JPH1068759A - 吸着物検知装置、該装置を用いた吸着物検知方法、該装置を用いた位置ずれ検知方法、および該装置を用いた清掃方法 - Google Patents
吸着物検知装置、該装置を用いた吸着物検知方法、該装置を用いた位置ずれ検知方法、および該装置を用いた清掃方法Info
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- JPH1068759A JPH1068759A JP13372497A JP13372497A JPH1068759A JP H1068759 A JPH1068759 A JP H1068759A JP 13372497 A JP13372497 A JP 13372497A JP 13372497 A JP13372497 A JP 13372497A JP H1068759 A JPH1068759 A JP H1068759A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スループットにすぐれ、確実に吸着物の有無
が検知でき、しかも省スペースで構成が簡単な吸着物検
知装置等を提供する。 【解決手段】 この装置は、ノズル穴で吸着物１１を真
空吸着して水平及び垂直の方向に搬送するための吸着搬
送アーム１２を備えている。ステージ１３の、吸着物１
１が置かれる部分の裏側には、上向きの発光センサ１４
が配置されている。その吸着物１１が置かれる部分には
発光センサ１４の上向きの光線を遮らないような貫通穴
が開けられている。一方、吸着搬送アーム１２のノズル
穴の奥には、発光センサ１４からの光線を受光するため
の下向きの受光センサ１５が配置されている。
が検知でき、しかも省スペースで構成が簡単な吸着物検
知装置等を提供する。 【解決手段】 この装置は、ノズル穴で吸着物１１を真
空吸着して水平及び垂直の方向に搬送するための吸着搬
送アーム１２を備えている。ステージ１３の、吸着物１
１が置かれる部分の裏側には、上向きの発光センサ１４
が配置されている。その吸着物１１が置かれる部分には
発光センサ１４の上向きの光線を遮らないような貫通穴
が開けられている。一方、吸着搬送アーム１２のノズル
穴の奥には、発光センサ１４からの光線を受光するため
の下向きの受光センサ１５が配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸着物の有無を検
知できる吸着物検知装置および方法に関し、特に吸着搬
送ア−ムを有するＩＣテストハンドラーに適した吸着物
検知装置および方法に関する。
知できる吸着物検知装置および方法に関し、特に吸着搬
送ア−ムを有するＩＣテストハンドラーに適した吸着物
検知装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、吸着搬送アームによって搬送され
る吸着物の検知は、例えば圧力センサや透過型センサな
どを用いて行なわれている。
る吸着物の検知は、例えば圧力センサや透過型センサな
どを用いて行なわれている。
【０００３】そこで、圧力センサを用いた吸着物検知装
置を図１の（ａ）及び（ｂ）に、透過型センサを用いた
吸着物検知装置を図２に示し、それぞれの構成及び動作
を以下に説明する。
置を図１の（ａ）及び（ｂ）に、透過型センサを用いた
吸着物検知装置を図２に示し、それぞれの構成及び動作
を以下に説明する。
【０００４】図１に示される装置は、吸引口を有する水
平方向や垂直方向に移動可能なアーム２を備え、アーム
２の吸引口周辺の空気を圧力センサ３を経て真空源又は
負圧源（不図示）に引き込むように配管した構成であ
る。この装置では、吸着物１が置かれるはずの場所にア
ーム２が下降された際に、圧力センサ３により吸着物１
の有無が判断される。つまり、アーム２が下降した際に
吸着物１が無いときはアーム２の吸引口はリーク状態の
ままなので、圧力センサ３で圧力の低下が検知されず、
吸着物１が有るときはアーム２でのリークは無く、圧力
センサ３で圧力の低下が検知される事から、吸着物１の
有無が判断できる。
平方向や垂直方向に移動可能なアーム２を備え、アーム
２の吸引口周辺の空気を圧力センサ３を経て真空源又は
負圧源（不図示）に引き込むように配管した構成であ
る。この装置では、吸着物１が置かれるはずの場所にア
ーム２が下降された際に、圧力センサ３により吸着物１
の有無が判断される。つまり、アーム２が下降した際に
吸着物１が無いときはアーム２の吸引口はリーク状態の
ままなので、圧力センサ３で圧力の低下が検知されず、
吸着物１が有るときはアーム２でのリークは無く、圧力
センサ３で圧力の低下が検知される事から、吸着物１の
有無が判断できる。
【０００５】また、図２に示される装置は、吸着物１が
置かれるはずの場所に透過型センサを配置したものであ
る。この透過型センサーは、吸着物１が置かれるはずの
場所を横及び斜め方向から横切るような光線を、一対の
発光センサ４及び受光センサ５で形成している。このよ
うな装置では、透過型センサの一対の発光部４及び受光
部５で形成される光線を吸着物１が遮ることで、吸着物
１の有無が判断できる。
置かれるはずの場所に透過型センサを配置したものであ
る。この透過型センサーは、吸着物１が置かれるはずの
場所を横及び斜め方向から横切るような光線を、一対の
発光センサ４及び受光センサ５で形成している。このよ
うな装置では、透過型センサの一対の発光部４及び受光
部５で形成される光線を吸着物１が遮ることで、吸着物
１の有無が判断できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１に
示すような装置においては、吸着物の置かれる場所にア
ームを下降させないと吸着物の有無の判断ができない。
また、圧力センサの調整ミスにより吸着物が吸着されて
いなくても吸着物が有るという誤判断をすることがある
という問題点がある。
示すような装置においては、吸着物の置かれる場所にア
ームを下降させないと吸着物の有無の判断ができない。
また、圧力センサの調整ミスにより吸着物が吸着されて
いなくても吸着物が有るという誤判断をすることがある
という問題点がある。
【０００７】一方、図２に示すような装置は、吸着物の
横及び斜め方向にセンサを取り付けることが不可能な時
は使用できない。また、多数の吸着ポイントにおいて吸
着物の有無を判別する場合は、多数個のセンサが必要に
