JPH10244363A - 高融点金属ろう接円筒形状部材及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 実用上非常に施工が簡便となると共に，母材
の脆化の恐れの少なく，接合強度に優れ寸法精度の高い
電子部品用の高融点金属製ろう接円筒形状部材とその製
造方法とを提供すること。 【解決手段】 高融点金属ろう接円筒形状部材１０は，
Ｗ，Ｍｏおよびそれぞれの合金の内の少なくとも１種か
らなる円筒状の板材である。高融点金属ろう接円筒形状
部材１０は，曲げ加工を施した少なくとも一つの板材１
の端部をろう材２を介して接合してなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，電子部品用高融点
金属製パイプ及びリング等に用いられる高融点金属円筒
形状部材とその製造方法に関し，詳しくは，平板状の高
融点金属板材からろう接により円筒形状に形成された高
融点金属ろう接円筒形状部材とその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年電子部品の分野において，高融点金
属製パイプ及びリング等の円筒形状部材が要求されてい
る。例えば，含浸型カソード部品用モリブデン（Ｍｏ）
パイプ，電力用サイリスタ用タングステン（Ｗ）および
Ｍｏ電極リング等の円筒形状部材が使用されている。一
般に含浸型カソード部品用Ｍｏパイプは，棒材をガンド
リル等により貫通穴を開け素管とし，管引き，切断加工
等により必要サイズのパイプを製造している。

【０００３】さらに，電力用サイリスタ用Ｗ及びＭｏ電
極リングでは，圧延あるいは鍛造等により加工した板材
からリング形状を切り出す，または粉末冶金法によりリ
ング状にプレスし焼結する等により製造される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，Ｗおよ
びＭｏ等の高融点金属は，いずれも難加工性の金属であ
り，例えば，Ｗにおいては，棒材をガンドリル等により
貫通穴をあけ素管とすることが困難である。さらに，上
記棒材および板材からの加工では，製品の部分よりも加
工により取り除いた部分の方が多くなる場合も多い。す
なわち歩留が極度に悪く，資源やエネルギーの使用量も
大きくなり，コスト高の要因となっている。また，板材
から切り出す方法では，板材の厚みが長さの限界とな
り，長尺の製品の製造は困難である。

【０００５】一方，焼結品では，加工量が大幅に減少す
る利点をもつが，強度面で不安がある。したがって，曲
げ加工を施した板の両端部を接合することにより，円筒
形状部材を形成する方法が強く要求されている。そのた
めには，Ｗ，Ｍｏの接合方法が問題となる。用途，サイ
ズ，精度によっては，接合加工後の状態で使用可能な場
合もあるが，電子部品などの分野では要求精度が高いた
め管引き等の後加工を施す場合がほとんどである。例え
ば，外径１．５〜２．０ｍｍ，肉厚０．１ｍｍのＭｏパ
イプの場合，長さについては，±０．０２ｍｍ，肉厚に
ついては，±０．０５ｍｍの精度がそれぞれ要求されて
いる。その場合に管引き等の後加工に耐えられる接合強
度を持つ必要がある。

【０００６】また，Ｗ，Ｍｏ等の高融点金属に適用が考
えられる接合方法としては，アーク，ティグ溶接（ＴＩ
Ｇ），レーザー，電子ビーム等を用いた融接接合，ろう
接接合，拡散接合，リベット止めおよびボルト止め等の
機械接合などがある。

【０００７】ここで，融接は母材の溶接しようとする部
位を加熱し，母材のみか，又は母材と溶加材とを融合さ
せて溶融金属を作り，これを凝固させ接合する方法で，
鉄系金属を中心に広く構造体の製作に使用されている。
しかし，融接法では，母材を溶解する必要があるため，
母材の融点以上の温度に加熱することが必須である。ま
た，母材の溶解，凝固を伴うため組織変化，すなわち再
結晶およびその粗大化が避けえないため残留応力および
組織変化により融接部近傍の脆化，強度低下が生じる。
そのため，特に溶解，凝固にともなう結晶粒粗大化によ
る脆化が顕著なＷ，Ｍｏなどの難溶接性金属に対して適
用が困難である。

