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JPH11173306A - Negative pressure type actuator - Google Patents

Negative pressure type actuator

Info

Publication number
JPH11173306A
JPH11173306A JP34456897A JP34456897A JPH11173306A JP H11173306 A JPH11173306 A JP H11173306A JP 34456897 A JP34456897 A JP 34456897A JP 34456897 A JP34456897 A JP 34456897A JP H11173306 A JPH11173306 A JP H11173306A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
negative pressure
gap
pressure chamber
actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP34456897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuaki Sato
靖昭 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Oozx Inc
Original Assignee
Fuji Oozx Inc
Fuji Valve Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Oozx Inc, Fuji Valve Co Ltd filed Critical Fuji Oozx Inc
Priority to JP34456897A priority Critical patent/JPH11173306A/en
Publication of JPH11173306A publication Critical patent/JPH11173306A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Control Of Throttle Valves Provided In The Intake System Or In The Exhaust System (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Actuator (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the action of atmosphereic pressure on the whole diaphragm though a gap between the diaphragm and a nipping plate, by providing a ringlike sealing member having elastic resiliency toward a nipping member, on close to an outer peripheral end between the contact surfaces of the nipping member on an atmospheric pressure chamber side and the diaphragm. SOLUTION: The action of atmospheric pressure in an atmospheric pressure chamber, on the lower surface center of a diaphragm 3 through a gap 14, can be eliminated because a compressed ringlike sealing part 15 is elastically repelled to be pressure-contacted to the upper surface of a nipping plate 7, even a driving tube 6 is bent upward at the time of the action of an actuator to form the gap 14 between the diaphragm 3 and the plate 7. Consequently the pressure receiving area of the diaphragm 3 can be increased to prevent applying excess pressing force to a driving tube 6, thereby eliminating the more expansion of the gap 14. Resultantly the holding force of the diaphragm 3 can be reduced to eliminate pulling the whole outward also the possibility for concentrating high stress in the vicinity of a center through hole.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば自動車の
排気ブレーキ弁を駆動する際に用いられる負圧式アクチ
ュエータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a negative pressure actuator used for driving, for example, an exhaust brake valve of an automobile.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は、排気ブレーキ弁駆動用の従来の
負圧式アクチュエータを示すもので、下向カップ状の上
部ケーシング(1)の下端の折曲フランジ(1a)には、上向
カップ状の下部ケーシング(2)における上端のフランジ
(2a)が挟着され、両フランジ(1a)(2a)の間には、ゴム製
のダイヤフラム(3)の周縁部が挾持されている。両ケー
シング(1)(2)内は、ダイヤフラム(3)を境にして、負
圧室(4)と常圧室(5)とに仕切られている。
2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a conventional negative pressure type actuator for driving an exhaust brake valve. A lower flange of a lower cup-shaped upper casing (1) has an upward cup. Flange at the upper end of the lower casing (2)
(2a) is clamped, and a peripheral portion of a rubber diaphragm (3) is clamped between the flanges (1a) and (2a). The inside of both casings (1) and (2) is partitioned by a diaphragm (3) into a negative pressure chamber (4) and a normal pressure chamber (5).

【0003】ダイヤフラム(3)の中央部は、両ケーシン
グ(1)(2)より小径かつ有底筒状の、挾持部材を兼ねる
駆動筒(6)と、それと等径の挾持板(7)とをもって上下
より挾圧され、それらの中央を貫通する駆動杆(8)の上
端にナット(9)を螺合することにより、ダイヤフラム
(3)、駆動筒(6)及び挾持板(7)は駆動杆(8)に固定さ
れている。
The central portion of the diaphragm (3) has a driving cylinder (6) having a smaller diameter and a bottomed cylinder than the casings (1) and (2) and also serving as a clamping member, and a clamping plate (7) having the same diameter as the driving cylinder. By screwing a nut (9) to the upper end of a driving rod (8) penetrating through the center of the diaphragm
(3) The drive cylinder (6) and the holding plate (7) are fixed to the drive rod (8).

