JPH1174170A

JPH1174170A - 制御システム

Info

Publication number: JPH1174170A
Application number: JP16816098A
Authority: JP
Inventors: Katsuhiko Matsuda; 克彦松田; Kazuhisa Nakama; 和久中間; Shigenori Todate; 重典戸舘
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1997-06-20
Filing date: 1998-06-16
Publication date: 1999-03-16
Anticipated expiration: 2018-06-16
Also published as: JP3771050B2

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体ウエハを処理する複数の処理装置を一
元的に制御するシステムの保守性の向上を図る。【解決手段】各処理装置毎のレシピ（プロセス条件
値）の集中管理やプロセスコントロールをはじめとし
て、各処理装置１１から得られる全プロセスデータの集
中モニタリング処理等を行うＡＧＣ（アドバンス・グル
ープ・コントローラ）を制御システムに付加接続する。
各処理装置１１から得られる全プロセスデータを集中モ
ニタリングできることで、従来のホストコンピュータ上
でプロセスデータを集中モニタリングする方式に比べ、
処理装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期に発見す
ることができる。また、プロセスデータを収集、モニタ
リングするハードウェアをサーバ装置とクライアント装
置とに分離し、ＡＧＣの制御負荷を分散化したことで接
続可能な処理装置数を増加することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシス
テムに係り、特に複数の基板処理装置を一元管理する機
能を持つた制御システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体ウエハや液晶パネル等の製
造システムの大規模化により、被処理基板に対して成膜
処理、エッチング処理、熱酸化処理等の処理（プロセ
ス）を行う多数の処理装置を一元管理する要求が益々高
まっている。

【０００３】複数の処理装置を一元管理する機能を持っ
た従来の制御システムによると、被処理基板に対して各
種処理を行う処理装置は、ＥＣＣ制御部によって個別に
制御される。ＥＣＣ制御部は、ホストコンピュータとの
論理的なインターフェイス手段であるＨＣＩを有し、こ
のＨＣＩによって、ホストコンピュータとの間での各種
データのやりとりがＴＣＰ／ＩＰ等のデータ伝送系を通
じて行われる。ホストコンピュータは、各処理装置のＥ
ＣＣ制御部との間で各種データのやりとりを通じて各処
理装置のトラッキング処理を行うとともに、各処理装置
より受信したプロセスデータをデータベースに履歴とし
て蓄積し、その内容をモニタに表示したり、そのプロセ
スデータに基づいて処理装置の各種パラメータ捕正や異
常検出などを行う。

【０００４】各処理装置のＥＣＣ制御部からポストコン
ピュータへのプロセスデータ転送の際、ＨＣＩは、ＥＣ
Ｃ制御部にて生成された全プロセスデータの中からトラ
ッキング処理、パラメータ補正、異常検出等に最低限必
要とされる一部の種類のデータだけを選択してポストコ
ンピュータに送信する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな制御システムによる一元管理方式では、ポストコン
ピュータに蓄積されるプロセスデータが限定されること
になり、モニタに表示されたプロセスデータから各処理
装置の状態として獲得できる情報も制限されたものとな
る。また、処理装置の経年的な特性の劣化状態を反映し
たプロセスデータの変化等は、モニタに表示されたプロ
セスデータを単に参照しただけでは発見できない場合が
多い。このような事情から、処理装置の異常や特性劣化
を確実且つ早期に発見することは現実的に難しいという
問題があった。

【０００６】本発明は、より詳細なプロセスデータの集
中モニタリングを実現して、処理装置の異常や特性劣化
の早期発見に寄与することのできる制御システムを提供
することを目的としている。

【０００７】また、本発明は、各処理装置のより詳細な
一元管理を実現して保守性の向上を図れる制御システム
の提供を目的としている。

【０００８】また、本発明は、プロセスデータの解析結
果を通しての各処理装置の詳細な一元管理を実現して、
処理装置の異常や特性劣化の早期発見に寄与することの
できる制御システムの提供を目的としている。

【０００９】本発明は、各処理装置のプロセス条件の自
動的な最適化を実現した制御システムを提供することを
目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上気した目的を達成する
ために、本発明は、基板に対して所定の処理を行う複数
の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記制
御装置の各々で生成されたほぼ全てのプロセスデータを
取り込んで蓄積するメモリを有するサーバ装置と、この
サーバ装置から蓄積されたプロセスデータを取り込み編
集する編集部と、編集データを表示する表示部を有する
クライアント装置を含むコントロール装置とにより構成
される制御システムを提供する。