【０００８】一方，Ｗ同士，Ｍｏ同士の拡散接合では，
再結晶温度以上において初めて接合可能となるため結晶
粒の粗大化による脆化が生じる。そこで接合温度をさげ
るため，Ｎｉ箔等のインサート材を使用することも検討
されている。その場合，使用温度によっては金属間化合
物を生成し脆化が生じる。たとえば，Ｎｉ／Ｗでは，約
１０００℃でＮｉ−Ｗ金属問化合物を，Ｎｉ／Ｍｏでは
約８００℃でＮｉ−Ｍｏ金属問化合物を生成する。

【０００９】また，リベット又はボルトによる機械的締
結は，古くから適用されており強度的にも安定している
が，小型部品には適用が難しく，また接合面の密着性に
問題がある。

【００１０】さらに，ろう接は母材を溶融することな
く，母材よりも低い融点をもつ金属の溶加材（ろう材）
を溶融させ，毛細管現象を利用し接合面の隙間に行き渡
らせて接合を行う方法である。そのため，溶解，凝固に
ともなう結晶粒粗大化や金属間化合物の生成による脆化
が生じないほか，施工温度が低いため熱応力を抑えるこ
とができるとともに，母材の組織変化がない等の利点が
ある。さらに，高融点金属のように，母材溶解に対して
高エネルギーが必要な場合，あるいは凝固時に割れが生
じやすい材料に適している。

【００１１】例えば，ＷおよびＭｏ用ろう材としては，
低温域（８００℃以下）では銀ろう，高温域ではＲｕ−
Ｍｏ共晶合金ろう材が用いられている。これらのろう材
の内で，銀ろうでは，ろう接温度が低いため当然高温で
の使用は不可能であり，熱間温度にて行われる管引き加
工が不可能である。また，融点以下の使用においても軟
化温度がさらに低いため，強度低下の不安も大きい。

【００１２】一方，Ｒｕ−Ｍｏ共晶合金ろう材において
は，高温での強度低下の不安が少ないが，ろう接温度が
２０００℃と高いため，ＷおよびＭｏ母材の脆化が問題
となり，ろう接後の管引き加工が不可能等という実用上
の大きな問題が有るため，できるだけろう接部材の使用
に問題のない範囲でろう接温度が低く，接合強度の高い
ろう材が望ましい。

【００１３】そこで，本発明の技術的課題は，実用上非
常に施工が簡便となると共に，母材の脆化の恐れの少な
く，接合強度に優れ寸法精度の高い電子部品用の高融点
金属製ろう接円筒形状部材とその製造方法とを提供する
ことにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】ＷおよびＭｏ高温用ろう
材としては，例えば，Ｗ，Ｍｏに対し優れた濡れ性を示
すＲｕ−Ｍｏ共晶合金ろう材が知られているが，このろ
う材は融点が１９５５℃と高温であり，Ｗ，Ｍｏ母材の
脆化による強度低下や施工上の問題も多い。

【００１５】本発明者らは，このＲｕ−Ｍｏ共晶合金ろ
う材に，硼素（Ｂ）を添加することにより，濡れ性を損
なうことなく融点を調整できることを実験的に見い出
し，本発明をなすに至ったものである。

【００１６】即ち，本発明によれば，Ｗ，Ｍｏおよびそ
れぞれの合金の内の少なくとも１種からなる円筒状の板
材であって，平板に曲げ加工を施した少なくとも一つの
素材の端部同士をろう材を介して接合してなることを特
徴とする高融点金属ろう接円筒形状部材が得られる。

【００１７】また，本発明によれば，前記高融点金属ろ
う接円筒形状部材において，前記ろう材は，ルテニウム
・モリブデン（Ｒｕ−Ｍｏ）共晶合金に硼素（Ｂ）を
１．４重量％から３．５重量％添加したものから実質的
になることを特徴とする高融点金属ろう接円筒形状部材
が得られる。