【0004】ダイヤフラム(3)は、外周部に逆U字状の
折り返し湾曲部(3a)を有するローリング状をなし、湾曲
部(3a)とその内方の筒状部(3b)は、上下のケーシング
(1)(2)の内周面と駆動筒(6)の外周面との間の隙間内
に位置している。
[0004] The diaphragm (3) has a rolling shape having an inverted U-shaped bent portion (3a) on the outer peripheral portion, and the bent portion (3a) and the inner cylindrical portion (3b) are vertically arranged. casing
It is located in a gap between the inner peripheral surface of (1) and (2) and the outer peripheral surface of the drive cylinder (6).

【0005】駆動杆(8)は、下部ケーシング(2)の中央
に穿設した連通孔(10)を貫通し、その下端は、排気管に
設けられた排気ブレーキ弁(図示略)開閉用のレバーに
接続されている。
A drive rod (8) penetrates a communication hole (10) formed in the center of the lower casing (2), and has a lower end for opening and closing an exhaust brake valve (not shown) provided in an exhaust pipe. Connected to lever.

【0006】負圧室(4)内における上部ケーシング(1)
の上面と駆動筒(6)の底面との間には、圧縮コイルばね
(11)が同心的に縮設されており、これにより、駆動筒
(6)は、常時下方に向けて付勢されている。
The upper casing (1) in the negative pressure chamber (4)
A compression coil spring is provided between the upper surface of the
(11) is concentrically contracted, whereby the drive cylinder
(6) is constantly biased downward.

【0007】上部ケーシング(1)の上面適所には、負圧
源に接続された吸引管(12)が、負圧室(4)と連通状に固
着されている。
A suction pipe (12) connected to a negative pressure source is fixedly connected to the negative pressure chamber (4) at an appropriate position on the upper surface of the upper casing (1).

【0008】上部ケーシング(1)内の上面中央には、駆
動杆(8)の上部の上向突出部(8a)の上端が当接すること
により、駆動筒(6)の上限を規制するストッパ(13)が固
着されている。
The upper end of the upper part of the drive rod (8) is in contact with the center of the upper surface in the upper casing (1), thereby stopping the upper end of the drive cylinder (6). 13) is fixed.

【0009】上述した負圧式アクチュエータにおいて、
その負圧室(4)を、吸引管(12)の途中に設けられた切替
弁を操作して、負圧源に連通させると、負圧室(4)が減
圧されることにより、駆動筒(6)は、圧縮コイルばね(1
1)を圧縮しつつ、図4の想像線の位置まで移動させら
れ、駆動杆(8)の上向突出部(8a)の上端がストッパ(13)
に当接して停止する。これにより、駆動杆(8)が引き上
げられ、排気ブレーキ弁が全閉して、自動車は制動され
る。
In the above-described negative pressure type actuator,
When the negative pressure chamber (4) is communicated with a negative pressure source by operating a switching valve provided in the middle of the suction pipe (12), the pressure in the negative pressure chamber (4) is reduced, so that the driving cylinder (6) is a compression coil spring (1
4 is moved to the position of the imaginary line in FIG. 4 while compressing 1), and the upper end of the upward projecting portion (8a) of the driving rod (8) is
Stop in contact with. As a result, the drive rod (8) is raised, the exhaust brake valve is fully closed, and the vehicle is braked.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述のような排気ブレ
ーキ弁駆動用のアクチュエータは、排気管内の比較的大
きな排気圧力(背圧)に抗して弁体を作動させる必要があ
るため、負圧室(4)を大きく減圧して、常圧室(5)との
圧力差を大とし、駆動筒(6)を大きな力で引き上げるよ
うにしている。
The above-described actuator for driving the exhaust brake valve needs to operate the valve body against a relatively large exhaust pressure (back pressure) in the exhaust pipe. The pressure in the chamber (4) is greatly reduced to increase the pressure difference between the normal pressure chamber (5) and the driving cylinder (6) so as to be pulled up by a large force.

