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JPS58183720A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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Publication number
JPS58183720A
JPS58183720A JP6788882A JP6788882A JPS58183720A JP S58183720 A JPS58183720 A JP S58183720A JP 6788882 A JP6788882 A JP 6788882A JP 6788882 A JP6788882 A JP 6788882A JP S58183720 A JPS58183720 A JP S58183720A
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JP
Japan
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glycol
diisocyanate
photosensitive resin
unsaturated
compound
Prior art date
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Application number
JP6788882A
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Japanese (ja)
Other versions
JPH029610B2 (en
Inventor
Tatsuya Sugano
菅野 龍也
Yuuzou Toka
渡加 裕三
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Daicel Corp
Original Assignee
Daicel Corp
Daicel Chemical Industries Ltd
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Publication date
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Priority to DE19833314258 priority patent/DE3314258C2/en
Priority to GB08310771A priority patent/GB2118563B/en
Publication of JPS58183720A publication Critical patent/JPS58183720A/en
Publication of JPH029610B2 publication Critical patent/JPH029610B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2/00Processes of polymerisation
    • C08F2/46Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F20/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F20/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
    • C08F20/10Esters
    • C08F20/34Esters containing nitrogen, e.g. N,N-dimethylaminoethyl (meth)acrylate
    • C08F20/36Esters containing nitrogen, e.g. N,N-dimethylaminoethyl (meth)acrylate containing oxygen in addition to the carboxy oxygen, e.g. 2-N-morpholinoethyl (meth)acrylate or 2-isocyanatoethyl (meth)acrylate
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

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Abstract

PURPOSE:The titled composition forming images having improved adhesiveness to bases, comprising an unsaturated monomer as an active ingredient obtained by reaction of a specific glycol, a urethane bond-containing compound having diisocyanate groups at both ends, glycol monoacrylate, etc. CONSTITUTION:2-Methyl-1,3-propylene glycol is reacted with a diisocyanate compound [e.g., 1-methylbenzole-2,4-(2,6,-2,5-,3,5-)diisocyanate, etc.] in the presence of a polymerization inhibitor (e.g., hydroquinone, etc.) at room temperature - about 200 deg.C for several hours, to give a urethane bond-containing monomer or low polymer having diisocyanate groups at both ends, to which glycol monoacrylate or glycol monomethacrylate is added dropwise to give an unsaturated group-containing monomer or lower polymer. A photosensitive resin is obtained using a mixture of the above-mentioned monomers or low polymers as an active ingredient.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明ilt%定のグリコールとウレタン結合をした内
床端ジイソシアネート化合物とグリコールモノアクリレ
ートあるいはグリコールメタクリレートを反応させて祷
られる不飽和単量体あるいは不飽和低重合体を有効成分
とした感光性樹脂組成物に関すゐものである。さらに許
しくに、2−メチル−1,3−プロピレングリコールと
ウレタン結合し九−末端ノイソシアネート基を含有する
単量体あるいけその低重合体を更にグリコールモノアク
リレ−)するいはグリコールモノメタクリレートと反応
させて得られる不飽和単量体あるいは不飽和低重合体の
中から辿ばれた1種又it2種以上の混合物を有効成分
とした感光性樹脂組成物に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION In the present invention, the desired unsaturated monomer or unsaturated low polymer can be effectively produced by reacting a diisocyanate compound at the end of the inner bed having a certain amount of glycol and urethane bond with glycol monoacrylate or glycol methacrylate. This is related to the photosensitive resin composition as an ingredient. Furthermore, a monomer or a low polymer thereof having a urethane bond with 2-methyl-1,3-propylene glycol and containing a 9-terminal noisocyanate group may be further combined with glycol monoacrylate) or glycol monomethacrylate. The present invention relates to a photosensitive resin composition containing as an active ingredient one type or a mixture of two or more types of unsaturated monomers or unsaturated low polymers obtained by reacting with .

