JPH10307123A

JPH10307123A - 光イオン化検出方法及び光イオン化検出器

Info

Publication number: JPH10307123A
Application number: JP11717797A
Authority: JP
Inventors: Shigeyoshi Kawazoe; 重義川副; Shinji Kurita; 信二栗田; Keiichi Iida; 圭一飯田; Hideyasu Chiba; 英康千葉
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Science Systems Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Science Systems Ltd
Priority date: 1997-05-07
Filing date: 1997-05-07
Publication date: 1998-11-17

Abstract

(57)【要約】【課題】無機及び有機物に高感度であり、同時に有機
物専用の高感度検出器としても利用できる光イオン化検
出器を提供する。【解決手段】放電電極２，３を有する光源部１に流す
放電ガスの種類を切替バルブ１５で切り換えることによ
り、光源部の気体放電によって発生される光エネルギー
レベルを変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物質を分離して定
量あるいは定性分析を行うガスクロマトグラフにおける
検出器及びその検出器を設置してなるガスクロマトグラ
フ装置に関し、特に被検出ガスに電離放射線すなわち真
空紫外光あるいは紫外光を照射して、イオン化し、その
イオン電流を測定する光イオン化検出器及びその検出器
を設置してなるガスクロマトグラフ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガスクロマトグラフの構成、原理、検出
器及び利用範囲については、例えば舟阪、池川著「最新
ガスクロマトグラフィー」広川書店（１９６７年）に詳
述されている。ガスクロマトグラフ装置の性能向上を図
るためには、可能な限り低濃度で微量な試料を用いて、
成分を分離し検出することが要求される。したがって、
従来から高感度検出器の研究開発が継続して行われてき
た。これまで開発され利用されている検出器の代表例と
しては、熱伝導度検出器、水素炎イオン化検出器、電子
捕獲検出器及び光イオン化検出器などがある。これらの
検出器の開発によってガスクロマトグラフ装置は著しく
発達し、分離分析に必須な装置となっている。

【０００３】特に、光イオン化検出器（Photoionizatio
n Detector、以下ＰＩＤと記す）で、光源としてＨｅ気
体放電を利用したＰＩＤ（以下、Ｈｅ−ＰＩＤと記す）
は、無機物及び有機物にも高感度であり、万能形の検出
器として利用されている。しかし、Ｈｅ−ＰＩＤは無機
ガスに高感度であるがゆえに、窒素（Ｎ₂）ガス中、酸
素（Ｏ₂）ガス中あるいは空気中の微量有機物の分析に
は不適切である。その理由は、無機ガスの出力ピークが
有機物の微量成分の出力ピークを覆ってしまい、分析精
度が低減するためである。したがって、無機ガス中の有
機微量成分の分析には、無機ガスに応答せず有機物にの
み高感度である水素炎イオン化検出器（ＦＩＤ）が使用
されている。しかし、ＦＩＤは水素を使用するため常に
安全性に注意する必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ＰＩＤの検出原理は
J. E. Lovelock: Nature 188, 401(1960)に論じられて
おり、この説を用いて以下に説明する。Ｈｅ放電によっ
て発生する最大エネルギーでの波長は５８．４ｎｍで、
約２０ｅＶのエネルギーである。Ｈ₂，Ｎ₂，Ｏ₂など
の無機ガスの一次イオン化ポテンシャルはそれぞれ順に
１５．４５ｅＶ、１５．５９ｅＶ及び１２．０７ｅＶで
ある。有機物のイオン化ポテンシャルは無機ガスより低
く、最も高いメタン（ＣＨ₄）で約１３ｅＶである。し
たがって、Ｈｅ放電によって発生する光を被検出試料の
無機ガスあるいは有機ガスに照射することによって、被
検出試料はイオン化される。この現象は次の〔数１〕の
ように表現できる。

【０００５】

【数１】Ｍ＋ｈν→Ｍ⁺＋ｅ^- ここでＭは被検出物の分子、ｈはプランクの定数、νは
光の振動数を表し、ｅは電子を表す。すなわち、被検試
料は光の照射を受けてイオン化され、そのイオン電流を
測定することで検出される。