なるという問題点がある。
横及び斜め方向にセンサを取り付けることが不可能な時
は使用できない。また、多数の吸着ポイントにおいて吸
着物の有無を判別する場合は、多数個のセンサが必要に
なるという問題点がある。
【０００８】本発明の目的は、上記の従来技術の構成に
比べ、スループットにすぐれ、確実に吸着物の有無が検
知でき、しかも省スペースで構成が簡単な吸着物検知装
置および方法を提供することにある。
比べ、スループットにすぐれ、確実に吸着物の有無が検
知でき、しかも省スペースで構成が簡単な吸着物検知装
置および方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬送ア
ームによって吸着搬送される吸着物がステージの所定の
場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装置を
前提としている。そして第１の発明は次のような構成を
特徴とする。すなわち、前記吸着搬送アームに、前記ス
テージ側に向いて開口していると共に真空源又は負圧源
に通じているノズル穴が形成されている。前記所定の場
所の裏側もしくは前記吸着搬送アームのいずれか一方に
発光素子が配置されている。前記所定の場所には前記発
光素子からの光線を遮らないような貫通穴が形成されて
いる。そして、前記発光素子が配置されていない、前記
所定の場所の裏側もしくは前記吸着搬送アームに、前記
発光素子からの光線を受光するための受光素子が配置さ
れている。特に、前記発光素子もしくは受光素子は前記
吸着搬送アームのノズル穴の奥に配置されていることが
好ましい。
に本発明は、垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬送ア
ームによって吸着搬送される吸着物がステージの所定の
場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装置を
前提としている。そして第１の発明は次のような構成を
特徴とする。すなわち、前記吸着搬送アームに、前記ス
テージ側に向いて開口していると共に真空源又は負圧源
に通じているノズル穴が形成されている。前記所定の場
所の裏側もしくは前記吸着搬送アームのいずれか一方に
発光素子が配置されている。前記所定の場所には前記発
光素子からの光線を遮らないような貫通穴が形成されて
いる。そして、前記発光素子が配置されていない、前記
所定の場所の裏側もしくは前記吸着搬送アームに、前記
発光素子からの光線を受光するための受光素子が配置さ
れている。特に、前記発光素子もしくは受光素子は前記
吸着搬送アームのノズル穴の奥に配置されていることが
好ましい。
【００１０】また、第２の発明は次のような構成を特徴
とする。すなわち、前記所定の場所の表面もしくは前記
吸着搬送アームのいずれか一方に反射物が配置されてい
る。そして、前記反射物が配置されていない、前記所定
の場所の表面もしくは前記吸着搬送アームに、発光素子
及び、該発光素子からの光線を前記反射物を介して受光
するための受光素子が配置されている。特に、前記発光
素子及び受光素子の組、または前記反射物は、前記吸着
搬送アームのノズル穴の奥に配置されていることが好ま
しい。
とする。すなわち、前記所定の場所の表面もしくは前記
吸着搬送アームのいずれか一方に反射物が配置されてい
る。そして、前記反射物が配置されていない、前記所定
の場所の表面もしくは前記吸着搬送アームに、発光素子
及び、該発光素子からの光線を前記反射物を介して受光
するための受光素子が配置されている。特に、前記発光
素子及び受光素子の組、または前記反射物は、前記吸着
搬送アームのノズル穴の奥に配置されていることが好ま
しい。
【００１１】これらの装置において、前記吸着ノズル穴
の奥に配置された発光素子もしくは受光素子、または反
射物もしくは発光素子と受光素子の組を含む、前記吸着
搬送アームの上部は、光ファイバーを介して前記吸着搬
送アームから独立したセンサーユニットに成っていても
よい。あるいは、前記吸着搬送アームから独立したセン
サーユニットは前記所定の場所と相対する位置に固定さ
れ、前記吸着搬送アームは発光素子からの光線が通過可
能な構造であってもよい。
の奥に配置された発光素子もしくは受光素子、または反
射物もしくは発光素子と受光素子の組を含む、前記吸着
搬送アームの上部は、光ファイバーを介して前記吸着搬
送アームから独立したセンサーユニットに成っていても
よい。あるいは、前記吸着搬送アームから独立したセン
サーユニットは前記所定の場所と相対する位置に固定さ
れ、前記吸着搬送アームは発光素子からの光線が通過可
能な構造であってもよい。
【００１２】また第３の発明は、上記の第１または第２
の発明に係る装置による吸着物検知方法であって、前記
吸着搬送アームを前記所定の場所の上方に移動させたと
き、前記受光素子が受光していない場合に吸着物有りと
判断し、受光している場合には吸着物無しと判断するこ
とを特徴とする。
の発明に係る装置による吸着物検知方法であって、前記
吸着搬送アームを前記所定の場所の上方に移動させたと
き、前記受光素子が受光していない場合に吸着物有りと
判断し、受光している場合には吸着物無しと判断するこ
とを特徴とする。
【００１３】この方法においては、前記吸着搬送アーム
のノズル穴から真空源又は負圧源までの真空ライン中に
圧力センサを設け、前記受光素子により吸着物有りと判
断した後、前記吸着搬送アームを前記所定の場所に下移
動して吸引動作させ、前記圧力センサで吸着物の有り無
しを再度確認することがより好ましい。
のノズル穴から真空源又は負圧源までの真空ライン中に
圧力センサを設け、前記受光素子により吸着物有りと判
断した後、前記吸着搬送アームを前記所定の場所に下移
動して吸引動作させ、前記圧力センサで吸着物の有り無
しを再度確認することがより好ましい。
【００１４】また第４の発明は、上記の第１または第２
の発明に係る装置を用いて吸着搬送アームの位置ずれを
検出する方法であって、前記所定の場所に吸着物が無い
状態で、基準位置から前記所定の場所の上方に前記吸着
搬送アームを移動させた時に、前記発光素子からの光線
を前記受光素子が受光しない場合、前記所定の場所に対
して前記吸着搬送アームの位置がずれていると判断する
ことを特徴とする。この場合、前記所定の場所に対して
