JPH11297581A - Method and device for manufacturing multilayer electronic component - Google Patents
Method and device for manufacturing multilayer electronic componentInfo
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- JPH11297581A JPH11297581A JP10119954A JP11995498A JPH11297581A JP H11297581 A JPH11297581 A JP H11297581A JP 10119954 A JP10119954 A JP 10119954A JP 11995498 A JP11995498 A JP 11995498A JP H11297581 A JPH11297581 A JP H11297581A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ベースシート上に
内部電極を転写法によって形成し、前記内部電極を所定
の位置関係に精度よく積層して積層体とし、前記積層体
を断裁、焼成した後、外部電極を形成してなる積層型電
子部品の製造法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of forming an internal electrode on a base sheet by a transfer method, and laminating the internal electrodes in a predetermined positional relationship with high accuracy to form a laminate, and cutting and firing the laminate. Later, the present invention relates to a method of manufacturing a multilayer electronic component formed with external electrodes.
【0002】[0002]
【従来の技術】積層型電子部品の製造工程において、薄
膜状のベースシートに導電性ペーストを印刷し内部電極
を形成し、この内部電極を形成したベースシートを所定
のサイズに断裁し、前記内部電極の位置を合わせて多数
枚積層することが行われている。しかし、前記ベースシ
ートは切れやすく、伸縮性がないために、ベースシート
にシワが発生したり、また、積層の際に前記内部電極の
位置合わせ精度が悪い等種々の問題があり、その対策と
して種々の方法が提案されている。例えば、ベースシー
トをキャリアフィルムに仮着させて、前記ベースシート
に位置決め用の孔を開設し、搬送ヘッドに位置決めピン
を設け、以後の搬送、印刷、積層等の工程において、前
記位置決め用孔と位置決め用ピンを利用して、前記各工
程に用いる装置に位置決め用孔をうける位置受けピンを
設けて精度のよい位置に積層積層する方法(例えば、特
開平5-182859) が提案されている。その他前記積層にお
ける内部電極の位置を正確に合わせるためにも種々の方
法が提案されている。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of a laminated electronic component, a conductive paste is printed on a thin base sheet to form internal electrodes, and the base sheet on which the internal electrodes are formed is cut into a predetermined size. 2. Description of the Related Art A large number of sheets are laminated with the positions of electrodes aligned. However, since the base sheet is easy to cut and has no elasticity, wrinkles are generated in the base sheet, and there are various problems such as poor alignment accuracy of the internal electrodes during lamination. Various methods have been proposed. For example, a base sheet is temporarily attached to a carrier film, a positioning hole is opened in the base sheet, a positioning pin is provided in a transport head, and the subsequent transport, printing, lamination, and other steps are performed in the positioning hole. A method has been proposed in which a positioning pin is provided in an apparatus used in each of the above-mentioned steps, using a positioning pin, and a positioning pin is provided for receiving a positioning hole, and lamination and lamination are performed at an accurate position (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. HEI 5-82859). In addition, various methods have been proposed for accurately adjusting the positions of the internal electrodes in the lamination.
【0003】従来の積層型電子部品の製造方法として
は、例えば、セラミックコンデンサの場合には支持体上
にベースシート(グリーンシート)を載置し、所定の版
を用いて、ベースシート上に導電性ペーストを第一のパ
ターン印刷して乾燥して内部電極を形成し(導電性ペー
ストの印刷・乾燥によって内部電極とすることは以下同
一)、さらに、その上にベースシートを積層して、再度
導電性ペーストを、前記パターンとずらした第二のパタ
ーンにより印刷をし、次の印刷パターンは、前記第一の
パターンと同じ版により、印刷し、次に第二のパターン
により印刷し、この印刷操作を繰り返して、多数枚のベ
ースシートを積層することにより、積層体を形成し、次
に、内部電極が端部に露出するように前記積層体を既定
の面積に打ち抜いた後、焼成し、前記断面に外部電極を
設けることによりセラミックコンデンサを製造してい
た。または、支持体上に導電性ペーストを印刷し、その
上にセラミックスラリーをドクターブレード法などによ
り塗布乾燥して、ベースシートを形成するとともに、前
記支持体から前記形成されたベースシートを剥離するこ
とにより、前記導電性ペーストによる導電層を前記ベー
スシートに転移させる方法がある。そして、前記支持体
からベースシートを剥離すると同時に既定のサイズに断
裁して、積層枠内に収納し、次に所定の寸法だけずらし
て所定のサイズに断裁して、前記、積層枠に2枚目の層
として収納し、所定の枚数の積層体とする方法がある。[0003] As a conventional method of manufacturing a multilayer electronic component, for example, in the case of a ceramic capacitor, a base sheet (green sheet) is placed on a support, and a predetermined plate is used to form a conductive sheet on the base sheet. The conductive paste is printed with a first pattern and dried to form an internal electrode (the printing and drying of a conductive paste to form an internal electrode is the same hereinafter), and further, a base sheet is laminated thereon, and again The conductive paste is printed by a second pattern shifted from the pattern, the next print pattern is printed by the same plate as the first pattern, then printed by the second pattern, and the printing is performed. The operation was repeated to form a laminate by laminating a large number of base sheets, and then the laminate was punched into a predetermined area so that the internal electrodes were exposed at the ends. And baking, was prepared a ceramic capacitor by providing an external electrode on the cross section. Alternatively, printing a conductive paste on a support, applying and drying a ceramic slurry thereon by a doctor blade method or the like to form a base sheet, and peeling the formed base sheet from the support. A method of transferring a conductive layer of the conductive paste to the base sheet. Then, the base sheet is peeled off from the support and cut into a predetermined size at the same time, stored in a laminated frame, and then cut by a predetermined size to a predetermined size. There is a method in which the laminate is housed as an eye layer to form a predetermined number of laminates.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】この方法による積層方
法においては、印刷の際に断裁の見当合わせをする断裁
マークを設けておき、この断裁マークを見当合わせ装置
により検知し、ベースシート上の導電層パターンの位置
と抜き型の位置を同調させて打ち抜きを行っていたが、
見当合わせ装置の見当合わせにおいて高度な精度を必要
としたが、それでも、導電層パターンの位置ずれのトラ
ブルが発生していた。しかし、前記の方法では、多数枚
のベースシートを積層する工程において、印刷、すなわ
ち、内部電極の形成位置のずれが発生し、その最終製品
の機能低下となることがあった。また前記キャリヤフィ
ルムを用いる方法においては、材料を余計に消費するた
め、コスト高にもなっていた。そこで、本発明の目的
は、導電性ペーストをベースシートに形成する工程にお
いて、前記ペーストを乾燥するための加熱によるベース
シートの収縮による問題がなく、かつ、内部電極を形成
したベースシートを複数枚を積層する工程における積層
によるずれのない製造方法及び製造装置を提供すること
である。In the laminating method according to this method, a trimming mark for registering the trimming at the time of printing is provided, and the trimming mark is detected by a registering device, and the conductive mark on the base sheet is detected. Punching was performed by synchronizing the position of the layer pattern with the position of the punching die,
Although a high degree of accuracy was required in registering the register, the problem of misalignment of the conductive layer pattern still occurred. However, in the above-described method, in the step of laminating a large number of base sheets, printing, that is, a displacement of the formation position of the internal electrode may occur, and the function of the final product may be deteriorated. Further, in the method using the carrier film, the cost is increased because the material is consumed excessively. Therefore, an object of the present invention is to provide a method of forming a conductive sheet on a base sheet without causing a problem due to shrinkage of the base sheet due to heating for drying the paste, and forming a plurality of base sheets on which internal electrodes are formed. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method and a manufacturing apparatus which are free from a shift due to the lamination in the step of laminating.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】焼成によりセラミックス
となるベースシート上に導電性ペーストを印刷・乾燥し
て内部電極を形成し、該内部電極を形成したベースシー
トを多数枚積層し、圧着後、これを断裁し焼成した後、
外部電極を形成する積層型電子部品の製造方法におい
て、導電性ペーストをベースシートとは異なる金属盤表
面に第一の版パターンにより印刷し、溶媒等を加熱除去
して乾燥導電層を形成し、前記金属盤を転写用治具の基
部に移送し、所定の位置に固定して、該金属盤を雄型と
して打ち抜き可能とした雌型のキャビティを具備する積
層用治具と乾燥導電層を形成した前記金属盤との間に、
ベースシートを供給し、前記金属盤をベースシートに接
触・加圧して該ベースシートに前記乾燥導電層を転写す
ると同時に、前記金属盤を、ベースシートを積層用治具
キャビティ内に抜きながら収納し、これを第1層とし、
次に、第一の版パターンと、パターン形状及び配列を同