【０００６】しかし、Ｈｅ−ＰＩＤは光源のエネルギー
準位が約２０ｅＶと高く、無機ガスも有機ガスも共にイ
オン化されるため、無機ガス中の微量有機成分の分析は
困難になる。本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたもので、無機ガス中の微量有機成分の検
出も可能なＰＩＤを提供することを目的とする。また、
本発明は、無機ガス中の微量有機成分の検出が可能なＰ
ＩＤを組み込んだガスクロマトグラフ装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するに
は、ＰＩＤに被検出試料に応じて光源の光エネルギーを
変化させ得る機能があればよい。ＰＩＤにおける光源の
エネルギーは、ＰＩＤの光源である放電部に供給される
気体によって決定される。例えば、ＰＩＤの放電部にＨ
ｅが供給されれば約２０ｅＶのエネルギーの光が発生す
るが、Ａｒが供給されれば約１２ｅＶのエネルギーの光
が発生する。

【０００８】Ａｒ放電によって発生する光のエネルギー
レベルでは、Ｏ₂，Ｎ₂，ＣＯ，ＣＯ₂などの無機ガス
をイオン化することはできないが、有機化合物のイオン
化ポテンシャルは９〜１１ｅＶであるので、たいていの
有機物には高感度を有する。しかし、ＡｒによるＰＩＤ
は、有機物でもメタン、エタン及びアセトニトリルなど
のようにイオン化ポテンシャルの高いものに対しては感
度を示さないか低感度である。

【０００９】イオン化ポテンシャルの高い有機化合物
は、Ｎｅ放電によって発生する約１６ｅＶのエネルギー
の光を光源にすることにより高感度で検出できる。Ｎｅ
放電を光源とした場合は、無機ガスは中程度の感度で検
出できる。このように、ＰＩＤの放電部に供給するガス
を変えることによって光源の光のエネルギーを変えるこ
とができる。したがって、無機ガス中の微量有機不純物
を測定する場合はＡｒ放電を光源としたＰＩＤ（以下、
Ａｒ−ＰＩＤと記す）を使用することにより、無機ガス
を検出することなく有機微量成分のみを検出することが
可能となる。

【００１０】従来技術では、ＦＩＤを用いて無機ガス中
の微量有機不純物を測定してきたが水素を使用するため
安全に対して常に留意する必要があった。本発明よって
提供されるＡｒ−ＰＩＤは可燃性ガスを使用しないた
め、安全性の点で従来のＦＩＤに比較して優れた検出器
である。ＰＩＤの光源の光エネルギーレベルの制御は、
放電ガスとして混合ガスを使用することでも可能であ
る。例えば、Ｈｅ中にＡｒを混入した放電ガスを使用す
ると、Ａｒに由来した共鳴線である約１１．６ｅＶのエ
ネルギーの光が得られる。同様にＨｅ中にＨ₂を混入し
た放電ガスでは、Ｈ₂に由来した約１０ｅＶ前後のエネ
ルギーからなる光が得られる。このように、Ｈｅ中に低
エネルギーの共鳴線を持ったガスを数％以上混入して放
電させることにより、ＰＩＤの光源の光エネルギーレベ
ルを変化させることができる。

【００１１】放電ガスとして混合ガスを使用すると、低
エネルギーの共鳴線を持ったガスに由来するエネルギー
の光が得られる理由は、次のように説明することができ
る。Ｈｅ中に他のガスを混入した状態での放電では、
（１）Ｈｅから発生する光により混合ガス成分がイオン
化あるいは励起される現象と、（２）Ｈｅの励起成分に
よるクェンチング作用により混合ガス成分がイオン化あ
るいは励起される現象の二通の現象が生じていると考え
られる。上記（１）及び（２）との作用で発生した混入
ガス成分の励起成分が基底状態に戻る時に光を発生す
る。ここで、Ｈｅに混合したガス成分から発生する光の
エネルギーはＨｅの励起エネルギ−及びイオン化エネル
ギ−より遥かに低いので、Ｈｅによって吸収される現象
は起きない。したがって、Ｈｅに混合したガス成分から
の発光が得られ、光イオン化検出器の光源として利用す
ることができる。

【００１２】次の表１に、比較的イオン化ポテンシャル
の高い有機物及び無機物のイオン化ポテンシャルの例を
示す。

【００１３】

【表１】

【００１４】前述のように、検出すべき物質のイオン化
ポテンシャル、検出したくない物質（妨害物質）のイオ
ン化ポテンシャル、及び気体放電によって発生する光の
エネルギー相互の関係を勘案し、気体放電によって発生
する光のエネルギーが検出すべき物質のイオン化ポテン
シャルより大きく、検出したくない物質のイオン化ポテ
ンシャルより小さくなるように、ＰＩＤの気体放電に用
いる気体の種類を選択することにより、妨害物質に対す
る感度を下げ、かつ検出すべき物質に対する感度を上げ
ることができる。