【００１８】また，本発明によれば，Ｗ，Ｍｏおよびそ
れぞれの合金の内の少なくとも１種からなる板材に曲げ
加工を施し，少なくとも一つの前記板材の端部同士をろ
う材を介してろう接後，管引き加工を施すことを特徴と
する高融点金属ろう接円筒形状部材の製造方法が得られ
る。

【００１９】さらに，本発明によれば，Ｗ，Ｍｏおよび
それぞれの合金の内の少なくとも１種からなる板材に，
曲げ加工を施し，少なくとも一つの前記板材の端部同士
をろう材を介してろう接後，機械加工を施すことを特徴
とする高融点金属ろう接円筒形状部材の製造方法が得ら
れる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下，本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００２１】図１乃至図３は，本発明の実施の形態によ
る高融点金属ろう接円筒形状部材の種々の例を示す図で
ある。

【００２２】図１の例による高融点金属ろう接円筒形状
部材１０は，Ｗ，Ｍｏ，及びそれぞれの合金の内の少な
くとも１種の高融点金属からなる板材１を円状になるよ
うに曲げ加工を施し，直線部端面３ａ，３ｂ同士をＲｕ
−Ｍｏからなるろう材２を介して突き合わせて接合した
ものである。さらに，管引き等の後加工や研磨等の機械
加工を施しても良い。

【００２３】図２の例による高融点金属ろう接円筒形状
部材１１は，Ｗ，Ｍｏ，及びそれぞれの合金の内の少な
くとも１種の高融点金属からなる２枚の板材１，１´を
半円状に曲げ加工を施し，夫々の板材１，１´の直線部
端面３ａ，３ｂ及び３ｂ´，３ａ´を夫々Ｒｕ−Ｍｏか
らなるろう材２，２´を介して突き合わせて接合したも
のである。この例による高融点金属ろう接円筒形状部材
は，図１の例と同様に，管引き等の後加工や研磨等の機
械加工を施しても良い。

【００２４】図３の例による高融点金属ろう接円筒形状
部材１２は，Ｗ，Ｍｏ，及びそれぞれの合金の内の少な
くとも１種の高融点金属からなる板材１を円状になるよ
うに曲げ加工を施し，両端部を重ね合わせて，Ｒｕ−Ｍ
ｏからろう材２を介して接合したものである。さらに，
図１及び図２の例と同様に，管引き等の後加工や研磨等
の機械加工を施しても良い。

【００２５】図４は図１乃至図３の高融点金属ろう接円
筒形状部材の作製に用いるろう材の特性を示す図であ
る。図４に示すように，Ｒｕ，Ｍｏろう材は，硼素
（Ｂ）の添加量を増大させることによって，融点を低下
させることができる。

【００２６】ベースとなるＲｕ，Ｍｏろう材の組成範囲
はＲｕ量で３３．５から４９．５重量％が使用できる。
ここで，Ｒｕ−Ｍｏろう材は，この範囲においてＲｕ，
Ｍｏ共晶組織を有し，さらには共晶点である４３重量％
Ｒｕ−５７重量％Ｍｏが望ましい。

【００２７】さらに，Ｒｕ，Ｍｏ共晶合金ろう材に硼素
（Ｂ）をろう材の融点が１４２０℃から１９００℃の温
度範囲において，希望温度となる量添加することにより
ろう接温度を調整可能となる。

【００２８】例えば，Ｂの添加量が３．５重量％で融点
が約１４２０℃，２．５重量％で融点が約１６５０℃，
１．４重量％で融点が約１９００℃と融点を選択でき
る。

【００２９】ろう接温度は融点より約３０℃から５０℃
高く設定すればよいが，ワークサイズや加熱方法により
変更してもよい。

【００３０】ろう材は有機溶剤によりペースト状にして
塗布する方法が簡便であるが，プレスあるいは押出し法
により薄板あるいは棒状に成形してもよい。成形時必要
に応じて，パラフィン等のバインダーを混合してもよ
い。バインダーは通常のＷ，Ｍｏあるいは超硬合金の成
形に用いられるものでよく，脱バインダー条件なども同
様である。

