JPH11170122A - 位置決め制御装置 - Google Patents
位置決め制御装置Info
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- JPH11170122A JPH11170122A JP9344798A JP34479897A JPH11170122A JP H11170122 A JPH11170122 A JP H11170122A JP 9344798 A JP9344798 A JP 9344798A JP 34479897 A JP34479897 A JP 34479897A JP H11170122 A JPH11170122 A JP H11170122A
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- Numerical Control (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
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Abstract
迅速に原点に復帰させ、且つ極低い振動に抑制して停止
させることのできる位置決め制御装置を提供する位置決
め制御装置を提供する。 【解決手段】原点位置に配置した原点センサ11で移動
対象4を検出して検出信号を出力する。サーボドライバ
10は、原点センサ11およびエンコーダ2からの信号
に基づきサーボモータ1を回転制御して、検出信号が入
力した時点で移動対象4の移動速度を所定の高速度から
所定の低速度に減速させたのちに、検出信号とエンコー
ダ2の基準位置信号が共に入力した時点で移動対象4を
停止させる。
Description
子部品を回路基板などに自動的に実装する電子部品実装
機における移動対象を所要位置に位置決め停止させるた
めの位置決め制御装置に関するものである。
対象をサーボモータにより回転駆動されるボールねじに
沿って所要の方向に移動させるとともに、所要位置に位
置決め停止させる位置決め制御装置を備えている。この
位置決め制御装置における移動対象つまりサーボモータ
の位置検出手段としては、絶対位置をカウントにより検
出するアブソリュート型エンコーダと、相対位置をカウ
ントにより検出するインクリメンタル型エンコーダが存
在するが、現在では、信頼性や過去の実績面からインク
リメンタル型エンコーダが主に採用されている。このイ
ンクリメンタル型エンコーダを用いた従来の位置決め制
御装置は、図4に示すような概略構成になっており、以
下に説明する。
出手段に使用したサーボモータ1は、電源投入時に絶対
的な位置を判別できないために、ボールねじ3に沿って
移動される移動対象4を予め基準位置として設定した原
点位置に一旦復帰させたのちに、この原点位置からの相
対位置をエンコーダ2の出力信号をカウントすることに
より検出しながら回転制御される。原点復帰のための構
成要素として、移動対象4が取り付けられて螺合したボ
ールねじ3に沿って移動する移動体7には検出片8が設
けられ、この検出片8を検出する原点センサ11および
減速センサ12が所定位置に配置されている。
位置を設定するよう配置されて原点位置に移動した検出
片8を検出する。減速センサ12は、原点位置の近傍に
所定範囲の減速領域を設定する長さを有して減速領域内
に進入してきた検出片8を検出する。また、ボールねじ
3の両端に対応する位置には、検出片8を検出して移動
対象4の移動範囲を規制するための一対のリミットセン
サ13,14が配置されている。サーボドライバ10
は、コントローラ9からの指令、各センサ11〜14か
らの検出信号およびエンコーダ2の出力信号に基づいて
サーボモータ1の回転を制御する。
点復帰動作について、図5のフローチャートを参照しな
がら説明する。原点復帰動作は、コントローラ9がサー
ボドライバ10に対し移動対象4を所定方向へ移動させ
るよう指令することにより開始され(ステップS1)、
それと同時に、減速センサ12が検出片8を検出してい
るか否か、つまり移動対象4が減速領域内に存在してい
るか否かの判別を行う(ステップS2)。例えば、図4
に図示の状態では移動対象4が減速領域内に位置してい
ないので、サーボドライバ10はサーボモータ1を所定
の高速度で回転するよう加速させて移動対象4を所定方
向へ向け高速移動させる(ステップS3)。
4が検出片8を検出してオンしたか否かを判別し(ステ
ップS4)、オフである場合には、移動対象4が減速領