【００１５】ＰＩＤの気体放電に用いられる気体の種類
と、その放電によって発生する光エネルギー、及び検出
に適した物質の一例を表２に示す。

【００１６】

【表２】

【００１７】ＰＩＤの光源としてＮｅ，ＡｒあるいはＨ
ｅとの混合ガスの気体放電を利用する場合には、放電極
の構成として電気抵抗の設置を工夫しないと放電が安定
しない。Ｎｅ，ＡｒあるいはＨｅとの混合ガスの気体放
電を安定化させるためには、放電陰極と供給電源との間
に電気抵抗を設置するだけでなく、放電陽極と接地との
間にもある一定以上の電気抵抗を設置する必要がある。
これは、放電によって発生する放電ガスにおけるプラズ
マのなだれ現象を防止するためである。

【００１８】一般に、グロー放電に基づいた気体放電で
の電圧電流特性は、定電圧特性を示す。すなわち、印加
電圧を変化させても放電電極間の電圧はほとんど変化せ
ずに放電電流のみが変化する。しかし、放電開始電圧は
放電ガスの組成によって異なる。例えば、Ｈｅガスでの
放電開始電圧は６００〜７５０Ｖであり、Ａｒガスでの
放電開始電圧は７００〜９００Ｖである。放電ガスの種
類にかかわらず、一旦放電が開始すると、この放電を維
持するための電圧（放電維持電圧）は放電開始電圧より
１００〜２００Ｖ低い。放電維持電圧が放電開始電圧よ
り低いという現象は、放電が定電圧特性であることを裏
付けている。

【００１９】ところで、放電電流は印加電圧、電極間
隔、放電ガスの種類及び放電ガスの圧力などの因子によ
って定められるが、電源と陰電極との間にバラスト抵抗
が設置されないと放電は間欠放電になり放電電流は安定
しない。つまり、ある気体雰囲気中に設置された放電電
極間で放電が開始すると、放電に伴って、気体分子の陽
イオンと陰電極との衝突、気体分子と電子との衝突等に
よって発生する二次電子の増殖によって放電電極間に流
れる電流は次第に増大し、最終的には放電はアークに達
し、電源容量を超えた電流が流れることになり、間欠放
電につながる。

【００２０】このような放電の不安定現象を防止するた
めに、供給電源と放電陰極との間に電流制限抵抗を設置
するのが一般的である。しかし、放電ガスの種類によっ
ては、電流制限抵抗（バラスト抵抗）の設置だけでは必
ずしも放電は安定しない。気体放電を理想的に安定化す
るためには、放電陽極と接地との間に抵抗（以下、この
抵抗を放電安定化抵抗という）を設置することが必要で
ある。放電安定化抵抗値は放電気体によって異なる。放
電電流の安定領域は数十μＡ〜１５０μＡである。

【００２１】本発明は、以上のような検討のもとになさ
れたものであり、気体放電によって発生した紫外線ある
いは真空紫外線からなる電離放射線を被検出試料に照射
し、被検出試料のイオン化電流を測定することにより試
料成分の検出を行う光イオン化検出方法において、気体
放電の放電ガスをＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ又はＨ₂から
選択して電離放射線のエネルギーを変えることにより、
検出成分に対して選択性をもたせることを特徴とする。

【００２２】また、本発明は、気体放電によって発生し
た電離放射線を被検出試料に照射し、被検出試料のイオ
ン化電流を測定することにより試料成分の検出を行う光
イオン化検出方法において、気体放電の放電ガスをＨｅ
とＮｅの混合気体、ＨｅとＡｒの混合気体、ＨｅとＸｅ
の混合気体、ＨｅとＨ₂の混合気体、ＮｅとＡｒの混合
気体、ＮｅとＸｅの混合気体、ＨｅとＮ₂の混合気体、
又はＨｅとＣＯ₂の混合気体から選択して電離放射線の
エネルギーを変えることにより、検出成分に対して選択
性をもたせることを特徴とする。

【００２３】また、本発明は、気体放電によって発生し
た電離放射線を被検出試料に照射し、被検出試料のイオ
ン化電流を測定することにより試料成分の検出を行う光
イオン化検出方法において、気体放電の放電ガスをＡｒ
又はＡｒとＨｅとの混合ガスとすることにより、無機ガ
スを含む被検出試料中の有機物成分を検出することを特
徴とする。