前記吸着搬送アームの位置がずれていると判断した後、
前記発光素子からの光線を前記受光素子が受光するまで
前記吸着搬送アームを任意の方向に水平移動させ、前記
受光素子が受光した時の、前記吸着搬送アームの移動手
段により認識される位置座標に基づいて、前記吸着搬送
アームを前記所定の場所の上方に移動させるときの位置
座標を補正することがより好ましい。
の発明に係る装置を用いて吸着搬送アームの位置ずれを
検出する方法であって、前記所定の場所に吸着物が無い
状態で、基準位置から前記所定の場所の上方に前記吸着
搬送アームを移動させた時に、前記発光素子からの光線
を前記受光素子が受光しない場合、前記所定の場所に対
して前記吸着搬送アームの位置がずれていると判断する
ことを特徴とする。この場合、前記所定の場所に対して
前記吸着搬送アームの位置がずれていると判断した後、
前記発光素子からの光線を前記受光素子が受光するまで
前記吸着搬送アームを任意の方向に水平移動させ、前記
受光素子が受光した時の、前記吸着搬送アームの移動手
段により認識される位置座標に基づいて、前記吸着搬送
アームを前記所定の場所の上方に移動させるときの位置
座標を補正することがより好ましい。
【００１５】また第５の発明は、上記の第１または第２
の発明に係る装置による清掃方法であって、前記吸着搬
送アームのノズル穴から真空源又は負圧源までの真空ラ
インに正圧エアーを供給して、前記所定の場所に向けて
前記ノズル穴よりエアーを吹き付けることも特徴とす
る。 また第６の発明は、前記所定の場所に近接センサ
が配置されている吸着物検知装置であることを特徴とす
る。
の発明に係る装置による清掃方法であって、前記吸着搬
送アームのノズル穴から真空源又は負圧源までの真空ラ
インに正圧エアーを供給して、前記所定の場所に向けて
前記ノズル穴よりエアーを吹き付けることも特徴とす
る。 また第６の発明は、前記所定の場所に近接センサ
が配置されている吸着物検知装置であることを特徴とす
る。
【００１６】また第７の発明は、前記吸着搬送アーム
に、相対する方向に在る対象物までの距離を測定する距
離検出手段が配置されている吸着物検知装置であること
を特徴とする。そして、この装置による吸着物検知方法
は、前記対象物が前記吸着物である場合と前記ステージ
である場合とで前記距離検出手段による検出距離が異な
ることにより前記吸着物の有無を判断するとともに、前
記距離検出手段により前記吸着搬送アームの下降距離も
認識することを特徴とする。
に、相対する方向に在る対象物までの距離を測定する距
離検出手段が配置されている吸着物検知装置であること
を特徴とする。そして、この装置による吸着物検知方法
は、前記対象物が前記吸着物である場合と前記ステージ
である場合とで前記距離検出手段による検出距離が異な
ることにより前記吸着物の有無を判断するとともに、前
記距離検出手段により前記吸着搬送アームの下降距離も
認識することを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１８】図３は本発明の吸着物検知装置及び方法の
一実施形態を表す模式的断面図である。この図に示す形
態の装置は、吸着物１１を吸着して水平及び垂直の方向
に搬送するための吸着搬送アーム１２を備えている。具
体的には、前記アーム１２は下側に向けて開口するノズ
ル穴を有する。前記アーム１２の側部には前記ノズル穴
の空気を真空源又は負圧源（不図示）へと引き出すため
の引出口が配設されている。そして、真空源又は負圧源
の作動により前記ノズル穴の開口端で吸着物１が吸着可
能になっている。
一実施形態を表す模式的断面図である。この図に示す形
態の装置は、吸着物１１を吸着して水平及び垂直の方向
に搬送するための吸着搬送アーム１２を備えている。具
体的には、前記アーム１２は下側に向けて開口するノズ
ル穴を有する。前記アーム１２の側部には前記ノズル穴
の空気を真空源又は負圧源（不図示）へと引き出すため
の引出口が配設されている。そして、真空源又は負圧源
の作動により前記ノズル穴の開口端で吸着物１が吸着可
能になっている。
【００１９】吸着物１１はステージ１３に置かれる予定
になっており、このステージ１３の、吸着物１１が置か
れる場所の裏側には、上向きの発光センサ１４が配置さ
れている。その吸着物１１が置かれる場所には発光セン
サ１４の上向きの光線を遮らないような貫通穴が開けら
れている。一方、吸着搬送アーム１２の前記ノズル穴の
奥には、発光センサ１４からの光線を受光するための下
向きの受光センサ１５が配置されている。この受光セン
サ１５と発光センサ１４は一対で、いわゆる透過型セン
サを構成する。尚、前記吸着ノズル穴内の受光センサ１
５は透過物１６により蓋されていても良い。また、発光
センサ１４が吸着搬送アーム側に配設され、受光センサ
１５がステージ側に配設されていてもよい。また、発光
センサ１４もしくは受光センサ１５は吸着搬送アームの
外側に取り付けられていてもよい。
になっており、このステージ１３の、吸着物１１が置か
れる場所の裏側には、上向きの発光センサ１４が配置さ
れている。その吸着物１１が置かれる場所には発光セン
サ１４の上向きの光線を遮らないような貫通穴が開けら
れている。一方、吸着搬送アーム１２の前記ノズル穴の
奥には、発光センサ１４からの光線を受光するための下
向きの受光センサ１５が配置されている。この受光セン
サ１５と発光センサ１４は一対で、いわゆる透過型セン
サを構成する。尚、前記吸着ノズル穴内の受光センサ１
５は透過物１６により蓋されていても良い。また、発光
センサ１４が吸着搬送アーム側に配設され、受光センサ
１５がステージ側に配設されていてもよい。また、発光
センサ１４もしくは受光センサ１５は吸着搬送アームの
外側に取り付けられていてもよい。
【００２０】このような形態の装置では、まず、ステー
ジ１３の、吸着物１１が置かれる場所の上方に吸着搬送
アーム１２が移動される。このとき、ステージ１３に吸
着物１１が有る場合は吸着物１１は発光センサ１４から
の上向きの光線を遮っている。その為、吸着搬送アーム
１２内の受光センサ１５は反応しない。この事から吸着
物有りと判断できるので、通常どおり吸着搬送アーム１
２は下移動し、吸着物１１を吸着し、上移動する。一
方、ステージ１３に吸着物１１が無い場合はステージ１
３の裏側の発光センサ１４からの光線が吸着搬送アーム
１２内の受光センサ１５に到達し、受光センサ１５が反