【００１１】すなわち、この発明において、コントロー
ル装置のサーバ装置は各制御装置から取り込んだプロセ
スデータを蓄積する。クライアント装置はサーバ装置に
蓄積されているプロセスデータを取り込み、これを自ク
ライアント装置上で利用可能な形式のデータに変換して
表示する。サーバ装置に蓄積されているプロセスデータ
は、各処理装置のほぼ全てのプロセスデータであり、従
来のホストコンピュータ上でプロセスデータを集中モニ
タリングする方式に比べ、より詳細なプロセスデータの
集中モニタリングが可能となり、処理装置の異常や特性
劣化を早期に発見することが可能となる。また、プロセ
スデータを収集、表示するコントロール装置のハードウ
ェアをサーバ装置とクライアント装置とに分離し、プロ
セスデータの収集、表示のための制御負荷を分散化した
ことで、接続可能な処理装置数を増加することができ
る。

【００１２】また、本発明は、複数のグループに分けら
れ、基板に対して所定のプロセスを行う複数の処理装置
をホストコンピュータと関連して個別に制御する複数の
制御装置と、処理装置のグループ毎に対応して設けら
れ、制御装置の各々で生成されたほぼ全てのプロセスデ
ータを取り込んで蓄積するメモリを有する複数のサーバ
装置と、これらサーバ装置から蓄積されたプロセスデー
タを取り込み編集する編集部と、編集データを表示する
表示部を有するクライアント装置とを含むコントロール
装置とにより構成される制御システムを提供する。

【００１３】さらに、本発明は、基板に対する所定のプ
ロセスを行う複数の処理装置を個別に制御する複数の制
御装置と、前記制御装置の各々で生成された一部のプロ
セスデータに基づいて前記制御装置を制御するホストコ
ンピュータと、同一のプロセス条件が設定された処理装
置のグループ毎に対応して設けられ、各制御装置で生成
されたほぼ全てのプロセスデータを取り込んで蓄積する
手段を有する複数のサーバ装置と、前記サーバ装置から
前記蓄積されたプロセスデータを取り込み、編集するク
ライアント装置と、編集データを表示する手段とを有す
るクライアント装置を含むコントロール装置とを具備す
る制御システムを提供する。

【００１４】本発明によれば、プロセスデータを蓄積す
るサーバ装置を、予め決められた処理装置のグループ
毎、例えば同一のプロセス条件が設定された処理装置毎
に設けたことで、接続可能な処理装置数をさらに増加さ
せることができるとともに、個々のサーバ装置の機能を
バージョンアップしたり保守点検を行う際に、他のサー
バ装置の管理下にある処理装置群の動作を止める必要が
なくなる。

【００１５】本発明は、被処理基板に対する所定のプロ
セスを行う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御
装置と、各制御装置より受信したプロセスデータに基づ
いて各制御装置を制御するホストコンピュータと、各制
御装置より受信したプロセスデータを収集し、前記収集
したプロセスデータを解析し、解析の結果を出力するコ
ントロール装置とを具備し、個々の制御装置は、プロセ
スデータを生或する手段と、生成されたプロセスデータ
の中から予め設定された一部のプロセスデータをホスト
コンピュータに送信する手段と、生成された全てのプロ
セスデータを前記コントロール装置に送信する手段を有
する、制御システムを提供する。

【００１６】すなわち、この発明において、コントロー
ル装置は各処理装置の制御装置で生成された全てのプロ
セスデータを解析してその結果を出力するので、従来の
ホストコンピュータ上で一部のプロセスデータを集中モ
ニタリングする方式に比べ、各処理装置の状態として掴
み得る情報の幅が広がり、各処理装置の状態の経時的な
変化も早期に発見することができる。

【００１７】また、本発明は、被処理基板に対する所定
のプロセスを行う複数の処理装置を個別に制御する複数
の制御装置と、各制御装置より受信したプロセスデータ
に基づいて各制御装置を制御するホストコンピュータ
と、各制御装置より受信したプロセスデータを収集し、
前記収集したプロセスデータを解析し、前記解析の結果
に基づいて各処理装置のプロセス条件を更新するコント
ロール装置とを具備し、前記個々の制御装置は、プロセ
スデータを生成する手段と、前記生成されたプロセスデ
ータの中から予め設定された一部のプロセスデータを前
記ホストコンピュータに送信する手段と、前記生成され
た全てのプロセスデータを前記コントロール装置に送信
する手段とを有する、制御システムを提供する。

【００１８】この発明は、各制御装置にて生成された全
てのプロセスデータの解析結果に基づいてプロセス条件
を更新する手段をさらに設けたことによって、各処理装
置の経時的な特性の変動をも考慮した様々な観点から最
適なプロセス条件を自動的に得ることが可能となり、プ
ロセス条件設定のための人為的な試行錯誤を不要なもの
とすることができる。