【００２４】また、本発明は、気体放電によって電離放
射線を発生する放電電極と、電離放射線にさらされる被
検出試料流路と、電離放射線の照射を受けてイオン化し
た被検出試料のイオン電流を測定する測定電極とを備え
る光イオン化検出器において、気体放電の放電ガスを切
り換えることによって電離放射線のエネルギーを変化さ
せる手段を備えることを特徴とする。

【００２５】この光イオン化検出器においては、放電陰
極と電源との間に電気抵抗を設置し、さらに放電陽極と
接地との間にも電気抵抗を設置するのが好ましい。本発
明による光イオン化検出器は、光源の光エネルギーを変
化することができるため、万能形検出器としてあるいは
有機化合物専用検出器として利用することができ、応用
範囲が広い。

【００２６】また、本発明は、試料注入部と、注入され
た試料成分を分離する分離カラムと、分離された試料成
分を検出する検出器とを備えるガスクロマトグラフ装置
において、検出器として前述の光イオン化検出器を備え
ることを特徴とする。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は、本発明による光イオン化
検出器の一例を示す構成図である。光イオン化検出器
は、光源部１と検出部８とからなる。光源部１は放電陰
極２と放電陽極３とを備え、放電ガス供給口４にボンベ
１４ａ，１４ｂ等から放電ガスが供給される。電源５と
放電陰極２との間には電流制限抵抗６が設置され、放電
陽極３と接地との間には放電安定化抵抗７が設置されて
いる。検出部８には、コレクター電極９と中空のコレク
ター対極１０とが設けられている。コレクター対極１０
の一端には、被検出試料流入口１１が設けられており、
被検出試料流入口１１から供給された試料ガスはコレク
ター対極１０の中を通って検出部８に導かれ、被検出試
料流出口１６から排出される。

【００２８】光源部１と検出部８とは、光源部１からの
光を検出部８に導びく光路１３で接続されている。光路
１３は、放電ガス供給口４から供給された放電ガスが検
出部８に流れ込む流路を兼ねている。被検出試料流入口
１１からコレクター対極１０の内部を通って検出部８に
流入した試料は、光源部１の放電陰極２及び放電陽極３
の間の気体放電によって発生され、光路１３から検出部
８に照射される光にさらされる。そして、光源部１から
の光照射を受けてイオン化された試料成分は、試料の流
れに対向して設置されたコレクター電極９にイオン電流
が流れることで測定が行われる。光源部１の発光波長を
変えるための放電ガスの切り替えは、流路切替バルブ１
５の操作によって行われる。

【００２９】図２は、Ａｒの気体放電を用いた場合の放
電安定化抵抗７の抵抗値と放電の安定領域との関係を示
す。図２から、Ａｒの気体放電の安定領域は放電電流１
００μＡ以上であり、放電安定化抵抗７の抵抗値として
５０ｋΩ以上が必要であることが分かる。この放電の安
定領域は放電ガスの種類によって異なり、例えばヘリウ
ムを放電ガスとする場合には１５ｋΩ〜９０ｋΩの放電
安定化抵抗が必要である。

【００３０】図３は、検出部に前記した光イオン化検出
器を備えたガスクロマトグラフ装置の概略構成図であ
り、検出器を除くガスクロマトグラフ装置の本体は周知
の構成のものである。キャリアガス供給源２１から供給
されたキャリアガスは、キャリアガス流量調節部２２で
流量が調節され、試料注入部２３を介して分離カラム２
５に導入される。分離カラム２５は恒温槽部２４内で一
定温度に保持されている。試料注入部２３からキャリア
ガス中に注入された試料ガスは、分離カラム２５を通過
する間に分離され、図１に示した光イオン化検出器２６
に導入されて検出される。キャリアガス流量調節部２
２、試料注入部２３、恒温槽部２４、及び光イオン化検
出部２６は、制御装置２７に設定された内容に従って動
作する。

【００３１】制御装置２７はキーボード等の入力手段２
８及びＣＲＴ等の表示装置２９を有するパーソナルコン
ピュータによって構成することができ、入力手段２８を
操作することにより、検出器２６の測定条件を測定成分
に応じて自動的に設定することができる。たとえば空気
中の微量有機成分を測定する場合、測定成分を制御装置
２７に指定すると、ガスクロマトグラフの測定条件と同
時に検出器２６の設定条件が表示装置２９の画面に表示
され、測定者の指示に従って自動的に測定条件が設定さ
れる。

