JPS60145352U - 真空用材料の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図はそれぞれ異なる本考案の真空用材
料の試験装置の各実施例を示す断面図で２ある。 １・・・真空容器、１ａ・・・真空容器の蓋、１ｂ・・
・真空容器本体、２・・・試験容器、２ａ・・・上部試
験官　゛器、２ｂ・・・下部試験容器、４・・・試験材
、５・・・真空シール材、６・・・接続管、８・・・注
入管、１ｏ・・・排出管、１０ａｔ　　１０ｂｔ　　１
０ｃ・・・冷媒ガス排出管の分岐管、１１・・・試験ガ
スリークデテクタであるへ　　　。 リウムリークデテクタ、１２・・・接続管、１３．１４
・・・止弁、１５・・・別の試験ガスリークデテクタで
あるヘリウムリークデテクタ、１６・・・ヒーター線、
１８・・・電流調整装置、２０．２１・・・片弁、２２
・・・絞り弁、２３・・・減圧用ポンプ、２８・・・透
過へリウムガス、２９・・・漏洩金すウムガス、３ｏ・
・・加熱流体供給装置、３２・・・加熱流体。 ／−ＩＸ Ｉ　　乙　４ ／′５ 第３図

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 （１）内部を真空引きされた真空容器内に、下方を開放
   した上部試験容器と上方を開放した下部試験容器とＧ間
   にそれぞれ真空シール材を介して試験材を挾んで固定し
   た試験容器を設置し、上部試験容器には試験材からの試
   験ガス透過量お、　　　よび真空シール材周辺からの試
   験ガス漏洩量を、　　　　試験するための試験流体を給
   排する注入管と排出管を設け、下部試験容器と真空容器
   とにはそれぞれ接続管によって真空容器外に設けた試験
   ２　　ガス゛リークデテクタを接続したことを特徴とす
   る真空用材料の試験装置。 （２）試験ガスリークデテクタは１個とし、それぞれの
   接続管に止弁を介在させて下部試験容器と真空容器との
   試験ガス流路を切換えるようにしたことを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項記載の真空用材料の試験装
   置。 （３）試験ガスリークデテクタは２個とし、それぞれの
   接続管に別々に接続したことを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項記載の真空用材料の試験装置。　１、
   　　　　　　　　　　　゛（４）冷媒ガス排出管には分
   岐管を設け、一方は止”ｍｒ’Ｑ’ｊＥ、”ｕ’＠孫瓢
   謬冒＝２し、上部試験容器の外周には真空容器外に哄け
   ４こ電流調整装置に接続されたヒーター線を巻きつけた
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項ないし
   第３項いずれかに記載の真空用材料の試験装置。 （５）試験流体給排用の注入管からは液体ヘリウムを供
   給し、排出管からはヘリウムガスを排出するようにした
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項ないし
   第４項いずれかに記載の真空用材料の試験装置。 （６）試験流体は加熱ヘリウムガスとしたことを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第１項ないし第４項いずれ
   かに記載の真空用材料の試験装１．゛置。