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JPH10253654A - Acceleration sensor packaging structure - Google Patents

Acceleration sensor packaging structure

Info

Publication number
JPH10253654A
JPH10253654A JP5655597A JP5655597A JPH10253654A JP H10253654 A JPH10253654 A JP H10253654A JP 5655597 A JP5655597 A JP 5655597A JP 5655597 A JP5655597 A JP 5655597A JP H10253654 A JPH10253654 A JP H10253654A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acceleration sensor
acceleration
raised
inertia
mounting structure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP5655597A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norihiro Inoue
則宏 井上
Shigeru Mori
茂 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Ten Ltd
Original Assignee
Denso Ten Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Ten Ltd filed Critical Denso Ten Ltd
Priority to JP5655597A priority Critical patent/JPH10253654A/en
Publication of JPH10253654A publication Critical patent/JPH10253654A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/303Surface mounted components, e.g. affixing before soldering, aligning means, spacing means
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives

Landscapes

  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the cost for packaging an acceleration sensor by mounting and fixing adhesively the sensor to a bulking pattern formed such that a position of the sensor except for the inertia part abuts against the mounting position is packaging the acceleration sensor. SOLUTION: An acceleration sensor is packaged and fixed to a ceramic substrate 15 with an adhesive bond on a bulking pattern 20 of the ceramic substrate 15. When the acceleration is applied to the sensor 10 by an impact or the like in the direction G, the inertia part 11 is moved in the opposite direction to G. Since the resistance value of the sensor 10 is varied by the movement, the variation amount is taken out to be converted to the acceleration. The sensor 10 is packaged on the pattern 20 and the inertia part 11 is bulked from the packaging surface of the substrate 15 so that the inertia part 11 can be moved in both directions and the acceleration of the sensor 10 from both direction can be measured. Also, since the pattern 20 blocks the bond 18 from flowing into a slit 12, the inertia part 11 is fixed by the bond 18 to prevent troubles of defective operation. Thus, the bulking parts are not needed to reduce the cost for packaging.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、自動車等の安全機
器の電子回路基板に搭載される加速度センサの実装構造
に関する。
The present invention relates to a mounting structure of an acceleration sensor mounted on an electronic circuit board of a safety device such as an automobile.

【0002】[0002]

【従来の技術】自動車の安全機器等の電子回路基板(以
降基板という)に搭載される加速度センサの実装構造を
図10を用いて説明する。図10は従来の加速度センサ
の実装構造を示す断面図である。80は加速度センサ
で、方形の立方体をしており外周より中央方向に向けて
かぎ状のスリット82が厚み方向に貫通しており、弾性
支持された慣性部81が形成されている。加速度センサ
80に加速度が加わると慣性部81は加速度が加わわっ
た逆方向へ移動する。そして、慣性部81が移動すると
その移動量(移動による歪みの大きさ)に応じて加速度
センサ80の抵抗値が変化するので、その変化する抵抗
値を端子部(図示省略)より取出し加速度に変換させ
る。
2. Description of the Related Art A mounting structure of an acceleration sensor mounted on an electronic circuit board (hereinafter, referred to as a board) such as a safety device of an automobile will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a sectional view showing a mounting structure of a conventional acceleration sensor. An acceleration sensor 80 has a rectangular cube shape, and has a key-shaped slit 82 penetrating in the thickness direction from the outer periphery toward the center, thereby forming an inertia portion 81 that is elastically supported. When acceleration is applied to the acceleration sensor 80, the inertia unit 81 moves in a direction opposite to the direction in which the acceleration is applied. When the inertia portion 81 moves, the resistance value of the acceleration sensor 80 changes according to the amount of movement (the magnitude of the distortion due to the movement). The changed resistance value is converted into a take-out acceleration from a terminal portion (not shown). Let it.

【0003】加速度センサ80は加速度を検出しようと
する方向に慣性部81が作用するように用いられる。
尚、加速度センサ80は平常時には慣性部81の上下両
面と慣性部81の保持部(外周部)の上下両面が面一と
なっているので、加速度センサ80をセラミック基板8
9に直接実装すると、慣性部81の下面がセラミック基
板89の表面と密着した状態になり、慣性部81がセラ
ミック基板89方向への移動が不能となるので、加速度
センサ80の慣性部81を除く外周下面83に嵩上げが
必要となる。
An acceleration sensor 80 is used so that an inertia portion 81 acts in a direction in which acceleration is to be detected.
In the normal state, the upper and lower surfaces of the inertia portion 81 and the upper and lower surfaces of the holding portion (outer peripheral portion) of the inertia portion 81 are flush with each other.
When mounted directly on the ceramic substrate 89, the lower surface of the inertial portion 81 comes into close contact with the surface of the ceramic substrate 89, and the inertial portion 81 cannot move in the direction of the ceramic substrate 89. The outer lower surface 83 needs to be raised.

【0004】90は加速度センサ80の嵩上げ部品で、
方形の立方体をしており加速度センサ80の慣性部81
に対応する凹部91が形成されている。材料にはガラス
等が用いられる。嵩上げ部品90は加速度センサ80の
外周下面83に接着されており、加速度センサ80は嵩
上げ部品90を介してセラミック基板89にボンド84
により接着される。
[0004] 90 is a raised part of the acceleration sensor 80,
The inertia portion 81 of the acceleration sensor 80 has a rectangular cube shape.
Are formed. Glass or the like is used as the material. The raised component 90 is bonded to the outer peripheral lower surface 83 of the acceleration sensor 80, and the acceleration sensor 80 is bonded to the ceramic substrate 89 via the raised component 90.
It is adhered by.

【0005】セラミック基板89は、セラミック板に導
体の回路パターン55、抵抗体等が厚膜印刷により形成
されており、電子部品等が実装されている。次に動作を
説明する。セラミック基板89に実装された加速度セン
サ80に衝撃等により矢印F方向へ加速度が加わわる
と、慣性部81が矢印Fと逆方向へ移動する。そして、
慣性部81の移動量により加速度センサ80の抵抗値が
変化するので、その抵抗値の変化量を取出し加速度に変
換する。
The ceramic substrate 89 has a circuit pattern 55 of a conductor, a resistor and the like formed on a ceramic plate by thick-film printing, and electronic components and the like are mounted thereon. Next, the operation will be described. When acceleration is applied to the acceleration sensor 80 mounted on the ceramic substrate 89 in the direction of arrow F due to impact or the like, the inertia portion 81 moves in the direction opposite to the direction of arrow F. And
Since the resistance value of the acceleration sensor 80 changes according to the movement amount of the inertia part 81, the change amount of the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の加速度
センサ実装構造80では、加速度センサ80の慣性部8
1が垂直方向への移動時に慣性部81の下部がセラミッ
ク基板89の表面に接触しないように凹部が形成された
ガラスの嵩上げ部品90を用いるため価格面で割高とな
るという問題がある。
However, in the above-described acceleration sensor mounting structure 80, the inertia portion 8 of the acceleration sensor 80 is used.
There is a problem that it is expensive in price because the raised part 90 made of glass with a concave portion is used so that the lower part of the inertia part 81 does not contact the surface of the ceramic substrate 89 when the element 1 moves in the vertical direction.

【0007】そこで、本発明は上述の問題を解決するも
ので、加速度センサの実装経費が安価で信頼性の高い加
速度センサの実装構造を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problem, and an object of the present invention is to provide a highly reliable mounting structure of an acceleration sensor which has a low cost for mounting the acceleration sensor.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述の目的を
達成するもので、弾性支持された慣性部の移動により加
速度を検出する加速度センサを、慣性部の移動方向が電
子回路基板の表面と垂直方向となるように搭載する加速
度センサの実装構造において、前記搭載位置に前記加速
度センサの慣性部を除く部位が当接するように形成され
た嵩上げ用パターンと前記嵩上げ用パターンの外側部に
塗布された接着ボンドからなり、前記嵩上げ用パターン
上に前記加速度センサを搭載し前記接着ボンドにより接
着固定するようにしたことを特徴とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention attains the above-mentioned object, and comprises an acceleration sensor for detecting acceleration by movement of an elastically supported inertial portion, and a moving direction of the inertial portion, the direction of movement of the surface of the electronic circuit board. In the mounting structure of the acceleration sensor mounted so as to be perpendicular to the mounting pattern, a lift pattern formed so that a part other than an inertia part of the acceleration sensor abuts on the mounting position, and an outer portion of the lift pattern is applied. Wherein the acceleration sensor is mounted on the pattern for raising and is fixed by the adhesive bond.