従来、n密加工集界、とくにグリント配線分野勢におい
てメッキあるいはエツチングのための耐賞皮lIsgI
′fr形敢するための感光性樹脂を用いることは広く知
られている。このような耐食皮膜形成用の感光性樹脂の
性質としては感光性&jびll?W力が優れ、耐エツチ
ング性および耐メッキ性が優れ、且つ接着性が良いこと
などが挙げられる。
Conventionally, in the field of N-density processing, especially in the field of glint wiring, it has been used as a wear-resistant coating for plating or etching.
It is widely known that photosensitive resins are used for shaping. The properties of the photosensitive resin for forming such a corrosion-resistant film are photosensitive. Examples include excellent W strength, excellent etching resistance and plating resistance, and good adhesion.

一般にグリコール成分を含有する両末端ジイソシアネー
ト化合物は多価アルコールとジインシアネート化合物と
を反応させて合成される。
Generally, a double-terminated diisocyanate compound containing a glycol component is synthesized by reacting a polyhydric alcohol with a diincyanate compound.

これまで知られている上記多価アルコールとしてはエチ
レングリコール、ジエチレンクリ:+ −ル、トリエチ
レングリコール、テトラエチl/7グリコール、グロビ
レングリコール、1.4$−7’チレングリコール、1
,4−ブチレングリコール、ネオベンチレンゲリコール
、1,6−ヘキサメチレングリコール、トリメチロール
プロパン、ペンタエl) )リトールなどがあるが、感
光性樹脂組成物として各々の用途[11も通したウレタ
ン結合を含有した両末端ジイソシアネート化合物を得る
友めKit、上記多価アルコールのIIN拳を慎重に選
択せねばならない。本発明者らはその)#!I択の範i
!lを拡げるために鋭意1晃した結果、多価アルコール
として2−メチル−1,δ−プロピレングリコールを用
いて合成された2−メチル−1,5−プロピレングリコ
ールとウレタン結合した両末端ジイソシアネート化合物
の単量体あるいは低重合体とグリコールモノアクリレー
トあるいはグリコールモノメタクリレートを反応させて
得られる不飽和単量体あるいはその不飽和低重合体を有
効成分とする感光性樹脂組成物は電子−、遠紫外線、紫
外線、レーザーなどの活性光lIsを用いて露光させる
フォトレジストとして用いた場合、解像力が優れ、且つ
2社フィルム基板への接着性の極めて良い画像を形成す
ることを見出し本発明に至った。
The polyhydric alcohols known so far include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethyl/7 glycol, globylene glycol, 1.4$-7' ethylene glycol,
, 4-butylene glycol, neobenzene gelylcol, 1,6-hexamethylene glycol, trimethylolpropane, pentael), etc., but each of them has various uses as a photosensitive resin composition [11] To obtain a double-terminated diisocyanate compound containing the above-mentioned polyhydric alcohol, the IIN range of the above polyhydric alcohol must be carefully selected. The inventors said that)#! Range of choices
! As a result of intensive efforts to expand l, a diisocyanate compound at both ends bonded with 2-methyl-1,5-propylene glycol and urethane was synthesized using 2-methyl-1,δ-propylene glycol as a polyhydric alcohol. Photosensitive resin compositions containing as active ingredients unsaturated monomers or unsaturated low polymers obtained by reacting monomers or low polymers with glycol monoacrylate or glycol monomethacrylate, The inventors have discovered that when used as a photoresist that is exposed to active light such as ultraviolet rays or lasers, it forms images with excellent resolution and extremely good adhesion to film substrates, leading to the present invention.

すなわち、本発明は2−メチル−1,5−プロピレング
リコールとジイソシアネート化合物を反応させて得られ
る両末端イソシアネート基を含有する単量体あるいは低
重合体を更にグリコールモノアクリレートあるいはグリ
コールモノメタクリレートと反応させて得られる不飽和
単量体あるいは不飽和低重合体の中から遺ばれた1種あ
るい#′i2種以上の混合物を有効成分とする感光性樹
脂組成物である。
That is, the present invention involves reacting a monomer or low polymer containing isocyanate groups at both ends obtained by reacting 2-methyl-1,5-propylene glycol with a diisocyanate compound, and further reacting it with glycol monoacrylate or glycol monomethacrylate. This is a photosensitive resin composition containing as an active ingredient one type or a mixture of two or more types of unsaturated monomers or unsaturated low polymers obtained in the following manner.