【００１９】さらに、本発明は、被処理基板に対する所
定のプロセスを行う複数の処理装置を個別に制御する複
数の制御装置と、各制御装置より受信した一部のプロセ
スデータに基づいて各制御装置を制御するホストコンピ
ュータと、各制御装置より受信したプロセスデータを収
集し、前記収集したプロセスデータを解析し、前記解析
の結果を出力し、前記収集したプロセスデータで前記ホ
ストコンピュータのプロセスデータ受信不能期間の欠落
プロセスデータを補填するコントロール装置とを具備
し、前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成する
手段と、前記生成されたプロセスデータの中から予め設
定された一部のプロセスデータを前記ホストコンピュー
タに送信する手段と、前記生成された全てのプロセスデ
ータを前記コントロール装置に送信する手段を有する、
制御システムを提供する。

【００２０】本発明は、コントロール装置で収集したプ
ロセスデータでホストコンピュータのプロセスデータ受
信不能期間の欠落プロセスデータを補填する手段をさら
に設けたことで、ホストコンピュータはダウン状態から
復旧した直後より、各処理装置の制御装置に対する制御
を直ちに再開することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて説明する。

【００２２】本発明に係る制御システムは、例えば次の
ような複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置等に適用
される。

【００２３】図１に示すように、この半導体ウエハ製造
装置は、半導体ウエハに対して各種の処理例えばＣＶＤ
処理またはスパッタリング処理やエッチング処理や熱酸
化処理等を行う複数例えば３つののプロセスチャンバ
１、２、３と、多数枚例えば２５枚のウエハＷを収納で
きるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ
４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャ
ンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャ
ンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間はゲートバ
ルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャン
バ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関
節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム
７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カ
セットＣ１、Ｃ２はカセットチャンバ４、５内に取り込
まれる際に９０度反転されると共にそのカセットＣ１、
Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くよ
うに回転され、以て搬送アーム７によるウエハＷの出し
入れが可能な姿勢に設置される。図２に示す制御シス
テムによると、処理装置１１（１１−１〜１１−Ｎ）
は、例えばＣＶＤ処理またはスパッタリング処理、エッ
チング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処
理を行い、ＥＣＣ制御部１２（１２−１〜１２−Ｎ）は
各処理装置１１の上位制御系であり、ＭＣ（マシンコン
トローラ）１０（１０−１〜１０−Ｎ）は各処理装置１
１の下位制御系である。

【００２４】図３に示すように、ＥＣＣ制御部１２は、
ホストコンピュータ１５との論理的なインターフェイス
手段であるＨＣＩ（Host Communication Interface）１
３を有し、このＨＣＩ１３によって、ホストコンピュー
タ１５との間での各種データのやりとりがＴＣＰ／ＩＰ
等のデータ伝送系１４を通じて行われる。また、ＥＣＣ
制御部１２は、アドバンスド・グループ・コントローラ
（以下、ＡＧＣと称す）１７との論理的なインターフェ
イス手段であるＲＡＰ（Remote Agent Process）１６を
有し、このＲＡＰ１６によってＡＧＣ１７との間での各
種データのやりとりがデータ伝送系１４を通じて行われ
る。

【００２５】ここで、プロセスデータ転送に係るＨＣＩ
１３とＲＡＰ１６の機能の違いについて説明する。

【００２６】ＨＣＩ１３は、ＥＣＣ制御部１２にて処理
装置１１から得た全てのプロセスデータの中から予め設
定された一部の種類のプロセスデータだけを選択してホ
ストコンピュータ１５に送信する。すなわち、図３にお
いて、メモリ１８はＥＣＣ制御部１２にて生成された全
プロセスデータを一時的に蓄積し、ＨＣＩ１３は、この
メモリ１８から予め設定された一部の種類のプロセスデ
ータ（データ１，３）を取り出してＨＣＩ送信バッファ
１９に書き込み、ＨＣＩ送信バッファ１９の内容をまと
めてホストコンピュータ１５に送信する。また、ＨＣＩ
１３は、ＥＣＣ制御部１２で生成されたステータスデー
タなどもホストコンピュータ１５に送信する。

【００２７】ＲＡＰ１６は、ＥＣＣ制御部１２にて処理
装置１１から得た全てのプロセスデータを無条件にＡＧ
Ｃ１７に送信する。すなわち、ＲＡＰ１６は、ＥＣＣ制
御部１２内のプロセスデータ蓄積用メモリ１８に蓄積さ
れたプロセスデータを先頭から順次読み出し、そのデー
タ構造のままＡＧＣ１７に転送する。但し、データの順
番を並び換えたり、ごく一部のデータを排除する程度の
操作をここで行ってもよい。

