JPS5929220A - 平面走査機構 - Google Patents
平面走査機構Info
- Publication number
- JPS5929220A JPS5929220A JP57139370A JP13937082A JPS5929220A JP S5929220 A JPS5929220 A JP S5929220A JP 57139370 A JP57139370 A JP 57139370A JP 13937082 A JP13937082 A JP 13937082A JP S5929220 A JPS5929220 A JP S5929220A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- encoder
- polygon mirror
- light beam
- rotating polygon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Fax Reproducing Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転多面鏡による光ビームの主走査と感光媒体
の副走査方向の送りにより、平面走査を行う機構に関す
る。
の副走査方向の送りにより、平面走査を行う機構に関す
る。
従来、回転多面鏡による光ビームの主走査を行う場合は
、回転多面鏡の面倒れや、走査レンズによる収差のため
に、走査ビームが回転多面鏡の鏡面ごとに副走査方向に
ずれを生じたり、−走査ラインの中でも副走査方向にわ
ん曲するなどの欠点があった。
、回転多面鏡の面倒れや、走査レンズによる収差のため
に、走査ビームが回転多面鏡の鏡面ごとに副走査方向に
ずれを生じたり、−走査ラインの中でも副走査方向にわ
ん曲するなどの欠点があった。
本発明の目的は、かかる従来の欠点を除去した平面走査
機構を提供することにある。
機構を提供することにある。
すなわち本発明によれば、光ビームを変０１１シする光
変調器と、その光ビームを主走査方向に偏向する回転多
面鏡と、偏向された光ビームを集光し感元媒体面上に焦
点をもつ走査レンズと、感光媒体を副走査方向（こ送る
送り機構から成る平面走査機構において、前記回転多面
鏡の回転軸に対する面倒れおよび走査レンズによる感光
媒体上での走査ビームの収差を補正するために、回転多
面鏡の鏡面位置に応じたパルスを出力するエンコーター
と、エンコーダーからのパルスを積算する積算器と、積
算器で示された回転多面鏡の鏡面位置の面倒イ１゜と、
走査し／ンスの収差による感光媒体上でのゆがみを補正
するだめの補正値を格納した記憶部と、読み出されたデ
ィジクルの補正値をアナログに変換するディジタル・ア
ナｌコグ変換器と、ディジクル・アナログ変換器の出力
により光ビームを偏向するたδ６の一音響光学イ６ル向
器とを備えたことを特徴間する。
変調器と、その光ビームを主走査方向に偏向する回転多
面鏡と、偏向された光ビームを集光し感元媒体面上に焦
点をもつ走査レンズと、感光媒体を副走査方向（こ送る
送り機構から成る平面走査機構において、前記回転多面
鏡の回転軸に対する面倒れおよび走査レンズによる感光
媒体上での走査ビームの収差を補正するために、回転多
面鏡の鏡面位置に応じたパルスを出力するエンコーター
と、エンコーダーからのパルスを積算する積算器と、積
算器で示された回転多面鏡の鏡面位置の面倒イ１゜と、
走査し／ンスの収差による感光媒体上でのゆがみを補正
するだめの補正値を格納した記憶部と、読み出されたデ
ィジクルの補正値をアナログに変換するディジタル・ア
ナｌコグ変換器と、ディジクル・アナログ変換器の出力
により光ビームを偏向するたδ６の一音響光学イ６ル向
器とを備えたことを特徴間する。
第１図は、従来の平面走査機構を示す図である。
第１図においで光臨１からの光ビームを光変調器２によ
り変調したあと、元ビーム拡大光学系３を通過さぜ、光
ビームを円形に拡大する。その後、回転多面鏡４により
主走査しその光ビームを走査レンズ５により走査チーフ
ルロ上に集光し走査デープル上の感光媒体に投影する。
り変調したあと、元ビーム拡大光学系３を通過さぜ、光
ビームを円形に拡大する。その後、回転多面鏡４により
主走査しその光ビームを走査レンズ５により走査チーフ
ルロ上に集光し走査デープル上の感光媒体に投影する。
第３図は従来方法（こよる走査ビームの主走査方向Ｘお
よび副走査方向Ｙのゆらぎを示す図である。
よび副走査方向Ｙのゆらぎを示す図である。
図中Ｆ１・Ｆ２・・１°゛８は回転多面鏡４の、８面か
らなる碗部をｊ願に数えた鏡面番′号１．鏡面番け２．
・・・鏡面番号８を示す。
らなる碗部をｊ願に数えた鏡面番′号１．鏡面番け２．
・・・鏡面番号８を示す。
い才、理解を容易にするために、走査テーブル６を副走
査方向Ｙに移動させない状態を考える。
査方向Ｙに移動させない状態を考える。
このとき、第１図の方法では回転多面鏡４の鏡面Ｆ１・
・・）８の而倒れによる副走査方向Ｙへの変化がみられ
る。また走査レンズ５による副走査方向Ｙへの凸形のわ
ん曲がみられる。次ｌこ本６６ ｔＪの実施例を説明す
る。
・・）８の而倒れによる副走査方向Ｙへの変化がみられ
る。また走査レンズ５による副走査方向Ｙへの凸形のわ
ん曲がみられる。次ｌこ本６６ ｔＪの実施例を説明す
る。
第２図において光源１からの光ビームをｊｃ： 変調器
２により変調したあと音響光学偏向器７を通して、光ビ
ーム拡大光学系３で光ビームを拡大覆る。
２により変調したあと音響光学偏向器７を通して、光ビ
ーム拡大光学系３で光ビームを拡大覆る。
