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JPS5893339A - Interface assembly for testing integrated circuit device - Google Patents

Interface assembly for testing integrated circuit device

Info

Publication number
JPS5893339A
JPS5893339A JP57204713A JP20471382A JPS5893339A JP S5893339 A JPS5893339 A JP S5893339A JP 57204713 A JP57204713 A JP 57204713A JP 20471382 A JP20471382 A JP 20471382A JP S5893339 A JPS5893339 A JP S5893339A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
electrical connection
connector
contacts
assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57204713A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
ニコラス・ジエイ・セドロン
ケネス・ア−ル・リ−
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DEIMAAKU CORP
Original Assignee
DEIMAAKU CORP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US06/325,314 external-priority patent/US4473798A/en
Application filed by DEIMAAKU CORP filed Critical DEIMAAKU CORP
Publication of JPS5893339A publication Critical patent/JPS5893339A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子デバイス試験装置に関する。特定すると
、本発明は、aX周波数に不感知で迅速立上り信号によ
る広帯域試験を可能にする接触子組立体およびこのよう
な接触子組立体を試験回路にi&Mfるためのインター
フェース組立体に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an electronic device testing apparatus. More particularly, the present invention relates to a contact assembly that is insensitive to aX frequencies and allows broadband testing with fast rising signals, and an interface assembly for integrating such a contact assembly into a test circuit.

発明の背景 集積回路(IC)および類似の電子的デバイスの製造お
よび使用においては、デバイスを正確5、確実かつ高速
度で試験することが重要である。この仕事を遂行し得る
自動的試験および処理装置は入手できる。デュアルイン
ラインパッケージICを試験するのに適当な装置は、マ
サチューセッツ所在のディマーク・コーポレーションに
より市販されている。DIPi!置においては、回路は
、はy方形の箱状形態を有する成形プラスチックボディ
ー内に納められる。2列のfi!平行な接続端部は、ボ
ディーの平行側面に沿って配列され、そして各ピンはボ
ディーの主面にはy垂直な方向に延び出ている。
BACKGROUND OF THE INVENTION In the manufacture and use of integrated circuits (ICs) and similar electronic devices, it is important to accurately, reliably, and rapidly test the devices. Automatic testing and processing equipment is available that can accomplish this task. Apparatus suitable for testing dual-in-line packaged ICs is commercially available from Demark Corporation of Massachusetts. DIPi! In this case, the circuit is housed within a molded plastic body having a rectangular box-like configuration. 2 rows of fi! The parallel connecting ends are arranged along the parallel sides of the body, and each pin extends in a direction y-perpendicular to the main surface of the body.

上述の各装置においては、ICは、1組の接触子、代表
的にはダブルケルビン接触子がデバイスのピンと電気的
に接続されるようにカム作用により屈曲される試験位置
KN間的に載置せしめられる。接触子は、試験回路とデ
バイス間に電気的接続を設定する。接触子は、普通プロ
ーブまたは接触子組立体の一部であり、そして該組立体
は、接触子を取り付ける絶縁性基部材を備えている。接
触子は、普通、弾性を有し高導電性の材料の狭いストリ
ップである。また、接触子は、関連する接続ビンと基部
材と反対の自由端で電気的接続をなす。接触子の断面は
、(11すべての接触子が1組め接近して配置されたビ
ンと同時に接続しなければならないという条件、および
r2)接触子が材料の疲労なしに数百方間の動作サイク
ルの間屈曲されねばならないという条件のため比較的小
さい。接触子の長さは、IC処理装置の試験ステーショ
ンおよび試験回路間の間隔により決められる。
In each of the devices described above, the IC is placed between test positions KN where a set of contacts, typically double Kelvin contacts, are bent by camming so that they are electrically connected to the pins of the device. I am forced to do it. Contacts establish an electrical connection between the test circuit and the device. The contact is typically part of a probe or contact assembly, and the assembly includes an insulative base member to which the contact is mounted. Contacts are usually narrow strips of resilient, highly conductive material. The contact also makes an electrical connection at the free end opposite the base member with the associated connection bin. The cross-section of the contacts is such that (11) the conditions that all contacts must be connected at the same time in a pair of closely spaced bins, and r2) that the contacts can be operated for hundreds of cycles without fatigue of the material. It is relatively small due to the requirement that it must be bent for a period of time. The length of the contacts is determined by the spacing between the test stations and test circuits of the IC processing equipment.

集積回路の試験は、試験信号が「迅速立上り」信号であ
ること、すなわち電位が非常に険しく段階状に増加する
ことを必要とすることがしばしばある。代表的な迅速立
上り信号は、5V/ナノ秒の電圧変化を有することを特
徴とする。この種の信号は、フーリエ分析によると、非
常に高周波、普通約300 mHzの多数の重畳正弦波
より成るものとして表わすことができる。それゆえ、試
験回路により発射され、接触子によりデバイスに伝達さ
れる迅速立上り信号は、非常に高周波数を有する成分を
含む。
Testing of integrated circuits often requires that the test signal be a "fast rise" signal, ie, the potential increases in very steep steps. A typical fast rise signal is characterized by a voltage change of 5V/nanosecond. A signal of this type can be described by Fourier analysis as consisting of a large number of superimposed sinusoids of very high frequency, typically around 300 mHz. Therefore, the rapid rise signal emitted by the test circuit and transmitted to the device by the contact includes components with very high frequencies.

この試験装置に関する主たる問題は、接触子の固有のイ
ンダクタンスのため、信号に誘導リアクタンスXLが作
用することである。このリアクタンスは、歪および反射
を生じ、これがため試験の品質および精度は劣化する。
The main problem with this test device is that the signal is subject to an inductive reactance XL due to the inherent inductance of the contacts. This reactance causes distortion and reflections that degrade test quality and accuracy.

接触子のインダクタンスLは、導体の断面積および長さ
の関数である。
The inductance L of a contact is a function of the cross-sectional area and length of the conductor.

すなわち、インダクタンスは、長さに比例し、断面積に
逆比例して増加する。誘導性リアクタンスXL = 2
πfLであるから、迅速立上り信号と関連される非常に
高い周波数の場合、誘導リアクタンスは、通常使用され
る比較的短い接触子と関連されてさえ、相当の歪源とな
り測定の精度を制限する。
That is, inductance increases in proportion to length and inversely to cross-sectional area. Inductive reactance XL = 2
For the very high frequencies associated with fast rising signals, the inductive reactance becomes a significant source of distortion and limits the accuracy of the measurements, even in conjunction with the relatively short contacts normally used.

1つの゛可能な解決方法は、接触子の断面積を増大する
ことである。しかしながら、試験環境の物理的制限のた
め、接触子の有用な寸法は制限される。例えば、接触子
は、IC上の1つのピンとの唯一の関連を維持しながら
、隣接する接触子から横方向に分離されねばならない。
One possible solution is to increase the cross-sectional area of the contact. However, the useful dimensions of the contacts are limited due to the physical limitations of the test environment. For example, a contact must be laterally separated from an adjacent contact while maintaining a unique association with one pin on the IC.

また、接触子は、疲労を示さずに反復的に屈曲されるよ
う属十分薄くされねばならない。他の可能な解決法は、
接触子を短くすることである。この解決法は、ICを試
験回路に手で入れることができる場合には良く役立つ。
Also, the contacts must be thin enough to be repeatedly bent without exhibiting fatigue. Other possible solutions are:
The goal is to shorten the contacts. This solution works well if the IC can be inserted into the test circuit by hand.

しかしながら、高速自動化動作(例えば単位時間へ00
0ユニツト)の場合には、試験回路は、デバイZ処理機
構から物理的に分離され、電気的接続は、上述の形式の
グローブまたは接触子組立体により設定されるある短い
距離を介してなされなければならない。要するに、最新
の製造方法は、迅速立上り信号に対して厄介となるよう
な長さを有する接点を必要とする。他の解決方法は、各
接触子を同軸ケーブルのようにシールドで囲むことであ
る。しかしながら、シールドは、包囲される接触子の屈
曲性を妨げる。さらに他の可能な解決方法は、歪や反射
が消滅するのを待つように単に各装置をゆっくりと試験
することである。
However, high-speed automated operation (e.g. 00 to unit time)
0 units), the test circuit is physically separated from the Debye-Z processing mechanism and the electrical connection must be made through some short distance established by a globe or contact assembly of the type described above. Must be. In short, modern manufacturing methods require contacts with lengths that are cumbersome for fast rising signals. Another solution is to surround each contact with a shield like a coaxial cable. However, the shield impedes the flexibility of the enclosed contacts. Yet another possible solution is to simply test each device slowly to allow distortions and reflections to disappear.