本発明で揚案するウレタン結合を有する不飽和単量体あ
るいは不飽和低1合体のグリコール成分である2−メチ
ル−1,5−プロピレングリコールはイソブチンの酸化
反応あるいはアリルアルコールのすキソ反応によって工
業的Km造可能であるが、化学構造上、2位の脚票原子
に1個のメチル基を1するため分子1拳に附しT非対称
でToゐことおよび両末端の水酸基はともに第一級であ
る九め非常に化学反応性に富んでいゐことなどの%像を
もったグリコールである。
2-Methyl-1,5-propylene glycol, which is a glycol component of an unsaturated monomer or an unsaturated monomer having a urethane bond proposed in the present invention, can be produced by the oxidation reaction of isobutyne or the suxo reaction of allyl alcohol. However, due to the chemical structure, one methyl group is attached to the foot atom at the 2nd position, so it is asymmetrical and the hydroxyl groups at both ends are both primary. It is a glycol with characteristics such as being extremely chemically reactive.

本発明のグリコールとウレタン結合をし九不飽和単量体
あるいは不飽和低重合体の一般的製造方法は次の過少で
ある2、即ち、1合抑制剤、例えばヒドロキノン、バラ
メト今ジフェノール。
The general method for preparing the unsaturated monomers or unsaturated oligomers having glycol and urethane bonds according to the present invention is as follows: 1-polymer inhibitors, such as hydroquinone, paramethane diphenol.

ビロガp−ル勢の存在下で、グリコールとジイソシアネ
ート化合物とを11−ないし200 C。
The glycol and the diisocyanate compound are heated at 11 to 200 C in the presence of Virogapol.

好ましくは常温ないし100CKて数時間反応させる。Preferably, the reaction is carried out at room temperature to 100 CK for several hours.

かかる方法によって容易にウレタン結合をもった両末端
ジインシアネート基を含有する単量体あるいは低重合体
(1合珈として#′iz。
By this method, monomers or low polymers containing diincyanate groups at both ends and having urethane bonds (#'iz as one polymer) can be easily obtained.

までであるが好オしくに10までである)を得ることが
できる。さらにグリコールモノアクリレ−)するいはグ
リコールモノメタクリレートを論下し7て不飽和基を含
有する単量体あるいは低1合体を得ることができる。反
応には、不活性なII機溶謙、例えばアセトン、メチル
エチルクトン、ジメチルスルホ中シト、トルエン、キシ
レン、ベンゼン勢を用いることも有効である。
up to but preferably up to 10) can be obtained. Furthermore, by adding glycol monoacrylate (7) or glycol monomethacrylate (7), a monomer or a monomer containing an unsaturated group can be obtained. In the reaction, it is also effective to use inert II solvents such as acetone, methyl ethyl lactone, dimethyl sulfonate, toluene, xylene, and benzene.

tた反応の成分を何回かに分ゆて徐々に反応―に導入し
て反応させることも可能である0未反応のインシアネー
ト基は通常、安定性に悪影響を及ぼすので、インシアネ
ート残基とグリコールモノエステル中の残基の水酸基は
蟲量反応させることが望ましい。
It is also possible to gradually introduce the components of the reaction into the reaction in several batches. It is desirable that the hydroxyl groups of the residues in the glycol monoester and the glycol monoester are reacted in a small amount.

未反応のグリコールモノエステルは一般に感光性には悪
影響は及埋さないので、ジイソシアネートに対し少し過
剰に用いることができる。
Since unreacted glycol monoester generally does not have an adverse effect on photosensitivity, it can be used in a slight excess relative to the diisocyanate.

通常水酸基の過剰率#11096以上であることが望ま
しい。反応後、系内に未反応のインシアネート基が残存
する恐れのある場合KFi、活性の^い低沸点アルコー
ル、たとえばメタノール勢で処珈することが常法である
Usually, it is desirable that the excess ratio of hydroxyl groups is #11096 or higher. After the reaction, if there is a possibility that unreacted incyanate groups remain in the system, it is a common practice to dispose of them with KFi or an active low-boiling alcohol, such as methanol.