応する。この事から吸着物無しと判断できると同時に、
アーム移動位置の確認もされる。さらに、このような装
置では吸着搬送アーム１２の下移動を行なわないでも吸
着物の有無が確認でき、図１に示した従来技術に比べて
無駄な上下移動が無いのでスループットが向上する。
ジ１３の、吸着物１１が置かれる場所の上方に吸着搬送
アーム１２が移動される。このとき、ステージ１３に吸
着物１１が有る場合は吸着物１１は発光センサ１４から
の上向きの光線を遮っている。その為、吸着搬送アーム
１２内の受光センサ１５は反応しない。この事から吸着
物有りと判断できるので、通常どおり吸着搬送アーム１
２は下移動し、吸着物１１を吸着し、上移動する。一
方、ステージ１３に吸着物１１が無い場合はステージ１
３の裏側の発光センサ１４からの光線が吸着搬送アーム
１２内の受光センサ１５に到達し、受光センサ１５が反
応する。この事から吸着物無しと判断できると同時に、
アーム移動位置の確認もされる。さらに、このような装
置では吸着搬送アーム１２の下移動を行なわないでも吸
着物の有無が確認でき、図１に示した従来技術に比べて
無駄な上下移動が無いのでスループットが向上する。
【００２１】また、この形態では、ノズル穴から真空源
又は負圧源までの真空ラインに正圧エアーを供給するこ
とで、ステージ１３の裏側の、埃や塵などが付着しやす
い発光センサ１４の上面にノズル穴よりエアーを吹き付
けて、センサの清掃を容易に行なうことができる。
又は負圧源までの真空ラインに正圧エアーを供給するこ
とで、ステージ１３の裏側の、埃や塵などが付着しやす
い発光センサ１４の上面にノズル穴よりエアーを吹き付
けて、センサの清掃を容易に行なうことができる。
【００２２】但し、この形態では受光センサ１５が発光
センサ１４の光線を受けない時に吸着物有りと判断して
いる為、アーム１２の停止位置が発光センサ１４に対し
てずれていた場合、ステージ１３上に吸着物１１が無い
にもかかわらず、有るとセンサが誤判断する事がある。
この場合、ノズル穴から真空源又は負圧源までの真空ラ
インに図１に示したような圧力センサを設置することに
より、アーム位置ずれが判断できる。すなわち、アーム
１２を下移動して吸引動作を行なった後、圧力センサで
吸着物１１の有り無しを再度確認することにより、アー
ム位置ずれが判断できる。
センサ１４の光線を受けない時に吸着物有りと判断して
いる為、アーム１２の停止位置が発光センサ１４に対し
てずれていた場合、ステージ１３上に吸着物１１が無い
にもかかわらず、有るとセンサが誤判断する事がある。
この場合、ノズル穴から真空源又は負圧源までの真空ラ
インに図１に示したような圧力センサを設置することに
より、アーム位置ずれが判断できる。すなわち、アーム
１２を下移動して吸引動作を行なった後、圧力センサで
吸着物１１の有り無しを再度確認することにより、アー
ム位置ずれが判断できる。
【００２３】また、圧力センサを使用せずに、吸着物の
厚さ若しくは吸着物までの距離検出を行なえるセンサ等
を使用しても、吸着物の有無とアーム位置ずれの確認が
できる。
厚さ若しくは吸着物までの距離検出を行なえるセンサ等
を使用しても、吸着物の有無とアーム位置ずれの確認が
できる。
【００２４】本発明は上記の形態に限らず、以下に説明
するような他の形態も考えられる。図４から図７は本発
明の吸着物検知装置及び方法の他の実施形態の模式的断
面図を示す。また、他の形態の説明及び図面において上
記の形態と同一の構成要素には同一符号を付し、重複す
る説明は省略する。
するような他の形態も考えられる。図４から図７は本発
明の吸着物検知装置及び方法の他の実施形態の模式的断
面図を示す。また、他の形態の説明及び図面において上
記の形態と同一の構成要素には同一符号を付し、重複す
る説明は省略する。
【００２５】図４に示す形態の装置では、ステージ１３
の、吸着物１１が置かれる場所の表面に反射物１７が配
置される。そして、吸着搬送アーム１２のノズル穴の奥
に、一対の発光センサ１４及び受光センサ１５から構成
される反射型センサが配置されている。尚、前記ノズル
穴内の反射型センサは透過物１６により蓋されていても
良い。また、一対の発光センサ１４及び受光センサ１５
がステージ側に配設され、反射物１７が吸着搬送アーム
側に配設されていてもよい。また、一対の発光センサ１
４及び受光センサ１５、もしくは反射物１７は吸着搬送
アームの外側に取り付けられていてもよい。 この形態
の装置でも、まず、ステージ１３の、吸着物１が置かれ
る場所の上方に吸着搬送アーム１２が移動される。この
とき、ステージ１３に吸着物１１が有る場合は吸着物１
１によって反射物１７が覆われる。その為、吸着搬送ア
ーム１２内の受光センサ１５は反応しない。この事から
吸着物有りと判断できるので、通常どおり吸着搬送アー
ム１２は下移動し、吸着物１１を吸着し、上移動する。
一方、ステージ１３に吸着物１１が無い場合は発光セン
サ１４からの光線が反射物１７により反射されて受光セ
ンサ１５に到達し、受光センサ１５が反応する。この事
から吸着物無しと判断できると同時に、アーム移動位置
の確認もできる。さらに、このような装置では、上記の
形態と同様に、図１に示した従来技術に比べて無駄な上
下移動が無いのでスループットが向上する。
の、吸着物１１が置かれる場所の表面に反射物１７が配
置される。そして、吸着搬送アーム１２のノズル穴の奥
に、一対の発光センサ１４及び受光センサ１５から構成
される反射型センサが配置されている。尚、前記ノズル
穴内の反射型センサは透過物１６により蓋されていても
良い。また、一対の発光センサ１４及び受光センサ１５
がステージ側に配設され、反射物１７が吸着搬送アーム
側に配設されていてもよい。また、一対の発光センサ１
４及び受光センサ１５、もしくは反射物１７は吸着搬送
アームの外側に取り付けられていてもよい。 この形態
の装置でも、まず、ステージ１３の、吸着物１が置かれ
る場所の上方に吸着搬送アーム１２が移動される。この
とき、ステージ１３に吸着物１１が有る場合は吸着物１
１によって反射物１７が覆われる。その為、吸着搬送ア
ーム１２内の受光センサ１５は反応しない。この事から
吸着物有りと判断できるので、通常どおり吸着搬送アー
ム１２は下移動し、吸着物１１を吸着し、上移動する。
一方、ステージ１３に吸着物１１が無い場合は発光セン
サ１４からの光線が反射物１７により反射されて受光セ