【００２８】ホストコンピュータ１５は、各処理装置１
１のＥＣＣ制御部１２との間での各種データをやりとり
を通じて各処理装置１１のトラッキング処理を行うなど
各処理装置１１の全体的な動作制御を行う。

【００２９】ＡＧＣ１７は、各処理装置毎のレシピ（プ
ロセス条件値）の集中管理やレシピに基づく各処理装置
１１のプロセスコントロールをはじめとして、各処理装
置１１から得られる全てのプロセスデータを対象に、そ
の解析処理、統計処理、プロセスデータやその解析／統
計結果の集中モニタリング処理、更には解析／統計結果
をレシピに反映させる処理等を行う。

【００３０】ＡＧＣ１７はＡＧＣサーバ１７ａとＡＧＣ
クライアント１７ｂから構成されている。ＡＧＣサーバ
１７ａの通信Ｉ／Ｆ（インターフェース部）２１は、各
処理装置１１のＥＣＣ制御部１２およびＡＧＣクライア
ント１７ｂとの間でデータ伝送系１４を通じて各種テー
タを送受信する。ＥＱＭ制御部２２は、予め定義された
プロセス条件と各処理装置１１から得られるプロセスデ
ータに基づいて処理装置毎のプロセスの各種パラメータ
の補正を行うとともに、受信したパラメータをデータベ
ース２３へ格納し、ＡＧＣクライアント１７ｂに転送す
べきプロセスデータをデータベース２３から検索する処
理等を主に行う。

【００３１】ＡＧＣクライアント１７ｂには、ＡＧＣサ
ーバ１７ａより転送されてきたプロセスデータの解析処
理および統計処理を行うデータ解析部２５と、取り込ん
だプロセスデータやその解析結果等をクライアントユー
ザが利用し、加工できる形式のデータに変換するデータ
変換部２６と、変換データをモニタ等に表示するデータ
表示部２７と、被処理基板上の膜厚等の測定データを含
むプロセスデータの解析結果に基づいてレシピ（プロセ
ス条件）を最適化するように更新するレシピ修正部２８
等の機能が用意されている。

【００３２】次に、このシステムの動作をＡＧＣの関与
する動作を中心に説明する。

【００３３】まず、各処理装置１１のＥＣＣ制御部１２
は、ＡＧＣ１７によるプロセスコントロールの下で、対
応する処理装置１１を制御して被処理基板に対する処理
を実行させる。

【００３４】個々のＥＣＣ制御部１２にて処理装置１１
から得たプロセスデータは、図３に示したプロセスデー
タ蓄積用メモリ１８に書き込まれる。プロセスデータ蓄
積用メモリ１８に書き込まれたプロセスデータは、その
外部転送に係る論理的なインターフェイス手段であるＨ
ＣＩ１３とＲＡＰ１６によって、ＴＣＰ／ＩＰ等のデー
タ伝送系１４の独立したチャンネルを通じてホストコン
ピュータ１５とＡＧＣ１７に転送される。

【００３５】ここで、ＨＣＩ１３は、プロセスデータ蓄
積用メモリ１８に保持されたすべてのプロセスデータの
中から予め設定された一部の種類のプロセスデータだけ
を引き出してＨＣＩ送信バッファ１９に書き込み、ＨＣ
Ｉ送信バッファ１９の内容をデータ伝送系１４を通じて
ホストコンピュータ１５に送信する。一方、ＲＡＰ１６
は、プロセスデータ蓄積用メモリ１８から全てのプロセ
スデータを読み出してＡＧＣ１７に転送する。

【００３６】ＡＧＣ１７（ＡＧＣサーバ１７ａ）は、各
処理装置のＥＣＣ制御部１２のＲＡＰ１６によって送信
されたプロセスデータを受信し、このプロセスデータを
データベース２３に蓄積するとともにこのプロセスデー
タとレシピデータから各処理装置のパラメータ補正値を
生成してこれをＥＣＣ制御部１２に送信することによっ
てプロセスコントロールを行う。

【００３７】また、ＡＧＣサーバ１７ａは、ＡＧＣクラ
イアント１７ｂからプロセスデータ転送要求を受ける
と、データベース２３から該当するプロセスデータを読
み出し、通信Ｉ／Ｆ２１を通じてＡＧＣクライアント１
７ｂに送信する。ＡＧＣクライアント１７ｂに転送され
たプロセスデータは、データ変換部２６にてクライアン
トユーザが利用し、加工できる形式のデータに変換さ
れ、データ表示部２７によってモニタに表示される。さ
らに、ＡＧＣクライアント１７ｂに転送されたプロセス
データは、データ解析部２５にて解析および統計処理さ
れ、その解析結果はデータ変換部２６にてプロセスデー
タと同様にユーザ利用可能な形式のデータに変換され、
モニタに表示される。これによりＡＧＣクライアント１
７ｂ上での基板処理システム全体の一元管理が実現され
る。

