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JPH11186704A - Method and apparatus for mounting solder ball - Google Patents

Method and apparatus for mounting solder ball

Info

Publication number
JPH11186704A
JPH11186704A JP36733797A JP36733797A JPH11186704A JP H11186704 A JPH11186704 A JP H11186704A JP 36733797 A JP36733797 A JP 36733797A JP 36733797 A JP36733797 A JP 36733797A JP H11186704 A JPH11186704 A JP H11186704A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
yard
mounting
solder ball
stock
solder balls
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP36733797A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroki Sakaguchi
浩樹 坂口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rix Corp
Original Assignee
Rix Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rix Corp filed Critical Rix Corp
Priority to JP36733797A priority Critical patent/JPH11186704A/en
Publication of JPH11186704A publication Critical patent/JPH11186704A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To softly handle solder balls, without damaging or deforming them by dropping the balls from feed holes disposed in a specified pattern, and sucking the balls to suction holes facing to the feed holes upwardly from below. SOLUTION: A stock part 6 has a container 9 which is closed with a cover 12 after housing many solder balls 5, and evacuated by an evacuator. A gas is fed therein to drop the balls 5 from the container 9 into feed holes and received at recesses. With a pin 7 released a motor 22 rotates forwards and backwards with sort time duration to vibrate the container 9 through a temporary support base 16 to accelerate dropping of the solder balls 5. At the temporary support base 16, the outside air is sucked through the suction holes to suck the balls 5 in the recesses, thus sucking balls to the suction holes, without exerting external force, such as excessive pressing force on the balls 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハンダボールを吸
着してワークに搭載するのを連続して行うようにした作
業でハンダボールをソフトに取扱い、かつ搭載作業を効
率的に行うようにしたハンダボールの搭載方法およびハ
ンダボールの搭載装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an operation in which a solder ball is sucked and mounted on a workpiece continuously, and the solder ball is handled softly and the mounting operation is performed efficiently. The present invention relates to a solder ball mounting method and a solder ball mounting device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、例えば半導体パッケージの裏面に
多数のハンダボールによる接点を備えたものが使用され
るようになってきたが、これはパッケージ裏面に設けた
多数の電極面にフラックスを塗布した後ハンダボールを
搭載し、あるいはハンダボールそのものにフラックスを
塗布してから搭載し、その電極面に前記ハンダボールを
溶着することにより設けたものである。近年では、その
パッケージの大きさの割りには接点数の多いものが出現
してきており、そのような間の詰まった電極面に搭載す
るハンダボールは極めて微細なものを使用しなければな
らなくなってきており、その搭載技術もいくつか提案さ
れている。
2. Description of the Related Art Heretofore, for example, a semiconductor package provided with a number of solder ball contacts on the back surface has been used. However, flux is applied to a plurality of electrode surfaces provided on the back surface of the package. After that, the solder ball is mounted, or the flux is applied to the solder ball itself, then mounted, and the solder ball is welded to the electrode surface. In recent years, packages with a large number of contacts have emerged in proportion to the size of the package, and it has become necessary to use extremely fine solder balls to be mounted on such clogged electrode surfaces. And several mounting technologies have been proposed.

【0003】図6(イ),(ロ)は従来のハンダボール
搭載装置でハンダボールを搭載する手順を示している。
この従来装置は、主に吸着部70と搭載部71に別れ、
吸着部70には上面開口した容器にハンダボール72を
多数収容したストック部73が設けられている。また、
前記搭載部71はこの吸着部70に対し略横並びして配
置され、台の上面に固定したワーク74を位置決めする
X軸モータとY軸モータを有した位置決め装置75が設
けられている。そして、前記吸着部70と搭載部71と
に跨がってガイドレール、ねじ軸などからなる移動手段
76が配置され、この移動手段76に吸着ヘッド装置7
7が横移動自在に装着されている。この吸着ヘッド装置
77には、吸引装置81と連通した微細な吸引孔を下面
側に多数穿孔した吸着ヘッド78が昇降手段79により
昇降自在に装着されている。
FIGS. 6A and 6B show a procedure for mounting a solder ball by a conventional solder ball mounting apparatus.
This conventional device is mainly divided into a suction unit 70 and a mounting unit 71,
The suction part 70 is provided with a stock part 73 in which a large number of solder balls 72 are accommodated in a container having an open top surface. Also,
The mounting section 71 is disposed substantially side by side with respect to the suction section 70, and is provided with a positioning device 75 having an X-axis motor and a Y-axis motor for positioning the work 74 fixed on the upper surface of the table. A moving means 76 including a guide rail, a screw shaft, and the like is disposed so as to straddle the adsorbing section 70 and the mounting section 71.
7 is mounted so as to be able to move laterally. The suction head device 77 is provided with a suction head 78 in which a number of fine suction holes communicating with the suction device 81 are drilled on the lower surface side so that the suction head 78 can be moved up and down by a lifting means 79.

【0004】この従来のハンダボール搭載装置では、ま
ず、吸着部70位置において、昇降手段79によって吸
着ヘッド78をストック部73内まで下降させ、それぞ
れの吸引孔にハンダボール72を吸着させる。また、こ
のハンダボール吸着時にストック部73に対して吸着ヘ
ッド78を相対移動させて吸着ヘッド78の下面に付着
した余分なハンダボールを離反させる。吸引孔にハンダ
ボール72を吸着させたのち、昇降手段79にて吸着ヘ
ッド78を上昇させ移動手段76で吸着ヘッド装置77
を搭載部71側に移動させる。この搭載部71には、位
置決め装置75によりワーク74が所定の位置に位置決
めされているから、その上方で前記吸着ヘッド78を下
降させ、この吸着ヘッド78のハンダボール72がワー
クの電極面80に接触した状態となった段階で吸引を解
くことにより、吸着ヘッドのハンダボール72をワーク
74に搭載させる。
In this conventional solder ball mounting apparatus, first, at the position of the suction section 70, the suction head 78 is lowered into the stock section 73 by the lifting / lowering means 79, and the solder ball 72 is sucked into each suction hole. Further, at the time of the solder ball suction, the suction head 78 is relatively moved with respect to the stock portion 73 to separate excess solder balls adhered to the lower surface of the suction head 78. After sucking the solder ball 72 into the suction hole, the suction head 78 is raised by the elevating means 79 and the suction head device 77 is moved by the moving means 76.
Is moved to the mounting section 71 side. Since the work 74 is positioned at a predetermined position by the positioning device 75 on the mounting portion 71, the suction head 78 is lowered above the work 74, and the solder ball 72 of the suction head 78 is placed on the electrode surface 80 of the work. By releasing the suction at the stage where the contact is made, the solder ball 72 of the suction head is mounted on the work 74.

【0005】そして、前記昇降手段79で吸着ヘッド7
8を上昇させ移動手段76で吸着ヘッド装置77を現在
の搭載部71位置から再度前記吸着部70の位置に移動
させることにより、ハンダボール72をワーク74へ搭
載する1サイクルが終了することになる。
[0005] Then, the suction head 7 is moved by the elevating means 79.
By moving the suction head device 77 from the current position of the mounting portion 71 to the position of the suction portion 70 again by the moving means 76, one cycle of mounting the solder ball 72 on the work 74 is completed. .