ンサ１５に到達し、受光センサ１５が反応する。この事
から吸着物無しと判断できると同時に、アーム移動位置
の確認もできる。さらに、このような装置では、上記の
形態と同様に、図１に示した従来技術に比べて無駄な上
下移動が無いのでスループットが向上する。
【００２６】また、この形態でも、吸着ノズル穴から真
空源又は負圧源までの真空ラインに正圧エアーを供給す
ることで、ステージ１３の反射物１７の上面に吸着ノズ
ルよりエアーを吹き付けて、反射物１７の清掃を容易に
行なうことができる。
空源又は負圧源までの真空ラインに正圧エアーを供給す
ることで、ステージ１３の反射物１７の上面に吸着ノズ
ルよりエアーを吹き付けて、反射物１７の清掃を容易に
行なうことができる。
【００２７】但し、この形態においても、受光センサ１
５が反射物１７による発光センサ１４の反射光を受けな
い時に吸着物有りと判断している為、アーム１２の停止
位置が反射物１７に対してずれていた場合、ステージ１
３上に吸着物１１が無いにもかかわらず、有るとセンサ
が誤判断する事がある。この場合、ノズル穴から真空源
又は負圧源までの真空ラインに図１に示したような圧力
センサを設置することにより、アーム位置ずれが判断で
きる。すなわち、アーム１２を下移動して吸引動作を行
なった後、圧力センサで吸着物１１の有り無しをさらに
確認することにより、アーム位置ずれが判断できる。
５が反射物１７による発光センサ１４の反射光を受けな
い時に吸着物有りと判断している為、アーム１２の停止
位置が反射物１７に対してずれていた場合、ステージ１
３上に吸着物１１が無いにもかかわらず、有るとセンサ
が誤判断する事がある。この場合、ノズル穴から真空源
又は負圧源までの真空ラインに図１に示したような圧力
センサを設置することにより、アーム位置ずれが判断で
きる。すなわち、アーム１２を下移動して吸引動作を行
なった後、圧力センサで吸着物１１の有り無しをさらに
確認することにより、アーム位置ずれが判断できる。
【００２８】また上記の形態と同様、圧力センサを使用
せずに、吸着物の厚さ若しくは吸着物までの距離検出を
行なえるセンサ等を使用しても、吸着物の有無とアーム
位置ずれの確認ができる。
せずに、吸着物の厚さ若しくは吸着物までの距離検出を
行なえるセンサ等を使用しても、吸着物の有無とアーム
位置ずれの確認ができる。
【００２９】以上のような２つの形態の他にも本発明
は、図３又は図４に示した吸着搬送アーム１２の上部、
即ちノズル穴の奥のセンサ部分（透過型センサの場合は
受光センサのみ、反射型センサの場合は発光・受光セン
サの組）を、図５に示すように吸着搬送アーム１２から
独立したセンサーユニット１９とし、センサーユニット
１９と吸着搬送アーム１２のノズル穴とを光ファイバー
１８で接続した装置であっても良い。
は、図３又は図４に示した吸着搬送アーム１２の上部、
即ちノズル穴の奥のセンサ部分（透過型センサの場合は
受光センサのみ、反射型センサの場合は発光・受光セン
サの組）を、図５に示すように吸着搬送アーム１２から
独立したセンサーユニット１９とし、センサーユニット
１９と吸着搬送アーム１２のノズル穴とを光ファイバー
１８で接続した装置であっても良い。
【００３０】また、上記のようなセンサーユニット１９
を、図６に示すように、図３に示したステージ１３裏側
の発光センサ１４、或いは図４に示したステージ１３上
の反射物１７と対向するように固定した装置であっても
良い。尚、この場合、吸着搬送アーム１２内をセンサの
光線が通過できるように、ノズル穴の奥は吸着搬送アー
ム１２の上端まで貫通していると共に透過物１６で蓋さ
れている。
を、図６に示すように、図３に示したステージ１３裏側
の発光センサ１４、或いは図４に示したステージ１３上
の反射物１７と対向するように固定した装置であっても
良い。尚、この場合、吸着搬送アーム１２内をセンサの
光線が通過できるように、ノズル穴の奥は吸着搬送アー
ム１２の上端まで貫通していると共に透過物１６で蓋さ
れている。
【００３１】さらに、図３に示したような透過型センサ
又は図４に示したような反射型センサを含む装置に替え
て、図７に示すように、ステージ１３の、吸着物１１が
置かれる場所に近接センサ２０を設置した装置であって
も良い。
又は図４に示したような反射型センサを含む装置に替え
て、図７に示すように、ステージ１３の、吸着物１１が
置かれる場所に近接センサ２０を設置した装置であって
も良い。
【００３２】加えて、吸着搬送アームに、相対する方向
に在る対象物までの距離を測定する距離検出センサを配
置することにより、吸着搬送アームの、吸着物までの下
降距離を自己認識することもできる。そのため、吸着搬
送アームの垂直移動装置に例えばサーボモータを用いれ
ば、吸着物の高さが変わっても、吸着物を吸着するとき
の吸着搬送アームの下降ストロークを、その認識した下
降距離に基づいて簡単に調整できる。この事は吸着搬送
アームの垂直移動装置がエアシリンダーの場合に比べて
メンテナンスにおいて効果的である。すなわち、垂直移
動装置がエアシリンダーの場合は、吸着物の高さが変わ
ると、エアシリンダーの取付け位置を調整したり吸着物
のステージ高さを調整したりと調整に時間と手間がかか
る。
に在る対象物までの距離を測定する距離検出センサを配
置することにより、吸着搬送アームの、吸着物までの下
降距離を自己認識することもできる。そのため、吸着搬
送アームの垂直移動装置に例えばサーボモータを用いれ
ば、吸着物の高さが変わっても、吸着物を吸着するとき
の吸着搬送アームの下降ストロークを、その認識した下
降距離に基づいて簡単に調整できる。この事は吸着搬送
アームの垂直移動装置がエアシリンダーの場合に比べて
メンテナンスにおいて効果的である。すなわち、垂直移
動装置がエアシリンダーの場合は、吸着物の高さが変わ
ると、エアシリンダーの取付け位置を調整したり吸着物
のステージ高さを調整したりと調整に時間と手間がかか
る。
【００３３】また、所定の場所の上方に基準位置から吸
着搬送アームを水平移動させる際、所定の場所に対して
アームの停止位置がずれる事がある。この事は次のよう
な原因で起る。一般に、所定の場所の位置座標は基準位
置を原点として予め求められている。そして吸着搬送ア
ームの移動装置は、所定の場所の位置座標を参照して移
動量を求め、その移動量だけ基準位置から吸着搬送アー
ムを移動させている。ところが、搬送を長い間繰り返し