域に進入して減速センサ12がオンしたか否かの判別を
行う(ステップS6)。いま、移動対象4が図4に図示
の位置から減速領域に対し離間する右方向Rへ移動され
て原点復帰動作を開始した場合には、リミットセンサ1
4がオンしたと判別した時点で(ステップS4)、サー
ボモータ1の回転方向を逆転させて移動対象4の移動方
向を減速領域に向かう左方向Lへ反転させる(ステップ
S5)。それにより、左方向Lへ移動する移動対象4の
検出片8がやがて減速センサ12に検出される(ステッ
プS6)。
減速領域に向かう左方向Lへ移動されて原点復帰動作を
開始した場合には、減速センサ12のオンが判別(ステ
ップS6)されることになる。すなわち、移動対象4が
左右何れの方向に移動されて原点復帰動作を開始した場
合にも必ず減速領域に進入するよう制御される。減速セ
ンサ12がオンすると(ステップS6)、サーボドライ
バ10は、サーボモータ1に対し減速するよう回転制御
する(ステップS7)とともにエンコーダ2の出力信号
に基づき所定の低速度になったと判別(ステップS8)
するまで減速制御を継続する。
1)する時に移動対象4が減速領域に位置していると判
別した場合(ステップS2)には、サーボモータ1を所
定の低速度で回転するよう加速しながら始動させる(ス
テップS9)とともに、エンコーダ2の出力信号に基づ
き所定の低速度になったと判別(ステップS10)する
まで加速制御を継続する。すなわち、既に減速位置に存
在する移動対象4は低速移動によって原点復帰動作を開
始する。
囲外では高速度で移動させ、且つ原点の近傍箇所に進入
した時点で低速度に減速しているのは、この位置決め制
御装置が採用されている電子部品装着機が近年において
特に高速化と極小振動による停止とを要求されているた
めである。すなわち、極小振動による停止を目的として
移動対象4を常に低速度で移動させると、原点復帰まで
に時間がかかり過ぎて高速化を達成できず、逆に、高速
化を目的として移動対象4を高速度のみで移動させる
と、エンコーダ2の基準位置信号の検出が困難となって
原点位置の検索が行えなかったり、高速移動中に瞬時停
止することによる機械的振動が大きいからである。
低速度に減速されて移動対象4が低速移動状態であると
判別した時点で(ステップS8または10)、サーボド
ライバ10はエンコーダ2からの基準位置信号の入力を
監視する原点位置検索処理を開始する(ステップS1
1)。つづいて、移動対象4が減速センサ12がオンと
なる減速領域内に存在しているか否かの判別を行い(ス
テップS12)、減速領域内を移動中である場合には原
点センサ11がオンであるか否かの判別を行い(ステッ
プS13)、原点センサ11がオフである場合には、こ
れ以前に原点センサ11が一度オンしたか否か、つまり
移動対象4が原点位置を通り過ぎてしまったか否かを判
別する(ステップS14)。移動対象4が未だ原点領域
に進入することなく原点センサ11が一度もオンしてい
ない場合には、原点センサ11のオンと上記基準位置信
号の入力とを共に検出する停止条件が成立したか否かの
判別を行う(ステップS15)。停止条件が成立しなか
った場合には、ステップS11にリターンして、原点セ
ンサ11のオンを判別(ステップS13)して上述の停
止条件が成立するまで同様の処理を繰り返し、停止条件
が成立した時点でサーボドライバ10がサーボモータ1
を停止させる(ステップS16)。
11)したのちに、移動対象4が加速によって減速領域
の範囲外に飛び出したと判別した場合(ステップS1
2)には、サーボモータ1の回転方向を逆転させて移動
対象4の移動方向を減速領域に戻すよう反転させる(ス
テップS17)。さらに、原点センサ11が以前に一度
オンしている場合には、移動対象4が減速領域に進入し
たのちに原点位置を通過してしまっているので、サーボ
モータ1の回転方向を逆転させて移動対象4の移動方向
を原点位置に向け反転させる(ステップS17)。
1がオンとなった判別の回数を1回に設定しており、原
点センサ11が2回以上オンとなった場合には、原点セ
ンサ11の取付状態の不良またはエンコーダ2における
基準位置信号の異常などのトラブルが発生したことが考
えられるので、サーボドライバ10がコントローラ9に
対しエラー発生を伝達する。
決め制御装置が用いられている電子部品実装機では、近
年の高機能化および多機能化に伴い多くのサーボモータ
1が搭載されて多軸化が促進されており、各サーボモー
タ1毎に上述のような位置決め制御装置を必要とする。