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術では、下記のような問題があった。 1)吸着ヘッド78の下面側にハンダボール72を吸着
するには、ストック部73内で吸着ヘッド78をハンダ
ボール72に押しつけた状態にしなければならないか
ら、微細なハンダボールにとっては大きな押圧力を作用
させることになってハンダボール自身を傷つけたり変形
させる恐れがある。 2)さらに、このようにランダムに貯留されたハンダボ
ール群に吸着ヘッド78を押し付けるから、微細なハン
ダボールが余分に吸着されることがあり、この余分に吸
着したハンダボールを振り放すために横移動させると、
それ以上に余分な押圧力を作用させる。 3)それに吸引工程時は常に同じ吸引状態とはならない
から、横移動させたから所定の位置に只一個ずつ吸着し
た状態となったということが判りにくいし、その確実に
一個ずつ吸着させるまでの分、余分な時間が掛り効率的
でない。 4)前記ハンダボールの量は漸次減少していくが、それ
に対し吸着ヘッドの最良の吸着位置やハンダボール供給
時の位置は調整していかなければならない。 5)また、前記ストック部73は開口しておかなければ
ならないから、ハンダボールの酸化防止を効率的に行え
ない。 6)吸着ヘッド78が、吸着部70でのハンダボール吸
着から搭載ヤードまで横移動してワーク74にハンダボ
ールを搭載するまでを一切行っているから、前記ワーク
74へのハンダボール搭載時には吸着部は空きの状態と
なるし、吸着ヘッド78が吸着部70でハンダボールを
吸着している間はワークへのハンダボール搭載が行われ
ず、搭載工程上その分が無駄になっている。
However, the prior art has the following problems. 1) In order to adsorb the solder ball 72 on the lower surface side of the suction head 78, the suction head 78 must be pressed against the solder ball 72 in the stock portion 73, so that a large pressing force is applied to the fine solder ball. This may cause the solder ball itself to be damaged or deformed. 2) Further, since the suction head 78 is pressed against the group of solder balls randomly stored in this manner, extra fine solder balls may be adsorbed. When you move it,
An extra pressing force is applied. 3) In addition, since the suction state is not always the same during the suction step, it is difficult to understand that the wafer has been laterally moved and thus only one piece has been adsorbed at a predetermined position. Extra time consuming, inefficient. 4) While the amount of the solder balls gradually decreases, the best suction position of the suction head and the position at the time of supplying the solder balls must be adjusted. 5) Further, since the stock portion 73 must be opened, the oxidation of the solder ball cannot be prevented efficiently. 6) Since the suction head 78 moves all the way from the suction of the solder ball at the suction part 70 to the mounting yard to the mounting of the solder ball on the work 74, the suction head 78 is mounted when the solder ball is mounted on the work 74. Is empty, and while the suction head 78 is sucking the solder ball by the suction portion 70, the solder ball is not mounted on the work, and the work is wasted in the mounting process.

【0007】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的とするところは、ハンダ
ボールを傷付けたり変形させる事がないようにソフトに
取り扱うことができ、また簡単で確実に所定位置に一個
ずつハンダボールを供給でき、さらにワークへのハンダ
ボール搭載を吸着部、搭載ヤード共に無駄な空き時間を
なくし効率的に搭載作業を行うことができるハンダボー
ルの搭載方法およびそのハンダボールの搭載装置を提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to be able to handle solder balls in a soft manner so as not to damage or deform them. A solder ball mounting method that can supply solder balls one by one to a predetermined position with certainty, and can further efficiently mount the solder balls by eliminating unnecessary idle time in the suction section and the mounting yard for mounting the solder balls on the work; and An object of the present invention is to provide a solder ball mounting device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明請求項1記載のハンダボールの搭載方法では、
ハンダボールのストックヤードで吸引したハンダボール
を搭載ヤードにて位置決めされたワークに搭載するハン
ダボールの搭載方法において、所定のパターンに配置さ
れた供給口から前記ハンダボールを落下供給させ、その
供給口の下側から上向きに合わせていた吸引口でハンダ
ボールをそれぞれ吸着させた後前記供給口内部を負圧に
して残りのハンダボールを引き上げさせ、その後、この
吸引口で上向き吸引したハンダボールを下向き吸引の状
態に転換してからワークに搭載することとした。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for mounting a solder ball, comprising the steps of:
In a solder ball mounting method for mounting a solder ball sucked in a solder ball stock yard on a work positioned in a mounting yard, the solder ball is dropped and supplied from a supply port arranged in a predetermined pattern. After sucking the solder balls at the suction ports aligned upward from the lower side, the inside of the supply port is set to a negative pressure, and the remaining solder balls are pulled up.Then, the solder balls sucked upward at the suction ports are turned downward. After switching to the suction state, it was decided to mount it on the work.

【0009】請求項2記載のハンダボールの搭載方法で
は、請求項1記載のハンダボールの搭載方法において、
前記ストックヤードと搭載ヤードとの間にハンダボール
の中継ヤードを設定してハンダボールの仮受け手段を前
記ストックヤードと中継ヤードとの間に往復させると共
に、該中継ヤードで前記仮受け手段と面合するように前
記搭載ヤードと中継ヤードとの間にハンダボールの搭載
手段を往復させ、その各往復運動の間に前記ストックヤ
ードで位置を規制されて落下するハンダボールを前記仮
受け手段の上面で一箇所一個の割合で必要数吸着したの
ち中継ヤードで前記搭載手段の下面に再吸着させてハン
ダボールを受け渡し、該搭載手段で吸着したハンダボー
ルを搭載ヤードでワークに搭載することとした。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of mounting a solder ball according to the first aspect.
A relay yard for solder balls is set between the stock yard and the mounting yard, and a temporary receiving means for the solder balls is reciprocated between the stock yard and the relay yard. The mounting means of the solder balls is reciprocated between the mounting yard and the relay yard so that the solder balls falling in a restricted manner in the stock yard during each reciprocating movement of the solder balls fall on the upper surface of the temporary receiving means. Then, the required number of pieces are sucked one by one, and then the solder balls are re-adsorbed to the lower surface of the mounting means in the relay yard to transfer the solder balls, and the solder balls sucked by the mounting means are mounted on the work in the mounting yard.

【0010】請求項3記載のハンダボールの搭載装置で
は、ハンダボールのストックヤードで吸着したハンダボ
ールを搭載ヤードにて位置決めされたワークに搭載する
ハンダボールの搭載装置において、ハンダボールのスト
ック部下面に所定パターンで穿設された供給孔から前記
ハンダボールを落下供給する供給手段と;前記ストック
部下面に面合しハンダボールを上向き面に吸着して前記
ストックヤードと搭載ヤードとの間に設定した中継ヤー
ドまで往復する仮受け手段と;前記中継ヤードで仮受け
手段のハンダボールを前記パターンで下向き面に再吸着
して受け取ってから搭載ヤードまで往復し該搭載ヤード
でハンダボールをワークの上向き面に搭載する搭載手段
と;前記供給手段から仮受け手段にハンダボールを落下
供給し仮受け手段の上向き面がそのハンダボールを吸着
後に該ハンダボールのストック部内から供給孔に吸引力
を作用させる吸引手段と;を備えた構成とした。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball sucked in a solder ball stock yard on a work positioned at the mounting yard. Supply means for dropping and supplying the solder ball from a supply hole formed in a predetermined pattern to the surface of the stock yard and adsorbing the solder ball on an upward surface so as to be set between the stock yard and the mounting yard. Temporary receiving means for reciprocating to the relay yard; receiving the solder balls of the temporary receiving means in the relay yard on the downward surface in the pattern again, receiving the solder balls, and reciprocating to the mounting yard, and forcing the solder balls upward in the mounting yard. Mounting means mounted on a surface; temporary supply means for dropping and supplying a solder ball from the supply means to the temporary reception means Upwardly facing surface and a suction means for applying a suction force to the solder ball supply hole from the stock portion of the solder ball after adsorption; was configured with a.

【0011】請求項4記載のハンダボールの搭載装置で
は、ハンダボールのストックヤードで吸着したハンダボ
ールを搭載ヤードにて位置決めされたワークに搭載する
ハンダボールの搭載装置において、ハンダボールを一個
ずつ挿通可能な大きさの供給孔が底面側まで所定数穿設
されたハンダボールの収納部を有し、かつ該収納部が前
記供給孔内の不要なハンダボールを該収納部側に引き上
げる吸引手段と連通されて前記ストックヤードに配置さ
れたストック部と;前記ストック部の振動手段と;前記
ストック部の底面に開口した供給孔位置と一致する吸引
孔が上面側に配置され該吸引孔の上端がハンダボールを
吸着する凹部に形成された仮受け台と;前記仮受け台の
上面に開口した凹部位置と一致する吸引孔が下面側に配
置され該吸引孔の下端がハンダボールを吸着する凹部に
形成された吸着ブロックと;前記ストック部と仮受け台
同士および仮受け台と吸着ブロック同士の位置決め手段
と;前記仮受け台の昇降手段および該仮受け台を前記ス
トックヤードと該ストックヤードから搭載ヤードまでの
途中に設定された中継ヤードとの間に往復運動させる移
行手段と;前記吸着ブロックの仮受け台およびワークに
対する位置決め昇降手段および前記中継ヤードと搭載ヤ
ードとの間を往復運動させる移行手段と;を備えた構成
とした。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball adsorbed in a solder ball stock yard on a work positioned in the mounting yard. Suction means for providing a solder ball storage portion in which a predetermined number of supply holes are drilled to the bottom surface side, and the storage portion pulls up unnecessary solder balls in the supply hole to the storage portion side; and A stock portion communicated with the stock yard and; vibrating means for the stock portion; and a suction hole corresponding to a supply hole position opened on the bottom surface of the stock portion is arranged on the upper surface side, and the upper end of the suction hole is A temporary receiving base formed in a concave part for sucking the solder ball; and a suction hole corresponding to the position of the concave part opened on the upper surface of the temporary receiving base is arranged on the lower surface side, and An adsorbing block having an end formed in a concave portion for adsorbing a solder ball; positioning means for the stock portion and the temporary receiving tables and between the temporary receiving table and the suction blocks; elevating means for the temporary receiving table and the temporary receiving table; Transition means for reciprocating between the stock yard and a relay yard set halfway from the stock yard to the mounting yard; positioning / elevating means for positioning the suction block with respect to the temporary receiving table and the work; and the relay yard and the mounting yard And a transition means for reciprocating between the two.