ていると、搬送装置は劣化してアームの基準位置が狂っ
てくる。こうなると、所定の場所の位置座標を参照して
求めた移動量だけ基準位置から吸着搬送アームを移動し
ても、所定の場所に対してアームの停止位置がずれてし
まう。その結果、所定の場所に在る吸着物を吸着できな
かったり、吸着できたとしても次の搬送場所に正確に搬
送できなかったりする。
着搬送アームを水平移動させる際、所定の場所に対して
アームの停止位置がずれる事がある。この事は次のよう
な原因で起る。一般に、所定の場所の位置座標は基準位
置を原点として予め求められている。そして吸着搬送ア
ームの移動装置は、所定の場所の位置座標を参照して移
動量を求め、その移動量だけ基準位置から吸着搬送アー
ムを移動させている。ところが、搬送を長い間繰り返し
ていると、搬送装置は劣化してアームの基準位置が狂っ
てくる。こうなると、所定の場所の位置座標を参照して
求めた移動量だけ基準位置から吸着搬送アームを移動し
ても、所定の場所に対してアームの停止位置がずれてし
まう。その結果、所定の場所に在る吸着物を吸着できな
かったり、吸着できたとしても次の搬送場所に正確に搬
送できなかったりする。
【００３４】本発明によれば、このようなアームの位置
ずれも検知することができる。すなわち、所定の場所に
吸着物が無い状態で、基準位置から所定の場所の上方に
吸着搬送アームを水平移動させる。この時、発光センサ
からの光線を受光センサが受光しない場合、所定の場所
に対して吸着搬送アームの位置がずれていると判断する
ことができる。また、このように吸着搬送アームの停止
位置がずれていると判断した後、発光センサからの光線
を受光センサが受光するまで吸着搬送アームを任意の方
向に水平移動させる。そして、受光センサが受光した時
の、吸着搬送アームの移動装置により認識される位置座
標に基づいて、吸着搬送アームを所定の場所の上方に移
動させるときの位置座標を補正する。これにより、所定
の場所に対する吸着搬送アームの位置ずれが修正され、
所定の場所に在る吸着物を次の搬送場所に正確に搬送で
きる。しかも、吸着搬送アームのノズル内に位置ずれ検
知部を持つ構造なので、例えばカメラを用いて位置ずれ
を検知する装置と比べて極めて小型なものになる。
ずれも検知することができる。すなわち、所定の場所に
吸着物が無い状態で、基準位置から所定の場所の上方に
吸着搬送アームを水平移動させる。この時、発光センサ
からの光線を受光センサが受光しない場合、所定の場所
に対して吸着搬送アームの位置がずれていると判断する
ことができる。また、このように吸着搬送アームの停止
位置がずれていると判断した後、発光センサからの光線
を受光センサが受光するまで吸着搬送アームを任意の方
向に水平移動させる。そして、受光センサが受光した時
の、吸着搬送アームの移動装置により認識される位置座
標に基づいて、吸着搬送アームを所定の場所の上方に移
動させるときの位置座標を補正する。これにより、所定
の場所に対する吸着搬送アームの位置ずれが修正され、
所定の場所に在る吸着物を次の搬送場所に正確に搬送で
きる。しかも、吸着搬送アームのノズル内に位置ずれ検
知部を持つ構造なので、例えばカメラを用いて位置ずれ
を検知する装置と比べて極めて小型なものになる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、吸着物
が置かれる場所の裏側もしくは吸着搬送アームのいずれ
か一方に発光素子を配置すると共に、前記吸着物が置か
れる場所に発光素子の光を遮らない貫通穴を設けた。そ
して、前記発光素子が配置されていない、吸着物が置か
れる場所の裏側もしくは吸着搬送アームに、前記発光素
子からの光線を受光するための受光素子を配置した。あ
るいは、前記吸着物が置かれる場所の表面もしくは吸着
搬送アームのいずれか一方に反射物を配置し、この反射
物が配置されていない、前記吸着物が置かれる場所の表
面もしくは吸着搬送アームに、発光素子及び、該発光素
子の光線を前記反射物を介して受光するための受光素子
を配置した。この事により、吸着物の有り無しの判断に
おいて、圧力センサのみによる従来技術のように無駄な
上下移動をしないで済むので、スループットが向上す
る。また、垂直方向にて吸着物を検知できるので、セン
サの設置のために平面的なスペースを多く取らないで済
み、センサの数も従来技術より削減できる。
が置かれる場所の裏側もしくは吸着搬送アームのいずれ
か一方に発光素子を配置すると共に、前記吸着物が置か
れる場所に発光素子の光を遮らない貫通穴を設けた。そ
して、前記発光素子が配置されていない、吸着物が置か
れる場所の裏側もしくは吸着搬送アームに、前記発光素
子からの光線を受光するための受光素子を配置した。あ
るいは、前記吸着物が置かれる場所の表面もしくは吸着
搬送アームのいずれか一方に反射物を配置し、この反射
物が配置されていない、前記吸着物が置かれる場所の表
面もしくは吸着搬送アームに、発光素子及び、該発光素
子の光線を前記反射物を介して受光するための受光素子
を配置した。この事により、吸着物の有り無しの判断に
おいて、圧力センサのみによる従来技術のように無駄な
上下移動をしないで済むので、スループットが向上す
る。また、垂直方向にて吸着物を検知できるので、セン
サの設置のために平面的なスペースを多く取らないで済
み、センサの数も従来技術より削減できる。
【００３６】また、このような装置では、搬送吸着アー
ムの位置ずれの確認もできる。そして、圧力センサを用
いた従来技術と組み合せれば、より正確な吸着物の有無
の検知ができる。さらには、吸着搬送アームの真空ライ
ンに正圧エアーを供給し、吸着ノズルからエアーを噴出
させることで、前記所定の場所に配される発光センサや
反射物の清掃を行なうこともできる。
ムの位置ずれの確認もできる。そして、圧力センサを用
いた従来技術と組み合せれば、より正確な吸着物の有無
の検知ができる。さらには、吸着搬送アームの真空ライ
ンに正圧エアーを供給し、吸着ノズルからエアーを噴出
させることで、前記所定の場所に配される発光センサや
反射物の清掃を行なうこともできる。
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、圧力センサを用いた従来
の吸着物検知装置の一例を示す構成図である。
の吸着物検知装置の一例を示す構成図である。
【図２】透過型センサを用いた従来の吸着物検知装置の