これに対し、上記のインクリメンタル型エンコーダ2を
備えるサーボモータ1を用いた位置決め制御装置は、電
源投入時に移動対象4を高速度で原点位置に向け移動さ
せて極く低い振動で停止させる目的を達成するために、
原点位置の検出に必要な原点センサ11、高速度から低
速度に減速させるための減速センサ12および移動対象
4の移動範囲を規制するための一対のリミットセンサ1
3,14の計4個のセンサを最小限必要とする。
タ1に対し個々に最低4個のセンサ11〜14を必要と
するから、配線数が多くなって配線の引回しが複雑化
し、配線作業や機構動作の調整などに多くの工数を要し
てコスト高となる。さらに、配線引回しの複雑化に伴っ
て断線が発生し易く、また、センサ11〜14の数が多
くなるのに伴って必然的にセンサ故障の発生の頻度が高
くなるため、信頼性が低下して稼働率も低下する問題が
ある。
方向に移動されて原点復帰動作が開始された場合には、
この移動対象4を移動規制範囲の端部までの比較的長い
距離を一旦移動させたのちにリミットセンサ13または
14のオンにより移動方向を反転させるようになってい
るので、移動対象4の無駄な移動が多い。それに加え
て、移動対象4が原点位置の近傍まで移動して減速セン
サ12がオンした時点で移動速度を低速度に減速してし
まうため、移動対象4を原点位置に復帰させるのに時間
を要し、高速化の達成を阻害している。
がらも移動対象を可及的迅速に原点位置に復帰させ、且
つ極く低い振動に抑制して停止させることのできる位置
決め制御装置を提供することを目的とするものである。
に、本発明は、インクリメンタル型エンコーダを備えた
サーボモータを駆動源とし、このサーボモータの回転に
より移動される移動対象を位置決め制御動作に先立って
所定の原点位置に一旦復帰させる位置決め制御装置にお
いて、前記原点位置に配置されて前記移動対象の検出信
号を出力する原点センサと、 前記原点センサおよび前
記エンコーダからの信号に基づき前記サーボモータを回
転制御するサーボドライバとを備え、前記サーボドライ
バは、前記検出信号が入力した時点で前記移動対象の移
動速度を所定の高速度から所定の低速度に減速させたの
ちに、前記検出信号と前記エンコーダの基準位置信号が
共に入力した時点で前記移動対象を停止させるように前
記サーボモータを回転制御する構成になっている。
センサに検出される原点領域に進入するまで高速度で移
動させるので、従来装置のように原点領域に達する以前
に減速センサで移動対象を検出した時点で予め低速度に
減速する場合に比較して、原点復帰動作に要する時間を
短縮して高速化を図ることができるとともに、減速セン
サを削除しながらも移動対象を極く低い振動に抑制して
原点位置に支障なく復帰させることができる。したがっ
て、減速センサを削除できる分だけ省配線化を達成で
き、コストダウンと信頼性の向上を図れる。
動対象を常に所定方向へ移動させることにより原点復帰
動作を開始したのちに、原点センサから前記移動対象の
検出信号が入力されることなく前記移動対象が始動時か
ら前記所定方向へ所定距離だけ移動したのをエンコーダ
の出力信号に基づき検出したときに、前記移動対象の移
動方向を反転させるようにサーボモータを回転制御する
よう構成され、前記原点センサは、前記移動対象の原点
復帰動作時以外の位置決め制御動作時の移動規制範囲内
における前記所定方向とは反対側の一端部の近傍位置に
配置され、前記所定距離は、前記移動規制範囲内におけ
る前記一端部から前記原点センサまでの距離に合致する
よう設定され、前記移動対象の原点復帰動作時のみ移動
可能な移動可能範囲が、前記移動規制範囲に対し前記所
定方向側にさらに前記所定距離だけ延長して設定された
構成とすることが好ましい。
動させることにより原点復帰動作を開始するが、移動対
象が原点位置から離間する方向へ向け移動された場合に
は、始動時から所定距離だけ移動された時点で移動方向
を反転させて原点位置に向かわせるので、従来装置にお
ける減速センサを削除できるのに加えて一対のリミット
センサをも削除することができる。したがって、センサ
は原点センサ1個のみとなってさらに省配線化を達成で
き、大幅なコストダウンと信頼性の一層の向上を図れ
る。
移動規制範囲の一端部に位置していた場合、移動対象が
所定距離だけ移動された時点で原点センサに検出される
から、移動対象が原点センサに検出される以前に所定方
向へ所定距離だけ移動されて反転されてしまうのを阻止
できる範囲で所定距離を可及的に小さく設定でき、移動
対象の無駄な移動を最小限に抑えて原点復帰動作時を要
