Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPS60131650A - 光メモリデイスクおよびその製造方法 - Google Patents

光メモリデイスクおよびその製造方法

Info

Publication number
JPS60131650A
JPS60131650A JP58240106A JP24010683A JPS60131650A JP S60131650 A JPS60131650 A JP S60131650A JP 58240106 A JP58240106 A JP 58240106A JP 24010683 A JP24010683 A JP 24010683A JP S60131650 A JPS60131650 A JP S60131650A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
disk substrate
teox
disk
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58240106A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0465462B2 (ja
Inventor
Koichi Kodera
宏一 小寺
Takeo Oota
太田 威夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP58240106A priority Critical patent/JPS60131650A/ja
Publication of JPS60131650A publication Critical patent/JPS60131650A/ja
Publication of JPH0465462B2 publication Critical patent/JPH0465462B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302Metals or metalloids
    • G11B2007/24316Metals or metalloids group 16 elements (i.e. chalcogenides, Se, Te)
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24318Non-metallic elements
    • G11B2007/2432Oxygen

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 木発萌は、レーザ光照射により記録膜に情報をビット記
録する光メモリディスクおよびその製造方法に関するも
のである。
従来例の構成とその問題点 近年、実時間での記録再生が可能な光メモリディスクが
大容量高密度メモリとして大いに期待されている。これ
は例えば高速回転するディスクにレーザ光を照射してそ
の記録膜にビット記録し、同じレーザ光によって読み取
るものである。記録再生を非接触で行うため、ピックア
ップおよびディスクを傷つけないこと、お工び情報への
アク七スが高速でできる等の利点を有している。
このような光メモリディスクを可能にする記録膜として
、T eo、x (、C) (x (j )薄膜がある
。このTeOxはT e O2とTeとの混合物である
。この薄膜はレーザ光照射による熱により相変態が生じ
、反射率の増大および透過率の減少によって記録ビット
を形成するものである。
TeOx’薄膜を形成する方法として、真空蒸着法が最
適ヤあり、第1図にその蒸着方法の一例を説明する。T
e蒸着源1とT e O2蒸−源2を設け、ディスク基
板3を回転させながら、それぞれの蒸着源1,2の温度
を制御して蒸着を行う。
TeOx薄膜はその組成すなわちTeOxのXの値によ
って、その特性が大きく変化する。第2図はTeOx薄
膜の組成による熱転移温度の差異を測定したものである
。ガラス基板に蒸着されたこれらの膜は、加熱しながら
その透過率を測定すると、特定温度で透過率の転移が見
られる。Te成分の多い組成(TeO2成分値の小さな
組成)では熱転移温度が低いのに対し、TeO2成分の
多い組成(TeOx薄膜値の大きな組成)では熱転移温
度が高くなっている。レーザ光によって加熱昇温して膜
を相変態させて〜記録ビットを形成させる場合、この転
移温度が低いほど記録感度が高い材料であるといえる。
これより、Te成分の多い組成(以下、Te ri’c
hな組成と呼ぶ)はど高感度な記録膜になり得るわけで
ある。
次に、これらのTeOx薄膜の安定性を調べた結果が第
3図である。ガラス基板上に蒸着した組成の異なるTe
Ox薄膜を40°C,eo%の湿度中に長時間放置して
、透過率の変化を測定した。T’erichな組成の膜
は数時間で透過率に著しい変化を示すが、T e O2
richな膜は全く変化がみられず、非常に安定である
以上の結果より、TeOx薄膜は、記録感度および変化
量の点では、Toτichな組成が有利であるが、安定
性の点からみるとTeO2richな組成が優れており
、どちらも一長一短がある問題点を有している。
発明の目的 本発明は上記の問題点を解消するもので、記録感度が高
く、かつ安定性に優れた光メモリディスクおよびその製
造方法を提供することを目的とする0 発明の構成 本発明は金属または半金属Mと酸素0との組成比がMO
x (0(x (A 、 AはMの量を1と、した場合
の酸素0の量を化学等量比で表わした値)である記録用
の薄膜をディスク基板上に形成し、前記薄膜の厚さ方向
で、前記ディスク基板に近い部分に対し、前記ディスク
基板に遠い部分で酸素量が多くなるように設定した光メ
モリディスクであり、また、これを製造するに際し、M
Oxを主成分とする焼結体を蒸着源とし、前記ディスク
基板にMowを蒸着する少くとも初期において、蒸着速
度を連続的に上昇させるようにしたものである。
実施例の説明 記録時にレーザ光の出力を上げてビット記録を行い、加
、熱変態によって生じたビット部の反射率変化を、出力
を下げたレーザ光によって再生する光ディスクの場合1
.ビーザ光の照射される側の記録膜の組成が光ディスク
の特性を左右する大きな要素となる。そこで、レーザ光
が照射される側、すなわち、ディスク基板近傍のTeO
x薄膜において、ディスク基板に近づくに従って、T、
e richな組成に連続的に変化させて、記録感度を
高めるとともにTeOx薄膜の他の領域では、T e 
O2rich表組成として、安定性を高める構成とする