一とし、金属盤に印刷した状態において、前記第一の版
パターンと最終製品とした場合の電極形成側にずらした
状態に面付けした第二の版パターンにより、導電性ペー
ストを金属盤に印刷し、溶媒等を加熱除去して乾燥導電
層を形成し、前記と同様に、第二の版パターンにより形
成された乾燥導電層をベースシートに転写すると同時に
積層用治具キャビティ内に抜きながら収納し、前記キャ
ビティ内において、前記第1層に積層して、これを第2
層とし、再度第一の版パターンにより前記と同様な印
刷、乾燥、転写、打ち抜きにより、キャビティ内に第3
層として積層し、次に再度第二の版パターンにて、同様
に印刷し、キャビティ内に第4層として積層し、以下同
様に第一の版パターンと第二の版パターンとによる印刷
されたベースシートを積層用治具のキャビティ内に交互
に積層して積層体を形成する積層型電子部品の製造方法
及びベースシートの供給手段と、前記ベースシートとは
異なる金属盤と、前記金属盤上に導電性ペーストを印刷
する印刷手段と、前記金属盤を所定の位置に固定し、金
属盤上に設けた導電層をベースシートに転写するととも
に、積層用治具と前記金属盤とによりベースシートを既
定のサイズに打ち抜く転写手段と、転写手段とともに前
記打ち抜きを行い、打ち抜かれたベースシートを積層す
る積層する積層手段とからなる製造装置であって、前記
印刷手段は、導電性ペースト供給部と前記金属板に所定
のパターンにより印刷するための版とを具備した印刷装
置であり、前記乾燥手段と転写手段とは、金属盤と転写
用治具基部から構成される転写装置であり、前記金属盤
は積層用治具のキャビティ内に挿入可能な外縁を有し、
転写用治具基部は、前記金属盤を所定の位置に固定可能
な機能を有し、かつ、前記金属盤が積層用治具のキャビ
ティ内に挿入可能となるように昇降動可能とする装置を
具備し、積層用治具と転写装置とが打ち抜き可能な構造
とし、積層用治具のキャビティ受部は、打ち抜かれて積
層されるシートの枚数の多寡によって昇降動可能とした
積層型電子部品の製造装置であり、さらに次の発明、前
記積層用治具に対し、前記印刷装置を少なくとも2ユニ
ットを組み込んだこと、前記金属盤または転写用治具基
部に加熱・冷却装置を内蔵させたことを含むものであ
る。Means for Solving the Problems An internal electrode is formed by printing and drying a conductive paste on a base sheet that becomes a ceramic by firing, a large number of base sheets on which the internal electrode is formed are laminated, and after pressing, After cutting and firing this,
In the manufacturing method of the multilayer electronic component forming the external electrodes, a conductive paste is printed by a first plate pattern on a metal plate surface different from the base sheet, a solvent and the like are removed by heating to form a dry conductive layer, The metal disc is transferred to the base of the transfer jig, fixed in place, and a lamination jig having a female cavity capable of punching out the metal disc as a male mold and a dry conductive layer are formed. Between the metal plate
Supplying a base sheet, transferring the dry conductive layer to the base sheet by contacting and pressing the metal board against the base sheet, and simultaneously storing the metal board while extracting the base sheet into the lamination jig cavity. , This as the first layer,
Next, the first plate pattern, the pattern shape and arrangement were the same, and in a state printed on a metal plate, the first plate pattern and the first plate pattern were imposed in a state shifted to an electrode forming side in the case of a final product. According to the second plate pattern, a conductive paste is printed on a metal plate, and a solvent or the like is removed by heating to form a dry conductive layer. As described above, the dry conductive layer formed by the second plate pattern is used as a base. At the same time as the transfer to the sheet, the jig for lamination is housed while being extracted and stored in the cavity.
Layer, and printing, drying, transfer, and punching are performed in the same manner as described above using the first plate pattern.
Layers, and then again printed in the second plate pattern in the same manner, laminated in the cavity as the fourth layer, and similarly printed in the first plate pattern and the second plate pattern. A method of manufacturing a laminated electronic component and a base sheet supply means for alternately laminating a base sheet in a cavity of a lamination jig to form a laminate, a metal plate different from the base sheet, and a metal plate on the metal plate Printing means for printing a conductive paste on the metal plate, fixing the metal plate at a predetermined position, transferring a conductive layer provided on the metal plate to a base sheet, and using a stacking jig and the metal plate to form a base sheet. Transfer means for punching a predetermined size, and a stacking means for stacking the punched base sheet by performing the punching together with the transfer means, the printing means, the printing means, A printing device comprising a paste supply unit and a plate for printing on the metal plate in a predetermined pattern, wherein the drying unit and the transfer unit are transfer devices each including a metal plate and a transfer jig base. Yes, the metal disk has an outer edge that can be inserted into the cavity of the lamination jig,
The transfer jig base has a function of fixing the metal disk at a predetermined position, and an apparatus that can be moved up and down so that the metal disk can be inserted into the cavity of the stacking jig. The stacking jig and the transfer device are provided with a structure capable of punching, and the cavity receiving portion of the stacking jig is provided with a stackable electronic component which can be moved up and down by the number of sheets to be punched and stacked. A manufacturing apparatus, further comprising, for the lamination jig, incorporating at least two units of the printing apparatus, and incorporating a heating / cooling apparatus in the metal disk or the transfer jig base. Including.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】本発明における積層型電子部品と
は、特に積層セラミック電子部品であって、具体的に
は、積層セラミックコンデンサ、多層セラミック基板、
積層バリスタ、積層圧電素子等であり、その製造方法お
よびその製造装置について図等を用いて詳細に説明す
る。図1は、本発明の積層型電子部品の製造方法におけ
る導電層のベースシートへの転写と、導電層を転写した
ベースシートの積層方法を説明する概念図である。図2
は、本発明の積層型電子部品の製造における導電層(内
部電極)の形成を説明する図で印刷時のパターンAであ
り、図3は、同じく、印刷時のパターンBである。図4
は、パターンAとパターンBと位置の比較のための説明
図であり、それぞれの各一列を同一面にした状態(F)
と、積層して断裁する位置(b)を示す。図5は、導電
層を形成したベースシートを積層してなる積層型電子部
品の導電層の位置関係を示す断面概念図である。図6
は、本発明の実施例による一部切欠部を設けた積層型電
子部品を示す。図7は、本発明の積層型電子部品の製造
装置としての、(a)転写用治具と積層用治具及び金属
盤の例を示す概念斜視図である。図8は、積層型電子部
品の積層体を製造する場合の装置の組み合わせの例を示
すフロー図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The multilayer electronic component according to the present invention is particularly a multilayer ceramic electronic component, and specifically includes a multilayer ceramic capacitor, a multilayer ceramic substrate,
It is a laminated varistor, a laminated piezoelectric element and the like, and a method of manufacturing the same and a manufacturing apparatus thereof will be described in detail with reference to the drawings and the like. FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating a method for transferring a conductive layer to a base sheet and a method for stacking the base sheet on which the conductive layer has been transferred in the method for manufacturing a laminated electronic component of the present invention. FIG.
FIG. 3 is a diagram for explaining formation of a conductive layer (internal electrode) in the production of the multilayer electronic component of the present invention, which is a pattern A at the time of printing, and FIG. 3 is also a pattern B at the time of printing. FIG.
Is an explanatory diagram for comparing positions of the pattern A and the pattern B, and shows a state where each row is on the same plane (F).
And the position (b) for stacking and cutting. FIG. 5 is a conceptual cross-sectional view showing the positional relationship of the conductive layers of a laminated electronic component formed by laminating base sheets each having a conductive layer formed thereon. FIG.
1 shows a laminated electronic component provided with a partially notched portion according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 is a conceptual perspective view showing (a) an example of a transfer jig, a stacking jig, and a metal plate as an apparatus for manufacturing a multilayer electronic component of the present invention. FIG. 8 is a flowchart showing an example of a combination of apparatuses in the case of manufacturing a laminate of a multilayer electronic component.