【００３１】上記のろう材を用いて，曲げ加工を施した
素材の突き合わせ部，あるいは重ね合わせ部を接合する
ことにより，接合強度の優れた円筒形状部材が製作でき
る。曲げ形状は，熱間曲げ，プレスあるいは成形ロール
などにより，樋状，Ｃ型形状などに成形すればよい。用
途，サイズ，精度によっては，接合加工後の状態で使用
可能であるが管引き等の後加工を施すしてもよい。上記
のろう材においては融点を選択できるため，ろう接温度
を低く抑えることができ，かつ，ろう接時の加熱時間が
短いため，母材の再結晶による脆化を軽減することがで
き，後加工に耐えられる接合強度を持つ。そのため，管
引き等の後加工が可能となる。

【００３２】また，一般にはＭｏ母材として，純モリブ
デンがその加工性，コストなどの点から選択されるが，
その再結晶温度は約１０００℃と低い。さらに高温で使
用されるモリブデン材として，例えば，Ｔｉ，Ｚｒ，お
よびＣを含むＴＺＭが知られているが，ＴＺＭにおいて
もその再結晶温度は１３００〜１５００℃に過ぎない
が，本発明のろう材を用いることにより，ろう材の融点
を選択できるためろう接温度を低く抑えることができ，
かつ，ろう接時の加熱時間が短いため，モリブデンある
いはＴＺＭ母材の接合時の再結晶による脆化を軽減する
ことができる。

【００３３】さらに，再結晶温度後においても加工性お
よび耐高温変形性に優れたモリブデン材として，ラン夕
ン含有モリブデン（特公平２−３８６５９号公報，参
照）がある。このランタン含有モリブデンは，0.ｌ〜
１．０重量％未満のランタンまたはランタン酸化物と，
残部がモリブデンとからなり，実質的に一定方向に伸長
して再結晶化しているインターロッキング構造を呈する
結晶粒子を有する加工性および耐高温変形性に優れたモ
リブデン合金である。このランタン含有モリブデンを素
材として使用することにより，融点がより高温のろう材
を用いても脆化を生じることがなく，かつ純モリブデン
を素材として用いた場合よりも高温使用時での変形量を
小さくできる。

【００３４】前記のろう材，すなわちろう接部材の使用
温度に適した融点のろう材，によりろう接処理を行うこ
とにより従来から実績のあるＲｕ−Ｍｏ共晶合金ろう材
を使用した場合に比べろう接温度を下げることができる
ため，高融点金属のろう接に関し，２０００℃以上加熱
可能な高価な加熟炉を使用する必要もなくなり，炉構
造，加熱方法の自由度が高くなり，実用上非常に施工が
簡便となると共に，母材の脆化の恐れの少ないろう接円
筒形状部材を提供することができる。さらに管引き加工
が可能な強度を持つため適正サイズのダイスおよび芯金
を用いることにより，寸法精度の高い円筒状部材を得る
ことができる。

【００３５】以下，本発明の高融点金属ろう接円筒形状
部材の製造の具体例を示す。

【００３６】（第１の実施の形態）板厚１ｍｍ，幅１
２．５ｍｍ，長さ２００ｍｍのＭｏ板を熱間プレス加工
により外周半径４ｍｍの樋状に加工したものを２本準備
し母材１，及び２とした。母材１の長手直線部端面に融
点が約１４２０℃である４１．重量％Ｒｕ−５５．０重
量％Ｍｏ−３．５重量％Ｂからなるろう材粉末をバイン
ダーによりペースト状にしたろう材を塗布した後，母材
２をセットし，端面同士をろう材を介して突き合わせ，
治具にて位置ずれをふせぎＡｒ雰囲気炉中で毎分１５℃
の昇温速度で１４５０℃まで昇温し，この温度で５分保
持後徐冷を行い外径約８ｍｍ，長さ２００ｍｍのパイプ
の接合を完了した。