【0012】請求項5記載のハンダボールの搭載装置で
は、請求項4記載のハンダボールの搭載装置において、
前記ストック部のハンダボール収納部に酸化防止ガスの
供給手段が設けられている構成とした。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a solder ball mounting apparatus according to the fourth aspect.
An antioxidant gas supply means is provided in the solder ball storage section of the stock section.

【0013】請求項6記載のハンダボールの搭載装置で
は、請求項4または請求項5記載のハンダボールの搭載
装置において、前記仮受け台の昇降手段に代え前記スト
ック部の昇降手段を設けた構成とした。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the solder ball mounting apparatus according to the fourth or fifth aspect of the present invention, wherein the stock part elevating means is provided in place of the temporary holder elevating means. And

【0014】請求項7記載のハンダボールの搭載装置で
は、請求項4ないし請求項6のいずれかの項に記載のハ
ンダボールの搭載装置において、前記ストック部に静電
気の帯電防止手段を設けた構成とした。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a solder ball mounting apparatus according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the stock portion is provided with a static electricity preventing means. And

【0015】[0015]

【作用】請求項1記載のハンダボールの搭載方法では、
まず、ハンダボールは落下させて供給することから、ハ
ンダボール自身に過大な押圧力などの外力を作用させな
いようにして、それぞれの吸引口に吸着させることがで
きる。また、ハンダボールは吸引口が吸着後、供給口の
ハンダボールを引き上げさせるから、供給口からハンダ
ボールを落下させないようにして吸引口を供給口から引
き外すことができる。また、その後、ハンダボールを下
向き吸引の状態に転換させるから、ワークに対し上方か
らハンダボールを載置するようにして所定パターンに供
給することができる。
In the method for mounting a solder ball according to the first aspect,
First, since the solder balls are dropped and supplied, the solder balls themselves can be sucked to the respective suction ports without applying an external force such as an excessive pressing force. In addition, since the solder ball lifts the solder ball in the supply port after the suction port has sucked the suction port, the suction port can be detached from the supply port so as not to drop the solder ball from the supply port. After that, since the solder balls are converted into the downward suction state, the solder balls can be supplied in a predetermined pattern so as to be placed on the work from above.

【0016】請求項2および請求項3記載のハンダボー
ルの搭載方法およびその装置では、ハンダボールはスト
ックヤードで仮受け手段の上面に吸着されるが、中継ヤ
ードで搭載手段の下面に再吸着させるため、搭載ヤード
ではハンダボールを電極面を上向きにしたワークにその
まま載置するように搭載できる。従って、ストックヤー
ドでは、重力に従ってハンダボール群の最下面にあるも
のから仮受け手段側に落下させていけば良いから、この
ハンダボール群に押圧力を無理に作用させなくてよい。
ストックヤードにおけるハンダボール群の量に関係な
く、つまりハンダボール群の上面位置に関係なく仮受け
できるから、最良仮受け位置の調整をその都度行う必要
がない。仮受け手段のハンダボール仮受けと搭載手段の
ハンダボール搭載は互いの位置関係に関係なく行うこと
ができるから、作業上ハンダボールの仮受けに時間が掛
っても、それを搭載手段の移行と搭載時間中に行わせる
ことにより、全体のサイクルにおける時間短縮をするこ
とができる。
In the method and the apparatus for mounting a solder ball according to the second and third aspects, the solder ball is adsorbed on the upper surface of the temporary receiving means in the stock yard, but is re-adsorbed on the lower surface of the mounting means in the relay yard. Therefore, in the mounting yard, the solder ball can be mounted so as to be directly mounted on the work with the electrode surface facing upward. Therefore, in the stock yard, it is only necessary to drop the solder ball group from the lowermost surface of the solder ball group to the temporary receiving means side in accordance with gravity, and it is not necessary to apply a pressing force to the solder ball group.
Since the temporary receiving can be performed irrespective of the amount of the solder ball group in the stock yard, that is, regardless of the upper surface position of the solder ball group, it is not necessary to adjust the best temporary receiving position each time. Since the temporary receiving of the solder balls and the mounting of the solder balls of the mounting means can be performed irrespective of the mutual positional relationship, even if it takes time to temporarily receive the solder balls in the work, it is necessary to transfer the solder balls to the mounting means. By performing the operation during the mounting time, the time in the entire cycle can be reduced.

【0017】請求項4記載のハンダボールの搭載装置で
は、ストックヤードにおいて、仮受け台はストック部に
下面側から位置決め状態で面合して凹部にハンダボール
の落下供給を受ける。この時、ストック部を振動させる
と、供給孔の上端開口部でハンダボールがせめぎ合って
いても、収納部内のハンダボールを素早く供給孔内に落
下させることができる。そして、前記落下したハンダボ
ールを凹部に吸着したのち収納部内を負圧にすると、供
給孔内にとどまっている不要なハンダボールは収納部内
に吸引された状態となる。このストック部と仮受け部と
を吸引状態とすることによって仮受け台側はハンダボー
ルを所定位置に固定し、ストック部からはハンダボール
をこぼれ落とすことなく仮受け台を下降させることがで
きる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the stock yard, in the stock yard, the temporary receiving table faces the stock portion in a positioning state from the lower surface side and receives the drop supply of the solder ball in the concave portion. At this time, if the stock portion is vibrated, the solder balls in the storage portion can be quickly dropped into the supply hole even if the solder balls are in a state of competition at the upper end opening of the supply hole. Then, when the inside of the storage section is made negative pressure after the dropped solder balls are attracted to the concave portions, unnecessary solder balls remaining in the supply holes are sucked into the storage section. By setting the stock portion and the temporary receiving portion in the suction state, the temporary receiving table side fixes the solder ball at a predetermined position, and the temporary receiving table can be lowered without spilling the solder ball from the stock portion.

【0018】前記仮受け台を下降させた後、仮受け台を
中継ヤードに移行させて吸着ブロックと少しギャップを
設け位置決め状態にして面合させる。面合後、仮受け台
の吸引を解き吸着ブロックに吸引力を作用させると、仮
受け台のハンダボールを吸着ブロックの凹部に再吸着さ
せることができるから、仮受け台はストックヤードに移
行させ再度ストック部からハンダボールの供給を受けさ
せると共に、この仮受け台のストックヤード移行とハン
ダボールの供給を受けている間に前記吸着ブロックを搭
載ヤードに移行させ、この搭載ヤードにて位置決めされ
たワーク面上に下降させて吸引力を解くことにより、ハ
ンダボールを電極面に搭載させることができる。この後
直ちに吸着ブロックを中継ヤードに移行させることによ
り、1サイクルが終了する。
After lowering the temporary receiving table, the temporary receiving table is moved to the relay yard, and a gap is provided between the temporary receiving table and the suction block so that the temporary receiving table is positioned and positioned. After the meeting, when the suction of the temporary holder is released and suction force is applied to the suction block, the solder balls of the temporary holder can be re-adsorbed to the concave portion of the suction block. While receiving the supply of the solder ball from the stock portion again, the suction block was transferred to the mounting yard while the temporary cradle was being transferred to the stock yard and receiving the supply of the solder ball, and the positioning was performed at the mounting yard. By lowering the suction force on the work surface and releasing the suction force, the solder ball can be mounted on the electrode surface. Immediately thereafter, the suction block is moved to the relay yard, thereby completing one cycle.

【0019】請求項5記載のハンダボールの搭載装置で
は、負圧状態の収納部内に酸化防止ガスを供給すること
により、ハンダボールの酸化を防止すると共に、収納部
内の負圧を解いてハンダボールの落下を許容することが
できる。
In the solder ball mounting apparatus according to the fifth aspect, an antioxidant gas is supplied into the storage section in a negative pressure state, thereby preventing oxidation of the solder ball and releasing the negative pressure in the storage section to release the solder ball. Can be allowed to fall.