本発明において用いられるジインシアネーを化合物は何
ら限定を受けるものではないが、中で4水駿基と容&に
反応してウレタン結合を与える芳香族系、脂肪族系のも
のが望ましい。かかるジイソシアネート化合物の例とし
ては。
Although there is no particular limitation on the diacyane compound used in the present invention, aromatic and aliphatic compounds that react with the tetrahydrone group to form a urethane bond are preferable. Examples of such diisocyanate compounds include:

+、3′1喪は1.4− フェニレンジインシアネート
、1−メチルベンゾ−ルー2.4− (,2,6−、2
,5−。
+, 3′1 mourning is 1.4-phenylene diinocyanate, 1-methylbenzo-2.4- (,2,6-,2
,5-.

s、s −)ジインシアネート5L5フーシメチルベン
ゾールー2.4− (4,6−)ジインシアネート、1
−エチルベンゾ−ルー2,4−ジインシアネート、ナフ
タリン−1,4−(1,5−12,4−12,7−)ジ
イソシアネート、ビフェニル−2,4’−(4゜4′ン
ジイソシアネート、ジフェニルメタン−4゜4′−ジイ
ソシアネー)、2.2’−ジメチルジフェニルメタン−
4,4′〜ジインシアネート1ベンゾフエノン−6、S
′−ジイソシアネート、エタンジイソシアネート、プロ
パ/ジイソシアネート、ブタンジインシアネート、ペン
タンジイソシアネート、ヘキサンジイソシアネート、チ
オジプロピルジインシアネート等を挙げゐことができる
。これらのジインシアネート化合物のうち特に有効なも
のとしてFi、1−メチルベンゾ−ルー 2.4− (
2,6+、2.5−13.5− )ジイソシアネートを
挙げることができる。
s,s-)diincyanate 5L5fucymethylbenzole-2.4-(4,6-)diincyanate, 1
-Ethylbenzo-2,4-diincyanate, naphthalene-1,4-(1,5-12,4-12,7-) diisocyanate, biphenyl-2,4'-(4°4'-diisocyanate, diphenylmethane- 4゜4'-diisocyanate), 2.2'-dimethyldiphenylmethane-
4,4'~diincyanate 1 benzophenone-6,S
'-diisocyanate, ethane diisocyanate, propa/diisocyanate, butane diisocyanate, pentane diisocyanate, hexane diisocyanate, thiodipropyl diisocyanate, and the like. Among these diincyanate compounds, Fi, 1-methylbenzo-2,4-(
2,6+, 2.5-13.5-) diisocyanates.

★九、本発明において用いられるグリコールモノアクリ
レートあるいはグリコールモノメタクリレートはなんら
限定をうける屯のではないが、中でもインシアネート基
と容易に反応してウレタン結合を生成する脂肪族系のも
のが好オしぐ用いられゐ。例えば、2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタン’)し 
)=、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒトp
キシグロビルメタクリレート、ペンタエリスリトールト
リアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレ
ート、トリメチロールグロバンジアクリレー)%  )
!J+Jテcz−ルグpパンジメタクリレートなどが挙
げられる〇 一般に多価アルコールとウレタン結合したー末端ジイソ
シアネ、−ト化合物とグリコールモノアクリレートある
いはグリコールモノメタクリレートを反応させて得られ
る不飽和単量体あるいは不飽和低重合体を光重合性化合
物としてンオトレジス)K使用する場合、該化合物と皮
膜形成能を有する充てん為分子化合物および過当な増感
剤、染料、熱重合秦止剤などを有機溶媒に絢−にI@解
し九後、その液を過当な厚みに基板上に塗り溶媒を除去
していわゆる感光性樹脂膜を形成し、これに電子線、遠
紫外1m!%紫外線などの活性光−を照射して写真的手
法により−fII愉動を行なう方法が行なわれている。
★9. The glycol monoacrylate or glycol monomethacrylate used in the present invention is not subject to any limitations, but aliphatic ones that easily react with incyanate groups to form urethane bonds are particularly preferred. It is used. For example, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethylmethane')
)=, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-human p
xyglovir methacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, trimethylolgloban diacrylate)%)
! Examples include J+J techz-rug pandimethacrylate. Generally, unsaturated monomers or unsaturated monomers obtained by reacting polyhydric alcohols, urethane-bonded -terminal diisocyanate, -to compounds, and glycol monoacrylate or glycol monomethacrylate. When using a low polymer as a photopolymerizable compound, it is necessary to add the compound, a filler molecular compound with film-forming ability, and an excessive amount of sensitizer, dye, thermal polymerization inhibitor, etc. to an organic solvent. After solving the problem, the solution was applied to an appropriate thickness on the substrate, the solvent was removed, and a so-called photosensitive resin film was formed. A method has been used to perform the -fII motion using a photographic method by irradiating active light such as ultraviolet rays.