しかしながら、多くの最新のICの場合、迅速立上り試
験信号により誘起される歪やエコーが静まるに十分の時
間に試験動作を蔦長させた場合には、デバイスの速度規
格を決定できないはとにデバイスの動作速度が速い。要
するに、試験動作は、試験されつ〜あるデバイスの速度
に匹敵する速度を有しなければならない。現在のところ
、14−1竺自動化IC・処理装置と使用するための接
触子組立体で、ICデバイスと試験回路間に確実な電気
的接続を設定できて、同時に、ICが迅速立上り信号で
試験されるとき歪や反射やそれkよって生ずる測定の不
確定性を避は得るようなものは知られていない。
However, for many modern ICs, the speed specification of the device cannot be determined if the test operation is prolonged long enough for the distortion and echoes induced by the rapid rise test signal to subside. The operating speed is fast. In short, the test operation must have a speed comparable to that of the device being tested. Currently, contact assemblies for use with 14-1 automated IC and processing equipment are capable of establishing a reliable electrical connection between an IC device and a test circuit while simultaneously testing the IC with a rapid rising signal. There is no known method which can avoid distortions, reflections, and the measurement uncertainties caused by them.

他の考慮すべき事柄は、「接地ノイズ」すなわちデバイ
スの動作を疑似する試験工程中電流サージに起因して生
ずる基準−電圧の変化を最小にすることである。代表的
な状況は、デバイスの状態の変化により20ミリアンペ
ア/ナノ秒の範囲の電流サージを生ずる場合の試験であ
る。このようなサージ電流は、接地基準を1■またはそ
れ以上動か17、接地に基準を置く測定値を20チ以上
歪ませる。この結果として、良好なデバイスも試験をパ
スせず、等級を減ぜられる。
Another consideration is minimizing reference-to-voltage changes caused by "ground noise" or current surges during the test process that simulate device operation. A typical situation is testing where a change in device state results in a current surge in the range of 20 milliamps/nanoseconds. Such surge currents can move the ground reference by one inch or more17 and distort ground-referenced measurements by more than 20 degrees. As a result of this, even good devices may not pass the test and have their ratings reduced.

電子デバイス用試験装置に関する他の問題は、プローブ
または接触子組立体が試験回路に接続される方法にある
。限定された領域に高密度で電気接触子がある場合、信
号の忠実度を維持しながら試験回路と接続するのが難し
い。上述の歪や反射の問題は、重要な設計上の考慮すべ
き事項である。
Another problem with test equipment for electronic devices lies in the way the probe or contact assembly is connected to the test circuit. A high density of electrical contacts in a limited area is difficult to connect to the test circuit while maintaining signal fidelity. The distortion and reflection issues mentioned above are important design considerations.

以前、試験接触子組立体の各接点は、取付板上に支持さ
れ所望の接続点にはんだ付けされた1組の線により試験
回路に電気的に接続された。このハード接続は、非常に
限定された領域に種々の恒久的電気的接続をなすのが本
質的に困難であるため、製造時間を増した。これは、ま
た、各接触子組立体および関連干る試験回路板が、単一
の組立体となったことを意味する。その結果、異なるI
Cを受は入れるためkは、全試験組、、立体を交換する
ことが必要であった。−また、ハード配線の場合、組立
体の性能は、配線を遂行する人の技術によって変わる。
Previously, each contact of a test contact assembly was electrically connected to a test circuit by a set of wires supported on a mounting plate and soldered to the desired connection points. This hard connection increased manufacturing time due to the inherent difficulty of making various permanent electrical connections in very limited areas. This also means that each contact assembly and associated test circuit board are now a single assembly. As a result, different I
In order to accommodate C, it was necessary to replace the entire test set. -Also, in the case of hard wiring, the performance of the assembly depends on the skill of the person performing the wiring.

このような状況は、組立体の信頼性を減することKなる
Such a situation reduces the reliability of the assembly.

発明の目的 それゆえ、本発明の目的は、試験回路および接触子組立
体間のインターフェース組立体で、限定された領域内に
高密度で電気的接触子が設けられ、かつ迅速立上り試験
信号に対して優れた信号伝達特性をもつものを提供する
ことである。
OBJECTS OF THE INVENTION It is, therefore, an object of the present invention to provide an interface assembly between a test circuit and a contact assembly in which a high density of electrical contacts is provided within a limited area and which is suitable for rapid rising test signals. The objective is to provide a device with excellent signal transmission characteristics.

本発明の特定の目的は、接触子組立体および/または試
験回路の便利な交換を可能とし、それKより動作の変幻
性を高めかつ必要とされる試験部品の在庫を減するイン
ターフェース組立体を提供することである。
A particular object of the invention is to provide an interface assembly that allows convenient replacement of contact assemblies and/or test circuits, which increases the variability of operation and reduces the inventory of test parts required. It is to provide.

本発明の他の特定の目的は、試験回路と、接触子組立体
の接触子または他の部品量に必要な唯一の電気的接続を
設定するのに厳格な整列を必要としない上述の利点を備
えるインターフェース装置を提供するこ7とで♂:る。
Another particular object of the invention is to provide the above-mentioned advantage of not requiring strict alignment to establish the test circuit and the only electrical connection necessary to the quantity of contacts or other components of the contactor assembly. By providing an interface device with 7.

本発明のさらに他の特定の目的は、実質的に%性インピ
ーダンスで迅速立上り信号を伝達する上述の利点を備え
るインターフェース組立体を提供することである。
Yet another particular object of the invention is to provide an interface assembly with the above-mentioned advantages of transmitting fast-rise signals with substantially % impedance.

本発明のさらに他の特定の目的は、試験されら〜ある電
子デバイスから試験回路までの電路が比較的短い試験装
置を提供することである。
Yet another particular object of the invention is to provide a test apparatus in which the electrical path from an electronic device being tested to the test circuit is relatively short.

本発明のさらに他の特定の目的は、概ね簡単で、低兼価
で高度に耐久性の構造を有する上述の利点を備えるイン
ターフェース組立体を提供することである。
Yet another particular object of the invention is to provide an interface assembly with the above-mentioned advantages having a generally simple, low cost and highly durable construction.

発明の概要 電子デバイス特に平行な2列の接続ピンを備えるデュア
ルインラインパッケージ(DIP)IC用の本発明の接
触子組立体は、少なくとも1列の弾性電気接触子を支持
する基部を有しており、そしてこれらの接触子は、その
下端が基部に接続さ−れ、基部にはy垂直に延び出てい
る。普通、自由端は、接触子がデバイスに向って屈曲さ
れるとき関連するピンと電気的に接続するように、該ピ
ンに向って折り曲げられている。各接触子は、小断面ケ
有し、試験回路とデバイス間にその長さに沿つて電気信
号を導くように設計されている。各接触子は、その自由
端が関連するピンから離間された第1の非試験位置から
、自由端がピンと電気的に接触せしめられる第2の試験
位置へと弾性的に屈曲するように構成されている。各接
触子の下端は、好ましくは、基板を貫通し、インターフ
ェース組立体と電気的に接続をなすのがよい。
SUMMARY OF THE INVENTION A contact assembly of the present invention for an electronic device, particularly a dual in-line package (DIP) IC with two parallel rows of connection pins, has a base supporting at least one row of resilient electrical contacts. , and these contacts are connected at their lower ends to the base and extend perpendicularly to the base. Typically, the free end is bent toward the associated pin so as to electrically connect with the associated pin when the contact is bent toward the device. Each contact has a small cross-section and is designed to conduct electrical signals along its length between the test circuit and the device. Each contact is configured to resiliently flex from a first non-test position in which its free end is spaced apart from an associated pin to a second test position in which its free end is brought into electrical contact with the pin. ing. The lower end of each contact preferably extends through the substrate and makes electrical connection with the interface assembly.

基部はまた、各接触子列と関連されかつこれとはy平行
かつ近接関係に配向された導電板を支持している。間隔
は一様であるのがよい。好ましい形式においては、板は
連続的であり、関連する接触子列のはy全長にわたって
延在するのがよい。
The base also supports a conductive plate associated with and oriented in y-parallel and proximate relationship with each contact row. It is preferable that the spacing be uniform. In a preferred form, the plate is continuous and the associated contact rows extend over the entire y length.

板はまた、−縁にて基部に固定され、弾性を有するのが
よい。板の寸法および間隔は、接触子に沿って伝達され
る信号から見ると分布容量を生ずる。
The plate may also be fixed to the base at the edges and be elastic. The dimensions and spacing of the plates create a distributed capacitance in terms of the signal transmitted along the contacts.

生じた容量性リアクタンスの値は、接触子の自己インダ
クタンスにより発生される誘導性リアクタンスを実質的
に相殺する。この結果、接触子で発射される迅速立上り
信号には、実質的に特性インピーダンスが作用する。換
言すれば、接触子組立体は、実質的に周波数に無関係で
あり、それゆえ広帯域にわたって動作し得る。板は、基
板中を貫通し、インターフェース組立体とも電気的に接
続する。
The resulting capacitive reactance value substantially cancels the inductive reactance generated by the contact's self-inductance. As a result, a characteristic impedance substantially acts on the rapid rise signal emitted by the contact. In other words, the contact assembly is substantially frequency independent and therefore can operate over a wide band. The plate extends through the substrate and also makes electrical connection to the interface assembly.