【0011】そのため、図5に示すように、ダイヤフラ
ム(3)における湾曲部(3a)には矢印方向の強い差圧が作
用し、この圧力により、ダイヤフラム(3)の中央部を上
方より押さえている駆動筒(6)に、駆動杆(8)との連結
部を中心とする上向きの曲げ荷重が加わる。すると、図
6に拡大して示すように(若干誇張して示す)、駆動筒
(6)が上向きに反り、ダイヤフラム(3)と挾持板(7)と
の間に隙間(14)が形成される。このような隙間(14)が形
成されると、常圧室(5)内の大気圧が、隙間(14)が通し
てダイヤフラム(3)の中央部下面にも作用し、ダイヤフ
ラム(3)の受圧面積が大となって、駆動筒(6)をさらに
上向きに曲げようとする力が働く。その結果、隙間(14)
がさらに大きくなって、ダイヤフラム(3)の保持力が小
さくなり、全体が外方に引張られることにより、中心に
穿設された、駆動杆(8)挿通用の貫通孔付近に応力が集
中して、その部分を損傷させる恐れがある。
For this reason, as shown in FIG. 5, a strong differential pressure acts in the direction of the arrow on the curved portion (3a) of the diaphragm (3), and the central portion of the diaphragm (3) is pressed from above by this pressure. An upward bending load is applied to the drive cylinder (6) that is connected to the drive rod (8). Then, as shown in the enlarged view of FIG.
(6) is warped upward, and a gap (14) is formed between the diaphragm (3) and the holding plate (7). When such a gap (14) is formed, the atmospheric pressure in the normal pressure chamber (5) acts on the lower surface of the central portion of the diaphragm (3) through the gap (14), and the diaphragm (3) The pressure receiving area becomes large, and a force acts to bend the drive cylinder (6) further upward. As a result, the gap (14)
Becomes larger, the holding force of the diaphragm (3) becomes smaller, and the whole is pulled outward, so that stress concentrates in the vicinity of the through hole for the drive rod (8) inserted in the center. And may damage that part.

【0012】この問題を解決するためには、駆動筒(6)
を厚肉とするなどして剛性を高めることも考えられる
が、このようにすると、アクチュエータの小型軽量化が
図れないだけでなく、その応答性も緩慢となるので好ま
しくない。
In order to solve this problem, the drive cylinder (6)
It is conceivable to increase the rigidity by increasing the thickness of the actuator, but this is not preferable because not only the size and weight of the actuator cannot be reduced, but also the response becomes slow.

【0013】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、ダイヤフラムと挾持板との間の隙間を通して、大気
圧がダイヤフラム全体に作用するのを防止し、もって、
ダイヤフラムの耐久性を大幅に向上させうるようにした
負圧式アクチュエータを提供することを目的としてい
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and prevents atmospheric pressure from acting on the entire diaphragm through a gap between the diaphragm and a holding plate.
It is an object of the present invention to provide a negative pressure type actuator capable of greatly improving the durability of a diaphragm.

【0014】[0014]

【課題を解決しようとする手段】本発明によると、上記
課題は、次のようにして解決される。 (1) ケーシング内の空間を、ダイヤフラムにより負圧
室と常圧室とに仕切るとともに、ダイヤフラムの中央部
両面を、駆動杆に連結された挾持部材により保持し、ダ
イヤフラムにおける外周端寄りに作用する差圧により、
前記駆動杆を作動させるようにした負圧式アクチュエー
タにおいて、前記常圧室側の挾持部材とダイヤフラムと
の接触面間における外周端寄りに、挾持部材に向かって
弾性反発力を有する環状のシール部材を設ける。
According to the present invention, the above-mentioned problem is solved as follows. (1) The space in the casing is divided into a negative pressure chamber and a normal pressure chamber by a diaphragm, and both surfaces of the central portion of the diaphragm are held by a holding member connected to a driving rod to act on the outer peripheral end of the diaphragm. Due to the differential pressure,
In the negative pressure type actuator for operating the driving rod, an annular seal member having an elastic repulsive force toward the holding member is provided near an outer peripheral end between a contact surface of the holding member and the diaphragm on the normal pressure chamber side. Provide.

【0015】(2) 上記(1)項において、シール部材
を、負圧室側の挾持部材とダイヤフラムとの接触面間に
も、常圧室側のシール部材と対向するようにして設け
る。
(2) In the above item (1), the sealing member is provided between the contact surface between the holding member on the negative pressure chamber side and the diaphragm so as to face the sealing member on the normal pressure chamber side.

【0016】(3) 上記(1)または(2)項において、シ
ール部材を、径方向に所要寸法離間させて複数設ける。
(3) In the above item (1) or (2), a plurality of seal members are provided at a predetermined distance in the radial direction.