する時間を一層短縮することができる。さらに、原点復
帰動作の開始時に移動対象が移動規制範囲における所定
方向側の端部に位置していた場合には、移動対象を所定
方向に向け移動させて所定距離だけ移動した時点で反転
させるので、移動対象の原点復帰動作を支障なく行え
る。
態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は本
発明の一実施の形態に係る位置決め制御装置を示す概略
構成図で、同図において、図4と同一若しくは同等のも
のには同一の符号を付してあり、図4の構成に比較し
て、減速センサ12および一対のリミットセンサ13,
14を共に削除して、センサは原点センサ11のみと
し、サーボドライバ10がコントローラ9からの指令、
原点センサ11からの検出信号およびエンコーダ2の出
力信号に基づいてサーボモータ1の回転を制御する点に
おいて相違する。
に設定している。すなわち、移動対象4の原点復帰動作
時を除く移動対象4の通常の移動規制範囲L3を、従来
装置におけるリミットセンサを削除したことからエンコ
ーダ2からの信号に基づきソフトウエア的に設定し、こ
の移動規制範囲L3内における一方(この実施の形態で
は左方)寄りの任意の位置に、電源投入時に移動対象4
を一旦復帰させるための原点位置を原点センサ11の配
置により設定する。移動規制範囲L3における原点位置
から短い方の距離をL1、長い方向の距離をL2とする
と、移動対象4の原点復帰動作時のみ移動可能な移動可
能範囲L4は、移動規制範囲L3に対し長い方の距離L
2側に短い方の距離L1分をさらに延長した長さに設定
されている。そして、原点復帰動作は移動対象4を常に
右方向Rへ移動させることにより開始し、右方向への移
動距離が上記の距離L1以上になった時点で移動対象4
の移動方向を左方向へ反転させるように設定されてい
る。
点復帰動作について、図3のフローチャートを参照しな
がら説明する。原点復帰動作は電源投入により開始さ
れ、先ず、移動対象4が原点領域内に存在して原点セン
サ11がオンしているか否かの判別を行う(ステップS
21)。原点センサ11がオフして移動対象4が原点領
域の外部に存在していると判別した場合には、移動対象
4を予め設定された所定方向に向けて所定の高速度で移
動させるようサーボモータ1の回転を所定の高速度に加
速する回転制御を行う(ステップS22)。この実施の
形態では、移動対象4を移動規制範囲L3における原点
位置に対し距離が長い方向、つまり右方向Rへ移動させ
て原点復帰動作を行うよう設定されている。
が移動を開始した時点からエンコーダ2の出力信号を取
り込んでカウントすることにより、移動対象4の電源投
入時点での位置を基準として原点復帰開始時から移動し
た相対移動距離Dを検出し(ステップS23)、さら
に、その検出した相対移動距離Dが上記の距離L1を越
えたか否かを判別する(ステップS24)。相対移動距
離Dが距離L1を越えたと判別した場合には、サーボモ
ータ1の回転方向を逆転させて移動対象4の移動方向を
反転させ(ステップS25)たのちに原点センサ11が
オンになったか否かを判別し(ステップS26)、相対
移動距離が距離L1を越えない場合にはそのまま原点セ
ンサ11がオンになったか否かを判別し(ステップS2
6)、原点センサ11がオンになったと判別するまでス
テップS23〜S26のルーチンの処理を繰り返す。
処理について具体的に説明する。電源投入により原点復
帰動作を開始する時に、移動対象4が移動規制範囲L3
内における原点位置から短い方の距離L1の領域内、例
えば図2のA点に停止していた場合、原点復帰動作が常
に右方向Rへの移動により開始するよう設定されている
から、移動開始してからの相対移動距離がL1に達する
以前に必ず原点センサ11に検出される(ステップS2
6)原点領域内に進入する。また、移動対象4が右方向
Rへ移動したときに移動方向を反転させるための判別基
準として距離L1を設定しているのは以下の理由によ
る。例えば、移動対象4が図2の左端のF点に位置して
いた場合、この移動対象4が右方向Rへ距離L1だけ移
動した時点で原点センサ11に必ず検出されて、移動方
向を左方向Lへ反転されることがない。すなわち、上記
の所定距離L1は、移動対象4が原点センサ11の左方
領域において右方向Rへ移動中において原点センサ11
に検出される以前に移動方向を反転されない範囲内で最
も小さい値であり、原点復帰動作時の移動対象4の無駄
な移動を可及的に省いている。
範囲L3内における原点位置から長い方の距離L2の領