接触子組立体は、直立板と関連する接触子列との間に挿
入された可撓性の絶縁材料層を含むのがよい。絶縁層は
、接触子がピンと接続および離脱する屈曲動作中板と関
連する接触子との間の所望の分離間隔を維持する。また
好ましい形式において、特性インピーダンスの値は、は
r50ないし100Ωの範囲である。
The contact assembly may include a layer of flexible insulating material interposed between the upright plate and the associated row of contacts. The insulating layer maintains the desired separation distance between the plate and the associated contact during bending operations as the contact connects and disengages from the pin. Also in a preferred form, the value of the characteristic impedance is in the range r50 to 100Ω.

接触子組立体の他の特別の構成は、少なくとも1枚の板
が、はy関連する接触子列と被試験デバイス間に位置す
ることである。この「内側j板は、ピンの1つと電気的
に接続するように構成されかつ位置づけられた接触部材
を支持している。平行な2列のピンを有するデバイスと
使用するのに適合した本発明の好ましい形式にお〜1て
は、デバイスの2つの異なるピンと電気的に接続する2
枚のこの棟の「−内側」板が設けられている。これらの
板および接触子は、ICk密接して位置づけられてIC
K大試験電流サージを供給する手段を提供する。板の寸
法は、低いインダクタンスを賦与するような寸法である
。一方の内側板は、大電流サージ源に接続され、他方の
内側板は接地に接続される。真向側板は、基部の上下い
ずれかに配置され得る小コンデンサを介して互に接続さ
れる。
Another special configuration of the contact assembly is that at least one plate is located between the associated contact row and the device under test. This "inner J-plate supports a contact member configured and positioned to make electrical connection with one of the pins. The present invention is adapted for use with devices having two parallel rows of pins. In the preferred form of ~1, there are two
There are two "-inside" boards for this building. These plates and contacts are closely positioned to
A means is provided for supplying a K large test current surge. The dimensions of the plates are such that they impart low inductance. One inner plate is connected to a high current surge source and the other inner plate is connected to ground. The opposite side plates are connected to each other via small capacitors that can be placed either above or below the base.

インターフェース組立体は、試験接触子組立体を試験回
路に接続する。インターフェース組立体は、少なくとも
一面゛上に導電性ストライプパターンが形成された接触
基板を備える0弾性のコネクタで、導電性ストライプと
接触子組立体の関連する接触子または板間の電気的接続
が設定される。
An interface assembly connects the test contact assembly to the test circuit. The interface assembly is a zero-resistance connector comprising a contact substrate having a conductive stripe pattern formed on at least one side, the electrical connection being established between the conductive stripe and an associated contact or plate of the contact assembly. be done.

各弾性コネクタは、細長く、その表面上に一連の狭い導
電性条片を担持している。ストライプは、相互に離間さ
れており、弾性部材の長手方1軸線に関してはy垂直に
配向されている。各弾性コネクタは、接触基板上の゛)
1本の導電性ストライプと接触子組立体の関連する接触
子または板の間に唯一の電気的接続を設定する。
Each resilient connector is elongated and carries a series of narrow conductive strips on its surface. The stripes are spaced apart from each other and oriented perpendicular to the y-perpendicular axis with respect to one longitudinal axis of the elastic member. Each elastic connector is attached to the contact board (゛)
A unique electrical connection is established between one conductive strip and the associated contact or plate of the contact assembly.

好ましい形式においては、組立体は、弾性コネクタと接
触子の下端を受容するように構成された開口をもつ2枚
のコネクタフレームを備える。一方のフレームは、接触
基板と試験接触子組立体の間に位置づけられ、他方のフ
レームは接触基板の下に位置づけられる。これらのコネ
クタフレームは、弾性コネクタを、接触基板上の導電性
ストライプおよび接触子組立体の接触子または板の両者
に関して位置づけし固定する。フレームそれ自体は、接
触子組立体および接触基板に関して予め選択された空間
的位置関係に固定される。インターフェースの構成要素
は、1組のねじのようなりランプ手段を用い、接触基板
上の導電性ストライプ、導電性条片および接触子組立体
の導電性部材間に4Il!実な電気的接続を設定するに
十分の力で、接触子組立体にかつ相互に固定される。弾
性コネクタおよびコネクタフレームの寸法は、締付けに
より弾性部材が隣接する導電性部材と確実に電気的に接
続されるように圧迫されるような寸法とするのが好まし
い。フレームは、実質的に剛性の材料より形成され、締
付は中弾性コネクタのたわみの程度を制御できるような
厚さを有する。コネクタのたわみのため、上述の電気的
接続が設定され、他方で導電性条片の構造的一体性が保
たれる。
In a preferred form, the assembly includes two connector frames having openings configured to receive the lower ends of the resilient connectors and contacts. One frame is positioned between the contact substrate and the test contact assembly, and the other frame is positioned below the contact substrate. These connector frames position and secure the resilient connectors relative to both the conductive stripes on the contact substrate and the contacts or plates of the contact assembly. The frame itself is fixed in a preselected spatial relationship with respect to the contact assembly and contact substrate. The interface components use a set of screw-like lamp means to connect the conductive stripes on the contact substrate, the conductive strips and the conductive members of the contact assembly between the conductive members of the contact assembly. are secured to the contact assembly and to each other with sufficient force to establish a viable electrical connection. Preferably, the dimensions of the resilient connector and connector frame are such that upon tightening, the resilient members are compressed to ensure electrical connection with adjacent conductive members. The frame is formed of a substantially rigid material and has a thickness such that the clamp can control the degree of deflection of the moderately elastic connector. Due to the deflection of the connector, the electrical connection described above is established while the structural integrity of the conductive strip is maintained.

また、好ましい形式においては、接触基板は、該板肉に
サンドウィッチされた金属層の形式の少なくとも1つの
内部導電路を含む。この層は、導電性ストライプに沿っ
て伝達される迅速立上り信号にはy固有のインピーダン
スが作用するようk。
In a preferred form, the contact substrate also includes at least one internal conductive path in the form of a metal layer sandwiched into the platen. This layer k is such that a fast rising signal transmitted along the conductive stripes has a unique impedance.

導電性ストライプICQIして分布容量を設定するよう
に位置づけられるのがよい。接触基板は、中間金属層と
1または複数の導電性ストライプ間に電気的接続を設定
するため、接触基板の頂部および/または底部から中間
金属層に延びるメッキ貫通孔を備えることができる。
The conductive stripes ICQI may be positioned to set distributed capacitance. The contact substrate may include plated through holes extending from the top and/or bottom of the contact substrate into the intermediate metal layer to establish electrical connections between the intermediate metal layer and the one or more conductive stripes.

本発明のこれらおよびその他の特別の構成および目的は
、図面を参照して行なった以下の説明から容易に理解で
きよう。
These and other particular features and objects of the invention will be readily understood from the following description taken in conjunction with the drawings.

接触子組立体の説明 第1〜4図を参照すると、基部14と、4列16a、1
6b116Cおよび16dの接触子16と、以下に集約
的に板18として言及される1組のRを性板18a、1
8b、18Cおよび18dを備える試験接触子組立板1
2が示されている。本説明の目的上、基部は、水平に配
向されていると見ることにする。また、基部は絶縁性で
あり、はy板状形態である。各板18は、1列の接触子
と関連される。各接触子16は、基部14に固定された
下端部20と、集積回路デバイス26の関連するピン2
4に向って折り曲げられた自由端部または上端部22を
有する。各接触子16の断面は、はX方形であるのがよ
く、各接触子の広い面がピン24と平行に対面するよう
になされている。図示されるように、列16aおよび1
6bの接触子はケルビン対を構成するように配置されて
おり、2本の接触子すなわち列ISbの接触子161お
よび列16.aの161が同時に同じピン24と電気的
接続をなすよ”うに適合されている。外側の列16a(
デバイスから遠い方の列)の接触子161は、接触子1
6”kir取り囲んでおり、接触子161′の自由端は
接触子161の自由端に重なっている。同様に、列16
Cの1つの接触子と列16dの関連する重畳する接触子
はケルビン対を形成しており、デバイス260反対側に
おいてピンと電気的に接続する。列1−6aおよび16
bの接触子対は、列16Cおよび16dの同様の接触子
対とはy相対しており、接触子組立体12が第3図およ
び第4図に示される形式のDIPIC2dのすべてのピ
ンと電気的に接続するノヲ可能にする。列ISa〜16
dの接触子は、相互にかつデバイス26の接続ビン24
列とfir平行である。
DESCRIPTION OF THE CONTACT ASSEMBLY Referring to FIGS. 1-4, the base 14 and the four rows 16a, 1
6b 116C and 16d contacts 16 and a pair of R, hereinafter collectively referred to as plates 18, are connected to sexual plates 18a, 1
Test contact assembly plate 1 comprising 8b, 18C and 18d
2 is shown. For purposes of this description, the base will be viewed as being horizontally oriented. Further, the base is insulating and has a Y-plate shape. Each plate 18 is associated with a row of contacts. Each contact 16 has a lower end 20 secured to the base 14 and an associated pin 2 of the integrated circuit device 26.
It has a free end or upper end 22 bent towards 4. The cross section of each contact 16 is preferably an X-square, with the wide side of each contact facing parallel to the pin 24. As shown, columns 16a and 1
The contacts of row ISb are arranged to form a Kelvin pair, namely the contacts 161 of row ISb and the contacts of row 16.6b. 161 of the outer row 16a are adapted to simultaneously make an electrical connection with the same pin 24.
The contact 161 in the column farthest from the device is the contact 1
6"kir, and the free end of contact 161' overlaps the free end of contact 161. Similarly, row 16
One contact of C and the associated overlapping contact of row 16d form a Kelvin pair and electrically connect with a pin on the opposite side of device 260. Columns 1-6a and 16
Contact pair b is y-opposite to similar contact pairs in rows 16C and 16d such that contact assembly 12 is electrically connected to all pins of DIPIC 2d of the type shown in FIGS. Enables you to connect to. Column ISa~16
d contacts to each other and to the connection bin 24 of the device 26.
It is parallel to the column.