しかるに1本発明の2−メチル−1,5−プロピレング
リコールをジイソシアネート化合物と反応させて得られ
る両木端インシアネート基を含有する単量体あるいはそ
の低重合体を更にグリコールモノアクリレートあるいは
グリコールモノメタクリレートと反応させて得られる不
飽和単量体あるいは不飽和低重合体の中から選ばれた1
種又は2種以上の混合物を有効成分とする感光性IIM
脂組成物を一例としてフォトレジストに使用し九場合、
鴬くべきことに硬化速度も羊(、PITフィルム基歇上
への極めて優れた接着性を有した一像が得られた。
However, 1) a monomer containing both inocyanate groups or a low polymer thereof obtained by reacting the 2-methyl-1,5-propylene glycol of the present invention with a diisocyanate compound is further added to glycol monoacrylate or glycol monomethacrylate. 1 selected from unsaturated monomers or unsaturated low polymers obtained by reacting with
Photosensitive IIM containing a species or a mixture of two or more species as an active ingredient
For example, when a fat composition is used in a photoresist,
Surprisingly, the curing speed was also very low, and an image with extremely good adhesion to the PIT film substrate was obtained.

こ01由についてFi現在のところ未だ解明されてはい
ないが、次のことが考えられる。すなり チ%  2−
メチル−1,5−プロピレングリコールとウレタン結合
をし九両末端ジインシアネート化合物とクリコールモノ
アクリレートあるいはグリコ−Aモノメタクリレートを
反応させて得られる不飽和単量体あるいは不飽和低1合
体を構成する2〜メチル−1,3−プロピレングリコー
ルにおいて2位の炭素原子に結合しているメチル基の電
子押し出し作用によゐ極性効果、メチル基と同じ炭素原
子に共有結合している水素原子(メチン水木原子)の離
脱効果によ多安定な鶴三級ラジカルが生成し、架橋効果
をより一層高めることが予想される。すなわち、光重合
可能な2個の木端不飽和基しか持ちえないにもかかわら
ず、あたかも三富能以上の化合物の如く作用していると
考えられる。
Although the reason for this has not yet been elucidated, the following may be considered. Sunarichi% 2-
It constitutes an unsaturated monomer or an unsaturated monomer obtained by forming a urethane bond with methyl-1,5-propylene glycol and reacting a nine-end diincyanate compound with glycol monoacrylate or glyco-A monomethacrylate. In 2-methyl-1,3-propylene glycol, there is a polar effect due to the electron pushing action of the methyl group bonded to the 2nd carbon atom, and a hydrogen atom covalently bonded to the same carbon atom as the methyl group (Methine Mizuki). It is expected that multistable Tsuru tertiary radicals will be generated due to the dissociation effect of atoms), further enhancing the crosslinking effect. In other words, although it has only two photopolymerizable wood end unsaturated groups, it is thought to act as if it were a compound with three or more functions.