【0017】(4) 上記(1)〜(3)項のいずれかにおい
て、シール部材をダイヤフラムと一体的に形成する。
(4) In any one of the above items (1) to (3), the seal member is formed integrally with the diaphragm.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、図面に
基づいて説明する。なお、アクチュエータそのものは、
従来のものと同一の構成であるため、その全体図は省略
して要部のみを図示するとともに、従来と同一の部材に
は、同じ符号を付すに止どめて、その詳細な説明を省略
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The actuator itself is
Since the configuration is the same as that of the conventional one, the entire view is omitted and only the main part is shown. The same members as those of the conventional one are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. I do.

【0019】図1は、本発明の第1実施例を示すもの
で、ダイヤフラム(3)における駆動筒(6)と挾持板(7)
との間に位置する挾圧部(3c)の外周端寄りの両面には、
駆動筒(6)と挾持板(7)とによる挾圧前において厚さ方
向に膨出する複数(実施例では2本)の環状シール部(15)
(15)が、互いに近接して一体的に形成されている。
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention, in which a driving cylinder (6) and a holding plate (7) in a diaphragm (3) are shown.
On both sides near the outer edge of the clamping part (3c) located between
A plurality (two in this embodiment) of annular seal portions (15) swelling in the thickness direction before being pressed by the drive cylinder (6) and the holding plate (7).
(15) are integrally formed close to each other.

【0020】上記環状シール部(15)は、ダイヤフラム
(3)の取付時において駆動筒(6)と挾持板(7)とにより
弾性的に圧縮される。このような環状シール部(15)を設
けておくと、図2に拡大して示すように、アクチュエー
タの作動時に駆動筒(6)が上向きに反り、ダイヤフラム
(3)と挾持板(7)との間に隙間(14)が形成されても、圧
縮させられていた環状シール部(15)が弾性的に反発し
て、挾持板(7)の上面に圧接するため、従来のように、
隙間(14)を通して常圧室(図示略)の大気圧がダイヤフ
ラム(3)の下面中央に作用することがなくなる。
The annular seal portion (15) includes a diaphragm
At the time of mounting (3), it is elastically compressed by the driving cylinder (6) and the holding plate (7). If such an annular seal portion (15) is provided, as shown in an enlarged view in FIG. 2, the drive cylinder (6) warps upward when the actuator is operated, and the diaphragm
Even if a gap (14) is formed between (3) and the holding plate (7), the compressed annular seal portion (15) rebounds resiliently, so that the upper surface of the holding plate (7) is resilient. To press, as in the past,
The atmospheric pressure in the normal pressure chamber (not shown) does not act on the center of the lower surface of the diaphragm (3) through the gap (14).

【0021】その結果、ダイヤフラム(3)の受圧面積が
大となって、駆動筒(6)に過大な押圧力が加わるのが防
止され、隙間(14)がそれ以上拡がることはない。従って
ダイヤフラム(3)の保持力が小さくなって、全体が外方
に引張られることはなくなり、その中心の貫通孔付近に
大きな応力が集中する恐れもなくなる。
As a result, the pressure receiving area of the diaphragm (3) becomes large, so that an excessive pressing force is prevented from being applied to the driving cylinder (6), and the gap (14) does not further expand. Therefore, the holding force of the diaphragm (3) is reduced, so that the whole is not pulled outward, and there is no possibility that a large stress is concentrated near the center through hole.

【0022】なお、上記環状シール部(15)は、ダイヤフ
ラム(3)の下面のみとしてもよいが、これを上面にも設
けるのは、その部分の弾性反発力を大として、挾持板
(7)への圧接力を大きくし、隙間(14)のシール効果をよ
り高めるためである。また、環状シール部(15)を複数と
するのも、シール性を良好とするためである。
The annular seal portion (15) may be provided only on the lower surface of the diaphragm (3). However, the annular seal portion (15) is provided on the upper surface as well, because the elastic repulsive force of that portion is increased.
This is to increase the pressure contact force to (7) and further enhance the sealing effect of the gap (14). The reason why a plurality of annular seal portions (15) are used is to improve the sealing performance.