対の接触子の下端部20は、絶縁性ストリップ2B、2
8で離間されている。接触子は、第1図および第2図に
示される通常の非屈曲位置において、基部14にはy垂
直である。この位置において、接触子の端部22はピン
24から離間されている。接触子16は二高導電性材料
より成ることに加えて、弾性でありかつ第、5図および
第4図に示される試験位置に対する繰返しの屈曲動外中
材料の疲労に耐える材料から形成される。屈曲状態にお
いて、自由端部22の端面22aは、関連するピン24
と電気的に接続する。スペーサロッド50が、列16a
および16b間と列16Cおよび16a間に固定されて
いる。ロッド3oは、第3図において矢印52.521
Cより指示される方向で加えられる横断方向力(普通カ
ム(図示せず)により供給される)kより生起される屈
曲運動中接触子間に所望の間隔を保証する。
The lower ends 20 of the pair of contacts include insulating strips 2B, 2
They are separated by 8. The contact is y-perpendicular to the base 14 in the normal, unflexed position shown in FIGS. 1 and 2. In this position, the end 22 of the contact is spaced apart from the pin 24. In addition to being comprised of a highly conductive material, the contact 16 is formed from a material that is resilient and resistant to fatigue of the material during repeated flexural movements relative to the test positions shown in FIGS. . In the bent state, the end surface 22a of the free end 22 is connected to the associated pin 24.
electrically connect with. The spacer rods 50 are arranged in row 16a.
and 16b and between columns 16C and 16a. The rod 3o is indicated by arrows 52 and 521 in FIG.
A transverse force (usually provided by a cam (not shown)) applied in the direction indicated by C ensures the desired spacing between the contacts during the bending movement caused by k.

本発明の主たる特徴的構成は、各々1列の接触子16と
関連する1組の導電板18a〜18dである。板185
〜18dは、好ましくははX方形であり、基部14の適
当な開口中を通過する下縁部34にて基部14)C固定
声れる。各板のフラン2部分36は、基部14の下に該
基部にir平行に延びて、おり、蓼地に対する電気的接
続領域(板18aおよび18d/対する)を提供する。
The main feature of the invention is a set of conductive plates 18a-18d, each associated with a row of contacts 16. Board 185
~18d is preferably square-shaped and is secured to the base 14) with its lower edge 34 passing through a suitable opening in the base 14. The flange 2 portion 36 of each plate extends below and ir-parallel to the base 14 and provides an area of electrical connection to the footing (plates 18a and 18d).

内側板18bおよび18cもまた、7ランジ状部分37
を有するのが好ましく、そして該7ランジ状部分は、基
部14の上置に沿って延在している以外7ランジ部分3
6とはy同様である。フランジ状部分57は、板188
に対しては接地への電気的接続を、板18bk対しては
大電流サージ源への電気的接続を可能にする。板は、弾
性でありかつ実質的に一様な厚さを有する導電性シート
材料より形成される。各板はまた、関連する接触子列K
fir平行となり、実質的に一定距離接触子列から離間
されるように配向されている。板は、接触子のar全全
長わたり垂直に延在しており、内側板18bおよび1B
、Cの上縁と接触子の内側列16bおよび1,6Cの上
に重なる頂部部分22との間に小間隙が形成される。各
板は、少なくとも関連する接触子列の全長にわたって横
断方向に延在している。いずれの接触子にとっても、関
連する板は、制限されない寸法をもつ平行な板に近似で
ある。
The inner plates 18b and 18c also have seven flange-like portions 37.
Preferably, the 7 flange-like portions have a 7 langous portion 3 except that the 7 langous portions extend along the upper part of the base 14.
6 is the same as y. The flange-like portion 57 is connected to the plate 188
For plate 18bk, electrical connection is made to ground, and for plate 18bk, electrical connection is made to a high current surge source. The plate is formed from a conductive sheet material that is elastic and has a substantially uniform thickness. Each plate also has an associated contact row K
ir parallel to each other and are oriented so as to be spaced apart from the row of contacts by a substantially constant distance. The plates extend vertically over the entire length of the contact and include inner plates 18b and 1B.
, C and the top portion 22 which overlies the inner rows of contacts 16b and 1,6C. Each plate extends transversely at least the length of the associated contact row. For any contact, the associated plate approximates a parallel plate with unrestricted dimensions.

図示の好ましい形式においては、ふっ素樹脂のような可
撓性絶縁性材料の薄層38が、各版を6関連する接触子
列から予め選択された間隔に維持している。層3Bは、
横断方向の屈曲力(矢印52の方向の力)でこれが認め
得るほどに圧縮されず、板と関連する接触子列間の間隔
が実質的に減ぜられないような十分のショア硬度を有す
べきであ〉。
In the preferred form shown, a thin layer 38 of flexible insulating material, such as fluoroplastic, maintains each plate at a preselected spacing from the six associated rows of contacts. Layer 3B is
has sufficient Shore hardness that transverse bending forces (forces in the direction of arrow 52) do not appreciably compress it and do not substantially reduce the spacing between the plates and associated contact rows. It should be.

他方、層3Bは、屈曲運動を認め得るほどに妨げないよ
うな可撓性とすべきである。同様に、板目体も、板18
aおよび18dの外側のロッド30と整列する点に保持
される絶縁性ロッド40を介して加えられる横断方向力
による屈曲運動を認め得るほどに妨げないような可撓性
を有すべきである。層3Bは、好ましくは、板のはy全
高にわたって延在し、板と関連する接触子列間にはy一
様な誘電定数を提供するようにするのがよい。板と接触
子間の間隔はまた、小さい非弾性のスペーサ部材ならび
に主たる絶縁媒体としての空気のような他の手段によっ
ても維−持できる。
On the other hand, layer 3B should be flexible enough not to appreciably impede bending movements. Similarly, the plate 18
It should have such flexibility that it does not appreciably impede bending movement due to transverse forces applied through the insulating rods 40 held in alignment with the outer rods 30 of a and 18d. Layer 3B preferably extends over the entire height of the plate and provides a uniform dielectric constant between the plate and the associated row of contacts. The spacing between the plates and the contacts can also be maintained by other means, such as small inelastic spacer members and air as the primary insulating medium.

各接触子は、その下端の試験回路に対する接続点からI
C26の関連するピン24と接触下にあど  す る端部22に、その長さに沿って信号を導く。各接触子
は、一般の導体と同様に、固有のインダクタンスLを有
し、そしてこれは断面積と長さの関数である。接触子1
6のようなfir方形の矩形状断面を有する導体の場合
、接触子の厚さくはy矢印32の方向で測る)、接触子
の幅W(ロット30の方向に沿って測る)および接触子
の長さの関数である。迅速立上り信号が発射されるとき
、相当の長さを有する接触子接点(代表的長さは約1イ
ンチである)は、2πfLに等しい誘導性リアクタンス
xLを発生する。発生される誘導性インピーダンスは、
もちろん、導体の形状と迅速立上り信号そのものの性質
に依存する。上述のように、迅速立上り信号は、極度の
高周波数(代表的周波数はsoomHz)を有する波の
集合として分析できるから、接触子16の極度に小さい
インダクタンスでも十分に誘導性のりアクタンスを生じ
、伝達される信号に歪および反射を導入することがある
Each contact has an I
The signal is guided along its length to the end 22 which comes into contact with the associated pin 24 of C26. Each contact, like a common conductor, has a specific inductance L, which is a function of cross-sectional area and length. contact 1
In the case of a conductor with a rectangular cross section of the fir square, such as 6, the thickness of the contact (measured in the direction of the y-arrow 32), the width of the contact W (measured along the direction of the lot 30) and the width of the contact It is a function of length. When a fast rise signal is fired, a contactor contact having a significant length (a typical length is about 1 inch) will generate an inductive reactance xL equal to 2πfL. The inductive impedance generated is
Of course, it depends on the shape of the conductor and the nature of the fast rising signal itself. As mentioned above, since the rapid rise signal can be analyzed as a collection of waves with an extremely high frequency (the typical frequency is soomHz), even the extremely small inductance of the contactor 16 is sufficient to create an inductive actance and prevent transmission. may introduce distortion and reflections into the signal being received.