一例を示す構成図である。
一例を示す構成図である。
【図３】本発明の吸着物検知装置及び方法の一実施形態
を表す模式的断面図である。
を表す模式的断面図である。
【図４】本発明の吸着物検知装置及び方法の他の実施形
態を表す模式的断面図である。
態を表す模式的断面図である。
【図５】本発明の吸着物検知装置及び方法の他の実施形
態を表す模式的断面図である。
態を表す模式的断面図である。
【図６】本発明の吸着物検知装置及び方法の他の実施形
態を表す模式的断面図である。
態を表す模式的断面図である。
【図７】本発明の吸着物検知装置及び方法の他の実施形
態を表す模式的断面図である。
態を表す模式的断面図である。
１１ 吸着物 １２ 吸着搬送アーム １３ ステージ １４ 発光センサ １５ 受光センサ １６ 透過物 １７ 反射物 １８ 光ファイバ １９ センサーユニット ２０ 近接センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｇ 57/04 Ｂ６５Ｇ 59/04 59/04 Ｇ０１Ｖ 9/04
Claims (21)
- 【請求項１】 垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬送
アームによって吸着搬送される吸着物がステージの所定
の場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装置
であって、 前記吸着搬送アームには、前記ステージ側に向いて開口
していると共に真空源又は負圧源に通じているノズル穴
が形成されており、 前記所定の場所の裏側もしくは前記吸着搬送アームのい
ずれか一方に発光素子が配置され、 前記所定の場所には前記発光素子からの光線を遮らない
ような貫通穴が設けられ、 前記発光素子が配置されていない、前記所定の場所の裏
側もしくは前記吸着搬送アームに、前記発光素子からの
光線を受光するための受光素子が配置されていることを
特徴とする、吸着物検知装置。 - 【請求項２】 垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬送
アームによって吸着搬送される吸着物がステージの所定
の場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装置
であって、 前記吸着搬送アームには、前記ステージ側に向いて開口
していると共に真空源又は負圧源に通じているノズル穴
が形成されており、 前記所定の場所の裏側もしくは前記吸着搬送アームのノ
ズル穴の奥のいずれか一方に発光素子が配置され、 前記所定の場所には前記発光素子からの光線を遮らない
ような貫通穴が設けられ、 前記発光素子が配置されていない、前記所定の場所の裏
側もしくは前記吸着搬送アームのノズル穴の奥に、前記
発光素子からの光線を受光するための受光素子が配置さ
れていることを特徴とする、吸着物検知装置。 - 【請求項３】 前記ノズル穴の奥に配置された発光素子
もしくは受光素子を含む前記吸着搬送アームの上部が、
光ファイバーを介して前記吸着搬送アームから独立した
センサーユニットに成っている、請求項２に記載の吸着
物検知装置。 - 【請求項４】 前記ノズル穴の奥に配置された発光素子
もしくは受光素子を含む前記吸着搬送アームの上部が、
前記吸着搬送アームから独立したセンサーユニットに成
っており、該センサーユニットは前記所定の場所と相対
する位置に固定され、前記吸着搬送アームは発光素子か
らの光線が通過可能な構造である、請求項２に記載の吸
着物検知装置。 - 【請求項５】 請求項２に記載の装置による吸着物検知
方法であって、前記吸着搬送アームを前記所定の場所の
上方に移動させたとき、前記受光素子が受光していない
場合に吸着物有りと判断し、受光している場合には吸着
物無しと判断することを特徴とする、吸着物検知方法。 - 【請求項６】 請求項５に記載の吸着物検知方法におい
て、前記吸着搬送アームのノズル穴から真空源又は負圧
源までの真空ライン中に圧力センサを設け、前記受光素
子により吸着物有りと判断した後、前記吸着搬送アーム
を前記所定の場所に下移動して吸引動作させ、前記圧力
センサで吸着物の有り無しを再度確認することを特徴と
する、吸着物検知方法。 - 【請求項７】 請求項２に記載の装置を用いて吸着搬送
アームの位置ずれを検出する方法であって、前記所定の
場所に吸着物が無い状態で、基準位置から前記所定の場
所の上方に前記吸着搬送アームを移動させた時に、前記
発光素子からの光線を前記受光素子が受光しない場合、
前記所定の場所に対して前記吸着搬送アームの位置がず
れていると判断することを特徴とする、位置ずれ検出方
法。 - 【請求項８】 請求項７に記載の位置ずれ検出方法にお
いて、前記所定の場所に対して前記吸着搬送アームの位
置がずれていると判断した後、前記発光素子からの光線
を前記受光素子が受光するまで前記吸着搬送アームを任
意の方向に水平移動させ、前記受光素子が受光した時
の、前記吸着搬送アームの移動手段により認識される位
置座標に基づいて、前記吸着搬送アームを前記所定の場
所の上方に移動させるときの位置座標を補正することを
特徴とする、位置ずれ検出方法。 - 【請求項９】 請求項２に記載の装置による清掃方法で
あって、前記吸着搬送アームのノズル穴から真空源又は
負圧源までの真空ラインに正圧エアーを供給して、前記
所定の場所に向けて前記ノズル穴よりエアーを吹き付け
ることを特徴とする、清掃方法。 - 【請求項１０】 垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬
送アームによって吸着搬送される吸着物がステージの所
定の場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装
置であって、 前記吸着搬送アームには、前記ステージ側に向いて開口
していると共に真空源又は負圧源に通じているノズル穴
が形成されており、 前記所定の場所の表面もしくは前記吸着搬送アームのい
ずれか一方に反射物が配置され、 前記反射物が配置されていない、前記所定の場所の表面
もしくは前記吸着搬送アームに、発光素子及び、該発光
素子からの光線を前記反射物を介して受光するための受
光素子が配置されていることを特徴とする、吸着物検知