【0007】本発明にかかる積層型電子部品の製造方法
の概要は、図1に示すように、ベースシート1に導電性
ペースト2を印刷する際、直接ベースシート1に印刷せ
ずに、ベースシート1とは異なる金属盤21の表面に印
刷して、この導電性ペースト2を乾燥した後、ベースシ
ート1に転写すると同時に、前記金属盤21を雄型と
し、雌型に相当する積層用治具30のキャビティ32内
に収納する工程を複数回繰り返すことにより、乾燥導電
層を設けたベースシートを多数枚積層することを特徴と
する。[0007] As shown in FIG. 1, the outline of the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention is as follows. When a conductive paste 2 is printed on a base sheet 1, it is not printed directly on the base sheet 1. 1 is printed on the surface of a metal plate 21 different from 1 and the conductive paste 2 is dried and then transferred to the base sheet 1, and at the same time, the metal plate 21 is made a male type and a laminating jig corresponding to a female type. By repeating the process of storing the base sheet 30 in the cavity 32 a plurality of times, a large number of base sheets provided with the dry conductive layer are stacked.
【0008】本発明にかかる積層型電子部品において用
いるベースシートは、誘電体の主成分であるSrTiO3に半
導体化物質および酸化促進剤等からなる粉体に有機溶剤
とバインダーを混合し、セラミックスラリーを作成す
る。該スラリをドクターブレード法またはキャレンダー
法等を用いて製膜し、前記有機溶剤を乾燥除去して得ら
れるシートであ。シートの形成と同時に、または、シー
ト形成後に延伸加工を施してベースシートとしてもよ
い。本発明において用いるベースシートは、上記成分に
限るものではなく、焼成によりセラミックスとなるもの
ならばよく、ベースシート供給装置により、積層用治具
の下部に、安定して供給できる強度を有することと、そ
の際に、皺の発生のないものであればよい。The base sheet used in the multilayer electronic component according to the present invention is composed of a ceramic slurry obtained by mixing an organic solvent and a binder with SrTiO 3 , which is a main component of a dielectric, and a powder comprising a semiconducting substance and an oxidation promoter. Create A sheet obtained by forming a film of the slurry using a doctor blade method or a calender method and drying and removing the organic solvent. The base sheet may be formed by performing a stretching process simultaneously with the formation of the sheet or after the formation of the sheet. The base sheet used in the present invention is not limited to the above-described components, and may be any one that can be turned into ceramics by firing, and has a strength that can be stably supplied to the lower part of the lamination jig by the base sheet supply device. At this time, any material that does not generate wrinkles may be used.
【0009】本発明にかかる積層型電子部品の製造方法
における印刷について説明する。積層型電子部品におけ
る内部電極は、導電性ペーストを一般の印刷におけるイ
ンキとして印刷することによりパターン形成し、後の工
程において焼成することにより形成する。前記 導電性
ペーストは、パラジウム等の金属微粉を含むペースト
で、印刷装置において、ベースシートとは異なる他の被
印刷体、本発明においては、金属盤に印刷する。本発明
において内部電極を形成するために用いる導電性ペース
トに分散される導電性微粒子としては、貴金属粒子、お
よびそれらの合金粒子、還元雰囲気下で容易に金属とな
りうるCuO、NiOなどの酸化物、ITO、SnO2
等の導電性酸化物等である。The printing in the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention will be described. The internal electrodes in the multilayer electronic component are formed by printing a conductive paste as ink in general printing, forming a pattern, and firing in a later step. The conductive paste is a paste containing fine metal powder such as palladium, and is printed on another printing object different from the base sheet, in the present invention, on a metal plate in a printing apparatus. As the conductive fine particles dispersed in the conductive paste used to form the internal electrode in the present invention, noble metal particles, and their alloy particles, oxides such as CuO, NiO, which can easily become a metal under a reducing atmosphere, ITO, SnO 2
And the like.
【0010】本発明の被印刷体は、後述するが、転写用
治具の基部22の所定の位置に固定される金属盤21で
ある。固定の方法は特に限定しないが、図4に示すよう
に、基部22の上面に、凹部23を設け、該凹部23に
金属盤21を嵌合することにより、金属盤21が固定さ
れる。また、この、凹部23から金属盤21を取り出す
には、前記凹部23の底部板を上昇可能な機構にするこ
とによって、底板を基部上面まで上昇させて、図示はし
ないけれども、金属盤21をプッシャーにより移送台の
上に搬送すればよい。本発明においては、前記金属盤2
1の外周Fが特に重要な意味をもっている。それは、積
層型電子部品の製造において、まず、導電性ペーストの
印刷パターンが多面付けされたベースシートの大きさで
積層体としていくが、積層する時の大きさが前記金属盤
の外周Fによって形成される。従って、金属盤に印刷さ
れるパターンの位置は、印刷の版11と金属盤21とが
印刷の時点において、一定にすれば、精度のよいパター
ンの形成と、精度のよい積層とを可能とする。The printing medium of the present invention is a metal plate 21 fixed at a predetermined position on the base 22 of the transfer jig, as will be described later. The fixing method is not particularly limited. As shown in FIG. 4, the metal plate 21 is fixed by providing a concave portion 23 on the upper surface of the base 22 and fitting the metal plate 21 into the concave portion 23. In order to take out the metal plate 21 from the concave portion 23, the bottom plate is raised to the base upper surface by using a mechanism capable of raising the bottom plate of the concave portion 23. May be transferred onto the transfer table. In the present invention, the metal plate 2
One outer circumference F has a particularly important meaning. First, in the manufacture of a multilayer electronic component, first, a printed sheet of a conductive paste is formed into a laminate with the size of a base sheet on which multiple patterns are provided, and the size at the time of lamination is formed by the outer periphery F of the metal plate. Is done. Therefore, if the position of the pattern to be printed on the metal plate is fixed at the time of printing of the printing plate 11 and the metal plate 21, it is possible to form a pattern with high accuracy and to stack with high accuracy. .
【0011】本発明において利用する印刷形式は、その
版式に制限されるものではなく、前記導電性ペースト2
の所定量を、被印刷体、本発明においては前記金属盤上
に転移可能な方式であればよい。印刷方式としては、活
版印刷、平版印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、スク
リーン印刷、インクジェット方式による印刷等が挙げら
れるが、スクリーン印刷が好適に利用できる。The printing format used in the present invention is not limited to the type of printing, and the conductive paste 2
The predetermined amount may be a system that can be transferred onto a printing medium, in the present invention, the metal plate. Examples of the printing method include letterpress printing, planographic printing, gravure printing, flexographic printing, screen printing, and printing by an inkjet method. Screen printing can be suitably used.
【0012】本発明における被印刷体は、前述のとおり
金属盤である。該金属盤の表面に前記印刷の形式から選
択された版式による印刷により、インキ(導電性ペース
ト)を転移し、この金属盤の上において乾燥する。前述
のように導電性ペーストを乾燥して得られる層を、以
下、導電層と記載する。The printing medium in the present invention is a metal disk as described above. The ink (conductive paste) is transferred onto the surface of the metal disk by printing using a printing plate selected from the above-described printing format, and dried on the metal disk. The layer obtained by drying the conductive paste as described above is hereinafter referred to as a conductive layer.
【0013】印刷された導電性ペーストを乾燥するため
の乾燥装置としては、外部からの熱風、遠赤外線の照射
により可能である。また、前記金属盤内にヒーターを内
蔵させて、金属盤内部からの熱による乾燥としてもよ
く、この場合には、金属盤の過熱を防止するために、金
属盤に冷却機能として、冷却水用配管等を設けることが
望ましい。A drying device for drying the printed conductive paste can be radiated with hot air or far infrared rays from the outside. Further, a heater may be built in the metal plate, and drying may be performed by heat from the inside of the metal plate. In this case, in order to prevent overheating of the metal plate, the metal plate has a cooling function for cooling water. It is desirable to provide piping and the like.
【0014】前記金属盤を装着した転写用治具は、印刷
装置の装着位置から、後述の積層用治具の位置まで移動
可能であり、前記積層用治具の位置まで移動した時に、
前記金属盤部を垂直方向に移動可能とする昇降動装置を
内蔵するか、又は、前記転写用治具を前記積層用治具の
位置まで移動した時に、前記金属盤部を垂直方向に移動
可能とする昇降動装置に接続される。The transfer jig on which the metal disk is mounted can be moved from the mounting position of the printing apparatus to a position of a laminating jig described later. When the transfer jig moves to the position of the laminating jig,
Either a built-in elevating device that allows the metal plate to be moved in the vertical direction, or when the transfer jig is moved to the position of the stacking jig, the metal plate can be moved in the vertical direction. Connected to the lifting device.