【００３８】また、ＡＧＣクライアント１７ｂのデータ
解析部２５は、プロセスデータの解析結果から処理装置
の異常検出や異常予測を行い、異常を検出した場合およ
び予測した場合は、その旨をデータ表示部２７を通して
モニタに出力するとともにＡＧＣサーバ１７ａに通知す
る。この通知に従ってＡＧＣサーバ１７ａは、例えば、
異常検出或いは異常予測された処理装置１１を制御して
いるＥＣＣ制御部１２に対して処理装置の停止を指示す
るなどの制御を行う。

【００３９】さらに、ＡＧＣクライアント１７ｂのレシ
ビ修正部２８は、基板上の膜厚測定結果等の測定データ
を含むプロセスデータに対する解析結果からレシビ（プ
ロセス条件）を最適化するための修正処理を行う。

【００４０】また、本実施形態では、ホストコンピュー
タ１５がダウンした場合にＡＧＣＩ７によるプロセスデ
ータのスプーリング処理が行われる。すなわち、ホスト
コンピュータ１５は、復旧後、ダウン期間のプロセスデ
ータをＡＧＣから直ちに取り込むことができる。これに
より、ホストコンピュータ１５による各処理装置１１の
トラッキング処理を復旧後直ちに再開することができ
る。

【００４１】次に、上記制御システムにおいてレシピデ
ータを編集して処理を実行する動作を図５を参照して説
明する。

【００４２】まず、ＡＧＣクライアント１７ｂはＡＧＣ
サーバ１７ａを介してデータベース２３に対してレシピ
データの読み込みを行う。データベースから読み出され
たレシピデータがクライアント１７ｂに送られると、ク
ライアント１７ｂはレシピデータの編集を行う。編集処
理が終了すると、クライアント１７ｂは編集済みのレシ
ピデータをデータペース２３に書き込む。これによりデ
ータベース２３のレシピデータが更新される。

【００４３】一方、ホストコンピュータ１５が処理装置
１１−１に対して処理開始命令、例えば処理に対応する
レシピＩＤ情報を出すと、処理装置１１−１のＥＣＣ制
御部１２−１はＡＧＣサーバ１７ａのＥＱＭ２２にレシ
ピＩＤ情報に対応するレシピデータを要求する。ＡＧＣ
サーバ１７ａはこの要求に対してＡＧＣサーバのデータ
ベース２３からレシピデータを読み出し、処理装置１１
−１のＥＣＣ制御部１２−１に転送する。処理装置１１
−１は送られたレシピデータに従って所定の処理を実行
する。このとき、処理装置１１−１のＥＣＣ制御部１２
−１は処理実行中に発生する実際の処理データを保存す
る。

【００４４】なお、処理装置１１−１のＥＣＣ制御部１
２−１に転送されたレシピデータを処理装置１１−１と
同じ処理を行う他の処理装置にコピーすることができ、
このコピーされたレシピデータに従って他の処理装置、
例えば処理装置１１−２，１１−３は処理装置１１−１
と同じレシピデータに従って処理を実行することができ
る。従って、処理装置１１−１〜１１−３はＡＧＣサー
バにより一括管理できる。

【００４５】上記実施形態では、データベース２３に格
納されたレシピデータに従って処理が行われているが、
データベース２３を使用しない実施形態での制御システ
ムの動作を図６を参照して説明する。

【００４６】この実施形態では、ＡＧＣクライアント１
７ｂがＡＧＣサーバ１７ａを介して例えば処理装置１１
−１のＥＣＣ制御部１２−１にレシピ要求を行う。ＥＣ
Ｃ制御部１２−１は要求に応じて保存しているレシピデ
ータをＡＧＣサーバ１７ａを介してクライアント１７ｂ
に転送する。レシピデータを受けたクライアント１７ｂ
はレシピデータに対して編集処理を行う。レシピデータ
の編集が終わると、クライアアント１７ｂはＡＧＣサー
バ１７ａを介して処理装置１１−１のＥＣＣ制御部１２
−１にレシピデータの登録要求を出す。ＥＣＣ制御部１
７ａはレシピデータを登録すると共にタイムスタンプを
記録する。