次に、上記のTeOx薄膜の構成を可能にする製造方法
について説明する。第4図は製造方法を示す模式構成図
である。ノ・−ス4に蒸着源であるTeOx焼結体5を
セットする。このTeOx焼結体5に電子ビーム6が集
中的に当てられ、その極部加熱によって蒸着物質が蒸発
する。TeOx焼結体6の上方に、レーザ光案内用の溝
トラツク7を有するディスク基板8が回転しており、溝
トラック7を有する面にTeOx薄膜が蒸着される。
TeOx焼結体5を電子ビームによって加熱する場合、
電子ビームのパワーを低くして蒸着速度を低くすると、
Te richな膜が形成される。逆にパワーを上げて
蒸着速度を高くするとT e O2richな膜が形成
される。これはTe の蒸発温度が450’Cであるの
に対し、T e O2の蒸発温度は733°Cと高くな
っているためである。したがって加熱温度を低くすると
Teのみが蒸発しゃすくTe rich な膜が形成さ
れるが、加熱温度が高くなるとT e O2も蒸発しゃ
すくなり、Te02richな膜が形成される。
そこでディスク基板にTeOx薄膜を蒸着するに際して
、少なくともその初期において、蒸着速度を連続的に上
昇させることにより、基板に近い方から遠い方に向かっ
てTe rich な組成からTe02richな組成
に連続的に変化させることができる。
第6図のaの溝トラツクを形成したアクリル等のディス
ク基板9に第6図に示す蒸着速度の時間的変化でTeO
x薄膜1oを約120 nmの膜厚で形成し、さらに保
護基板11を接着層12を介して密着構造にした完成さ
せたディスクの模式図である。第5図すは、同様に薄膜
の上に樹脂コーティング12をほどこした上に、ハード
コート層13を設けたディスクである。このディスクを
1800rpmで回転させ、矢印14の方からレーザ光
を照射し5 MHzの単位周波数を記録した。その結果
、5sdBを超えるC/N比が得られ、かつ、40’C
湿度9o%の雰囲気に放置しても6年以上でも有意な変
化は見られていない。
なお、蒸着源としてTeOx焼結体としたが、他の成分
、たとえばGe、Sn等が添加されたTeOx焼結体に
おいても、主成分がTeOx焼結体であれば、その効果
は同様である。
連続的に酸素量を増加させるかわりに、階段状に、いわ
ば、多層膜状に酸素のより多い膜成分を形成しても、同
様に安定性のすぐれた膜を得ることができる。
前記実施例ではT e Oxを例にして示したが、Ge
0x(0(x(2)、5nOx(0<)C<2 )。
In0x(0(x(1,5)、B10x(0(x<1.
5)等金属または手金属Mと酸素0との組成比がMOx
(0(x (A 、 AはMの量を1とした場合の酸素
0の量を化学量比で表わした値)である記録用の薄膜に
も実現可能である。
発明の効果 以上のように本発明によれば、ディスク基板に近い部分
に対し、遠い部分で酸素量が多くなっているので、記録
感度が良く、しかも安定性に優れた光ディスクを得るこ
とができ、しかも、製造に際しては蒸着速度をコントロ
ールするだけでよいので、容易に実施することができる
ものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のTeOx薄膜を形成する方法の一例を示
す斜視図、第2図は組成を変えたTeOx薄膜の熱転移
温度を測定した特性図、第3図は組成を変えたTeOx
薄膜の安定性を調べた特性図、第4図は本発明の光メモ
リディスクの製造方法を実施した装置の原理図、第6図
a、bはそれぞれ本発明の実施例における光メモリディ
スクの断正面図、第6図は第4図の装置における蒸着速
度の時間的変化の一例を示す特性図である。 8.9・・・・・・ディスク基板、5・・・・・・Te
Ox焼結体、1o・・・・・・TeOx薄膜、11・・
・・・・保護基板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第 
2 図 ン逼1c 41 t−cノ 王1+’Wi(12!iW) 図 ρ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)金属または半金属Mと酸素Oとの組成比がMOx
     (0(x (A 、 AはMの量を1とした場合の酸
    素Oの量を化学等量比で表わした値)である記録用の薄
    膜をディスク基板1に形成し、前記薄膜の厚さ方向で、
    前記ディスク基板に近い部分に対し、前記ディスク基板
    に遠い部分で酸素量が多くなるように設定した光メモリ
    ディスク。 (2) MOxとしてGeOx (0(x (2) 、
     S nc)x(0<x(2)、Te0x(0<x〈2
     )、’ In0x(0(x〈1.6 )、B10x(
    0(x(1,5)のうちの1つを用いた特許請求の範囲
    第1項記載の光メモリディスク。 (3)Aの値が前記ディスク基板に近い方から遠い方に
    向って連続的に大きくなるように設定した特許請求の範
    囲第1項または第2項記載の光メモリディスク。 素0の量を化学等量比で表わした値)である記録用の薄
    膜をディスク基板上に形成するに際し、MOxを主成分
    とする焼結体を蒸着源とし、前記ディスク基板にMOx
    を蒸着する少くとも初期において、蒸着速度を連続的に
    上昇させることを特徴とする光メモリディスクの製造方
    法。 (6)ディスク基板1c MOx を蒸着するに際し電
    子ビーム蒸着法を用いることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の光メモリゾ9=りの製造方法。
JP58240106A 1983-12-20 1983-12-20 光メモリデイスクおよびその製造方法 Granted JPS60131650A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58240106A JPS60131650A (ja) 1983-12-20 1983-12-20 光メモリデイスクおよびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58240106A JPS60131650A (ja) 1983-12-20 1983-12-20 光メモリデイスクおよびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60131650A true JPS60131650A (ja) 1985-07-13
JPH0465462B2 JPH0465462B2 (ja) 1992-10-20