【００３７】この接合処理後，目視外観検査にて母材隙
間部にろう材が充分流れ，空隙が存在せず，非常に良好
な接合状態が得られていることを確認し，熱間管引き用
素管とした。熱間管引きは芯金およびダイスを順次小さ
くし最終サイズ外径１．６ｍｍ，肉厚０．１０ｍｍに管
引きした後，長さ３．４ｍｍに切断し，パイプ状とし切
断バリ除去のためバレル研磨を施し，さらに管引き加工
の歪み取りのため９５０℃にて１０分間保持し，図２示
すような形状を備えたパイプ状部材を製作した。２０倍
の光学顕微鏡にて外観検査を行い，割れなどの加工不良
がないことを確認した後，寸法測定を測定数１０本にて
行った。その結果，要求精度長さ３．４±０．０２ｍｍ
に対し＋０．０１５ｍｍ，０．０１０ｍｍ，肉厚０．１
０±０．００５ｍｍに対し＋０．００３，−０．００４
ｍｍの範囲内にあり，要求精度を満たしていた。

【００３８】さらに，本パイプ状部材の圧環強度試験を
ＪＩＳ Ｚ２５０７に基ずいて調べた。接合位置を荷重
方向に対し０度および９０度の位置に合わせ，試験本数
各５本計１０本の平均圧環強度は９７１．９ＭＰａ，最
大強度１０４９．０ＭＰａ，最小強度９４９．４ＭＰａ
であった。また接合位置の方向による差はなかった。

【００３９】次に，本パイプ状部材を電子部品用Ｍｏパ
イプとして実用に供されている通常の管引き工程にて製
作した同サイズのパイプと比較した。すなわち，外径８
ｍｍ，長さ２００ｍｍのＭｏ捧にガンドリルにて内径６
ｍｍの穴を空け素管とし，上記１と同様に熱問管引きを
施し外径１．６ｍｍ，肉厚０．１ｍｍ，長さ３．４ｍｍ
のパイプ状部材を製作した。本部材の圧環強度を上記試
験法にて試験した結果は平均圧環強度９８３．７ＭＰ
ａ，最大強度１００３．８ＭＰａ，最小強度９６１．８
ＭＰａであった。

【００４０】すなわち，ろう接後熱間管引き加工を施し
たパイプ状部材は電子部品用Ｍｏパイプとして実用に耐
える寸法精度および強度を持つ。

【００４１】（第２の実施の形態）第１の実施の形態と
同様に板厚１ｍｍ，幅１２．５，長さ２００ｍｍのラン
タン含有モリブデン（特公平２−３８６５９号公報参
照）板を熱間プレス加工により外周半径４ｍｍの樋状に
加工したものを２本準備し母材１，および２とした。母
材１の長手直線部端面に融点が約１９００℃である４
２．４重量％Ｒｕ−５６．２重量％Ｍｏ−１．４重量％
Ｂのろう材粉末をバインダーによりペースト状にしたろ
う材を塗布した後，母材２をセットし，端面同士をろう
材を介して突き合わせ治具にて位置ずれをふせぎ，真空
炉中で毎分１５℃の速度で１９５０℃まで昇温し，この
温度で５分保持後徐冷を行い外径約８ｍｍ，長さ２００
ｍｍのパイプの接合を完了した。

【００４２】この接合処理後，目視外観検査にて母材隙
間部にろう材が充分流れ，空隙が存在せず，非常に良好
な接合状態が得られていることを確認し，熱間管引き用
素管とした。熱間管引きは芯金およびダイスを順次小さ
くし最終サイズ外径１．６ｍｍ，肉厚０．１ｍｍに管引
きした後，長さ３．４ｍｍに切断し，バレル研磨を施
し，さらに管引き加工の歪み取りのため９５０℃にて１
０分間保持し，図２に示す形状を備えたパイプ状部材を
製作した。２０倍の光学顕微鏡にて外観検査を行い，割
れなどの加工不良がないことを確認した後，寸法測定を
測定数１０本にて行った。その結果，要求精度長さ３．
４±０．０２ｍｍに対し＋０．０１３ｍｍ，−０．０１
１ｍｍ，肉厚０．１０±０．００５ｍｍに対し±０．０
０３ｍｍの範囲内にあり，要求精度を満たしていた。さ
らに本パイプ状部材の圧環強度試験をＪＩＳ Ｚ２５０
７に基ずいて調べた。試験本数１０本の平均圧環強度は
１１０９．９ＭＰａ，最大強度１１３０．０ＭＰａ，最
小強度１０９１．４ＭＰａであり，第１の実施の形態と
同様，電子部品用Ｍｏパイプとして実用に耐える寸法精
度および強度を持つことが判明した。