【0015】一方、本発明における積層用治具は、望ま
しくは、固定位置に設置されており、前記金属盤を装着
した転写用治具は該積層用治具の下部に移動できるもの
とし、その際に、前記積層用治具の下部と転写用治具の
上部金属盤との間にベースシートが供給されるものとす
る。前記供給されるベースシートは、断裁されたシート
状であってもよいが、巻取のベースシートから繰り出し
て、前記の両治具の間に供給される方式が望ましい。ベ
ースシートの供給は、公知の方法を用いることができ
る。On the other hand, the laminating jig of the present invention is desirably installed at a fixed position, and the transfer jig having the metal plate mounted thereon can be moved below the laminating jig. At this time, a base sheet is supplied between the lower part of the stacking jig and the upper metal plate of the transfer jig. The supplied base sheet may be in the form of a cut sheet, but it is preferable that the base sheet be fed out from the wound base sheet and supplied between the two jigs. A known method can be used to supply the base sheet.
【0016】前記導電層が形成された金属盤を積層用治
具の下部に移動し固定した後、転写用治具に装着された
昇降動装置または、積層用治具の下部において接続され
た昇降動装置によって、前記金属盤部および接続した部
位が積層用治具方向に上昇し、金属盤上の導電層がベー
スシートに接触し、さらに前記昇降動装置の上昇により
ベースシート1に転写される。前記積層用治具30のキ
ャビティ32は、金属盤21の外縁Fと同形状の内縁か
らなり、前記金属盤21を挿入可能とし、その挿入によ
り、ベースシート1が前記キャビティ32の内縁形状に
打ち抜きされる構造とする。また、導電層2を形成した
ベースシート1を次々に打ち抜いて積層するに従い、キ
ャビティ32内のシート受け部板33が上方に摺動可能
とした昇降動装置34を装着している。つまり、積層用
治具30は、このようなキャビティ32を形成している
枠体31およびシートの積層に従い、昇降動可能なシー
ト受け部板33とからなる。After the metal plate on which the conductive layer is formed is moved to the lower part of the laminating jig and fixed, the elevating device mounted on the transfer jig or the elevating device connected at the lower part of the laminating jig is used. The moving device raises the metal plate and the connected portion in the direction of the stacking jig, the conductive layer on the metal plate comes into contact with the base sheet, and is transferred to the base sheet 1 by the raising and lowering device. . The cavity 32 of the laminating jig 30 has an inner edge having the same shape as the outer edge F of the metal plate 21, and the metal plate 21 can be inserted thereinto, whereby the base sheet 1 is punched into the inner edge shape of the cavity 32. Structure. Further, as the base sheets 1 on which the conductive layers 2 are formed are punched one after another and stacked, a lifting / lowering device 34 that allows the sheet receiving portion plate 33 in the cavity 32 to slide upward is mounted. That is, the stacking jig 30 includes the frame 31 forming the cavity 32 and the sheet receiving portion plate 33 that can move up and down in accordance with the stacking of the sheets.
【0017】次に、前記の本発明の積層型電子部品の製
造装置を用いて積層型電子部品を製造する方法について
詳細に説明する。積層型電子部品Sとして、代表的な積
層型セラミックコンデンサにおける誘電体と内部電極と
の積層形状は、図5に示すように、誘電体5の各層の間
に内部電極4が形成され、内部電極4は、一般的に図2
(a)、図2(b)に示すような方形のパターンを多面
付けした版を用い、導電性ペーストをインキとして印刷
し、最終的な部品とする際には、図2(c)に示すよう
に、上下の内部電極が位置をずらし、断裁した一方の断
面には内部電極が一枚置きに露出し、反対側の断面には
前記と反転した位置に内部電極が露出した断面となる。
すなわち、図3のように正負の外部電極が形成される
が、本発明における内部電極、外部電極の形成等につい
ての詳細な方法は後述する。Next, a method for manufacturing a multilayer electronic component using the above-described apparatus for manufacturing a multilayer electronic component of the present invention will be described in detail. As a multilayer electronic component S, the laminated shape of a dielectric and an internal electrode in a typical multilayer ceramic capacitor is such that an internal electrode 4 is formed between each layer of the dielectric 5, as shown in FIG. 4 generally corresponds to FIG.
(A) When a conductive pattern is printed as ink using a plate having a square pattern as shown in FIG. As described above, the upper and lower internal electrodes are shifted in position, and one of the cut cross sections is exposed every other internal electrode, and the other cross section is a cross section in which the internal electrodes are exposed at a position inverted from the above.
That is, positive and negative external electrodes are formed as shown in FIG. 3, and a detailed method for forming the internal electrodes and external electrodes in the present invention will be described later.
【0018】本発明における印刷においては、望ましく
は、版パターンを少なくとも2パターン用意する。この
際個々の方形の形状大きさは同一とし、被印刷体、つま
り、金属盤21の外縁Fに対し、図2(a)及び図2
(b)に示すようにパターンを一定の間隔のずれを設定
して面付けする。前記ずれを設けることにより、最終部
品に前記のような正負の電極を形成し得る。すなわち、
図3に示す位置において断裁することにより、その断裁
面には、1層ごとに導電層の露出する層が形成される。
断面に露出する導電層は、両端において、その位置を逆
にする、つまり、一方の端部に導電層が露出している層
の反対側には導電層は露出しない。版パターンを2パタ
ーンを用いないで、印刷において、版と被印刷体との位
置を所定の量だけずらしてセットして印刷してもよい。
前記ずらしは、一回ずつ行うことにより、前記の2つの
版パターンを用いた場合と同じような交互にずれた導電
層パターンを有するベースシートが積層されることにな
る。In the printing according to the present invention, preferably, at least two plate patterns are prepared. At this time, the shape and size of each square are the same, and the printing medium, that is, the outer edge F of the metal disk 21 is
As shown in (b), the patterns are imposed by setting a shift at a constant interval. By providing the displacement, the positive and negative electrodes as described above can be formed on the final component. That is,
By cutting at the position shown in FIG. 3, an exposed layer of the conductive layer is formed on the cut surface for each layer.
The position of the conductive layer exposed in the cross section is reversed at both ends, that is, the conductive layer is not exposed on the opposite side of the layer where the conductive layer is exposed at one end. Instead of using two plate patterns, printing may be performed by setting the positions of the plate and the printing medium while shifting them by a predetermined amount.
By performing the shifting once, a base sheet having a conductive layer pattern that is alternately shifted as in the case of using the two plate patterns is stacked.
【0019】製造にあたって、最初に印刷装置10のパ
ターンAの版を用いて、図2(a)に示すように、金属
盤21上に導電性ペースト2を転移し、これを乾燥して
導電層を形成し、積層用治具30の下部に移動させた
後、転写用治具20の所定の位置に固定した後、昇降動
装置により金属盤21を上昇させ、積層用治具30と転
写用治具2Oとの間に供給されたベースシート1に前記
導電層2を転写する。この際、積層用治具30のキャビ
ティ32内のシート受け板33は、前記キャビティ32
の下部に位置し、転写用治具20の上昇圧を受けて、転
写を確実にする。さらに、金属盤21の上昇により、ベ
ースシート1は、キャビティ32の内縁形状に打ち抜き
され、前記キャビティ32内に収納される。次に、本発
明の印刷装置10の別のユニットには、パターン11B
の版が装着され、該パターンBにより別の転写用治具の
金属盤上面に導電性ペーストが転移され、これを乾燥し
て導電層を形成し、積層用治具30の下部に転写用治具
を移動させた後、転写用治具の昇降動装置により金属盤
21を上昇させ、積層用治具30と転写用治具20との
間に供給されたベースシート1に前記導電層2を転写す
る。転写と同時にベースシート1は積層用治具30のキ
ャビティ32内縁の形状に打ち抜かれて、キャビティ3
2内に収納され、前記最初のベースシートに積層され
る。次に、再度パターンAにより印刷された導電性ペー
スト2を前記と同じ手順によりベースシート1に転写、
打ち抜き、積層し、次に、パターンBにより印刷した導
電性ペースト2を前記と同じ手順によりベースシート1
に転写、打ち抜き、積層することによって、第4層を積
層する。以下、同様に、パターンA、パターンBによる
導電層2をベースシートに転写し前記キャビティ32内
に積層していく。In manufacturing, first, using the pattern A of the printing apparatus 10, the conductive paste 2 is transferred onto a metal plate 21 as shown in FIG. After being moved to the lower part of the stacking jig 30 and fixed to a predetermined position of the transfer jig 20, the metal plate 21 is raised by an elevating device, and the stacking jig 30 is transferred to the transfer jig 30. The conductive layer 2 is transferred to the base sheet 1 supplied between the jig 2O. At this time, the sheet receiving plate 33 in the cavity 32 of the stacking jig 30 is
And the transfer jig 20 receives the pressure rise above the transfer jig 20 to ensure the transfer. Further, as the metal plate 21 is raised, the base sheet 1 is punched into an inner edge shape of the cavity 32 and is stored in the cavity 32. Next, another unit of the printing apparatus 10 of the present invention includes a pattern 11B.
