * 1981-06-19 1982-12-21 Hitachi Ltd Vertical magnetic recording medium
JPS5891A (ja) * 1981-06-25 1983-01-05 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 熱交換装置
JPS5968815A (ja) * 1982-10-12 1984-04-18 Sony Corp 磁気記録媒体
JPS60117413A (ja) * 1983-11-29 1985-06-24 Tdk Corp 磁気記録媒体の製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58141433A (ja) * 1982-02-16 1983-08-22 Teijin Ltd 磁気記録媒体とその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE3501819A1 (de) 1985-08-01
US4636448A (en) 1987-01-13
DE3501819C2 (ja) 1989-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60157715A (ja) 磁気記録媒体
US7781079B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium, its manufacturing method, and a magnetic storage apparatus
US8771849B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing apparatus using the same
US20020136929A1 (en) Magnetic recording medium and method for manufacturing same
US5834085A (en) Grain isolated multilayer perpendicular recording medium
JP2000187836A (ja) 磁気薄膜媒体用の超薄核形成層および該層の製造方法
CN100559476C (zh) 垂直磁记录介质及制造该垂直磁记录介质的方法
JPS63187416A (ja) 面内磁気記録媒体
JP2006085742A (ja) 垂直磁気記録媒体及びその製造方法
US4642270A (en) Magnetic recording medium
CN104685566B (zh) 磁记录介质
JP2996442B2 (ja) 磁気薄膜記録媒体及びその製法
JP2005190538A (ja) 磁気記録媒体、およびその製造方法と装置
US6716543B2 (en) Magnetic recording medium and method for producing same
US7138196B2 (en) Layered thin-film media for perpendicular magnetic recording
US20070207348A1 (en) Perpendicular magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic storage unit
US7273667B2 (en) Longitudinal multi-layer magnetic recording medium
JP2004213869A (ja) 垂直磁気記録媒体およびその製造方法
US20030180576A1 (en) Magnetic recording medium
US20140178714A1 (en) Method and Manufacture Process for Exchange Decoupled First Magnetic Layer
JP4491768B2 (ja) 垂直磁気記録媒体およびその製造方法
US20110171494A1 (en) Discontinuous islanded ferromagnetic recording film with perpendicular magnetic anisotropy
JPH0814889B2 (ja) 垂直磁気記録媒体
JPH0817032A (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法
US20110104517A1 (en) Single-layered ferromagnetic recording film with perpendicular magnetic anisotropy