域内、例えば図2のB点に停止していた場合、移動対象
4がB点から右方向Rへ移動し続けても原点センサ11
に検出されることがないので、B点から右方向Rへの相
対移動距離がL1を越えたのを判別した時点(ステップ
S24)で移動対象4の移動方向を原点位置に向かうよ
うに反転(ステップS25)して左方向Lへ向け移動さ
せ、原点センサ11に検出される(ステップS26)。
範囲L3における右端(図2のC点)に位置していた場
合、移動対象4のC点から右方向への相対移動距離がL
1を越えたのを判別した時点(ステップS24)で移動
方向を反転(ステップS25)して左方向へ向け移動さ
れ、原点センサ11に検出される(ステップS26)。
源投入時における移動対象4の移動規制範囲L3内にお
ける存在位置に拘わらず必ず所定方向(この実施形態で
は右方向R)へ向け移動させて移動対象4の原点復帰動
作を開始し、原点位置に対し離間方向つまり右方向Rへ
移動する場合には所定距離L1だけ移動した時点で移動
方向を反転させている。これにより、従来のリミットセ
ンサを用いることなく移動対象4の移動を機械的に支障
の生じない移動可能範囲L4内に限定することができる
だけでなく、従来のように移動規制範囲L3の端部まで
一旦移動させたのちに移動方向を反転させる場合に比較
して、移動対象4が所定距離L1だけ移動した時点で移
動方向を反転させることにより移動対象4の無駄な移動
を省くことができ、原点復帰動作の開始時から原点領域
に迅速に進入させることができる。したがって、所定距
離L1を可及的に小さく、つまり原点位置を移動規制範
囲L3の一端部この場合は左端)に可及的に近接した位
置に設定すれば、原点復帰に要する時間をさらに短縮す
ることができる。
進入して原点センサ11がオンしたのを判別すると(ス
テップS26)、サーボドライバ10は、サーボモータ
1に対し減速するよう回転制御する(ステップS27)
とともにエンコーダ2からの信号により所定の低速度に
なったと判別(ステップS28)するまで減速制御を継
続する。このように原点センサ11がオンした時点で始
めて移動対象4の移動速度を低速度に減速するので、従
来のように移動対象4が原点領域の近傍まで移動した時
点での減速センサのオンにより低速度に減速する場合に
比較して移動対象4を迅速に原点領域に進入させること
が可能となる。これは、上述のように移動対象4の無駄
な移動を省いて原点領域に進入するときの移動対象4の
加速を低減していることによって可能になっている。
速度回転となって移動対象4が低速度移動であると判別
したのちに、移動対象4が原点センサ11がオンとなる
原点領域内に止まっているか否かを判別する(ステップ
S29)。これは、高速度で移動中の移動対象4を原点
センサ11がオンとなった時点ではじめて低速度に減速
するので、移動対象4が加速により原点領域を飛び出し
ている可能性が高いためである。移動対象4が加速によ
って原点領域の範囲外に飛び出したと判別した場合(ス
テップS29)には、サーボモータ1の回転方向を逆転
させて移動対象4の移動方向を反転させて(ステップS
30)、移動対象4を再び原点領域に向かわせる。
11のオンにより移動対象4が原点領域に存在している
と判別(ステップS21)した場合には、移動対象4を
右方向Rへ向けて所定の低速度で移動するようサーボモ
ータ1の回転を加速して始動させるとともに(ステップ
S31)エンコーダ2からの信号により所定の低速度に
なったと判別(ステップS32)するまで回転制御を継
続する。
4が原点領域内に進入して低速度で移動していると判別
したのちに、エンコーダ2からの基準位置信号の入力を
監視する原点位置の検索処理を開始する(ステップS3
3)。そののちに、移動対象4が原点領域内に止まって
いるか、或いは反転して原点領域に進入したか否かの判
別を行う(ステップS34)。原点センサ11がオフで
ある場合には、原点位置の検索処理を開始したのに原点
センサ11が1度オンしたことがあるか否かを判別する
(ステップS35)。
1のオンと上記基準位置信号の入力とを同時に検出する
停止条件が成立したか否かの判別を行う(ステップS3
6)が、ここでは停止条件が成立しないので、ステップ
33にリターンして原点センサ11のオンを判別(ステ
ップS34)したのちに停止条件が成立したと判別(ス
テップS36)するまで同様の処理を繰り返す。停止条
件が成立した時点でサーボドライバ10がサーボモータ
1を停止させる(ステップS37)。この位置決め制御