本発明の板は、接触子の長さに沿って分布容量を提供す
ることkよりこの誘導性リアクタンスを中和するのであ
る。単一の接触子に対するこの等価回路が第5図に示さ
れているが、この図において、接触子16は、一連のイ
ンダクタ42として表わされており、接触子と関連する
板間の分布容量は、インダクタ42と接地間に接続され
た一連のコンデンサとして表わされている。信号源また
は試験回路46は回路の一端に接続され、負荷48とし
て表わされるIC26は他端に接続されている。所与の
接触子および所与の試験信号に対して、従来の伝送線理
論および式を使って接触子16および関連する板1Bの
インダクタンスおよびWtを計算すると、誘導性リアク
タンスxLの位相シフトを相殺する容量性リアクタンス
Xcの分布容量を生ずるような板−接触子間隔を計算で
きる。この結果、接触子16により伝達される迅速立上
り信号には、実質的に抵抗性の特性インピーダンスが作
用する。すなわち、伝送線の容量性または誘導性素子に
起因する電流および電圧間の正味の位相シフトはない。
The plates of the present invention neutralize this inductive reactance by providing distributed capacitance along the length of the contact. This equivalent circuit for a single contact is shown in FIG. 5, where the contact 16 is represented as a series of inductors 42 and the distributed capacitance between the contacts and associated plates is shown in FIG. is represented as a series of capacitors connected between inductor 42 and ground. A signal source or test circuit 46 is connected to one end of the circuit, and an IC 26, represented as a load 48, is connected to the other end. For a given contact and a given test signal, calculating the inductance and Wt of the contact 16 and associated plate 1B using conventional transmission line theory and equations cancels out the phase shift of the inductive reactance xL. It is possible to calculate the plate-to-contact spacing that yields a distributed capacitance of capacitive reactance Xc. As a result, the rapid rise signal transmitted by the contact 16 is subject to a substantially resistive characteristic impedance. That is, there is no net phase shift between current and voltage due to capacitive or inductive elements of the transmission line.

それゆえ、インピーダンスZoは、信号の周波数と実質
的に無関係であり、試験接触子組立体12は広帯域であ
る。
Therefore, the impedance Zo is substantially independent of the frequency of the signal and the test contact assembly 12 is broadband.

普通、IC26は、接触子組立体のインピーダンスが5
0Ωまたは100Ωのシステムで試験される。それゆえ
、本発明の接触子組立体12は、これら値の一方の値を
もつ特性インピーダンスを生ずるように接触子16に関
して構成され位置づけられた板18a〜18dを有する
のが好ましい。
Typically, IC26 has a contact assembly impedance of 5.
Tested in 0Ω or 100Ω systems. Therefore, the contact assembly 12 of the present invention preferably has plates 18a-18d configured and positioned relative to the contact 16 to provide a characteristic impedance having one of these values.

ZOのΩ値は、L/Cの平方根で与えられる。もちろん
、接触子のインダクタンスまたは板18により導入され
る容量は、信号に作用する特性インピーダンスとして5
00以下、1000以上またはある中間の値を生ずるよ
うに設計できる。
The Ω value of ZO is given by the square root of L/C. Of course, the inductance of the contactor or the capacitance introduced by plate 18 will act as a characteristic impedance acting on the signal.
It can be designed to produce a value less than 00, more than 1000, or some intermediate value.

本発明の接触子組立体に対しては、特に部材が剛性で固
定であり、絶縁性媒体が空気である場合、計算でかなり
良好な特性指示を得ることができるが、所望の特性イン
ピーダンスを生ずるような形態に達成するには、普通は
試行錯誤による調節が必要とされる。ケルビン接触子を
形成する接触子対は、同じピンに接続されて同じ信号を
伝搬するから、実際問題として対間の容量は重要でない
For the contact assembly of the present invention, calculations can give a fairly good indication of the properties, especially if the members are rigid and fixed and the insulating medium is air, but it is not possible to produce the desired characteristic impedance. Achieving such a configuration usually requires trial and error adjustment. Since the pairs of contacts forming a Kelvin contact are connected to the same pin and carry the same signal, the capacitance between the pairs is not important as a practical matter.

しかしながら、横断方向に隣接する接点間の容量は重要
である。この容量を減するために、ある種の応用に対し
ては、各ピンに対してケルビン対でなく単一の接触子を
使用するのが好ましいことがある。ディマーク。・コー
ポレーションにより製造される試験/処理器に使用され
る形式の代表的ケルビン接触子組立体の場合、1ナノ秒
について5ボルトの電位変化を有する迅速立上り信号で
使用すると、約0.014インチの板−接触子間隔が所
望のレスポンスを生ずることが分った。
However, the capacitance between transversely adjacent contacts is important. To reduce this capacitance, for some applications it may be preferable to use a single contact for each pin rather than a Kelvin pair. Demark. - For a typical Kelvin contact assembly of the type used in test/processors manufactured by the Corporation, approximately 0.014 inch It has been found that the plate-to-contact spacing produces the desired response.

本発明の接触子組立体の他の重要な特徴的構成は、内側
板18bおよび18Cが、IC24に隣接する面一トに
取り付けられかつICの関連するビン24と接触するよ
うに位置づけられたピン接触部材50および52を備え
ることである。接触部材50および52は、L字状導体
であり、内側板に溶接またはろう付けされる。これら部
材は、大電流サージに応答してICの動作を試験するの
に有用である。内側板の一方、好ましくは板11bは、
適当な大電流サージ源(例えばコンデンサ(図示せず)
)に接続されるのがよく、電流サージは、板18bおよ
び接触部材50を介してICk供給でき尋。板113b
の寸法は単一の接触子に比して大きいから、普通大電流
サージと関連される誘導性インピーダンスの問題は最小
となることに留意されたい。接触部材52は、板18麿
および18dと同様に、板18Cを介して接地に接続さ
れる。
Another important feature of the contact assembly of the present invention is that the inner plates 18b and 18C have pins mounted flush adjacent the IC 24 and positioned to contact the IC's associated bin 24. Contact members 50 and 52 are provided. Contact members 50 and 52 are L-shaped conductors and are welded or brazed to the inner plate. These components are useful for testing the operation of ICs in response to large current surges. One of the inner plates, preferably plate 11b, is
A suitable high current surge source (e.g. a capacitor (not shown))
), and the current surge can be supplied via plate 18b and contact member 50. Board 113b
Note that because the dimensions of the contact are large compared to a single contact, inductive impedance problems normally associated with large current surges are minimized. Contact member 52 is connected to ground via plate 18C, similar to plates 18maro and 18d.

板18bおよび18Cは、小コンデンサ54を介して相
互に接続される。コンデンサ54の機能は、第6図を参
照するとよく理解できる。大電流サージ源は、参照番号
56により指示されている。
Plates 18b and 18C are interconnected via a small capacitor 54. The function of capacitor 54 can be better understood with reference to FIG. The high current surge source is designated by reference numeral 56.

ICは負荷として示され、コンデンサ54は負荷と並列
に接続されている。容量は小さいから、その対接地イン
ピーダンスは非常に小さい。この結果、板18bが高電
圧源に接続されても、迅速立上り信号に対しては、板1
8bは接地電位にあるがごとく働く。この配置の利点は
、試験されっ〜あるデバイスに非常に接近して位置づけ
られた大電流サージ源が提供きれることである。これは
また、伝送における歪みの減少をもたらし、試験結果の
精度を向上する。
The IC is shown as a load, and capacitor 54 is connected in parallel with the load. Since the capacitance is small, its impedance to ground is very small. As a result, even though plate 18b is connected to a high voltage source, for fast rising signals, plate 18b
8b works as if it were at ground potential. The advantage of this arrangement is that it provides a high current surge source located very close to the device being tested. This also results in reduced distortion in the transmission and improves the accuracy of test results.

コンデンサ54は、第1図および第3図においては、基
部14の上面に位置づけられ7ランク3フ間に接続され
るものとして示されている。この配置は、IC241’
C非常に近接してコンデンサを配置できるという利点を
有する。しかしながら、ある種の試験条件では、ICお
よびIC近傍の部分なコンデンサに悪影響を及ぼすよう
な温度環境KWl!<ことが必要である。これらの場合
には、コンデンサ54は、基部14の下側に位置する板
18b、18cの7ランク36間に接続できる(仮想線
で示される)。この配置は、I(1’およびコンデンサ
間の距離を実質的に増すことなくコンデンサ54に対す
る温度の隔絶を可能にする。
Capacitor 54 is shown in FIGS. 1 and 3 as being positioned on the top surface of base 14 and connected between seven ranks and three ports. This arrangement is IC241'
C has the advantage that capacitors can be placed very close together. However, under certain test conditions, the temperature environment KWl! can adversely affect the IC and some capacitors near the IC! <It is necessary. In these cases, capacitor 54 can be connected between seven ranks 36 of plates 18b, 18c located on the underside of base 14 (shown in phantom). This arrangement allows for thermal isolation for capacitor 54 without substantially increasing the distance between I(1' and the capacitor).