【0009】また、前記嵩上げ用パターン上にガラス部
材を溶融重積し前記加速度センサの嵩上部を形成するよ
うにしたことを特徴とするものである。また、前記搭載
位置にガラス部材を溶着し前記加速度センサの嵩上部を
形成するようにしたことを特徴とするものである。ま
た、前記嵩上げ用パターン上にソルダーレジスト部材を
印刷し、前記加速度センサの嵩上部を形成するようにし
たことを特徴とするものである。
[0009] Further, the present invention is characterized in that a glass member is melt-stacked on the raising pattern to form a rising portion of the acceleration sensor. Further, a glass member is welded to the mounting position to form a bulky portion of the acceleration sensor. Further, a solder resist member is printed on the raising pattern to form a rising portion of the acceleration sensor.

【0010】まり、弾性支持された慣性部の移動により
加速度を検出する加速度センサを、慣性部の移動方向が
電子回路基板の表面と垂直方向となるように該加速度セ
ンサを該電子回路基板の表面に搭載する加速度センサの
実装構造において、前記加速度センサの慣性部を除く部
位に接着するように形成された嵩上げ用両面接着テープ
を前記搭載位置に貼り、該両面接着テープ上に前記加速
度センサを搭載するようしにたことを特徴とするもので
ある。
In other words, the acceleration sensor for detecting the acceleration by the movement of the elastically supported inertia portion is provided with the acceleration sensor so that the direction of movement of the inertia portion is perpendicular to the surface of the electronic circuit board. In the mounting structure of the acceleration sensor to be mounted on, the double-sided adhesive tape for raising formed so as to be adhered to a portion other than the inertia part of the acceleration sensor is attached to the mounting position, and the acceleration sensor is mounted on the double-sided adhesive tape. It is characterized by doing so.

【0011】また、前記搭載位置に紫外線硬化樹脂フイ
ルムを貼り嵩上げ形成部のみに紫外線を照射して嵩上げ
部を形成するようしにたことを特徴とするものである。
また、前記搭載位置に紫外線硬化樹脂部材を印刷し該印
刷部に紫外線を照射して嵩上げ部を形成するようしにた
ことを特徴とするものである。また、弾性支持された慣
性部の移動により加速度を検出する加速度センサを、慣
性部の移動方向が電子回路基板の表面と垂直方向となる
ように搭載する加速度センサの実装構造において、前記
搭載位置に前記加速度センサの慣性部を除く部位に相当
するように形成された凸部と、前記凸部の外側部に塗布
された接着ボンドからなり、前記接着ボンド上に前記加
速度センサを搭載し前記接着ボンドにより接着固定する
ようにしたことを特徴とするものである。
Further, an ultraviolet curable resin film is attached to the mounting position, and only the raised portion is irradiated with ultraviolet light to form the raised portion.
Further, an ultraviolet curing resin member is printed on the mounting position, and the printed portion is irradiated with ultraviolet rays to form a raised portion. Further, in the mounting structure of the acceleration sensor, wherein an acceleration sensor for detecting acceleration by movement of the elastically supported inertia part is mounted so that the direction of movement of the inertia part is perpendicular to the surface of the electronic circuit board, The acceleration sensor comprises a convex portion formed to correspond to a portion excluding an inertia portion, and an adhesive bond applied to an outer portion of the convex portion, and the acceleration sensor is mounted on the adhesive bond. It is characterized in that it is adhered and fixed by using.

【0012】また、前記搭載位置に前記加速度センサの
慣性部を除く部位に当接するように形成された嵩上げ凸
部と、前記凸部の外周方向に接続して形成された凹部
と、前記凹部に塗布された接着ボンドからなり、前記嵩
上げ凸部上に前記加速度センサを搭載するようにしたこ
とを特徴とするものである。
[0012] Further, a raised convex portion formed at the mounting position so as to abut on a portion other than an inertia portion of the acceleration sensor, a concave portion connected to an outer peripheral direction of the convex portion, and a concave portion formed on the concave portion. The acceleration sensor is made of an adhesive bond applied, and is mounted on the raised protrusion.

【0013】[0013]

【実施例】本発明の第1実施例を図1を用いて説明す
る。図1は本発明の第1実施例を示す加速度センサの実
装構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装前)、
(b)はA−A断面図(加速度センサ実装後)である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a mounting structure diagram of an acceleration sensor according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view (before mounting the acceleration sensor).
(B) is an AA cross-sectional view (after mounting the acceleration sensor).

【0014】10は加速度センサで、方形の立方体をし
ており外周より中央方向に向けてかぎ状のスリット12
が厚み方向に貫通しており、梁部13により弾性支持さ
れた慣性部11が形成されている。加速度センサ10に
加速度が加わると慣性部11は加速度が加わわった逆方
向へ移動する。そして、慣性部11が移動するとその移
動量に応じて梁部13が歪み、この梁部13の抵抗値、
即ち加速度センサ10の抵抗値が変化するので、その変
化する抵抗値を端子部(図示省略)より取出し加速度に
変換させる。
Numeral 10 denotes an acceleration sensor which has a rectangular cube shape and has a key-shaped slit 12 extending from the outer periphery toward the center.
Are penetrated in the thickness direction, and an inertia portion 11 elastically supported by the beam portion 13 is formed. When acceleration is applied to the acceleration sensor 10, the inertia unit 11 moves in a direction opposite to the direction in which the acceleration is applied. When the inertia portion 11 moves, the beam portion 13 is distorted according to the amount of movement, and the resistance value of the beam portion 13,
That is, since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes, the changed resistance value is extracted from a terminal (not shown) and converted into acceleration.

【0015】加速度センサ10は加速度を検出しようと
する方向に慣性部11が作用するように用いられる。
尚、加速度センサ10は平常時には慣性部11の上下両
面と慣性部11の保持部(外周部)の上下両面が面一と
なっているので、加速度センサ10をセラミック基板1
5に直接実装すると、慣性部11の下面がセラミック基
板15の実装面と密着した状態になり、慣性部11がセ
ラミック基板15方向への移動が不能となるので、加速
度センサ10の慣性部11を除く外周下面に嵩上げが必
要となる。
The acceleration sensor 10 is used so that the inertia portion 11 acts in a direction in which acceleration is to be detected.
In the normal state, the upper and lower surfaces of the inertia portion 11 and the upper and lower surfaces of the holding portion (outer peripheral portion) of the inertia portion 11 are flush with each other.
When mounted directly on the ceramic substrate 15, the lower surface of the inertial portion 11 comes into close contact with the mounting surface of the ceramic substrate 15, and the inertial portion 11 cannot move in the direction of the ceramic substrate 15. It is necessary to raise the outer peripheral lower surface excluding.

【0016】セラミック基板15は、セラミック板に導
体の回路パターン(図示省略),嵩上げパターン20お
よび抵抗体等が厚膜印刷により形成されており、電子部
品等が実装されている。嵩上げパターン20は加速度セ
ンサ10をセラミック基板15に実装した際に、慣性部
11の下面とセラミック基板15の実装面とが密着する
のを防止すると同時に、加速度センサ10を接着固定す
る際に接着ボンド18がスリット12へ流れ込み慣性部
11が固定されるのを防止する。尚、本実施例では嵩上
げパターン20を接着ボンド18の塗布部(角部4か
所)にのみ設けたが、加速度センサ10の慣性部11を
除く外周部全体(方形環状)に設けてもよい。
The ceramic substrate 15 has a circuit pattern (not shown) of a conductor, a raised pattern 20, a resistor, and the like formed on a ceramic plate by thick-film printing, and electronic components and the like are mounted thereon. The raised pattern 20 prevents the lower surface of the inertial portion 11 from being in close contact with the mounting surface of the ceramic substrate 15 when the acceleration sensor 10 is mounted on the ceramic substrate 15 and, at the same time, uses an adhesive bond when the acceleration sensor 10 is bonded and fixed. 18 flows into the slit 12 to prevent the inertia part 11 from being fixed. In the present embodiment, the raised pattern 20 is provided only on the application portion (four corners) of the adhesive bond 18, but may be provided on the entire outer peripheral portion (square ring) of the acceleration sensor 10 except for the inertia portion 11. .