The conductive paste is transferred to the upper surface of the metal plate of another transfer jig by the pattern B, and the conductive paste is dried to form a conductive layer. After moving the jig, the metal plate 21 is lifted by a transfer jig elevating device, and the conductive layer 2 is applied to the base sheet 1 supplied between the stacking jig 30 and the transfer jig 20. Transcribe. Simultaneously with the transfer, the base sheet 1 is punched into the shape of the inner edge of the cavity 32 of the laminating jig 30 and
2 and stacked on the first base sheet. Next, the conductive paste 2 printed according to the pattern A is transferred to the base sheet 1 by the same procedure as described above.
The conductive paste 2 punched, laminated and then printed according to the pattern B is applied to the base sheet 1 in the same procedure as described above.
Then, the fourth layer is laminated by transferring, punching, and laminating. Hereinafter, similarly, the conductive layer 2 of the pattern A and the pattern B is transferred to the base sheet and laminated in the cavity 32.
【0020】このような、積層により、所定枚数の積層
体とすることができるが、前記積層用治具30のキャビ
ティ32内のシート受け板33は、積層枚数が増加する
に従い、上方に摺動していく。本発明の製造方法により
得られる積層体は、前述のように、導電層パターンが金
属盤21の表面に形成されるため、被印刷体の収縮、皺
等のない状態で、ベースシート1に転写され、同時に打
ち抜きされる。その結果、ベースシート1の乾燥による
収縮もなく、パターンの位置ずれもなく正確な位置関係
に積層されるものである。 前記方形のパターンの積層
におけるずれ、±50μm程度の精度が要求されるが、本
発明による積層方法により、その精度内において製造可
能となった。以上の説明により明らかな通り、本発明に
よれば、従来、設けられていた積層のための位置決め用
のマークは不要となった。Although a predetermined number of laminated bodies can be formed by such lamination, the sheet receiving plate 33 in the cavity 32 of the laminating jig 30 slides upward as the number of laminated layers increases. I will do it. As described above, since the conductive layer pattern is formed on the surface of the metal plate 21 in the laminate obtained by the production method of the present invention, the laminate is transferred to the base sheet 1 without shrinkage, wrinkles, and the like of the printing medium. It is punched at the same time. As a result, there is no shrinkage due to drying of the base sheet 1 and there is no positional displacement of the pattern and the base sheets 1 are laminated in an accurate positional relationship. The deviation in the lamination of the square pattern, which is required to have an accuracy of about ± 50 μm, can be manufactured within the accuracy by the lamination method according to the present invention. As is clear from the above description, according to the present invention, the positioning mark for lamination, which has been conventionally provided, is not required.
【0021】以上に説明したような本発明による製造方
法により得られる積層体を、積層用治具30のキャビテ
ィ32内から取り出し、加熱加圧によるラミネートをし
て、各層を固着する。次に、前記積層体を最終積層型電
子部品のサイズに切断することにより、両断面に正負の
電極を露出させる。この断裁は、導電性ペーストを印刷
する印刷の版に断裁マークを設けておき、該マークによ
り断裁する。前記断裁マークは、パターンA、パターン
Bの版ともに、金属盤外周Fに対し、一定の位置に設け
る。図2(a)、図2(b)のそれぞれに設けた断裁マ
ークは、本発明の積層方法によって得られる積層体にお
いては、積層枚数に関係なく、常に一定位置に合致す
る。そして、積層体を断裁して、積層型電子部品の正負
の電極の形成は次の通りである。打ち抜き積層したベー
スシートのパターンAとパターンBとの位置関係を説明
するために、同一面に表すと図2(c)のFのようにな
り、3x1 〜3x6 の位置で断裁する場合の断面を概念
的に示したのがGである。例えば、断裁マークの3x1
と3x2 とにより断裁すると、導電層2の端面での露出
は誘電体5を介在して一枚毎になり、この断裁の両端に
正負の外部電極6を形成することにより積層型電子部品
Sとすることができる。本発明にかかる積層型電子部品
の製造における外部電極の形成は、公知の方法を用いる
ことができる。The laminate obtained by the manufacturing method according to the present invention as described above is taken out of the cavity 32 of the laminating jig 30 and laminated by heating and pressing to fix each layer. Next, the laminated body is cut to the size of the final laminated electronic component, thereby exposing the positive and negative electrodes on both cross sections. In this cutting, a cutting mark is provided on a printing plate for printing a conductive paste, and cutting is performed using the mark. The cutting mark is provided at a fixed position with respect to the outer periphery F of the metal plate for both the pattern A and the pattern B. The cutting marks provided in each of FIGS. 2A and 2B always coincide with a fixed position in the laminated body obtained by the laminating method of the present invention regardless of the number of laminated layers. Then, the laminate is cut, and the positive and negative electrodes of the multilayer electronic component are formed as follows. To explain the positional relationship between the pattern A and the pattern B of the base sheet was punched laminated, expressed in the same plane is as F in FIG. 2 (c), in the case of cutting at the position of 3x 1 ~3x 6 G schematically shows the cross section. For example, the cut mark 3x 1
And 3 × 2 , the exposed surface of the conductive layer 2 at the end face becomes one by one with the dielectric 5 interposed therebetween. By forming positive and negative external electrodes 6 at both ends of the cut, the laminated electronic component S It can be. A known method can be used for forming the external electrodes in the production of the multilayer electronic component according to the present invention.
【0022】次に、本発明の積層型電子部品の製造装置
について説明する。本発明の積層型電子部品の製造に際
しては、積層体製造までの装置としては印刷装置、転写
用治具、ベースシート供給装置、並びに積層用治具とか
ら構成され、その後の工程としては、積層体を圧着ラミ
ネートする圧着機械装置、断裁装置、焼結装置あるいは
外部電極取り付け装置等から構成される。本発明におい
ては、前記積層体製造までの装置について説明する。Next, an apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention will be described. In the production of the laminated electronic component of the present invention, the apparatus up to the production of the laminate is composed of a printing device, a transfer jig, a base sheet supply device, and a lamination jig. It is composed of a crimping machine for crimping and laminating the body, a cutting device, a sintering device or an external electrode mounting device. In the present invention, an apparatus up to the production of the laminate will be described.
【0023】印刷装置は、導電性ペースト(インキ)の
供給部12と版11とからなる。印刷は前述の通り、ベ
ースシート1と異なる金属盤の表面に対して行われる
が、被印刷体である前記金属盤21を所定の位置に固定
するための位置決め部を設ける。位置決め部は、金属盤
受け台上に、固定を目的とする突起部を設ける等、周知
の技法により可能である。The printing apparatus comprises a supply unit 12 for supplying a conductive paste (ink) and a printing plate 11. As described above, the printing is performed on the surface of the metal plate different from the base sheet 1, but a positioning portion for fixing the metal plate 21 as a printing target at a predetermined position is provided. The positioning portion can be formed by a well-known technique such as providing a projection for fixing on a metal plate receiving base.