【0020】請求項6記載のハンダボール搭載装置で
は、仮受け台側の構成が簡単となり、さらに仮受け台側
の質量を軽減できるから、移行手段の負担を軽減でき、
コンパクトなものでも精確に位置決めすることができ
る。
In the solder ball mounting device according to the sixth aspect, the structure of the temporary receiving table side is simplified and the mass of the temporary receiving table side can be reduced, so that the load on the transfer means can be reduced.
Even a compact one can be positioned accurately.

【0021】請求項7記載のハンダボール搭載装置で
は、収納部内でのハンダボール同士あるいはストック部
との間の静電気による吸着作用を防止し、ハンダボール
の落下をスムーズに行わせ搭載作業を効率的に行わせる
ことができる。
According to the solder ball mounting device of the present invention, the suction action between the solder balls or the stock portion in the storage portion due to static electricity is prevented, and the solder balls are smoothly dropped so that the mounting operation can be efficiently performed. Can be performed.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図1は本発明における一実
施の形態のハンダボール搭載装置を示す側断面図、図2
は同上のハンダボールの移動状態を示す説明図、図3は
同上の仮受け台の昇降手段を示す側面図である。図にお
いて、1は基台、2は前記基台の一端側に配置されたス
トックヤード、3は基台1の他端側に配置された搭載ヤ
ード、4は前記ストックヤード2と搭載ヤード5との間
に配置された中継ヤードである。本実施の形態では、前
記ストックヤード2から搭載ヤード3、中継ヤード4に
向けた通りをX軸、このX軸に水平面上で直行する通り
をY軸、垂直の通りをZ軸とする。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view showing a solder ball mounting device according to an embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is an explanatory view showing a moving state of the solder ball according to the first embodiment, and FIG. In the figure, 1 is a base, 2 is a stock yard arranged on one end side of the base, 3 is a mounting yard arranged on the other end side of the base 1, 4 is a stock yard 2 and a mounting yard 5 It is a relay yard located between the two. In this embodiment, the X-axis extends from the stockyard 2 to the loading yard 3 and the relay yard 4, the Y-axis extends perpendicular to the X-axis on a horizontal plane, and the Z-axis perpendicular to the X-axis.

【0023】前記ストックヤード2はハンダボール5を
供給するストック部6と、該ストック部6を後述する仮
受け台16に着脱自在に連結させて振動を伝達させるピ
ン7と、ストック部6を振動方向に抵抗なく摺動可能と
させるスライドレール8を備えている。前記ストック部
6はハンダボール5の供給手段となるものであって、ハ
ンダボール5を密閉状で大量にストックする収納部9を
有している。10は図2(イ),(ロ)に示すように、
ハンダボール5を一個ずつスムーズに挿通させる直径を
有した供給孔であり、収納部9の内底面からストック部
6の下面まで貫通させると共に、ワーク11(例えば半
導体基板)の電極面数だけその配置パターンに合わせて
穿設されている。また、12は前記収納部9の密閉蓋、
13はこの収納部9を図示しない外部の吸引装置と連通
させる吸引管、14は外部から収納部9に酸化防止ガス
を指示された時だけ供給する酸化防止ガス供給管、15
はストック部6の下面両側から垂直に突出させた位置決
め用のピンである。尚、図示しないが、ストック部近辺
に帯電防止器を設けている。
The stock yard 2 has a stock portion 6 for supplying solder balls 5, a pin 7 for detachably connecting the stock portion 6 to a temporary receiving table 16 to be described later to transmit vibrations, and A slide rail 8 is provided to enable sliding in the direction without resistance. The stock portion 6 serves as a supply means for the solder balls 5, and has a storage portion 9 for storing a large amount of the solder balls 5 in a sealed state. 10 is, as shown in FIGS.
A supply hole having a diameter that allows the solder balls 5 to be smoothly inserted one by one, penetrates from the inner bottom surface of the storage unit 9 to the lower surface of the stock unit 6, and is arranged by the number of electrode surfaces of the work 11 (for example, a semiconductor substrate). Drilled to match the pattern. 12 is a closed lid of the storage section 9;
Reference numeral 13 denotes a suction pipe for connecting the storage section 9 to an external suction device (not shown), reference numeral 14 denotes an antioxidant gas supply pipe for supplying an antioxidant gas to the storage section 9 only when instructed from the outside, and reference numeral 15.
Are positioning pins protruding vertically from both sides of the lower surface of the stock portion 6. Although not shown, an antistatic device is provided near the stock section.

【0024】次に、16はハンダボール仮受け手段とし
ての仮受け台であって、その上面には、ハンダボール5
を吸着するための凹部17がストック部6の供給孔パタ
ーンに合わせて配置され、該凹部17はハンダボール5
を容易に吸着可能な形状を有すると共に、その底部には
ハンダボール5の直径より小さな直径を有し図外の吸引
装置と連通された吸引孔18が連通されている。19は
その吸引用の配管である。また、この仮受け台16の凹
部によるパターン部分外周は、そのパターン部分に空気
の導入を均一に、かつ良好に行うように一段低く設けら
れている。20は前記ストック部6の底面に突出させた
ピン15の嵌合穴であって、嵌合時、ハンダボール5の
供給孔10に凹部17を符合させるものである。
Next, reference numeral 16 denotes a temporary holder as temporary solder ball receiving means, and the solder ball 5 is provided on the upper surface thereof.
A concave portion 17 for adsorbing the solder ball 5 is arranged in accordance with the supply hole pattern of the stock portion 6.
And a suction hole 18 having a diameter smaller than the diameter of the solder ball 5 and communicating with a suction device (not shown) at the bottom thereof. 19 is a suction pipe. The outer periphery of the pattern portion formed by the concave portion of the temporary receiving table 16 is provided one step lower so that air can be uniformly and favorably introduced into the pattern portion. Reference numeral 20 denotes a fitting hole for the pin 15 protruding from the bottom surface of the stock portion 6, and the concave portion 17 matches the supply hole 10 of the solder ball 5 at the time of fitting.

【0025】21は前記仮受け台16の移行手段であっ
て、モータ22にて駆動されるねじ軸23とスライドレ
ール24がX軸に沿って、ストック部6下方位置から中
継ヤード4位置まで配置されている。25は前記スライ
ドレール24上を摺動する台であって、ねじ軸23に螺
合するめねじ部26を有し、台上には仮受け台16の昇
降手段27を備えている。前記昇降手段27は、主に第
一クサビ部29と第二クサビ部33により昇降部分が形
成され、第一クサビ部29は仮受け台16の下面に固定
されると共に垂直辺が摺動台25に立設したガイド28
に摺動自在に支持され、第二クサビ部33は第一クサビ
部29の傾斜面30に傾斜面31を対向させると共に、
ねじ軸用モータ32により摺動台25上で横移動自在に
保持されている。34は傾斜面30を摺動自在に保持す
るガイド、35は第二クサビ部33の横移動用のガイ
ド、36はねじ軸用モータ32で駆動するねじ軸であ
る。この昇降手段27は、上昇作動時、ストック部6の
下面に対し、仮受け台16の上面が適宜ギャップGを有
するように停止させる。
Numeral 21 denotes a means for shifting the temporary receiving table 16, wherein a screw shaft 23 and a slide rail 24 driven by a motor 22 are arranged along the X axis from a position below the stock portion 6 to a position of the relay yard 4. Have been. Reference numeral 25 denotes a table which slides on the slide rail 24, has a female screw portion 26 which is screwed to the screw shaft 23, and is provided with elevating means 27 for the temporary receiving table 16 on the table. The elevating means 27 has an elevating portion mainly formed by a first wedge portion 29 and a second wedge portion 33, and the first wedge portion 29 is fixed to the lower surface of the temporary receiving table 16 and the vertical side is a sliding table 25. Guide 28
The second wedge portion 33 has the inclined surface 31 opposed to the inclined surface 30 of the first wedge portion 29,
It is held on the slide table 25 by a screw shaft motor 32 so as to be able to move laterally. 34 is a guide for slidably holding the inclined surface 30, 35 is a guide for laterally moving the second wedge portion 33, and 36 is a screw shaft driven by the screw shaft motor 32. The elevating means 27 stops the lower surface of the stock portion 6 so that the upper surface of the temporary receiving table 16 has a gap G as appropriate during the ascent operation.