インターフェース組立体の説明 第7〜11図を参照すると、接触子組立体12は、該組
立体の基部14の直下に位置するインターフェース組立
体10C1を介して試験日路44に接続される。インタ
ーフェース組立体10Qは、上部コネクタフレーム1o
5、上部弾性コネクタ110、接触基板115、下部コ
ネクタフレーム120、下部弾性コネクタ125および
コネクタクランププレート150を有する。上部;ネク
タフレーム105は、接触子組立体120基部14と接
触基板115の上面の関に保持される。下部コネクタフ
レーム120は、接触基板115の下、クランプ板13
0の上面上に保持される。インターフェース組立体10
0は、第8.9および11図にもつともよく見られるよ
うにサンドウィッチ状の構造を有している。
Description of the Interface Assembly Referring to Figures 7-11, the contact assembly 12 is connected to the test channel 44 via an interface assembly 10C1 located directly below the base 14 of the assembly. The interface assembly 10Q is connected to the upper connector frame 1o.
5. It has an upper elastic connector 110, a contact board 115, a lower connector frame 120, a lower elastic connector 125 and a connector clamp plate 150. Upper part: The connector frame 105 is held in contact with the contact assembly 120 base 14 and the upper surface of the contact substrate 115. The lower connector frame 120 is located below the contact board 115 and below the clamp plate 13.
0 is held on the top surface. Interface assembly 10
0 has a sandwich-like structure, as can be seen in Figures 8.9 and 11.

上部弾性コネクタ110は、上部=ネクタフレーム10
5の開口105a内に受容されている。
The upper elastic connector 110 has an upper part=connector frame 10
5 is received in the opening 105a.

下部弾性コネクタ125は、下部コネクタフレーム12
flの開口120鳳i1c受容される。コネクタ110
および125の断面の寸法は、関連する開口105aお
よび120aより上下に若干突き出るような寸法である
。組立体1’O’Oがクランプされるとき、これらの突
出部が圧縮されて、コネクタを組立体の上または下にあ
る隣接部材と接触させるよう゛な弾撥力を発生させる。
The lower elastic connector 125 is attached to the lower connector frame 12
The opening 120 of fl is received by i1c. connector 110
The dimensions of the cross-sections of and 125 are such that they slightly protrude above and below the associated openings 105a and 120a. When the assembly 1'O'O is clamped, these protrusions are compressed and create a resilient force that brings the connector into contact with adjacent members above or below the assembly.

上部弾性;ネクタ111c対する上部;ネクタフレーム
105内の開口は、接触子16の下端部2o用の開口か
ら小距離離間されており、上部弾性コネクタが接触子1
6とでなく板18と電気的に接続することを保鉦するこ
とを認められたい。また、弾性;ネクタ110.125
の断面寸法に関するフレーム105.120の厚さは、
これらがクランプされるときコネクタの変形の程度を制
御し、したがって、所望の電気的接続を設定する弾性力
およびコネクタの外面に担持される導電性フィラメント
145に加えられるせん断応カの大きさを制御する。
Upper elastic; upper for connector 111c; the opening in the connector frame 105 is spaced a short distance from the opening for the lower end 2o of the contact 16, so that the upper elastic connector
It would be appreciated if the electrical connection should be made to the plate 18 rather than to the plate 6. Also elastic; Nectar 110.125
The thickness of the frame 105.120 with respect to the cross-sectional dimensions is:
Controls the degree of deformation of the connectors when they are clamped, and thus the amount of elastic force and shear stress applied to the conductive filaments 145 carried on the outer surface of the connector, which establish the desired electrical connection. do.

接触子16の下端部2oは、上部コネクタフレーム10
5、接触基板115、下部コネクタフレーム120およ
びコネクタクランプ板150内の1 組f)M列すレタ
開01o s b、 11 s C,120Jlオヨヒ
l 30 ai(より受容され、インターフェース組立
体内に位置づけられる。ねじ135が、コネクタクラン
プ板13o、下部1コネクタフレーム12o、接触基板
115および上部コネクタフレーム105を介して、接
触子組立体の基部材14の下面の整列穴にねじ込まれて
いる。ねじは、インターフェース組立体を接触子組立体
に固定し、インターフェース組立体の要素部材を互に締
め付ける。この締付けは、弾性コネクタの圧縮力を生ず
る。
The lower end 2o of the contactor 16 is connected to the upper connector frame 10.
5. One set in the contact board 115, lower connector frame 120 and connector clamp plate 150. A screw 135 is screwed into the alignment hole in the lower surface of the base member 14 of the contact assembly through the connector clamp plate 13o, the lower 1 connector frame 12o, the contact board 115 and the upper connector frame 105. The interface assembly is secured to the contact assembly and the components of the interface assembly are tightened together, which tightening creates a compressive force in the resilient connector.

接触基板115は、その上面115工および下面115
b上に導電性のストライプパターン140を担持する。
The contact substrate 115 has a top surface 115 and a bottom surface 115 thereof.
A conductive stripe pattern 140 is supported on the substrate b.

ストライプは、従来の印刷回路板技術を使って形成され
る。各ストライプは、隣接するストライプから電気的に
絶縁されており、一端にて試験回路の接続部材と、他端
にて接触子組立体の接触子または他の導電性部材と電気
的に接続する。所与の接触基板は、所与の試験信号を関
連する接触子16に導くストライプパターンを担持して
いる。異なるICを受は入れるためには、普通、接触基
板115を変更し、異なる1組の電気的接続を設定しさ
えすれによい。
The stripes are formed using conventional printed circuit board techniques. Each stripe is electrically insulated from adjacent stripes and electrically connects at one end with a connecting member of a test circuit and at the other end with a contact or other conductive member of a contact assembly. A given contact substrate carries a striped pattern that directs a given test signal to the associated contact 16. To accommodate a different IC, the contact substrate 115 typically need only be modified and configured with a different set of electrical connections.

・、:・。・、:・.

上部および下部弾性;ネクタ110.および125は、
弾性の絶縁性材料より形成された細長い部材である。こ
れら部材は、接触子16の列と整列されている。各コネ
クタ110,125の外表面は、多数の狭い相互に離間
された導電性の条片145を担持している。各導電性条
片は、コネクタの長手方向軸線にはy垂直に配向されて
おり、好ましくはコネクタの周囲に巻かれているのがよ
い0弾性コネクタは、第10A図に見られるように#t
r円形断面を有してもよいし、第10B図に見ちれる矩
形断面のような他の形状を有してもよい。この形式の弾
性コネクタは、商業的に入手し得る。
Upper and lower elastic; Nectar 110. and 125 is
It is an elongated member made of an elastic insulating material. These members are aligned with the rows of contacts 16. The outer surface of each connector 110, 125 carries a number of narrow, spaced apart conductive strips 145. Each conductive strip is oriented perpendicular to the longitudinal axis of the connector and is preferably wrapped around the connector.
It may have a circular cross-section, or it may have other shapes, such as the rectangular cross-section seen in FIG. 10B. This type of resilient connector is commercially available.

各上部弾性コネクタ110は、接触基板115の上面1
15a上の1本の導電性ストライプ140と板18の関
連するクランプ部分36間に唯一の電気的接続を設定す
る。各下部弾性コネクタ125は、基板115の下面1
15b上の1本の導電性ストライプと関連する接触子1
6の下端部20間に唯一の電気的接続を設定する。試験
回路により発射される信号は、接触基板115上の導電
性ストライプから上部または下部弾性コネクタ145上
の1または複数の導電性条片を経て接触子組立体の接触
子または板に至る。本発明の重要な訓点は、上述の特−
的構造に依れば、接触基板が接触子組立体上に位置づけ
られると、弾性コネクタで所望の電気的接続が確実に設
定され、しかも厳格な整列や複雑な接続具や点対点のハ
ード配線を必要としないということである。
Each upper elastic connector 110 is connected to the upper surface 1 of the contact substrate 115.
A single electrical connection is established between one conductive stripe 140 on 15a and the associated clamping portion 36 of plate 18. Each lower elastic connector 125 connects to the lower surface 1 of the board 115.
Contact 1 associated with one conductive stripe on 15b
The only electrical connection is established between the lower ends 20 of 6. The signal emitted by the test circuit passes from the conductive stripes on the contact substrate 115 through one or more conductive strips on the upper or lower resilient connectors 145 to the contacts or plates of the contact assembly. The important lessons of the present invention are the above-mentioned features.
This design ensures that when the contact board is positioned on the contact assembly, the desired electrical connection is established with the resilient connector, without the need for strict alignment, complex fittings, or point-to-point hard wiring. This means that it is not necessary.

第11図に示されるよ5に、接触基板115は、内部導
電路、好ましくは接触基板115の中央に挾持された金
属層155を備えることができる。
As shown in FIG. 11 5, the contact substrate 115 may include an internal conductive path, preferably a metal layer 155 sandwiched in the center of the contact substrate 115 .