Family

ID=17054575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58240106A Granted JPS60131650A (ja) 1983-12-20 1983-12-20 光メモリデイスクおよびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60131650A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6323235A (ja) * 1986-07-16 1988-01-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式情報記録担体
JPH03120634A (ja) * 1989-10-04 1991-05-22 Dowa Mining Co Ltd 光ディスクおよびその製造法
WO2004005041A1 (ja) * 2002-07-09 2004-01-15 Sony Corporation 光記録媒体
WO2004032130A1 (ja) * 2002-10-01 2004-04-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 光学的情報記録媒体とその製造方法
WO2004080724A1 (ja) * 2003-03-13 2004-09-23 Sony Corporation 光記録媒体
JP2006116948A (ja) * 2004-09-21 2006-05-11 Ricoh Co Ltd 追記型光記録媒体

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5046317A (ja) * 1973-08-29 1975-04-25
JPS563442A (en) * 1979-06-20 1981-01-14 Toshiba Corp Optical memory disk and its manufacture
JPS57208299A (en) * 1981-06-19 1982-12-21 Fuji Photo Film Co Ltd Recording method of optical information
JPS5854338A (ja) * 1981-09-28 1983-03-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学記録媒体および記録方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5046317A (ja) * 1973-08-29 1975-04-25
JPS563442A (en) * 1979-06-20 1981-01-14 Toshiba Corp Optical memory disk and its manufacture
JPS57208299A (en) * 1981-06-19 1982-12-21 Fuji Photo Film Co Ltd Recording method of optical information
JPS5854338A (ja) * 1981-09-28 1983-03-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学記録媒体および記録方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6323235A (ja) * 1986-07-16 1988-01-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式情報記録担体
JPH03120634A (ja) * 1989-10-04 1991-05-22 Dowa Mining Co Ltd 光ディスクおよびその製造法
WO2004005041A1 (ja) * 2002-07-09 2004-01-15 Sony Corporation 光記録媒体
US7390546B2 (en) 2002-07-09 2008-06-24 Sony Corporation Optical recording medium
WO2004032130A1 (ja) * 2002-10-01 2004-04-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 光学的情報記録媒体とその製造方法
CN100373481C (zh) * 2002-10-01 2008-03-05 松下电器产业株式会社 光学信息记录介质及其制造方法
US7485355B2 (en) 2002-10-01 2009-02-03 Panasonic Corporation Optical information recording medium and method for manufacturing the same
WO2004080724A1 (ja) * 2003-03-13 2004-09-23 Sony Corporation 光記録媒体
US7464391B2 (en) 2003-03-13 2008-12-09 Sony Corporation Optical recording medium
JP2006116948A (ja) * 2004-09-21 2006-05-11 Ricoh Co Ltd 追記型光記録媒体
JP4627704B2 (ja) * 2004-09-21 2011-02-09 株式会社リコー 追記型光記録媒体

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0465462B2 (ja) 1992-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60177446A (ja) 光デイスク記録媒体
JPH029955B2 (ja)
JPS60131650A (ja) 光メモリデイスクおよびその製造方法
JPS61190734A (ja) 情報記録媒体
JPS60157894A (ja) 光情報記録媒体
JPH0582838B2 (ja)
JPS6288152A (ja) 光学情報記録部材
JPS60236133A (ja) 光デイスク及びその製造方法
JPH029954B2 (ja)
JPS6216193A (ja) 光学情報記録部材
JPH02276036A (ja) 光記録媒体
JPH023114A (ja) 情報記録用薄膜
JPH0375940B2 (ja)
JP2696754B2 (ja) 光情報記録媒体
JPS60160037A (ja) 情報記録媒体
JPS60234248A (ja) 光情報記録媒体
JPS62154341A (ja) 光記録媒体
JPS60226037A (ja) 情報記録媒体
JPH0829616B2 (ja) 情報の記録用部材
JP2571557B2 (ja) 光情報記録媒体
JP2576959B2 (ja) 光情報記録媒体
JPS63175243A (ja) 光学情報記録再生部材の製造方法
JPH03231891A (ja) 光情報記録媒体およびその製造方法
JPS63263642A (ja) 情報記録用薄膜
JPS61168142A (ja) 光記録媒体