【0026】次に、37は吸着ブロックであって、前記
仮受け台16のストック部6に対するのと同様に、下面
には、ハンダボール5を吸着するための凹部38が仮受
け台16の凹部配置パターンに合わせて配置され、該凹
部38はハンダボール5を容易に吸着可能な形状(例え
ばテーパー状またはハンダボール5よりより大きな半
径)を有すると共に、その底部にはハンダボール5の直
径より小さな直径を有し図外の吸引装置と連通された吸
引孔39が連通されている。40はその吸引用の配管、
41は仮受け台16の両側に設けた嵌合穴20に挿入さ
せるピンであって、嵌合時、仮受け台の凹部17に吸着
ブロック37の凹部38を符号させるものである。
A suction block 37 has a recess 38 for sucking the solder balls 5 on the lower surface, similarly to the stock portion 6 of the temporary holder 16. The concave portion 38 is arranged in accordance with the arrangement pattern, and has a shape (for example, a tapered shape or a radius larger than that of the solder ball 5) capable of easily attracting the solder ball 5, and has a bottom portion smaller than the diameter of the solder ball 5. A suction hole 39 having a diameter and communicating with a suction device (not shown) is connected. 40 is a pipe for the suction,
Reference numeral 41 denotes a pin to be inserted into the fitting holes 20 provided on both sides of the temporary receiving table 16, and the concave section 17 of the temporary receiving table is marked with the concave section 38 of the suction block 37 at the time of fitting.

【0027】42は吸着ブロック37の位置決め昇降手
段、43はその移行手段である。まず、移行手段43か
ら説明すると、X軸に沿った基台1部分に、スライドレ
ール44とX軸用モータ45にて駆動されるねじ軸46
が、搭載ヤード3位置から中継ヤード4位置まで配置さ
れている。47は前記スライドレール44に装着された
X軸台であって、ねじ軸46に螺合するめねじ部48を
有し、台垂直面には前記吸着ブロック37の位置決め昇
降手段42を備えている。49は前記台垂直面のY軸方
向に設けられたスライドレール、50はねじ軸、51は
Y軸用モータである。また、52はスライドレール49
に摺動自在に装着された位置決め昇降手段42のY軸
台、53はめねじ部である。
Reference numeral 42 denotes a means for elevating and lowering the position of the suction block 37; First, the transition means 43 will be described. A screw shaft 46 driven by a slide rail 44 and an X-axis motor 45 is provided on a portion of the base 1 along the X-axis.
Are arranged from the mounting yard 3 position to the relay yard 4 position. Reference numeral 47 denotes an X-axis table mounted on the slide rail 44. The X-axis table 47 has a female screw portion 48 to be screwed to a screw shaft 46, and has a positioning vertical moving means 42 for positioning the suction block 37 on a table vertical surface. Reference numeral 49 denotes a slide rail provided in the Y-axis direction on the table vertical surface, 50 denotes a screw shaft, and 51 denotes a Y-axis motor. 52 is a slide rail 49
The Y-axis base 53 of the positioning elevating means 42, which is slidably mounted on the, is an internal thread 53.

【0028】54はY軸台52に垂設されたZ軸用ねじ
軸、55は同スライドレール、56はZ軸台であってス
ライドレール55に装着されめねじ部57がねじ軸54
に螺合されている。59はZ軸用モータである。前記Z
軸台56に吸着ブロック37が水平方向に回動自在に軸
支58されている。60は回転制御用のめねじ部、61
はねじ軸、62は角度制御用モータである。63は搭載
ヤード3のY軸方向に配置されたコンベアである。
Numeral 54 denotes a Z-axis screw shaft suspended from the Y-axis table 52, 55 denotes the same slide rail, and 56 denotes a Z-axis table which is mounted on the slide rail 55 and has a female screw portion 57 formed by the screw shaft 54.
Is screwed into. Reference numeral 59 denotes a Z-axis motor. The Z
The suction block 37 is rotatably supported on the shaft base 56 so as to be rotatable in the horizontal direction. 60 is a female thread for controlling rotation, 61
Is a screw shaft, and 62 is an angle control motor. 63 is a conveyor arranged in the Y-axis direction of the mounting yard 3.

【0029】図示しないが、本実施の形態のハンダボー
ルの搭載装置では、コンベア63にて搭載ヤード3に搬
入されたワーク11の電極面を画像処理してX軸、Y
軸、および回転角度の誤差を判定し、その修正量を出力
してそれぞれの軸用モータを駆動し吸着ブロックの軸方
向を修正させるCCDカメラや制御部を備えている。
Although not shown, in the solder ball mounting apparatus according to the present embodiment, the electrode surface of the work 11 carried into the mounting yard 3 by the conveyor 63 is subjected to image processing to perform X-axis and Y-axis.
A CCD camera and a control unit are provided for judging an error between the shaft and the rotation angle, outputting a correction amount thereof, and driving each shaft motor to correct the axial direction of the suction block.

【0030】次に、本実施の形態の作用を図4を加えて
説明する。まず、図2(イ),図4(イ)に示すように
ストック部6の収納部9はハンダボール5を多数収納し
た状態で蓋12で密閉され、さらに吸引装置で収納部内
を吸引することでハンダボール5が供給孔10から落下
するのを阻止した状態にされている。
Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to FIG. First, as shown in FIGS. 2 (a) and 4 (a), the storage portion 9 of the stock portion 6 is sealed with the lid 12 in a state where a large number of solder balls 5 are stored, and the suction device is further used to suck the inside of the storage portion. Thus, the solder balls 5 are prevented from falling from the supply holes 10.

【0031】次に、図2(ロ),図4(ロ)に示すよう
に、仮受け台16をストック部6の下方位置から上昇さ
せると、ピン15が嵌合穴20に嵌合され凹部17が供
給孔10に精密に符合する。この時ストック部6の下面
と仮受け台16の上面との間には、外気を面内まで容易
に導入できるギャップGが設定される。ギャップGの設
定後、吸引装置を停止させて供給管14より酸化防止ガ
スを供給して収納部9内を大気圧以上とする。尚、この
場合、酸化防止ガスの代わりに乾燥空気を供給してもよ
い。この気体導入によって収納部9内のハンダボール5
が供給孔10内に落下し凹部17に受け止められる。こ
の時、ピン7の解除の状態でモータ22を短時間ずつ正
逆運転することによって仮受け台16を介し収納部9を
振動させハンダボール5の落下を促進させる。仮受け台
16側では吸引孔18で外気側を吸引させることによ
り、ハンダボール5を凹部17に吸着させる。
Next, as shown in FIGS. 2 (b) and 4 (b), when the temporary receiving table 16 is raised from a position below the stock portion 6, the pins 15 are fitted into the fitting holes 20 and the concave portions are formed. Reference numeral 17 precisely matches the supply hole 10. At this time, a gap G is set between the lower surface of the stock portion 6 and the upper surface of the temporary receiving table 16 so that outside air can be easily introduced into the surface. After setting the gap G, the suction device is stopped, and an antioxidant gas is supplied from the supply pipe 14 so that the inside of the storage unit 9 is at or above the atmospheric pressure. In this case, dry air may be supplied instead of the antioxidant gas. By introducing the gas, the solder balls 5 in the storage section 9 are formed.
Falls into the supply hole 10 and is received by the recess 17. At this time, the motor 22 is operated in the normal / reverse direction for a short time with the pin 7 released to vibrate the storage unit 9 via the temporary receiving table 16 to promote the falling of the solder balls 5. On the temporary receiving table 16 side, the outside air side is sucked by the suction holes 18, so that the solder balls 5 are sucked into the concave portions 17.

【0032】次に、図2(ハ),図4(ハ)に示すよう
に、再度収納部9内を負圧にした後、仮受け台16を下
降させると共に中継ヤード4まで移行させる。この中継
ヤードには既に吸着ブロック37が待機しているので、
その位置で仮受け台16を上昇させる。図2(ニ)に示
すように、吸着ブロック37の下面と仮受け台16の上
面との間には、外気を面内まで容易に導入できるギャッ
プGが設定される。この後、仮受け台16の吸引を解除
し吸着ブロック37の吸引孔39で外気側を吸引させる
ことにより、ハンダボール5を凹部17から受け取り凹
部38に吸着させる。
Next, as shown in FIGS. 2 (C) and 4 (C), after the inside of the storage section 9 is again set to the negative pressure, the temporary receiving table 16 is lowered and moved to the relay yard 4. Since the suction block 37 is already waiting in this relay yard,
At this position, the temporary support 16 is raised. As shown in FIG. 2 (d), a gap G is set between the lower surface of the suction block 37 and the upper surface of the temporary holder 16 so that outside air can be easily introduced into the surface. Thereafter, the suction of the temporary receiving table 16 is released, and the outside air side is sucked by the suction holes 39 of the suction block 37, so that the solder balls 5 are received from the recess 17 and sucked into the recess 38.