【0024】本発明にかかる積層型電子部品の製造に用
いる転写用治具20は、図4に示すように、その基部2
2の所定の位置23に金属盤21を固定した状態におい
て、積層用治具とダイセット機能を有するものとする。
ただし、図には示さないが、ダイセットとして必要な、
両金型取り付けジグ、ポスト、ガイドブシュなどは、前
記積層用治具と転写用治具の基部との間において公知の
技術によって組み立てることができる。転写用治具の基
部22への金属盤21の固定は、例えば、図4に示すよ
うに、転写用治具の基部22の上面に位置決め用凹部2
3を設け、該凹部23に金属盤21を嵌合させることに
より可能である。なお、前記凹部23へ金属盤21を着
脱させるには、前記基部22に設けた凹部23の底部
が、昇降動することにより、凹部22が形成されたり、
または、底部を上昇させることにより凹部がなくなり平
面となったりする。つまり、前記平面状態において、金
属盤21をプッシャー等により移動させることができ
る。また、金属盤21は、図4に示すように、印刷装置
10と転写用治具20との間にある移送台24の上を往
復できる構造とする。As shown in FIG. 4, a transfer jig 20 used for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention has
In a state where the metal plate 21 is fixed to the predetermined position 23 of the second, the jig for lamination and the die set function are provided.
However, not shown in the figure,
The two jigs, the jig, the post, the guide bush, and the like can be assembled between the stacking jig and the base of the transfer jig by a known technique. The metal plate 21 is fixed to the base 22 of the transfer jig by, for example, as shown in FIG.
3 and the metal plate 21 is fitted into the recess 23. In order to attach / detach the metal plate 21 to / from the recess 23, the bottom of the recess 23 provided on the base 22 is moved up and down to form the recess 22,
Alternatively, when the bottom is raised, the concave portion disappears and the surface becomes flat. That is, the metal plate 21 can be moved by the pusher or the like in the planar state. Further, as shown in FIG. 4, the metal plate 21 has a structure capable of reciprocating on a transfer table 24 between the printing apparatus 10 and the transfer jig 20.
【0025】前記印刷装置において、導電性ペースト2
を金属盤の上面に印刷し、転写用治具が印刷ユニットか
ら積層用治具の位置に移送する移送または搬送工程にお
いて乃至は積層用治具の位置に固定した状態において、
前記導電性ペースト層2を乾燥して乾燥導電層を形成す
る。そのために、前記移送または搬送工程に乾燥装置を
設けるか、または、金属盤21に加熱装置を組む。さら
に、金属盤21が過熱しないように、冷却装置を設置
し、あるいは、金属盤21に冷却水等の冷媒誘導管を内
蔵させてもよい。In the printing apparatus, the conductive paste 2
Is printed on the upper surface of the metal plate, and in a transfer or transfer step in which the transfer jig is transferred from the printing unit to the position of the stacking jig or in a state where the transfer jig is fixed at the position of the stacking jig,
The conductive paste layer 2 is dried to form a dry conductive layer. To this end, a drying device is provided in the transfer or transport step, or a heating device is assembled on the metal plate 21. Further, a cooling device may be provided so that the metal plate 21 is not overheated, or a coolant guide tube such as cooling water may be built in the metal plate 21.
【0026】次に、本発明にかかる積層型電子部品の製
造に用いるの積層用治具30について、詳細に説明す
る。積層用治具30は、前述のように、転写用治具22
の基部に載置した金属盤21との間でダイセット機能と
なるように、前記基部22とにポストなどにより抜き方
向に可動な状態に連結されている。積層用治具30は、
打ち抜きされたベースシートを積層・収納するキャビテ
ィと、該キャビティ32を形成している枠体31と、キ
ャビティ32内に積層されるベースシートをその積層枚
数に従って、上昇するシート受け部板33とからなる。
積層用治具30は、望ましくは、転写用治具20とダイ
セット状態に連結されて、床に固定された状態に設置す
る。Next, the laminating jig 30 used for manufacturing the laminated electronic component according to the present invention will be described in detail. As described above, the stacking jig 30 includes the transfer jig 22.
The base 22 is connected to the base 22 by a post or the like so as to be movable in the pulling direction so as to have a die setting function with the metal plate 21 mounted on the base. The lamination jig 30
A cavity for laminating and storing the punched base sheet, a frame 31 forming the cavity 32, and a sheet receiving portion plate 33 which ascends the base sheets laminated in the cavity 32 according to the number of laminations. Become.
The stacking jig 30 is desirably connected to the transfer jig 20 in a die set state, and is installed in a state fixed to the floor.
【0027】本発明においては、キャリアフィルムまた
は支持体等を利用することなく、図4に示すように、望
ましくはベースシート1を供給装置40の巻取りから繰
り出し、積層用治具30の下面に供給する。該ベースシ
ート面に、転写用治具20を上昇させることにより金属
盤21に形成された乾燥導電層2をベースシート1面に
転写するとともに、さらに、転写用治具20が上昇して
積層用治具30とによってダイセット打ち抜きが行わ
れ、打ち抜きされた残部のベースシートは、抜き残ベー
スシート巻き上げ装置41によりロール状に巻き取られ
る。In the present invention, as shown in FIG. 4, the base sheet 1 is desirably unwound from the supply device 40 without using a carrier film or a support, etc. Supply. By raising the transfer jig 20 onto the base sheet surface, the dry conductive layer 2 formed on the metal plate 21 is transferred onto the base sheet 1 surface, and further, the transfer jig 20 is raised and stacked. Die-set punching is performed by the jig 30, and the remaining base sheet that has been punched is wound up in a roll shape by the remaining base sheet winding device 41.
【0028】本発明においては、積層用治具30と転写
用治具20とは、前述のように、ダイセット打ち抜きと
するために、積層用治具30は、転写用治具20と連結
して床面に固定したものとし、前記印刷装置10と転写
用治具20との間に、金属盤21の移送台24を載置す
る。積層型電子部品Sの積層体を製造するまでの製造装
置の配置としては、ダイセット装置としての、積層用治
具30と転写用治具20との連結装置に対し、図6
(a)に示すように、パターンAを印刷する印刷装置
(A)とパターンBを印刷する印刷装置(B)とを両側
に設置し、両パターンを印刷した金属盤21を転写用治
具20の基部22に交互に搬送し、以下、転写と抜きと
をすると共に積層体としていく。前述のように、パター
ンAとパターンBとを設けたベースシートを積層してい
くためには、連動したセットとして、少なくとも積層用
治具1台に対し、印刷装置2台を交互に用いる方式とす
ることが望ましい。最終製品である積層型電子部品の端
部電極の形成において両端に正負の電極端部を露出させ
るために、印刷において2つの版パターンにより前記内
部電極を形成しておき、所定の位置において、積層体を
裁断することによって、正負の内部電極が前記裁断した
積層体の両端に露出することになる。また、生産効率を
さらに向上させるために、図6(b)に示すように、多
くの金属盤21をルーブ状移送台に載置し、印刷装置
を、パターンA、パターンBの組み合わせとして多数組
み用意し、印刷能力を向上させることも可能である。図
6(b)においては、印刷装置を2組としたが、さらに
多くの組み合わせ印刷装置を加えてもよい。In the present invention, the laminating jig 30 and the transferring jig 20 are connected to the transferring jig 20 in order to punch the die set as described above. The transfer table 24 of the metal plate 21 is placed between the printing apparatus 10 and the transfer jig 20. The arrangement of the manufacturing apparatus up to manufacturing the multilayer body of the multilayer electronic component S is as shown in FIG. 6 with respect to the connecting apparatus between the stacking jig 30 and the transfer jig 20 as a die set apparatus.
As shown in (a), a printing device (A) for printing pattern A and a printing device (B) for printing pattern B are installed on both sides, and a metal plate 21 on which both patterns are printed is transferred to a transfer jig 20. Are alternately conveyed to the base 22, and then, the transfer and the punching are performed and the laminate is formed. As described above, in order to stack the base sheets provided with the pattern A and the pattern B, a method in which two printing apparatuses are alternately used for at least one stacking jig as an interlocked set is used. It is desirable to do. In order to expose the positive and negative electrode ends at both ends in the formation of the end electrode of the laminated electronic component which is the final product, the internal electrodes are formed by two plate patterns in printing, and the lamination is performed at a predetermined position. By cutting the body, the positive and negative internal electrodes are exposed at both ends of the cut laminate. Further, in order to further improve the production efficiency, as shown in FIG. 6B, many metal disks 21 are mounted on a lube-shaped transfer table, and a large number of printing apparatuses are combined as a combination of the pattern A and the pattern B. It is also possible to prepare and improve the printing ability. In FIG. 6B, two printing devices are provided, but more combination printing devices may be added.