【0017】次に動作を説明する。セラミック基板15
の嵩上げパターン20の外側に接着ボンド18を塗布す
る。そして、加速度センサ10を嵩上げパターン20の
上に実装し接着ボンド18によりセラミック基板15に
固定する。嵩上げパターン20の上に実装された加速度
センサ10に衝撃等により矢印G方向へ加速度が加わわ
ると、慣性部11が矢印Gの逆方向へ移動する。その時
の移動により加速度センサ10の抵抗値が変化するの
で、その抵抗値の変化量を取出し加速度に変換する。
Next, the operation will be described. Ceramic substrate 15
An adhesive bond 18 is applied to the outside of the raised pattern 20. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the raised pattern 20 and fixed to the ceramic substrate 15 by the adhesive bond 18. When acceleration is applied to the acceleration sensor 10 mounted on the raised pattern 20 in the direction of arrow G due to impact or the like, the inertia portion 11 moves in the direction opposite to the direction of arrow G. Since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes due to the movement at that time, the amount of change in the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0018】以上説明したように本実施例によれば、加
速度センサ10が嵩上げパターン20の上に実装される
ので、慣性部11がセラミック基板15の実装面から嵩
上げされ慣性部11が両方向(図示上下方向)に移動が
可能となり、加速度センサ10の両方向からの加速度を
測定することができる。また、嵩上げパターン20によ
り接着ボンド18がスリット12への流れ込みを阻止す
るので、接着ボンド18により慣性部11が固定され動
作不良となる不具合を防止する。その他に、嵩上げパタ
ーン20は基板製作過程で形成されるので、加速度セン
サ10を実装するためにのみ必要な嵩上げ部品が不要と
なり実装品質の向上と実装経費の低減を図ることができ
る。
As described above, according to this embodiment, since the acceleration sensor 10 is mounted on the raised pattern 20, the inertial portion 11 is raised from the mounting surface of the ceramic substrate 15, and the inertial portion 11 is (Up and down direction), and the acceleration of the acceleration sensor 10 from both directions can be measured. In addition, since the adhesive bond 18 is prevented from flowing into the slit 12 by the raised pattern 20, a problem that the inertia portion 11 is fixed by the adhesive bond 18 and operation failure is prevented is prevented. In addition, since the raised pattern 20 is formed in the process of manufacturing the substrate, a raised part necessary only for mounting the acceleration sensor 10 is not required, and the mounting quality can be improved and the mounting cost can be reduced.

【0019】次に、本発明の第2実施例を図2を用いて
説明する。図2は本発明の第2実施例の加速度センサの
実装構造を示す断面図ある。尚、第2実施例は第1実施
例の嵩上げ部を変更したもので、その他については第1
実施例と略同じであるので、同じ構成については同じ符
号を付し説明を省略する。22,23は嵩上げ部(パタ
ーン)で、加速度センサ10の慣性部11の下面とセラ
ミック基板15の実装面との間隔を所定の間隔に保持す
るとともに接着ボンドの広がり過ぎを阻止するためのも
のである。嵩上げ部22,23はセラミック基板15の
実装面に加速度センサ10の慣性部11を除く部分に略
等しい嵩上げが行われる。嵩上げ部22,23は、セラ
ミック基板15の製作過程でセラミック基板15の実装
面に厚膜の印刷、例えば回路パターン,抵抗体,表面保
護用のガラスの溶着等が繰り返し行わる工程のなかで加
速度センサ10の嵩上げ部22を厚膜にて形成し、嵩上
げ部22の上に表面保護用のガラスを積み上げて嵩上げ
部22,23が形成される。そして、その嵩上げ部2
2,23の上に加速度センサ10が実装される。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, the raised portion of the first embodiment is changed.
Since the configuration is substantially the same as that of the embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted. Reference numerals 22 and 23 denote raised portions (patterns) for maintaining a predetermined interval between the lower surface of the inertia portion 11 of the acceleration sensor 10 and the mounting surface of the ceramic substrate 15 and preventing excessive spread of the adhesive bond. is there. The raised portions 22 and 23 are raised on the mounting surface of the ceramic substrate 15 substantially equal to the portion of the acceleration sensor 10 excluding the inertia portion 11. The raised portions 22 and 23 are accelerated in a process of repeatedly printing a thick film on a mounting surface of the ceramic substrate 15 in a process of manufacturing the ceramic substrate 15, for example, welding a circuit pattern, a resistor, and glass for surface protection. The raised portion 22 of the sensor 10 is formed of a thick film, and glass for surface protection is stacked on the raised portion 22 to form the raised portions 22 and 23. And the raising part 2
The acceleration sensor 10 is mounted on 2 and 23.

【0020】次に動作を説明する。嵩上げ部22,23
の上に実装された加速度センサ10に衝撃等により矢印
G方向へ加速度が加わわると、慣性部11が矢印Gと逆
方向へ移動する。その時の移動により加速度センサ10
の抵抗値が変化するので、その抵抗値の変化量を取出し
加速度に変換する。
Next, the operation will be described. Raising portions 22, 23
When acceleration is applied in the direction of arrow G due to impact or the like on the acceleration sensor 10 mounted thereon, the inertia unit 11 moves in the direction opposite to the direction of arrow G. The movement at that time causes the acceleration sensor 10
Is changed, the change amount of the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0021】以上説明したように本実施例によれば、加
速度センサ10が嵩上げパターン22,23の上に実装
されるので、慣性部11がセラミック基板15の実装面
から嵩上げされ慣性部11が両方向に移動が可能とな
り、加速度センサ10の両方向からの加速度を測定する
ことができる。また、嵩上げパターン22,23により
接着ボンド18がスリット12への流れ込みを阻止する
ので、接着ボンド18により慣性部11が固定され動作
不良となる不具合を防止する。その他に、嵩上げパター
ン22,23は基板製作過程で形成されるので、加速度
センサ10を実装するためにのみ必要な嵩上げ部品が不
要となり実装品質の向上と実装経費の低減を図ることが
できる。
As described above, according to the present embodiment, since the acceleration sensor 10 is mounted on the raised patterns 22 and 23, the inertial portion 11 is raised from the mounting surface of the ceramic substrate 15 and the inertial portion 11 is moved in both directions. , And the acceleration from both directions of the acceleration sensor 10 can be measured. In addition, since the adhesive bonds 18 are prevented from flowing into the slits 12 by the raised patterns 22 and 23, the problem that the inertia portion 11 is fixed by the adhesive bonds 18 and malfunctions are prevented is prevented. In addition, since the raised patterns 22 and 23 are formed in the process of manufacturing the substrate, raised parts necessary only for mounting the acceleration sensor 10 are not required, so that the mounting quality can be improved and the mounting cost can be reduced.

【0022】次に、本発明の第3実施例を図3を用いて
説明する。図3は本発明の第3実施例の加速度センサの
実装構造を示す断面図ある。尚、第3実施例は第1実施
例の嵩上げ部を変更したもので、その他については第1
実施例と略同じであるので、同じ構成については同じ符
号を付し説明を省略する。25は加速度センサ10の嵩
上げ部で、加速度センサ10の慣性部11の下面とセラ
ミック基板15の実装面との間隔を所定の間隔に保持す
るとともに接着ボンドの広がり過ぎを阻止するためのも
のである。嵩上げ部25はセラミック基板15の実装面
に加速度センサ10の慣性部11を除く部分に略等しい
嵩上げ部25が形成される。嵩上げ部25は、セラミッ
ク基板15の製作過程でセラミック基板15の実装面に
厚膜の印刷、例えば回路パターン,抵抗体,表面保護用
のガラスの溶着等が繰り返し行わる工程のなかで、嵩上
げ必要箇所にガラスが溶着され加速度センサ10の嵩上
げ部25が形成される。そして、その嵩上げ部25の上
に加速度センサ10が実装される。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a third embodiment of the present invention. In the third embodiment, the raised portion of the first embodiment is changed.
Since the configuration is substantially the same as that of the embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted. Reference numeral 25 denotes a raised portion of the acceleration sensor 10 for keeping a predetermined interval between the lower surface of the inertia portion 11 of the acceleration sensor 10 and the mounting surface of the ceramic substrate 15 and preventing the adhesive bond from spreading too much. . The raised portion 25 is formed on the mounting surface of the ceramic substrate 15 to be substantially equal to a portion of the acceleration sensor 10 except for the inertia portion 11. The raising portion 25 is required to be raised in a process of repeatedly printing a thick film on a mounting surface of the ceramic substrate 15 in a process of manufacturing the ceramic substrate 15, for example, welding a circuit pattern, a resistor, and glass for surface protection. Glass is welded to the location to form a raised portion 25 of the acceleration sensor 10. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the raised portion 25.