【0033】図4(ニ)に示すように、ハンダボール5
を凹部38で吸着させた後、仮受け台16は下降後直ち
にストックヤード2に戻してハンダボールの吸着を行わ
せると共に、吸着ブロック37は搭載ヤード3に移行さ
せる。一方、搭載ヤード3では、既に搬入されたワーク
11の固定状態における電極面の画像処理を行って、精
確な修正量を出力する。前記吸着ブロック37はその出
力により、移行中にX軸用モータ45、Y軸用モータ5
1および角度制御用モータ62を駆動して、ワーク11
の電極面位置と同一向きに吸着ブロック37の凹部パタ
ーンを位置修正する。吸着ブロック37の搭載ヤード所
定位置に到達後、図4(ロ)に示すように、ワーク11
上に下降させ、下面凹部のハンダボール5を電極面に接
触させた状態で吸引を解除し、そのハンダボール5を電
極面に搭載する。吸着ブロック37はハンダボール5を
搭載後、直ちに中継ヤードに戻って待機しておく。この
工程で1サイクルが終了する。
As shown in FIG. 4D, the solder balls 5
After the temporary receiving table 16 is lowered, the temporary receiving table 16 is immediately returned to the stock yard 2 to suck the solder balls, and the suction block 37 is moved to the mounting yard 3. On the other hand, in the mounting yard 3, image processing of the electrode surface in a fixed state of the work 11 already carried in is performed, and a precise correction amount is output. The output of the suction block 37 causes the X-axis motor 45 and the Y-axis motor 5 during the transition.
1 and the angle control motor 62 to drive the work 11
The position of the concave pattern of the suction block 37 is corrected in the same direction as the position of the electrode surface. After reaching the predetermined position of the mounting yard of the suction block 37, as shown in FIG.
The suction is released while the solder ball 5 in the lower concave portion is in contact with the electrode surface, and the solder ball 5 is mounted on the electrode surface. After mounting the solder balls 5, the suction block 37 immediately returns to the relay yard and waits. One cycle is completed in this step.

【0034】以上説明してきたように、本実施の形態の
ハンダボールの搭載装置によれば、ストック部6では、
重力に従ってハンダボール群の最下面にあるものから仮
受け台16側に落下させていけば良いから、このハンダ
ボール群に押圧力を無理に作用させなくてよい。ストッ
ク部6におけるハンダボール群の上面位置に関係なく仮
受けできるから、最良仮受け位置の調整をその都度行う
必要がない。仮受け台16のハンダボール仮受けと吸着
ブロック37のハンダボール搭載は互いの位置関係に関
係なく行うことができるから、作業上ハンダボールの仮
受けあるいは吸着ブロック37の凹部パターンの位置修
正とハンダボール搭載に時間が掛っても、それを互いの
作業時間中に行わせることにより、全体のサイクルにお
ける時間短縮をすることができる。
As described above, according to the solder ball mounting apparatus of the present embodiment, the stock unit 6
It is only necessary to drop the solder ball group from the lowermost surface of the solder ball group to the temporary receiving table 16 side according to gravity, so that it is not necessary to apply a pressing force to this solder ball group. Since the provisional receiving can be performed irrespective of the position of the upper surface of the solder ball group in the stock unit 6, it is not necessary to adjust the best temporary receiving position every time. Since the temporary receiving of the solder balls on the temporary receiving table 16 and the mounting of the solder balls on the suction block 37 can be performed irrespective of the mutual positional relationship, the position of the temporary receiving of the solder balls or the concave pattern of the suction block 37 is corrected and the solder is removed. Even if it takes time to mount the ball, it is possible to reduce the time in the entire cycle by performing the operation during the mutual working time.

【0035】また、モータ22により、供給孔の上端開
口部でハンダボールがせめぎ合っていても、収納部内の
ハンダボールを素早く供給孔内に落下させることができ
る。収納部内を負圧にすることにより、供給孔内にとど
まっている不要なハンダボールは収納部内に吸引された
状態とすることにより、ストック部6からハンダボール
をこぼれ落とすことなく仮受け台を下降させることがで
きる。
Further, the solder balls in the storage section can be quickly dropped into the supply hole even if the solder balls are in opposition at the opening at the upper end of the supply hole by the motor 22. Unnecessary solder balls remaining in the supply holes are sucked into the storage section by applying a negative pressure to the storage section, thereby lowering the temporary support table without dropping the solder balls from the stock section 6. Can be done.

【0036】位置決め用のピン15とその嵌合穴20を
設けたので、ストック部6と仮受け台16を常に精確に
面合させることができる。また、ストック部6と仮受け
台16あるいは吸着ブロック37と仮受け台16同士の
面合時にギャップGを設けたので、ハンダボールの供給
や仮受け、吸着をスムーズに行うことができる。
Since the positioning pins 15 and the fitting holes 20 are provided, the stock portion 6 and the temporary receiving table 16 can always be accurately faced. Further, since the gap G is provided when the stock unit 6 and the temporary receiving table 16 or the suction block 37 and the temporary receiving table 16 are mated with each other, the supply, the temporary receiving, and the suction of the solder ball can be performed smoothly.

【0037】負圧状態の収納部内に酸化防止ガスを供給
することにより、ハンダボールの酸化を防止すると共
に、収納部内の負圧を解いてハンダボールの落下を許容
することができる。
By supplying the antioxidant gas into the storage section in the negative pressure state, the oxidation of the solder balls can be prevented, and the negative pressure in the storage section can be released to allow the solder balls to fall.

【0038】帯電防止器を設けたので、収納部内でのハ
ンダボール同士あるいはストック部との間の静電気によ
る吸着作用を防止し、ハンダボールの落下をスムーズに
行わせ搭載作業を効率的に行わせることができる。
Since the antistatic device is provided, the suction action between the solder balls or the stock portion in the storage portion due to static electricity is prevented, so that the solder balls can be smoothly dropped and the mounting operation can be performed efficiently. be able to.

【0039】以上、本発明の実施の形態を説明してきた
が、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
変更などがあっても、本発明に含まれる。
Although the embodiment of the present invention has been described above, the specific configuration of the present invention is not limited to this embodiment, and a design change or the like may be made without departing from the gist of the present invention. If so, they are included in the present invention.

【0040】例えば、仮受け台16に設けたクサビ型昇
降手段に代え、図5に示すように吸着ブロック37のZ
軸台56の昇降手段と同様な昇降手段65をストック部
6に設けてもよい(64は駆動用モータ)。この場合
は、仮受け台16側の構成が簡単となり、さらに仮受け
台16側の質量を軽減できるから、移行手段の負担を軽
減でき、コンパクトなものでも精確に位置決めすること
ができる。
For example, instead of the wedge-type elevating means provided on the temporary receiving table 16, as shown in FIG.
An elevating means 65 similar to the elevating means of the headstock 56 may be provided in the stock unit 6 (64 is a drive motor). In this case, the configuration of the temporary receiving table 16 is simplified, and the mass of the temporary receiving table 16 can be reduced. Therefore, the load on the transfer means can be reduced, and accurate positioning can be achieved even with a compact device.