【００４３】（第３の実施の形態）第１の実施の形態と
同様に板厚１ｍｍ，幅１２．５ｍｍ，長さ２００ｍｍの
Ｗ板を熱間プレス加工により外周半径４ｍｍの樋上に加
工したものを２本準備し母材１，および２とした。母材
１の長手直線部端面に融点が約１６００℃である４１．
８重量％Ｒｕ−５５．４重量％Ｍｏ−２．８重量％Ｂか
らなるろう材粉末をバインダーによりペースト状にした
ろう材を塗布した後，母材２をセットしろう材を介して
端面同士を夫々突き合わせ，治具にて位置ずれをふせ
ぎ，真空炉中で毎分１５℃の速度で１６５０℃まで昇温
し，この温度で５分保持後徐冷を行い外径約８ｍｍ，長
さ２００ｍｍのパイプの接合を完了した。

【００４４】この接合処理後，目視外観検査にて母材隙
問部にろう材が充分流れ，空隙が存在せず，非常に良好
な接合状態が得られていることを確認し，熱間管引き用
素管とした。熱間管引きは芯金およびダイスを順次小さ
くし最終サイズ外径２．０ｍｍ，肉厚０．２ｍｍに管引
きした後，長さ５ｍｍに切断し，バレル研磨を施し，さ
らに管引き加工の歪み取りのため１２００℃にて１０分
問保持し，図２に示す形状を備えたパイプ状部材を製作
した。２０倍の光学顕微鏡にて外観検査を行い，割れな
どの加工不良がないことを確認した。

【００４５】比較のため，Ｗ丸棒から管引き加工により
同サイズのパイプ状部材の製作を試みた。外径８ｍｍ，
長さ２００ｍｍのＷ棒にガンドリルにて内径６ｍｍの穴
加工を切削条件を変え実施したが，加工不能であった。
Ｗは難加工材料であり，深穴加工の困難さが確認され
た。よって，管引き加工用Ｗ素管の製作，すなわち管引
き法によるＷパイプの製作は不可能であった。

【００４６】（第４の実施の形態）板厚６．５ｍｍ，幅
１２ｍｍ，長さ２７０ｍｍのＭｏ板を金型に素材を巻き
付ける熱間曲げ加工によりＣ型形状に成形し，さらに直
線部端面が平行になるように研磨補正加工した。母材の
直線部端面に融点が約１６００℃である４１．８重量％
Ｒｕ−５５．４重量％Ｍｏ−２．８重量％Ｂからなるろ
う材粉末をバインダーによりペースト状にしたろう材を
塗布した後，端面同士をろう材を介して突き合わせ，治
具にて位置ずれおよび変形をふせぎ，真空炉中で毎分１
５℃の速度で１６５０℃まで昇温し，この温度で５分保
持後徐冷を行い接合を完了した。その後，旋盤加工によ
り，図１に示す形状を備えた外径９０ｍｍ，内径８０ｍ
ｍ，高さ１０ｍｍのリングを完成させた。旋盤加工にお
いても破損などの加工性に問題もなく，また目視外観検
査にて母材隙間部にろう材が充分流れ，ほとんど空隙が
存在せず，非常に良好な接合状態が得られ，さらに，断
面観察から，母材に損傷がないことも確認した。