そのあとロークリエンコーダ８て鏡面の位１１イ（が検
出できるようにした回転多面鏡４で主走査し、走査レン
ズ５で集光して、感光媒体６上に投影する。
出できるようにした回転多面鏡４で主走査し、走査レン
ズ５で集光して、感光媒体６上に投影する。
このとき、ロークリエンコーダ８からのパルス信号によ
り、後述する方法で補正回路９より、音響光学偏向器７
に、回転多面鏡の面倒れや走査レンズの収差を補正する
補正信号が出力される。
り、後述する方法で補正回路９より、音響光学偏向器７
に、回転多面鏡の面倒れや走査レンズの収差を補正する
補正信号が出力される。
第４図は第２図の構成による補正回路および音響光学偏
向器で補正された走査ビームを示す。次に補正回路を詳
細に説明する。
向器で補正された走査ビームを示す。次に補正回路を詳
細に説明する。
第５図は第２図に示す補正回路９の構成図である。ロー
クリエンコーク８からのパルス信号は補正回路の入力端
子１６に入力され、波形整形回路１０を通して積膳、器
１１で積算される。この積算された信号はあらかじめ回
転多面鏡４の鏡面ごとの面倒れや走査レンズの収差を補
正する補正値を記憶したメモリからなる記憶部１２をア
クセスするメモリアドレス信号となる。記憶部１２から
読み出されたエンコーダの位置に応じた補正値はディジ
タル・アナログ変換器１３でアナロク信号に変換され、
信号中の高周波分を除去するためにローパスフィルタ１
４を通り、出力端子１７へ補正信号古して出力される。
クリエンコーク８からのパルス信号は補正回路の入力端
子１６に入力され、波形整形回路１０を通して積膳、器
１１で積算される。この積算された信号はあらかじめ回
転多面鏡４の鏡面ごとの面倒れや走査レンズの収差を補
正する補正値を記憶したメモリからなる記憶部１２をア
クセスするメモリアドレス信号となる。記憶部１２から
読み出されたエンコーダの位置に応じた補正値はディジ
タル・アナログ変換器１３でアナロク信号に変換され、
信号中の高周波分を除去するためにローパスフィルタ１
４を通り、出力端子１７へ補正信号古して出力される。
タイミング・コントローラ］５は、２Ｇ ２図中のエン
コーダ８からのパルス信号をもとに、積ｑ。
コーダ８からのパルス信号をもとに、積ｑ。
器１１、記憶部１２、ディジタル・アナログ変換器１３
の同期制御を行う。
の同期制御を行う。
この出力端子１７の信号は第２図に示す音響光学偏向器
７に補正信号として加えられる。音響光学偏向器７は入
力信号に応じて第２図中の光変調器２を通った光ビーム
を副走査方向Ｙへ偏向し、回転多面鏡の面倒れや走査レ
ンズの収差を補正する。
７に補正信号として加えられる。音響光学偏向器７は入
力信号に応じて第２図中の光変調器２を通った光ビーム
を副走査方向Ｙへ偏向し、回転多面鏡の面倒れや走査レ
ンズの収差を補正する。
以上説明したように本発明によれば、従来不可能であっ
た回転多面鏡の面倒れ、走査レンズの収差による走査ビ
ームのゆがみを極めて少なくすることができる。
た回転多面鏡の面倒れ、走査レンズの収差による走査ビ
ームのゆがみを極めて少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の平面走査機構を示す図、第２図は本発明
の１実施例を示す図、第３図は従来方法の走査ビームの
ゆがみを示す図、第４図は本発明の実施例による走査ビ
ームのゆがみを示す図、第５図は本発明の１実施例の補
正回路のブロック図を示す。 図において、１は光源、２は光変調器、３は光ビーム拡
大光学系、４は回転多面鏡、５は走査レンズ、６は走査
テーブル、７は音響光学偏向器、８はロータリエンコー
ダ、９は補正回路、１０は波形整形回路、１１は積算器
、１２は記憶部、１３はディジタル・アナログ変換器、
】４はローパスフィルタ、１５はタイミング・コントロ
ーラ、１６は入力端子、１７は出力端子を示す。Ｘは主
走査方向、Ｙは副走査方向、Ｆｌ・・・Ｆ８は鏡面１・
・・８を示す。
の１実施例を示す図、第３図は従来方法の走査ビームの
ゆがみを示す図、第４図は本発明の実施例による走査ビ
ームのゆがみを示す図、第５図は本発明の１実施例の補
正回路のブロック図を示す。 図において、１は光源、２は光変調器、３は光ビーム拡
大光学系、４は回転多面鏡、５は走査レンズ、６は走査
テーブル、７は音響光学偏向器、８はロータリエンコー
ダ、９は補正回路、１０は波形整形回路、１１は積算器
、１２は記憶部、１３はディジタル・アナログ変換器、
】４はローパスフィルタ、１５はタイミング・コントロ
ーラ、１６は入力端子、１７は出力端子を示す。Ｘは主
走査方向、Ｙは副走査方向、Ｆｌ・・・Ｆ８は鏡面１・
・・８を示す。
Claims (1)
- 光ビームを変調する光変調器と、その光ビームを回転方
向（以下主走査方向という）に偏向する回転多面鏡と、
偏向された光ビームを集光する感光媒体面上に焦点をも
った走査レンズと、感光媒体を主走査方向と垂直方向に
送る（以下副走査方向という）送り機構から成る平面走
査機構において、前記回転多面鏡の回転軸に対する面倒
れおよび走査レンズによる感光媒体上での走査ビームの
収差を補正するために、回転多面鏡の鏡面位置に応じた
パルスを出力するエンコーダーと、エンコーダーからの
パルスを積算する積算器と、積ｑ−器で示された回転多
面鏡の鏡面位置の面倒れと走査レンズの収差による感光
媒体上でのゆがみを補正するための補正値を格納した記
憶部と、読み出されたディジタルの補正値をアナログに
変換するディジタル・アナログ変換器と、ディジタル・
アナログ変換器の出力により光ビームを偏向するための