本発明Km用される充てλ高分子化合物としては、メチ
ルメタクリレートの*a重合体及び共1合体、セルロー
ス鰐導体、ポリビニルアルゴール、ノホラツク系*&な
どKよって代表される筒分子化合物が挙けられる。また
、増感剤としてFiqしラーケトシ、  N、N’−ナ
トラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、ベン
ゾフェノン、5−ニトロアセナフテン、1,2−ベンズ
アントラキノン、ベンジル、ベンゾイン、腐−ナフトキ
ノン、9−フルオレノンなどが用いられる。さらにt九
、本発明のウレタン結合を鳴した不飽和率1体あるいは
不飽和低重合体と他のよく知られている多′自能性不飽
和化合物たとえば、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、トリメチロールグロバントリノタクリレートなど
とを過歯な割合で混合することによっても四槽に鹸化速
度の早い、接着性のよいiIl!l像が得られること#
iNうまでもない。
Examples of the full lambda polymer compound used in the present invention include cylindrical molecular compounds represented by K such as *a polymer and comonomer of methyl methacrylate, cellulose alligator conductor, polyvinyl algol, and noholac *&. . In addition, as a sensitizer, Fiq, N,N'-natraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, benzophenone, 5-nitroacenaphthene, 1,2-benzanthraquinone, benzyl, benzoin, sulfur-naphthoquinone, 9- Fluorenone and the like are used. In addition, the urethane bonds of the present invention can be combined with monounsaturated or unsaturated low polymers and other well-known multifunctional unsaturated compounds such as pentaerythritol triacrylate, trimethylolglobin, etc. Even when mixed with trinotacrylate in a large proportion, it has a fast saponification rate and good adhesion. l image can be obtained#
iN of course.

本発明の感光性樹脂組成物には、安定性のために熱重合
禁止剤を含有せしめることが望ましく、かかる4のとし
ては、ノ・イドロキノン、バラメトキシフェノール、ピ
ロガロール、2.2’−メチレンビスフェノール誘導体
、第5ブチルカテコール、ナフチルアミン、β−す7ト
ール、p トルキノン勢を挙げることができる0各種の
可塑剤、染料、顔料を加えて、感光性樹脂組成物を種々
用途に適用させること4可能である。また感光性樹脂組
成物の使用にあたり、被嶺する支持体上への接着力を向
上させる目的で、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を添加
することや、かぶシ防止のために種々のかぶり防止剤を
更に添加することも有効である。
It is desirable that the photosensitive resin composition of the present invention contains a thermal polymerization inhibitor for stability. Derivatives such as 5-butylcatechol, naphthylamine, β-su7tol, and p-torquinone can be mentioned. 4. It is possible to add various plasticizers, dyes, and pigments to apply the photosensitive resin composition to various uses. It is. In addition, when using photosensitive resin compositions, thermosetting resins such as epoxy resins may be added to improve the adhesion to the supporting substrate, and various anti-fogging methods may be used to prevent fogging. It is also effective to further add agents.

本発明の感光性樹脂組成物の使用にあたっては、上述の
熱重合禁止剤、増感剤及び充てん高分子化合物を不活性
溶剤、例えば脂肪族アルコール、ケトン、芳香族脚化水
lA勢II解均−化し1次いで耐食層像を得ようとする
支持体上に通常の方法で塗布し、乾燥して溶剤を除去す
ゐ。
When using the photosensitive resin composition of the present invention, the above-mentioned thermal polymerization inhibitor, sensitizer, and filled polymer compound are mixed in an inert solvent such as an aliphatic alcohol, a ketone, an aromatic legated water, and an aromatic compound. - and then coated by a conventional method on a support on which an image of the corrosion-resistant layer is to be obtained, and dried to remove the solvent.

勿論、本発明の感光性樹脂組放物は黙約に充分安定であ
るので、加熱ローラでの混合物−化勢の溶剤を用いるこ
とのない方法によっても使用し得る。支持体上に感光性
樹脂膜として得た彼、通常の方法でマスクを通して活性
光縁に露光し、現倫するとマスクに和尚してシャープな
ネガ像が得られ、この吃のは通常のエツチング、メッキ
に耐*腺として用い得る。
Of course, the photosensitive resin composition of the present invention is implicitly sufficiently stable that it can also be used in a method that does not involve the use of a solvent in the mixture-activation with a heated roller. The film obtained as a photosensitive resin film on a support is exposed to active light through a mask in the usual manner, and when exposed to the mask, a sharp negative image is obtained. Can be used as a *gland resistant material for plating.