【００４７】（第５の実施の形態）板厚１．０ｍｍ，幅
８ｍｍ，長さ２６５ｍｍＷ板を金型に素材を巻き付ける
熱間曲げ加工によりＣ型形状に成形し，さらに直線部端
面が平行になるように研磨補正加工した。母材の直線部
端面に融点が約１６００℃である４１．８重量％Ｒｕ−
５５．４重量％Ｍｏ−２．８重量％Ｂからなるろう材粉
末をバインダーによりペースト状にしたろう材を塗布し
た後，端面同士を突き合わせて治具にて位置ずれおよび
変形をふせぎ，真空炉中で毎分１５℃の速度で１６５０
℃まで昇温し，この温度で５分保持後徐冷を行い接合を
完了し，図１に示すような形状を備えた内径８４ｍｍ，
板厚１．０ｍｍ，高さ８ｍｍのリングを完成させた。目
視外観検査にて母材隙間部にろう材が充分流れ，ほとん
ど空隙が存在せず，非常に良好な接合状態が得られてい
ることを確認した。さらに，断面観察から，母材に損傷
がないことも確認した。

【００４８】さらに，ヒートサイクル試験を行った。常
温から１５００℃まで毎分１５℃の速度で昇温し２０分
保持後炉冷するサイクルを１０回繰り返しリングの変形
を測定した。サンプル数５個の測定の結果，厚さ方向の
ソリおよび径方向の同軸度とも最大１８μｍであり，セ
ラミック焼成等の熱処理用スペーサの要求精度である±
２０μｍ以下となり，本用途に使用することが可能であ
ることを確認した。

【００４９】

【発明の効果】以上，説明したように，本発明によれ
ば，接合強度に優れ寸法精度の高い電子部品用高融点金
属製ろう接円筒形状部材が製作可能となる。即ち，高融
点金属のろう接に関し，２０００℃以上加熱可能な高価
な加熱炉を使用する必要もなくなり，炉構造，加熱方法
の自由度が高くなり，実用上非常に施工が簡便となると
共に，母材の脆化の恐れの少ない高融点金属ろう接円筒
形状部材とその製造方法とを提供することができる。

【００５０】さらに，本発明では，管引き加工が可能な
強度を持つため適正サイズのダイスおよび芯金を用いる
ことにより，寸法精度の高い高融点金属ろう接円筒状部
材とその製造方法を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による高融点金属ろう接円
筒形状部材の一例を示す断面図である。

【図２】本発明の実施の形態による高融点金属ろう接円
筒形状部材の他の一例を示す断面図である。

【図３】本発明の実施の形態による高融点金属ろう接円
筒形状部材の別の一例を示す断面図である。

【図４】Ｒｕ−Ｍｏろう材の硼素添加量に対する融点変
化を示す図である。

【符号の説明】

１，１´ 板材 ２，２´ ろう材 ３ａ，３ｂ，３ａ´，３ｂ´ 直線部端面 １０，１１，１２ 高融点金属ろう接円筒形状部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｗ，Ｍｏおよびそれぞれの合金の内の少
   なくとも１種からなる円筒状の板材であって，平板に曲
   げ加工を施した少なくとも一つの素材の端部同士をろう
   材を介して接合してなることを特徴とする高融点金属ろ
   う接円筒形状部材。
2. 【請求項２】 請求項１記載の高融点金属ろう接円筒形
   状部材において，前記ろう材は，ルテニウム・モリブデ
   ン（Ｒｕ−Ｍｏ）共晶合金に硼素（Ｂ）を１．４重量％
   から３．５重量％添加したものから実質的になることを
   特徴とする高融点金属ろう接円筒形状部材。
3. 【請求項３】 Ｗ，Ｍｏおよびそれぞれの合金の内の少
   なくとも１種からなる板材に曲げ加工を施し，少なくと
   も一つの前記板材の端部同士をろう材を介してろう接
   後，管引き加工を施すことを特徴とする高融点金属ろう
   接円筒形状部材の製造方法。
4. 【請求項４】 Ｗ，Ｍｏおよびそれぞれの合金の内の少
   なくとも１種からなる板材に，曲げ加工を施し，少なく
   とも一つの前記板材の端部同士をろう材を介してろう接
   後，機械加工を施すことを特徴とする高融点金属ろう接
   円筒形状部材の製造方法。