音響光学偏向器とを備えたことを特徴とする平面走査機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139370A JPS5929220A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 平面走査機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139370A JPS5929220A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 平面走査機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929220A true JPS5929220A (ja) | 1984-02-16 |
Family
ID=15243741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139370A Pending JPS5929220A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 平面走査機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5929220A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207989A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-16 | ウエスチングハウス エレクトリック コ−ポレ−ション | 水冷却型原子炉燃料被覆材 |
| JPS62201412A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Toshiba Mach Co Ltd | レ−ザ描画装置 |
| JPS63100716U (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-30 | ||
| JPH01237513A (ja) * | 1987-05-13 | 1989-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光ビーム偏向走査装置 |
| US6034980A (en) * | 1997-11-25 | 2000-03-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Laser scanning unit module |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4998256A (ja) * | 1973-01-20 | 1974-09-17 | ||
| JPS5418759A (en) * | 1977-07-12 | 1979-02-13 | Ricoh Co Ltd | Optical scanner |
-
1982
- 1982-08-11 JP JP57139370A patent/JPS5929220A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4998256A (ja) * | 1973-01-20 | 1974-09-17 | ||
| JPS5418759A (en) * | 1977-07-12 | 1979-02-13 | Ricoh Co Ltd | Optical scanner |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207989A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-16 | ウエスチングハウス エレクトリック コ−ポレ−ション | 水冷却型原子炉燃料被覆材 |
| JPH0457237B2 (ja) * | 1985-03-08 | 1992-09-10 | Westinghouse Electric Corp | |
| JPS62201412A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Toshiba Mach Co Ltd | レ−ザ描画装置 |
| JPS63100716U (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-30 | ||
| JPH0618335Y2 (ja) * | 1986-12-18 | 1994-05-11 | キヤノン株式会社 | ビ−ム走査装置 |
| JPH01237513A (ja) * | 1987-05-13 | 1989-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光ビーム偏向走査装置 |
| JPH0527086B2 (ja) * | 1987-05-13 | 1993-04-20 | Dainippon Screen Mfg | |
| US6034980A (en) * | 1997-11-25 | 2000-03-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Laser scanning unit module |
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