以下に実施例を示し、本発明を更に詳述するが、これに
より本発明が限定されるものではない0 集施例1 窒素導入管、―下口−)、iif針、冷却管。
The present invention will be described in more detail with reference to Examples below, but the present invention is not limited thereto. Example 1 Nitrogen introduction tube, lower opening), IIF needle, cooling tube.

攪拌機をつけた500紅丸底フラスコ中に、乾燥トルエ
ン200Kt、バラメトキシフェノール0.8F、2−
メチル−1,5−プロピレングリコール10Fをとり、
これ[2,4−)ルエンジインシアネート5O8Ofの
乾燥トルエン溶液をSaCにて1時間かけて攪拌し2な
がら滴下し、さらに80CでsO分反応させた。次いで
、2−ヒドロキシエチルメタクリレート251をSaC
にて1時間かけて攪拌しながら渦下し、トリエチレンジ
アミン0.52を加えた後、80Cにて1時間反応させ
良。次いでメタノール10紅を添加して、1時間mat
、九後、減圧乾燥して白色固体状の反応生成物を得た。
In a 500 red round bottom flask equipped with a stirrer, 200Kt of dry toluene, 0.8F paramethoxyphenol, 2-
Take methyl-1,5-propylene glycol 10F,
A dry toluene solution of [2,4-)luene diincyanate 5O8Of was stirred in SaC for 1 hour and added dropwise at 2 hours, and further reacted at 80C for sO. Then, 2-hydroxyethyl methacrylate 251 was converted to SaC
After stirring and vortexing the mixture for 1 hour, 0.52% of triethylenediamine was added, and the mixture was allowed to react at 80C for 1 hour. Next, add 10 liters of methanol and let it stand for 1 hour.
, and then dried under reduced pressure to obtain a white solid reaction product.

上記反応生成物2.75fおよびポリメタクリル酸メチ
ル2.Of、ベンゾフェノン0.2F、 ヒドロキノン
0.!Sf、クリスタルバイオレット01tをトリクレ
ン20fK溶解してホモジエナイザーを用いて約10分
間激しく攪拌すると顔料が細く分散された。かくして得
られた曽布敵をメアバーコーターを用いてPICTフィ
ルム(75部m)上に塗布し、40t’で5分間礼繰し
たところ青色のシートが得られた。m布層の厚さは約5
μmであった。次にこのよう圧して得られた感光性フィ
ルムを写真用透明ネガと1!!trlてオークジェット
プリンター(オーク動作所動、2Kw水銀灯)で光源か
ら40a*O鞄離から約10分間激した。霧光後直ちに
光照射部が黄色に発色L+’lIl倫が識別でき丸。次
にクロロセン10部、r)−ヘキサン90部からなる混
合液で現倫したところ未篇九部分の化合物がPET フ
ィルムから除かれ光硬化部分は不溶性になってぞのまt
PET フィルム上に残った。このように1て得られ九
1Ikl儂のPET基板への書着性;接着性は極めて良
好であった。
The above reaction product 2.75f and polymethyl methacrylate 2. Of, benzophenone 0.2F, hydroquinone 0. ! When Sf and Crystal Violet 01t were dissolved in 20fK of Trichloride and vigorously stirred for about 10 minutes using a homogenizer, the pigments were finely dispersed. The thus-obtained soybean paste was coated on a PICT film (75 parts) using a mare bar coater and rolled at 40 t' for 5 minutes to obtain a blue sheet. The thickness of the m fabric layer is approximately 5
It was μm. Next, the photosensitive film obtained by pressing in this way is mixed with a transparent photographic negative. ! It was heated for about 10 minutes after removing the 40a*O bag from the light source using an Oakjet printer (Oak operating system, 2Kw mercury lamp). Immediately after fogging, the light irradiated area turned yellow and L+'lIlLun could be identified as a circle. Next, when a mixture of 10 parts of chlorocene and 90 parts of r)-hexane was used, the compound in the uncut part was removed from the PET film, and the photocured part became insoluble.
remained on the PET film. The thus obtained 91Ikl had extremely good writing and adhesion properties on PET substrates.