【0023】図3は、本発明の第2実施例を示す。この
実施例では、挾持板(7)の外周端部上面に形成した2本
の環状凹溝(16)のそれぞれに、弾性を有するゴム製Oリ
ング状のシール部材(17)(17)の下端面を嵌合し、その上
端面をダイヤフラム(3)の下面に圧接させることによ
り、隙間(14)をシールするようにしてある。この実施例
においても、上述と同様の作用効果を奏しうる。なお、
このようなシール部材(17)を、駆動筒(6)とダイヤフラ
ム(3)との接触面間にも設けてもよい。
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, two annular concave grooves (16) formed on the upper surface of the outer peripheral end of the holding plate (7) are provided under elastic rubber O-ring-shaped sealing members (17) and (17), respectively. The gap (14) is sealed by fitting the end faces and pressing the upper end face against the lower face of the diaphragm (3). In this embodiment, the same operation and effect as described above can be obtained. In addition,
Such a sealing member (17) may be provided between the contact surfaces of the drive cylinder (6) and the diaphragm (3).

【0024】以上説明したように、本発明においては、
ダイヤフラム(3)と挾持板(7)との間に隙間(14)が形成
されても、その隙間(14)は、環状シール部(15)又はシー
ル部材(17)の弾性反発力によりシールされ、大気圧がダ
イヤフラム(3)の下面に作用するのが防止されるので、
駆動筒(6)を厚肉とするなどして、その剛性を高める必
要はなく、アクチュエータ全体の小型軽量化が図れる。
As described above, in the present invention,
Even if a gap (14) is formed between the diaphragm (3) and the holding plate (7), the gap (14) is sealed by the elastic repulsive force of the annular seal portion (15) or the sealing member (17). Since atmospheric pressure is prevented from acting on the lower surface of the diaphragm (3),
It is not necessary to increase the rigidity of the drive cylinder (6), for example, by making it thicker, so that the entire actuator can be reduced in size and weight.

【0025】本発明は、上記負圧式のアクチュエータの
外、常圧室(5)(図4参照)内に圧縮空気を供給して、駆
動杆(8)を作動させるようになっているアクチュエータ
や、折り返し湾曲部(3a)のない通常のダイヤフラムを備
えたアクチュエータにも適用しうる。
According to the present invention, there is provided an actuator which supplies compressed air into the normal pressure chamber (5) (see FIG. 4) in addition to the negative pressure type actuator to operate the driving rod (8). Also, the present invention can be applied to an actuator having a normal diaphragm having no folded portion (3a).

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明によれば、次のような効果が得ら
れる。 (a) ダイヤフラムと挾持板との間に隙間が形成されて
も、その隙間は、シール部材により遮閉され、大気圧が
ダイヤフラム全体に作用するのが防止される。従って、
隙間が過大となり、ダイヤフラムの保持力が小さくなっ
て、それが損傷するのが防止される。
According to the present invention, the following effects can be obtained. (a) Even if a gap is formed between the diaphragm and the holding plate, the gap is blocked by a seal member, thereby preventing atmospheric pressure from acting on the entire diaphragm. Therefore,
The gap is excessive, and the holding force of the diaphragm is reduced, thereby preventing the diaphragm from being damaged.

【0027】(b) 請求項2のようにすると、常圧室側
の挾持部材に対するシール部材の圧接力が増大し、シー
ル効果を高めうる。
(B) According to the second aspect, the pressing force of the sealing member against the holding member on the normal pressure chamber side is increased, and the sealing effect can be enhanced.

【0028】(c) 請求項3のようにすると、シール部
材の挾持板への接触面積が実質的に増大するので、シー
ル効果はより高まる。
(C) According to the third aspect, the contact area of the sealing member with the holding plate is substantially increased, so that the sealing effect is further enhanced.

【0029】(d) 請求項4のようにすると、部品点数
が削減され、製造及び組付けに要するコストが低減され
ので、安価に実施しうる。
(D) According to the fourth aspect, the number of parts is reduced, and the cost required for manufacturing and assembling is reduced, so that it can be implemented at a low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す要部の中央縦断正面
図である。
FIG. 1 is a front view of a central longitudinal section of a main part showing a first embodiment of the present invention.

【図2】同じく、アクチュエータ作動時においてシール
部が隙間を遮閉した状態を示す要部の拡大縦断正面図で
ある。
FIG. 2 is an enlarged vertical sectional front view of a main part showing a state where a seal portion closes a gap when the actuator is operated.