【0041】また、位置決め昇降手段42や移行手段2
1,43などの構成は任意に設定することができる。ま
た、仮受け台と吸着ブロックの組み合わせに限らず、仮
受け台または吸着ブロックのいずれか一方のみを使用
し、それにハンダボール吸着面の反転手段を付加(例え
ば吸着ブロックを水平軸で回転自在に軸支)して方向転
換させることにより、搭載するようにしてもよい。
The positioning elevating means 42 and the shifting means 2
Configurations such as 1, 43 can be arbitrarily set. Also, not only the combination of the temporary receiving table and the suction block, but only one of the temporary receiving table and the suction block is used, and a means for reversing the solder ball suction surface is added thereto (for example, the suction block is rotatable about a horizontal axis). It may be mounted by pivoting and changing the direction.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明してきたように本発明請求項1
記載のハンダボールの搭載方法にあっては、前記構成と
したため、ハンダボールは落下させて供給することか
ら、ハンダボール自身に過大な押圧力などの外力を作用
させないようにして、それぞれの吸引口に吸着させるこ
とができる。また、ハンダボールは吸引口が吸着後、供
給口のハンダボールを引き上げさせるから、供給口から
ハンダボールを落下させないようにして吸引口を供給口
から引き外すことができる。また、ハンダボールを下向
き吸引の状態に転換させるから、ワークに対し上方から
ハンダボールを載置するようにして所定パターンに供給
することができる等の効果が得られる。
As described above, the first aspect of the present invention is as follows.
In the solder ball mounting method described above, since the above configuration is adopted, the solder ball is dropped and supplied, so that an external force such as an excessive pressing force is not applied to the solder ball itself, and each suction port is provided. Can be adsorbed. In addition, since the solder ball lifts the solder ball in the supply port after the suction port has sucked the suction port, the suction port can be detached from the supply port so as not to drop the solder ball from the supply port. In addition, since the solder balls are converted into the downward suction state, the solder balls can be placed on the work from above and supplied in a predetermined pattern.

【0043】請求項2記載のハンダボールの搭載方法、
請求項3記載のハンダボールの搭載装置にあっては、前
記構成としたため、ハンダボールはストックヤードで仮
受け手段の上面に吸着されるが、中継ヤードで搭載手段
の下面に再吸着させるため、搭載ヤードではハンダボー
ルを電極面を上向きにしたワークに簡単に搭載すること
ができる。また、ストックヤードでは、重力に従ってハ
ンダボール群の最下面にあるものから仮受け手段側に落
下させていけば良いから、このハンダボール群に押圧力
を無理に作用させずソフトに取り扱うことができ、ハン
ダボールに傷付けたり変形させることがない。ストック
ヤードにおけるハンダボール群の上面位置に関係なく仮
受けできるから、最良仮受け位置の調整をその都度行う
必要がない。仮受け手段のハンダボール仮受けと搭載手
段のハンダボール搭載は互いの位置関係に関係なく行う
ことができるから、作業上ハンダボールの仮受けに時間
が掛っても、それを搭載手段の移行と搭載時間中に行わ
せることにより、全体のサイクルにおける時間短縮をす
ることができるなどの効果が得られる。
A method for mounting a solder ball according to claim 2,
In the solder ball mounting device according to the third aspect, the solder ball is suctioned to the upper surface of the temporary receiving means in the stock yard because of the above configuration, but is re-adsorbed to the lower surface of the mounting means in the relay yard. In the mounting yard, solder balls can be easily mounted on a workpiece with the electrode surface facing upward. Also, in the stock yard, it is only necessary to drop the solder ball group from the bottom surface of the solder ball group to the temporary receiving means side according to gravity, so that the solder ball group can be handled softly without forcibly applying a pressing force. It does not damage or deform the solder balls. Since the temporary receiving can be performed irrespective of the position of the upper surface of the solder ball group in the stock yard, it is not necessary to adjust the best temporary receiving position each time. Since the temporary receiving of the solder balls and the mounting of the solder balls of the mounting means can be performed irrespective of the mutual positional relationship, even if it takes time to temporarily receive the solder balls in the work, it is necessary to transfer the solder balls to the mounting means. By performing the operation during the mounting time, effects such as shortening of the time in the entire cycle can be obtained.

【0044】請求項4記載のハンダボールの搭載装置に
あっては、前記構成としたため、前記効果に加え、スト
ック部を振動させると、供給孔の上端開口部でハンダボ
ールがせめぎ合っていても、収納部内のハンダボールを
素早く供給孔内に落下させることができる。また、収納
部内を負圧に簡単な構成で、供給孔内にとどまっている
不要なハンダボールを収納部内に吸引させ、ストック部
からはハンダボールをこぼれ落とすことなく仮受け台を
下降させることができる。仮受け台のハンダボールを吸
着ブロックの凹部に再吸着させるから、仮受け台はスト
ックヤードに移行させ再度ストック部からハンダボール
の供給を受けさせると共に、この仮受け台のストックヤ
ード移行とハンダボールの供給を受けている間に前記吸
着ブロックを搭載ヤードに移行させ、ハンダボールを電
極面に搭載させ全体の時間短縮を図ることができるなど
の効果が得られる。
According to the fourth aspect of the present invention, in addition to the above-described effects, when the stock portion is vibrated, even if the solder balls conflict with each other at the upper end opening of the supply hole. Thus, the solder balls in the storage section can be quickly dropped into the supply holes. In addition, with a simple configuration to create a negative pressure in the storage section, unnecessary solder balls remaining in the supply holes can be sucked into the storage section, and the temporary holder can be lowered without spilling the solder balls from the stock section. it can. Since the solder balls of the temporary support are re-adsorbed to the concave portions of the suction block, the temporary support is moved to the stock yard to receive the supply of the solder balls from the stock portion again. While the suction block is being supplied, the suction block can be moved to the mounting yard, and the solder ball can be mounted on the electrode surface, and the overall time can be shortened.

【0045】請求項5記載のハンダボールの搭載装置に
あっては、前記構成としたため、酸化防止ガスを供給す
ることにより、ハンダボールの酸化を防止すると共に、
収納部内の負圧を解いてハンダボールの落下を許容する
ことができるなどの効果が得られる。
According to the fifth aspect of the present invention, the solder ball mounting apparatus is configured as described above, so that oxidation of the solder balls is prevented by supplying an antioxidant gas.
The effect is obtained that the falling of the solder ball can be allowed by releasing the negative pressure in the storage section.

【0046】請求項6記載のハンダボールの搭載装置に
あっては、前記構成としたため、仮受け台側の構成が簡
単となり、さらに仮受け台側の質量を軽減できるから、
移行手段の負担を軽減でき、コンパクトなものでも精確
に位置決めすることができるなどの効果が得られる。
In the solder ball mounting device according to the sixth aspect of the present invention, since the above configuration is adopted, the configuration of the temporary receiving table side is simplified, and the mass of the temporary receiving table side can be reduced.
It is possible to reduce the load on the transfer means, and to achieve an effect such that accurate positioning can be achieved even with a compact device.

【0047】請求項7記載のハンダボールの搭載装置に
あっては、前記構成としたため、収納部内でのハンダボ
ール同士あるいはストック部との間の静電気による吸着
作用を防止し、ハンダボールの落下をスムーズに行わせ
搭載作業を効率的に行わせることができるなどの効果が
得られる。
According to the solder ball mounting device of the present invention, since the above configuration is adopted, the electrostatic adsorption between the solder balls or the stock portion in the storage portion is prevented, and the fall of the solder balls is prevented. The effect is obtained such that the mounting work can be performed smoothly and efficiently.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態によるハンダボール搭載
装置を示す側断面図である。
FIG. 1 is a side sectional view showing a solder ball mounting device according to an embodiment of the present invention.

【図2】同上のハンダボールの移動状態を示す説明図で
ある。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a movement state of a solder ball according to the first embodiment.

【図3】同上の仮受け台昇降手段を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a temporary cradle elevating means of the same.

【図4】同上のハンダボール搭載工程を示す説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory view showing a solder ball mounting step of the above.

【図5】他の実施の形態によるハンダボール搭載装置を
示す側断面図である。
FIG. 5 is a side sectional view showing a solder ball mounting device according to another embodiment.