装置。 - 【請求項１１】 垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬
送アームによって吸着搬送される吸着物がステージの所
定の場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装
置であって、 前記吸着搬送アームには、前記ステージ側に向いて開口
していると共に真空源又は負圧源に通じているノズル穴
が形成されており、 前記所定の場所の表面もしくは前記吸着搬送アームのノ
ズル穴の奥のいずれか一方に反射物が配置され、 前記反射物が配置されていない、前記所定の場所の表面
もしくは前記吸着搬送アームのノズル穴の奥に、発光素
子及び、該発光素子からの光線を前記反射物を介して受
光するための受光素子が配置されていることを特徴とす
る、吸着物検知装置。 - 【請求項１２】 前記ノズル穴の奥に配置された反射物
もしくは発光素子と受光素子の組を含む、前記吸着搬送
アームの上部が、光ファイバーを介して前記吸着搬送ア
ームから独立したセンサーユニットに成っている、請求
項１１に記載の吸着物検知装置。 - 【請求項１３】 前記ノズル穴の奥に配置された反射物
もしくは発光素子と受光素子の組を含む、前記吸着搬送
アームの上部が、前記吸着搬送アームから独立したセン
サーユニットに成っており、 該センサーユニットは前記所定の場所と相対する位置に
固定され、 前記吸着搬送アームは発光素子からの光線が通過可能な
構造である、請求項１１に記載の吸着物検知装置。 - 【請求項１４】 請求項１１に記載の装置による吸着物
検知方法であって、前記吸着搬送アームを前記所定の場
所の上方に移動させたとき、前記受光素子が受光してい
ない場合に吸着物有りと判断し、受光している場合には
吸着物無しと判断することを特徴とする、吸着物検知方
法。 - 【請求項１５】 請求項１４に記載の吸着物検知方法に
おいて、前記吸着搬送アームのノズル穴から真空源又は
負圧源までの真空ライン中に圧力センサを設け、前記受
光素子により吸着物有りと判断した後、前記吸着搬送ア
ームを前記所定の場所に下移動して吸引動作させ、前記
圧力センサで吸着物の有り無しを再度確認することを特
徴とする、吸着物検知方法。 - 【請求項１６】 請求項１１に記載の装置を用いて吸着
搬送アームの位置ずれを検出する方法であって、前記所
定の場所に吸着物が無い状態で、基準位置から前記所定
の場所の上方に前記吸着搬送アームを移動させた時に、
前記発光素子からの光線を前記受光素子が受光しない場
合、前記所定の場所に対して前記吸着搬送アームの位置
がずれていると判断することを特徴とする、位置ずれ検
出方法。 - 【請求項１７】 請求項１６に記載の位置ずれ検出方法
において、前記所定の場所に対して前記吸着搬送アーム
の位置がずれていると判断した後、前記発光素子からの
光線を前記受光素子が受光するまで前記吸着搬送アーム
を任意の方向に水平移動させ、前記受光素子が受光した
時の、前記吸着搬送アームの移動手段により認識される
位置座標に基づいて、前記吸着搬送アームを前記所定の
場所の上方に移動させるときの位置座標を補正すること
を特徴とする、位置ずれ検出方法。 - 【請求項１８】 請求項１１に記載の装置による清掃方
法であって、前記吸着搬送アームのノズル穴から真空源
又は負圧源までの真空ラインに正圧エアーを供給して、
前記所定の場所に向けて前記ノズル穴よりエアーを吹き
付けることを特徴とする、清掃方法。 - 【請求項１９】 垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬
送アームによって吸着搬送される吸着物がステージの所
定の場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装
置であって、 前記所定の場所に近接センサが配置されていることを特
徴特徴とする、吸着物検知装置。 - 【請求項２０】 垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬
送アームによって吸着搬送される吸着物がステージの所
定の場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装
置であって、 前記吸着搬送アームには、前記ステージ側に向いて開口
していると共に真空源又は負圧源に通じているノズル穴
が形成されており、 前記吸着搬送アームに、相対する方向に在る対象物まで
の距離を測定する距離検出手段が配置されていることを
特徴とする、吸着物検知装置。 - 【請求項２１】 請求項２０に記載の装置による吸着物
検知方法であって、前記対象物が前記吸着物である場合
と前記ステージである場合とで前記距離検出手段による
検出距離が異なることにより前記吸着物の有無を判断す
るとともに、前記距離検出手段により前記吸着搬送アー
ムの下降距離も認識することを特徴とする、吸着物検知
方法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13372497A JPH1068759A (ja) | 1996-05-31 | 1997-05-23 | 吸着物検知装置、該装置を用いた吸着物検知方法、該装置を用いた位置ずれ検知方法、および該装置を用いた清掃方法 |
| KR1019980709544A KR20000015983A (ko) | 1996-05-31 | 1997-05-28 | 흡착물 검지장치, 그 장치를 쓴 흡착물 검지방법, 그 장치를 쓴위치 어긋남 검지방법, 및 그 장치를 쓴 청소방법. |
| CN97196655A CN1226370A (zh) | 1996-05-31 | 1997-05-28 | 吸着物检测装置,使用这种装置的吸着物检测方法、位置偏离检测方法和清扫方法 |
| DE69726575T DE69726575T2 (de) | 1996-05-31 | 1997-05-28 | Angesaugtes material detektor und methode, verfahren zur erfassung von ausrichtungsfehlern und reinigungsverfahren mit hilfe dieses detektors |
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