【図3】本発明の第2実施例におけるシール部材が隙間
を遮閉した状態を示す要部の拡大縦断正面図である。
FIG. 3 is an enlarged vertical sectional front view of a main part showing a state in which a gap is closed by a seal member according to a second embodiment of the present invention.

【図4】従来の負圧式アクチュエータの中央縦断正面図
である。
FIG. 4 is a central longitudinal sectional front view of a conventional negative pressure type actuator.

【図5】同じく、アクチュエータ作動時の要部の中央縦
断正面図である。
FIG. 5 is also a longitudinal front view of a central portion of the main part when the actuator is operated.

【図6】同じく、図5における要部の中央縦断正面図で
ある。
FIG. 6 is a front view of the main part in FIG.

【符号説明】[Description of sign]

(1)上部ケーシング (2)下部ケーシング (3)ダイヤフラム (3a)湾曲部 (3c)挾圧部 (4)負圧室 (5)常圧室 (6)駆動筒(挾持部材) (7)挾持板(挾持部材) (8)駆動杆 (9)ナット (10)連通孔 (11)圧縮コイルばね (12)吸引管 (13)ストッパ (14)隙間 (15)シール部 (16)環状凹溝 (17)シール部材 (1) Upper casing (2) Lower casing (3) Diaphragm (3a) Curved section (3c) Clamping section (4) Negative pressure chamber (5) Normal pressure chamber (6) Drive cylinder (clamping member) (7) Clamping Plate (clamping member) (8) Drive rod (9) Nut (10) Communication hole (11) Compression coil spring (12) Suction tube (13) Stopper (14) Clearance (15) Seal (16) Annular groove ( 17) Seal member

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ケーシング内の空間を、ダイヤフラムに
より負圧室と常圧室とに仕切るとともに、ダイヤフラム
の中央部両面を、駆動杆に連結された挾持部材により保
持し、ダイヤフラムにおける外周端寄りに作用する差圧
により、前記駆動杆を作動させるようにした負圧式アク
チュエータにおいて、 前記常圧室側の挾持部材とダイヤフラムとの接触面間に
おける外周端寄りに、挾持部材に向かって弾性反発力を
有する環状のシール部材を設けたことを特徴とする負圧
式アクチュエータ。
1. A space in a casing is partitioned into a negative pressure chamber and a normal pressure chamber by a diaphragm, and both surfaces of a central portion of the diaphragm are held by a holding member connected to a driving rod. In a negative pressure actuator in which the driving rod is actuated by the applied differential pressure, an elastic repulsive force is applied toward the holding member toward an outer peripheral end between a contact surface of the holding member and the diaphragm on the normal pressure chamber side. A negative pressure type actuator provided with an annular seal member having the same.
【請求項2】 シール部材を、負圧室側の挾持部材とダ
イヤフラムとの接触面間にも、常圧室側のシール部材と
対向するようにして設けた請求項1記載の負圧式アクチ
ュエータ。
2. The negative pressure actuator according to claim 1, wherein the sealing member is provided between the holding member on the negative pressure chamber side and the contact surface of the diaphragm so as to face the sealing member on the normal pressure chamber side.
【請求項3】 シール部材を、径方向に所要寸法離間さ
せて複数設けた請求項1または2記載の負圧式アクチュ
エータ。
3. The negative pressure actuator according to claim 1, wherein a plurality of seal members are provided at a predetermined distance in the radial direction.
【請求項4】 シール部材をダイヤフラムと一体的に形
成した請求項1〜3のいずれかに記載の負圧式アクチュ
エータ。
4. The negative pressure actuator according to claim 1, wherein the seal member is formed integrally with the diaphragm.
JP34456897A 1997-12-15 1997-12-15 Negative pressure type actuator Pending JPH11173306A (en)

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JP34456897A JPH11173306A (en) 1997-12-15 1997-12-15 Negative pressure type actuator

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JP34456897A JPH11173306A (en) 1997-12-15 1997-12-15 Negative pressure type actuator

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JP34456897A Pending JPH11173306A (en) 1997-12-15 1997-12-15 Negative pressure type actuator

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JP (1) JPH11173306A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111425611A (en) * 2020-04-26 2020-07-17 湖南贴贴乐家居科技有限公司 Vacuum air valve

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