【図6】従来のハンダボール搭載装置の要部を示す説明
図である。
FIG. 6 is an explanatory view showing a main part of a conventional solder ball mounting device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 ストックヤード 3 搭載ヤード 4 中継ヤード 5 ハンダボール 6 ストック部 9 ハンダボールの収納部 10 ストック部の供給孔 11 ワーク 15 ピン(位置決め手段) 16 仮受け台(仮受け手段) 17,38 凹部 18,39 吸引穴 20 嵌合穴(位置決め手段) 21,43 移行手段 22 モータ(振動手段を兼ねる) 27 昇降手段 37 吸着ブロック 42 位置決め昇降手段 2 Stock yard 3 Mounting yard 4 Relay yard 5 Solder ball 6 Stock section 9 Solder ball storage section 10 Supply section supply hole 11 Work 15 Pin (positioning means) 16 Temporary support (temporary receiving means) 17, 38 Recess 18, 39 suction hole 20 fitting hole (positioning means) 21, 43 transfer means 22 motor (also serves as vibration means) 27 elevating means 37 suction block 42 positioning elevating means

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ハンダボールのストックヤードで吸引し
たハンダボールを搭載ヤードにて位置決めされたワーク
に搭載するハンダボールの搭載方法において、 所定のパターンに配置された供給口から前記ハンダボー
ルを落下供給させ、その供給口の下側から上向きに合わ
せていた吸引口でハンダボールをそれぞれ吸着させた後
前記供給口内部を負圧にして残りのハンダボールを引き
上げさせ、その後、この吸引口で上向き吸引したハンダ
ボールを下向き吸引の状態に転換してからワークに搭載
することを特徴とするハンダボールの搭載方法。
1. A solder ball mounting method for mounting a solder ball sucked in a solder ball stock yard on a work positioned in a mounting yard, wherein the solder ball is dropped and supplied from a supply port arranged in a predetermined pattern. Then, the solder balls are respectively sucked at the suction ports aligned upward from the lower side of the supply port, and then the inside of the supply port is set to a negative pressure so that the remaining solder balls are pulled up. A method of mounting a solder ball, comprising: converting a solder ball that has been drawn into a downward suction state before mounting the work on a work.
【請求項2】 前記ストックヤードと搭載ヤードとの間
にハンダボールの中継ヤードを設定してハンダボールの
仮受け手段を前記ストックヤードと中継ヤードとの間に
往復させると共に、該中継ヤードで前記仮受け手段と面
合するように前記搭載ヤードと中継ヤードとの間にハン
ダボールの搭載手段を往復させ、その各往復運動の間に
前記ストックヤードで位置を規制されて落下するハンダ
ボールを前記仮受け手段の上面で一箇所一個の割合で必
要数吸着したのち中継ヤードで前記搭載手段の下面に再
吸着させてハンダボールを受け渡し、該搭載手段で吸着
したハンダボールを搭載ヤードでワークに搭載すること
を特徴とする請求項1記載のハンダボールの搭載方法。
2. A relay yard for solder balls is set between the stock yard and the mounting yard, and a temporary receiving means for the solder balls is reciprocated between the stock yard and the relay yard. The mounting means of the solder ball is reciprocated between the mounting yard and the relay yard so as to meet the temporary receiving means, and the solder ball whose position is regulated and falls at the stock yard during each reciprocating movement is formed by the solder ball. After the required number of pieces are sucked at a rate of one piece on the upper surface of the temporary receiving means, the solder balls are re-adsorbed to the lower surface of the mounting means in the relay yard, and the solder balls are transferred. 2. The method for mounting a solder ball according to claim 1, wherein:
【請求項3】 ハンダボールのストックヤードで吸着し
たハンダボールを搭載ヤードにて位置決めされたワーク
に搭載するハンダボールの搭載装置において、ハンダボ
ールのストック部下面に所定パターンで穿設された供給
孔から前記ハンダボールを落下供給する供給手段と;前
記ストック部下面に面合しハンダボールを上向き面に吸
着して前記ストックヤードと搭載ヤードとの間に設定し
た中継ヤードまで往復する仮受け手段と;前記中継ヤー
ドで仮受け手段のハンダボールを前記パターンで下向き
面に再吸着して受け取ってから搭載ヤードまで往復し該
搭載ヤードでハンダボールをワークの上向き面に搭載す
る搭載手段と;前記供給手段から仮受け手段にハンダボ
ールを落下供給し仮受け手段の上向き面がそのハンダボ
ールを吸着後に該ハンダボールのストック部内から供給
孔に吸引力を作用させる吸引手段と;を備えたことを特
徴とするハンダボールの搭載装置。
3. A solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball sucked in a solder ball stock yard on a work positioned in a mounting yard, wherein a supply hole formed in a predetermined pattern on a lower surface of the solder ball stock portion. Supply means for dropping and supplying the solder balls from the stock yard; temporary receiving means for meeting the lower surface of the stock portion, adsorbing the solder balls on the upward surface, and reciprocating to a relay yard set between the stock yard and the mounting yard; Loading means for re-adsorbing the solder balls of the temporary receiving means on the downward surface in the relay yard and receiving the solder balls on the downward surface in the relay yard, reciprocating to the mounting yard, and mounting the solder balls on the upward surface of the work in the mounting yard; Means for supplying solder balls from the means to the temporary receiving means, and the upwardly facing surface of the temporary receiving means adsorbs the solder balls. A suction means for applying a suction force to the supply hole from within the stocker portion of the solder ball.
【請求項4】 ハンダボールのストックヤードで吸着し
たハンダボールを搭載ヤードにて位置決めされたワーク
に搭載するハンダボールの搭載装置において、 ハンダボールを一個ずつ挿通可能な大きさの供給孔が底
面側まで所定数穿設されたハンダボールの収納部を有
し、かつ該収納部が前記供給孔内の不要なハンダボール
を該収納部側に引き上げる吸引手段と連通されて前記ス
トックヤードに配置されたストック部と;前記ストック
部の振動手段と;前記ストック部の底面に開口した供給
孔位置と一致する吸引孔が上面側に配置され該吸引孔の
上端がハンダボールを吸着する凹部に形成された仮受け
台と;前記仮受け台の上面に開口した凹部位置と一致す
る吸引孔が下面側に配置され該吸引孔の下端がハンダボ
ールを吸着する凹部に形成された吸着ブロックと;前記
ストック部と仮受け台同士の位置決め手段と;前記仮受
け台の昇降手段および該仮受け台を前記ストックヤード
と該ストックヤードから搭載ヤードまでの途中に設定さ
れた中継ヤードとの間に往復運動させる移行手段と;前
記吸着ブロックの仮受け台およびワークに対する位置決
め昇降手段および前記中継ヤードと搭載ヤードとの間を
往復運動させる移行手段と;を備えたことを特徴とする
ハンダボールの搭載装置。
4. A solder ball mounting apparatus for mounting solder balls sucked in a solder ball stock yard on a work positioned in a mounting yard, wherein a supply hole having a size capable of inserting solder balls one by one is provided on a bottom side. A storage portion for solder balls perforated up to a predetermined number, and the storage portion is disposed in the stock yard in communication with suction means for pulling up unnecessary solder balls in the supply holes to the storage portion side. A stock portion; vibrating means of the stock portion; and a suction hole corresponding to a supply hole position opened on the bottom surface of the stock portion, which is disposed on the upper surface side, and an upper end of the suction hole is formed in a concave portion for attracting a solder ball. A temporary receiving base; a suction hole corresponding to a concave position opened on the upper surface of the temporary receiving base is arranged on a lower surface side; and a lower end of the suction hole is formed in a concave part for attracting a solder ball. Positioning means for positioning the stock portion and the temporary cradle; elevating means for the temporary cradle; and a relay yard set between the stock yard and the mounting yard from the stock yard. And a moving means for reciprocating between the temporary holding table and the work of the suction block and a moving means for reciprocating between the relay yard and the mounting yard. Solder ball mounting device.
【請求項5】 前記ストック部のハンダボール収納部に
酸化防止ガスの供給手段が設けられていることを特徴と
する請求項4記載のハンダボールの搭載装置。
5. The solder ball mounting apparatus according to claim 4, wherein a means for supplying an antioxidant gas is provided in the solder ball storage section of said stock section.
【請求項6】 前記仮受け台の昇降手段に代え前記スト
ック部の昇降手段を設けたことを特徴とする請求項4ま
たは請求項5記載のハンダボールの搭載装置。
6. The solder ball mounting apparatus according to claim 4, further comprising means for raising and lowering said stock portion in place of said means for raising and lowering said temporary holder.
【請求項7】 前記ストック部に静電気の帯電防止手段
を設けたことを特徴とする請求項4ないし請求項6のい
ずれかの項に記載のハンダボールの搭載装置。
7. The solder ball mounting device according to claim 4, wherein said stock portion is provided with means for preventing static electricity from being charged.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000010763A1 (en) * 1998-08-18 2000-03-02 Ibiden Co., Ltd. Method and device for distributing solder balls
JP2011091207A (en) * 2009-10-22 2011-05-06 Fuji Mach Mfg Co Ltd Solder ball aligning/supplying device
KR101332609B1 (en) * 2012-01-13 2013-11-25 주식회사 고려반도체시스템 Solderball positioning method and apparatus using same
US8708215B2 (en) * 2012-05-17 2014-04-29 Samsung Electro-Machanics Co., Ltd. Solder ball supplying apparatus

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