【0023】次に動作を説明する。セラミック基板15
の嵩上げ部25の外側に接着ボンド18を塗布する。そ
して、加速度センサ10を嵩上げ部25の上に実装し接
着ボンド18によりセラミック基板15に固定する。嵩
上げ部25の上に実装された加速度センサ10に衝撃等
により矢印G方向へ加速度が加わわると、慣性部11が
矢印Gと逆方向へ移動する。その時の移動により加速度
センサ10の抵抗値が変化するので、その抵抗値の変化
量を取出し加速度に変換する。
Next, the operation will be described. Ceramic substrate 15
The adhesive bond 18 is applied to the outside of the raised portion 25 of FIG. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the raised portion 25 and fixed to the ceramic substrate 15 by the adhesive bond 18. When acceleration is applied to the acceleration sensor 10 mounted on the raised portion 25 in the direction of arrow G due to impact or the like, the inertia portion 11 moves in the direction opposite to the direction of arrow G. Since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes due to the movement at that time, the amount of change in the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0024】以上説明したように本実施例においても、
第1実施例と同じように加速度センサ10の慣性部11
が両方向に移動が可能となり、加速度センサ10の両方
向からの加速度を測定することができる。また、嵩上げ
パターン25により接着ボンド18がスリット12への
流れ込みを阻止するので、接着ボンド18により慣性部
11が固定され動作不良となる不具合を防止する。その
他に、嵩上げパターン25は基板製作過程で形成される
ので、加速度センサ10を実装するためにのみ必要な嵩
上げ部品が不要となり実装品質の向上と実装経費の低減
を図ることができる。
As described above, also in this embodiment,
As in the first embodiment, the inertia portion 11 of the acceleration sensor 10
Can move in both directions, and the acceleration of the acceleration sensor 10 from both directions can be measured. In addition, since the adhesive bond 18 is prevented from flowing into the slit 12 by the raised pattern 25, the problem that the inertia portion 11 is fixed by the adhesive bond 18 and the operation failure occurs is prevented. In addition, since the raised pattern 25 is formed in the process of manufacturing the substrate, raised parts necessary only for mounting the acceleration sensor 10 are not required, so that the mounting quality can be improved and the mounting cost can be reduced.

【0025】次に、本発明の第4実施例を図4を用いて
説明する。図4は本発明の第4実施例の加速度センサの
実装構造を示す断面図ある。尚、第4実施例は第1実施
例の一部を変更したもので、その他については第1実施
例と略同じであるので、同じ構成については同じ符号を
付し説明を省略する。16は樹脂基板で、樹脂基材に導
体の回路パターン(図示省略),嵩上げ部(導体パター
ン)27の形成およびソルダレジストの印刷等により形
成されており、電子部品等が実装されている。嵩上げ部
27,28は加速度センサ10を樹脂基板16に実装し
た際に、慣性部11の下面と樹脂基板16の表面とが密
着するのを防止すると同時に、加速度センサ10を接着
固定する際に接着ボンド18がスリット12へ流れ込み
慣性部11が固定されるのを防止する。嵩上げ部27は
回路パターンの形成(エッチング法または創成法等)に
より形成され、嵩上げ部27の上にソルダレジストを印
刷し嵩上げ部28が形成される。尚、嵩上げ部27,2
8は接着ボンド18の塗布部(例えば加速度センサ10
の角部4か所)または加速度センサ10の慣性部11を
除く外周部全体(方形環状)に設けてもよい。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a fourth embodiment of the present invention. In the fourth embodiment, a part of the first embodiment is changed, and the others are substantially the same as those of the first embodiment. Reference numeral 16 denotes a resin substrate, which is formed by forming a conductor circuit pattern (not shown), a raised portion (conductor pattern) 27, and printing a solder resist on a resin base material, on which electronic components and the like are mounted. The raised portions 27 and 28 prevent the lower surface of the inertial portion 11 from being in close contact with the surface of the resin substrate 16 when the acceleration sensor 10 is mounted on the resin substrate 16, and at the same time, adhere when fixing the acceleration sensor 10. The bond 18 flows into the slit 12 to prevent the inertia portion 11 from being fixed. The raised portion 27 is formed by forming a circuit pattern (such as an etching method or a generating method), and a solder resist is printed on the raised portion 27 to form the raised portion 28. In addition, the raised portions 27 and 2
8 is a coating portion of the adhesive bond 18 (for example, the acceleration sensor 10
Corners of the acceleration sensor 10) or the entire outer peripheral portion (square ring) of the acceleration sensor 10 excluding the inertial portion 11.

【0026】次に動作を説明する。樹脂基板16の嵩上
げ部27,28の外側に接着ボンド18を塗布する。そ
して、加速度センサ10を嵩上げ部27,28の上に実
装し接着ボンド18によりセラミック基板15に固定す
る。嵩上げ部27,28の上に実装された加速度センサ
10に衝撃等により矢印G方向へ加速度が加わわると、
慣性部11が矢印Gと逆方向へ移動する。その時の移動
により加速度センサ10の抵抗値が変化するので、その
抵抗値の変化量を取出し加速度に変換する。
Next, the operation will be described. An adhesive bond 18 is applied to the outside of the raised portions 27 and 28 of the resin substrate 16. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the raised portions 27 and 28 and fixed to the ceramic substrate 15 by the adhesive bond 18. When acceleration is applied to the acceleration sensor 10 mounted on the raised portions 27 and 28 in the direction of arrow G due to impact or the like,
The inertia part 11 moves in the direction opposite to the arrow G. Since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes due to the movement at that time, the amount of change in the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0027】以上説明したように本実施例においても、
第1実施例と同じように加速度センサ10の慣性部11
が両方向に移動が可能となり、加速度センサ10の両方
向からの加速度を測定することができる。また、嵩上げ
部27,28により接着ボンド18がスリット12への
流れ込みを阻止するので、接着ボンド18により慣性部
11が固定され動作不良となる不具合を防止する。その
他に、嵩上げ部27,28は基板製作過程で形成される
ので、加速度センサ10を実装するためにのみ必要な嵩
上げ部品が不要となり実装品質の向上と実装経費の低減
を図ることができる。
As described above, also in this embodiment,
As in the first embodiment, the inertia portion 11 of the acceleration sensor 10
Can move in both directions, and the acceleration of the acceleration sensor 10 from both directions can be measured. In addition, since the adhesive bonds 18 are prevented from flowing into the slits 12 by the raised portions 27 and 28, the problem that the inertia portion 11 is fixed by the adhesive bonds 18 and malfunctions are prevented is prevented. In addition, since the raised portions 27 and 28 are formed in the process of manufacturing the substrate, no raised components necessary only for mounting the acceleration sensor 10 are required, and the mounting quality can be improved and the mounting cost can be reduced.

【0028】本発明の第5実施例を図5を用いて説明す
る。図5は本発明の第5実施例を示す加速度センサの実
装構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装前)、
(b)はB−B断面図(加速度センサ実装後)である。
尚、第5実施例は第1実施例の一部を変更したもので、
その他については第1実施例と略同じであるので、同じ
構成については同じ符号を付し説明を省略する。
A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5A and 5B are mounting structure diagrams of an acceleration sensor according to a fifth embodiment of the present invention. FIG. 5A is a plan view (before mounting the acceleration sensor).
(B) is a BB cross-sectional view (after mounting the acceleration sensor).
The fifth embodiment is a partial modification of the first embodiment.
The other parts are substantially the same as those of the first embodiment.