【００４７】次に、同じ編集レシピデータを他の処理装
置１１−２のＥＣＣ制御部１２−２にコピーするために
ＥＣＣ制御部１２−２に登録要求をする。ＥＣＣ制御部
１２−２はこの登録要求に対してＡＣＫを出すと、ＡＧ
Ｃサーバ１７ａはレシピデータの登録を行う。

【００４８】上記のようにしてレシピデータが編集され
た後に、ホストコンピュータ１５から処理実行命令を例
えば処理装置１１−１に出すと、処理装置１１−１のＥ
ＣＣ制御部１２−１はレシピ実行承認要求をＡＧＣサー
バ１７ａに送る。ＡＧＣサーバ１７ａはタイムスタンプ
をチェックし、ＥＣＣ制御部１２−１に対して実行承認
ＡＣＫを送る。これにより、処理装置１１−１はレシピ
データに従って処理を実行する。この処理実行により発
生する実際データはＥＣＣ制御部１２−１に逐次保存さ
れる。

【００４９】以上説明したように、本実施形態の制御シ
ステムによれば、各処理装置から得られる全て或いはほ
ぼ全ての詳細なプロセスデータをＡＧＣ１７に取り込ん
で集中モニタリングすることができるので、各処理装置
の状態として掴むことのできる情報の幅が広がり、処理
装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期に発見するこ
とができる。また、各処理装置から得られる全て或いは
ほぼ全ての詳細なプロセスデータを解析してその解説結
果を集中モニタリングすることができるので、各処理装
置の状態の経時的な変化を早期に発見することができ
る。これにより、多数の処理装置からなる製造システム
の保守信頼性を高めることが可能となる。また、本実施
形態では、基板上の膜厚測定結果等の測定データを含む
詳細なプロセスデータに対する解析結果や統計結果から
レシピにおける各データをより好ましい値に更新するこ
とによって、各処理装置の経時的な特性の変動をも考慮
した様々な観点から最適なプロセス条件を自動的に得る
ことが可能となり、信頼性の向上を図ることができる。

【００５０】さらに、ＡＧＣ１７をハード的にプロセス
データ収集用のＡＧＣサーバ１７ａと、そのプロセスデ
ータを実際に運用するＡＧＣクライアント１７ｂとに別
けたことで、各々の制御負荷が分散され、より多数の処
理装置を接続した構成においても性能が低下することが
なくなる。

【００５１】なお、以上説明した実施形態において、Ａ
ＧＣ１７は一台のＡＧＣサーバ１７ａと一台のＡＧＣク
ライアント１７ｂとで構成したが、処理装置の接続数が
さらに増大した場合、ＡＧＣサーバ１７ａの負荷が非常
に大きくなることが予想される。そこで、図４に示すよ
うに、機能例えばレシピの種類毎にＡＧＣサーバ１７ａ
（１７ａ−１〜１７ａ−Ｍ）を設ける形態をとる方式が
考えられる。このような形態をとった場合、個々のＡＧ
Ｃサーバの機能をバージョンアップしたり保守点検を行
う際に、他のＡＧＣサーバの管理下にある処理装置群の
動作を止める必要がなくなり、システム全体の処理効率
を高めることが可能となる。

【００５２】さらに、本発明の制御システムによれば、
従来のホストコンピュータ上でプロセスデータを集中モ
ニタリングする方式に比べ、より詳細なプロセスデータ
の集中モニタリングが可能となり、処理装置の異常や特
性劣化を早期に発見することが可能となる。また、プロ
セスデータを収集、表示するコントロール装置のハード
ウェアをサーバ装置とクライアント装置とに分離し、プ
ロセスデータの収集、表示のための制御負荷を分散化し
たことで、接続可能な処理装置数を増加することができ
る。

【００５３】また、本発明の制御システムによれば、プ
ロセスデータを蓄積するサーバ装置を、予め決められた
前記処理装置のグループ毎、例えば同一のプロセス条件
が設定された処理装置毎に設けたことで、接続可能な処
理装置数をさらに増加させることができるとともに、個
々のサーバ装置の機能をバージョンアップしたり保守点
検を行う際に、他のサーバ装置の管理下にある処理装置
群の動作を止める必要がなくなる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように本発明の制御システ
ムによれば、コントロール装置は各処理装置の制御装置
で生成された全てのプロセスデータを解析してその結果
を出力するので、従来のホストコンピュータ上で一部の
プロセスデータを集中モニタリングする方式に比べ、各
処理装置の状態として掴み得る情報の幅が広がり、各処
理装置の状態の経時的な変化も早期に発見することがで
きる。