この層は、普通、少なくとも1i115aおよび115
b上のストライプパターンまで横断方向に電在している
。接触基板の上面または下面から金属板まで延びる従来
形式のメッキ孔140が、基板115の外部から内部層
155に至る電気的接続電路を形成している。電気信号
は、板155からめつき貫通孔160を経て接触基板1
15上の導電性ストライプ140に至り、次いで上部ま
たは下部弾性コネクタ上の導電性条片145を経て接触
子組立体の接触子または板に至る。1つのこのようなめ
つき孔11SOは、第11図に層155から上面115
麿上のストライプ140(31びるものとして示されて
いる。第11図においては、ストライプ140の厚さは
非常に誇張されている。
This layer typically comprises at least 1i115a and 115
The electrical current is distributed in the transverse direction up to the stripe pattern on b. Conventional plated holes 140 extending from the top or bottom surface of the contact substrate to the metal plate form an electrical connection path from the exterior of the substrate 115 to the inner layer 155. The electrical signal is transmitted from the plate 155 to the contact substrate 1 through the plating through hole 160.
15 and then through conductive strips 145 on the upper or lower resilient connector to the contacts or plates of the contact assembly. One such plated hole 11SO is shown in FIG.
Stripe 140 (31) on top is shown as being large. In FIG. 11, the thickness of stripe 140 is greatly exaggerated.

また、第11図には1つの層155が図示されているが
、2またはそれ以上の層を使用することができる。層1
55は、接地接続を提供することに加えて、ストライプ
14Gに関して接触子16に関する板18と同様に機能
する。詳しく述べると、層155の寸法および間隔は、
ストライプ140により運ばれる迅速立上り試験信号に
対してインターフェース組立体が実質的に41性インピ
ーダンスまたは純粋に抵抗インピーダンスを示すような
分布容量を生ずるように選択される。さらに1層155
のこの′機能は、接触基板115の外面上に形成された
金属層によって遂行できる。さらに、この応用の目的に
対しては、「導電性ストライプのパターン」なる用語は
、このパターンが実質的に連続的金属層である場合を含
むものである。
Also, although one layer 155 is illustrated in FIG. 11, two or more layers can be used. layer 1
55 functions similarly to plate 18 with respect to contact 16 with respect to stripe 14G, in addition to providing a ground connection. Specifically, the dimensions and spacing of layers 155 are:
For the fast rising test signal carried by stripe 140, the interface assembly is selected to provide a distributed capacitance such that it exhibits a substantially 41-wire impedance or a purely resistive impedance. One more layer 155
This function can be performed by a metal layer formed on the outer surface of the contact substrate 115. Furthermore, for purposes of this application, the term "pattern of conductive stripes" includes the case where the pattern is a substantially continuous metal layer.

本発明のインターフェース組妄体は、限定された領域に
高密度の電気的接続を可能にすると同時に、優れた信号
伝達特性をもたらす、インターフェース組立体が、試験
回路と接触子組立体の接触子または他の部品間に厳格な
整列を要せずに必要とされる電気的接続を設定し得るこ
とも重要である。特に、接触子とピンコネクタやソケッ
トコネクタとの精密な点対点の整列を避けることができ
る。接触子は回路板にハンダ付けされないから、ケルビ
ン接触子と使用される同じインターフェース組立体が単
一の接触子と使用できる。また、異なるピン割当てをも
つ集積回路が試験されるときには、インターフェースの
部品を交換すればよい。
The interface assembly of the present invention allows for high-density electrical connections in a limited area while providing excellent signal transfer properties. It is also important to be able to establish the required electrical connections without requiring strict alignment between other components. In particular, precise point-to-point alignment of contacts with pin connectors or socket connectors can be avoided. Because the contacts are not soldered to the circuit board, the same interface assembly used with Kelvin contacts can be used with a single contact. Also, when integrated circuits with different pin assignments are being tested, interface components may be replaced.

弾性コネクタおよび同じ接触子組立体が、新しいデバイ
スを試験するため異なる接触基板と使用できる。装置の
このような機械および電気部材の分離可能性は、在庫に
必要とされる試験用部品の相当の減少をもたらす。
The resilient connector and the same contact assembly can be used with different contact substrates to test new devices. This separability of mechanical and electrical components of the device results in a considerable reduction in the number of test parts required in inventory.

以上本発明を好ましい具体例に関連して説明したが、技
術に精通しkものであれば上述の説明お11: よび図面から種々の変形・変更を考えつくことかで館よ
う。例えば、本発明は連続の板に関して説明したが、板
の容量機能は、各々接触子と関連する一連の導電性スト
リップ(第11図参照)または必ずしも連続的でない非
方形の板で遂行できる。
Although the present invention has been described in connection with preferred embodiments, those skilled in the art will recognize that various modifications and changes will occur from the foregoing description and drawings. For example, although the invention has been described with respect to a continuous plate, the capacitive function of the plate can be performed with a series of conductive strips (see FIG. 11), each associated with a contact, or with a non-rectangular plate that is not necessarily continuous.

また、板18は一縁が基部材14に固定された実質的に
弾性の部材として記述されたが、実質的に不可撓性の板
および基板に固定されない板を利用しても本発明の所望
の動作特性を生ずることができる。1つの具体例として
、関連する層58に接着剤により固定され基板14に直
接固定されない板を利用で會よう。また、弾性コネクタ
は、その周囲を横断方向に取り囲む導電性条片を有する
ものとして記述した。しかし、開ループ条片でも、それ
が所望の電気的接続をなすに十分の長さ電在していれば
、同じ機能が達成されよう。技術に精通したものであれ
ば、特許請求の範囲内において他の変形、変更を考えつ
くことができることを理解されたい。
Additionally, although the plate 18 has been described as a substantially resilient member with one edge secured to the base member 14, substantially inflexible plates and plates that are not secured to the substrate may also be utilized as desired in the present invention. operating characteristics. One example would be to utilize a plate that is adhesively secured to the associated layer 58 and not directly to the substrate 14. The resilient connector has also been described as having a conductive strip transversely surrounding its periphery. However, an open-loop strip would accomplish the same function if it was energized long enough to make the desired electrical connection. It should be understood that one skilled in the art may devise other modifications and changes within the scope of the claims.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明にしたがって構成され、DIPICを試
験するのに適当な相対する2列のダブルゲルピン接触子
を利用する広帯域接触子組立体の斜視図、第2図は第1
図に図示される接触子組立体の垂直断面図、第3図は接
触子が被試験デバイスと電気的接続下にある位置に屈曲
された接触子および関連する容量性板を示す第2図に対
応する概略図、第4図は第3図に図示される代表的IC
と電気的接続をなす接触子の自由端部の詳細斜視図、第
5図は1本の接触子とそれと関連する板に対する概略回
路図、第6図は第143図に示される内側容量板に対す
1概略回路図、第7図は第1〜4図に示される接触子組
立体と組み合わされた本発明にしたがって構成されたイ
ンターフェース組立体の搬路線図、第8図は第7図に示
されるインターフェース組立体の一部除去の詳細断面図
、第9図は第7図および第8図に図示されるインターフ
ェース組立体の等側図で、インターフェース組立体の内
部を示すため一部を除去したもの、第10A図および第
10B図は第7〜9図に図示されるインターフェース組
立体に使用される弾性コネクタの2つの異なる具体例の
斜視図、第11図は接触基板が内部金属接地層を含む外
薬7〜10図に図示されるものと同じ形式のインターフ
ェース組立体の詳細断爾図である。 12: 接触子組立体 14: 基部 16: 接触子 16a〜16d : 接触子列 188〜18a  :  容量性板 20: 接触子下端部 22: 接触子上端部 24: 集積回路デバイスのビン 26: 集積回路デバイス 28: 絶縁性ストリップ 30: スペーサロッド 36: フランジ部分 57= フランジ状部分 58: (絶縁性)薄層 40: 絶縁性ロッド 100: インターフェース組立体 105: 上部コネクタフレーム 115: 接触基板 120: 下部コネクタフレーーム 125: 下部弾性コネクタ 130: コネクタクランプ板 140: 導電性ストライプ FIG、6 FIG、7 FIG、θ FIG、9
1 is a perspective view of a broadband contact assembly constructed in accordance with the present invention and utilizing two opposing rows of double gel pin contacts suitable for testing DIPIC; FIG.
3 is a vertical cross-sectional view of the contact assembly illustrated in FIG. 3, and FIG. The corresponding schematic diagram, FIG. 4, is a representative IC illustrated in FIG.
FIG. 5 is a schematic circuit diagram for one contact and its associated plate; FIG. 6 is a detailed perspective view of the free end of the contact making electrical connection with the inner capacitor plate shown in FIG. FIG. 7 is a schematic circuit diagram of an interface assembly constructed in accordance with the present invention in combination with the contact assembly shown in FIGS. 1-4, and FIG. Figure 9 is an isometric view of the interface assembly shown in Figures 7 and 8 with portions removed to show the interior of the interface assembly; FIGS. 10A and 10B are perspective views of two different embodiments of resilient connectors used in the interface assemblies illustrated in FIGS. 7-9; FIG. FIG. 10 is a detailed cutaway view of an interface assembly of the same type as shown in FIGS. 7-10; 12: Contact assembly 14: Base 16: Contacts 16a-16d: Contact rows 188-18a: Capacitive plate 20: Contact bottom end 22: Contact top end 24: Integrated circuit device bin 26: Integrated circuit Device 28: Insulating strip 30: Spacer rod 36: Flange portion 57 = Flange-like portion 58: (Insulating) thin layer 40: Insulating rod 100: Interface assembly 105: Upper connector frame 115: Contact substrate 120: Lower connector Frame 125: Lower elastic connector 130: Connector clamp plate 140: Conductive stripe FIG, 6 FIG, 7 FIG, θ FIG, 9