【００３２】図４に、表示装置の画面表示の例を示す。
図４（ａ）は測定条件設定の初期画面の例を示し、図４
（ｂ）は検出器の詳細条件設定画面の例を示す。図４
（ａ）に示すように、表示装置２９の表示画面上で、分
析対象成分、成分濃度、分離カラム、検出器、温度（注
入口温度、検出器温度）等をキー入力、あるいは表示さ
れた候補から選択して入力することで測定条件の設定を
行う。分析対象成分を入力すると、分離カラムの箇所に
はその分析対象成分に適した各種分離カラムが表示され
るので、表示された分離カラムから最も適当と考えられ
るものを選択し、選択したカラムを装置に装着する。ま
た、検出器の箇所には、分析対象成分及び成分濃度から
それに対応した各種検出器が表示されるので、その中か
ら最も適当と考えられる検出器を選択し、キャリアガス
流路配管を選択された検出器に接続する。

【００３３】検出器の選択で、例えばＨｅガスを放電ガ
スに使用したヘリウム光イオン化検出器（Ｈｅ−ＰＩ
Ｄ）を選択したとする。その後、表示装置２９の表示画
面を詳細設定画面に切り換えることで、例えば図４
（ｂ）に示すように、放電ガスの流量、放電電流、印加
電圧など、Ｈｅ−ＰＩＤの詳細を設定することができ
る。Ｈｅ−ＰＩＤは、ここで設定された条件に従って自
動的に運転される。

【００３４】図５は、本発明のガスクロマトグラフ装置
による分析の一例を示す図である。このガスクロマトグ
ラフ装置は、放電ガスとしてアルゴンガスを使用した本
発明のＡｒ−ＰＩＤを検出器として備える。試料は、無
鉛レギュラーガソリンである。カラムには内径０．２５
ｍｍ、長さ６０ｍの液相ＯＶ−１（日立製作所製）を用
いた。カラム温度は３０〜４５℃までは１℃／ｍｉｎ、
４５〜２００℃までは７．５℃／ｍｉｎで昇温を行い分
離した例である。試料注入温度は２３０℃、Ａｒ−ＰＩ
Ｄの温度は２５０℃とした。ＰＩＤの光源部の放電電極
間隙は１．５ｍｍ、電流制限抵抗６は３ＭΩとし、放電
安定化抵抗７は１００ｋΩとした。放電ガスとしてＡｒ
を５０ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給し、放電電流は１００
μＡとした。図５から、安定したベースラインで多成分
からなる有機化合物の検出が十分可能であることが分か
る。

【００３５】図６は、本発明によるＡｒ−ＰＩＤを検出
器としたガスクロマトグラフ装置による分析の他の例を
示す図である。試料は、窒素ガスで濃度調整した低級炭
化水素である。カラムには、アルミナにスクアランを２
％コーティングした充填剤を充填した直径３ｍｍ、長さ
２ｍのカラムを用いた。カラム温度は４０℃とした。キ
ャリアガスには窒素（Ｎ₂）を使用し、流速４０ｍｌ／
ｍｉｎで測定した。

【００３６】図中、１はエタンのピーク（１ｐｐｍ）、
２はエチレンのピーク（１ｐｐｍ）である。このよう
に、無機ガス中の微量有機成分でも、無機ガスの影響を
全く受けずに分離分析が可能である。図７は、本発明に
よるＨｅ−ＰＩＤを検出器としたガスクロマトグラフ装
置により、空気中の微量成分分析を行った例を示す図で
ある。Ｈｅ−ＰＩＤの検出部は、放電ガス流量５０ｍｌ
／ｍｉｎ、放電電流１００μＡとした。分離カラムには
ＭＳ５Ａ（ＧＬサイエンス社製）を用い、カラム温度は
５０℃とした。キャリアガスにとしてはＨｅを流量２５
ｍｌ／ｍｉｎで流した。ここで用いた試料空気はＨ₂を
０．５ｐｐｍ、ＣＨ₄を０．８ｐｐｍ含有している。図
示するように、空気成分であるＯ₂とＮ₂とのピークが空
気中の微量成分であるＣＨ₄のピークにオーバーラップ
しており、定量精度に影響を与えていることが明らかで
ある。