【0029】30はセンサ接着テープで、加速度センサ
10をセラミック基板15に接着固定するために、両面
接着テープを加速度センサ10の慣性部11の外周部の
形状(方形環状)に打ち抜き形成される。センサ接着テ
ープ30は、セラミック基板15の実装面と慣性部11
の下面との隙間の設定寸法に合わせて板厚を選定する。
Reference numeral 30 denotes a sensor adhesive tape, which is formed by punching a double-sided adhesive tape into a shape (square ring) of an outer peripheral portion of the inertial portion 11 of the acceleration sensor 10 in order to adhesively fix the acceleration sensor 10 to the ceramic substrate 15. The sensor adhesive tape 30 is provided between the mounting surface of the ceramic substrate 15 and the inertia portion 11.
Select the plate thickness in accordance with the set size of the gap with the lower surface of.

【0030】次に動作を説明する。基板15の加速度セ
ンサ10の実装位置にセンサ接着テープ30を貼り付け
る。そして、センサ接着テープ30の上に加速度センサ
10を搭載し接着固定する。このセンサ接着テープ30
の上に実装された加速度センサ10に衝撃等により矢印
G方向へ加速度が加わわると、慣性部11が矢印Gと逆
方向へ移動する。その時の移動により加速度センサ10
の抵抗値が変化するので、その抵抗値の変化量を取出し
加速度に変換する。
Next, the operation will be described. A sensor adhesive tape 30 is attached to the mounting position of the acceleration sensor 10 on the substrate 15. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the sensor adhesive tape 30 and fixed by adhesion. This sensor adhesive tape 30
When acceleration is applied in the direction of arrow G due to impact or the like on the acceleration sensor 10 mounted thereon, the inertia unit 11 moves in the direction opposite to the direction of arrow G. The movement at that time causes the acceleration sensor 10
Is changed, the change amount of the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0031】以上説明したように本実施例によれば、加
速度センサ10の実装にセンサ接着テープ30を用いて
いるので、センサ接着テープ30の厚みを選定すること
により、セラミック基板15の実装面と慣性部11の下
面との間隔を所望する寸法に設定することができる。ま
た、センサ接着テープ30は厚みが高精度に加工されて
いるので、加速度センサ10を精度よく接着固定するこ
とができる。その他に、加速度センサ10の実装に接着
ボンドを用いてないので、接着ボンドがスリット12へ
流れ込み慣性部11が固定され動作不良となる等の不具
合を防止することができる。従って、実装品質の向上と
実装経費の低減を図ることができる。尚、本実施例では
セラミック基板15を用いたが、この他に樹脂基板に用
いても同じような効果を得ることができる。
As described above, according to the present embodiment, since the sensor adhesive tape 30 is used for mounting the acceleration sensor 10, the thickness of the sensor adhesive tape 30 is selected so that the mounting surface of the ceramic substrate 15 can be reduced. The space between the inertial portion 11 and the lower surface can be set to a desired size. In addition, since the sensor adhesive tape 30 is processed with high precision in thickness, the acceleration sensor 10 can be adhered and fixed with high accuracy. In addition, since an adhesive bond is not used for mounting the acceleration sensor 10, it is possible to prevent the adhesive bond from flowing into the slits 12, fixing the inertial portion 11 and causing malfunction, and the like. Therefore, it is possible to improve the mounting quality and reduce the mounting cost. In this embodiment, the ceramic substrate 15 is used, but the same effect can be obtained by using a resin substrate instead.

【0032】次に、本発明の第6実施例を図6を用いて
説明する。図6は本発明の第6実施例を示す加速度セン
サの実装構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装
前)、(b)はC−C断面図(加速度センサ実装後)、
(c)は嵩上げ部形成工程1、(d)は嵩上げ部形成工
程2、(e)は嵩上げ部形成工程3である。尚、第6実
施例は第1実施例の一部を変更したもので、その他につ
いては第1実施例と略同じであるので、同じ構成につい
ては同じ符号を付し説明を省略する。
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6A and 6B are mounting structure diagrams of an acceleration sensor according to a sixth embodiment of the present invention. FIG. 6A is a plan view (before mounting the acceleration sensor), FIG.
(C) is a raised part forming step 1, (d) is a raised part forming step 2, and (e) is a raised part forming step 3. In the sixth embodiment, a part of the first embodiment is modified, and the others are substantially the same as those of the first embodiment.

【0033】32は嵩上げ部で、加速度センサ10の慣
性部11の下面とセラミック基板15の実装面との間隔
を所定の間隔に保持するとともに接着ボンドの広がり過
ぎを阻止するためのものである。嵩上げ部32は、セラ
ミック基板15の実装面に加速度センサ10の慣性部1
1を除く部分に略等しい嵩上げ部32が形成される。嵩
上げ部32を形成するには、セラミック基板15の実装
面に紫外線硬化フイルム33を貼り付け、その上に感光
窓36が形成された嵩上げ部形成用カバー35を載せ、
嵩上げ部形成用カバー35の上方より紫外線を照射して
感光窓36の箇所を硬化させた後に紫外線硬化フイルム
33と嵩上げ部形成用カバー35を取り除き嵩上げ部3
2が形成される。嵩上げ部形成用カバー35は、紫外線
の透過を遮断する部材を用いて嵩上げ部32に相当する
位置に感光窓36が形成されている。尚、紫外線硬化フ
イルム33の厚みを選定することにより、嵩上げ部32
の高さを所望する寸法に形成することができる。
Numeral 32 denotes a raised portion for keeping the interval between the lower surface of the inertia portion 11 of the acceleration sensor 10 and the mounting surface of the ceramic substrate 15 at a predetermined interval and preventing the adhesive bond from spreading too much. The raised portion 32 is provided on the mounting surface of the ceramic substrate
A raised portion 32 substantially equal to the portion excluding 1 is formed. In order to form the raised portion 32, an ultraviolet curing film 33 is attached to the mounting surface of the ceramic substrate 15, and a raised portion forming cover 35 having a photosensitive window 36 formed thereon is placed thereon,
After irradiating ultraviolet rays from above the raised portion forming cover 35 to cure the portion of the photosensitive window 36, the ultraviolet curing film 33 and the raised portion forming cover 35 are removed to remove the raised portion 3.
2 are formed. The cover 35 for raising the raised portion has a photosensitive window 36 formed at a position corresponding to the raised portion 32 using a member that blocks transmission of ultraviolet light. In addition, by selecting the thickness of the ultraviolet curing film 33, the raising portion 32
Can be formed to a desired size.

【0034】次に動作を説明する。セラミック基板15
の嵩上げ部32の外側に接着ボンド18を塗布する。そ
して、加速度センサ10を嵩上げ部32の上に実装し接
着ボンド18によりセラミック基板15に固定する。セ
ラミック基板15に実装された加速度センサ10に衝撃
等により矢印G方向へ加速度が加わわると、慣性部11
が矢印Gと逆方向へ移動する。その時の移動により加速
度センサ10の抵抗値が変化するので、その抵抗値の変
化量を取出し加速度に変換する。
Next, the operation will be described. Ceramic substrate 15
The adhesive bond 18 is applied to the outside of the raised portion 32 of FIG. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the raised portion 32 and fixed to the ceramic substrate 15 by the adhesive bond 18. When acceleration is applied to the acceleration sensor 10 mounted on the ceramic substrate 15 in the direction of arrow G due to impact or the like, the inertia portion 11
Moves in the direction opposite to arrow G. Since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes due to the movement at that time, the amount of change in the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0035】以上説明したように本実施例によれば、嵩
上げ部32の形成に紫外線硬化フイルム33を用いるこ
とにより、セラミック基板15の実装面と慣性部11の
下面との間隔を所望する寸法に設定することができる。
また、紫外線硬化フイルム33は厚みが高精度に加工さ
れているので、加速度センサ10を精度よく接着固定す
ることができる。その他に、接着ボンド18がスリット
12へ流れ込み慣性部11が固定され動作不良となる等
の不具合を防止することができる。従って、実装品質の
向上と実装経費の低減を図ることができる。尚、本実施
例ではセラミック基板15を用いたが、この他に樹脂基
板に用いても同じような効果を得ることができる。
As described above, according to this embodiment, the space between the mounting surface of the ceramic substrate 15 and the lower surface of the inertia portion 11 is set to a desired size by using the ultraviolet curing film 33 for forming the raised portion 32. Can be set.
In addition, since the thickness of the ultraviolet curing film 33 is processed with high precision, the acceleration sensor 10 can be bonded and fixed with high accuracy. In addition, it is possible to prevent problems such as the adhesive bond 18 flowing into the slit 12 and the inertia portion 11 being fixed, resulting in malfunction. Therefore, it is possible to improve the mounting quality and reduce the mounting cost. In this embodiment, the ceramic substrate 15 is used, but the same effect can be obtained by using a resin substrate instead.