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (11,試験回路と少なくとも1列に配置された集積回
路デバイスの複数の接続ピンとの間に厳格な組立技術を
用いずに正確で確実な電気的接続を設定する装置におい
て、絶縁性材料から形成された基部と、少なくとも1列
に配列され、下端が前記基部に固定され上端がピンの1
つと電気的接続をなすよう適合された複数の接触子であ
って、各々、前記上端が前記ピンから離間される第1の
位置と、11篩己上端が前側ピンと電気的接続下にある
第2の位置間で移動するように可撓性であり、かつ各々
電気的信号をその長さに沿ってデバイスの関連するピン
に導くよう適合されたものと、前記の少なくとも1列の
接触子と近接離間されかつHr平行関係に固定された板
とを含み、前記板と前記間隔の寸法が、前記板の存在に
より生ずる前記接触子中の分布容量リアクタンスにより
前記接触子中において前記信号により発生される誘導性
リアクタンスが相殺されるように設定され、それにより
広帯域にわたり前記信号にはfI¥f性インピーダンス
が作用するよ5になされた接触子組立体と、少なくとも
一面に導電性ストライプパターンを備える接触基板と、
少なくとも1つの細長い弾性コネクタであって、その長
手方向軸線にはy垂直に配向されかつその外表面上に担
持される相互に離間した導電性条片を備えるものと、前
記弾性コネクタを固定する手段とを備えるインターフェ
ース組立体と を含み、前記接触基板と前記接触子組立体が相互に固定
的位置関係に維持されていて、前記弾性コネクタにより
、前記接触基板上の導電性ストライプと前記接触子組立
体の前記接触子または板の一方との間に唯一の電気2的
接続を設定することを特徴とする電気的接続設定装置。 (2、特許請求の範囲第1項に記載の装置において、前
記接触子が、4本のnr平行な列に配列されかつ前記列
の方向に沿って一様に離間されたダブルケルビン接触子
であり、前記板が、該ケルビン算触子の各列と関連する
内側板および外側板を含む電気的接続設定装置。 (3)  特許請求の範囲第2項に記載の装置において
、前記板が、はy前記ビンと前記接触子との間に位置し
、そして、前記板に固定されて、前記接触子が前記第2
位、置にあるときピンの1つと電気的接続を設定するよ
う適合された接触部材を含む電気的接続設定装置。 (4)  特許請求の範囲第3項に記載の装置において
、前記板が、小コンデンサを介して相互に電気的に接続
された電気的接続設定装置。 (51%許請求の範囲第1項または2・項に記載の装置
において、前記固定手段が、前記基部と前記接触基板間
に位置する上部コネクタ7レーふと、前記接触基板の直
下に位置する下部コネクタフレームと、前記接触基板、
前記弾性コネクタおよび前に一ヒ部および下部コネクタ
フレームを相互にかつ前記接触子組立体に締め付けるク
ランプ手段を含む電気的接続設定装置。 (6)  特許請求の範囲第5項に記載の装置において
、前記クランプ手段が、前記下部コネクタフレームの下
に位置するコネクタクランプ板と、該コネクタクランプ
板、前記下部コネクタフレーム、前記接触基板および前
記上部コネクタフレームを自由に通り、前記基部材の整
列ねじ穴中にねじ込まれるクラシブねじを含む電気的接
続設定装置。 (7)特許請求の範囲第5項に記載の装置において、前
記上部および下部コネクデフレームが、各々前記弾性コ
ネクタの1つを受容し位置づける開口を備える電気的接
続設定装置。 (8)%杵請求の範囲第1項または第2項のいずれかに
記載の装置において、前記接触基板が少なくとも1つの
内部導電路を有する電気的接続設定装置。 (9)特許請求の範囲!l!2項に記載の装置において
、前記内部導電路が金属層より成る電気的接続設定装置
。 01  %許晴求の範囲第9項に記載の装置にお〜・て
、前6【;金属層が、前記導電性ストライプノくターン
に関して分布容量を提供するように、該導電性ス、ドラ
イブパターンに関して位置づけられかつ寸法設定されて
おり、該導電性ストライプにより伝達される迅速立上り
信号に実質的に%性インピーダンスが作用するようにな
さ糺た電気的接続設定装置。 Qll  特許請求の範囲第8項に記載の装置において
、前記内部導電路と、前記接触基板の少なくとも1外面
上に形成された前記導電性ストライプの一部との間に電
気的接続を設定する手段を含む電気的接続設定装置。
[Claims] (11. In an apparatus for establishing an accurate and reliable electrical connection between a test circuit and a plurality of connection pins of an integrated circuit device arranged in at least one row without using rigorous assembly techniques. , a base made of an insulating material, arranged in at least one row, a lower end fixed to the base and an upper end one of the pins.
a plurality of contacts adapted to make electrical connection with the front pin, each having a first position in which said top end is spaced from said pin; and a second position in which said top end is in electrical connection with said front pin; said at least one row of contacts, said at least one row of contacts being flexible to move between positions and each adapted to conduct an electrical signal along its length to an associated pin of the device; plates spaced apart and fixed in parallel relationship, the dimensions of said plates and said spacing being generated by said signal in said contact due to a distributed capacitive reactance in said contact caused by the presence of said plates; 5. A contact assembly configured to cancel inductive reactance so that fI\f-based impedance acts on the signal over a wide band; and a contact substrate having a conductive stripe pattern on at least one surface. and,
at least one elongated resilient connector comprising spaced apart electrically conductive strips oriented perpendicular to the longitudinal axis thereof and carried on an outer surface thereof; and means for securing said resilient connector; an interface assembly comprising: a conductive strip on the contact substrate and the contact assembly; the contact substrate and the contact assembly being maintained in a fixed position relative to each other; An electrical connection setting device characterized in that it sets only one electrical two-way connection between the three-dimensional contactor or one of the plates. (2. The device according to claim 1, wherein the contacts are double Kelvin contacts arranged in four nr parallel rows and uniformly spaced apart along the direction of the rows. 3. The apparatus of claim 2, wherein the plate includes an inner plate and an outer plate associated with each row of the Kelvin probes. is located between the bottle and the contact, and is fixed to the plate so that the contact is connected to the second contact.
An electrical connection setting device comprising a contact member adapted to set an electrical connection with one of the pins when in position. (4) An electrical connection setting device according to claim 3, wherein the plates are electrically connected to each other via a small capacitor. (51% allowance) In the device according to claim 1 or 2, the fixing means is located at the foot of the upper connector 7 located between the base and the contact board, and at the bottom of the connector 7 located directly below the contact board. a connector frame; the contact board;
An electrical connection setting device including clamping means for clamping the resilient connector and the front arm portion and lower connector frame together and to the contact assembly. (6) The device according to claim 5, wherein the clamp means includes a connector clamp plate located under the lower connector frame, the connector clamp plate, the lower connector frame, the contact substrate, and the An electrical connection setting device comprising a classical screw threaded freely through the upper connector frame and into an alignment screw hole in the base member. 7. The apparatus of claim 5, wherein said upper and lower connector frames each include an opening for receiving and locating one of said resilient connectors. (8) % Pestle An electrical connection setting device according to claim 1 or 2, wherein the contact substrate has at least one internal conductive path. (9) Scope of claims! l! 3. The electrical connection setting device according to claim 2, wherein the internal conductive path comprises a metal layer. 0.01 % permissible range In the apparatus of clause 9, the conductive strip drive pattern is such that the metal layer provides a distributed capacitance with respect to the conductive stripe nozzle. an electrical connection setting device positioned and dimensioned relative to the electrically conductive strip such that a fast rising signal transmitted by the conductive strip has a substantially % impedance; Qll. The apparatus of claim 8, including means for establishing an electrical connection between the internal conductive path and a portion of the conductive stripe formed on at least one outer surface of the contact substrate. electrical connection setting equipment including;
JP57204713A 1981-11-27 1982-11-24 Interface assembly for testing integrated circuit device Pending JPS5893339A (en)

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US325314 1981-11-27
US06/325,314 US4473798A (en) 1981-08-25 1981-11-27 Interface assembly for testing integrated circuit devices

Publications (1)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS598172U (en) * 1982-07-09 1984-01-19 株式会社アドバンテスト Terminal connection device for electronic component testing equipment
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