【００５５】また、各制御装置にて生成された全てのプ
ロセスデータの解析結果に基づいてプロセス条件を更新
する手段をさらに設けたことによって、各処理装置の経
時的な特性の変動をも考慮した様々な観点から最適なプ
ロセス条件を自動的に得ることが可能となり、プロセス
条件設定のための人為的な試行錯誤を不要なものとする
ことができる。

【００５６】さらに、本発明の制御システムによれば、
コントロール装置で収集したプロセスデータでホストコ
ンピュータのプロセスデータ受信不能期間の欠落プロセ
スデータを補填する手段をさらに設けたことで、ホスト
コンピュータはダウン状態から復旧した直後より、各処
理装置の制御装置に対する制御を直ちに再開することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る制御システムの制御対象である複
合プロセス型の半導体ウエハ製造装置の概略構成図

【図２】本発明の第１の実施形態である制御システムの
ブロック図

【図３】図２のＥＣＣ制御部のブロック図

【図４】本発明の第２の実施形態である制御システムの
ブロック図

【図５】レシピ編集処理の手順を示すシーケンス図

【図６】他のレシピ編集処理の手順を示すシーケンス図

【符号の説明】

１１（１１-1〜１１-N）……処理装置１２（１２-1〜１２-N）……ＥＣＣ制御部１３……ＨＣＩ１４……データ伝送路１５……ホストコンピュータ１６……ＲＡＰ１７……ＡＧＣ１７ａ……ＡＧＣサーバ１７ｂ……ＡＧＣクライアント２１……通信Ｉ／Ｆ２２……ＥＱＭ制御部２３……データベース２５……データ解析部２６……データ変換部２７……データ表示部２８……レシピ修正部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に対して所定の処理を行う複数の処
理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記制御装置の各々で生成されたほぼ全てのプロセスデ
ータを取り込んで蓄積する蓄積部を有するサーバ装置
と、前記サーバ装置から前記蓄積されたプロセスデータ
を取り込み編集する編集部と、編集データを表示する表
示部を有するクライアント装置を含むコントロール装置
と、を有することを特徴とする制御システム。
【請求項２】前記制御装置は、ホストコンピュータか
らのコマンドに応答して対応する前記処理装置をそれぞ
れ制御することを特徴とする請求項１記載の制御システ
ム。
【請求項３】前記クライアント装置は、前記プロセス
データの解析処理および統計処理を行うデータ解析部
と、取り込んだプロセスデータやその解析結果をユーザ
が利用し、加工できる形式のデータに変換するデータ変
換部と、変換データを表示する前記表示部と、被処理基
板上の膜厚等の測定データを含むプロセスデータの解析
結果に基づいてレシピを最適化するように更新するレシ
ピ修正部を含むことを特徴とする請求項１記載の制御シ
ステム。
【請求項４】前記制御装置の各々は、ホストコンピュ
ータからのコマンドを受けて前記処理装置を制御すると
共に前記処理装置から得た全てのプロセスデータの中か
ら予め設定された一部の種類のプロセスデータだけを選
択してホストコンピュータに送信する制御部を有するこ
とを特徴とする請求項１記載の制御システム。
【請求項５】前記制御部は、全プロセスデータを蓄積
するメモリと、このメモリから取り出された予め設定さ
れた一部の種類のプロセスデータを一時格納するバッフ
ァと、このバッファの内容をまとめてホストコンピュー
タに送信するインターフェースと、前記メモリの全プロ
セスデータを前記コントロール装置に送信するインター
フェースとを有することを特徴とする請求項４記載の制
御システム。
【請求項６】前記サーバ装置は、予め定義されたプロ
セス条件と前記処理装置の各々から得られるプロセスデ
ータに基づいて処理装置毎のプロセスの各種パラメータ
の補正を行うとともに、受信したパラメータを前記蓄積
部へ格納し、前記クライアント装置に転送すべきプロセ
スデータを前記蓄積部から検索する処理を行うことを特
徴とする請求項１記載の制御システム。
【請求項７】複数のグループに分けられ、基板に対し
て所定のプロセスを行う複数の処理装置をホストコンピ
ュータと関連して個別に制御する複数の制御装置と、前記処理装置のグループ毎に対応して設けられ、前記制
御装置の各々で生成されたほぼ全てのプロセスデータを
取り込んで蓄積する蓄積部を有する複数のサーバ装置
と、前記サーバ装置から前記蓄積されたプロセスデータ
を取り込み編集する編集部と、編集データを表示する表
示部を有するクライアント装置とを含むコントロール装
置と、を有することを特徴とする制御システム。
【請求項８】前記クライアント装置は、前記プロセス
データの解析処理および統計処理を行うデータ解析部
と、取り込んだプロセスデータやその解析結果をユーザ
が利用し、加工できる形式のデータに変換するデータ変
換部と、変換データを表示する前記表示部と、前記基板
上の膜厚の測定データを含むプロセスデータの解析結果