【0029】積層用治具のキャビティ内に積層された積
層体を取り出し、導電層を印刷していないベースシート
を積層体の上下両面に重ね、ラミネート圧着機におい
て、150 〜170 ℃、10〜50kg/cm2、3 〜5 分の条件で、
加熱加圧し、ベースシート中の結合体成分を焼成除去す
る。その結果生成される誘電体層の厚さは、焼成前のベ
ースシートの厚さの1/2 〜1/5 程度となる。The laminated body laminated in the cavity of the laminating jig is taken out, and a base sheet on which a conductive layer is not printed is laminated on the upper and lower surfaces of the laminated body, and the laminated pressure bonding machine is used at 150 to 170 ° C. and 10 to 50 kg. / cm 2 , for 3 to 5 minutes,
By heating and pressing, the binder component in the base sheet is baked and removed. The thickness of the resulting dielectric layer is about 1/2 to 1/5 of the thickness of the base sheet before firing.
【0030】断裁は、導電性ペーストを印刷する際に、
図2に示すように所定の位置に仕上げ断ちマーク3x、
3yを形成しておき、このマークを基準として断裁する
ことにより、両端部に内部電極が露出した外部電極を形
成する前の積層セラミック積層体とすることができる。The cutting is performed when printing the conductive paste.
As shown in FIG. 2, the finishing cut mark 3x is provided at a predetermined position.
By forming 3y and cutting with reference to this mark, it is possible to obtain a multilayer ceramic laminate before forming external electrodes with internal electrodes exposed at both ends.
【0031】ベースシートおよび導電層のバインダーの
消滅と、加圧によるベースシートの各シート間が圧縮さ
れて、デラミネーションの原因となるシート間の空隙部
がなくなる。The binder between the base sheet and the conductive layer disappears, and the space between the base sheets is compressed by pressurization, so that voids between the sheets that cause delamination are eliminated.
【0032】以上のようにして得られた既定のサイズに
断裁されたチップ状の積層体の端部に外部電極を形成す
るが、その形成方法は、例えば、卑金属外部電極を形成
し、還元焼成をした後に銀外部電池を形成する等のよう
な方法を用いればよい。An external electrode is formed at the end of the chip-shaped laminate cut into a predetermined size obtained as described above. For example, a method of forming the external electrode is to form a base metal external electrode and perform reduction firing. After that, a method such as forming a silver external battery may be used.
【0033】[0033]
【実施例】下記の条件によって、本発明の積層型電子部
品、具体的には、セラミックコンデンサを作成して、そ
の効果を確認した。 <作成条件> ベースシート:ブチラール樹脂を15重量%含んだセラミ
ックスラリーをシート成形した( 誘電体の主成分は、Sr
TiO3、半導体化物質および酸化促進剤等からなる粉体お
よび有機溶剤を含む) 。 ベースシートの厚み: 40μm 導電性ペースト中に分散した導電性微粒子:Ag−Pd他 乾燥導電層の層厚:3μm 版パターン面付数:25×40 積層枚数:100 枚 積層時の圧着条件:40Kg/m2 最終圧着条件:2000Kg/m2 焼成条件:1100℃ 2 時間 外部電極形成条件:銀ペーストを700 ℃で焼き付け <評価方法>上記条件により作成した焼成後の積層体に
ついて、最終のセラミックコンデンサとしの内部電極形
成方向のずれと、幅方向のずれを測定した(測定:いず
れも100 検体点測定)。 <積層によるずれ>上記条件により作成した焼成後の積
層体における内部電極端部の積層によるずれは、電極形
成方向のズレが20〜25μm、幅方向のズレが23〜32μm
であって、積層による位置ズレによる不良は皆無であっ
た。EXAMPLES Under the following conditions, a multilayer electronic component of the present invention, specifically, a ceramic capacitor was prepared, and its effect was confirmed. <Preparation conditions> Base sheet: A ceramic slurry containing 15% by weight of butyral resin was formed into a sheet (the main component of the dielectric was Sr
TiO 3 , powders composed of semiconducting substances and oxidation promoters, and organic solvents). Base sheet thickness: 40 μm Conductive fine particles dispersed in conductive paste: Ag-Pd, etc. Layer thickness of dry conductive layer: 3 μm Number of plate pattern surfaces: 25 × 40 Number of layers: 100 sheets Crimping conditions for lamination: 40 kg / m 2 final bonding conditions: 2,000 Kg / m 2 baking conditions: 1100 ° C. 2 hours external electrode formation conditions: the silver paste and baked at 700 ° C. <evaluation method> laminate after firing created under the above conditions, the final ceramic capacitor The displacement in the direction of forming the internal electrodes and the displacement in the width direction were measured (measurement: 100 sample points were measured in each case). <Displacement due to lamination> The displacement due to the lamination of the internal electrode ends in the laminated body after firing prepared under the above conditions has a deviation of 20 to 25 μm in the electrode forming direction and a deviation of 23 to 32 μm in the width direction.
However, there was no defect due to misalignment due to lamination.
【0034】[0034]
【発明の効果】本発明の積層型電子部品の製造方法によ
って、導電性ペーストをベースシートに形成する工程に
おいて、前記ペーストを乾燥するための加熱によるベー
スシートの収縮による問題がなくなり、また、内部電極
を形成したベースシートを複数枚積層する工程における
積層によるずれについても、その発生のない積層方法と
することができた。According to the method for manufacturing a laminated electronic component of the present invention, in the step of forming a conductive paste on a base sheet, the problem due to shrinkage of the base sheet due to heating for drying the paste is eliminated. Even in the step of laminating a plurality of base sheets on which the electrodes are formed, a lamination method free from occurrence of displacement due to lamination could be obtained.
【図1】本発明の積層型電子部品の製造方法における導
電層のベースシートへの転写と、導電層を転写したベー
スシートの積層方法を説明する概念図FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating a method of transferring a conductive layer to a base sheet and a method of laminating a base sheet to which the conductive layer has been transferred in the method of manufacturing a laminated electronic component of the present invention.
【図2】本発明の積層型電子部品の製造における導電層
(内部電極)の形成を説明する図で印刷時のパターンAFIG. 2 is a view for explaining formation of a conductive layer (internal electrode) in the production of a multilayer electronic component according to the present invention;
【図3】同じく、印刷時のパターンBFIG. 3 is also a pattern B at the time of printing
【図4】パターンAとパターンBと位置の比較のための
説明図であり、それぞれの各一列を同一面にした状態
(F)と、積層して断裁する位置(b)を示すFIG. 4 is an explanatory diagram for comparing positions of a pattern A and a pattern B, and shows a state (F) in which each row is on the same surface, and a position (b) where lamination and cutting are performed.
【図5】導電層を形成したベースシートを積層してなる
積層型電子部品の導電層の位置関係を示す断面概念図FIG. 5 is a conceptual sectional view showing a positional relationship of conductive layers of a laminated electronic component formed by laminating base sheets each having a conductive layer formed thereon.
【図6】本発明の実施例による一部切欠部を設けた積層
型電子部品を示すFIG. 6 shows a laminated electronic component provided with a partially cutout portion according to an embodiment of the present invention.
【図7】本発明の積層型電子部品の製造装置としての、
(a)転写用治具と積層用治具及び金属盤の例を示す概
念斜視図FIG. 7 shows an apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention.
(A) Conceptual perspective view showing examples of a transfer jig, a lamination jig, and a metal disk
【図8】積層型電子部品の積層体を製造する場合の装置
の組み合わせの例を示すフロー図FIG. 8 is a flowchart showing an example of a combination of apparatuses when manufacturing a laminate of a multilayer electronic component.