【0036】次に、本発明の第7実施例を図7を用いて
説明する。図7は本発明の第7実施例を示す加速度セン
サの実装構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装
前)、(b)はC−C断面図(加速度センサ実装後)、
(c)は嵩上げ部形成工程1、(d)は嵩上げ部形成工
程2、(e)は嵩上げ部形成工程3である。尚、第7実
施例は第1実施例の一部を変更したもので、その他につ
いては第1実施例と略同じであるので、同じ構成につい
ては同じ符号を付し説明を省略する。
Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 7A and 7B are mounting structure diagrams of an acceleration sensor according to a seventh embodiment of the present invention. FIG. 7A is a plan view (before mounting the acceleration sensor), FIG.
(C) is a raised part forming step 1, (d) is a raised part forming step 2, and (e) is a raised part forming step 3. The seventh embodiment is a partial modification of the first embodiment, and the other components are substantially the same as those of the first embodiment. Therefore, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

【0037】40は嵩上げ部で、加速度センサ10の慣
性部11の下面とセラミック基板15の実装面との間隔
を所定の間隔に保持するとともに接着ボンドの広がり過
ぎを阻止するためのものである。嵩上げ部40は、セラ
ミック基板15の実装面に加速度センサ10の慣性部1
1を除く部分に略等しい嵩上げ部40が形成される。嵩
上げ部40を形成するには、セラミック基板15の実装
面に紫外線硬化樹脂を印刷し、印刷された嵩上げ部40
の上方より紫外線を照射して硬化させる。尚、嵩上げ部
40の高さは印刷板の厚みを選定することにより高さを
所望する寸法に形成することができる。
Numeral 40 denotes a raised portion for keeping the interval between the lower surface of the inertia portion 11 of the acceleration sensor 10 and the mounting surface of the ceramic substrate 15 at a predetermined interval and preventing the adhesive bond from spreading too much. The raised portion 40 is provided on the mounting surface of the ceramic substrate
A raised portion 40 substantially equal to the portion except 1 is formed. In order to form the raised portion 40, an ultraviolet curing resin is printed on the mounting surface of the ceramic substrate 15, and the printed raised portion 40 is printed.
UV light is irradiated from above to cure. The height of the raised portion 40 can be set to a desired height by selecting the thickness of the printing plate.

【0038】次に動作を説明する。セラミック基板15
の嵩上げ部40の外側に接着ボンド18を塗布する。そ
して、加速度センサ10を嵩上げ部40の上に実装し接
着ボンド18によりセラミック基板15に固定する。セ
ラミック基板15に実装された加速度センサ10に衝撃
等により矢印G方向へ加速度が加わわると、慣性部11
が矢印Gと逆方向へ移動する。その時の移動により加速
度センサ10の抵抗値が変化するので、その抵抗値の変
化量を取出し加速度に変換する。
Next, the operation will be described. Ceramic substrate 15
The adhesive bond 18 is applied to the outside of the raised portion 40. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the raised portion 40 and fixed to the ceramic substrate 15 by the adhesive bond 18. When acceleration is applied to the acceleration sensor 10 mounted on the ceramic substrate 15 in the direction of arrow G due to impact or the like, the inertia portion 11
Moves in the direction opposite to arrow G. Since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes due to the movement at that time, the amount of change in the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0039】以上説明したように本実施例によれば、嵩
上げ部40が紫外線硬化樹脂の印刷により形成されるの
で、セラミック基板15の実装面と慣性部11の下面と
の間隔を所望する寸法に設定することができる。また、
紫外線硬化樹脂は厚みが高精度に加工されているので、
加速度センサ10を精度よく接着固定することができ
る。その他に、接着ボンド18がスリット12へ流れ込
み慣性部11が固定され動作不良となる等の不具合を防
止することができる。従って、実装品質の向上と実装経
費の低減を図ることができる。尚、本実施例ではセラミ
ック基板15を用いたが、この他に樹脂基板に用いても
同じような効果を得ることができる。
As described above, according to this embodiment, since the raised portion 40 is formed by printing of the ultraviolet curable resin, the distance between the mounting surface of the ceramic substrate 15 and the lower surface of the inertia portion 11 is set to a desired size. Can be set. Also,
Since the UV curable resin is processed with high precision in thickness,
The acceleration sensor 10 can be accurately bonded and fixed. In addition, it is possible to prevent problems such as the adhesive bond 18 flowing into the slit 12 and the inertia portion 11 being fixed, resulting in malfunction. Therefore, it is possible to improve the mounting quality and reduce the mounting cost. In this embodiment, the ceramic substrate 15 is used, but the same effect can be obtained by using a resin substrate instead.

【0040】次に、本発明の第8実施例を図8を用いて
説明する。図8は本発明の第8実施例の加速度センサの
実装構造を示す断面図ある。尚、第8実施例は第1実施
例の一部を変更したもので、その他については第1実施
例と略同じであるので、同じ構成については同じ符号を
付し説明を省略する。50は基板で、金属板(例えばア
ルミ鋼板)で形成さた補強板51にフレキシブル基板5
5が貼り合わされており、フレキシブル基板55には電
子部品等が実装されている。基板50には加速度センサ
10を接着する際に接着ボンド18がスリット12へ流
れ込み慣性部11が固定されるのを阻止するための凸部
52が形成されている。凸部52は加速度センサ10の
実装面方向に向けて突出するように形成されている。
尚、凸部52は接着ボンド18の塗布部(例えば角部4
か所)にのみ設けてもよく、また加速度センサ10の慣
性部11を除く外周部の全体に当接するように設けても
よい。
Next, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to an eighth embodiment of the present invention. The eighth embodiment is a partial modification of the first embodiment, and the other parts are substantially the same as those of the first embodiment. Reference numeral 50 denotes a substrate. A flexible substrate 5 is provided on a reinforcing plate 51 formed of a metal plate (for example, an aluminum steel plate).
5 are bonded together, and electronic components and the like are mounted on the flexible substrate 55. A projection 52 is formed on the substrate 50 to prevent the adhesive bond 18 from flowing into the slit 12 and fixing the inertial portion 11 when the acceleration sensor 10 is bonded. The projection 52 is formed so as to project toward the mounting surface of the acceleration sensor 10.
In addition, the convex part 52 is a coating part of the adhesive bond 18 (for example, the corner part 4).
), Or may be provided so as to be in contact with the entire outer peripheral portion of the acceleration sensor 10 except for the inertia portion 11.