【００３７】図８は、本発明による光イオン化検出器の
他の例の説明図である。図１に示した光イオン化検出器
と同じ機能部分には図１と同じ番号を付し、詳細な説明
を省略する。図８の光イオン化検出器が図１に示した光
イオン化検出器と異なるのは、光源部１における放電電
極の構造だけである。すなわち、放電陽極３３として白
金製平板状で中心に光路となる穴を設けたものを使用す
る。放電陽極を、このように中心に穴を設けた板状の構
造とすることにより、放電部で発生した光が効率的に検
出部へ入射される。

【００３８】

【発明の効果】本発明によると、光イオン化検出器の検
出成分に対する感度を変えることができ、無機ガス中の
微量有機成分の検出なども可能となる。また、このよう
な光イオン化検出器を組み込むことにガスクロマトグラ
フ装置の性能向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による光イオン化検出器の一例を示す構
成図。

【図２】放電安定化抵抗の抵抗値と放電の安定領域との
関係を示す図。

【図３】ガスクロマトグラフ装置の概略構成図。

【図４】表示装置の画面表示の例を示す図。

【図５】本発明のガスクロマトグラフ装置による分析の
一例を示す図。

【図６】本発明のガスクロマトグラフ装置による分析の
他の例を示す図。

【図７】本発明のガスクロマトグラフ装置による分析の
他の例を示す図。

【図８】本発明による光イオン化検出器の他の例の説明
図。

【符号の説明】

１…光源部、２…放電陰極、３…放電陽極、４…放電ガ
ス供給口、５…電源、６…電流制限抵抗、７…放電安定
化抵抗、８…検出部、９…コレクター電極、１０…コレ
クター対極、１１…被検出試料流入口、１３…光路、１
４ａ，１４ｂ…ボンベ、１５…流路切替バルブ、１６…
被検出試料流出口、２１…キャリアガス供給源、２２…
キャリアガス流量調節部、２３…試料注入部、２４…恒
温槽、２５…分離カラム、２６…光イオン化検出器、２
７…制御装置、２８…入力手段、２９…表示装置、３３
…放電陽極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者栗田信二茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地株式会社日立サイエンスシステムズ内 (72)発明者飯田圭一茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地株式会社日立サイエンスシステムズ内 (72)発明者千葉英康茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地株式会社日立サイエンスシステムズ内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気体放電によって発生した電離放射線を
被検出試料に照射し、被検出試料のイオン化電流を測定
することにより試料成分の検出を行う光イオン化検出方
法において、前記気体放電の放電ガスをＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ又は
Ｈ₂から選択して電離放射線のエネルギーを変えること
により、検出成分に対して選択性をもたせることを特徴
とする光イオン化検出方法。
【請求項２】気体放電によって発生した電離放射線を
被検出試料に照射し、被検出試料のイオン化電流を測定
することにより試料成分の検出を行う光イオン化検出方
法において、前記気体放電の放電ガスをＨｅとＮｅの混合気体、Ｈｅ
とＡｒの混合気体、ＨｅとＸｅの混合気体、ＨｅとＨ₂
の混合気体、ＮｅとＡｒの混合気体、ＮｅとＸｅの混合
気体、ＨｅとＮ₂の混合気体、又はＨｅとＣＯ₂の混合
気体から選択して電離放射線のエネルギーを変えること
により、検出成分に対して選択性をもたせることを特徴
とする光イオン化検出方法。
【請求項３】気体放電によって発生した電離放射線を
被検出試料に照射し、被検出試料のイオン化電流を測定
することにより試料成分の検出を行う光イオン化検出方
法において、前記気体放電の放電ガスをＡｒ又はＨｅとＡｒとの混合
ガスとすることにより、無機ガスを含む被検出試料中の
有機物成分を検出することを特徴とする光イオン化検出
方法。
【請求項４】気体放電によって電離放射線を発生する
放電電極と、前記電離放射線にさらされる被検出試料流
路と、前記電離放射線の照射を受けてイオン化した被検
出試料のイオン電流を測定する測定電極とを備える光イ
オン化検出器において、前記気体放電の放電ガスを切り換えることによって前記
電離放射線のエネルギーを変化させる手段を備えること
を特徴とする光イオン化検出器。
【請求項５】請求項４記載の光イオン化検出器におい
て、放電陰極と電源との間に電気抵抗を設置し、さらに
放電陽極と接地との間にも電気抵抗を設置したことを特
徴とする光イオン化検出器。
【請求項６】試料注入部と、注入された試料成分を分
離する分離カラムと、分離された試料成分を検出する検
出器とを備えるガスクロマトグラフ装置において、前記検出器として請求項４又は５記載の光イオン化検出
器を備えることを特徴とするガスクロマトグラフ装置。