S 積層型電子部品 F 金属盤の外周 p 導電層パターン 1 ベースシート 2 導電性ペースト又は 導電層 3x,3y 断裁マーク 4 内部電極 5 誘電体 6 外部電極 10 印刷装置 11 版 12 インキ供給部 20 転写用治具 21 金属盤 22 基部 23 位置決め凹部 24 移送台 25 ヒーター 26 冷却管 27 昇降動装置 30 積層用治具 31 枠体 32 キャビティ 33 シート受け部板 34 昇降動装置 40 ベースシート供給装置 41 抜き残ベースシート巻き上げ装置 S laminated electronic component F outer periphery of metal plate p conductive layer pattern 1 base sheet 2 conductive paste or conductive layer 3x, 3y cutting mark 4 internal electrode 5 dielectric 6 external electrode 10 printing device 11 plate 12 ink supply unit 20 transfer Jig 21 Metal plate 22 Base 23 Positioning recess 24 Transfer table 25 Heater 26 Cooling pipe 27 Elevating device 30 Laminating jig 31 Frame 32 Cavity 33 Sheet receiving part plate 34 Elevating device 40 Base sheet feeder 41 Base remaining base Sheet winding device
Claims (4)
ト上に導電性ペーストを印刷・乾燥して内部電極を形成
し、該内部電極を形成したベースシートを多数枚積層
し、圧着後、これを断裁し焼成した後、外部電極を形成
する積層型電子部品の製造方法において、 導電性ペーストをベースシートとは異なる金属盤表面に
第一の版パターンにより印刷し、溶媒等を加熱除去して
乾燥導電層を形成し、前記金属盤を転写用治具の基部に
移送し、所定の位置に固定して、該金属盤を雄型として
打ち抜き可能とした雌型のキャビティを具備する積層用
治具と乾燥導電層を形成した前記金属盤との間に、ベー
スシートを供給し、前記金属盤をベースシートに接触・
加圧して該ベースシートに前記乾燥導電層を転写すると
同時に、前記金属盤を、ベースシートを積層用治具キャ
ビティ内に抜きながら収納し、これを第1層とし、次
に、第一の版パターンと、パターン形状及び配列を同一
とし、金属盤に印刷した状態において、前記第一の版パ
ターンと最終製品とした場合の電極形成側にずらした状
態に面付けした第二の版パターンにより、導電性ペース
トを金属盤に印刷し、溶媒等を加熱除去して乾燥導電層
を形成し、前記と同様に、第二の版パターンにより形成
された乾燥導電層をベースシートに転写すると同時に積
層用治具キャビティ内に抜きながら収納し、前記キャビ
ティ内において、前記第1層に積層して、これを第2層
とし、再度第一の版パターンにより前記と同様な印刷、
乾燥、転写、打ち抜きにより、キャビティ内に第3層と
して積層し、次に再度第二の版パターンにて、同様に印
刷し、キャビティ内に第4層として積層し、以下同様に
第一の版パターンと第二の版パターンとによる印刷され
たベースシートを積層用治具のキャビティ内に交互に積
層して積層体を形成することを特徴とする積層型電子部
品の製造方法。1. An internal electrode is formed by printing and drying a conductive paste on a base sheet that becomes a ceramic by firing, a plurality of base sheets on which the internal electrode is formed are laminated, pressed, and cut. After firing, in a method of manufacturing a laminated electronic component for forming an external electrode, a conductive paste is printed on a metal plate surface different from the base sheet by a first plate pattern, and a solvent or the like is removed by heating to form a dry conductive layer. And transferring the metal disc to the base of the transfer jig, fixing the metal disc in a predetermined position, and drying the metal disc with a laminating jig having a female cavity capable of being punched out as a male mold. A base sheet is supplied between the metal plate having the conductive layer formed thereon and the metal plate is brought into contact with the base sheet.
At the same time as transferring the dry conductive layer to the base sheet by applying pressure, the metal plate is housed while extracting the base sheet into the cavity of the laminating jig, and this is used as the first layer. With the pattern, the pattern shape and arrangement are the same, in the state printed on the metal plate, by the second plate pattern imposed in a state shifted to the electrode forming side when the first plate pattern and the final product, The conductive paste is printed on a metal plate, a solvent and the like are removed by heating to form a dry conductive layer, and the dry conductive layer formed by the second plate pattern is transferred to the base sheet and laminated at the same time as described above. The jig is housed while being pulled out in the cavity, and is stacked on the first layer in the cavity to form a second layer.
By drying, transferring and punching, a third layer is laminated in the cavity, and then printed again in the second plate pattern in the same manner, and laminated as a fourth layer in the cavity. A method for manufacturing a laminated electronic component, comprising: forming a laminate by alternately laminating base sheets printed with a pattern and a second plate pattern in a cavity of a laminating jig.
ートとは異なる金属盤と、前記金属盤上に導電性ペース
トを印刷する印刷手段と、前記金属盤を所定の位置に固
定し、金属盤上に設けた導電層をベースシートに転写す
るとともに、積層用治具と前記金属盤とによりベースシ
ートを既定のサイズに打ち抜く転写手段と、転写手段と
ともに前記打ち抜きを行い、打ち抜かれたベースシート
を積層する積層手段とからなる製造装置であって、前記
印刷手段は、導電性ペースト供給部と前記金属板に所定
のパターンにより印刷するための版とを具備した印刷装
置であり、前記乾燥手段と転写手段とは、金属盤と転写
用治具基部から構成される転写装置であり、前記金属盤
は積層用治具のキャビティ内に挿入可能な外縁を有し、
転写用治具基部は、前記金属盤を所定の位置に固定可能
な機能を有し、かつ、前記金属盤が積層用治具のキャビ
ティ内に挿入可能となるように昇降動可能とする装置を
具備し、積層用治具と転写装置とが打ち抜き可能な構造
とし、積層用治具のキャビティ受部は、打ち抜かれて積
層されるシートの枚数の多寡によって昇降動可能とした
ことを特徴とする積層型電子部品の製造装置。2. A means for supplying a base sheet, a metal disc different from the base sheet, a printing means for printing a conductive paste on the metal disc, and fixing the metal disc in a predetermined position. While transferring the conductive layer provided on the base sheet, a transfer means for punching the base sheet to a predetermined size by the laminating jig and the metal plate, and the punching is performed together with the transfer means, the punched base sheet A manufacturing apparatus comprising a laminating unit for laminating, wherein the printing unit is a printing device including a conductive paste supply unit and a plate for printing on the metal plate in a predetermined pattern, the drying unit and The transfer unit is a transfer device including a metal plate and a transfer jig base, and the metal plate has an outer edge that can be inserted into a cavity of the stacking jig.
The transfer jig base has a function of fixing the metal disc at a predetermined position, and an apparatus that can move up and down so that the metal disc can be inserted into the cavity of the stacking jig. The stacking jig and the transfer device have a structure capable of punching, and the cavity receiving portion of the stacking jig is capable of moving up and down depending on the number of sheets to be punched and stacked. Manufacturing equipment for laminated electronic components.
なくとも2ユニットを組み込んだことを特徴とする請求
項2記載の積層型電子部品の製造装置。3. An apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 2, wherein at least two units of said printing apparatus are incorporated in said stacking jig.
冷却装置を内蔵させたことを特徴とする請求項2又は請
求項3記載の積層型電子部品の製造装置。4. The method according to claim 1, wherein the metal plate or the base of the transfer jig is heated and heated.
4. The apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 2, wherein a cooling device is incorporated.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10119954A JPH11297581A (en) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | Method and device for manufacturing multilayer electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10119954A JPH11297581A (en) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | Method and device for manufacturing multilayer electronic component |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11297581A true JPH11297581A (en) | 1999-10-29 |
Family
ID=14774321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP10119954A Withdrawn JPH11297581A (en) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | Method and device for manufacturing multilayer electronic component |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11297581A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006022258A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor and method for controlling equivalent series resistance |
WO2006022060A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor and method for adjusting equivalent series resistance thereof |
JP2006237246A (en) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Tdk Corp | Laminated piezoelectric element |
CN118430989A (en) * | 2024-07-01 | 2024-08-02 | 西安捷高电子科技有限公司 | Tabletting device for manufacturing supercapacitor pole piece |
-
1998
- 1998-04-15 JP JP10119954A patent/JPH11297581A/en not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006022258A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor and method for controlling equivalent series resistance |
WO2006022060A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor and method for adjusting equivalent series resistance thereof |
JPWO2006022258A1 (en) * | 2004-08-27 | 2008-05-08 | 株式会社村田製作所 | Multilayer ceramic capacitor and its equivalent series resistance adjustment method |
US7659568B2 (en) | 2004-08-27 | 2010-02-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Monolithic ceramic capacitor and method for adjusting equivalent series resistance thereof |
JP2006237246A (en) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Tdk Corp | Laminated piezoelectric element |
CN118430989A (en) * | 2024-07-01 | 2024-08-02 | 西安捷高电子科技有限公司 | Tabletting device for manufacturing supercapacitor pole piece |
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