装置では、従来装置のような減速領域を設定していない
が、移動対象4が原点領域に進入した時点で低速度に減
速するので、基準位置信号を支障なく検出できる。
処理の開始後に加速によって原点領域を通過して原点領
域の範囲外に飛び出した場合には、原点センサ11のオ
フを判別(ステップS34)したのちに原点センサ11
が一度オンしているのを判別(ステップS35)した時
点で、サーボモータ1の回転方向を逆転させて移動対象
4の移動方向を反転させる(ステップS38)。これに
より、迅速に停止条件を成立させて移動対象4を原点位
置に停止させることができる。
によれば、移動対象を原点センサに検出される原点領域
に進入するまで高速度で移動させる構成としたので、従
来装置のように原点領域に達する以前に減速センサで移
動対象を検出した時点で予め低速度に減速する場合に比
較して、原点復帰動作に要する時間を短縮して高速化を
図ることができるとともに、減速センサを削除しながら
も移動対象を極く低い振動に抑制して原点位置に支障な
く復帰させることができるから、減速センサを削除でき
る分だけ省配線化を達成でき、コストダウンと信頼性の
向上を図れる。
を示す概略構成図。
および原点位置の関係を示す説明図。
すフローチャート。
すフローチャート。
Claims (2)
- 【請求項1】 インクリメンタル型エンコーダを備えた
サーボモータを駆動源とし、このサーボモータの回転に
より移動される移動対象を位置決め制御動作に先立って
所定の原点位置に一旦復帰させる位置決め制御装置にお
いて、 前記原点位置に配置されて前記移動対象の検出信号を出
力する原点センサと、 前記原点センサおよび前記エンコーダからの信号に基づ
き前記サーボモータを回転制御するサーボドライバとを
備え、 前記サーボドライバは、前記検出信号が入力した時点で
前記移動対象の移動速度を所定の高速度から所定の低速
度に減速させたのちに、前記検出信号と前記エンコーダ
の基準位置信号が共に入力した時点で前記移動対象を停
止させるように前記サーボモータを回転制御することを
特徴とする位置決め制御装置。 - 【請求項2】 サーボドライバは、移動対象を常に所定
方向へ移動させることにより原点復帰動作を開始したの
ちに、原点センサから前記移動対象の検出信号が入力さ
れることなく前記移動対象が始動時から前記所定方向へ
所定距離だけ移動したのをエンコーダの出力信号に基づ
き検出したときに、前記移動対象の移動方向を反転させ
るようにサーボモータを回転制御するよう構成され、 前記原点センサは、前記移動対象の原点復帰動作時以外
の位置決め制御動作時の移動規制範囲内における前記所
定方向とは反対側の一端部の近傍位置に配置され、 前記所定距離は、前記移動規制範囲内における前記一端
部から前記原点センサまでの距離に合致するよう設定さ
れ、 前記移動対象の原点復帰動作時のみ移動可能な移動可能
範囲が、前記移動規制範囲に対し前記所定方向側にさら
に前記所定距離だけ延長して設定されている請求項1に
記載の位置決め制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34479897A JP4011702B2 (ja) | 1997-12-15 | 1997-12-15 | 位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34479897A JP4011702B2 (ja) | 1997-12-15 | 1997-12-15 | 位置決め制御装置 |
Publications (2)
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---|---|
JPH11170122A true JPH11170122A (ja) | 1999-06-29 |
JP4011702B2 JP4011702B2 (ja) | 2007-11-21 |
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ID=18372078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP34479897A Expired - Fee Related JP4011702B2 (ja) | 1997-12-15 | 1997-12-15 | 位置決め制御装置 |
Country Status (1)
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