に基づいてレシピを最適化するように更新するレシピ修
正部を含むことを特徴とする請求項７記載の制御システ
ム。
【請求項９】前記制御装置の各々は、前記ホストコン
ピュータからのコマンドを受けて前記処理装置を制御す
ると共に前記処理装置から得た全てのプロセスデータの
中から予め設定された一部の種類のプロセスデータだけ
を選択してホストコンピュータに送信する制御部を有す
ることを特徴とする請求項７記載の制御システム。
【請求項１０】前記制御部は、全プロセスデータを蓄
積するメモリと、このメモリから取り出された予め設定
された一部の種類のプロセスデータを一時格納するバッ
ファと、このバッファの内容をまとめてホストコンピュ
ータに送信するインターフェースと、前記メモリの全プ
ロセスデータを前記コントロール装置に送信するインタ
ーフェースを有することを特徴とする請求項９記載の制
御システム。
【請求項１１】前記サーバ装置は、予め定義されたプ
ロセス条件と前記処理装置の各々から得られるプロセス
データに基づいて処理装置毎のプロセスの各種パラメー
タの捕正を行うとともに、受信したパラメータを前記蓄
積部へ格納し、前記クライアント装置に転送すべきプロ
セスデータを前記蓄積部から検索する処理を行うことを
特徴とする請求項７記載の制御システム。
【請求項１２】前記クライアント装置は同じグループ
内の前記処理装置に対応する前記制御装置に同じレシピ
をコピーする機能を有することを特徴とする請求項７記
載の制御システム。
【請求項１３】各々が同一のプロセス条件に設定され
た複数の処理装置を含む複数のグループに分けられ、基
板に対して所定のプロセスを行う複数の処理装置をホス
トコンピュータと関連して個別に制御する複数の制御装
置と、前記グループ毎に対応して設けられ、プロセスデータを
取り込み、編集する手段および変換データを表示する手
段を有するクライアント装置を含むコントロール装置
と、を有することを特徴とする制御システム。
【請求項１４】基板に対する所定のプロセスを行う複
数の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記制御装置の各々で生成された一部のプロセスデータ
に基づいて前記制御装置を制御するホストコンピュータ
と、同一のプロセス条件が設定された処理装置のグループ毎
に対応して設けられ、各制御装置で生成されたほぼ全て
のプロセスデータを取り込んで蓄積する手段を有する複
数のサーバ装置と、前記サーバ装置から前記蓄積された
プロセスデータを取り込み、編集するクライアント装置
と、編集データを表示する手段とを有するクライアント
装置を含むコントロール装置と、を具備することを特徴とする制御システム。
【請求項１５】基板に対して所定のプロセスを行う複
数の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記制御装置の各々より受信したプロセスデータに基づ
いて前記制御装置の各々を制御するホストコンピュータ
と、前記制御装置の各々より受信したプロセスデータを収集
する手段、前記収集したプロセスデータを解析する手段
および前記解析の結果を出力する手段を有するコントロ
ール装置と、を具備し、前記制御装置の各々は、プロセスデータを生成する手
段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設定さ
れた一部のプロセスデータを前記ホストコンピュータに
送信する手段および前記生成された全てのプロセスデー
タを前記コントロール装置に送信する手段を有すること
を特徴とする制御システム。
【請求項１６】前記コントロール装置は、前記収集し
たプロセスデータの内で前記ホストコンピュータが受信
不能となった期間での欠落プロセスデータを補填する手
段を有することを特徴とする請求項１５記載の制御シス
テム。
【請求項１７】基板に対して所定のプロセスを行う複
数の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記制御装置の各々より受信したプロセスデータに基づ
いて前記制御装置を制御するホストコンピュータと、前記制御装置の各々より受信したプロセスデータを収集
する手段、前記収集したプロセスデータを解析する手段
および前記解析の結果に基づいて各処理装置のプロセス
条件を更新する手段を有するコントロール装置と、を具備し、前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成する手
段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設定さ
れた一部のプロセスデータを前記ホストコンピュータに
送信する手段および前記生成された全てのプロセスデー
タを前記コントロール装置に送信する手段を有すること
を特徴とする制御システム。
【請求項１８】前記コントロール装置は、前記収集し
たプロセスデータの内で前記ホストコンピュータが受信
不能となった期間での欠落プロセスデータを捕填する手
段を有することを特徴とする請求項１７記載の制御シス
テム。