爽−例2 5+!烏?I11で得ら7′lた反応生成物52、ポリ
メタクリル酸メチルーメタクリル級共重合体(9515
重量比)2.Of、ミヒ”i−ケトン0.2 f1ヒド
ロキノン01f、クリスタルバイオレット001fをト
ルエ/19vに実施例1と同様の操作で溶解して、感光
性樹脂組成物を得九。あらかじめ嘴浄処珈した銅張積層
板に塗布し、60Cで5分間乾燥した。淳みは20μで
あった。
Sou-Example 2 5+! crow? Reaction product 52 obtained in I11, polymethyl methacrylate-methacrylic class copolymer (9515
Weight ratio)2. Of, Mihi'i-ketone 0.2 f1 Hydroquinone 01f, and Crystal Violet 001f were dissolved in Toluene/19v in the same manner as in Example 1 to obtain a photosensitive resin composition. It was applied to a stretched laminate and dried at 60C for 5 minutes.The thickness was 20μ.

次にマスクを通してオークジェットグリンター(オーク
製作!9′に製、2Kw水欽灯)で九伽から40〜の距
離から約60秒施光した。次いでクロロ竜ンを用いて舅
倫した。このような方法で得られた耐食皮績健は塩化絶
二畝による銅のエツチングにも充分に納え、種々のメッ
キに対しても充分使用Wl*!で、良好な1リント回路
が得られたO L統補正書(自発) 昭和58年4月181j ′llI訂庁長官庁長官杉 和 夫 殿1 事件の表示 特願昭57−67888号 2 発明の名称 感光性樹脂組成物 3 補正をする溝 を件との関係  特許出願人 (290)グイセル化学工業株式会社 4  代  理  人 の次に[有効成分100重値部に対して、この充てん高
分子化合物は30〜200、好ましくは50〜1501
E量部用いるのが適切である。」を挿入する。
Next, light was applied through the mask for about 60 seconds using an Oak Jet Glinter (manufactured by Oak! 9', 2Kw water lamp) from a distance of 40~ from Kuga. Next, he was killed using Chlororyu. The corrosion-resistant coating obtained by this method is sufficient for copper etching using chloride-free double-ridges, and can also be used for various types of plating. A good 1-lint circuit was obtained in the O.L. system amendment (spontaneous) April 1981 181j 'llI Director-General of the Agency Kazuo Sugi 1 Indication of Case Patent Application No. 1988-67888 2 Invention Name Photosensitive Resin Composition 3 Relationship with the Groove for Correction Patent Applicant (290) Gwisel Chemical Industry Co., Ltd. 4 Agent is 30-200, preferably 50-1501
It is appropriate to use E parts. ” is inserted.

(+)rf/Il1頁4行「ベンシル」を「ヘンジイン
メチルエーテル」と訂正
(+) rf/Il Page 1, line 4, “bensyl” was corrected to “hendiine methyl ether”

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 2−メチル−1,3−プロピレングリコールをジインシ
アネート化合物と反応させて得られる一木端インシア不
−ト基を含有する単量体あるいはその低重合体を更にグ
リコールモノアクリレートあるいはグリコールモノメタ
クリレ〜 トと反応させて得られる不飽和単量体あるい
は不飽和低重合体の中から選ばれ九1種又は29以上の
混合物を有効成分とする感光性樹脂組成物1.
A monomer containing an incyanate group obtained by reacting 2-methyl-1,3-propylene glycol with a diincyanate compound or a low polymer thereof is further added to glycol monoacrylate or glycol monomethacrylate. Photosensitive resin composition containing as an active ingredient a mixture of 91 or 29 or more unsaturated monomers or unsaturated low polymers obtained by reacting with
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