【0041】次に動作を説明する。基板50の凸部52
の外側に接着ボンド18を塗布する。そして、加速度セ
ンサ10を接着ボンド18の上に実装し接着ボンド18
により基板50に固定する。基板50に実装された加速
度センサ10に衝撃等により矢印G方向へ加速度が加わ
わると、慣性部11が矢印Gと逆方向へ移動する。その
時の移動により加速度センサ10の抵抗値が変化するの
で、その抵抗値の変化量を取出し加速度に変換する。
Next, the operation will be described. Convex part 52 of substrate 50
An adhesive bond 18 is applied to the outside. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the adhesive bond 18 and
To the substrate 50. When acceleration is applied to the acceleration sensor 10 mounted on the substrate 50 in the direction of arrow G due to impact or the like, the inertia unit 11 moves in the direction opposite to the direction of arrow G. Since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes due to the movement at that time, the amount of change in the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0042】以上説明したように本実施例によれば、基
板50の凸部52により接着ボンド18がスリット12
へ流れ込み慣性部11が固定され動作不良となる等の不
具合を防止することができる。従って、実装品質の向上
と実装経費の低減を図ることができる。次に、本発明の
第9実施例を図9を用いて説明する。
As described above, according to the present embodiment, the adhesive bond 18 is formed by
It is possible to prevent a problem that the inertia portion 11 flows into the fixing portion and is fixed, resulting in malfunction. Therefore, it is possible to improve the mounting quality and reduce the mounting cost. Next, a ninth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

【0043】図9は本発明の第9実施例の加速度センサ
の実装構造を示す断面図ある。尚、第9実施例は第1実
施例の一部を変更したもので、その他については第1実
施例と略同じであるので、同じ構成については同じ符号
を付し説明を省略する。60は基板で、金属板(例えば
アルミ鋼板)で形成さた補強板61にフレキシブル基板
65が貼り合わされており、フレキシブル基板65には
電子部品(図示省略)等が実装されている。基板60に
は加速度センサ10を接着する際の嵩上げ部62と、接
着ボンド18の塗布部となる凹部63が嵩上げ部62の
外側に連続して形成されている。嵩上げ部62は加速度
センサ10の慣性部11の下面と基板60の実装面との
間隔を所定の間隔に保持するとともに接着ボンドの広が
り過ぎを阻止するためのものである。尚、嵩上げ部62
および凹部63は接着ボンド18の塗布部(例えば角部
4か所)にのみ設けてもよく、または加速度センサ10
の慣性部11を除く外周部の全体に当接するように設け
てもよい。
FIG. 9 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a ninth embodiment of the present invention. The ninth embodiment is a partial modification of the first embodiment, and the other components are substantially the same as those in the first embodiment. Reference numeral 60 denotes a substrate, and a flexible substrate 65 is bonded to a reinforcing plate 61 formed of a metal plate (for example, an aluminum steel plate), and electronic components (not shown) and the like are mounted on the flexible substrate 65. A raised portion 62 for bonding the acceleration sensor 10 and a concave portion 63 serving as an application portion of the adhesive bond 18 are continuously formed on the substrate 60 outside the raised portion 62. The raised portion 62 is for keeping the interval between the lower surface of the inertia portion 11 of the acceleration sensor 10 and the mounting surface of the substrate 60 at a predetermined interval and preventing the adhesive bond from spreading too much. In addition, the raised portion 62
The concave portion 63 may be provided only in the application portion (for example, four corner portions) of the adhesive bond 18 or may be provided in the acceleration sensor 10.
May be provided so as to be in contact with the entire outer peripheral portion excluding the inertia portion 11 of FIG.

【0044】次に動作を説明する。基板60の嵩上げ部
62の外側に形成された凹部63に接着ボンド18を塗
布する。そして、加速度センサ10を嵩上げ部62(接
着ボンド18)の上に実装し接着ボンド18により基板
60に固定する。基板60に実装された加速度センサ1
0に衝撃等により矢印G方向へ加速度が加わわると、慣
性部11が矢印Gと逆方向へ移動する。その時の移動に
より加速度センサ10の抵抗値が変化するので、その抵
抗値の変化量を取出し加速度に変換する。
Next, the operation will be described. The adhesive bond 18 is applied to the concave portion 63 formed outside the raised portion 62 of the substrate 60. Then, the acceleration sensor 10 is mounted on the raised portion 62 (adhesive bond 18) and fixed to the substrate 60 by the adhesive bond 18. Acceleration sensor 1 mounted on substrate 60
When acceleration is applied to arrow 0 in the direction of arrow G due to impact or the like, inertia portion 11 moves in the direction opposite to arrow G. Since the resistance value of the acceleration sensor 10 changes due to the movement at that time, the amount of change in the resistance value is extracted and converted into acceleration.

【0045】以上説明したように本実施例によれば、基
板60の嵩上げ部62および凹部63により接着ボンド
18の広がり過ぎを阻止するので、接着ボンド18がス
リット12へ流れ込み慣性部11が固定され動作不良と
なる等の不具合を防止することができる。従って、実装
品質の向上と実装経費の低減を図ることができる。
As described above, according to this embodiment, since the adhesive bond 18 is prevented from spreading too much by the raised portion 62 and the concave portion 63 of the substrate 60, the adhesive bond 18 flows into the slit 12 and the inertia portion 11 is fixed. It is possible to prevent a malfunction such as a malfunction. Therefore, it is possible to improve the mounting quality and reduce the mounting cost.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板の実装面に形成された嵩上げ部の上に加速度センサを
実装することにより、該加速度センサの慣性部が移動時
に該基板の実装面と該慣性部の下面とが接触するのを防
止することができる。また、嵩上げ部は該加速度センサ
を実装する際に接着ボンドの広がり過ぎを阻止するの
で、接着ボンドが該加速度センサのスリット部へ流れ込
み慣性部が固定され動作不良となる等の不具合を防止す
ることができる。また、嵩上げ部は基板と一体形成され
るので実装経費が安価で信頼性の高い加速度センサの実
装構造を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the acceleration sensor is mounted on the raised portion formed on the mounting surface of the substrate, so that the inertia portion of the acceleration sensor is mounted on the substrate when the substrate is moved. The contact between the surface and the lower surface of the inertial portion can be prevented. Further, since the raised portion prevents the adhesive bond from spreading too much when the acceleration sensor is mounted, it is possible to prevent a problem such that the adhesive bond flows into the slit portion of the acceleration sensor, the inertial portion is fixed, and the operation failure is caused. Can be. Further, since the raised portion is formed integrally with the substrate, it is possible to provide a mounting structure of the acceleration sensor which has a low mounting cost and a high reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す加速度センサの実装
構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装前)、
(b)はA−A断面図(加速度センサ実装後)である。
FIG. 1 is a mounting structure diagram of an acceleration sensor according to a first embodiment of the present invention, in which (a) is a plan view (before mounting the acceleration sensor);
(B) is an AA cross-sectional view (after mounting the acceleration sensor).

【図2】本発明の第2実施例の加速度センサの実装構造
を示す断面図ある。
FIG. 2 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3実施例の加速度センサの実装構造
を示す断面図ある。
FIG. 3 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第4実施例の加速度センサの実装構造
を示す断面図ある。
FIG. 4 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第5実施例を示す加速度センサの実装
構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装前)、
(b)はB−B断面図(加速度センサ実装後)である。
5A and 5B are mounting structure diagrams of an acceleration sensor showing a fifth embodiment of the present invention, wherein FIG. 5A is a plan view (before mounting the acceleration sensor),
(B) is a BB cross-sectional view (after mounting the acceleration sensor).

【図6】本発明の第6実施例を示す加速度センサの実装
構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装前)、
(b)はC−C断面図(加速度センサ実装後)、(c)
は嵩上げ部形成工程1、(d)は嵩上げ部形成工程2、
(e)は嵩上げ部形成工程3である。
6A and 6B are mounting structure diagrams of an acceleration sensor according to a sixth embodiment of the present invention, wherein FIG. 6A is a plan view (before mounting the acceleration sensor);
(B) is a CC cross-sectional view (after mounting the acceleration sensor), (c)
Is a raised portion forming step 1, (d) is a raised portion forming step 2,
(E) is a raised portion forming step 3.

【図7】本発明の第7実施例を示す加速度センサの実装
構造図で、(a)は平面図(加速度センサ実装前)、
(b)はD−D断面図(加速度センサ実装後)、(c)
は嵩上げ部形成工程1、(d)は嵩上げ部形成工程2で
ある。
7A and 7B are mounting structure diagrams of an acceleration sensor showing a seventh embodiment of the present invention, wherein FIG. 7A is a plan view (before mounting the acceleration sensor),
(B) is a cross-sectional view of the DD (after mounting the acceleration sensor), (c)
Is a raised portion forming step 1, and (d) is a raised portion forming step 2.

【図8】本発明の第8実施例の加速度センサの実装構造
を示す断面図ある。
FIG. 8 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to an eighth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第9実施例の加速度センサの実装構造
を示す断面図ある。
FIG. 9 is a sectional view showing a mounting structure of an acceleration sensor according to a ninth embodiment of the present invention.

【図10】従来の加速度センサの実装構造を示す断面図
である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a mounting structure of a conventional acceleration sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・・・加速度センサ 11・・・・・慣性部 12・・・・・スリット 13・・・・・梁部 15・・・・・セラミック基板 16・・・・・樹脂基板 18・・・・・接着ボンド 20・・・・・嵩上げパターン 22,23,25,27,28,32,40,62・・
嵩上げ部 30・・・・・センサ接着テープ 33・・・・・紫外線硬化フイルム 35・・・・・嵩上げ部形成用カバー 36・・・・・感光窓 38・・・・・紫外線 50,60・・基板 51,61・・補強板 52・・・・・凸部 55,65・・フイルム基板 63・・・・・凹部
10 Acceleration sensor 11 Inertia part 12 Slit 13 Beam part 15 Ceramic substrate 16 Resin substrate 18 ... Adhesive bond 20 ... Bump-up pattern 22,23,25,27,28,32,40,62 ...
Raised portion 30 ··· Sensor adhesive tape 33 ···· Ultraviolet curable film 35 ··· Lifted portion forming cover 36 ··· Photosensitive window 38 ···· Ultraviolet 50, 60 · Boards 51 and 61 · · · Reinforcement plate 52 · · · · Projections 55 and 65 · · · Film substrate 63 ... · · · Concave

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 弾性支持された慣性部の移動により加速
度を検出する加速度センサを、慣性部の移動方向が電子
回路基板の表面と垂直方向となるように搭載する加速度
センサの実装構造において、 前記搭載位置に前記加速度センサの慣性部を除く部位が
当接するように形成された嵩上げ用パターンと、 前記嵩上げ用パターンの外側部に塗布された接着ボンド
からなり、 前記嵩上げ用パターン上に前記加速度センサを搭載し前
記接着ボンドにより接着固定するようにしたことを特徴
とする加速度センサの実装構造。
1. A mounting structure for an acceleration sensor, comprising: an acceleration sensor for detecting acceleration by movement of an elastically supported inertia portion such that a movement direction of the inertia portion is perpendicular to a surface of the electronic circuit board. A raising pattern formed so that a portion of the acceleration sensor other than the inertia portion abuts on the mounting position; and an adhesive bond applied to an outer portion of the raising pattern, wherein the acceleration sensor is provided on the raising pattern. A mounting structure of the acceleration sensor, wherein the acceleration sensor is mounted and fixed by the adhesive bond.
【請求項2】 前記嵩上げ用パターン上にガラス部材を
溶融重積し前記加速度センサの嵩上部を形成するように
したことを特徴とする請求項1記載の加速度センサの実
装構造。
2. The mounting structure for an acceleration sensor according to claim 1, wherein a glass member is melt-stacked on the raising pattern to form a raised portion of the acceleration sensor.
【請求項3】 前記搭載位置にガラス部材を溶着し前記
加速度センサの嵩上部を形成するようにしたことを特徴
とする請求項1記載の加速度センサの実装構造。
3. A mounting structure for an acceleration sensor according to claim 1, wherein a glass member is welded to said mounting position to form a bulky portion of said acceleration sensor.
【請求項4】 前記嵩上げ用パターン上にソルダーレジ
スト部材を印刷し、前記加速度センサの嵩上部を形成す
るようにしたことを特徴とする請求項1記載の加速度セ
ンサの実装構造。
4. The mounting structure for an acceleration sensor according to claim 1, wherein a solder resist member is printed on the raising pattern to form a raised portion of the acceleration sensor.
【請求項5】 弾性支持された慣性部の移動により加速
度を検出する加速度センサを、慣性部の移動方向が電子
回路基板の表面と垂直方向となるように該加速度センサ
を該電子回路基板の表面に搭載する加速度センサの実装
構造において、 前記加速度センサの慣性部を除く部位に接着するように
形成された嵩上げ用両面接着テープを前記搭載位置に貼
り、該両面接着テープ上に前記加速度センサを搭載する
ようしにたことを特徴とする加速度センサの実装構造。
5. An acceleration sensor for detecting acceleration by movement of an elastically supported inertial portion, wherein the acceleration sensor is mounted on a surface of the electronic circuit board such that a direction of movement of the inertial portion is perpendicular to a surface of the electronic circuit board. In the mounting structure of the acceleration sensor to be mounted on the double-sided adhesive tape, a double-sided adhesive tape for raising is formed so as to be bonded to a portion other than an inertia portion of the acceleration sensor at the mounting position, and the acceleration sensor is mounted on the double-sided adhesive tape. A mounting structure of an acceleration sensor, characterized in that:
【請求項6】 前記搭載位置に紫外線硬化樹脂フイルム
を貼り嵩上げ形成部のみに紫外線を照射して嵩上げ部を
形成するようしにたことを特徴とする請求項1記載の加
速度センサの実装構造。
6. The mounting structure for an acceleration sensor according to claim 1, wherein an ultraviolet curable resin film is attached to the mounting position, and only the raised portion is irradiated with ultraviolet rays to form the raised portion.
【請求項7】 前記搭載位置に紫外線硬化樹脂部材を印
刷し該印刷部に紫外線を照射して嵩上げ部を形成するよ
うしにたことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ
の実装構造。
7. The mounting structure for an acceleration sensor according to claim 1, wherein an ultraviolet-curable resin member is printed on the mounting position, and the printed portion is irradiated with ultraviolet light to form a raised portion.
【請求項8】 弾性支持された慣性部の移動により加速
度を検出する加速度センサを、慣性部の移動方向が電子
回路基板の表面と垂直方向となるように搭載する加速度
センサの実装構造において、 前記搭載位置に前記加速度センサの慣性部を除く部位に
相当するように形成された凸部と、 前記凸部の外側部に塗布された接着ボンドからなり、 前記接着ボンド上に前記加速度センサを搭載し前記接着
ボンドにより接着固定するようにしたことを特徴とする
加速度センサの実装構造。
8. The mounting structure of an acceleration sensor, wherein an acceleration sensor for detecting acceleration by movement of an elastically supported inertia part is mounted such that a direction of movement of the inertia part is perpendicular to a surface of the electronic circuit board. A convex portion formed at a mounting position to correspond to a portion excluding an inertia portion of the acceleration sensor; and an adhesive bond applied to an outer portion of the convex portion, wherein the acceleration sensor is mounted on the adhesive bond. A mounting structure for an acceleration sensor, wherein the mounting structure is adhered and fixed by the adhesive bond.
【請求項9】 前記搭載位置に前記加速度センサの慣性
部を除く部位に当接するように形成された嵩上げ凸部
と、 前記凸部の外周方向に接続して形成された凹部と、 前記凹部に塗布された接着ボンドからなり、 前記嵩上げ凸部上に前記加速度センサを搭載するように
したことを特徴とする請求項8記載の加速度センサの実
装構造。
9. A raised protrusion formed at the mounting position so as to contact a part other than an inertia part of the acceleration sensor; a recess formed by being connected to an outer peripheral direction of the protrusion; 9. The mounting structure for an acceleration sensor according to claim 8, wherein said acceleration sensor is formed of an applied adhesive bond, and said acceleration sensor is mounted on said raised protrusion.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6848306B2 (en) 2000-06-26 2005-02-01 Denso Corporation Semiconductor dynamic sensor
JP2005331258A (en) * 2004-05-18 2005-12-02 Denso Corp Vibration angular-velocity sensor
JP2009063550A (en) * 2007-09-10 2009-03-26 Rohm Co Ltd Semiconductor sensor device
JP2010272696A (en) * 2009-05-21 2010-12-02 Panasonic Electric Works Co Ltd Semiconductor device
CN112294316A (en) * 2019-08-02 2021-02-02 华广生技股份有限公司 Physiological signal monitoring device and sensor bracket thereof

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6848306B2 (en) 2000-06-26 2005-02-01 Denso Corporation Semiconductor dynamic sensor
JP2005331258A (en) * 2004-05-18 2005-12-02 Denso Corp Vibration angular-velocity sensor
JP2009063550A (en) * 2007-09-10 2009-03-26 Rohm Co Ltd Semiconductor sensor device
JP2010272696A (en) * 2009-05-21 2010-12-02 Panasonic Electric Works Co Ltd Semiconductor device
CN112294316A (en) * 2019-08-02 2021-02-02 华广生技股份有限公司 Physiological signal monitoring device and sensor bracket thereof

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